JP2002273851A

JP2002273851A - 電極のスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置

Info

Publication number: JP2002273851A
Application number: JP2001078806A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Yoshida; 和宏吉田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-03-19
Filing date: 2001-03-19
Publication date: 2002-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の印刷図形が１枚のスクリーン印刷版に
配置されているスクリーン印刷版を用いて、各印刷図形
に応じた電極を高精度に形成し得る方法を提供する。【解決手段】複数の印刷図形１２Ａ〜１４Ａがスキー
ジ走行方向に配置されているスクリーン印刷版１１を用
いてスクリーン印刷するにあたり、スキージ１５の走行
速度を、複数の印刷図形１２Ａ〜１４Ａのうち少なくと
も１つの印刷図形において残りの印刷図形を通過する際
と異なる走行速度でスキージ走行させ、あるいは各印刷
図形の形状及び／または位置に応じた速度で走行させ
る、スクリーン印刷方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばセラミック
グリーンシート上に電極を印刷するのに用いられるスク
リーン印刷方法及びスクリーン印刷装置に関し、より詳
細には、複数の印刷図形を備えたスクリーン印刷版を用
いたスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、積層セラミック電子部品の製造に
際しては、まず、マザーのセラミックグリーンシート上
に導電ペーストのスクリーン印刷により複数の電極が形
成される。次に、マザーのセラミックグリーンシートを
積層し、厚み方向に加圧することによりマザーの積層体
が得られる。さらに、マザーの積層体を個々の積層セラ
ミック電子部品単位に切断し、得られた積層体を焼成す
ることにより、内部電極を有するセラミック焼結体が構
成されている。この種の積層セラミック電子部品の製造
方法の一例を、図１３〜図１５を参照してより具体的に
説明する。

【０００３】図１３に示す積層セラミックコンデンサ１
０１では、セラミック焼結体１０２の内部に、内部電極
１０３ａ，１０３ｂからなる内部電極層と内部電極１０
４とが厚み方向において交互に配置されている。また、
セラミック焼結体１０２の端面１０２ａ，１０２ｂに、
外部電極１０５，１０６が形成されている。

【０００４】積層セラミックコンデンサ１０１におい
て、上記内部電極１０３ａ，１０３ｂ，１０４を有する
セラミック焼結体１０２を得るにあたっては、マザーの
セラミックグリーンシート上に、内部電極１０３ａ，１
０３ｂからなる内部電極層に応じた印刷図形と、内部電
極１０４に応じた印刷図形とが印刷される。すなわち、
図１４に略図的に示すように、長尺状のマザーのセラミ
ックグリーンシート１１１が用意され、該セラミックグ
リーンシート１１１上に、２種類の印刷図形の電極群１
１２，１１３が長さ方向に沿って交互にスクリーン印刷
される。なお、図１４における電極群１１２では、内部
電極１０３ａ，１０３ｂがセラミックグリーンシート１
１１の長さ方向及び幅方向に複数印刷されている。ま
た、電極群１１３においては、内部電極１０４がセラミ
ックグリーンシート１１１の長さ方向及び幅方向に複数
印刷されている。

【０００５】スクリーン印刷にあたっては、上記電極群
１１２，１１３は、電極群１１２，１１３に応じた２つ
の印刷図形を有する１枚のスクリーン印刷版を用いて印
刷される。従来、電極群１１２と電極群１１３は別々の
スクリーン印刷版を用いて印刷されていた。しかしなが
ら、電極群ごとに別のスクリーン印刷版を用いると、生
産性が低下する。また、各スクリーン印刷版で個別に印
刷されたセラミックグリーンシートを交互に積層した場
合、電極群１１２，１１３間の積層ずれが生じる恐れが
ある。

【０００６】そこで、上記のように電極群１１２，１１
３を１枚のスクリーン印刷版を用いて印刷する方法が用
いられている。この場合、図１５に略図的平面図で示す
ように、スクリーン印刷版１１４には、電極群１１２，
１１３に応じた印刷図形１１２Ａ，１１３Ａが形成され
ている。そして、スキージ１１５を図示の矢印方向に移
動することにより、導電ペーストがセラミックグリーン
シート１１１（図１４）に印刷される。なお、図１５
（ｂ）に示すように、印刷図形１１２Ａ，１１３Ａにお
いてスキージ１１５は一定の速度で走行される。

