JP2002261071A

JP2002261071A - 被処理物保持具および洗浄装置

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Publication number: JP2002261071A
Application number: JP2001059291A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Mori; 宏幸森; Takayuki Nibuya; 貴行丹生谷; Hideto Goto; 日出人後藤
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2001-03-02
Filing date: 2001-03-02
Publication date: 2002-09-13

Abstract

(57)【要約】【課題】洗浄後の乾燥時間を短縮することができ、ま
た、複数の洗浄液を用いて逐次洗浄するときに前の残存
洗浄液が後の洗浄液と混合する不具合のない被処理物保
持具および洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄装置１０は、縦型であり、導入部１
４より導入された洗浄液が洗浄処理容器１２の狭い空間
部内を上方に流れ、排出部１６より排出される。洗浄処
理容器１２の主面には、ウエハ２０を保持する保持具３
０ａ〜３０ｃが所定間隔離間して設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄液を用いて洗
浄する洗浄装置の被処理物保持具および洗浄装置に関
し、特に、ウエハ表面に付着した付着物を除去する洗浄
装置の直立して対向する２つの主面の少なくともいずれ
か一方に取り付けられ、1枚のウエハを２つの主面間に
保持する保持具に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体集積回路等を形成するに
は、半導体ウエハに対して成膜、酸化・拡散、エッチン
グ等の各種処理が繰り返し施される。この場合、これら
の処理を行う前に、必要に応じて洗浄処理が行われ、ウ
エハ表面に付着した有機物、金属不純物、パーティクル
あるいは自然酸化膜等が除去される。

【０００３】このような洗浄処理を行うための洗浄装置
として、従来、上方が開放された浸漬槽に満たされた薬
液に、複数のウエハをカセットに収容して浸漬し、ある
いは、カセットレスで浸漬するディップ方式の装置が用
いられている。

【０００４】また、ウエハを1枚単位で処理する枚葉式
の洗浄方式の装置として、1枚のウエハをチャックで真
空吸着して水平に配置し、所定の回転数でウエハを回転
させながら、高圧流体をウエハに吹き付けたり、ブラッ
シングする方式のものも用いられている。

【０００５】これらの従来の洗浄装置は、ウエハの中心
部と周縁部とで洗浄用の流体の流れが不均一となり、ま
た、ウエハの表裏面で流体の流れが不均一となり、ウエ
ハの全面にわたって効率的かつ確実な洗浄を行うことが
できないおそれがある。また、多くの洗浄装置では、大
気中への開放箇所を有する開放系で洗浄が行われるた
め、大気中の酸素によりウエハの金属配線等が酸化する
おそれもある。

【０００６】これら従来の洗浄装置の不具合を解消する
ために、本出願人は、ウエハの金属配線等の酸化を防止
し、また、洗浄液をウエハ表面に高速で流すことにより
洗浄を迅速かつ効率的に行うことを目的として、直立し
て対向する２つの主面の狭い間隙にウエハを配置して密
閉し、洗浄液を流通させるタイプの洗浄装置を開発し
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の本出
願人が開発した直立（縦型）タイプの洗浄装置をさらに
改良することを目的としてなされたものであり、洗浄後
の洗浄液の保持付着残量が少なく、これにより、洗浄後
の乾燥時間を短縮することができ、また、複数の洗浄液
を用いて逐次洗浄するときに前の残存洗浄液が後の洗浄
液と混合する不具合のない被処理物保持具および洗浄装
置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る被処理物保
持具は、洗浄液を用いて洗浄する洗浄装置の直立して対
向する２つの主面の少なくともいずれか一方に取り付け
られ、円盤状の1枚の被処理物を該２つの主面間に保持
する保持具であって、該被処理物の周縁部に所定間隔離
間して係合するように少なくと３つ以上設けられてなる
ことを特徴とする。

【０００９】ここで、洗浄装置は密閉型または開放型の
いずれのタイプのものであってもよいが、密閉型である
と、大気中の酸素を取り込んだ場合に生じうる基板の品
質不良発生のおそれがなく、また、環境面等においても
好適である。また、洗浄装置の直立して対向する２つの
主面の離間間隔が狭いと、洗浄液を高速で流すことでよ
り良好な洗浄効果をえることができて好適である。ま
た、保持具は、強固な構造のものを採用すれば、例え
ば、１つのみでも被処理物を保持することが可能である
が、この場合、保持具に付着保持される洗浄残液量が多
くなることを避けることができず、また、保持具の構造
が複雑となる。このため、本発明では、被処理物を簡易
に保持するのに必要最小限の数の保持具を用いるが、そ
の数として３箇所以上程度保持具を設ける必要がある。

