JP2002175769A - 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法 - Google Patents
回転陽極型ｘ線管およびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸受動作が安定な回転機構を有する回転陽極
型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線を放出する陽極ターゲット１５と、
動圧式すべり軸受用らせん溝２５ａ、２５ｂ、２６ａ、
２６ｂが相互間に形成された内側円筒２２および固定体
２３を有し、陽極ターゲット１５を回転可能に支持する
回転機構１９と、陽極ターゲット１５および回転機構１
９を収納する真空外囲器１１とを具備した回転陽極型Ｘ
線管において、内側円筒２２および固定体２３の少なく
とも一方をセラミックスで形成し、かつ、セラミックス
で形成された内側円筒２２および固定体２３の少なくと
も一方の表面に金属拡散層を設けている。
型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線を放出する陽極ターゲット１５と、
動圧式すべり軸受用らせん溝２５ａ、２５ｂ、２６ａ、
２６ｂが相互間に形成された内側円筒２２および固定体
２３を有し、陽極ターゲット１５を回転可能に支持する
回転機構１９と、陽極ターゲット１５および回転機構１
９を収納する真空外囲器１１とを具備した回転陽極型Ｘ
線管において、内側円筒２２および固定体２３の少なく
とも一方をセラミックスで形成し、かつ、セラミックス
で形成された内側円筒２２および固定体２３の少なくと
も一方の表面に金属拡散層を設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、軸受動作が安定
な軸受構造を有する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方
法に関する。
な軸受構造を有する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、高速で回転する陽
極ターゲットに向って電子ビームを照射し、陽極ターゲ
ットからＸ線を放出させる構造になっている。このた
め、陽極ターゲットは、相互間に軸受が設けられた回転
体および固定体を有する回転機構によって回転可能に支
持されている。
極ターゲットに向って電子ビームを照射し、陽極ターゲ
ットからＸ線を放出させる構造になっている。このた
め、陽極ターゲットは、相互間に軸受が設けられた回転
体および固定体を有する回転機構によって回転可能に支
持されている。
【０００３】陽極ターゲットを支持する回転機構の軸受
には、一般に、ころがり軸受、あるいは、軸受面にらせ
ん溝を形成し、ガリウム（Ｇａ）やガリウム−インジウ
ム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金などの液体金属潤滑剤
をらせん溝などに供給する動圧式すべり軸受が採用され
ている。
には、一般に、ころがり軸受、あるいは、軸受面にらせ
ん溝を形成し、ガリウム（Ｇａ）やガリウム−インジウ
ム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金などの液体金属潤滑剤
をらせん溝などに供給する動圧式すべり軸受が採用され
ている。
【０００４】後者の動圧式すべり軸受を用いた例は、特
開昭６０−１１７５３１号、特開平２−２２７９４８
号、あるいは特開平５−１４４３９６号の各公報に開示
されている。
開昭６０−１１７５３１号、特開平２−２２７９４８
号、あるいは特開平５−１４４３９６号の各公報に開示
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型Ｘ線
管では、動圧式すべり軸受を用いる場合、通常、軸受部
分を形成する材料として金属が使用される。軸受部分に
金属を使用した場合、Ｘ線管が動作状態に入り軸受部分
の温度が上昇すると、液体金属潤滑剤と軸受面の材料が
