JP2002259503A

JP2002259503A - 生産管理システム、生産管理方法、その生産管理方法を用いた半導体装置の製造方法、生産管理情報が記録された記録媒体、生産管理プログラム、およびその生産管理プログラムが記録された記録媒体

Info

Publication number: JP2002259503A
Application number: JP2001060527A
Authority: JP
Inventors: Miyoshi Yoshida; 美義吉田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-03-05
Filing date: 2001-03-05
Publication date: 2002-09-13
Also published as: US20020123811A1

Abstract

(57)【要約】【課題】多品種製品の製造ラインにおいて生産管理を
行う場合に、製品ごとに行うべき作業の種類、条件、お
よび作業結果を、それらの情報が複雑かつ多数である場
合でも柔軟に取り扱い、効率よく管理することができる
ようにする。【解決手段】製造フローデータ６、作業条件データ
８、製品別条件割当データ１０の３種類のデータを定義
して、製法情報１をそれらのデータフォーマットにした
がって作成、登録しておき、それらのデータを組み合わ
せて作業記録情報２を生成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製品の製法と製品
製造時の作業記録とをコンピュータにより管理する生産
管理システム、生産管理方法、生産管理情報が記録され
たコンピュータ読み取り可能な記録媒体、生産管理プロ
グラムおよびそのプログラムが記録されたコンピュータ
読み取り可能な記録媒体に関する。詳しくは、製法情報
や作業記録を管理する際のデータ構造に特徴がある生産
管理システムなどに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、需要者のニーズの多様化に伴い、
多種類の製品を同じ製造ラインで製造するケースが増え
ている。このような製造ラインでは、製品ごとに行うべ
き作業の種類、条件、および作業結果を管理しなければ
ならないが、半導体装置のように多段階の作業工程を経
て製造される製品の場合には、その生産管理は非常に煩
雑なものとなる。

【０００３】この問題の解決策としては、例えば特開平
５−２０４９３４号や特開平６−２６７８０５号に、コ
ンピュータを用いた生産管理装置が開示されている。こ
れらのシステムは、行うべき作業の種類、使用装置およ
び作業条件をデータベースとして管理するものである。
また、特開平７−２１２７１号には、製造条件を管理す
るとともに作業実績を収集し、過去の作業実績を製造条
件の指示画面に表示することによって条件適正化の支援
を行うシステムが開示されている。さらに、特開２００
０−１８２９１７号には、製造条件を管理するとともに
製造された製品の測定結果を管理して、この測定結果を
利用して製造条件を再生成するシステムが開示されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記特開平７−２１２
７１号や特開２０００−１８２９１７号に開示されてい
るシステムのように、単に製造条件や製造結果を管理す
るだけではなく、作業者の判断あるいは製造結果に応じ
て、製造条件を書き換えるシステムの場合には、製造条
件の書き換えが簡単に行えることが必要である。製造条
件を変更する度に作業が中断されたり、システムが停止
したりするようでは、実用に耐えられないからである。

【０００５】しかし、前記特開２０００−１８２９１７
号記載のシステムでは、製造条件を管理する際のデータ
構造は、同号明細書に示されているように、「製造の順
番に製造工程名と測定の工程名を格納するデータ領域」
と、「工程名ごとに単一あるいは複数の製造条件を格納
するデータ領域」とからなるデータ構造となっている。
このように工程名と各工程の作業条件とをまとめて１つ
のデータとして管理する方法では、図１３に示すよう
に、製造工程Ａが、製品アの製造にも製品イの製造にも
必要な工程である場合に、製造条件ａ１、ａ２を表すデ
ータは重複して登録、管理されることになる。この場
合、製造条件ａ１の内容を変更するには、重複して登録
されているすべてのデータを変更しなければならず、そ
の作業負担は大きい。さらに、条件の変更が工程数の変
化を伴う場合には、データフォーマットそのものを変更
しなければならないが、これを行うためには、場合によ
ってはシステムを停止させなければならず、システムの
運用上好ましくない。

【０００６】本発明は、複数の製品について、製品ごと
に行うべき作業の種類、条件、および作業結果を、それ
らの情報が複雑かつ多数である場合でも柔軟に取り扱
い、効率よく管理することができる生産管理システムを
提供することを目的とする。

【０００７】また、本発明のもう１つの目的は、作業中
に何らかの原因で作業工程の追加が必要になった場合
に、柔軟に対応できる生産管理システムを提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の生産管理システ
ムは、製品の製法と製品製造時の作業記録とをコンピュ
ータにより管理する生産管理システムであって、製品を
製造するために行うべき作業工程の種類とその順序を示
す製造フローデータの集合からなる第１の製法情報と、
各作業工程を行う際の作業条件を示す作業条件データの
集合からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに各製品
の製造に適した作業条件を割り当てる製品別条件割当デ
ータの集合からなる第３の製法情報とが、互いに関連づ
けられて登録された製法管理データベースと、入力装置
から与えられた製品情報に基づいて、前記第１の製法情
報の中から、当該製品情報が示す製品に関する製造フロ
ーデータを選択取得する製造フローデータ取得手段と、
前記第３の製法情報の中から、取得した製造フローデー
タに含まれる作業工程と同じ作業工程を含み、かつ前記
製品情報と同じ製品情報を含むような製品別条件割当デ
ータを選択取得する製品別条件割当データ取得手段と、
取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第２の
製法情報の中から、当該製品別条件割当データにより割
り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択取得
する作業条件データ取得手段と、取得した製造フローデ
ータ、製品別条件割当データおよび作業条件データの所
定のデータ項目を組み合わせることにより作業記録デー
タを生成する作業記録データ生成手段と、生成された作
業記録データの集合からなる作業記録情報が登録された
作業記録管理データベースとを備えてなることを特徴と
する生産管理システムである。

【０００９】本発明の生産管理システムにより管理され
る情報は、大きくわけて２種類ある。１つは生産管理さ
れる製品の「製法」であり、もう１つは生産ラインで実
際に行われた作業の「作業記録」である。本明細書で
は、これらの情報を明確に区別するために、「製法管理
データベース」、「作業記録管理データベース」の２つ
のデータベースを定義しているが、これはあくまでも情
報を分類するための概念的な定義であり、必ずしも記憶
装置やデータベースシステムが個別に存在しなければな
らないことを意味するものではない。

【００１０】「製法」とは、文字通り製品の製造方法の
ことであるが、本発明の生産管理システムでは、この
「製法」を、製造フローデータの集合からなる第１の製
法情報、作業条件データの集合からなる第２の製法情
報、および製品別条件割当データの集合からなる第３の
製法情報、の３種類の情報として管理する。

【００１１】一般に、生産ラインでは、一製品を製造す
るために行うべき作業を、ある作業まとまりごとに管理
するのが普通であり、この作業まとまりのことを作業工
程と呼ぶ。すなわち、製品が出来上がるまでの一連の作
業の流れ（以下、「製造フロー」とよぶ。）は、複数の
作業工程と、各作業工程の順序として管理することがで
きる。そこで、本発明の生産管理システムでは、１つの
作業工程と、その作業工程が行われる順序とを１対１に
対応付けた製造フローデータを定義する。これにより製
造フローは複数の製造フローデータの組として管理する
ことができる。第１の製法情報は、このような製造フロ
ーデータの集合からなるものである。

【００１２】次に、ある１つの作業工程に着目した場
合、その作業を行うにあたり予め作業者に指示しなけれ
ばならない作業条件がある。例えば、温度、時間などの
処理条件、あるいは仕上がり寸法といった規格である。
一般に、各工程において設定すべき作業条件は１つとは
限らない。また同じ作業条件を異なる工程でも用いる場
合もある。そこで、本発明の生産管理システムでは、
「温度」などの設定項目と、「３５℃」といった設定内
容とを１対１に対応付けた作業条件データを定義する。
これにより、作業条件を製造フローと切り離して管理す
ることが可能になる。第２の製法情報は、このような作
業条件データの集合からなるものである。

