JP2002224792A - 多角形断面中空体の製造方法および前記方法により製造された多角形断面中空体 - Google Patents
多角形断面中空体の製造方法および前記方法により製造された多角形断面中空体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体や液晶の製造装置などに使用される多
角形断面中空体の製造方法を提供する。 【解決手段】 リング状素材１を多角形断面中空体（製
品）に近似した形状の多角形断面中空素材１０に鍛造加
工し、この多角形断面中空素材１０を多角形断面中空体
１３に切削加工する。 【効果】 リング状素材１を、一旦、多角形断面中空体
（製品）に近似した形状の多角形断面中空素材１０に鍛
造加工したのち、多角形断面中空体１３に切削加工する
ので、リング状素材１から直接多角形断面中空体１３を
切削加工する従来法に較べて素材投入量および切削屑量
が少なく、切削加工時間も短い。また原料サイズが同じ
場合はより大サイズの多角形断面中空体が得られる。さ
らに得られる多角形断面中空体は鍛造加工が施されてい
るため収縮孔などの欠陥を含まず高品質である。
角形断面中空体の製造方法を提供する。 【解決手段】 リング状素材１を多角形断面中空体（製
品）に近似した形状の多角形断面中空素材１０に鍛造加
工し、この多角形断面中空素材１０を多角形断面中空体
１３に切削加工する。 【効果】 リング状素材１を、一旦、多角形断面中空体
（製品）に近似した形状の多角形断面中空素材１０に鍛
造加工したのち、多角形断面中空体１３に切削加工する
ので、リング状素材１から直接多角形断面中空体１３を
切削加工する従来法に較べて素材投入量および切削屑量
が少なく、切削加工時間も短い。また原料サイズが同じ
場合はより大サイズの多角形断面中空体が得られる。さ
らに得られる多角形断面中空体は鍛造加工が施されてい
るため収縮孔などの欠陥を含まず高品質である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の製
造装置（チャンバー）などに使用される多角形断面中空
体の製造方法、および前記方法により製造された多角形
断面中空体に関する。
造装置（チャンバー）などに使用される多角形断面中空
体の製造方法、および前記方法により製造された多角形
断面中空体に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶の製造装置は大型化が進ん
でおり、この装置に使用されるアルミニウム（Ａｌ）合
金製多角形断面中空体も１辺が１ｍを超えるほどに大型
化してきており、大型の多角形断面中空体の製造技術の
確立が重要課題とされている。
でおり、この装置に使用されるアルミニウム（Ａｌ）合
金製多角形断面中空体も１辺が１ｍを超えるほどに大型
化してきており、大型の多角形断面中空体の製造技術の
確立が重要課題とされている。
【０００３】多角形断面中空体の製造方法には、圧延板
を突き合わせ溶接して作製した多角形断面中空素材を切
削加工する方法、スラブ（断面角型鋳塊）を多角形断面
中空体（製品）に切削加工する方法などがあるが、前者
は溶接欠陥（ミクロクラックなど）を含み、後者は鋳造
欠陥（収縮孔など）を含むため、いずれも切削加工後の
製品表面に欠陥が露出したり、製品の気密性が劣ったり
する品質上の問題がある。また前者には製品（多角形断
面中空体）厚さが圧延板の厚さに規制されるという問題
もある。
を突き合わせ溶接して作製した多角形断面中空素材を切
削加工する方法、スラブ（断面角型鋳塊）を多角形断面
中空体（製品）に切削加工する方法などがあるが、前者
は溶接欠陥（ミクロクラックなど）を含み、後者は鋳造
欠陥（収縮孔など）を含むため、いずれも切削加工後の
製品表面に欠陥が露出したり、製品の気密性が劣ったり
する品質上の問題がある。また前者には製品（多角形断
面中空体）厚さが圧延板の厚さに規制されるという問題
もある。
【０００４】前記方法の他には、円筒延ばし鍛造により
作製した竹輪状中空体を輪切りにし、これを製品形状に
切削加工する方法も従来より知られているが、鍛造時の
内径と同一サイズの芯金が必要なため汎用性に劣る上、
この方法は大型の多角形断面中空体の製造には適さな
い。
作製した竹輪状中空体を輪切りにし、これを製品形状に
切削加工する方法も従来より知られているが、鍛造時の
内径と同一サイズの芯金が必要なため汎用性に劣る上、
この方法は大型の多角形断面中空体の製造には適さな
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さらに、拡径鍛造法、
