JP2002267717A - Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構 - Google Patents
Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構Info
- Publication number
- JP2002267717A JP2002267717A JP2001118901A JP2001118901A JP2002267717A JP 2002267717 A JP2002267717 A JP 2002267717A JP 2001118901 A JP2001118901 A JP 2001118901A JP 2001118901 A JP2001118901 A JP 2001118901A JP 2002267717 A JP2002267717 A JP 2002267717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- preheating
- hole
- preheating plate
- movable plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ＩＣハンドラーのローダ側に配置される予熱プ
レートの取り付け角度を高精度かつ容易に微調整できる
機構を提供する。 【解決手段】ローダ１の可動プレート６の一側に支軸
９、他側に孔１０を設ける一方、予熱プレート７の一側
に孔１３、他側に切欠き１４を形成する。予熱プレート
７の孔１３部分を可動プレート６の支軸９に嵌合し、切
欠き１４をプレート６の孔１０に整合させ、切欠き１４
と孔１０に偏心ピン１１を挿入してナット１２を軽く螺
合する。偏心ピン１１を回動するとそのカム作用により
予熱プレート７が支軸９を支点に回動し、予熱プレート
７の取り付け角度θが微調整され、最後にナット１２を
締め付けて両プレート６，７を固着する。
レートの取り付け角度を高精度かつ容易に微調整できる
機構を提供する。 【解決手段】ローダ１の可動プレート６の一側に支軸
９、他側に孔１０を設ける一方、予熱プレート７の一側
に孔１３、他側に切欠き１４を形成する。予熱プレート
７の孔１３部分を可動プレート６の支軸９に嵌合し、切
欠き１４をプレート６の孔１０に整合させ、切欠き１４
と孔１０に偏心ピン１１を挿入してナット１２を軽く螺
合する。偏心ピン１１を回動するとそのカム作用により
予熱プレート７が支軸９を支点に回動し、予熱プレート
７の取り付け角度θが微調整され、最後にナット１２を
締め付けて両プレート６，７を固着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣハンドラーの
ローダ側に配置される予熱部材の調整機構、特に予熱プ
レートの取り付け角度を微調整できる機構に関する。
ローダ側に配置される予熱部材の調整機構、特に予熱プ
レートの取り付け角度を微調整できる機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣハンドラーは、量産された半導体デ
バイス（以下単にＩＣという）を高温または低温下で試
験するもので、ローダから搬送されたＩＣをハンドによ
り測定部のソケットの送り込んで検査した後、アンロー
ダでデータ別に分類収納する装置である。
バイス（以下単にＩＣという）を高温または低温下で試
験するもので、ローダから搬送されたＩＣをハンドによ
り測定部のソケットの送り込んで検査した後、アンロー
ダでデータ別に分類収納する装置である。
【０００３】ローダはＩＣを載置して搬送する可動プレ
ートに予熱プレート（または予熱ブロック）を組み込ん
で成り、高温試験する際にはＩＣが搬送途中で予熱プレ
ートにより加熱されるようになっている。また、ＩＣを
ソケットに押し込むハンドにもヒータが内蔵されてお
り、ＩＣは正確な設定温度に保たれたまま検査される。
ＩＣは通常キャリアやシャトルと呼ばれる容器に収容さ
れ、予熱プレート上のピンに嵌まることで位置決めされ
る。
ートに予熱プレート（または予熱ブロック）を組み込ん
で成り、高温試験する際にはＩＣが搬送途中で予熱プレ
ートにより加熱されるようになっている。また、ＩＣを
ソケットに押し込むハンドにもヒータが内蔵されてお
り、ＩＣは正確な設定温度に保たれたまま検査される。
ＩＣは通常キャリアやシャトルと呼ばれる容器に収容さ
れ、予熱プレート上のピンに嵌まることで位置決めされ
る。
【０００４】一方、最近のＩＣはリードの狭小ピッチ化
が進んでいるためソケットのコンタクトに的確に接触さ
せるには、まず予熱プレート自体を可動プレートに対し
て平行かつＸ，Ｙ，θ（図面の各矢印参照）の全てにわ
たって正確に取り付ける必要がある。
が進んでいるためソケットのコンタクトに的確に接触さ
せるには、まず予熱プレート自体を可動プレートに対し
て平行かつＸ，Ｙ，θ（図面の各矢印参照）の全てにわ
たって正確に取り付ける必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このうち平行度につい
ては予熱プレートの加工組み立て段階で解決され、Ｙ方
向は可動プレートの駆動側で調整でき、Ｘ方向はハンド
の駆動側で調整できるが、予熱プレートの取り付け角度
