JP2002246274A - Electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and its producing method - Google Patents

Electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and its producing method

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JP2002246274A
JP2002246274A JP2001036544A JP2001036544A JP2002246274A JP 2002246274 A JP2002246274 A JP 2002246274A JP 2001036544 A JP2001036544 A JP 2001036544A JP 2001036544 A JP2001036544 A JP 2001036544A JP 2002246274 A JP2002246274 A JP 2002246274A
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pits
acid
etching
sub
foil
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JP2001036544A
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Japanese (ja)
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Nobuhiko Yamazaki
信彦 山▲崎▼
Toshio Oishi
寿夫 大石
Kazuaki Nakanishi
和明 中西
Shinichi Yamaguchi
真一 山口
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the electrode foil for a high capacitance aluminum electrolytic capacitor by suppressing sub-pits spreading into branches in the surface layer of an aluminum foil, and its producing method. SOLUTION: A large number of main pits 1 are provided in the thickness direction from the surface by etching in the opposite sides of an aluminum foil 3 and sub-pits 2 are provided to spread into branches in the way and at the ends other than the surface layer of the main pits 1. Since sub-pits 2 spreading into branches are not formed in the surface layer of the aluminum foil 3, density of the sub-pits 2 effective for the capacitance can be increased and the electrode foil for a high capacitance aluminum electrolytic capacitor having a high mechanical strength can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はアルミ電解コンデン
サに用いられる特に中高圧用のアルミ電解コンデンサ用
電極箔およびその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor for use in an aluminum electrolytic capacitor, particularly for medium and high pressures, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型化、高信頼性化に
伴い、アルミ電解コンデンサに対するユーザーからのニ
ーズも小型化が強く要望されており、そのためにアルミ
電解コンデンサに用いられる電極箔も従来以上に単位面
積当たりの静電容量を高める必要が生じている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and high reliability of electronic equipment, there has been a strong demand from users for aluminum electrolytic capacitors to be miniaturized. As described above, it is necessary to increase the capacitance per unit area.

【0003】一般的なアルミ電解コンデンサは、アルミ
ニウム箔をエッチングによって実効表面積を拡大させた
表面に陽極酸化により誘電体酸化皮膜を形成した陽極箔
とアルミニウム箔をエッチングによって実効表面積を拡
大させた陰極箔とをセパレータを介して巻回することに
よりコンデンサ素子を構成し、このコンデンサ素子に駆
動用電解液を含浸させるとともに、このコンデンサ素子
を金属ケース内に封止することにより構成されている。
A general aluminum electrolytic capacitor is an anode foil having a dielectric oxide film formed by anodic oxidation on the surface of which an effective surface area is enlarged by etching an aluminum foil and a cathode foil having an effective surface area enlarged by etching an aluminum foil. Are wound through a separator to form a capacitor element, and the capacitor element is impregnated with a driving electrolyte, and the capacitor element is sealed in a metal case.

【0004】この種のアルミ電解コンデンサにおいて、
その静電容量を高める或いは小型化を図るには、陽極箔
の実効表面積を拡大し単位面積当たりの静電容量を高め
ることが必要不可欠になっており、陽極箔の実効表面積
を拡大させるエッチング技術の開発が盛んに行われてい
る。
In this type of aluminum electrolytic capacitor,
In order to increase the capacitance or reduce the size, it is essential to increase the effective surface area of the anode foil and increase the capacitance per unit area. Etching technology to increase the effective surface area of the anode foil Is being actively developed.

【0005】上記陽極箔のエッチング方法は、硫酸、硝
酸、リン酸、蓚酸などの皮膜を形成する酸を添加した塩
酸水溶液中で化学的あるいは電気化学的に行われている
が、中高圧用に使用される陽極箔のエッチング方法は、
基本的にはメインピットを生成させる前段エッチング工
程と、このメインピットをアルミ電解コンデンサの使用
電圧に適した径まで拡大する後段エッチング工程とから
なる方法で、いかに数多くのメインピットを生成させ
て、そのメインピットを効率よく拡大させるかが重要な
ポイントとなっている。
[0005] The above-mentioned method of etching the anode foil is performed chemically or electrochemically in a hydrochloric acid aqueous solution to which an acid for forming a film such as sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid or oxalic acid is added. The etching method of the anode foil used is
Basically, a method consisting of a pre-etching step to generate main pits and a post-etching step to expand the main pits to a diameter suitable for the working voltage of the aluminum electrolytic capacitor, how many main pits are generated, It is important to efficiently expand the main pit.