穴拡げ鍛造法（特開昭５４−１２７８６４号公報）、リ
ングミル法などによりリング状素材を作製し、これを製
品形状に切削加工する方法も従来より実用されている
が、これらの方法は、鍛造などの塑性加工を行うため品
質的には問題ないが、図５に示すように、リング状素材
１６から製品１３を直接削り出すため素材投入量が多
く、それに伴い切削屑量が多くなり、また切削加工に長
時間を要するといった問題がある。本発明は、このよう
な状況に鑑みなされたもので、その目的は、素材投入量
および切削屑量が少なく、切削加工時間が短かく、さら
に原料サイズが同じ場合はより大サイズの多角形断面中
空体が得られる多角形断面中空体の製造方法および前記
方法により製造された多角形断面中空体を提供すること
にある。
穴拡げ鍛造法（特開昭５４−１２７８６４号公報）、リ
ングミル法などによりリング状素材を作製し、これを製
品形状に切削加工する方法も従来より実用されている
が、これらの方法は、鍛造などの塑性加工を行うため品
質的には問題ないが、図５に示すように、リング状素材
１６から製品１３を直接削り出すため素材投入量が多
く、それに伴い切削屑量が多くなり、また切削加工に長
時間を要するといった問題がある。本発明は、このよう
な状況に鑑みなされたもので、その目的は、素材投入量
および切削屑量が少なく、切削加工時間が短かく、さら
に原料サイズが同じ場合はより大サイズの多角形断面中
空体が得られる多角形断面中空体の製造方法および前記
方法により製造された多角形断面中空体を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
リング状素材を多角形断面中空体（製品）に近似した形
状の多角形断面中空素材に鍛造加工し、この多角形断面
中空素材を多角形断面中空体に切削加工することを特徴
とする多角形断面中空体の製造方法である。
リング状素材を多角形断面中空体（製品）に近似した形
状の多角形断面中空素材に鍛造加工し、この多角形断面
中空素材を多角形断面中空体に切削加工することを特徴
とする多角形断面中空体の製造方法である。
【０００７】請求項２記載の発明は、リング状素材を、
前記リング状素材の外側に平坦状金敷またはＶ字状金敷
を配し、内側に多角形棒状芯金を配して鍛造加工するこ
とを特徴とする請求項１記載の多角形断面中空体の製造
方法である。
前記リング状素材の外側に平坦状金敷またはＶ字状金敷
を配し、内側に多角形棒状芯金を配して鍛造加工するこ
とを特徴とする請求項１記載の多角形断面中空体の製造
方法である。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の製造方法により製造されたことを特徴とする多角
形断面中空体である。
記載の製造方法により製造されたことを特徴とする多角
形断面中空体である。
【０００９】請求項４記載の発明は、前記多角形断面中
空体が半導体または液晶の製造装置に使用されるアルミ
ニウム合金製大型多角形断面中空体であることを特徴と
する請求項３記載の多角形断面中空体である。
空体が半導体または液晶の製造装置に使用されるアルミ
ニウム合金製大型多角形断面中空体であることを特徴と
する請求項３記載の多角形断面中空体である。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明において、多角形断面中空
素材とは、その外周および内周を若干量切削加工するこ
とにより多角形断面中空体となし得る多角形断面中空体
に近似した形状の素材である。前記多角形断面中空素材
は、リング状素材をプレス成形することにより製造され
る。そして、前記リング状素材１の形状（寸法）は、図
１に示すように、その外径を多角形断面中空体２に外接
する円の直径にほぼ一致させ、内径を多角形断面中空体
２の中空部３に外接する円の直径にほぼ一致させること
により、多角形断面中空素材１０への成形をスムーズに
行うことができる。
素材とは、その外周および内周を若干量切削加工するこ
とにより多角形断面中空体となし得る多角形断面中空体
に近似した形状の素材である。前記多角形断面中空素材
は、リング状素材をプレス成形することにより製造され
る。そして、前記リング状素材１の形状（寸法）は、図
１に示すように、その外径を多角形断面中空体２に外接
する円の直径にほぼ一致させ、内径を多角形断面中空体
２の中空部３に外接する円の直径にほぼ一致させること
により、多角形断面中空素材１０への成形をスムーズに
行うことができる。
【００１１】リング状素材を多角形断面中空素材にプレ