【００１３】ここで、製品の多種多様化が進む中では、
作業条件と作業工程との対応付けは一定ではないという
点に留意すべきである。例えば、製品の機能は全く同じ
であるが、高性能版と、少し性能を落とした廉価版とが
あるという場合は多い。このような場合、当然のことな
がら、製造フローは同じであるが、各作業工程における
作業条件は異なるということが考えられる。そこで、本
発明の生産管理システムでは、製品種別ごとに作業条件
を使い分けることができるように、作業工程ごとに、製
品種別と、その種別の製品の製造に適した作業条件を示
す作業条件データとを対応付けた製品別条件割当データ
を定義する。これにより、多種多様な作業条件の管理も
容易になり、またその使い分けも自在になる。第３の製
法情報は、このような製品別条件割当データの集合から
なるものである。

【００１４】一方、「作業記録」とは、作業日誌に記録
するような情報をいう。一般に作業日誌には、実際に行
った作業の記録のみならず、その作業を行うにあたり設
計者あるいは作業責任者から受けた指示の内容も一緒に
記録しておくことが多い。つまり、作業の成否のように
作業後に発生した情報のみならず、作業前に与えられた
指示情報（適用すべき作業条件など）も、「作業記録」
とよぶ。「作業記録」は、「製法」と異なり、製品が製
造される度に増加、蓄積される情報である。

【００１５】すなわち、本発明の生産管理システムの特
徴は、「製造フローデータ」、「作業条件データ」、
「製品別条件割当データ」の３つのデータを定義して、
各種生産管理情報をそれらのデータフォーマットにした
がって管理し、必要に応じて組み合わせて使用すること
にある。必要最小限の情報を重複なく管理できるので、
記憶領域を無駄に消費することもなく、また組み合わせ
の数に比例して多種多様な製造フローを管理することが
できる。

【００１６】ここで、「作業記録」は、前述のように作
業前に指示された条件などを記録しておいて、それを確
認しながら作業を行い、作業後に作業の成否や製品の出
来具合などを追加記録する場合が多い。このため、前記
生産管理システムには、前記作業記録情報の中から所望
の作業記録データを選択的に表示装置に表示する作業記
録表示手段と、入力装置から与えられた作業結果に関す
る情報を、前記作業記録情報に追加して前記作業記録管
理データベースを更新する作業記録更新手段とをさらに
備えることが望ましい。これにより、各作業工程の担当
者は、作業条件を画面上に呼び出して確認し、作業終了
後に情報を追加することが可能となる。

【００１７】また、製造フローデータ、製品別条件割当
データ、作業条件データの構造としては、具体的には、
次のような構造が考えられる。

【００１８】前記製造フローデータは、例えば、当該製
造フローデータにより構成される製造フローを識別する
ための製造フロー識別子と、製品を識別するための製品
識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子
と、当該作業工程の順序とをデータ項目として含む構造
とすることができる。「識別子」は、名称をそのまま識
別子として用いてもよいし、名称が長い場合などには、
固定長の識別記号を割り当ててもよい。

【００１９】また、前記製品別条件割当データは、例え
ば、作業工程を識別するための作業工程識別子と、製品
の分類を示す製品種別と、作業条件を識別するための作
業条件識別子とをデータ項目として含む構造とすること
ができる。

【００２０】また、前記作業条件データは、例えば当該
作業条件データを識別するための作業条件識別子と、設
定項目と、設定内容とをデータ項目として含む構造とす
ることができる。

【００２１】この際、前記作業条件データの設定項目お
よび設定内容は、作業対象に施す処理の条件を管理する
のに用いてもよいし、作業対象に要求される仕上がり規
格を管理するのに用いてもよいし、いうまでもなく両方
の目的に使用してもよい。

【００２２】一方、製法に関する情報のみならず、作業
記録情報についても、その内容を適切に分類して登録、
管理することにより、管理負担を軽減することができ
る。具体的には、作業記録情報を、製品ごとの作業結果
を示す製品別記録データの集合からなる第１の作業記録
情報と、作業工程ごとの作業結果を示す工程別記録デー
タの集合からなる第２の作業記録情報と、作業において
適用した作業条件を示す適用条件データの集合からなる
第３の作業記録情報からなる情報として管理する。

【００２３】この際、製品別記録データ、工程別記録デ
ータの具体的な構造としては、次のような構造が考えら
れる。

【００２４】前記製品別記録データは、例えば、製品の
製造命令日と、製品の製造開始日と、製品の製造完了日
と、製造された製品の良／不良とをデータ項目として含
む構造とすることができる。

【００２５】また、前記工程別記録データは、例えば、
作業工程の開始時刻と、作業工程の完了時刻と、作業担
当者と行った作業の成否とをデータ項目として含む構造
とすることができる。

【００２６】適用条件データは、製法情報の作業条件デ
ータと類似の構造とすることが望ましい。

【００２７】次に、作業中に何らかの原因で作業工程の
追加が必要になった場合に、柔軟に対応できるようにす
る手段について説明する。このためには、前記生産管理
システムにおいて、前記製造フローデータの構造を、例
えば、当該製造フローデータにより構成される製造フロ
ーを識別するための第１の製造フロー識別子と、製品を
識別するための製品識別子と、作業工程を識別するため
の作業工程識別子と、当該作業工程の順序と、所定の場
合に、当該作業工程の後に挿入する作業工程を示す挿入
用製造フローを指定するための第２の製造フロー識別子
とをデータ項目として含む構造とする。

【００２８】すなわち、問題が発生した場合に行うべき
作業を示す製造フローを予め登録しておき、必要な場合
にそれを参照できるようにする。参照の方法としては、
１つは挿入用製造フローの名称などを画面上に表示し、
作業者がそれを見て必要な措置をとる方法が考えられ
る。しかし、望ましくは、生産管理システムに、前記所
定の場合に、前記第２の製造フロー識別子により指定さ
れた製造フローに係る製造フローデータを選択取得する
挿入用製造フローデータ取得手段をさらに備え、前記製
品別条件割当データ取得手段、前記作業条件データ取得
手段および前記作業記録データ生成手段により、選択取
得した挿入用製造フローデータに含まれる作業工程に関
する作業記録データを生成して、前記作業記録管理デー
タベースに追加登録するのがよい。このようにすれば、
作業者は、通常の場合と同じく、生成された作業記録デ
ータを参照して作業を行えばよいので、問題が発生して
も特にあわてることなく必要な措置をとることができ
る。

【００２９】なお、挿入用製造フローは製造フローの一
種であり、使用目的は若干異なるもののデータ構造とし
ては製造フローと異なるところはない。このため、前記
製品別条件割当データ取得手段、作業条件データ取得手
段および作業記録データ生成手段は、挿入用製造フロー
を一般の製造フロー情報と同様に取り扱うことができ
る。

【００３０】次に、本発明の生産管理方法について説明
する。なお、本発明の半導体装置の製造方法は、以下に
説明する本発明の生産管理方法により生産管理を行って
半導体装置を製造する方法である。本発明の生産管理方
法は、製品の製法と製品製造時の作業記録とをコンピュ
ータにより管理する生産管理方法であって、製品を製造
するために行うべき作業工程の種類とその順序を示す製
造フローデータの集合からなる第１の製法情報と、各作
業工程を行う際の作業条件を示す作業条件データの集合
からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに各製品の製
造に適した作業条件を割り当てる製品別条件割当データ
の集合からなる第３の製法情報とを、互いを関連付け
て、製法管理データベースに予め登録し、入力装置から
与えられた製品情報に基づいて、前記第１の製法情報の
中から、当該製品情報が示す製品に関する製造フローデ
ータを選択取得し、前記第３の製法情報の中から、取得
した製造フローデータに含まれる作業工程と同じ作業工
程を含み、かつ前記製品情報と同じ製品情報を含むよう
な製品別条件割当データを選択取得し、取得した製品別
条件割当データに基づいて、前記第２の製法情報の中か
ら、当該製品別条件割当データにより割り当てられた作
業条件を示す作業条件データを選択取得し、取得した製
造フローデータ、製品別条件割当データおよび作業条件
データの所定のデータ項目を組み合わせることにより作
業記録データを生成し、生成した作業記録データの集合
からなる作業記録情報を作業記録管理データベースに登
録し、管理することを特徴とする生産管理方法である。