【００１０】上記の発明の構成により、例えば、被処理
物の周縁部の略全周にわたって保持する形式の保持具を
用いるときに比べて、保持具、あるいは保持具と被処理
物の隙間に保持され残存する洗浄液の量を少なくするこ
とができるため、洗浄後の乾燥時間を短縮することがで
き、また、複数の洗浄液を用いて逐次洗浄するときに前
の残存洗浄液が後の洗浄液と混合する不具合がない。

【００１１】この場合、被処理物保持具は、少なくとも
１つの被処理保持具は他の被処理物保持具が取り付けら
れた側とは反対側の主面に他の被処理物保持具とは対向
して配置され、前記被処理物の表裏面にそれぞれ当接し
て該被処理物を挟持し、係合するように設けることがで
きる。

【００１２】また、被処理物保持具は、前記被処理物の
表裏面の延出方向でかつ表裏面に両側から当接する方向
に斜めに対向して該被処理物の周縁を支持するように設
けられ、該被処理物を挟持し、係合するように構成する
ことができる。

【００１３】このような被処理物保持具の形状は、取り
付ける主面に対して突起状に、または、取り付ける主面
から離間するにつれて拡大する円錐状に、若しくは、該
主面に対向して立設され、表裏面がともに凸状に形成す
ることができ、または、針状に形成することができる。
特に、円錐状や両面凸状に形成することにより、流線形
状の保持具の表面を流体が抵抗を受けることなく円滑に
流動することができ、また、針状の保持具の周囲を流体
が抵抗を受けることなく円滑に流動することができこの
場合、突起状等の各形状の部分から垂下する液滴案内部
をさらに設けると、突起状等の各形状の部分の表面に付
着し、残存した液滴が液滴案内部に流下した後、自重に
より落下し、あるいは引き続いて行われる乾燥工程にお
いて、乾燥用の流体によって吹き飛ばされる等して、効
率的に取り除かれるため、被対象物への液滴付着量をよ
り軽減することができる。

【００１４】また、本発明に係る被処理物保持具におい
て、前記被処理物は、ウエハであると、好適に本発明の
効果を奏することができる。

【００１５】なお、以上説明した本発明の保持具は、上
記いずれかの単一形態のものを複数個用いるだけでな
く、複数の発明の異なる形態のものを適宜複数個組み合
わせて用いることもできる。

【００１６】また、本発明の保持具の材料として、ポリ
クロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン
−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、4フ
ッ化トリメチルエタン、４フッ化エチレン６フッ化プロ
ピレン共重合体、エチレン４フッ化エチレン共重合体、
フッ化ビニリデン、フッ化ビニル等を用いると、濡れ性
が低いため、保持具に付着残存する洗浄液の量を軽減す
ることができるとともに、耐薬品性に優れるため、好適
である。

【００１７】また、本発明の洗浄装置は、上記の被処理
物保持具が設けられてなると、好適である。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明に係る被処理物保持具およ
び洗浄装置の好適な実施の形態（以下、本実施の形態例
という。）について、円盤状の被処理物としてのウエハ
の洗浄装置を例にとり、図を参照して、以下に説明す
る。

【００１９】まず、本実施の形態の洗浄装置の概略構成
について、図１、図２を参照して説明する。

【００２０】洗浄装置１０は、洗浄処理容器１２と、洗
浄処理容器１２の両端に接続された導入部１４および排
出部を１６有する。導入部１４は流体導入配管１８に接
続され、排出部１６は図示しない排出配管に接続されて
いる。

【００２１】洗浄装置１０は、縦型であり、図１、図２
中導入部１４より導入された洗浄液が洗浄装置１０の内
部を上方に流れ、排出部１６より排出配管に流出するよ
うに構成されている。なお、必要に応じて、洗浄装置１
０を横置き形とし、洗浄液を水平方向に流通させてもよ
く、あるいはまた、洗浄装置１０を斜め置き形とし、洗
浄液を斜め方向に流通させてもよい。。