【０００７】他方、特開平２−３０８５８９号公報や実
開平３−１２１８３７号公報には、スキージをスクリー
ン印刷版上で走行させてプリント配線基板やセラミック
グリーンシート上に回路パターンなどを印刷するにあた
り、スキージの走行速度を可変する方法が開示されてい
る。すなわち、特開平２−３０８５８９号公報には、プ
リント配線基板上に形成される回路パターンにおいて、
疎な部分と密な部分とが存在する場合、密な部分におい
てスキージ走行速度を低下させることにより、回路パタ
ーンを均一に印刷する方法が開示されている。また、実
開平３−１２１８３７号公報では、１枚のスクリーン印
刷版において１つの印刷図形を印刷する際に、スクリー
ン中央部において周辺部よりもスキージ移動速度を遅く
することにより、印刷精度を高める方法が開示されてい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図１３〜図１５を参照
して説明した従来の積層セラミックコンデンサの製造に
際してのスクリーン印刷方法では、１つのスクリーン印
刷版１１４を用いて複数の印刷図形１１２Ａ，１１３Ａ
に応じた電極群１１２，１１３が印刷されていた。この
場合、印刷図形１１２Ａ，１１３Ａの開口率は印刷図形
１１２Ａ，１１３Ａが異なるため、異なっている。従っ
て、スキージ１１５を一定の速度で走行させて印刷した
場合、電極群１１２，１１３において、電極膜厚が異な
ったり、図形ごとに印刷の滲みやかすれが発生したりす
る恐れがあった。そのため、焼成後の不良率や静電容量
のばらつきなどの電気的特性のばらつきが増大するとい
う問題があった。

【０００９】他方、特開平２−３０８５８９号公報や実
開平３−１２１８３７号公報に記載のように、１つの印
刷図形を印刷するに際し、スキージの走行速度を変化さ
せる方法が提案されているが、これらの先行技術は、い
ずれも単一の印刷図形内において、印刷精度を高めるた
めにスキージ走行速度が変化されているに過ぎない。す
なわち、特開平２−３０８５８９号公報や実開平３−１
２１８３７号公報に記載の方法では、あくまでも１つの
印刷図形をスクリーン印刷するにあたり、スキージ走行
速度を部分的に遅くしたりすることにより、印刷精度が
高められているにすぎない。

【００１０】また、近年、電子部品の小型化の要求に対
応するために、積層セラミック電子部品では内部電極の
膜厚を薄くする必要がある。そこで、スクリーン印刷版
のスクリーンメッシュが細かくなってきている。その結
果、スクリーン印刷版の強度が低下するため、スキージ
が走行している間にスキージ走行速度やスキージによる
押え力を変化させた場合、スクリーン印刷版に余分な負
荷変動が加えられる。その結果、印刷図形の精度が悪化
したり、印刷後の積み重ね精度が悪化したりするという
問題があった。

【００１１】すなわち、単に１つの印刷図形を印刷する
際に部分的にスキージの走行速度を変化させたり、スキ
ージ押え力を変化させるだけでは、複数の印刷図形を１
枚のスクリーン印刷版で印刷する場合、印刷精度を高め
たり、印刷後の積層ずれを抑制することは困難であっ
た。

【００１２】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、複数の印刷図形を１枚のスクリーン印刷版で
印刷するスクリーン印刷方法において、基材上に複数の
印刷図形に応じた電極を高精度に印刷することができ、
かつ該複数の電極が印刷された基材を積層した場合の電
極間の積層ずれを抑制することができる、スクリーン印
刷方法及びスクリーン印刷装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願の第１の発明は、基
材上に複数の印刷図形に応じた電極をスクリーン印刷す
る方法であって、基材上に複数の印刷図形がスキージ走
行方向に沿って配置されたスクリーン印刷版を載置する
工程と、前記スクリーン印刷版上においてスキージを前
記スキージ走行方向に沿って、かつ複数の印刷図形のう
ち少なくとも１つの印刷図形において残りの印刷図形を
通過する際と異なる走行速度でスキージを走行させてス
クリーン印刷を行う工程とを備えることを特徴とする。