【００３１】さらに望ましくは、前記作業記録情報の中
から所望の作業記録データを選択的に表示装置に表示
し、表示内容に応じて入力装置から与えられた作業結果
に関する情報を、前記作業記録情報に追加して前記作業
記録管理データベースを更新することによって、前記作
業記録を管理するのがよい。

【００３２】この際、前記製造フローデータの構造は、
例えば当該製造フローデータにより構成される製造フロ
ーを識別するための製造フロー識別子と、製品を識別す
るための製品識別子と、作業工程を識別するための作業
工程識別子と、当該作業工程の順序とをデータ項目とし
て含む構造とする。

【００３３】また、前記製品別条件割当データの構造
は、例えば作業工程を識別するための作業工程識別子
と、製品の分類を示す製品種別と、作業条件を識別する
ための作業条件識別子とをデータ項目として含む構造と
する。

【００３４】また、前記作業条件データの構造は、例え
ば当該作業条件データを識別するための作業条件識別子
と、設定項目と、設定内容とをデータ項目として含む構
造とする。

【００３５】この際、前記作業条件データの設定項目お
よび設定内容により、作業対象に施す処理の条件を管理
してもよいし、作業対象に要求される仕上がり規格を管
理してもよいし、両方を管理してもよい。

【００３６】また、前記作業記録管理データベースに登
録された作業記録情報は、製品ごとの作業結果を示す製
品別記録データの集合からなる第１の作業記録情報と、
作業工程ごとの作業結果を示す工程別記録データの集合
からなる第２の作業記録情報と、作業において適用した
作業条件を示す適用条件データの集合からなる第３の作
業記録情報からなる情報として管理することが望まし
い。

【００３７】前記製品別記録データの構造は、例えば製
品の製造命令日と、製品の製造開始日と、製品の製造完
了日と、製造された製品の良／不良とをデータ項目とし
て含む構造とする。

【００３８】また、前記工程別記録データの構造は、作
業工程の開始時刻と、作業工程の完了時刻と、作業担当
者と、行った作業の成否とをデータ項目として含む構造
とする。

【００３９】あるいは、前記製造フローデータの構造
は、当該製造フローデータにより構成される製造フロー
を識別するための第１の製造フロー識別子と、製品を識
別するための製品識別子と、作業工程を識別するための
作業工程識別子と、当該作業工程の順序と、所定の場合
に、当該作業工程の後に挿入する作業工程を示す挿入用
製造フローを指定するための第２の製造フロー識別子と
をデータ項目として含む構造としてもよい。

【００４０】その場合には、前記所定の場合に、前記第
２の製造フロー識別子により指定された製造フローに係
る製造フローデータを選択取得し、前記第３の製法情報
の中から、取得した製造フローデータに含まれる作業工
程と同じ作業工程を含み、かつ前記製品情報と同じ製品
情報を含むような製品別条件割当データを選択取得し、
取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第２の
製法情報の中から、当該製品別条件割当データにより割
り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択取得
し、取得した製造フローデータ、製品別条件割当データ
および作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせ
ることにより、選択取得した挿入用製造フローデータに
含まれる作業工程に関する作業記録データを生成し、生
成した作業記録データを、前記作業記録管理データベー
スに追加登録することにより、作業記録情報を更新、管
理することが望ましい。

【００４１】次に、本発明の生産管理情報が記録された
コンピュータ読み取り可能な記録媒体について説明す
る。本発明の第１の生産管理情報が記録されたコンピュ
ータ読み取り可能な記録媒体は、製品を製造するために
行うべき作業工程の種類とその順序を示すデータであっ
て、当該データにより構成される製造フローを識別する
ための製造フロー識別子と、製品を識別するための製品
識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子
と、当該作業工程の順序とをデータ項目として含む構造
を有する製造フローデータと、各作業工程を行う際の作
業条件を示すデータであって、当該データを識別するた
めの作業条件識別子と、設定項目と、設定内容とをデー
タ項目として含む構造を有する作業条件データと、作業
工程ごとに各製品の製造に適した作業条件を割り当てる
データであって、作業工程を識別するための作業工程識
別子と、製品の分類を示す製品種別と、作業条件を識別
するための作業条件識別子とをデータ項目として含む構
造を有する製品別条件割当データと、が互いに関連づけ
られて記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体
である。

【００４２】また、本発明の第２の生産管理情報が記録
されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、製品ご
との作業結果を示すデータであって、製品の製造命令
日、製造開始日、製造完了日および製品の良／不良をデ
ータ項目として含む構造を有する製品別記録データと、
作業工程ごとの作業結果を示すデータであって、作業工
程の開始時刻、完了時刻、作業担当者および作業の成否
をデータ項目として含む構造を有する工程別記録データ
と、作業において適用した作業条件を示すデータであっ
て、当該作業条件データを識別するための作業条件識別
子と、設定項目と、設定内容とをデータ項目として含む
構造を有する適用条件データとが記録されたコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体である。

【００４３】次に、本発明の生産管理プログラムおよび
そのプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能
な記録媒体について説明する。

【００４４】本発明の第１の生産管理プログラムは、製
品の製法と製品製造時の作業記録とを管理する生産管理
プログラムであって、製品を製造するために行うべき作
業工程の種類とその順序を示す製造フローデータの集合
からなる第１の製法情報と、各作業工程を行う際の作業
条件を示す作業条件データの集合からなる第２の製法情
報と、作業工程ごとに各製品の製造に適した作業条件を
割り当てる製品別条件割当データの集合からなる第３の
製法情報とが、互いに関連づけられて登録された製法管
理データベースにアクセスする機能と、入力装置から与
えられた製品情報に基づいて、前記第１の製法情報の中
から、当該製品情報が示す製品に関する製造フローデー
タを選択取得する機能と、前記第３の製法情報の中か
ら、取得した製造フローデータに含まれる作業工程と同
じ作業工程を含み、かつ前記製品情報と同じ製品情報を
含むような製品別条件割当データを選択取得する機能
と、取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第
２の製法情報の中から、当該製品別条件割当データによ
り割り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択
取得する機能と、取得した製造フローデータ、製品別条
件割当データおよび作業条件データの所定のデータ項目
を組み合わせることにより作業記録データを生成する機
能とをコンピュータに実現させることを特徴とするプロ
グラムである。

【００４５】また、本発明の第１の生産管理プログラム
が記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、
このプログラムが記録されたCD-ROMその他の記録媒体を
いう。

【００４６】一方、本発明の第２の生産管理プログラム
は、製品の製法と製品製造時の作業記録とを管理する生
産管理プログラムであって、製品を製造するために行う
べき作業工程の種類とその順序を示す製造フローデータ
の集合からなる第１の製法情報と、各作業工程を行う際
の作業条件を示す作業条件データの集合からなる第２の
製法情報と、作業工程ごとに各製品の製造に適した作業
条件を割り当てる製品別条件割当データの集合からなる
第３の製法情報とが、互いに関連づけられて登録され、
かつ、前記製造フローデータの構造が、製造フローを識
別するための第１の製造フロー識別子と、製品を識別す
るための製品識別子と、作業工程を識別するための作業
工程識別子と、当該作業工程の順序と、所定の場合に当
該作業工程の後に挿入する作業工程を示す挿入用製造フ
ローを指定するための第２の製造フロー識別子とをデー
タ項目として含む構造であるような製法管理データベー
スにアクセスする機能と、入力装置から与えられた製品
情報に基づいて、前記第１の製法情報の中から、当該製
品情報が示す製品に関する製造フローデータを選択取得
する機能と、前記第３の製法情報の中から、取得した製
造フローデータに含まれる作業工程と同じ作業工程を含
み、かつ前記製品情報と同じ製品情報を含むような製品
別条件割当データを選択取得する機能と、取得した製品
別条件割当データに基づいて、前記第２の製法情報の中
から、当該製品別条件割当データにより割り当てられた
作業条件を示す作業条件データを選択取得する機能と、
取得した製造フローデータ、製品別条件割当データおよ
び作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせるこ
とにより作業記録データを生成する機能と前記所定の場
合に、前記第２の製造フロー識別子により指定された、
挿入用の製造フローデータを選択取得する機能と、前記
挿入用の製造フローデータに基づいて生成された挿入用
の作業記録データを前記生成済みの作業記録データに追
加して、作業記録情報を更新する機能とをコンピュータ
に実現させることを特徴とするプログラムである。