【0006】陽極箔の実効表面積を拡大する技術は、例
えば、特開平7−272983号公報に記載された技術
のように、塩酸水溶液中などで直流電流を用いて電気化
学的にエッチングする第1段エッチング工程と、塩化ナ
トリウムなどの中性塩の水溶液で直流電流を用いてエッ
チングする第2段エッチング工程と、塩酸、硫酸または
硝酸のうち1種類以上を含む水溶液中で直流電流を用い
てエッチングする第3段エッチング工程とからなる製造
方法により、陽極箔の実効表面積の拡大と機械的強度の
向上を図ることができることが記載されている。
As a technique for enlarging the effective surface area of the anode foil, for example, as in the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-272983, a first technique of electrochemically etching using a direct current in a hydrochloric acid aqueous solution or the like is used. Step etching step, a second etching step using a direct current in an aqueous solution of a neutral salt such as sodium chloride, and etching using a direct current in an aqueous solution containing at least one of hydrochloric acid, sulfuric acid and nitric acid It is described that the effective surface area of the anode foil and the mechanical strength can be improved by the manufacturing method including the third etching step.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の陽極箔の実効表面積を拡大する技術では、第1段エッ
チング工程で形成されたメインピットに、このメインピ
ットの途中または末端から枝状に伸びるサブピットを形
成させる第2段エッチング工程において、図2に示すよ
うにメインピット4の途中から枝状に伸びるサブピット
5がアルミニウム箔6の表面層にその表面を溶解しない
までも多数形成されてしまい、陽極箔の静電容量を高く
するのを阻害しているという課題を有していた。なお、
図2は従来のアルミニウム箔6にエッチングにより形成
されたエッチングピットの断面を示す模式図である。
However, in the above-mentioned conventional technique for enlarging the effective surface area of the anode foil, the main pit formed in the first etching step is provided with sub-pits extending in the middle or at the end of the main pit in a branch shape. In the second-stage etching step for forming the pits, as shown in FIG. 2, a large number of sub-pits 5 extending in a branch shape from the middle of the main pit 4 are formed in the surface layer of the aluminum foil 6 even if the surface is not dissolved. There was a problem in that increasing the capacitance of the foil was hindered. In addition,
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of an etching pit formed on a conventional aluminum foil 6 by etching.

【0008】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、アルミニウム箔の表面層の枝状に伸びるサブピット
を抑制し、機械的強度が強くて静電容量の高いアルミ電
解コンデンサ用電極箔とその製造方法を提供することを
目的とするものである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems. An electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor which suppresses subpits extending in the form of a branch on the surface layer of an aluminum foil, has a high mechanical strength, and has a high capacitance is provided. It is intended to provide a manufacturing method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、以下の構成を有するものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention has the following arrangement.

【0010】本発明の請求項1に記載の発明は、アルミ
ニウム箔の両面にエッチング処理により表面から厚さ方
向に多数個のメインピットを設けるとともに、このメイ
ンピットの表面層を除いた途中および末端に枝状に伸び
たサブピットを設けた構成とするもので、この構成にす
ることにより、アルミニウム箔の表面層に枝状に伸びた
サブピットが形成されていないことから、アルミ電解コ
ンデンサ用電極箔の静電容量を高くすることができると
いう作用を有する。
According to the first aspect of the present invention, a plurality of main pits are provided on both surfaces of an aluminum foil in the thickness direction from the surface by an etching process, and the main pits except for the surface layer are formed in the middle and at the ends. In this configuration, the sub-pits extending in a branch shape are provided, and with this configuration, the sub-pits extending in a branch shape are not formed on the surface layer of the aluminum foil. This has the effect that the capacitance can be increased.

【0011】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、サブピットがメインピットよりも短い
ピットとしたものであり、この構成により、アルミ電解
コンデンサ用電極箔の機械的強度を高めることができる
という作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the sub-pits are pits shorter than the main pits. With this configuration, the mechanical strength of the electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor is reduced. It has the effect of being able to increase.