【００１４】本願の第２の発明は、基材上に複数の印刷
図形に応じた電極をスクリーン印刷する方法であって、
基材上に複数の印刷図形がスキージ走行方向に沿って配
置されているスクリーン印刷版を載置させる工程と、前
記スクリーン印刷版上にスキージを各印刷図形に応じた
走行速度で走行させる工程とを備えることを特徴とす
る。

【００１５】本発明においては、好ましくは、複数の印
刷図形間の領域において、スキージの速度が加速または
減速される。従って、各印刷図形上においてはスキージ
走行速度が一定とされ、スキージ走行速度の加減速が印
刷図形間の領域で行われるので、印刷図形内におけるス
キージ走行速度の変化が生じないので、各印刷図形に応
じた電極を高精度に印刷することができる。

【００１６】好ましくは、上記加速または減速は、次の
印刷図形にスキージが到達するまでに完了される。本発
明の他の特定の局面では、スクリーン印刷版において、
スキージ走行方向に配置された複数の印刷図形が、スキ
ージ走行方向と直交する方向に複数列配置されている。
従って、より多くの印刷図形を一度に印刷することがで
きる。

【００１７】本発明の別の特定の局面では、前記スクリ
ーン版の印刷図形は、複数の印刷部がマトリックス状に
配置されたものである。本発明の別の特定の局面では、
前記複数の印刷図形において、各印刷図形を構成する印
刷部の、前記スキージ走行方向と直交する方向の幅が異
なっている。

【００１８】本発明の別の特定の局面では、基材として
セラミックグリーンシートが用いられ、電極が導電ペー
ストの印刷により印刷され、それによって例えば積層セ
ラミック電子部品の製造に適したマザーのセラミックグ
リーンシートを得ることができる。

【００１９】本発明にかかるスクリーン印刷装置は、複
数の印刷図形がスキージ走行方向に沿って配置されたス
クリーン印刷版と、前記スクリーン印刷版上を走行され
るスキージと、前記スキージを走行させ、かつ少なくと
も１つの印刷図形を走行する際の走行速度が他の印刷図
形を走行する際の走行速度と異なるようにスキージ走行
速度を可変する機構を備えたスキージ駆動手段とを備え
ることを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
説明することにより、本発明を明らかにする。図１〜図
５を参照して、本発明の第１の実施例にかかるスクリー
ン印刷方法及びスクリーン印刷装置を説明する。本実施
例では、図４に示す積層セラミックコンデンサ１が製造
される。積層セラミックコンデンサ１は、セラミック焼
結体２を有する。セラミック焼結体２内には、内部電極
３ａ，３ｂからなる内部電極層と内部電極４とが厚み方
向において交互に配置されている。

【００２１】内部電極３ａ，３ｂは、同じ高さ位置に形
成されており、かつ各外側端がセラミック焼結体２の端
面２ａ，２ｂに引き出されている。内部電極３ａ，３ｂ
の内側端は所定のギャップを隔てて対向されている。内
部電極４は、内部電極３ａ，３ｂとセラミック焼結体層
を介して厚み方向に重なり合うように配置されている。

【００２２】他方、セラミック焼結体２の端面２ａ，２
ｂを覆うように外部電極５，６が形成されている。外部
電極５，６は、それぞれ、内部電極３ａ，３ｂに電気的
に接続されている。