【００４７】また、本発明の第２の生産管理プログラム
が記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、
このプログラムが記録されたCD-ROMその他の記録媒体で
ある。

【００４８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態に
おける生産管理システムの構成図である。図に示すよう
に、この生産管理システムは、製法情報１と作業記録情
報２をデータベースにより管理するサーバコンピュータ
３と、管理者や作業者がデータベースの内容を参照・更
新する際に使用する端末４と、サーバコンピュータ３と
端末４間でのデータ交換を可能にするネットワーク５と
を備える。サーバコンピュータ３は汎用のデータベース
システムと本発明の生産管理プログラムとを搭載したコ
ンピュータである。データベースは、製法情報１、作業
記録情報２のそれぞれについて構築してもよいし、１つ
のデータベースとして構築してもよい。また、端末４
は、表示機能と入力機能と通信機能を備え、かつ本発明
の生産管理プログラムを実装できるものであればどのよ
うな形態でもよく、ＣＲＴとキーボードを備えたパソコ
ン４ａ、４ｂはもちろんのこと、液晶画面とペン入力装
置を備えた携帯端末４ｃなどでもよい。同様に、ネット
ワーク５は必ずしも有線５ａである必要はなく、無線Ｌ
ＡＮ５ｂなどでもよい。また、これらの設備は、必ずし
も生産管理システム専用のものである必要はなく、他の
目的に併用されているものであってもよい。

【００４９】製法情報１は、製造フローデータ６の集合
からなる第１の製法情報７、作業条件データ８の集合か
らなる第２の製法情報９、および製品別条件割当データ
１０の集合からなる第３の製法情報１１の３種類の情報
として、互いに関連付けられた状態でデータベースに登
録されている。一方、作業記録情報２は、製品ごとの作
業結果を示す製品別記録データ１２の集合からなる第１
の作業記録情報１３と、作業工程ごとの作業結果を示す
工程別記録データ１４の集合からなる第２の作業記録情
報１５と、作業において適用した作業条件を示す適用条
件データ１６の集合からなる第３の作業記録情報１７の
３種類の情報として、互いに関連付けられた状態でデー
タベースに登録される。

【００５０】図２は、本実施の形態における製造フロー
データ６の構造および第１の製法情報７の一例を示す図
である。図２（ａ）に示すように、製造フローデータ６
は、データ項目として、製造フロー名１８、製品型名１
９、作業工程名２０、作業順序２１を含む構造のデータ
として定義されている。定義されている製造フロー名１
８は、この製造フローの名称を意味する。製品型名１９
は、その製造フローにより製造される製品の型名であ
り、作業工程名２０は、その製造フローを構成する作業
工程の名称であり、例えば「電子ビーム描画」、「現
像」のように表す。作業順序２１は、作業工程名２０に
より表される工程が、製造フロー名１８により表される
製造フローの中で何番目に位置する工程であるかを示
す。

【００５１】さらに、本実施の形態では、これらのデー
タ項目に加え、挿入用製造フロー名２２という項目を定
義している。これは、作業工程名２０により表される作
業工程が失敗に終わった場合に、続いて行うべき作業を
示した製造フローを管理する項目である。挿入用製造フ
ロー名２２は空欄となる場合もある。

【００５２】図２（ｂ）は、製造フローデータ６の集合
からなる第１の製法情報７の一例を示す図である。この
図に示されるように、「フローＡ」という名称の製造フ
ローは、５つの製造フローデータ２３により構成され
る。同様にフローＢという名称の製造フローは、４つの
製造フローデータ２４からなり、フローＸという名称の
製造フローは２つの製造フローデータ２５からなる。

【００５３】図３は、作業条件データ８の構造および第
２の製法情報９の一例を示す図である。本実施の形態で
は、作業条件データ８について３種類のデータ構造を定
義し、管理すべき内容に応じて使い分けている。

【００５４】図３（ａ）は、例えば温度、時間、圧力な
ど、作業工程において行う処理の条件を管理する場合の
データ構造を示す図である。これは、データ項目とし
て、作業条件を他の作業条件と区別するための作業条件
区別記号２３、条件として管理すべき項目が複数ある場
合に管理を容易にするための番号２４、処理項目２５、
および処理値２６を有するデータ構造である。処理項目
２５には「温度」「時間」など項目の名称が入り、処理
値２６には「６５℃」「３５秒」のように数値データが
入る。このようなデータ構造の作業条件データ８により
構成された第２の製法情報９ａは、図３（ｂ）に示すよ
うなものとなる。

【００５５】図３（ｃ）は、寸法、重さなど、作業を行
う際に要求される規格を作業条件として管理する場合の
データ構造を示す図である。データ項目としては、作業
条件区別記号２３、番号２４、規格項目２７、仕上要求
値２８が含まれる。規格項目２７には、「縦寸法」のよ
うに規格の名称が入り、仕上要求値２８には、「２００
μｍ」のように要求される値が入る。このようなデータ
構造の作業条件データ８により構成された第２の製法情
報９ｂは、図３（ｄ）に示すようなものとなる。

【００５６】このほか、例えば作業条件として使用する
装置、ガス、薬品などを管理したい場合を考慮し、本実
施の形態では、図３（ｅ）に示すようなデータ構造をも
定義している。このデータ構造は、作業条件区別記号２
３、番号２４、管理項目の名称を入れる項目２９および
内容３０を、そのデータ項目とする構造である。例え
ば、項目２９に「使用ガス」、内容３０に「ＣＦ_４ガ
ス」というようにデータを登録する。図３（ｆ）は、こ
のデータ構造の作業条件データ８により構成された第２
の製法情報９ｃを示す図である。

【００５７】図４は、製品別条件割当データ１０の構造
および第３の製法情報１１の一例を示す図である。製品
別条件割当データ１０は、図４（ａ）に示すデータ構造
を有する。作業工程名３１、製品性能３２、作業条件区
別記号３３のデータ項目を含む構造である。本実施の形
態では、製品性能３２を、高性能(High Performance)を
意味する「Ｈ」、廉価版（Economy）を意味する
「Ｅ」、その中間（Middle）の性能を意味する「Ｍ」の
記号により管理する。また、作業条件区別記号３３は、
作業工程名３１と製品性能３２を表す記号との組み合わ
せにより表すものとする。例えば工程イにおいて性能が
「Ｈ」の製品を製造する場合に適用すべき作業条件は、
記号「イＨ」で表す。図３に示したように、この作業条
件区別記号は、個々の作業条件データを識別するための
記号である。図４（ｂ）は、製品別条件割当データ１０
により構成された第３の製法情報１１の一例を示す図で
ある。

【００５８】図５は、製造フローデータ６、作業条件デ
ータ８および製品別条件割当データ１０の関連付けを示
す図である。図に示すように製造フローデータ６の作業
工程名は、製品別条件割当データ１０の作業工程名と対
応している。さらに、製品別条件割当データ１０の作業
条件区別記号は、作業条件データ８の作業条件区別記号
に対応している。すなわち、製造すべき製品型名と製品
性能が指定された場合には、その製品型名を検索キーと
して製造フローデータを選択取得することができ、さら
に、取得した製造フローデータ６に含まれる各作業工程
と製品性能とを検索キーとして作業条件区別記号を求め
ることができ、その作業条件区別記号が指し示す作業条
件データ８を集めれば、各作業工程における作業条件の
具体的な項目および内容を得ることができる。

【００５９】ここで、本発明が特に優れているのは、１
つの製造フローを１つのデータとして管理するのではな
く、複数のデータとして管理し、かつそのデータ構造を
極力簡単なものとすることによって、情報の重複登録を
無くし、さらに製造フローへの作業工程の追加や削除を
簡単にした点にある。すなわち、例えば作業条件区別記
号「イＨ」で表される作業条件を他の作業工程において
も適用することになった場合には、従来のデータ構造で
は、新たに温度：６５℃、時間：３５秒といった情報を
含むデータを登録し、管理しなければならなかった。し
かし、図５に示すように、単純な構造のデータを互いに
関連付けて登録、管理しておけば、製品別条件割当デー
タ１０を１つ追加挿入することによって、同じ条件イＨ
を、他の工程に割り当てることができるので、作業条件
の詳細データを重複して管理する必要はない。同様に、
製造フローや、作業条件の追加、変更、削除も、データ
の挿入、削除によって実現できるため、データ定義を変
更するためにシステムを停止する必要もない。