【００２２】洗浄処理容器１２は、例えば、テフロン
（ポリ四ふっ化エチレンの登録商標）材料を用いて、図
２中Ｘ１−Ｘ２方向の厚みＴ１の薄い直方体状に形成さ
れている。厚みＴ１は、例えば、５ｍｍ程度である。洗
浄処理容器１２は、Ｘ１−Ｘ２方向に対向する２つの主
面１２ａ、１２ｂのいずれか一方が装置から着脱可能あ
るいは開閉可能に設けられており（図示せず。）、図示
しないウエハ搬送装置を用いて図２中Ｘ１側またはＸ２
側からウエハ２０を洗浄処理容器１２内に搬入可能に構
成されている。なお、この場合、洗浄されるウエハ２０
の寸法（径）は、例えば、８インチ（２００ｍｍ）であ
る。

【００２３】洗浄処理容器１２の主面１２ｂには、３つ
の被処理物保持具（以下、単に保持具という。）３０ａ
〜３０ｃがウエハ２０の周縁に相互に離間して取り付け
られている。このとき、３つの保持具３０ａ〜３０ｃ
は、例えば、保持具３０ｂを主面１２ｂに設けるととも
に保持具３０ａ、３０ｃを主面１２ａに配置して対向さ
せ、ウエハ２０の表裏面にそれぞれ当接してウエハ２０
を挟持し、係合するように構成してもよく、また、ウエ
ハ２０の表裏面の延出方向（図１の紙面方向）でかつ表
裏面に両側から当接する方向（図１の紙面垂直方向）に
斜めに対向してウエハ２０の周縁を支持するように設け
て、ウエハ２０を挟持し、係合するように構成してもよ
い。

【００２４】これにより、洗浄処理中ウエハ２０のがた
つきが防止される。なお、保持具の具体的形状等につい
ては、詳細を後述する。

【００２５】導入部１４は、図１中下方から上方に向け
て末広がりで紙面上下方向に扁平な形状に形成されてい
る。すなわち、導入部１４の入り口側（下側）１４ａの
寸法が、例えば、約１０ｍｍ程度の厚み(紙面上下方向
の厚み)で幅Ｗ２が約１５０ｍｍ程度あるのに対して、
約７０ｍｍ程度離間した出口側（上側）１４ｂの寸法
が、約５ｍｍ程度の厚みで幅Ｗ３が約２２０ｍｍ程度と
なっている。なお、導入部１４に洗浄流体を供給する導
入配管１８、１８は、図１中左右両側から導入されて中
央部で衝突するように流路が形成されているとともに、
中央部は、導入配管１８よりも径の大きなバッファ部１
８ａに形成されている。

【００２６】一方、排出部１６は、洗浄処理容器１２を
挟んで導入部１４と略対称形状に形成されている。

【００２７】上記のように構成した洗浄装置１０を用い
て洗浄液やリンス液によりウエハ１２を洗浄するとき、
図示しない搬送装置によって洗浄処理容器１２の内部に
搬入されたウエ２０は、その周縁が保持具３０ａ〜３０
ｃに係合し、保持される。

【００２８】洗浄時、ウエハ２０と主面１２ａ、１２ｂ
との間隔が小さいため、ウエハ２０の表面における洗浄
液等の流速を、例えば、５０ｃｍ／ｓ程度に設定するこ
とができ、この流速は、通常の洗浄装置の、例えば、
０．５ｃｍ／ｓ程度の値に比べるとはるかに高速であ
る。また、このとき、導入配管１８、バッファ部１８ａ
によって流速を略均一化された洗浄液は、導入部１４を
通過することによってさらに均一な流速に整えられ、ウ
エハ２０の幅方向（図１中Ｙ１−Ｙ２方向）で均一な流
速でウエハ２０の表面を上方向に向けて通過する。この
ため、洗浄装置１０は、ウエハ２０の付着物を確実にか
つ効率的に除去することができる。

【００２９】洗浄工程において、例えば、第１の洗浄液
による洗浄作業が終了すると、洗浄処理容器１２内部に
残留した洗浄液が、図示しない窒素配管から導入した窒
素によって排出部１６から導入部１４に向けてパージさ
れ、洗浄処理容器１２の下部に設けた図示しない排出管
から抜き取られる。ついで、第２の洗浄液を用いて同じ
手順で洗浄作業が繰り返される。さらに、リンス液によ
るリンス作業が行われた後、窒素によって排出部１６か
ら導入部１４に向けて洗浄液がパージされる。その後、
アルコール蒸気等を用いて乾燥作業が行われる。