【００２３】上記内部電極３ａ，３ｂが形成されている
部分及び内部電極４が形成されている部分を図３に略図
的斜視図で示す。積層セラミックコンデンサ１のセラミ
ック焼結体２を得るにあたっては、先ずマザーのセラミ
ックグリーンシート上に、複数の内部電極３ａ，３ｂ及
び内部電極４が、それぞれ、マトリックス状に形成され
る。この内部電極３ａ，３ｂ，４の形成は、図１に示し
たスクリーン印刷版１１を用いて行われる。スクリーン
印刷版１１は、スキージ走行方向Ｘに沿って配置された
複数の印刷図形１２Ａ，１３Ａを有する。図２に印刷図
形１２Ａ，１３Ａの詳細をより具体的に説明する。印刷
図形１２Ａにより導電ペーストが印刷されて電極群が形
成される。この印刷図形１２Ａは、マトリックス状に配
置された複数の印刷部１２Ａ₁を有する。複数の印刷部
１２Ａ₁は、印刷された電極群を最終的に個々の積層体
単位に切断した場合に内部電極３ａ，３ｂとなるように
設けられている。同様に、印刷図形１３Ａは、複数の印
刷部１３Ａ₁を有し、複数の内部電極４からなる電極群
を得るための印刷図形である。印刷図形１２Ａ，１３Ａ
に応じた電極群がセラミックグリーンシート上に印刷さ
れることになる。

【００２４】なお、本発明においては、１つの印刷図形
に応じた電極は、本実施例のような電極の集合である電
極群に限定されず、単一の電極でもよい。スクリーン印
刷に際しては、セラミックグリーンシート１４上にスク
リーン印刷版１１が載置され、該スクリーン印刷版１１
上に導電ペーストが付与され、しかる後スキージ１５が
図１（ａ）の矢印Ｘ方向に走行される。すなわちスキー
ジ１５の下面をスクリーン印刷版１１に当接した状態
で、スキージ１５をＸ方向に移動させることにより、印
刷図形１２Ａ，１３Ａに応じた電極群がセラミックグリ
ーンシート１４上に印刷される。

【００２５】本実施例の特徴は、上記スキージ１５の走
行速度が、図１（ｂ）に示すように、各印刷図形１２
Ａ，１３Ａで異ならされていることにある。すなわち、
内部電極３ａ，３ｂを形成するための印刷図形１２Ａ上
を通過する際の走行速度Ｖａに比べて、内部電極４を印
刷するための印刷図形１３Ａ上を走行する場合の走行速
度Ｖｂが高められている。これによって、印刷図形がよ
り複雑である印刷図形１２Ａを用いて内部電極３ａ，３
ｂを形成するための電極が高精度に印刷される。

【００２６】また、本実施例では、スキージ１５は、矢
印Ｘ方向に移動される際に、まず走行速度が高められ、
印刷図形１２Ａに至る前に走行速度Ｖａに到達する。そ
して、この走行速度Ｖａで印刷図形１２Ａ上を通過し、
印刷が行われる。次に、印刷図形１２Ａを通過した後に
走行速度が高められ、走行速度Ｖｂに到達する。この加
速は印刷図形１３Ａに至る前に完了されている。そし
て、走行速度Ｖｂで印刷図形１３Ａを用いた印刷が行わ
れる。しかる後、印刷図形１３Ａを通過した後に減速さ
れる。

【００２７】このように、本実施例のスクリーン印刷方
法では、各印刷図形１２Ａ，１３Ａ上では、それぞれ、
スキージ走行速度はＶａ，Ｖｂと一定である。従って、
印刷図形１２Ａ，１３Ａを印刷する際には、スキージの
走行速度が一定とされているので、印刷図形１２Ａ，１
３Ａに応じた形状の電極群を高精度に印刷することがで
きる。

【００２８】なお、本実施例では、印刷図形１２Ａ，１
３Ａ間の領域において、スキージ走行速度が高められて
いたが、加速は、次の印刷図形１３Ａにスキージが到達
する前に完了していることが望ましい。もっとも、印刷
図形１３Ａにスキージ１５の前方端部が到達した時点で
加速が完了してもよい。

【００２９】より好ましくは、図１（ｂ）に示されてい
るように、スキージ１５が印刷図形１３Ａの印刷図形１
２Ａ側の端縁に至るより前に加速が完了されていること
が望ましい。