反応し反応生成物が継続的に生成する。その結果、軸受
面の間隔が変化するなどして、安定な軸受動作を維持で
きない場合がある。
管では、動圧式すべり軸受を用いる場合、通常、軸受部
分を形成する材料として金属が使用される。軸受部分に
金属を使用した場合、Ｘ線管が動作状態に入り軸受部分
の温度が上昇すると、液体金属潤滑剤と軸受面の材料が
反応し反応生成物が継続的に生成する。その結果、軸受
面の間隔が変化するなどして、安定な軸受動作を維持で
きない場合がある。
【０００６】このため、軸受部分を形成する材料とし
て、耐熱性や耐食性にすぐれたセラミックスを使用する
方法がある。しかし、セラミックスは液体金属潤滑剤と
の濡れ性が悪いため、必要とする正常な動圧が得られ
ず、軸受動作が不安定になるという問題がある。
て、耐熱性や耐食性にすぐれたセラミックスを使用する
方法がある。しかし、セラミックスは液体金属潤滑剤と
の濡れ性が悪いため、必要とする正常な動圧が得られ
ず、軸受動作が不安定になるという問題がある。
【０００７】この発明は、上記した欠点を解決し、軸受
動作が安定な回転機構を有する回転陽極型Ｘ線管および
その製造方法を提供することを目的とする。
動作が安定な回転機構を有する回転陽極型Ｘ線管および
その製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線を放出す
る陽極ターゲットと、動圧式すべり軸受が相互間に形成
された回転体および固定体を有し、前記陽極ターゲット
を回転可能に支持する回転機構と、前記陽極ターゲット
および前記回転機構を収納する真空外囲器とを具備した
回転陽極型Ｘ線管において、前記回転体および前記固定
体の少なくとも一方をセラミックスで形成し、かつ、セ
ラミックスで形成された前記回転体および前記固定体の
少なくとも一方の表面に金属拡散層を設けたことを特徴
としている。
る陽極ターゲットと、動圧式すべり軸受が相互間に形成
された回転体および固定体を有し、前記陽極ターゲット
を回転可能に支持する回転機構と、前記陽極ターゲット
および前記回転機構を収納する真空外囲器とを具備した
回転陽極型Ｘ線管において、前記回転体および前記固定
体の少なくとも一方をセラミックスで形成し、かつ、セ
ラミックスで形成された前記回転体および前記固定体の
少なくとも一方の表面に金属拡散層を設けたことを特徴
としている。
【０００９】また、本発明は、Ｘ線を放出する陽極ター
ゲットと、動圧式すべり軸受が相互間に形成された回転
体および固定体を有し、前記陽極ターゲットを回転可能
に支持する回転機構と、前記陽極ターゲットおよび前記
回転機構を収納する真空外囲器とを具備した回転陽極型
Ｘ線管の製造方法において、少なくとも一方がセラミッ
クスで形成された前記回転体および前記固定体の少なく
とも一方に動圧式すべり軸受を構成する動圧発生溝を形
成する第１工程と、この第１工程の後、セラミックスで
形成された前記回転体および前記固定体の少なくとも一
方の表面に高融点金属材料を塗布して加熱し、前記高融
点金属材料を前記セラミックスに拡散させる第２工程と
からなっている。
ゲットと、動圧式すべり軸受が相互間に形成された回転
体および固定体を有し、前記陽極ターゲットを回転可能
に支持する回転機構と、前記陽極ターゲットおよび前記
回転機構を収納する真空外囲器とを具備した回転陽極型
Ｘ線管の製造方法において、少なくとも一方がセラミッ
クスで形成された前記回転体および前記固定体の少なく
とも一方に動圧式すべり軸受を構成する動圧発生溝を形
成する第１工程と、この第１工程の後、セラミックスで
形成された前記回転体および前記固定体の少なくとも一
方の表面に高融点金属材料を塗布して加熱し、前記高融
点金属材料を前記セラミックスに拡散させる第２工程と
からなっている。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の実施形態について、そ
の一部を断面で示した図１を参照して説明する。符号１
１はＸ線管を構成する真空容器で、真空容器１１は径が
小さい径小部１１ａおよび径が大きい径大部１１ｂなど
から構成され、径小部１１ａと径大部１１ｂは接合部材
