JP2002206616A - アクチュエータ装置 - Google Patents
アクチュエータ装置Info
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- JP2002206616A JP2002206616A JP2001005474A JP2001005474A JP2002206616A JP 2002206616 A JP2002206616 A JP 2002206616A JP 2001005474 A JP2001005474 A JP 2001005474A JP 2001005474 A JP2001005474 A JP 2001005474A JP 2002206616 A JP2002206616 A JP 2002206616A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型の機器等に利用できる高速・高推力で、
省エネルギー効果の高いアクチュエータ装置を提供す
る。 【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置は、電動ア
クチュエータと流体圧アクチュエータとを組み合わせた
ものであり、シリンダチューブ１１内に往復動自在に配
置された片ロッドピストン１２のロッド部１２ａに、外
部のモータ１４によって駆動されるボールネジ１３をピ
ストン側から組み込むと共に、ピストン側作動室１１ａ
とロッド側作動室１１ｂとに接続された圧力保持回路又
は圧力制御回路２を備えたものである。
省エネルギー効果の高いアクチュエータ装置を提供す
る。 【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置は、電動ア
クチュエータと流体圧アクチュエータとを組み合わせた
ものであり、シリンダチューブ１１内に往復動自在に配
置された片ロッドピストン１２のロッド部１２ａに、外
部のモータ１４によって駆動されるボールネジ１３をピ
ストン側から組み込むと共に、ピストン側作動室１１ａ
とロッド側作動室１１ｂとに接続された圧力保持回路又
は圧力制御回路２を備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールネジを使用
した電動アクチュエータに関し、特に電動アクチュエー
タに流体サポートシステムを併用したアクチュエータ装
置に関する。
した電動アクチュエータに関し、特に電動アクチュエー
タに流体サポートシステムを併用したアクチュエータ装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にボールネジを使用した電動アクチ
ュエータを高速・高推力で使用するためには、モータを
大型化し、ボールネジも太くする必要がある。即ち、サ
ーボモータを回転させることによってアクチュエータを
直線往復運動させる直動アクチュエータは、モータの容
量とボールネジのリードによって、推力と速度とが決ま
る。したがって、推力と速度とを大きくしようとする
と、その形状は油圧アクチュエータに比べて極端に大き
くなってしまい、かつ電力容量も大幅に増えてしまう。
ュエータを高速・高推力で使用するためには、モータを
大型化し、ボールネジも太くする必要がある。即ち、サ
ーボモータを回転させることによってアクチュエータを
直線往復運動させる直動アクチュエータは、モータの容
量とボールネジのリードによって、推力と速度とが決ま
る。したがって、推力と速度とを大きくしようとする
と、その形状は油圧アクチュエータに比べて極端に大き
くなってしまい、かつ電力容量も大幅に増えてしまう。
【０００３】そこで、従来より大きい推力を得る方法と
して、図２に示すように電動アクチュエータＡと空圧の
サポート用アクチュエータＢとを併用して使用すること
が行われている。この方法は、電動アクチュエータは作
動油を使用しないということを特徴にしているために、
電動アクチュエータと空圧アクチュエータとをそれぞれ
独立した状態で並列に使用したものである。しかしなが
ら、この方法では、充分なサポート力を得ることができ
ない。また、一般にボールネジを利用する場合、ボール
の転がりによる微振動と騒音とが伴うし、かつ定期的に
グリースアップする必要がある。
して、図２に示すように電動アクチュエータＡと空圧の
サポート用アクチュエータＢとを併用して使用すること