【００６０】図６は、製法情報の管理手順を示すフロー
チャート３４である。この図に示すように、前述のよう
なデータ構造によれば、製法情報の登録や更新は、製法
情報を登録し、製造命令があった場合に製法情報に基づ
いて作業記録を作成し、管理する、という通常の運用の
中で、必要に応じて手軽に行うことができる。

【００６１】次に、生産管理システムにより管理する作
業記録情報について説明する。本実施の形態では、作業
記録情報を、製品ごとの作業結果を示す製品別記録デー
タ１２の集合からなる第１の作業記録情報１３と、作業
工程ごとの作業結果を示す工程別記録データ１４の集合
からなる第２の作業記録情報１５と、作業において適用
した作業条件を示す適用条件データ１６の集合からなる
第３の作業記録情報１７の３種類の情報として管理す
る。

【００６２】図７は、製品別記録データ１２の構造およ
び第１の作業記録情報１３の一例を示す図である。図７
（ａ）に示すように、製品別記録データ１２は、製品情
報区別記号３５、製品型名３６、製品性能３７、製造命
令日３８、製造開始日３９、製造完了日４０および製品
良／不良４１をデータ項目として含む構造をしている。
製品情報区別記号３５は、製造命令ごとに１つ付与され
る記号であり、自動的に決定してもよいし、製造命令を
入力する際に作業者が入力した記号を割り振ってもよ
い。製品型名と製品性能は、製造命令として入力される
情報である。製造命令日３８、製造開始日３９、製造完
了日４０、製品良／不良４１は、作業者などが、図１の
端末４から入力する情報である。図７（ｂ）は、製品別
記録データ１２により構成された第１の作業記録情報１
３の一例を示す図である。

【００６３】図８は、工程別記録データ１４の構造およ
び第２の作業記録情報１５の一例を示す図である。図８
（ａ）に示すように、工程別記録データ１４は、製品情
報区別記号４２と、作業順序４３、作業工程名４４、作
業工程区別記号４５、作業開始時刻４６、作業完了時刻
４７、作業担当者４８および作業成／否４９をデータ項
目として含む構造をしている。図８（ｂ）は、工程別記
録データ１４により構成された第２の作業記録情報１５
の一例を示す図である。製品情報区別記号４２は、図７
の製品情報区別記号３５に対応する記号である。一方、
作業順序４３、作業工程名４４、作業条件区別記号４５
は、第１の製法情報７および第３の製法情報９の中から
選択取得された情報が登録される。作業開始時刻４６、
作業完了時刻４７、作業担当者４８、作業成／否４９
は、作業者などが、図１の端末４から入力した情報が登
録される。

【００６４】ここで、図８（ｂ）のデータ５０およびデ
ータ５１は、工程ロが正常に行われなかったため、工程
イおよび工程ロのやり直しがあったことを示している。
工程ロが失敗した場合に次にどの工程を挿入するかとい
うことは、図２（ｂ）の第１の製法情報７の中の挿入用
製造フロー名２２を参照することにより決定できる。本
実施の形態では、作業者が端末４から「不良完了」とい
う情報を入力した場合、それに応じて生産管理システム
が製法情報７を参照し、挿入用製造フロー名が登録され
ている場合には、その製造フローに含まれる作業工程に
対応する作業記録データを自動生成する。なお、第２の
作業記録情報１５を生成する際に、製法情報の中から挿
入用製造フロー名を取得し、工程別記録データ１４のデ
ータ項目の１つとして、予め登録しておくこともでき
る。この場合、作業記録情報の情報量は増加することに
なるが、フローの挿入の必要が生じた場合に挿入用製造
フローの取得に要する時間は短縮することができる。

【００６５】図９は、適用条件データ１６および第３の
作業記録情報の一例を示す図である。本実施の形態で
は、適用条件データ１６についても、製法情報の作業条
件データ８と同じく３種類のデータ構造を定義し、管理
すべき内容に応じて使い分けている。

【００６６】図９（ａ）は、温度など、作業工程におい
て行う処理の条件を管理する場合の適用条件データ１６
のデータ構造を示す図であり、図９（ｂ）はこのような
適用条件でデータ１６により構成される第３の作業記録
情報１７ａの一例を示す図である。製品情報区別記号５
２は、図７の製品情報区別記号３５および図８の製品情
報区別記号４２に対応する記号である。作業順序５３、
作業条件区別記号５４、番号５５、処理項目５６、処理
値５７は、いずれも第２の製法情報の中から選択取得さ
れた情報が登録される。

【００６７】図９（ｃ）は、寸法など、作業を行う際に
要求される規格を作業条件として管理する場合の、適用
条件データ１６のデータ構造を示す図であり、図９
（ｄ）はこのような適用条件データ１６により構成され
る第３の作業記録情報１７ｂの一例を示す図である。ま
た、本実施の形態では、図９（ｅ）に示すような任意の
管理項目に適用可能なデータ構造をも定義しており、図
９（ｆ）は、このようなデータ構造の適用条件データ１
６により構成された第３の作業記録情報１７ｃの一例を
示す図である。

【００６８】以上、本実施の形態の生産管理システムに
より管理する情報およびそのデータ構造について詳細に
説明した。次に、生産管理システムが行う処理につい
て、図１０、図１１および図１２を参照しながら、説明
する。図１０のフローチャート６２は、本実施の形態に
おける生産管理システムの処理を示す。本システムは、
図１に示される端末４から入力される製造命令を受け付
け（ステップ１０１）、これにより製造すべき製品の型
番や性能などの製品情報を取得する。次に、取得した製
品情報に基づいて製法データベースから必要な情報を取
得し、作業記録情報を生成する（ステップ１０２）。

【００６９】図１１は、作業記録情報の生成処理（ステ
ップ１０２）を示すフローチャートである。前述のよう
に、本実施の形態では、作業記録情報は、製品別記録デ
ータの集合からなる第１の作業記録情報と、工程別記録
データの集合からなる第２の作業記録情報と、適用条件
記録データの集合からなる第３の作業記録情報とにより
構成されている。そこで、はじめに製品別記録データを
生成する（ステップ２０１）。製品別記録データの生成
は、まず図７（ａ）のような構造のデータを新規作成
し、製品情報区別記号、製品型名、製品性能、製造命令
日および製造開始日を代入する。製品型名と製品性能
は、製法情報として取得した内容を代入する。製品情報
区別記号は、製法情報の１つとして端末から入力させる
場合には、その値を代入すればよいし、自動的に通し番
号などを代入するようにしてもよい。製造命令日および
製造開始日についても、製法情報の１つとして端末から
入力させる場合には、その日付を代入すればよいし、自
動的に所定の日付を代入してもよい。例えば、その製品
別記録データが生成された日を製造命令日とみなし、そ
の翌日を製造開始日とみなすというルールを予め定め、
自動的に日付を決定して代入するようにしてもよい。こ
のようにして生成された製品別記録データは、例えば図
１２（ａ）に示すようなものとなる。製造完了日および
製品良／不良の値は、この時点では代入されない。

【００７０】次に、図１１のステップ２０２に示すよう
に、第１の製法情報の中から、製品型名が、ステップ２
０１において製品別記録データに代入した製品型名と一
致する製造フローデータを選択して取得する。これによ
り行うべき作業工程の名前を得ることができ、作業工程
ごとに工程別記録データを生成することが可能となる。

【００７１】工程別記録データの生成（ステップ２０
３）は次のように行う。まず、図８（ａ）の構造のデー
タを、ステップ２０２において取得した製造フローデー
タと同じ数だけ新規作成し、それぞれに、取得した各製
造フローデータの作業工程名および作業順序を代入す
る。