１１ｃを介して一体に形成されている。
の一部を断面で示した図１を参照して説明する。符号１
１はＸ線管を構成する真空容器で、真空容器１１は径が
小さい径小部１１ａおよび径が大きい径大部１１ｂなど
から構成され、径小部１１ａと径大部１１ｂは接合部材
１１ｃを介して一体に形成されている。
【００１１】径大部１１ｂの一部にＸ線を外部に取り出
す出力窓１２が形成されている。径小部１１ａの図の下
端に封着リング１３が封着され、封着リング１３に接続
リング１４が気密接合されている。
す出力窓１２が形成されている。径小部１１ａの図の下
端に封着リング１３が封着され、封着リング１３に接続
リング１４が気密接合されている。
【００１２】真空容器１１内の径大部１１ｂの部分に重
金属製の円盤状陽極ターゲット１５および陰極１６が対
向して配置されている。陽極ターゲット１５はナット１
７によって回転シャフト１８に固定され、回転シャフト
１８は回転機構１９に連結され支持されている。
金属製の円盤状陽極ターゲット１５および陰極１６が対
向して配置されている。陽極ターゲット１５はナット１
７によって回転シャフト１８に固定され、回転シャフト
１８は回転機構１９に連結され支持されている。
【００１３】回転機構１９は回転体と固定体で構成さ
れ、回転体は、たとえば回転シャフト１８が直接連結さ
れた中間円筒２０および中間円筒２０の外側に接合され
た外側円筒２１、中間円筒２０の内側に接合された内側
円筒２２の３層の回転体によって構成されている。内側
円筒２２の内側には、固定体部分を構成する固定体２３
が２０μｍ程度の軸受間隙をもって嵌合され、内側円筒
２２の下端開口部は封止体２４で封止されている。
れ、回転体は、たとえば回転シャフト１８が直接連結さ
れた中間円筒２０および中間円筒２０の外側に接合され
た外側円筒２１、中間円筒２０の内側に接合された内側
円筒２２の３層の回転体によって構成されている。内側
円筒２２の内側には、固定体部分を構成する固定体２３
が２０μｍ程度の軸受間隙をもって嵌合され、内側円筒
２２の下端開口部は封止体２４で封止されている。
【００１４】中間円筒２０は鉄などの強磁性体材料で形
成され、外側円筒２１は銅などの低抵抗体材料で形成さ
れている。内側円筒２２は耐熱性にすぐれたセラミック
スで形成され、その内側表面に薄い金属拡散層（図示せ
ず）が設けられている。
成され、外側円筒２１は銅などの低抵抗体材料で形成さ
れている。内側円筒２２は耐熱性にすぐれたセラミック
スで形成され、その内側表面に薄い金属拡散層（図示せ
ず）が設けられている。
【００１５】固定体２３は、内側円筒２２に嵌合された
部分など図の上方部分２３ａは耐熱性にすぐれたセラミ
ックスで形成され、その表面に薄い金属拡散層（図示せ
ず）が設けられている。固定体２３の図の下方部分２３
ｂは鉄材などで形成され、上方部分２３ａとろう接され
ている。内側円筒２２や固定体２３を形成するセラミッ
クスにはアルミナ系、窒化系などの材料が用いられる。
部分など図の上方部分２３ａは耐熱性にすぐれたセラミ
ックスで形成され、その表面に薄い金属拡散層（図示せ
ず）が設けられている。固定体２３の図の下方部分２３
ｂは鉄材などで形成され、上方部分２３ａとろう接され
ている。内側円筒２２や固定体２３を形成するセラミッ
クスにはアルミナ系、窒化系などの材料が用いられる。
【００１６】固定体２３の下端部は封止体２４を貫通
し、さらに、接続リング１４を貫通し、真空容器１１の
外まで伸び、真空容器１１から突出した先端部は陽極支
持部として利用される。
し、さらに、接続リング１４を貫通し、真空容器１１の
外まで伸び、真空容器１１から突出した先端部は陽極支
持部として利用される。
【００１７】上記した構成の回転体たとえば内側円筒２
２と固定体２３の嵌合部分に動圧式すべり軸受が設けら
れている。たとえば、固定体２３の外周壁部分の軸方向
に離れた上下２箇所には、固定体２３のほぼ左半分を断
面にすることなく示した図に示されるように、それぞれ
動圧を発生する動圧発生溝たとえばヘリンボン・パター
ンのらせん溝２５ａ、２５ｂが対に形成され、動圧式の
ラジアル軸受を構成している。