【0012】請求項3に記載の発明は、アルミニウム箔
を塩酸と硫酸または/および硝酸の酸性水溶液のエッチ
ング液に浸漬して直流電流を印加してメインピットを形
成する第1のエッチング工程と、このメインピットの表
面層を除いた途中または末端に枝状に伸びたサブピット
を有効に生成させるために添加剤を加えた中性塩のエッ
チング液で直流電流を印加してエッチングする第2のエ
ッチング工程と、上記メインピットおよびサブピットの
径を拡大する第3のエッチング工程とからなる製造方法
としたものであり、この方法により、アルミニウム箔の
表面が酸化性皮膜で覆われるため、アルミニウム箔の表
面層に枝状に伸びたサブピットを形成させることなく、
メインピットの深さ方向に多数のサブピットを発生させ
ることができるので、機械的強度が強くて静電容量の高
いアルミ電解コンデンサ用電極箔を安定して生産するこ
とができるという作用を有する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a first etching step in which an aluminum foil is immersed in an etching solution of an acidic aqueous solution of hydrochloric acid and sulfuric acid or / and nitric acid and a direct current is applied to form main pits; Second etching in which a direct current is applied with a neutral salt etching solution to which an additive has been added in order to effectively generate sub-pits extending in a branch shape in the middle or at the end of the main pit except for the surface layer. And a third etching step for enlarging the diameters of the main pits and sub-pits. According to this method, the surface of the aluminum foil is covered with an oxidizing film, so that the surface of the aluminum foil is Without forming sub-pits extending in branches in the layer,
Since a large number of sub-pits can be generated in the depth direction of the main pit, there is an effect that an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor having high mechanical strength and high capacitance can be stably produced.

【0013】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の発明において、添加剤を、蓚酸、クエン酸、リン酸、
硼酸、コハク酸、マロン酸の中から選ばれる少なくとも
1種以上とするものであり、また、請求項5に記載の発
明は、その添加剤の濃度を0.01〜1.0%の範囲と
するものであり、この方法により、請求項3に記載の発
明により得られる作用をより効果的に得ることができる
という作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the additive comprises oxalic acid, citric acid, phosphoric acid,
At least one selected from boric acid, succinic acid, and malonic acid. The invention according to claim 5, wherein the concentration of the additive is in the range of 0.01 to 1.0%. This method has an effect that the effect obtained by the invention of claim 3 can be more effectively obtained.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施の形態にお
けるアルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチングピット
の断面を示す模式図である。同図において、1はアルミ
ニウム箔3の表面から厚さ方向に伸びたメインピット、
2は上記メインピット1の表面層を除いた途中および末
端に枝状に伸びたサブピットである。このようなアルミ
電解コンデンサ用電極箔の構造とすることにより、電極
箔の静電容量を高くすることができるとともに、機械的
強度を高めることができる。
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of an etching pit of an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a main pit extending from the surface of the aluminum foil 3 in the thickness direction.
Reference numeral 2 denotes sub-pits extending in a branch shape in the middle and at the end of the main pit 1 excluding the surface layer. With such a structure of the electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, the capacitance of the electrode foil can be increased and the mechanical strength can be increased.

【0015】上記アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造
方法は、まず、第1のエッチング工程は、アルミニウム
箔3の表面を如何に密度を高めて均一にメインピット1
を生成させるかが重要となる。このためには、塩酸と硫
酸または/および硝酸を添加した酸性水溶液のエッチン
グ液で電気化学的にエッチングを行うようにする。
In the above-mentioned method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, first, in a first etching step, the surface of the aluminum foil 3 is uniformly increased in density by increasing the density.
Is important. For this purpose, electrochemical etching is performed using an etching solution of an acidic aqueous solution to which hydrochloric acid and sulfuric acid or / and nitric acid are added.

【0016】この酸性水溶液の塩酸の濃度は2〜15%
の範囲が好ましく、濃度が2%未満では充分なピットを
得ることができず、15%を越えるとアルミニウム箔の
表面の溶解が起きてしまう。好適な範囲は4〜12%で
ある。
The acidic aqueous solution has a hydrochloric acid concentration of 2 to 15%.
When the concentration is less than 2%, sufficient pits cannot be obtained, and when the concentration exceeds 15%, dissolution of the surface of the aluminum foil occurs. The preferred range is 4-12%.

【0017】また、硫酸または/および硝酸を添加する
ことでピット生成密度をより高めることができる。この
添加量としては0.1〜15%の範囲が好ましい。
The pit formation density can be further increased by adding sulfuric acid and / or nitric acid. This addition amount is preferably in the range of 0.1 to 15%.