が行われている。この方法は、電動アクチュエータは作
動油を使用しないということを特徴にしているために、
電動アクチュエータと空圧アクチュエータとをそれぞれ
独立した状態で並列に使用したものである。しかしなが
ら、この方法では、充分なサポート力を得ることができ
ない。また、一般にボールネジを利用する場合、ボール
の転がりによる微振動と騒音とが伴うし、かつ定期的に
グリースアップする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題に
鑑みなされたもので、その目的は、大型の機器等に利用
できる高速・高推力で、省エネルギー効果の高いアクチ
ュエータ装置を提供することである。また、本発明の別
の目的は、ボールネジ部へのグリースアップも不用にな
り、ボールネジによる微振動と騒音を低下させたアクチ
ュエータ装置を提供することである。
鑑みなされたもので、その目的は、大型の機器等に利用
できる高速・高推力で、省エネルギー効果の高いアクチ
ュエータ装置を提供することである。また、本発明の別
の目的は、ボールネジ部へのグリースアップも不用にな
り、ボールネジによる微振動と騒音を低下させたアクチ
ュエータ装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に
記載されたアクチュエータ装置を提供する。請求項１に
記載のアクチュエータ装置は、片ロッドピストンのロッ
ドに、モータによって駆動されるボールネジをピストン
側から組み込むと共に、ピストン側作動室とロッド側作
動室とに接続された圧力保持回路又は圧力制御回路を備
えたものであり、電動アクチュエータに流体圧をサポー
ト圧として推力に利用できるので、高速・高推力で省エ
ネルギー効果の高いアクチュエータ装置が得られる。ま
た、ボールネジ部へのグリースアップも不要になり、ボ
ールネジによる微振動と騒音を低下できる。
決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に
記載されたアクチュエータ装置を提供する。請求項１に
記載のアクチュエータ装置は、片ロッドピストンのロッ
ドに、モータによって駆動されるボールネジをピストン
側から組み込むと共に、ピストン側作動室とロッド側作
動室とに接続された圧力保持回路又は圧力制御回路を備
えたものであり、電動アクチュエータに流体圧をサポー
ト圧として推力に利用できるので、高速・高推力で省エ
ネルギー効果の高いアクチュエータ装置が得られる。ま
た、ボールネジ部へのグリースアップも不要になり、ボ
ールネジによる微振動と騒音を低下できる。
【０００６】請求項２のアクチュエータ装置は、ピスト
ン側作動室又はロッド側作動室と、ロッド内部に形成さ
れたボールネジが入り込む空間とを連絡するバイパス通
路をピストンに設けたものであり、ロッドが縮む場合に
おいて、ピストンのボールネジ部を通過する流体が抵抗
として作用するのが防止され、ロッドをスムーズに縮め
ることができる。
ン側作動室又はロッド側作動室と、ロッド内部に形成さ
れたボールネジが入り込む空間とを連絡するバイパス通
路をピストンに設けたものであり、ロッドが縮む場合に
おいて、ピストンのボールネジ部を通過する流体が抵抗
として作用するのが防止され、ロッドをスムーズに縮め
ることができる。
【０００７】請求項３のアクチュエータ装置は、圧力保
持回路又は圧力制御回路が、サポート圧を掛ける場合に
は、ポンプからの加圧流体がアキュムレータとロッド側
作動室にも流入し、所定の圧力に達した場合に、ポンプ
が停止し、アキュムレータとアクチュエータの閉回路が
構成されるようになっている。これにより、負荷に加え
ロッド側の圧力が加わるのでロッドの伸びる速度を制限
することができる。請求項４のアクチュエータ装置は、
圧力保持回路又は圧力制御回路が、停電時において、初
めはアキュムレータの圧力がロッド側に加わっており、
ロッドを縮める方向に圧力がかかると共にピストン側作
動室内の流体を流量制御弁を通ってタンクに戻すように
したものであり、停電時等にはモータのダイナミックブ
レーキよりも安全に動き、ロッドが縮む速度を制限する
ことができる。
持回路又は圧力制御回路が、サポート圧を掛ける場合に
は、ポンプからの加圧流体がアキュムレータとロッド側
作動室にも流入し、所定の圧力に達した場合に、ポンプ
が停止し、アキュムレータとアクチュエータの閉回路が