θについては調整が難しい。予熱プレートの固定用ねじ
孔の一部を長孔にすることも考えられるが、長孔は微調
整が困難でしかもねじを締め付ける際にプレートが少し
ずれる欠点がある。
ては予熱プレートの加工組み立て段階で解決され、Ｙ方
向は可動プレートの駆動側で調整でき、Ｘ方向はハンド
の駆動側で調整できるが、予熱プレートの取り付け角度
θについては調整が難しい。予熱プレートの固定用ねじ
孔の一部を長孔にすることも考えられるが、長孔は微調
整が困難でしかもねじを締め付ける際にプレートが少し
ずれる欠点がある。
【０００６】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、予熱プレートの取り付け角度を
可動プレートに対して簡単に微調整できる機構を提供す
ることにある。
のであり、その目的は、予熱プレートの取り付け角度を
可動プレートに対して簡単に微調整できる機構を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ＩＣをキャリアに収容してローダの予
熱部材及び可動プレートで加熱しながら測定部に搬送す
るＩＣハンドラーにおいて、前記可動プレートに前記予
熱部材の一端を支点として回動可能に配置する一方、可
動プレート上に偏心ピンを回動可能に立てて予熱部材の
他端をこの偏心ピンに嵌合し、偏心ピンの回動で予熱部
材の角度θが微調整されるようにしている。
め、本発明では、ＩＣをキャリアに収容してローダの予
熱部材及び可動プレートで加熱しながら測定部に搬送す
るＩＣハンドラーにおいて、前記可動プレートに前記予
熱部材の一端を支点として回動可能に配置する一方、可
動プレート上に偏心ピンを回動可能に立てて予熱部材の
他端をこの偏心ピンに嵌合し、偏心ピンの回動で予熱部
材の角度θが微調整されるようにしている。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１はハンドラーの簡略正面図、
図２は本発明が適用された予熱プレート調整機構の分解
斜視図で、ＩＣハンドラーは、ＩＣを供給するローダ
１、ＩＣを測定する測定部２、測定後のＩＣを分類収納
するアンローダ３に大別される。
図２は本発明が適用された予熱プレート調整機構の分解
斜視図で、ＩＣハンドラーは、ＩＣを供給するローダ
１、ＩＣを測定する測定部２、測定後のＩＣを分類収納
するアンローダ３に大別される。
【０００９】ＩＣ４はキャリア５の開口５ａに収容され
て搬送、測定、収納され、キャリア５はＩＣの種別に応
じたチェンジキットとなっており、２箇所に位置決め孔
５ｂが形成されている。キャリア５の開口５ａには２個
や４個タイプもあるが、ここでは説明を簡単にするため
１個だけを示してある。
て搬送、測定、収納され、キャリア５はＩＣの種別に応
じたチェンジキットとなっており、２箇所に位置決め孔
５ｂが形成されている。キャリア５の開口５ａには２個
や４個タイプもあるが、ここでは説明を簡単にするため
１個だけを示してある。
【００１０】ローダ１は、載置されたキャリア５をＹ方
向に間欠搬送するもので、モータ等（図示せず）でピッ
チ駆動される可動プレート６と、ＩＣを加熱する予熱プ
レート７を具備し、予熱プレート７の４箇所がねじ８に
より可動プレート６に固着される。
向に間欠搬送するもので、モータ等（図示せず）でピッ
チ駆動される可動プレート６と、ＩＣを加熱する予熱プ
レート７を具備し、予熱プレート７の４箇所がねじ８に
より可動プレート６に固着される。
【００１１】可動プレート６の一側には支軸９が立設さ
れ、他側には孔１０が形成されて孔１０に偏心ピン１１
が挿入される。偏心ピン１１は、溝１１ａを有するヘッ
ド１１ｂとヘッド１１ｂからずれて設けられたボス１１
ｃ及びねじ部１１ｄから成り、ねじ部１１ｄにナット１
２を螺合して固定される。
れ、他側には孔１０が形成されて孔１０に偏心ピン１１
が挿入される。偏心ピン１１は、溝１１ａを有するヘッ
ド１１ｂとヘッド１１ｂからずれて設けられたボス１１
ｃ及びねじ部１１ｄから成り、ねじ部１１ｄにナット１
２を螺合して固定される。
【００１２】予熱プレート７の一側には孔１３、他側に
は切欠き１４が形成されており、孔１３が前記支軸９
に、切欠き１４が偏心ピン１１のヘッド１１ｂに嵌合す
るようになっている。また、予熱プレート７の２箇所に
は、キャリア５を位置決めするためのピン１５が立設さ
れている。
は切欠き１４が形成されており、孔１３が前記支軸９
に、切欠き１４が偏心ピン１１のヘッド１１ｂに嵌合す
るようになっている。また、予熱プレート７の２箇所に
は、キャリア５を位置決めするためのピン１５が立設さ
れている。
【００１３】測定部２にはテスト用ソケット１６が配置
され、上方のハンド１７がローダ１上のキャリア５及び
ＩＣ４を吸着してＸ方向に搬送し、ソケット１６に押し
込むとＩＣのリードがソケット１６内のコンタクトに接
触する。ハンド１７にもヒータ（図示せず）が内蔵され
ており、キャリア内のＩＣ４が設定温度に維持されるよ
うになっている。テスト終了後のＩＣ４はハンド１７に
よってアンローダ３上に移送され、アンローダ３側でデ
ータ毎に分類収納される。アンローダ３の基本構造は、
予熱プレート７がないだけでローダ１とほぼ同じであ
る。
され、上方のハンド１７がローダ１上のキャリア５及び
ＩＣ４を吸着してＸ方向に搬送し、ソケット１６に押し