【0018】上記酸性溶液のエッチング液の温度もメイ
ンピット1の生成に重要な影響を及ぼす。温度が50℃
未満ではメインピット1の生成密度が少なく、一方、1
00℃を越えるとアルミニウム箔3の表面の溶解が起き
るので、エッチング液の温度は50〜100℃の範囲が
好ましい。
The temperature of the etching solution of the acidic solution also has an important influence on the formation of the main pit 1. Temperature is 50 ° C
If it is less than 1, the generation density of the main pit 1 is low.
If the temperature exceeds 00 ° C., the surface of the aluminum foil 3 is melted, so that the temperature of the etching solution is preferably in the range of 50 to 100 ° C.

【0019】次に、第2のエッチング工程は第1のエッ
チング工程で形成されたメインピット1に垂直方向のサ
ブピット2を形成させてエッチングピット密度を増大さ
せる役目をするものである。
Next, the second etching step serves to increase the etching pit density by forming sub-pits 2 in the vertical direction on the main pit 1 formed in the first etching step.

【0020】本発明は、この第2のエッチング工程のサ
ブピット2の形成を規制するものである。すなわち、ア
ルミニウム箔3の両面にエッチング処理により表面から
厚さ方向に設けた多数個のメインピット1に、そのメイ
ンピット1の表面層を除いた途中および末端に枝状に伸
びたサブピット2を設けた構成とするものである。この
ことにより、機械的強度が強く、静電容量の高いアルミ
電解コンデンサ用電極箔を得ることができるものであ
る。
The present invention regulates the formation of the sub-pits 2 in the second etching step. That is, a plurality of main pits 1 provided in the thickness direction from the surface by etching on both surfaces of the aluminum foil 3 are provided with sub-pits 2 extending in a branch shape in the middle and at the end of the main pit 1 excluding the surface layer. The configuration is as follows. Thus, an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor having high mechanical strength and high capacitance can be obtained.

【0021】上記第2のエッチング工程に用いられるエ
ッチング液は、塩化ナトリウム、塩化アンモニウム、塩
化カリウムなどの中性塩水溶液に蓚酸、クエン酸、リン
酸、硼酸、コハク酸、マロン酸の中から選ばれる少なく
とも1種以上を添加したエッチング液でエッチングする
ようにしたもので、このことにより、メインピット1の
表面層を除いた途中および末端に枝状に伸びたサブピッ
ト2を形成させることができる。
The etching solution used in the second etching step is selected from oxalic acid, citric acid, phosphoric acid, boric acid, succinic acid and malonic acid in an aqueous solution of a neutral salt such as sodium chloride, ammonium chloride and potassium chloride. The etching is performed with an etching solution to which at least one or more of the main pits 1 are added, whereby the sub pits 2 extending in a branch shape can be formed in the middle and at the end of the main pit 1 excluding the surface layer.

【0022】上記中性塩水溶液の濃度は0.5〜10%
の範囲が好ましく、濃度が0.5%未満ではサブピット
2の伸長が短く、10%を越えるとメインピット1の全
表面に厚い酸化性皮膜を形成してしまい、サブピット2
の形成が阻害される。また、上記添加剤の濃度は0.0
1〜1.0%の範囲にするのが好ましく、添加剤の濃度
を0.01%未満にするとアルミニウム箔3の表面層に
サブピット2が形成されてしまい、添加剤の濃度が1.
0%を越えるとサブピット2の形成密度が低くなってし
まう。
The concentration of the neutral salt aqueous solution is 0.5 to 10%.
If the concentration is less than 0.5%, the elongation of the sub pit 2 is short, and if it exceeds 10%, a thick oxidized film is formed on the entire surface of the main pit 1 and the sub pit 2
Formation is inhibited. The concentration of the additive is 0.0
When the concentration of the additive is less than 0.01%, sub-pits 2 are formed in the surface layer of the aluminum foil 3, and the concentration of the additive is set to 1%.
If it exceeds 0%, the formation density of the sub-pits 2 will be low.