構成されるようになっている。これにより、負荷に加え
ロッド側の圧力が加わるのでロッドの伸びる速度を制限
することができる。請求項４のアクチュエータ装置は、
圧力保持回路又は圧力制御回路が、停電時において、初
めはアキュムレータの圧力がロッド側に加わっており、
ロッドを縮める方向に圧力がかかると共にピストン側作
動室内の流体を流量制御弁を通ってタンクに戻すように
したものであり、停電時等にはモータのダイナミックブ
レーキよりも安全に動き、ロッドが縮む速度を制限する
ことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図１に基づいて本発明の実
施の形態のアクチュエータ装置について説明する。本発
明のアクチュエータ装置は、電動アクチュエータと流体
圧アクチュエータとを組み合わせたアクチュエータ部１
と、このアクチュエータ部１に接続される圧力保持回路
又は圧力制御回路２とから構成されている。アクチュエ
ータ部１は、シリンダチューブ１１と、このシリンダチ
ューブ１１内を直線的に往復動するピストン１２と、こ
のピストン１２に組み込まれるボールネジ１３とから主
に構成される。ボールネジ１３は、シリンダチューブ１
１の外部のモータ１４に接続している。
施の形態のアクチュエータ装置について説明する。本発
明のアクチュエータ装置は、電動アクチュエータと流体
圧アクチュエータとを組み合わせたアクチュエータ部１
と、このアクチュエータ部１に接続される圧力保持回路
又は圧力制御回路２とから構成されている。アクチュエ
ータ部１は、シリンダチューブ１１と、このシリンダチ
ューブ１１内を直線的に往復動するピストン１２と、こ
のピストン１２に組み込まれるボールネジ１３とから主
に構成される。ボールネジ１３は、シリンダチューブ１
１の外部のモータ１４に接続している。
【０００９】ピストン１２は、片側にのみロッド部１２
ａが設けられていると共に、その中心部には、ピストン
側からロッド部１２ａに渡って、ボールネジ１３を案内
して遊嵌するための空所１２ｂが凹設されている。ボー
ルネジ１３には、ピストン１２を支持するナット１５が
螺嵌されている。従って、ボールネジ１３の回転によっ
てロッド部１２ａをもつピストン１２がシリンダチュー
ブ１１内を直線的に往復動する。なお、ナット１５を省
略し、ピストン１２にナット機能を持たせることも当然
可能である。また、シリンダ１１のピストン側作動室１
１ａとピストン１２の空所１２ｂとを連絡するバイパス
通路１２ｃが、ピストン１２に形成されている。なお、
ロッド部１２ａの他端側は、負荷側である。このバイパ
ス通路１２ｃは、ピストン側作動室１１ａと空所１２ｂ
とを連絡するのに代えて、ロッド側作動室１１ｂと空所
１２ｂとを連絡させるようにしてもよい。この場合、切
換弁Ｖ１が図１の状態から切り換ったときは、ピストン
側作動室１１ａ、ロッド側作動室１１ｂ及び空所１２ｂ
が同一圧力となるので、ピストン側作動室１１ａに連絡
するバイパス通路１２ｃを設けた場合と同様の効果が得
られるが、切換弁Ｖ１が図１の状態にあるときは、ロッ
ド側作動室１１ｂと空所１２ｂとが同一圧力となるので
下への押付け圧力は、ピストン側作動室１１ａに連絡す
るバイパス通路１２ｃを設けた場合より低下する。
ａが設けられていると共に、その中心部には、ピストン
側からロッド部１２ａに渡って、ボールネジ１３を案内
して遊嵌するための空所１２ｂが凹設されている。ボー
ルネジ１３には、ピストン１２を支持するナット１５が
螺嵌されている。従って、ボールネジ１３の回転によっ
てロッド部１２ａをもつピストン１２がシリンダチュー
ブ１１内を直線的に往復動する。なお、ナット１５を省
略し、ピストン１２にナット機能を持たせることも当然
可能である。また、シリンダ１１のピストン側作動室１
１ａとピストン１２の空所１２ｂとを連絡するバイパス
通路１２ｃが、ピストン１２に形成されている。なお、
ロッド部１２ａの他端側は、負荷側である。このバイパ
ス通路１２ｃは、ピストン側作動室１１ａと空所１２ｂ
とを連絡するのに代えて、ロッド側作動室１１ｂと空所
１２ｂとを連絡させるようにしてもよい。この場合、切
換弁Ｖ１が図１の状態から切り換ったときは、ピストン
側作動室１１ａ、ロッド側作動室１１ｂ及び空所１２ｂ
が同一圧力となるので、ピストン側作動室１１ａに連絡
するバイパス通路１２ｃを設けた場合と同様の効果が得
られるが、切換弁Ｖ１が図１の状態にあるときは、ロッ