【００３０】なお、スキージ１５の走行速度を可変する
装置については、特に限定されるわけではないが、図５
に示すスクリーン印刷装置を用いることにより達成する
ことができる。

【００３１】このスクリーン印刷装置２１では、図５
（ａ）に平面図で示すように、スキージ走行方向である
Ｘ方向に延びるガイド２２ａ，２２ｂ及びボールスクリ
ュー２３が配置されている。移動ブロック２４がＸ方向
に往復移動されるように配置されている。移動ブロック
２４は、ガイド２２ａ，２２ｂが折通される孔を有す
る。また、移動ブロック２４は、ボールスクリュー２３
に螺合されており、ボールスクリュー２３を回転させる
ことにより、移動ブロック２４がガイド２２ａ，２２ｂ
にガイドされてＸ方向に移動され得るように構成されて
いる。ボールスクリュー２３の一方端には、プーリー２
５が固定されている。プーリー２５は、ベルト２６を介
してプーリー２７に連結されている。プーリー２７は、
モーター２８の回転軸に固定されている。従って、モー
ター２８を正転または逆転することにより、移動ブロッ
ク２４を矢印Ｘ方向または−Ｘ方向に移動させることが
できる。移動ブロック２４の下端にスクレーパ２９及び
スキージ１５が取り付けられている。スクレーパ２９
は、余分な導電ペーストをかきとるために設けられてお
り、スキージ１５は、スクリーン印刷版１１上に当接
し、スクリーン印刷を行うために設けられている。

【００３２】スクリーン印刷装置２１では、上記モータ
ー２８の回転速度を制御することにより、移動ブロック
２４の矢印Ｘ方向への移動速度、すなわちスキージ１５
の走行速度を制御することができる。従って、上記実施
例のように、スキージ走行速度をモーター２８の回転速
度を制御することにより容易に変化させることができ
る。

【００３３】図６（ａ）及び（ｂ）ならびに図７を参照
して、第２の実施例を説明する。第２の実施例では、図
６（ａ）に示すスクリーン印刷版３１が用いられる。ス
クリーン印刷版３１では、印刷図形３２Ａ，３３Ａに対
して矢印Ｘ方向（すなわちスキージ走行方向）と直交す
る方向（以下、幅方向とする）に他の印刷図形３４Ａ，
３５Ａが配置されている。

【００３４】すなわち、印刷図形３２Ａ，３３Ａの側方
に印刷図形３４Ａ，３５Ａが配置されている。図７に部
分的に拡大して示すように、印刷図形３２Ａにおける各
印刷部の幅方向寸法Ｗａと、印刷図形３４Ａにおける各
印刷部の幅方向寸法Ｗａ₁をほぼ等しくすればよい。同
様に、印刷図形３３Ａ，３５Ａにおいても、各印刷図形
の各印刷部の幅方向寸法をほぼ同一とすればよい。

【００３５】本実施例においても、図６（ｂ）に示すよ
うに、スキージ１５を走行させる場合、印刷図形３２
Ａ，３４Ａを通過する際の走行速度に対し、印刷図形３
３Ａ，３５Ａを通過する印刷速度を異ならせることによ
り、第１の実施例の場合と同様に、各印刷図形３２Ａ，
３４Ａ，３３Ａ，３５Ａに応じたスキージ走行速度でス
クリーン印刷を行うことができる。従って、各印刷図形
３２Ａ，３４Ａ，３３Ａ，３５Ａに応じた印刷図形の電
極を高精度に形成することができる。

【００３６】なお、スクリーン印刷に際しては、導電ペ
ーストの種類にもよるが、一般には開口率が小さい印刷
図形ほど、電極の膜厚が厚くなる傾向がある。従って、
一般的に開口率の小さい印刷図形ほど、スキージ走行速
度を遅くし、導電ペーストかきとり効果を高める必要が
ある。