ス成形するには鍛造用プレスが好適である。前記鍛造用
プレスでは、一般に、前記リング状素材の外側に平坦状
またはＶ字状金敷を配し、内側に多角形棒状芯金を配し
て鍛造加工する。
ス成形するには鍛造用プレスが好適である。前記鍛造用
プレスでは、一般に、前記リング状素材の外側に平坦状
またはＶ字状金敷を配し、内側に多角形棒状芯金を配し
て鍛造加工する。
【００１２】本発明では、リング状素材を鍛造加工によ
り、形状が多角形断面中空体に近似した多角形断面中空
素材に成形し、これを多角形断面中空体に切削加工する
ので、リング状素材から直接多角形断面中空体を切削加
工する従来法に較べて、素材投入量および切削屑量が少
なく、切削加工時間が短い。本発明によれば、同じサイ
ズの原料（スラブなど）を用いた場合、従来法よりも大
きなサイズの多角形断面中空体を製造することができ
る。
り、形状が多角形断面中空体に近似した多角形断面中空
素材に成形し、これを多角形断面中空体に切削加工する
ので、リング状素材から直接多角形断面中空体を切削加
工する従来法に較べて、素材投入量および切削屑量が少
なく、切削加工時間が短い。本発明によれば、同じサイ
ズの原料（スラブなど）を用いた場合、従来法よりも大
きなサイズの多角形断面中空体を製造することができ
る。
【００１３】
【実施例】以下に本発明を実施例により詳細に説明す
る。 （実施例１）図２に示す工程に従って多角形断面中空体
を製造した。先ず、Ａｌ合金スラブ４（図２イ、３８０
×１３４０×１５４０ｍｍ、２１１３．０ｋｇ）にＢ面
方向鍛伸とＣ面方向鍛伸を繰り返し施して円柱素材５
（図２ロ、１０８０×８５０ｍｍφ）を作製し、次いで
その中心に３７０ｍｍφの貫通穴６を機械加工により開
けて中空素材７（図２ハ）とし、次いで貫通穴６に３５
０ｍｍφの芯金８を通し、この芯金８と外側に配した平
金敷（図示せず）を用いて拡径鍛造してリング状素材１
（図２ニ：外径１４７０ｍｍ、内径１０６０ｍｍ、長さ
８５０ｍｍ）を作製した。図２（ニ）に示したリング状
素材１の断面寸法は、リング状素材１の外周が八角形断
面中空素材の外周に内接し、かつリング状素材１の肉厚
Ｔが八角形断面中空素材の最大肉厚部ｔ（角部、図１参
照）と同じ肉厚になるように設計した。
る。 （実施例１）図２に示す工程に従って多角形断面中空体
を製造した。先ず、Ａｌ合金スラブ４（図２イ、３８０
×１３４０×１５４０ｍｍ、２１１３．０ｋｇ）にＢ面
方向鍛伸とＣ面方向鍛伸を繰り返し施して円柱素材５
（図２ロ、１０８０×８５０ｍｍφ）を作製し、次いで
その中心に３７０ｍｍφの貫通穴６を機械加工により開
けて中空素材７（図２ハ）とし、次いで貫通穴６に３５
０ｍｍφの芯金８を通し、この芯金８と外側に配した平
金敷（図示せず）を用いて拡径鍛造してリング状素材１
（図２ニ：外径１４７０ｍｍ、内径１０６０ｍｍ、長さ
８５０ｍｍ）を作製した。図２（ニ）に示したリング状
素材１の断面寸法は、リング状素材１の外周が八角形断
面中空素材の外周に内接し、かつリング状素材１の肉厚
Ｔが八角形断面中空素材の最大肉厚部ｔ（角部、図１参
照）と同じ肉厚になるように設計した。
【００１４】次にリング状素材１に１辺４００ｍｍの断
面四角形の芯金９を通し、この芯金９と外側に配した平
金敷（図示せず）を用いて鍛造加工して八角形断面中空
素材１０（図２ホ）を作製した。ここで前記平金敷は八
角形断面中空素材１０の長辺１１に当て、短辺１２はで
きなりとした。次に八角形断面中空素材１０の外周と内
周を切削加工して八角形断面中空体（製品）１３（図２
ヘ）を製造した。前記鍛造加工は、製品の寸法に倣って
作製したゲージを突き合わせて寸法を確認しながら行っ
た。調質はＨ１１２とし、特に熱処理は行わなかった。
Ａｌ合金スラブ４には、Ｓｉを０．２５mass％、Ｆｅを
０．４０mass％、Ｃｕを０．１０mass％、Ｍｎを０．０
５mass％、Ｍｇを２．５mass％、Ｃｒを０．２５mass
％、Ｚｎを０．０５mass％含み、残部がＡｌと不可避不
純物からなるＡｌ合金を用いた。
面四角形の芯金９を通し、この芯金９と外側に配した平
金敷（図示せず）を用いて鍛造加工して八角形断面中空
素材１０（図２ホ）を作製した。ここで前記平金敷は八
角形断面中空素材１０の長辺１１に当て、短辺１２はで
きなりとした。次に八角形断面中空素材１０の外周と内
周を切削加工して八角形断面中空体（製品）１３（図２
ヘ）を製造した。前記鍛造加工は、製品の寸法に倣って
作製したゲージを突き合わせて寸法を確認しながら行っ
た。調質はＨ１１２とし、特に熱処理は行わなかった。