ド側作動室１１ｂと空所１２ｂとが同一圧力となるので
下への押付け圧力は、ピストン側作動室１１ａに連絡す
るバイパス通路１２ｃを設けた場合より低下する。
【００１０】圧力保持回路又は圧力制御回路２は、シリ
ンダ１１のピストン側作動室１１ａとロッド側作動室１
１ｂとに接続している。この圧力保持回路又は圧力制御
回路２は、ポンプ２１、タンク２２、アキュムレータ２
３、逆止弁２４、２つの切換弁Ｖ１，Ｖ２及び２つの流
量制御弁ＣＶ１，ＣＶ２とから構成されている。
ンダ１１のピストン側作動室１１ａとロッド側作動室１
１ｂとに接続している。この圧力保持回路又は圧力制御
回路２は、ポンプ２１、タンク２２、アキュムレータ２
３、逆止弁２４、２つの切換弁Ｖ１，Ｖ２及び２つの流
量制御弁ＣＶ１，ＣＶ２とから構成されている。
【００１１】システムを作動させると、初めに切換弁Ｖ
2 が切り換わり、ポンプ２１からタンク２２に戻る回路
は閉じられる。切換弁 Ｖ1 が図１の状態において、ポ
ンプ２１からの圧力流体は、逆止弁２４を通った後に、
一方はアキュムレータ２３、切換弁Ｖ１を経てロッド側
作動室１１ｂに入りピストン１２を下げる方向に圧力流
体が作用し、ピストン側作動室１１ａ内の圧力流体は、
切換弁Ｖ１から流量制御弁ＣＶ１を通ってタンク２２に
戻る。従って、ピストン１２は、システム作動開始時に
は、圧力によって下に押えられてる。なお、ピストン１
２の空所１２ｂ内に入り込んだ圧力流体は、バイパス通
路１２ｃを通ってピストン側作動室１１ａに入るため、
ボールネジ部を通過する圧力流体が抵抗として作用せ
ず、ピストン１２の下降がスムーズに行われる。
2 が切り換わり、ポンプ２１からタンク２２に戻る回路
は閉じられる。切換弁 Ｖ1 が図１の状態において、ポ
ンプ２１からの圧力流体は、逆止弁２４を通った後に、
一方はアキュムレータ２３、切換弁Ｖ１を経てロッド側
作動室１１ｂに入りピストン１２を下げる方向に圧力流
体が作用し、ピストン側作動室１１ａ内の圧力流体は、
切換弁Ｖ１から流量制御弁ＣＶ１を通ってタンク２２に
戻る。従って、ピストン１２は、システム作動開始時に
は、圧力によって下に押えられてる。なお、ピストン１
２の空所１２ｂ内に入り込んだ圧力流体は、バイパス通
路１２ｃを通ってピストン側作動室１１ａに入るため、
ボールネジ部を通過する圧力流体が抵抗として作用せ
ず、ピストン１２の下降がスムーズに行われる。
【００１２】次に、切換弁 Ｖ1 が図１の状態から切り
換えられたとき、ポンプ２１からの圧力流体は逆止弁２
４を通って、アキュムレータ２３、切換弁Ｖ１を経て、
ロッド側作動室１１ｂ及びピストン側作動室１１ａに流
れ込む。しかしながら、ロッド側作動室１１ｂとピスト
ン側作動室１１ａとの受圧面積差により、ピストン１２
は負荷を持ち上げる推力が作用する。この状態でポンプ
２１を停止すると、アキュムレータ２３とアクチュエー
タ部１とは閉回路を形成し、アキュムレータ２３の圧力
で負荷が保持される。従って、小型のポンプで十分に対
応でき、システム作動中はポンプを停止しておけるの
で、従来のシステムに比べて省エネルギー効果も高く、
流体の使用量も少なくてすむ。
換えられたとき、ポンプ２１からの圧力流体は逆止弁２
４を通って、アキュムレータ２３、切換弁Ｖ１を経て、
ロッド側作動室１１ｂ及びピストン側作動室１１ａに流
れ込む。しかしながら、ロッド側作動室１１ｂとピスト
ン側作動室１１ａとの受圧面積差により、ピストン１２
は負荷を持ち上げる推力が作用する。この状態でポンプ
２１を停止すると、アキュムレータ２３とアクチュエー
タ部１とは閉回路を形成し、アキュムレータ２３の圧力
で負荷が保持される。従って、小型のポンプで十分に対
応でき、システム作動中はポンプを停止しておけるの
で、従来のシステムに比べて省エネルギー効果も高く、
流体の使用量も少なくてすむ。
【００１３】このアクチュエータ装置を緊急停止させた
り、又は停電等で停止すると、切換弁Ｖ１，Ｖ２は図１
の状態に戻り、アクチュエータ部１のピストン側作動室
１１ａが流量制御弁ＣＶ１を介してタンク２２と連通
し、アクチュエータ下部の圧力が抜けると共に、アキュ
ムレータ２３の圧力は、切換弁Ｖ２、流量制御弁ＣＶ２
を通って徐々に抜けるが、アクチュエータ部１のロッド
側作動室１１ｂにも掛る。従って、ピストン１２が下降
し、ピストン１２が下がらなくなるという事故が防止で