【0023】上記中性塩水溶液の温度はアルミニウム箔
3との反応に重要な影響を及ぼし、70℃以下ではエッ
チング反応速度が遅くエッチングされにくくなり、一
方、95℃を越えるとアルミニウム箔3の表面溶解が起
こり、本発明の目的とする垂直方向へのサブピット2の
形成ができにくくなる。従って、エッチング液温度は7
0〜95℃が好適な範囲である。
The temperature of the neutral salt aqueous solution has an important effect on the reaction with the aluminum foil 3. At 70 ° C. or lower, the etching reaction rate is slow, and the etching is difficult to be performed. Dissolution occurs, making it difficult to form sub-pits 2 in the vertical direction, which is the object of the present invention. Therefore, the etchant temperature is 7
0-95 ° C is a suitable range.

【0024】なお、必要に応じて第2のエッチング工程
の前に中間処理を行ってもよい。この中間処理は、前段
エッチング工程後のアルミニウム箔3の表面の不均一の
皮膜を除去し、アルミニウム箔3の表面を活性化するも
のである。
Incidentally, if necessary, an intermediate treatment may be performed before the second etching step. This intermediate treatment removes a non-uniform film on the surface of the aluminum foil 3 after the pre-etching step and activates the surface of the aluminum foil 3.

【0025】この中間処理に用いられる液は、塩酸、フ
ッ酸、硝酸のうちから選択された少なくとも1種類の酸
性水溶液が用いられ、上記第1のエッチング工程でメイ
ンピット1が形成されたアルミニウム箔3を浸漬する。
この酸性水溶液の酸濃度は2〜10%の範囲が好まし
い。酸濃度が2%未満では十分な皮膜の除去が行われ
ず、10%を越えるとアルミニウム箔3の表面が溶解し
てしまう。また、この酸性水溶液の温度は、50〜90
℃の範囲が好ましい。
As the liquid used for the intermediate treatment, at least one kind of an acidic aqueous solution selected from hydrochloric acid, hydrofluoric acid and nitric acid is used, and the aluminum foil on which the main pits 1 are formed in the first etching step is used. 3 is immersed.
The acid concentration of this acidic aqueous solution is preferably in the range of 2 to 10%. If the acid concentration is less than 2%, the film is not sufficiently removed, and if it exceeds 10%, the surface of the aluminum foil 3 is dissolved. The temperature of the acidic aqueous solution is 50 to 90.
C. is preferred.

【0026】次に、第3のエッチング工程は、第1のエ
ッチング工程および第2のエッチング工程で形成された
メインピット1およびサブピット2をアルミニウム箔3
の表面の溶解を抑えて径拡大を行うものである。
Next, in the third etching step, the main pits 1 and the sub pits 2 formed in the first etching step and the second etching step are
Is to increase the diameter while suppressing the dissolution of the surface.

【0027】この第3のエッチング工程に用いられるエ
ッチング液は、硫酸、硝酸のいずれかに蓚酸、クロム
酸、酢酸、リン酸、クエン酸、硼酸の少なくとも1種類
以上を添加したエッチング液が好ましく、またこのエッ
チング液の濃度は0.1〜5.0%の範囲が好ましい。
濃度が0.1%未満ではアルミニウム箔3の表面の溶解
が起こり、5.0%を越えるとアルミニウム箔3の表面
に酸化皮膜が形成されすぎてピットの径拡大が起こりに
くくなる。
The etchant used in the third etching step is preferably an etchant obtained by adding at least one of oxalic acid, chromic acid, acetic acid, phosphoric acid, citric acid and boric acid to either sulfuric acid or nitric acid. The concentration of this etching solution is preferably in the range of 0.1 to 5.0%.
If the concentration is less than 0.1%, the surface of the aluminum foil 3 will be dissolved, and if it exceeds 5.0%, an oxide film will be formed too much on the surface of the aluminum foil 3 and it will be difficult for the pit diameter to increase.

【0028】このようなアルミ電解コンデンサ用電極箔
の製造方法により、第2のエッチング工程でサブピット
2を形成するときに、添加剤を加えた中性塩水溶液でエ
ッチングすることにより、アルミニウム箔3の表面とメ
インピット1の表面にそれぞれ厚みの違う酸化性皮膜が
形成されるため、このメインピット1の表面層を除いた
途中および末端に枝状に伸びたサブピット2を多数発生
させることができるので、機械的強度が強くて静電容量
の高いアルミ電解コンデンサ用電極箔を安定して生産す
ることができる。
According to such a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, when the sub-pit 2 is formed in the second etching step, the aluminum foil 3 is etched by etching with a neutral salt aqueous solution containing an additive. Oxidized films having different thicknesses are formed on the surface of the main pit 1 and the surface of the main pit 1, so that a large number of sub-pits 2 extending in a branch can be generated in the middle and at the end of the main pit 1 excluding the surface layer. In addition, an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor having high mechanical strength and high capacitance can be stably produced.