【００７２】その後、個々の工程別記録データに対し、
次の代入処理を行う。まず、代入した作業工程名と同じ
作業工程名を含む製品別条件割当データを第３の製法情
報の中から選択して取得する。次に、取得した製品別条
件割当データの中から、製品性能が、製品情報として入
力された製品性能と一致するデータを選択し、割り当て
られている作業条件区別記号を取得して、工程別記録デ
ータに代入する。さらに、製品別記録データに代入した
製品情報区別記号と同じ製品情報区別記号を代入する。
この処理を、作成した工程別記録データごとに繰り返
す。このようにして生成された工程別記録データは、例
えば図１２（ｂ）に示すようなものとなる。作業開始時
刻、作業完了時刻、作業担当者、作業成／否の値は、こ
の時点では代入されない。

【００７３】次に、図１１のステップ２０４に示すよう
に、第２の製法情報の中から、作業条件区別記号が、ス
テップ２０３において取得した作業条件区別記号と一致
する作業条件データを選択して取得する。これは、適用
条件記録データに代入する作業条件の情報を得るためで
ある。

【００７４】適用条件記録データの生成（ステップ２０
５）は、次のように行う。はじめに、図９（ａ）、
（ｃ）、（ｅ）のような構造の適用条件記録データを、
取得した作業条件データの数と同じ数だけ新規に作成す
る。取得した作業条件データの構造が図３（ａ）に示す
構造である場合には図９（ａ）の構造、図３（ｃ）の構
造である場合には図９（ｃ）の構造、図３（ｅ）の構造
である場合には図９（ｅ）の構造の適用条件記録データ
を、それぞれ作成する。作成した各適用条件記録データ
には、工程別記録データに代入したのと同じ製品情報区
分記号、作業順序、作業条件区別記号をそれぞれ代入す
る。

【００７５】その後、個々の適用条件記録データに対
し、取得した作業条件データから番号、処理項目および
処理値（あるいは規格項目および仕上要求値、あるいは
項目および内容）を取り出して代入する。この処理を作
成した適用条件記録データごとに繰り返す。このように
して生成された工程別記録データは、例えば図１２
（ｃ）に示すようなものとなる。

【００７６】以上、作業記録情報の生成処理（ステップ
１０２）について説明した。以下、図１０に戻って生産
管理システムの以降の処理について説明する。ステップ
１０２において生成された作業記録情報は、図１に示さ
れる端末４の画面上に作業工程ごとに表示される（ステ
ップ１０３）。作業工程ごとに表示とは、１つの工程別
記録データとそれに対応する適用条件データを一組とし
て表示が行われるということである。これにより、作業
者は、画面上に表示された作業条件を確認しながら製造
作業を実施することができる。

【００７７】また、本生産管理システムは、作業条件を
表示画面上に表示すると同時に、作業別記録の入力をも
受け付ける（ステップ１０４）。すなわち、作業者は、
ステップ２０３において代入されなかった作業開始時
刻、作業完了時刻、作業担当者および作業成／否の情報
を、システムに対して入力することができる。入力され
た情報は、図１２（ｂ）の各工程別記録データ１４の空
き領域に代入され、値代入後の工程別記録データはデー
タベースに登録される。

【００７８】ここで、作業者から作業の中断を指示する
入力があった場合には、システムはそれを受け付け（ス
テップ１０５）、その後、ステップ１０９に移行する。
作業中断の指示が無かった場合で、ステップ１０４にお
いて作業成／否として「不良完了」が入力された場合に
は、製造フローの挿入が必要か否かを判断する（ステッ
プ１０６）。挿入すべき製造フローの有無は、図２
（ｂ）に示した第１の製法情報を検索することにより判
断してもよいし、図１１のステップ２０３において予め
挿入用の製造フローを工程別記録データに代入してお
き、工程別記録データを参照することにより判断しても
よい。製造フローの挿入が必要な場合には、図１１のス
テップ２０１から２０５と同様の処理を繰り返すことに
よって、挿入用製造フローに対応する作業記録情報を、
追加生成する（ステップ１０７）。

【００７９】次の作業工程がある場合には、次の工程別
記録データおよびそれに対応する適用条件データについ
て、ステップ１０３からステップ１０７までの処理が繰
り返される。すべての作業工程が終了した場合には、製
造完了日および製品の良／不良の入力を促す画面を表示
し、製品別記録の入力を受け付ける（ステップ１０
９）。ここで作業者により入力された情報は、図１２
（ａ）の製品別記録データの空き領域に代入される。

【００８０】本生産管理システムは、以上に説明した処
理を製造命令がある度に繰り返して、作業記録情報を生
成、蓄積、管理する。

【００８１】なお、本実施の形態では、作業記録情報を
製品別記録データの集合からなる第１の作業記録情報、
工程別記録データの集合からなる第２の作業記録情報お
よび適用条件データの集合からなる第３の作業記録情報
の３つに分類して管理しているが、作業記録情報は１種
類のデータ構造によりまとめて管理し、製法情報のみを
３つの情報に分けて管理してもよい。

【００８２】また、本実施の形態では、図２（ａ）に示
したように製造フローデータのデータ項目の１つとして
挿入用製造フロー名を定義し、図１０のステップ１０６
および１０７に示すようなフロー挿入機能を実現してい
るが、複雑かつ多数の情報を効率よく管理するという本
発明の目的は、この機能がなくても達成することができ
る。すなわちフロー挿入機能は必須ではない。

【００８３】さらに、本実施の形態では、作業工程名な
どを文字情報として取り扱っているが、各作業工程に予
め識別記号を割り当てておき、識別記号によって管理し
てもよい。この場合には、識別記号と作業工程名を表す
文字との対応付けを別途記憶しておき、作業条件を画面
上に表示する際に、その対応付けに基づいて文字を画面
出力すればよい。

【００８４】なお、本実施の形態は、本発明の生産管理
システムの一実施の形態を示すとともに、本発明の生産
管理方法および生産管理情報が記録されたコンピュータ
読み取り可能な記録媒体、生産管理プログラムおよびそ
のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な
記録媒体の実施の形態をも示すものである。例えば、図
１０や図１１に示したフローチャートは、本発明の生産
管理方法の一実施の形態を示している。さらに、図１の
サーバコンピュータ３や端末４に組み込まれるプログラ
ムは、本発明の生産管理プログラムの一実施の形態とみ
なすことができる。また、図１の製法情報１および作業
記録情報２は、本発明の生産管理情報が記録されたコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体の一実施の形態を示し
ている。

【００８５】

【発明の効果】本発明の生産管理システムおよび生産管
理方法では、製造フローデータ６、作業条件データ８、
製品別条件割当データ１０の３種類のデータを定義し
て、製法情報１をそれらのデータフォーマットにしたが
って作成、登録しておき、それらのデータを必要に応じ
て組み合わせて作業記録情報２を生成する。このシステ
ムによれば、多数の製品について生産管理を行う場合で
も、製法情報を重複して登録、管理する必要がないの
で、記憶領域を無駄に消費することがなく、データベー
スの更新も容易である。また、データの組み合わせの数
に比例して多種多様な製造フローを管理することができ
る。

【００８６】さらに、作業を始める前に生成した作業記
録情報２を表示装置に表示することにより、作業者によ
る作業条件の確認を可能にし、作業完了時に作業者が作
業記録を追加入力できるようにした。これにより、必要
な作業記録をもれなくデータベースに登録できるように
なる。

【００８７】また、製法情報１のみならず、作業記録情
報２についても、製品別記録データ１２、工程別記録デ
ータ１４および適用条件データ１６の３種類のデータを
定義して、作業記録情報２をそれらのデータフォーマッ
トにしたがって生成するようにすれば、さらに効率よく
作業記録情報を管理することができ、後にこれらの記録
をもとに統計処理を行う場合などに都合がよい。

【００８８】また、製造フローデータ６のデータ項目と
して、所定の場合に、その作業工程の後に挿入すべき工
程を示す挿入用製造フロー名２２を登録できるようにし
ておけば、作業のやり直しが発生した場合などに、次に
行うべき作業をすばやく決定することができる。この
際、システムに、挿入用製造フロー名２２に基づいて、
作業記録情報を自動的に再生成する機能を付加すれば、
経験の浅い作業者でも、やり直し作業をスムーズに行う
ことができる。