【００３７】しかしながら、１つのスクリーン印刷版に
複数の印刷図形製版されている場合、各印刷図形の各印
刷部の上記幅方向寸法が等しい場合、該幅方向に配列さ
れた個々の印刷部において、電極膜厚はほぼ等しくな
る。従って、上記のように、幅方向寸法Ｗａ，Ｗａ₁を
ほぼ等しくすることにより、並びに幅方向寸法にＷｂ，
Ｗｂ₁をほぼ等しくすることにより、第１の実施例の場
合と同様に各印刷図形３２Ａ，３４Ａ，３３Ａ，３５Ａ
に応じた電極群を高精度に形成することができる。

【００３８】第２の実施例によれば、印刷図形３２Ａ，
３３Ａ，３４Ａ，３５Ａを１枚のスクリーン印刷版を用
いて印刷することができるので、図８に示すように、長
尺状のセラミックグリーンシート３６上にスクリーン印
刷版３１を用いて繰り返し印刷していくことにより、多
種類の電極群Ａ〜Ｄを効率よく印刷することができる。
従って、印刷可能な図形の種類の制限が緩和され、設計
可能な電子部品の自由度が高められる。

【００３９】また、印刷図形３２Ａ，３３Ａの幅方向に
おいて、同じ印刷図形３２Ａ，３３Ａをさらに配置する
ようにスクリーン印刷版を構成した場合には、すなわち
複数の印刷図形を複数列形成した場合には、図９に示す
ように、セラミックグリーンシート３６上に電極群Ａ，
Ｂを複数列平行して形成することができ、同じ製品を効
率よく製造することができ、生産性を高めることができ
る。

【００４０】図１０（ａ），（ｂ）は、第３の実施例に
かかるスクリーン印刷方法を説明するための平面図及び
スキージ走行速度の変化を示す図である。本実施例で
は、スクリーン印刷版４１に、スキージ走行方向Ｘに沿
って３個の印刷図形４２Ａ〜４４Ａが配置されている。
このように、本発明においては、スキージ走行方向にお
いて、３以上の印刷図形が配置されていてもよい。

【００４１】図１０（ｂ）に示すように、本実施例にお
いてもまた、印刷図形４２Ａ，４３Ａ，４４Ａを通過す
る際のスキージ走行速度がそれぞれ異ならされている。
図５に示したスクリーン印刷装置のように、一般的なス
クリーン印刷装置では、スキージ１５とスクレーパ２９
とが移動ブロックに取り付けられている。印刷を行う場
合、スクレーパ２９だけを下降させた状態で移動ブロッ
ク２４がＸ方向に移動され、それによってまず導電ペー
ストがスクリーン印刷版上に広げられる。次に、スクレ
ーパ２９を上昇させ、スキージ１５を降下させ、Ｘ方向
に移動させることにより、印刷が行われる。

【００４２】従って、図１０（ａ）に示したように、３
個の印刷図形４２Ａ〜４４Ａのうち、印刷図形４４Ａで
は、導電ペーストが塗布されている時間が印刷図形４２
Ａに比べて長くなり、スクリーンメッシュに導電ペース
トがより多く付着する。よって、例えば、印刷開始位置
から遠い印刷図形ほど、例えば図１０（ａ）では、印刷
図形４２Ａに比べて印刷図形４３Ａが電極膜厚が厚くな
る傾向があり、印刷図形４３Ａに比べて４４Ａが、電極
膜厚が厚くなる傾向がある。これは、使用する導電ペー
ストの粘度が低いほど顕著に表われる。

【００４３】従って、本実施例では、印刷開始位置から
遠い印刷図形において、スキージ走行速度が低くされて
いる。すなわち、図１０（ｂ）に示すように、印刷図形
４２Ａにおけるスキージ走行速度Ｖｃに比べ、印刷図形
４３Ａにおけるスキージ走行速度Ｖｄが低くされてお
り、印刷図形４４Ａを通過する際のスキージ走行速度Ｖ
ｅがさらに低められている。このように、印刷開始位置
からの距離に応じて、スキージ走行速度を変化させるこ
とにより、各印刷図形４２Ａ〜４４Ａを用いて、それぞ
れ、高精度に電極を印刷を行うことができる。