【0029】以下、本実施の形態について実施例を用い
て詳細に説明する。
Hereinafter, the present embodiment will be described in detail using examples.

【0030】(実施例1)純度99.98%、厚み10
0μmのアルミニウム箔を用い、第1のエッチング工程
として、液温度85℃の酸性水溶液(塩酸濃度10%、
硫酸濃度10%)のエッチング液中に上記アルミニウム
箔を浸漬し、電流密度20A/dm2の直流電流を25
0秒間印加してエッチングを行いメインピットを形成し
た。
(Example 1) Purity 99.98%, thickness 10
Using an aluminum foil of 0 μm, an acidic aqueous solution (hydrochloric acid concentration 10%,
The aluminum foil was immersed in an etching solution having a sulfuric acid concentration of 10%), and a direct current having a current density of 20 A / dm 2 was applied to the aluminum foil for 25 minutes.
A main pit was formed by applying a voltage of 0 second for etching.

【0031】次に、中間処理として温度40℃、濃度
0.5%の硫酸水溶液中に60秒間浸漬を行った。
Next, as an intermediate treatment, the substrate was immersed in an aqueous solution of sulfuric acid having a temperature of 40 ° C. and a concentration of 0.5% for 60 seconds.

【0032】次に、第2のエッチング工程として温度7
0℃の中性塩水溶液(塩化ナトリウム3.0%、蓚酸
0.1%)中に浸漬し、電流密度15A/dm2の直流
電流を250秒間印加してエッチングを行いサブピット
を形成した。
Next, at a temperature of 7 as a second etching step.
It was immersed in a neutral salt aqueous solution (sodium chloride 3.0%, oxalic acid 0.1%) at 0 ° C., and was subjected to etching by applying a direct current having a current density of 15 A / dm 2 for 250 seconds to form sub-pits.

【0033】次に、第3のエッチング工程として温度7
0℃、濃度3%の硝酸水溶液中に浸漬し、かつ電流密度
10A/dm2の直流電流を600秒間印加して、メイ
ンピットおよびサブピットの径の拡大を行い、最後に脱
Cl処理として液温50℃、濃度10%の硝酸水溶液中
で1分間洗浄してエッチングされた陽極箔を作製した。
Next, at a temperature of 7 as a third etching step.
It was immersed in a 3% nitric acid aqueous solution at 0 ° C. and a direct current having a current density of 10 A / dm 2 was applied for 600 seconds to enlarge the diameters of the main pits and sub pits. The anode foil was washed by washing in an aqueous solution of nitric acid having a concentration of 10% at 50 ° C. for 1 minute to produce an etched anode foil.

【0034】(実施例2)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化カリウム
3.0%、蓚酸0.1%の中性塩水溶液に代えた以外は
実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔を作製し
た。
(Embodiment 2) In the first embodiment, the second
An etched anode foil was produced in the same manner as in Example 1 except that the neutral salt aqueous solution used in the etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% potassium chloride and 0.1% oxalic acid.

【0035】(実施例3)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、蓚酸0.1%の中性塩水溶液に代えた以
外は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔を作
製した。
(Embodiment 3) In the first embodiment, the second
An anode foil was etched in the same manner as in Example 1 except that the aqueous neutral salt solution used in the etching step was replaced with a neutral aqueous salt solution of 3.0% ammonium chloride and 0.1% oxalic acid.

【0036】(実施例4)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、硼酸0.2%の中性塩水溶液に代えた以
外は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔を作
製した。
(Embodiment 4) In the first embodiment, the second
An anode foil was etched in the same manner as in Example 1 except that the neutral salt aqueous solution used in the etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% ammonium chloride and 0.2% boric acid.

【0037】(実施例5)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、リン酸0.1%の中性塩水溶液に代えた
以外は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔を
作製した。
(Embodiment 5) In the first embodiment, the second
An etched anode foil was prepared in the same manner as in Example 1 except that the aqueous neutral salt solution used in the etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% ammonium chloride and 0.1% phosphoric acid.