Ａｌ合金スラブ４には、Ｓｉを０．２５mass％、Ｆｅを
０．４０mass％、Ｃｕを０．１０mass％、Ｍｎを０．０
５mass％、Ｍｇを２．５mass％、Ｃｒを０．２５mass
％、Ｚｎを０．０５mass％含み、残部がＡｌと不可避不
純物からなるＡｌ合金を用いた。
【００１５】実施例１（本発明例）における素材投入
量、鍛造加工時間比および切削加工時間比を調べた。比
較のため、図５に示したリング状素材から多角形断面中
空体を直接切削加工する従来法についても同様の調査を
行った。結果を表１に示す。
量、鍛造加工時間比および切削加工時間比を調べた。比
較のため、図５に示したリング状素材から多角形断面中
空体を直接切削加工する従来法についても同様の調査を
行った。結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】 （註）素材投入量はスラブの重量。時間比は従来法の鍛
造（拡径鍛造）加工時間を１．００としたときの比較
値。
造（拡径鍛造）加工時間を１．００としたときの比較
値。
【００１７】表１から明らかなように、本発明例は、素
材投入量が少ない。鍛造加工時間比は本発明例の方が従
来法より大きいが、これは本発明例はリング状素材を多
角形断面中空素材に鍛造加工する時間を含み、従来法は
それを含まないためである。切削加工時間比は本発明例
の方が短い。これは本発明例の方が切削加工量（素材投
入量）が少ないためである。両方を合計した時間比は本
発明例の方が従来法より約２８％短かい。これは切削加
工の方が鍛造加工より時間が掛かるためである。
材投入量が少ない。鍛造加工時間比は本発明例の方が従
来法より大きいが、これは本発明例はリング状素材を多
角形断面中空素材に鍛造加工する時間を含み、従来法は
それを含まないためである。切削加工時間比は本発明例
の方が短い。これは本発明例の方が切削加工量（素材投
入量）が少ないためである。両方を合計した時間比は本
発明例の方が従来法より約２８％短かい。これは切削加
工の方が鍛造加工より時間が掛かるためである。
【００１８】本発明例における八角形断面中空素材１０
の表面硬度分布をブリネル式硬さ計を用いて測定した。
測定点は、図３に示すように、両端面の４長辺１１の各
中心点と４長辺１１の各側面の軸方向中心線上３等分点
の合計２０点とした。測定結果を図３に示す。
の表面硬度分布をブリネル式硬さ計を用いて測定した。
測定点は、図３に示すように、両端面の４長辺１１の各
中心点と４長辺１１の各側面の軸方向中心線上３等分点
の合計２０点とした。測定結果を図３に示す。
【００１９】図３から明らかなように、本発明例の八角
形断面中空素材１０の表面硬度は５２〜５６ＨＢの範囲
となり、４５〜６５ＨＢの規格を十分に満足し、良好な
均一性が確認された。
形断面中空素材１０の表面硬度は５２〜５６ＨＢの範囲
となり、４５〜６５ＨＢの規格を十分に満足し、良好な
均一性が確認された。
【００２０】本発明例における八角形断面中空体１３に
ついて超音波探傷検査（非破壊検査）を行い、アメリカ
軍規格のＭＩＬ−ＳＴＤ−２１５４のクラスＡＡに照ら
してその品質を評価した。その結果、（ａ）１．２ｍｍ
を超える単独欠陥、（ｂ）０．８ｍｍを超える不連続欠
陥（長さを有する欠陥も含む）、（ｃ）底面反射波の低
下が５０％以上となる領域、は全く検出されず、前記ク
ラスＡＡを満足することが判明した。
ついて超音波探傷検査（非破壊検査）を行い、アメリカ
軍規格のＭＩＬ−ＳＴＤ−２１５４のクラスＡＡに照ら
してその品質を評価した。その結果、（ａ）１．２ｍｍ
を超える単独欠陥、（ｂ）０．８ｍｍを超える不連続欠
陥（長さを有する欠陥も含む）、（ｃ）底面反射波の低
下が５０％以上となる領域、は全く検出されず、前記ク
ラスＡＡを満足することが判明した。
【００２１】実施例１では、八角形断面中空素材の長辺
１１は平坦状金敷を用いて成形したが、短辺１０はでき
なりとした。しかし、四角形断面中空素材１４のような
角をしっかり出す必要があるものは、図４に示すよう
に、角部内側に芯金９を配し、角部外側にＶ字型金敷１
５を配して成形する。
１１は平坦状金敷を用いて成形したが、短辺１０はでき
なりとした。しかし、四角形断面中空素材１４のような
角をしっかり出す必要があるものは、図４に示すよう
に、角部内側に芯金９を配し、角部外側にＶ字型金敷１
５を配して成形する。
【００２２】本発明において、芯金の断面形状は正四角
形、長方形、多角形など任意である。このうち断面長方
形の芯金は、その置き方で断面係数が変化するので、プ
レス圧力に応じて或いは製品断面の各面の長さに応じて