２と固定体２３の嵌合部分に動圧式すべり軸受が設けら
れている。たとえば、固定体２３の外周壁部分の軸方向
に離れた上下２箇所には、固定体２３のほぼ左半分を断
面にすることなく示した図に示されるように、それぞれ
動圧を発生する動圧発生溝たとえばヘリンボン・パター
ンのらせん溝２５ａ、２５ｂが対に形成され、動圧式の
ラジアル軸受を構成している。
【００１８】また、固定体２３の図の上下両端面、たと
えば有底円筒状をした内側円筒２２の底面と対向する上
端面および封止体２４と対向する下端面に、それぞれ動
圧を発生する動圧発生溝たとえばヘリンボン・パターン
のらせん溝２６ａ、２６ｂが形成され、動圧式のスラス
ト軸受を構成している。
えば有底円筒状をした内側円筒２２の底面と対向する上
端面および封止体２４と対向する下端面に、それぞれ動
圧を発生する動圧発生溝たとえばヘリンボン・パターン
のらせん溝２６ａ、２６ｂが形成され、動圧式のスラス
ト軸受を構成している。
【００１９】上記したように固定体２３にらせん溝を形
成した場合、固定体２３の外周壁やその上下両端面と対
向する内側円筒２２の軸受面、たとえば内側円筒２２の
内面は平滑に形成してもよく、らせん溝などを形成して
もよい。
成した場合、固定体２３の外周壁やその上下両端面と対
向する内側円筒２２の軸受面、たとえば内側円筒２２の
内面は平滑に形成してもよく、らせん溝などを形成して
もよい。
【００２０】また、固定体２３の外周壁部分の一部、た
とえば上下に形成された動圧式のラジアル軸受２５ａ、
２５ｂに挟まれた外周壁の一部に、外径の小さい径小部
２７が設けられている。この径小部２７と内側円筒２２
との間隙部分２８は液体金属潤滑剤を貯蔵する収容室を
形成している。間隙部分２８などに貯蔵された液体金属
潤滑剤は、動作時、動圧式のラジアル軸受２５ａ、２５
ｂや動圧式のスラスト軸受部２６ａ、２６ｂなどに供給
される。図１では、液体金属潤滑剤が供給される主要部
分を符号Ｌで示している。
とえば上下に形成された動圧式のラジアル軸受２５ａ、
２５ｂに挟まれた外周壁の一部に、外径の小さい径小部
２７が設けられている。この径小部２７と内側円筒２２
との間隙部分２８は液体金属潤滑剤を貯蔵する収容室を
形成している。間隙部分２８などに貯蔵された液体金属
潤滑剤は、動作時、動圧式のラジアル軸受２５ａ、２５
ｂや動圧式のスラスト軸受部２６ａ、２６ｂなどに供給
される。図１では、液体金属潤滑剤が供給される主要部
分を符号Ｌで示している。
【００２１】なお、固定体２３および内側円筒２２を構
成する母材のセラミックスが電気的絶縁物の場合、固定
体２３の下方部分２３ｂと間隙部分２８との間にたとえ
ば穴を形成し、その穴の部分に導電性金属を埋め込み、
一端が間隙部分２８に露出する給電線路２９が形成され
る。また、内側円筒２２の部分にも貫通穴が形成され、
その貫通穴の部分に導電性金属を埋め込み、一端が間隙
部分２８に露出し、間隙部分２８に貯蔵された液体金属
潤滑剤と中間円筒２０間を電気的に接続する給電線路３
０が形成される。
成する母材のセラミックスが電気的絶縁物の場合、固定
体２３の下方部分２３ｂと間隙部分２８との間にたとえ
ば穴を形成し、その穴の部分に導電性金属を埋め込み、
一端が間隙部分２８に露出する給電線路２９が形成され
る。また、内側円筒２２の部分にも貫通穴が形成され、
その貫通穴の部分に導電性金属を埋め込み、一端が間隙
部分２８に露出し、間隙部分２８に貯蔵された液体金属
潤滑剤と中間円筒２０間を電気的に接続する給電線路３
０が形成される。
【００２２】この場合、固定体２３の先端部に供給され
た陽極電圧は、下方部分２３ｂから給電線路２９、間隙
部分２８の液体金属潤滑剤、給電線路３０、中間円筒２
０などを経て、陽極ターゲット１５に印加される。
た陽極電圧は、下方部分２３ｂから給電線路２９、間隙
部分２８の液体金属潤滑剤、給電線路３０、中間円筒２
０などを経て、陽極ターゲット１５に印加される。
【００２３】また、真空容器１１の径小部１１ａを囲ん
で電磁コイルをもつステ一夕３１が配置されている。
で電磁コイルをもつステ一夕３１が配置されている。
【００２４】上記した構成において、動作状態に入る