【0038】(実施例6)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、クエン酸0.3%の中性塩水溶液に代え
た以外は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔
を作製した。
(Embodiment 6) In the first embodiment, the second
An anode foil was etched in the same manner as in Example 1 except that the aqueous neutral salt solution used in the etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% ammonium chloride and 0.3% citric acid.

【0039】(実施例7)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、コハク酸1.0%の中性塩水溶液に代え
た以外は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔
を作製した。
(Embodiment 7) In the first embodiment, the second
An anode foil was etched in the same manner as in Example 1 except that the neutral salt aqueous solution used in the etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% ammonium chloride and 1.0% succinic acid.

【0040】(実施例8)上記実施例1において、第2
のエッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化アンモニ
ウム3.0%、蓚酸の添加量を0.005,0.01,
0.05,0.1,0.5,1.0,1.5%のそれぞ
れの中性塩水溶液に代えた以外は実施例1と同様にして
エッチングされた陽極箔を作製した。
(Eighth Embodiment) In the first embodiment, the second
The aqueous solution of the neutral salt used in the etching step was adjusted to 3.0% ammonium chloride, and the added amount of oxalic acid was adjusted to 0.005, 0.01,
Anode foils were etched in the same manner as in Example 1, except that the neutral salt aqueous solutions of 0.05, 0.1, 0.5, 1.0, and 1.5% were used.

【0041】(実施例9)上記実施例1において、第1
のエッチング工程の酸性水溶液を塩酸濃度10%、硝酸
濃度10%にしたエッチング液を用いた以外は実施例1
と同様にしてエッチングされた陽極箔を作製した。
(Embodiment 9) In the first embodiment, the first
Example 1 except for using an etching solution in which the acidic aqueous solution in the etching step was adjusted to a hydrochloric acid concentration of 10% and a nitric acid concentration of 10%
In the same manner as described above, an etched anode foil was produced.

【0042】(比較例)上記実施例1において、第2の
エッチング工程で用いた中性塩水溶液を塩化ナトリウム
3.0%(添加剤は無し)の中性塩水溶液に代えた以外
は実施例1と同様にしてエッチングされた陽極箔を作製
した。
(Comparative Example) The same procedure as in Example 1 was carried out except that the neutral salt aqueous solution used in the second etching step was replaced with a neutral salt aqueous solution of 3.0% sodium chloride (no additive). In the same manner as in Example 1, an etched anode foil was produced.

【0043】上記した本発明の実施例1〜9および比較
例のエッチングされた陽極箔について、液温90℃、濃
度8%のほう酸水溶液中で500V化成を行い、それら
の各試料について静電容量と折曲げ強度(φ1.0mm、
50g荷重、折曲げ角度90度の条件下で1往復を1回
とする)を測定した。その結果を(表1)に示す。
The etched anode foils of Examples 1 to 9 of the present invention and the comparative example were subjected to chemical conversion at a liquid temperature of 90 ° C. in an aqueous 8% boric acid solution at 500 V, and the capacitance of each sample was measured. And bending strength (φ1.0mm,
Under a condition of a load of 50 g and a bending angle of 90 degrees, one reciprocation is defined as one time). The results are shown in (Table 1).

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】(表1)から明らかなように、本発明の実
施例1〜9による陽極箔は、アルミニウム箔の両面にエ
ッチング処理により表面から厚さ方向に設けた多数個の
メインピットに、そのメインピットの表面層を除いた途
中および末端に枝状に伸びたサブピットを設けることに
より、比較例の陽極箔に比べて静電容量が高く機械的強
度も強い陽極箔を得ることができる。
As is clear from Table 1, the anode foils according to Examples 1 to 9 of the present invention have a large number of main pits provided in the thickness direction from the surface by etching on both surfaces of the aluminum foil. By providing subpits extending in a branch shape in the middle and at the end of the main pit except for the surface layer, an anode foil having a higher capacitance and higher mechanical strength than the anode foil of the comparative example can be obtained.

【0046】上記実施例1〜7は中性塩水溶液として塩
化ナトリウム、塩化カリウム、塩化アンモニウムを用い
たが、本発明はこれに限定するものではない。
In Examples 1 to 7, sodium chloride, potassium chloride and ammonium chloride were used as the aqueous neutral salt solution, but the present invention is not limited to this.