【００８９】また、本発明の生産管理プログラムは、コ
ンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、あるい
はオンラインで配布して、図１の端末４またはサーバコ
ンピュータ３、あるいはその両方に分散して組み込むこ
とにより、前記生産管理システムを構築可能とするもの
であり、上記効果と同様の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における生産管理シス
テムの構成図

【図２】製造フローデータの構造および第１の製法情
報の一例を示す図

【図３】作業条件データの構造および第２の製法情報
の一例を示す図

【図４】製品別条件割当データの構造および第３の製
法情報の一例を示す図

【図５】３種類の製法情報の関係を示す図

【図６】製法情報の更新方法を示すフローチャート

【図７】製品別記録データの構造および第１の作業記
録情報の一例を示す図

【図８】工程別記録データの構造および第２の作業記
録情報の一例を示す図

【図９】適用条件データの構造および第３の作業記録
情報の一例を示す図

【図１０】本実施の形態における生産管理の流れを示
すフローチャート

【図１１】作業記録情報の生成処理を示すフローチャ
ート

【図１２】生成された作業記録情報の一例を示す図

【図１３】従来の生産管理システムのデータ構造を示
す図

【符号の説明】

１製法情報、２作業記録情報、３サーバ
コンピュータ、４端末、５ネットワーク、
６製造フローデータ、７第１の製法情報、
８作業条件データ、９第２の製法情報、
１０製品別条件割当データ、１１第３の製法情
報、１２製品別記録データ、１３第１の作業記
録情報、１４工程別記録データ、１５第２
の作業記録情報、１６適用条件データ、１７
第３の作業記録情報。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】生産管理システム、生産管理方法、その生産管理方法を用いた半導体装置の製造方法、生産管理情報が記録された記録媒体、生産管理プログラム、およびその生産管理プログラムが記録された記録媒体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製品の製法と製品製造時の作業記録とを
コンピュータにより管理する生産管理システムであっ
て、製品を製造するために行うべき作業工程の種類とその順
序を示す製造フローデータの集合からなる第１の製法情
報と、各作業工程を行う際の作業条件を示す作業条件デ
ータの集合からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに
各製品の製造に適した作業条件を割り当てる製品別条件
割当データの集合からなる第３の製法情報とが、互いに
関連づけられて登録された製法管理データベースと、入力装置から与えられた製品情報に基づいて、前記第１
の製法情報の中から、当該製品情報が示す製品に関する
製造フローデータを選択取得する製造フローデータ取得
手段と、前記第３の製法情報の中から、取得した製造フローデー
タに含まれる作業工程と同じ作業工程を含み、かつ前記
製品情報と同じ製品情報を含むような製品別条件割当デ
ータを選択取得する製品別条件割当データ取得手段と、取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第２の
製法情報の中から、当該製品別条件割当データにより割
り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択取得
する作業条件データ取得手段と、取得した製造フローデータ、製品別条件割当データおよ
び作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせるこ
とにより作業記録データを生成する作業記録データ生成
手段と、生成された作業記録データの集合からなる作業記録情報
が登録された作業記録管理データベースとを備えてなる
ことを特徴とする生産管理システム。
【請求項２】前記作業記録情報の中から所望の作業記
録データを選択的に表示装置に表示する作業記録表示手
段と、入力装置から与えられた作業結果に関する情報を、前記
作業記録情報に追加して前記作業記録管理データベース
を更新する作業記録更新手段とをさらに備えたことを特
徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【請求項３】前記製造フローデータが、当該製造フローデータにより構成される製造フローを識
別するための製造フロー識別子と、製品を識別するための製品識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子と、当該作業工程の順序とをデータ項目として含む構造であ
ることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理シ
ステム。
【請求項４】前記製品別条件割当データが、作業工程を識別するための作業工程識別子と、製品の分類を示す製品種別と、作業条件を識別するための作業条件識別子とをデータ項
目として含む構造であることを特徴とする請求項１から
３のいずれかに記載の生産管理システム。
【請求項５】前記作業条件データが、当該作業条件データを識別するための作業条件識別子
と、設定項目と、設定内容とをデータ項目として含む構造であることを特
徴とする請求項１から４のいずれかに記載の生産管理シ
ステム。
【請求項６】前記作業条件データの設定項目および設
定内容により、作業対象に施す処理の条件を管理するこ
とを特徴とする請求項５記載の生産管理システム。
【請求項７】前記作業条件データの設定項目および設
定内容により、作業対象に要求される仕上がり規格を管
理することを特徴とする請求項５記載の生産管理システ
ム。
【請求項８】前記作業記録管理データベースに登録さ
れた作業記録情報が、製品ごとの作業結果を示す製品別記録データの集合から
なる第１の作業記録情報と、作業工程ごとの作業結果を示す工程別記録データの集合
からなる第２の作業記録情報と、作業において適用した作業条件を示す適用条件データの
集合からなる第３の作業記録情報からなる情報であるこ
とを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の生産
管理システム。
【請求項９】前記製品別記録データが、製品の製造命令日と、製品の製造開始日と、製品の製造完了日と、製造された製品の良／不良とをデータ項目として含む構
造であることを特徴とする請求項８記載の生産管理シス
テム。
【請求項１０】前記工程別記録データが、作業工程の開始時刻と、作業工程の完了時刻と、作業担当者と行った作業の成否とをデータ項目として含
む構造であることを特徴とする請求項８または９記載の
生産管理システム。
【請求項１１】前記製造フローデータが、当該製造フローデータにより構成される製造フローを識
別するための第１の製造フロー識別子と、製品を識別するための製品識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子と、当該作業工程の順序と、所定の場合に、当該作業工程の後に挿入する作業工程を
示す挿入用製造フローを指定するための第２の製造フロ
ー識別子とをデータ項目として含む構造であることを特
徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の生産管理
システム。
【請求項１２】前記所定の場合に、前記第２の製造フ
ロー識別子により指定された製造フローに係る製造フロ
ーデータを選択取得する挿入用製造フローデータ取得手
段をさらに備え、前記製品別条件割当データ取得手段、前記作業条件デー
タ取得手段および前記作業記録データ生成手段により、
選択取得した挿入用製造フローデータに含まれる作業工
程に関する作業記録データを生成して、前記作業記録管
理データベースに追加登録することを可能にしたことを
特徴とする請求項１１記載の生産管理システム。
【請求項１３】製品の製法と製品製造時の作業記録と
をコンピュータにより管理する生産管理方法であって、
製品を製造するために行うべき作業工程の種類とその順
序を示す製造フローデータの集合からなる第１の製法情
報と、各作業工程を行う際の作業条件を示す作業条件デ
ータの集合からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに
各製品の製造に適した作業条件を割り当てる製品別条件
割当データの集合からなる第３の製法情報とを、互いを
関連付けて、製法管理データベースに予め登録し、入力
装置から与えられた製品情報に基づいて、前記第１の製
法情報の中から、当該製品情報が示す製品に関する製造
フローデータを選択取得し、前記第３の製法情報の中か
ら、取得した製造フローデータに含まれる作業工程と同
じ作業工程を含み、かつ前記製品情報と同じ製品情報を
含むような製品別条件割当データを選択取得し、取得し
た製品別条件割当データに基づいて、前記第２の製法情
報の中から、当該製品別条件割当データにより割り当て
られた作業条件を示す作業条件データを選択取得し、取
得した製造フローデータ、製品別条件割当データおよび
作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせること
により作業記録データを生成し、生成した作業記録デー
タの集合からなる作業記録情報を作業記録管理データベ
ースに登録し、管理することを特徴とする生産管理方
法。
【請求項１４】前記作業記録情報の中から所望の作業
記録データを選択的に表示装置に表示し、表示内容に応