と、ステ一夕３１が回転磁界を発生し、回転機構１９の
回転体を回転させ陽極ターゲット１５を高速に回転させ
る。この状態で、陰極１６から放出された電子ビームを
陽極ターゲット１５の面上に衝突させＸ線を発生させ
る。発生したＸ線は放射窓１２から出力される。
と、ステ一夕３１が回転磁界を発生し、回転機構１９の
回転体を回転させ陽極ターゲット１５を高速に回転させ
る。この状態で、陰極１６から放出された電子ビームを
陽極ターゲット１５の面上に衝突させＸ線を発生させ
る。発生したＸ線は放射窓１２から出力される。
【００２５】上記の構成によれば、動圧式すべり軸受を
挟んで対向する回転体、たとえば３層構造の場合その一
番内側に位置して軸受面が形成される内側円筒および固
定体の母材がそれぞれ耐熱性にすぐれたセラミックスで
構成され、また、セラミックスの表面に金属拡散層が設
けられている。そのため、Ｘ線管の動作時、軸受部分の
温度が上昇しても、液体金属潤滑剤と軸受面材料との反
応生成物が生成するようなことがない。また、金属拡散
層によって液体金属潤滑剤との良好な濡れ性が確保さ
れ、安定な軸受動作が維持される。また、陽極ターゲッ
トに生じた熱はその多くが輻射により放散され、その一
部は回転体部分から液体金属潤滑剤を経て固定体に伝達
し、外部に放散する。
挟んで対向する回転体、たとえば３層構造の場合その一
番内側に位置して軸受面が形成される内側円筒および固
定体の母材がそれぞれ耐熱性にすぐれたセラミックスで
構成され、また、セラミックスの表面に金属拡散層が設
けられている。そのため、Ｘ線管の動作時、軸受部分の
温度が上昇しても、液体金属潤滑剤と軸受面材料との反
応生成物が生成するようなことがない。また、金属拡散
層によって液体金属潤滑剤との良好な濡れ性が確保さ
れ、安定な軸受動作が維持される。また、陽極ターゲッ
トに生じた熱はその多くが輻射により放散され、その一
部は回転体部分から液体金属潤滑剤を経て固定体に伝達
し、外部に放散する。
【００２６】ここで、上記した構造の回転陽極型Ｘ線管
において、回転機構の一部を抜き出し拡大した構造を図
２に示す。図２では、図１に対応する部分に同一の符号
を付し、重複する説明は省略する。
において、回転機構の一部を抜き出し拡大した構造を図
２に示す。図２では、図１に対応する部分に同一の符号
を付し、重複する説明は省略する。
【００２７】図２に示すように、内側円筒２２の内表面
および固定体２３の外表面に、それぞれ金属拡散層４
１、４２が形成されている。金属拡散層４１、４２は内
側円筒２２および固定体２３の母材であるセラミックス
の表面に、たとえば１０μｍ以下の厚さに形成される。
および固定体２３の外表面に、それぞれ金属拡散層４
１、４２が形成されている。金属拡散層４１、４２は内
側円筒２２および固定体２３の母材であるセラミックス
の表面に、たとえば１０μｍ以下の厚さに形成される。
【００２８】次に、金属拡散層４１が形成された内側円
筒２２の内側表面部分の模式的な構造を図３に示す。図
３は、内側円筒２２の内側表面たとえば軸受面側のセラ
ミックス内への金属拡散状態を示している。
筒２２の内側表面部分の模式的な構造を図３に示す。図
３は、内側円筒２２の内側表面たとえば軸受面側のセラ
ミックス内への金属拡散状態を示している。
【００２９】図３（ａ）で示すように、母材のセラミッ
クス５１の軸受面Ａ側の表面に金属拡散層４１が形成さ
れている。図３（ｂ）は成分の濃度比で、横軸が内側円
筒２２の深さ、縦軸が濃度比を示し、曲線Ｐが母材であ
るセラミックスの濃度で、曲線Ｑが金属拡散層を構成す
る金属の濃度である。
クス５１の軸受面Ａ側の表面に金属拡散層４１が形成さ
れている。図３（ｂ）は成分の濃度比で、横軸が内側円
筒２２の深さ、縦軸が濃度比を示し、曲線Ｐが母材であ
るセラミックスの濃度で、曲線Ｑが金属拡散層を構成す
る金属の濃度である。
【００３０】上記の構成により、軸受面側の金属拡散層
が液体金属潤滑剤と接触し、液体金属潤滑剤との濡れ性
が確保される。
が液体金属潤滑剤と接触し、液体金属潤滑剤との濡れ性
が確保される。
【００３１】なお、金属拡散層４２が形成された固定体