【００３０】上記したように、洗浄作業の終了後、残存
洗浄液の抜き取り作業が行われるが、ウエハ２０と保持
具３０ａ〜３０ｃとの間の隙間あるいは保持具３０ａ〜
３０ｃ自体に、表面張力等によって洗浄液が不可避的に
残存し、乾燥作業において不具合を生じることになる。

【００３１】複数枚のウエハを垂直に保持するタイプの
従来の洗浄装置の場合、保持具は、剛性を確保するため
に数ｃｍ程度の大きさが必要である。しかしながら、１
枚のウエハ２０を保持する上記保持具３０ａ〜３０ｃに
よれば、数ｍｍ程度の大きさがあれば十分である。した
がって、本発明によれば、ウエハ２０と保持具３０ａ〜
３０ｃとの接触部分（係合部分）は僅かであるため、ウ
エハ２０と保持具３０ａ〜３０ｃの間に保持され残存す
る洗浄液の量もわずかである。

【００３２】このため、洗浄後のウエハ２０の乾燥作業
を能率よく行うことができる。また、第１の洗浄液が残
存して第２の洗浄液のコンタミネーションを生じること
も少ない。

【００３３】例えば、目視観察による乾燥時間で比較す
ると、上記した従来の保持具の場合約５ｍｉｎ以上要す
るのに対して、保持具３０ａ〜３０ｃの場合は約２ｍｉ
ｎ以内で済む。

【００３４】以下に説明する本実施の形態の各例の保持
具も同様に数ｍｍ程度の大きさがあれば十分である。こ
れら本発明の保持具は、例えば、ポリクロロトリフルオ
ロエチレン等の材料で形成すると、濡れ性が低いため、
保持具に付着残存する洗浄液の量を軽減することができ
るとともに、耐薬品性に優れる。

【００３５】まず、本実施の形態の第１の例に係る保持
具３４ａ〜３４ｃについて、図３、図４を参照して説明
する。なお、保持具３４ａ〜３４ｃをはじめとする以下
の各実施例において、保持具を取り付ける洗浄装置およ
び洗浄方法は、上記保持具３０ａ〜３４ｃの場合と同様
であるため、重複する説明を省略する。

【００３６】図３、図４に示す本実施の形態の第１の例
に係る３つの保持具は、図１の保持具３０ａ〜３０ｃと
同様に、ウエハ２０の最下点に対応する位置およびウエ
ハ２０の両側下部の３箇所に設けられている。

【００３７】保持具３４ａ〜３４ｃは、それぞれ、プー
リ形状の部材を周回溝の箇所で半割りにしたような円錐
状の先端部３６と、先端部３６の頂部を主面１２ａまた
は１２ｂに接続するように主面１２ａまたは１２ｂから
突設した軸部３８とからなり、先端部３６の斜面でウエ
ハ２０の周縁に係合している。

【００３８】保持具３４ａ、３４ｃは主面１２ａに設け
られ、一方、保持具３４ｂは主面１２ｂに設けられてい
る。

【００３９】したがって、保持具３４ａ〜３４ｃは、図
３に示すように、ウエハ２０の表裏面の延出方向、ウエ
ハ２０の中心点に向けてウエハ２０を支持するととも
に、図４に示すように、ウエハ２０の表裏面に対向して
斜め方向に当接して支持して、ウエハ２０が各方向にが
たつかないようにするとともに、ウエハ２０を２つの主
面１２ａ、１２ｂから離間した状態で挟持する構成とな
っている。この保持具は、図示したような円錐形状だけ
でなく、円錐面若しくは底面が膨らんだ円錐または凸レ
ンズのような両側が膨らんだ形状でもよい。なお、図
３、図４中、白抜き矢印は、ウエハ２０の自重あるいは
ウエハ２０にかかる外力に対して作用してウエハ２０を
支持する抗力（反力）の方向を概略示したものであり、
以下の各図においても同様である。

【００４０】また、上記した本実施の形態の第１の例の
変形例として、図５に示すように、保持具３４ａ、３４
ｃに代えて、突起状の保持具３５ａ、３５ｃを保持具３
４ｂと同様に主面１２ｂ側にウエハ２０の周縁を支持す
るように設けてもよい。