【００４４】なお、第３の実施例から明らかなように、
本発明においては、各印刷図形の形状または位置に応じ
て、スキージ走行速度を変化させてもよく、それによっ
て膜厚のばらつきの少ない電極を形成することができ
る。

【００４５】なお、第３の実施例において、３個の印刷
図形４２Ａ〜４４Ａは、全て等しくともよい。この場
合、印刷を繰り返すことにより、図１１に示すように長
尺状のセラミックグリーンシート４５上に印刷図形に応
じた３個の電極群Ａが順次印刷されていく。この場合に
おいても、上述したようにスキージ走行速度を変化させ
ることにより、電極膜厚を均一にすることができる。ま
た、複数の製品を平行して製造することができ、生産性
を高めることができる。

【００４６】また、印刷図形４２Ａ〜４４Ａは異なって
いてもよい。この場合には、図１２に示すようにセラミ
ックグリーンシート４５上に、スクリーン印刷版を用い
て３個の異なる印刷図形により３個の異なる印刷形状の
電極群Ａ〜Ｃが形成されるので、異なる製品を同時に製
造することができる。

【００４７】さらに、本発明においては、異なる電極幅
の印刷図形を有する印刷版を用いる際に電極膜厚を均一
にすることについて説明したが、これに限定されるもの
ではなく、印刷図形に応じてスキージ走行速度を変化さ
せることにより、異なる電極膜厚のものを得ることも可
能である。

【００４８】

【発明の効果】第１の発明では、スクリーン印刷版上に
おいてスキージをスキージ走行方向に沿って走行させて
スクリーン印刷を行うにあたり、複数の印刷図形のうち
少なくとも１つの印刷図形において残りの印刷図形を通
過する際と異なる走行速度でスキージが走行される。従
って、印刷図形の形状に応じたスキージ走行速度を用い
ることにより、複数の印刷図形が配置されたスクリーン
印刷版を用い、複数の印刷図形に応じた電極を高精度に
形成することができる。

【００４９】第２の発明にかかるスクリーン印刷方法で
は、複数の印刷図形が配置されているスクリーン印刷版
上において、スキージを各印刷図形の形状及び位置に応
じてその走行速度を変化させて走行させるので、各印刷
図形に応じた電極を高精度に形成することができるとと
もに、複数の印刷図形が同じ形状の場合には、膜厚の均
一な電極を容易に形成することができる。

【００５０】本発明にかかるスクリーン印刷装置は、複
数の印刷図形が少なくともスキージ走行方向に沿って配
置されたスクリーン印刷版と、スキージと、スキージ駆
動手段とを備え、スキージ駆動手段において、少なくと
も１つの印刷図形を走行する際の走行速度が他の印刷図
形を走行する際の走行速度と異なるように、可変される
ので、本発明に従って各印刷図形に応じた電極を高精度
に形成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施例に
おいて、スクリーン印刷を行う工程を説明するための平
面図及びこの場合のスキージ走行速度の変化を示す図。

【図２】図１に示したスキージ印刷方法におけるスクリ
ーン印刷版の印刷図形の詳細を略図的に示す部分切欠拡
大平面図。

【図３】第１の実施例で得られる積層セラミックコンデ
ンサの内部電極の積層状態を説明するための略図的斜視
図。

【図４】第１の実施例で得られる積層セラミックコンデ
ンサの正面断面図。

【図５】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例のスクリー
ン印刷方法で用いられるスクリーン印刷装置を説明する
ための平面図及び（ａ）中のＢ−Ｂ線に相断面図。

【図６】（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施例にかかるス
クリーン印刷方法を説明するための平面図及びスキージ
走行速度の変化を示す図。

【図７】図６（ａ）に示したスクリーン印刷版の印刷図
形の詳細を説明するための部分切欠拡大平面図。

【図８】第２の実施例において長尺状セラミックグリー
ンシート上に電極を印刷した状態の一例を示す模式的平
面図。

【図９】第２の実施例により長尺状セラミックグリーン
シートに電極を印刷した状態の他の例を示す模式的平面
図。

【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、第３の実施例にかかる
スクリーン印刷方法を説明するための平面図及びスキー
ジ走行速度の変化を示す図。