きる。このピストン１２の下降速度は、流量制御弁ＣＶ
１により調節できるので、負荷によってボールネジが逆
転し急速落下することを防止できる。また、前記とは別
に必要に応じて切換弁Ｖ２を図１の状態に戻すか、切換
弁Ｖ１よりも遅れて切換弁Ｖ２を図１の状態に戻すこと
によって、アキュムレータ２３の圧力も抜くことができ
る。
り、又は停電等で停止すると、切換弁Ｖ１，Ｖ２は図１
の状態に戻り、アクチュエータ部１のピストン側作動室
１１ａが流量制御弁ＣＶ１を介してタンク２２と連通
し、アクチュエータ下部の圧力が抜けると共に、アキュ
ムレータ２３の圧力は、切換弁Ｖ２、流量制御弁ＣＶ２
を通って徐々に抜けるが、アクチュエータ部１のロッド
側作動室１１ｂにも掛る。従って、ピストン１２が下降
し、ピストン１２が下がらなくなるという事故が防止で
きる。このピストン１２の下降速度は、流量制御弁ＣＶ
１により調節できるので、負荷によってボールネジが逆
転し急速落下することを防止できる。また、前記とは別
に必要に応じて切換弁Ｖ２を図１の状態に戻すか、切換
弁Ｖ１よりも遅れて切換弁Ｖ２を図１の状態に戻すこと
によって、アキュムレータ２３の圧力も抜くことができ
る。
【００１４】このように、本発明のアクチュエータ装置
においては、電動アクチュエータと流体圧アクチュエー
タの両者を利用し、負荷を持ち上げるときのモータ１４
の駆動トルクを検知して、トルクが最小となるように圧
力流体によるサポート力を調整することで、推力を増し
効率良く負荷を持ち上げることができる。また負荷とバ
ランスするようにサポートできる。また誤作動により、
ロッド部が急激に伸びてしまう不具合が生じ危険を生じ
る場合、又は圧力が無くなった時に負荷の掛り方によっ
てロッド部が縮まない場合等においても、アキュムレー
タのチャージ圧をロッド側作動室に掛けることができる
ので、このような危険の発生を防止できる。
においては、電動アクチュエータと流体圧アクチュエー
タの両者を利用し、負荷を持ち上げるときのモータ１４
の駆動トルクを検知して、トルクが最小となるように圧
力流体によるサポート力を調整することで、推力を増し
効率良く負荷を持ち上げることができる。また負荷とバ
ランスするようにサポートできる。また誤作動により、
ロッド部が急激に伸びてしまう不具合が生じ危険を生じ
る場合、又は圧力が無くなった時に負荷の掛り方によっ
てロッド部が縮まない場合等においても、アキュムレー
タのチャージ圧をロッド側作動室に掛けることができる
ので、このような危険の発生を防止できる。
【００１５】前記説明したように、ロッド部を上に向け
て使用するシステムでは、圧力保持回路又は圧力制御回
路による加圧力がピストン側作動室にかかるように接続
することによって負荷とバランスさせることができる
が、横方向に使用するようなシステムやロッド部を下に
向けて使用するようなシステムでは、圧力保持回路又は
圧力制御回路による加圧力が同じくピストン側作動室に
かかるように接続することによって駆動力を増し、押し
付け力を増大させることができる。なお、圧力保持回路
又は圧力制御回路による加圧力が、ロッド側作動にかか
るように接続することによって、制御前の誤作動による
ロッド部の伸びる速度を制限することもできるし、停電
時にはロッド部を縮めることもできる。
て使用するシステムでは、圧力保持回路又は圧力制御回
路による加圧力がピストン側作動室にかかるように接続
することによって負荷とバランスさせることができる
が、横方向に使用するようなシステムやロッド部を下に
向けて使用するようなシステムでは、圧力保持回路又は
圧力制御回路による加圧力が同じくピストン側作動室に
かかるように接続することによって駆動力を増し、押し
付け力を増大させることができる。なお、圧力保持回路
又は圧力制御回路による加圧力が、ロッド側作動にかか
るように接続することによって、制御前の誤作動による
ロッド部の伸びる速度を制限することもできるし、停電
時にはロッド部を縮めることもできる。
【００１６】本発明のアクチュエータ装置は、アクチュ
エータを使用するどのような機器にも適宜利用可能であ
るが、好適には、大型の工作機械やアミューズメント装
置又はシュミレーション装置等の機器に利用される。ま
た圧力流体は、液体でも気体でもよい。
エータを使用するどのような機器にも適宜利用可能であ
るが、好適には、大型の工作機械やアミューズメント装
置又はシュミレーション装置等の機器に利用される。ま