置き方を変えることでプレス作業性を改善できる。また
多角形断面芯金は、製品と当たる部分を芯金の角部とす
るか面部とするかで、製品の角部と平坦部の両方の鍛造
に対応できる。
形、長方形、多角形など任意である。このうち断面長方
形の芯金は、その置き方で断面係数が変化するので、プ
レス圧力に応じて或いは製品断面の各面の長さに応じて
置き方を変えることでプレス作業性を改善できる。また
多角形断面芯金は、製品と当たる部分を芯金の角部とす
るか面部とするかで、製品の角部と平坦部の両方の鍛造
に対応できる。
【００２３】本発明において、中空素材には、鍛造材を
穴開け加工したもの、円柱ビレットに穴開け加工したも
の、中空ビレット、押出中空材、マンネスマン加工材な
ど任意の中空材が使用できる。本発明は、Ａｌ材を始め
として銅材、鉄材など任意の金属材料に適用できる。
穴開け加工したもの、円柱ビレットに穴開け加工したも
の、中空ビレット、押出中空材、マンネスマン加工材な
ど任意の中空材が使用できる。本発明は、Ａｌ材を始め
として銅材、鉄材など任意の金属材料に適用できる。
【００２４】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明方法は、リ
ング状素材を多角形断面中空体（製品）に近似した形状
の多角形断面中空素材に鍛造加工し、この多角形断面中
空素材を多角形断面中空体に切削加工するので、リング
状素材から直接多角形断面中空体を切削加工する従来法
に較べて素材投入量および切削屑量が少なく、切削加工
時間も短い。また原料サイズが同じ場合はより大サイズ
の多角形断面中空体が得られる。さらに得られる多角形
断面中空体は鍛造加工が施されているため収縮孔などの
欠陥を含まず高品質である。依って、半導体や液晶など
の製造装置の大型化に十分対応でき、工業上顕著な効果
を奏する。
ング状素材を多角形断面中空体（製品）に近似した形状
の多角形断面中空素材に鍛造加工し、この多角形断面中
空素材を多角形断面中空体に切削加工するので、リング
状素材から直接多角形断面中空体を切削加工する従来法
に較べて素材投入量および切削屑量が少なく、切削加工
時間も短い。また原料サイズが同じ場合はより大サイズ
の多角形断面中空体が得られる。さらに得られる多角形
断面中空体は鍛造加工が施されているため収縮孔などの
欠陥を含まず高品質である。依って、半導体や液晶など
の製造装置の大型化に十分対応でき、工業上顕著な効果
を奏する。
【図１】本発明におけるリング状素材の寸法説明図であ
る。
る。
【図２】本発明の多角形断面中空体の製造方法の実施形
態を示す工程説明図である。
態を示す工程説明図である。
【図３】本発明における多角形断面中空素材の表面硬度
分布図である。
分布図である。
【図４】本発明における四角形断面中空素材の角をしっ
かり出す鍛造加工により成形する実施形態の説明図であ
る。
かり出す鍛造加工により成形する実施形態の説明図であ
る。
【図５】従来法におけるリング状素材の寸法説明図であ
る。
る。
１ 本発明におけるリング状素材 ２ 八角形断面中空素材 ３ 八角形断面中空素材の中空部 ４ Ａｌ合金スラブ ５ 円柱素材 ６ 中空素材の貫通穴 ７ 中空素材 ８ 拡径鍛造用芯金 ９ 鍛造加工用芯金 １０ 八角形断面中空素材 １１ 八角形断面中空素材の長辺 １２ 八角形断面中空素材の短辺 １３ 八角形断面中空体（製品） １４ 四角形断面中空素材 １５ Ｖ字型金敷 １６ 従来のリング状素材
Claims (4)
- 【請求項１】 リング状素材を多角形断面中空体（製
品）に近似した形状の多角形断面中空素材に鍛造加工
し、この多角形断面中空素材を多角形断面中空体に切削
加工することを特徴とする多角形断面中空体の製造方
法。 - 【請求項２】 リング状素材を、前記リング状素材の外
側に平坦状金敷またはＶ字状金敷を配し、内側に多角形
棒状芯金を配して鍛造加工することを特徴とする請求項
１記載の多角形断面中空体の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の製造方法により
製造されたことを特徴とする多角形断面中空体。 - 【請求項４】 前記多角形断面中空体が半導体または液
晶の製造装置に使用されるアルミニウム合金製大型多角
形断面中空体であることを特徴とする請求項３記載の多
角形断面中空体。
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004007111A1 (ja) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Materials Corporation | 枠体の製造方法及び枠体 |