込むとＩＣのリードがソケット１６内のコンタクトに接
触する。ハンド１７にもヒータ（図示せず）が内蔵され
ており、キャリア内のＩＣ４が設定温度に維持されるよ
うになっている。テスト終了後のＩＣ４はハンド１７に
よってアンローダ３上に移送され、アンローダ３側でデ
ータ毎に分類収納される。アンローダ３の基本構造は、
予熱プレート７がないだけでローダ１とほぼ同じであ
る。
【００１４】次に予熱プレート７の調整順序を説明する
と、まず可動プレート６の支軸９に予熱プレート７の孔
１３部分を嵌合してから切欠き１４を可動プレートの孔
１０に整合させて載置し、偏心ピン１１を切欠き１４及
び孔１０に挿入してねじ部１１ｄにナット１２を緩く螺
合する。次いでドライバ等を偏心ピンのヘッド溝１１ａ
に差し込んで回動すれば、偏心ピン１１のカム作用で予
熱プレート７は支軸９を支点にして回動する。偏心ピン
１１による予熱プレート７の回動角度θは小さいので高
精度での調整が可能であり、調整後は偏心ピン１１に螺
合しているナット１２を締め付ける。
と、まず可動プレート６の支軸９に予熱プレート７の孔
１３部分を嵌合してから切欠き１４を可動プレートの孔
１０に整合させて載置し、偏心ピン１１を切欠き１４及
び孔１０に挿入してねじ部１１ｄにナット１２を緩く螺
合する。次いでドライバ等を偏心ピンのヘッド溝１１ａ
に差し込んで回動すれば、偏心ピン１１のカム作用で予
熱プレート７は支軸９を支点にして回動する。偏心ピン
１１による予熱プレート７の回動角度θは小さいので高
精度での調整が可能であり、調整後は偏心ピン１１に螺
合しているナット１２を締め付ける。
【００１５】これで予熱プレート７は位置決めされる
が、可動プレート６の間欠駆動やキャリア５の載置によ
る衝撃が繰り返して予熱プレート７に加わり、さらにハ
ンドラー全体の振動もあるのでさらに４本のねじ８で両
プレート６，７を完全に固着するのが望ましい。予熱プ
レート７は偏心ピン１１とナット１２によりすでに固定
されているので、ねじ８の締め付けでずれることはな
い。予熱プレート７が正確に取り付けられることで、予
熱プレート上に載置されるキャリア５も高精度で位置決
めされることになる。この実施例では、予熱プレート７
に孔１３、可動プレート６に支軸９を設けているが、予
熱プレート７に支軸を立てて可動プレート６の孔に嵌合
してもよい。
が、可動プレート６の間欠駆動やキャリア５の載置によ
る衝撃が繰り返して予熱プレート７に加わり、さらにハ
ンドラー全体の振動もあるのでさらに４本のねじ８で両
プレート６，７を完全に固着するのが望ましい。予熱プ
レート７は偏心ピン１１とナット１２によりすでに固定
されているので、ねじ８の締め付けでずれることはな
い。予熱プレート７が正確に取り付けられることで、予
熱プレート上に載置されるキャリア５も高精度で位置決
めされることになる。この実施例では、予熱プレート７
に孔１３、可動プレート６に支軸９を設けているが、予
熱プレート７に支軸を立てて可動プレート６の孔に嵌合
してもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の調整機構
では偏心ピンのカム作用を利用しているため、予熱プレ
ートの取り付け角度を高精度でかつ簡単に微調整できる
効果がある。
では偏心ピンのカム作用を利用しているため、予熱プレ
ートの取り付け角度を高精度でかつ簡単に微調整できる
効果がある。
【図１】ＩＣハンドラーの簡略正面図である。
【図２】予熱プレート調整機構の分解斜視図である。
１ ローダ ４ ＩＣ ５ キャリア ６ 可動プレート ７ 予熱プレート ９ 支軸 １１ 偏心ピン １２ ナット １３ 孔 １４ 切欠き
Claims (1)
- 【請求項１】ＩＣ４をキャリアに収容してローダ１の予
熱部材７及び可動プレート６で加熱しながら測定部に搬
送するＩＣハンドラーにおいて、 前記可動プレート６に前記予熱部材７の一端を支点とし
て回動可能に配置する一方、可動プレート上に偏心ピン
１１を回動可能に立てて予熱部材７の他端をこの偏心ピ
ン１１に嵌合し、偏心ピン１１の回動で予熱部材７の角
度θが微調整されることを特徴とする予熱部材の調整機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001118901A JP2002267717A (ja) | 2001-03-12 | 2001-03-12 | Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001118901A JP2002267717A (ja) | 2001-03-12 | 2001-03-12 | Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267717A true JP2002267717A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18969207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001118901A Ceased JP2002267717A (ja) | 2001-03-12 | 2001-03-12 | Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267717A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100460479B1 (ko) * | 2002-09-24 | 2004-12-08 | 미래산업 주식회사 | 핸들러에 적용된 셔틀 |