た圧力流体は、液体でも気体でもよい。
【図１】本発明の実施の形態のアクチュエータ装置の全
体構成図である。
体構成図である。
【図２】従来の電動アクチュエータと空圧のサポートア
クチュエータとを併用して使用した概略全体構成図であ
る。
クチュエータとを併用して使用した概略全体構成図であ
る。
１…アクチュエータ部 １１…シリンダチューブ １１ａ…ピストン側作動室 １１ｂ…ロッド側作動室 １２…ピストン １２ａ…ロッド部 １２ｂ…空所 １２ｃ…バイパス通路 １３…ボールネジ １５…ナット ２…圧力保持回路又は圧力制御回路 ２１…ポンプ ２２…タンク ２３…アキュムレータ
Claims (4)
- 【請求項１】 シリンダチューブと、 前記シリンダチューブ内に摺動自在に配置され、片側に
のみロッド部を有するピストンと、 外部に設けたモータによって駆動され、前記ロッド部に
ピストン側から組み込まれたボールネジと、 ピストン側作動室及びロッド側作動室とに接続された流
体圧の圧力保持回路又は圧力制御回路と、を具備したア
クチュエータ装置。 - 【請求項２】 前記ピストン側作動室又はロッド側作動
室と、前記ロッド内部に形成された前記ボールネジが入
り込む空間とを連絡するバイパス通路を、前記ピストン
に設けて、前記ピストンのボールネジ部を通過する流体
が抵抗として作用するのを防止したことを特徴とする請
求項１に記載のアクチュエータ装置。 - 【請求項３】 前記圧力保持回路又は圧力制御回路が、
サポート圧を掛ける場合において、ポンプからの加圧流
体が、アキュムレータとロッド側作動室にも流入し、所
定の圧力に達した場合に、ポンプが停止し、アキュムレ
ータとアクチュエータの閉回路が構成されるようになっ
ていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチ
ュエータ装置。 - 【請求項４】 前記圧力保持回路又は圧力制御回路が、
停電時等において、ピストン側作動室内の流体を、流量
制御弁を通ってタンクに戻すようにしてサポート圧を徐
々に抜くように構成されていることを特徴とする請求項
３に記載のアクチュエータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001005474A JP2002206616A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | アクチュエータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001005474A JP2002206616A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | アクチュエータ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002206616A true JP2002206616A (ja) | 2002-07-26 |
Family
ID=18873520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001005474A Pending JP2002206616A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002206616A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006315050A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Toyo Mach & Metal Co Ltd | ダイカストマシン |
| JP2007100953A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-04-19 | Smc Corp | シリンダ装置の駆動制御方法 |
| JP2008304034A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Sumitomo Heavy Industries Techno-Fort Co Ltd | シリンダ装置および鍛造プレスにおけるノックアウト装置 |
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