じて入力装置から与えられた作業結果に関する情報を、
前記作業記録情報に追加して前記作業記録管理データベ
ースを更新することによって、前記作業記録を管理する
ことを特徴とする請求項１３記載の生産管理方法。
【請求項１５】前記製造フローデータの構造を、当該製造フローデータにより構成される製造フローを識
別するための製造フロー識別子と、製品を識別するための製品識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子と、当該作業工程の順序とをデータ項目として含む構造とす
ることを特徴とする請求項１３または１４記載の生産管
理方法。
【請求項１６】前記製品別条件割当データの構造を、作業工程を識別するための作業工程識別子と、製品の分類を示す製品種別と、作業条件を識別するための作業条件識別子とをデータ項
目として含む構造とすることを特徴とする請求項１３か
ら１５のいずれかに記載の生産管理方法。
【請求項１７】前記作業条件データの構造を、当該作業条件データを識別するための作業条件識別子
と、設定項目と、設定内容とをデータ項目として含む構造とすることを特
徴とする請求項１３から１６のいずれかに記載の生産管
理方法。
【請求項１８】前記作業条件データの設定項目および
設定内容により、作業対象に施す処理の条件を管理する
ことを特徴とする請求項１７記載の生産管理方法。
【請求項１９】前記作業条件データの設定項目および
設定内容により、作業対象に要求される仕上がり規格を
管理することを特徴とする請求項１７記載の生産管理方
法。
【請求項２０】前記作業記録管理データベースに登録
された作業記録情報を、製品ごとの作業結果を示す製品別記録データの集合から
なる第１の作業記録情報と、作業工程ごとの作業結果を示す工程別記録データの集合
からなる第２の作業記録情報と、作業において適用した作業条件を示す適用条件データの
集合からなる第３の作業記録情報からなる情報として管
理することを特徴とする請求項１３から１９のいずれか
に記載の生産管理方法。
【請求項２１】前記製品別記録データの構造を、製品の製造命令日と、製品の製造開始日と、製品の製造完了日と、製造された製品の良／不良とをデータ項目として含む構
造とすることを特徴とする請求項２０記載の生産管理方
法。
【請求項２２】前記工程別記録データの構造を、作業工程の開始時刻と、作業工程の完了時刻と、作業担当者と、行った作業の成否とをデータ項目として含む構造とする
ことを特徴とする請求項２０または２１記載の生産管理
方法。
【請求項２３】前記製造フローデータの構造を、当該製造フローデータにより構成される製造フローを識
別するための第１の製造フロー識別子と、製品を識別するための製品識別子と、作業工程を識別するための作業工程識別子と、当該作業工程の順序と、所定の場合に、当該作業工程の後に挿入する作業工程を
示す挿入用製造フローを指定するための第２の製造フロ
ー識別子とをデータ項目として含む構造とすることを特
徴とする請求項１３から２２のいずれかに記載の生産管
理方法。
【請求項２４】前記所定の場合に、前記第２の製造フ
ロー識別子により指定された製造フローに係る製造フロ
ーデータを選択取得し、前記第３の製法情報の中から、
取得した製造フローデータに含まれる作業工程と同じ作
業工程を含み、かつ前記製品情報と同じ製品情報を含む
ような製品別条件割当データを選択取得し、取得した製
品別条件割当データに基づいて、前記第２の製法情報の
中から、当該製品別条件割当データにより割り当てられ
た作業条件を示す作業条件データを選択取得し、取得し
た製造フローデータ、製品別条件割当データおよび作業
条件データの所定のデータ項目を組み合わせることによ
り、選択取得した挿入用製造フローデータに含まれる作
業工程に関する作業記録データを生成し、生成した作業
記録データを、前記作業記録管理データベースに追加登
録することにより、作業記録情報を更新、管理すること
を特徴とする請求項２３記載の生産管理方法。
【請求項２５】請求項１３から２４のいずれかに記載
の生産管理方法を用いた半導体装置の製造方法。
【請求項２６】生産管理情報が記録された記録媒体で
あって、製品を製造するために行うべき作業工程の種類とその順
序を示すデータであって、当該データにより構成される
製造フローを識別するための製造フロー識別子と、製品
を識別するための製品識別子と、作業工程を識別するた
めの作業工程識別子と、当該作業工程の順序とをデータ
項目として含む構造を有する製造フローデータと、各作
業工程を行う際の作業条件を示すデータであって、当該
データを識別するための作業条件識別子と、設定項目
と、設定内容とをデータ項目として含む構造を有する作
業条件データと、作業工程ごとに各製品の製造に適した
作業条件を割り当てるデータであって、作業工程を識別
するための作業工程識別子と、製品の分類を示す製品種
別と、作業条件を識別するための作業条件識別子とをデ
ータ項目として含む構造を有する製品別条件割当データ
と、が互いに関連づけられて記録されたコンピュータ読
み取り可能な記録媒体。
【請求項２７】生産管理情報が記録された記録媒体で
あって、製品ごとの作業結果を示すデータであって、製品の製造
命令日、製造開始日、製造完了日および製品の良／不良
をデータ項目として含む構造を有する製品別記録データ
と、作業工程ごとの作業結果を示すデータであって、作業工
程の開始時刻、完了時刻、作業担当者および作業の成否
をデータ項目として含む構造を有する工程別記録データ
と、作業において適用した作業条件を示すデータであって、
当該作業条件データを識別するための作業条件識別子
と、設定項目と、設定内容とをデータ項目として含む構
造を有する適用条件データとが記録されたコンピュータ
読み取り可能な記録媒体。
【請求項２８】製品の製法と製品製造時の作業記録と
を管理する生産管理プログラムであって、製品を製造するために行うべき作業工程の種類とその順
序を示す製造フローデータの集合からなる第１の製法情
報と、各作業工程を行う際の作業条件を示す作業条件デ
ータの集合からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに
各製品の製造に適した作業条件を割り当てる製品別条件
割当データの集合からなる第３の製法情報とが、互いに
関連づけられて登録された製法管理データベースにアク
セスする機能と、入力装置から与えられた製品情報に基づいて、前記第１
の製法情報の中から、当該製品情報が示す製品に関する
製造フローデータを選択取得する機能と、前記第３の製法情報の中から、取得した製造フローデー
タに含まれる作業工程と同じ作業工程を含み、かつ前記
製品情報と同じ製品情報を含むような製品別条件割当デ
ータを選択取得する機能と、取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第２の
製法情報の中から、当該製品別条件割当データにより割
り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択取得
する機能と、取得した製造フローデータ、製品別条件割当データおよ
び作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせるこ
とにより作業記録データを生成する機能とをコンピュー
タに実現させることを特徴とする生産管理プログラム。
【請求項２９】請求項２８記載の生産管理プログラム
が記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項３０】製品の製法と製品製造時の作業記録と
を管理する生産管理プログラムであって、製品を製造するために行うべき作業工程の種類とその順
序を示す製造フローデータの集合からなる第１の製法情
報と、各作業工程を行う際の作業条件を示す作業条件デ
ータの集合からなる第２の製法情報と、作業工程ごとに
各製品の製造に適した作業条件を割り当てる製品別条件
割当データの集合からなる第３の製法情報とが、互いに
関連づけられて登録され、かつ、前記製造フローデータ
の構造が、製造フローを識別するための第１の製造フロ
ー識別子と、製品を識別するための製品識別子と、作業
工程を識別するための作業工程識別子と、当該作業工程
の順序と、所定の場合に当該作業工程の後に挿入する作
業工程を示す挿入用製造フローを指定するための第２の
製造フロー識別子とをデータ項目として含む構造である
ような製法管理データベースにアクセスする機能と、入力装置から与えられた製品情報に基づいて、前記第１
の製法情報の中から、当該製品情報が示す製品に関する
製造フローデータを選択取得する機能と、前記第３の製法情報の中から、取得した製造フローデー
タに含まれる作業工程と同じ作業工程を含み、かつ前記
製品情報と同じ製品情報を含むような製品別条件割当デ
ータを選択取得する機能と、取得した製品別条件割当データに基づいて、前記第２の
製法情報の中から、当該製品別条件割当データにより割
り当てられた作業条件を示す作業条件データを選択取得
する機能と、取得した製造フローデータ、製品別条件割当データおよ
び作業条件データの所定のデータ項目を組み合わせるこ
とにより作業記録データを生成する機能と前記所定の場
合に、前記第２の製造フロー識別子により指定された、
挿入用の製造フローデータを選択取得する機能と、前記挿入用の製造フローデータに基づいて生成された挿
入用の作業記録データを前記生成済みの作業記録データ
に追加して、作業記録情報を更新する機能とをコンピュ
ータに実現させることを特徴とする生産管理プログラ
ム。
【請求項３１】請求項３０記載の生産管理プログラム
が記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。