| CN109638499A (zh) * | 2017-10-06 | 2019-04-16 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电连接装置 |
-
2001
- 2001-03-12 JP JP2001118901A patent/JP2002267717A/ja not_active Ceased
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100460479B1 (ko) * | 2002-09-24 | 2004-12-08 | 미래산업 주식회사 | 핸들러에 적용된 셔틀 |
| CN109638499A (zh) * | 2017-10-06 | 2019-04-16 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电连接装置 |
| KR20190039851A (ko) * | 2017-10-06 | 2019-04-16 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 전기적 접속장치 |
| KR102070289B1 (ko) * | 2017-10-06 | 2020-01-28 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 전기적 접속장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003195781A (ja) | 表示装置 | |
| JP2003059602A (ja) | 半導体装置用ソケット | |
| US7966891B2 (en) | Fatigue test apparatus for thin element of electronic device | |
| KR20070077365A (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치 | |
| KR20190006976A (ko) | 전기 부품용 소켓 | |
| JP2000304804A (ja) | バーンイン装置及びバーンイン方法 | |
| WO2007013186A1 (ja) | 水準器 | |
| JP2002267717A (ja) | Ｉｃハンドラーにおける予熱部材の調整機構 | |
| US7474531B2 (en) | Circuit board testing jig | |
| US20050194985A1 (en) | Compliance module, particularly for a manipulator for positioning a test head, and one such manipulator | |
| KR101748239B1 (ko) | 액추에이터, 핸들러 장치 및 시험 장치 | |
| JPH1031034A (ja) | 平行度調整器付きプローブカード | |
| JP2001033516A (ja) | エージング用ソケット、カセット及びそのエージング装置 | |
| JP3700505B2 (ja) | Ｉｃハンドラー | |
| JP2004101461A (ja) | 電子素子の動作特性測定装置 | |
| KR20110120572A (ko) | 반도체 칩 패키지 테스트 장치 | |
| JPH0922764A (ja) | ベアチップテスト用ソケット | |
| JP4043278B2 (ja) | 表示パネル検査用ソケットおよびこれに用いる調整機構 | |
| JPH0495846A (ja) | 光デバイスの特性テスター用チャック及びそのチャックを用いたテスト方法 | |
| JP2674781B2 (ja) | 治具接続装置と接続手段 | |
| JPH0943312A (ja) | Ｉｃハンドラのテスト部 | |
| KR20010019108A (ko) | 스마트 카드 테스트 장치 | |
| TWI708450B (zh) | 可拆卸式vcsel晶圓測試裝置 | |
| JP2000338164A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP5430386B2 (ja) | 撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041008 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20041102 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A045 | Written measure of dismissal of application |
Effective date: 20050329 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 |