【００４１】つぎに、本実施の形態の第２の例に係る保
持具３８ａ〜３８ｃについて、図６、図７を参照して説
明する。

【００４２】図６、図７に示す３つの保持具３８ａ〜３
８ｃは、図１の保持具３０ａ〜３０ｃと同様に、ウエハ
２０の最下点に対応する位置およびウエハ２０の両側下
部の３箇所に設けられている。

【００４３】保持具３８ａ〜３８ｃは、主面１２ｂから
ウエハ２０の中心方向に向けてウエハ２０の周縁を支持
するように斜めに突設された針部４０と、主面１２ｂか
ら突設された凸部４２とで構成されている。

【００４４】したがって、ウエハ２０は、保持具３８ａ
〜３８ｃのそれぞれの針部４０および凸部４２の間に、
主面１２ｂから離間した状態でわずかに点接触して挟持
されている。

【００４５】また、上記した本実施の形態の第２の例の
変形例として、図８に示すように、保持具３８ａ、３８
ｃに代えて、保持具３８ｂと同じ針状の保持具３９ａ、
３９ｃをウエハ２０の面に対して外向きに反るように設
けることにより、保持具３８ｂが支持する面（図９中Ａ
１）とは反対側のウエハ２０の面（図９中Ａ２）からウ
エハ２０を支持して、挟持する構成としてもよい。この
場合、保持具３８ａ、３９ａ、３９ｃのいずれについて
も前記の凸部４２は不要である（図９参照）。

【００４６】つぎに、本実施の形態の第３の例に係る保
持具４４ａ〜４４ｇについて、図１０〜図１４を参照し
て説明する。

【００４７】図１０〜図１４に示す保持具４４ａ〜４４
ｇは、以上説明した各形状の保持具と同様の形状のもの
を組み合わせて用いたものである。

【００４８】この場合、より確実にウエハ２０を保持す
るために、図１０に示すように、保持具４４ａ〜４４ｇ
は合計７箇所設けられている。

【００４９】すなわち、ウエハ２０の最上点を外れた両
側上部の周縁を保持する保持具４４ａ、４４ｇとして、
図１１に示す突起状のものを用い、ウエハ２０の水平方
向直径部の主面１２ｂ側に向いた面の両縁に当接して保
持する保持具４４ｂ、４４ｆとして、図１２に示す突起
状のものを用い、ウエハ２０の最下点を外れた両側下部
の周縁を保持する保持具４４ｃ、４４ｅとして、図１３
に示す円錐状のものを用い、ウエハ２０の最下点の主面
１２ｂ側に向いた面の周縁に当接して保持する保持具４
４ｄとして、図１４に示す突起状のものを用いている。
ここで、保持具４４ｃ、４４ｅおよび保持具４４ｄに
は、さらに垂下する円錐状の液滴案内部４６が設けられ
ている。

【００５０】上記各保持具は、保持具４４ｂ〜４４ｆが
主面１２ｂに取り付けられるとともに、保持具４４ａ、
４４ｇのみが主面１２ａに取り付けられている。

【００５１】この場合、ウエハ２０を洗浄処理容器１２
に収容して洗浄し、洗浄後は洗浄処理容器１２から取り
出すために、主面１２ｂは開閉可能に設けられている。
そして、ウエハ２０を洗浄処理容器１２に収容すると
き、主面１２ｂを開き、ウエハ２０を主面１２ｂに取り
付けられた保持具４４ｂ〜４４ｆに係合した状態で支え
ながら、主面１２ｂを主面１２ａに閉じ合わせることに
より、保持具４４ａ〜４４ｇによってウエハ２０が確実
に保持される。

【００５２】ウエハ２０を洗浄するとき、保持具４４ｃ
〜４４ｅの表面に付着し、残存した液滴は液滴案内部４
６に流下して、効率的に取り除かれる。

【００５３】なお、本発明の保持具は、以上説明した各
実施例に限定することなく、例えば、図１５、図１６に
示す保持具４８ａ〜４８ｃのように、周回溝３２を有す
るプーリ状の形状のものを主面１２ｂから突設してもよ
い。