【図１１】第３の実施例において長尺状セラミックグリ
ーンシート上に電極を印刷した状態の一例を説明するた
めの部分切欠平面図。

【図１２】第３の実施例において長尺状セラミックグリ
ーンシート上に電極を印刷した状態の他の例を説明する
ための部分切欠平面図。

【図１３】従来のスクリーン印刷法を用いて得られた積
層セラミックコンデンサを示す正面断面図。

【図１４】従来の積層セラミックコンデンサの製造方法
に際し、長尺状セラミックグリーンシート上に電極を形
成した状態を説明するための模式的平面図。

【図１５】（ａ）及び（ｂ）は、従来のスクリーン印刷
方法を説明するための平面図及びスキージ走行速度の変
化を示す図。

【符号の説明】

１１…スクリーン印刷版１２Ａ，１３Ａ…印刷図形１２Ａ₁，１３Ａ₁…印刷図形１４…セラミックグリーンシート１５…スキージ２１…スクリーン印刷装置２５…移動ブロック２９…モーター３０…スクレーパ３１…スクリーン印刷版３２…スキージ４１…スクリーン印刷版４２Ａ〜４４Ａ…印刷図形４５…セラミックグリーンシートＡ〜Ｄ…電極群

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０ＭＦターム(参考） 2C035 AA06 FD04 5E062 DD04 5E082 AB03 BC38 EE04 EE35 FG26 LL01 PP09 5E343 AA02 AA23 AA39 BB08 BB21 BB61 BB72 DD05 FF04 GG06 GG08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材上に複数の印刷図形に応じた電極を
スクリーン印刷する方法であって、基材上に複数の印刷図形がスキージ走行方向に沿って配
置されたスクリーン印刷版を載置する工程と、前記スクリーン印刷版上においてスキージを前記スキー
ジ走行方向に沿って、かつ複数の印刷図形のうち少なく
とも１つの印刷図形において残りの印刷図形を通過する
際と異なる走行速度でスキージを走行させてスクリーン
印刷を行う工程とを備えることを特徴とする、スクリー
ン印刷方法。
【請求項２】基材上に複数の印刷図形に応じた電極を
スクリーン印刷する方法であって、基材上に複数の印刷図形がスキージ走行方向に沿って配
置されているスクリーン印刷版を載置させる工程と、前記スクリーン印刷版上にスキージを各印刷図形に応じ
た走行速度で走行させる工程とを備えることを特徴とす
る、スクリーン印刷方法。
【請求項３】前記複数の印刷図形間の領域において、
前記スキージの速度を加速または減速させることを特徴
とする、請求項１または２に記載のスクリーン印刷方
法。
【請求項４】前記加速または減速が次の印刷図形にス
キージが到達するまでに完了されることを特徴とする、
請求項３に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項５】前記スクリーン印刷版において、スキー
ジ走行方向に配置された複数の印刷図形が、スキージ走
行方向と直交する方向に複数列配置されている、請求項
１〜４のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】前記スクリーン版の印刷図形は、複数の
印刷部がマトリックス状に配置されたものであることを
特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のスクリー
ン印刷方法。
【請求項７】前記複数の印刷図形において、各印刷図
形を構成する印刷部の、前記スキージ走行方向と直交す
る方向の幅が異なることを特徴とする、請求項１〜６の
いずれかに記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】前記基材がセラミックグリーンシートで
あり、前記電極が導電ペーストの印刷により印刷され
る、請求項１〜７のいずれかに記載のスクリーン印刷方
法。
【請求項９】複数の印刷図形がスキージ走行方向に沿
って配置されたスクリーン印刷版と、前記スクリーン印刷版上を走行されるスキージと、前記スキージを走行させ、かつ少なくとも１つの印刷図
形を走行する際の走行速度が他の印刷図形を走行する際
の走行速度と異なるようにスキージ走行速度を可変する
機構を備えたスキージ駆動手段とを備えることを特徴と
する、スクリーン印刷装置。