| US7290337B2 (en) | 2002-07-12 | 2007-11-06 | Mitsubishi Materials Corporation | Manufacturing method for frame body and frame body |
| WO2008044564A1 (fr) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Gohsyu Co., Ltd. | Matériau de traitement de haute résistance, SON procédé de fabrication, et appareil de production associé |
| CN102489645A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-06-13 | 西南铝业（集团）有限责任公司 | 一种正多边形锻环的锻造工艺 |
| CN104227344A (zh) * | 2014-08-18 | 2014-12-24 | 贵州航宇科技发展股份有限公司 | 一种航空发动机用gh5188方形尾喷管的制造方法 |
| CN104259749A (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 贵州航宇科技发展股份有限公司 | 一种航空发动机用gh3128方形安装边的制造方法 |
| CN104525807A (zh) * | 2014-11-10 | 2015-04-22 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种框架锻件拐角成形方法 |
| CN105728616A (zh) * | 2014-12-10 | 2016-07-06 | 陕西宏远航空锻造有限责任公司 | 一种中心空心梯形锻件的自由锻造方法 |
| JP2019520561A (ja) * | 2016-05-31 | 2019-07-18 | ヴァローレック ドイチュラント ゲーエムベーハー | 延伸中空プロファイルの超音波試験用方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02179338A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-12 | Japan Casting & Forging Corp | 異形リングの鍛造方法 |
| JPH0446652A (ja) * | 1990-06-12 | 1992-02-17 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 主体金具の製造方法 |
| JPH04333340A (ja) * | 1991-05-01 | 1992-11-20 | Kobe Steel Ltd | 非磁性鋼円筒鍛造品の結晶粒微細化方法 |
| JPH09253783A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-09-30 | Daihen Corp | アーク溶接用チップの製造方法 |
| JPH10220442A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-21 | Haneda Hume Pipe Co Ltd | ボルト及びその製造方法 |
| JPH11319966A (ja) * | 1999-03-31 | 1999-11-24 | Honda Motor Co Ltd | テ―パ―付角パイプ部材の製法 |
-
2001
- 2001-01-31 JP JP2001024834A patent/JP2002224792A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02179338A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-12 | Japan Casting & Forging Corp | 異形リングの鍛造方法 |
| JPH0446652A (ja) * | 1990-06-12 | 1992-02-17 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 主体金具の製造方法 |