【００５４】また、本発明の保持具は、洗浄装置のみで
なく、例えば、乾燥処理等の他の処理を行う処理装置に
設けることもできる。

【００５５】

【発明の効果】本発明に係る被処理物保持具および洗浄
装置によれば、洗浄液を用いて洗浄する洗浄装置の直立
して対向する２つの主面の少なくともいずれか一方に取
り付けられ、円盤状の1枚の被処理物を２つの主面間に
保持する保持具であって、被処理物の周縁部に所定間隔
離間して係合するように少なくと３つ以上設けられてな
るため、保持具、あるいは保持具と被処理物の隙間に保
持され残存する洗浄液の量を少なくすることができ、こ
の結果、洗浄後の乾燥時間を短縮することができる。ま
た、複数の洗浄液を用いて逐次洗浄するときに前の残存
洗浄液が後の洗浄液と混合する不具合がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の洗浄装置の正面図である。

【図２】図１の洗浄装置の部分側面断面図である。

【図３】本実施の形態の第１の例の保持具およびウエハ
の部分斜視図である。

【図４】図３のウエハおよび保持具の部分側面図であ
る。

【図５】本実施の形態の第１の例の変形例を示す図であ
る。

【図６】本実施の形態の第２の例の保持具およびウエハ
の部分斜視図である。

【図７】図６のウエハおよび保持具の部分側面図であ
る。

【図８】本実施の形態の第２の例の変形例の保持具およ
びウエハの部分斜視図である。

【図９】図８のウエハおよび保持具の部分側面図であ
る。

【図１０】本実施の形態の第３の例の保持具を取り付け
る洗浄装置の正面図である。

【図１１】本実施の形態の第３の例の保持具の１つの形
態を説明するための図１０のウエハおよび保持具の部分
側面図である。

【図１２】本実施の形態の第３の例の保持具の他の１つ
の形態を説明するための図１０のウエハおよび保持具の
部分側面図である。

【図１３】本実施の形態の第３の例の保持具の他の１つ
の形態を説明するための図１０のウエハおよび保持具の
部分側面図である。

【図１４】本実施の形態の第３の例の保持具の他の１つ
の形態を説明するための図１０のウエハおよび保持具の
部分側面図である。

【図１５】本実施の形態の各例とは異なる形態の保持具
を説明するための保持具およびウエハの部分斜視図であ
る。

【図１６】図１５の保持具およびウエハの部分側面図で
ある。

【符号の説明】

１０洗浄装置１２洗浄処理容器１２ａ、１２ｂ主面１４導入部１６排出部２０ウエハ３０ａ〜３０ｃ、３４ａ〜３４ｃ、３５ａ、３５ｃ、３
８ａ〜３８ｃ、３９ａ、３９ｃ、４４ａ〜４４ｇ保持
具３２周回溝３６先端部３８軸部４０針部４２凸部４６液滴案内部

フロントページの続き (72)発明者後藤日出人東京都港区赤坂五丁目３番６号ＴＢＳ放送センター東京エレクトロン株式会社内Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AB47 AB53 BB02 BB92 CC11 5F043 AA01 EE35

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】洗浄液を用いて洗浄する洗浄装置の直立
して対向する２つの主面の少なくともいずれか一方に取
り付けられ、円盤状の1枚の被処理物を該２つの主面間
に保持する保持具であって、該被処理物の周縁部に所定間隔離間して係合するように
少なくとも３つ以上設けられてなることを特徴とする被
処理物保持具。
【請求項２】少なくとも１つは他が取り付けられた側
とは反対側の主面に他とは対向して配置され、前記被処
理物の表裏面にそれぞれ当接して該被処理物を挟持し、
係合することを特徴とする請求項１記載の被処理物保持
具。
【請求項３】前記被処理物の表裏面の延出方向でかつ
表裏面に両側から当接する方向に斜めに対向して該被処
理物の周縁を支持するように設けられ、該被処理物を挟
持し、係合することを特徴とする請求項１記載の被処理
物保持具。
【請求項４】取り付ける主面に対して突起状に設けら
れてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項
に記載の被処理物保持具。
【請求項５】取り付ける主面に対して該主面から離間
するにつれて拡大する円錐状に設けられ、または、該主
面に対向して立設され、表裏面がともに凸状に形成され
てなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に
記載の被処理物保持具。
【請求項６】取り付ける主面に対して針状に設けられ
てなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に
記載の被処理物保持具。
【請求項７】垂下する液滴案内部がさらに設けられて
なることを特徴とする請求項４〜６のいずれか1項に記
載の被処理物保持具。
【請求項８】前記被処理物は、ウエハであることを特
徴とする請求項１〜７のいずれか1項に記載の被処理物
保持具。
【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載の被
処理物保持具が設けられてなることを特徴とする洗浄装
置。