【0047】また、実施例8より、中性塩水溶液への添
加剤の添加量は0.01〜1.0%にすることにより、
静電容量が高く機械的強度も強い陽極箔を得ることがで
きる。
Further, according to Example 8, the amount of the additive added to the aqueous solution of the neutral salt was adjusted to 0.01 to 1.0%,
An anode foil having a high capacitance and a high mechanical strength can be obtained.

【0048】さらに、第1のエッチング工程の酸性水溶
液を塩酸と硝酸を用いたエッチング液にしても実施例1
と同等の特性を得ることができる。
Further, the acidic aqueous solution in the first etching step was changed to an etching solution using hydrochloric acid and nitric acid.
The same characteristics can be obtained.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、アルミニ
ウム箔の両面にエッチング処理により表面から厚さ方向
に多数個のメインピットを設けるとともに、このメイン
ピットの表面層を除いた途中および末端に枝状に伸びた
サブピットを設けた構成とすることにより、アルミニウ
ム箔の表面層に枝状に伸びたサブピットが形成されない
ことから、静電容量に有効なサブピットの密度を高める
ことができ、機械的強度が強くて静電容量の高いアルミ
電解コンデンサ用電極箔を得ることができるという効果
を奏するものである。
As described above, according to the present invention, a large number of main pits are provided on the both surfaces of the aluminum foil in the thickness direction from the surface by etching, and the main pits except for the surface layer are formed in the middle and at the ends. With the configuration in which the sub-pits extending in a branch shape are provided on the surface layer of the aluminum foil, the sub-pits extending in a branch shape are not formed on the surface layer of the aluminum foil. This has the effect that an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor having a high mechanical strength and a high capacitance can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態におけるアルミ電解コン
デンサ用電極箔のエッチングピットの断面を示す模式図
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of an etching pit of an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のアルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチ
ングピットの断面を示す模式図
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of an etching pit of a conventional electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 メインピット 2 サブピット 3 アルミニウム箔 1 Main pit 2 Sub pit 3 Aluminum foil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中西 和明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山口 真一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Kazuaki Nakanishi 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルミニウム箔の両面にエッチング処理
により表面から厚さ方向に多数個のメインピットを設け
るとともに、このメインピットの表面層を除いた途中お
よび末端に枝状に伸びたサブピットを設けたアルミ電解
コンデンサ用電極箔。
An aluminum foil is provided with a plurality of main pits on both sides thereof in the thickness direction from the surface by etching, and sub-pits extending in a branch shape in the middle of the main pit except for the surface layer and at the end. Electrode foil for aluminum electrolytic capacitors.
【請求項2】 サブピットがメインピットよりも短いピ
ットである請求項1に記載のアルミ電解コンデンサ用電
極箔。
2. The electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the sub pit is a pit shorter than the main pit.
【請求項3】 アルミニウム箔を塩酸と硫酸または/お
よび硝酸の酸性水溶液のエッチング液に浸漬して直流電
流を印加してメインピットを形成する第1のエッチング
工程と、このメインピットの表面層を除いた途中および
末端に枝状に伸びたサブピットを有効に生成させるため
に添加剤を加えた中性塩のエッチング液で直流電流を印
加してエッチングする第2のエッチング工程と、上記メ
インピットおよびサブピットの径を拡大する第3のエッ
チング工程とからなるアルミ電解コンデンサ用電極箔の
製造方法。
3. A first etching step in which an aluminum foil is immersed in an etching solution of an acidic aqueous solution of hydrochloric acid and sulfuric acid or / and nitric acid and a direct current is applied to form main pits. A second etching step of applying a direct current with an etching solution of a neutral salt to which an additive has been added to effectively generate sub-pits extending in a branch shape in the middle and at the end of the main pit, A method of manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, comprising: a third etching step of enlarging the diameter of a sub-pit.
【請求項4】 添加剤をクロム酸、蓚酸、クエン酸、リ
ン酸、硼酸、コハク酸、マロン酸の中から選ばれる少な
くとも1種以上とする請求項3に記載のアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法。
4. The electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 3, wherein the additive is at least one selected from chromic acid, oxalic acid, citric acid, phosphoric acid, boric acid, succinic acid, and malonic acid. Production method.
【請求項5】 添加剤の濃度を0.01〜1.0%の範
囲とする請求項3に記載のアルミ電解コンデンサ用電極
箔の製造方法。
5. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 3, wherein the concentration of the additive is in the range of 0.01 to 1.0%.
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