| JPH04333340A (ja) * | 1991-05-01 | 1992-11-20 | Kobe Steel Ltd | 非磁性鋼円筒鍛造品の結晶粒微細化方法 |
| JPH09253783A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-09-30 | Daihen Corp | アーク溶接用チップの製造方法 |
| JPH10220442A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-21 | Haneda Hume Pipe Co Ltd | ボルト及びその製造方法 |
| JPH11319966A (ja) * | 1999-03-31 | 1999-11-24 | Honda Motor Co Ltd | テ―パ―付角パイプ部材の製法 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1313225C (zh) * | 2002-07-12 | 2007-05-02 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 框体的制造方法 |
| US7290337B2 (en) | 2002-07-12 | 2007-11-06 | Mitsubishi Materials Corporation | Manufacturing method for frame body and frame body |
| WO2004007111A1 (ja) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Materials Corporation | 枠体の製造方法及び枠体 |
| WO2008044564A1 (fr) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Gohsyu Co., Ltd. | Matériau de traitement de haute résistance, SON procédé de fabrication, et appareil de production associé |
| US8250897B2 (en) | 2006-10-05 | 2012-08-28 | Gohsyu Co., Ltd. | High strength workpiece material and method and apparatus for producing the same |
| CN102489645A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-06-13 | 西南铝业（集团）有限责任公司 | 一种正多边形锻环的锻造工艺 |
| CN104259749A (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 贵州航宇科技发展股份有限公司 | 一种航空发动机用gh3128方形安装边的制造方法 |
| CN104227344A (zh) * | 2014-08-18 | 2014-12-24 | 贵州航宇科技发展股份有限公司 | 一种航空发动机用gh5188方形尾喷管的制造方法 |
| CN104227344B (zh) * | 2014-08-18 | 2017-05-24 | 贵州航宇科技发展股份有限公司 | 一种航空发动机用gh5188方形尾喷管的制造方法 |
| CN104525807A (zh) * | 2014-11-10 | 2015-04-22 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种框架锻件拐角成形方法 |
| CN105728616A (zh) * | 2014-12-10 | 2016-07-06 | 陕西宏远航空锻造有限责任公司 | 一种中心空心梯形锻件的自由锻造方法 |
| JP2019520561A (ja) * | 2016-05-31 | 2019-07-18 | ヴァローレック ドイチュラント ゲーエムベーハー | 延伸中空プロファイルの超音波試験用方法 |
| JP7059204B2 (ja) | 2016-05-31 | 2022-04-25 | ヴァローレック ドイチュラント ゲーエムベーハー | 延伸中空プロファイルの超音波試験用方法 |
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