２３の表面も、内側円筒２２の場合と同様の構成になっ
ている。
２３の表面も、内側円筒２２の場合と同様の構成になっ
ている。
【００３２】ここで、内側円筒２２および固定体２３の
軸受面に金属拡散層を形成する方法について説明する。
軸受面に金属拡散層を形成する方法について説明する。
【００３３】まず、たとえばそれぞれがセラミックスで
形成された内側円筒２２および固定体２３の少なくとも
一方、たとえば固定体２３の外周面および両端面にへリ
ンボン・パタ一ンのらせん溝を粗く形成する。
形成された内側円筒２２および固定体２３の少なくとも
一方、たとえば固定体２３の外周面および両端面にへリ
ンボン・パタ一ンのらせん溝を粗く形成する。
【００３４】次に、内側円筒２２および固定体２３の表
面に高融点金属のＷ若しくはＷ合金またはＭｏ若しくは
Ｍｏ合金を塗布する。
面に高融点金属のＷ若しくはＷ合金またはＭｏ若しくは
Ｍｏ合金を塗布する。
【００３５】次に、真空中または水素雰囲気中、フォー
ミングガス中で、約１３００〜１７００℃に加熱し、内
側円筒２２および固定体２３の軸受面に、高融点金属の
金属拡散層を形成する。
ミングガス中で、約１３００〜１７００℃に加熱し、内
側円筒２２および固定体２３の軸受面に、高融点金属の
金属拡散層を形成する。
【００３６】次に、内側円筒２２および固定体２３の表
面を研磨加工し、残留した高融点金属の付着物を除去
し、同時に、部品の寸法出しを行い仕上げる。
面を研磨加工し、残留した高融点金属の付着物を除去
し、同時に、部品の寸法出しを行い仕上げる。
【００３７】上記の方法により、金属拡散層が形成され
たセラミックス製の内側円筒および固定体が完成する。
たセラミックス製の内側円筒および固定体が完成する。
【００３８】上記した構成によれば、回転機構を構成す
る回転体と固定体、たとえば内側円筒およびこの内側円
筒に嵌合される固定体が耐熱性の高いセラミックスで形
成され、その軸受面に金属拡散層が形成されている。し
たがって、動作時に軸受部分の温度が上昇しても反応生
成物が発生せず、また、液体金属潤滑剤との良好な濡れ
性が確保され、軸受動作が安定な回転機構を有する回転
陽極型Ｘ線管およびその製造方法が実現される。
る回転体と固定体、たとえば内側円筒およびこの内側円
筒に嵌合される固定体が耐熱性の高いセラミックスで形
成され、その軸受面に金属拡散層が形成されている。し
たがって、動作時に軸受部分の温度が上昇しても反応生
成物が発生せず、また、液体金属潤滑剤との良好な濡れ
性が確保され、軸受動作が安定な回転機構を有する回転
陽極型Ｘ線管およびその製造方法が実現される。
【００３９】上記の実施形態では、内側円筒および固定
体の両方にそれぞれ給電線路を設けている。しかし、内
側円筒および固定体の母材であるセラミックスが導電性
の場合は、給電線路は省略できる。
体の両方にそれぞれ給電線路を設けている。しかし、内
側円筒および固定体の母材であるセラミックスが導電性
の場合は、給電線路は省略できる。
【００４０】また、内側円筒および固定体の両方の母材
にセラミックスを利用しているが、その一方を金属で形
成し、他方をセラミックスで形成することもできる。
にセラミックスを利用しているが、その一方を金属で形
成し、他方をセラミックスで形成することもできる。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、軸受動作が安定な回転
機構を有する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法が実
現される。
機構を有する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法が実
現される。
【図１】本発明の実施形態を説明するための断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の回転機構部分を拡大して示した断面図
である。
である。
【図３】本発明の回転機構部分の内側円筒部分の構造を
説明するための模式図である。
説明するための模式図である。
１１…真空外囲器 １２…出力窓 １３…封着リング １４…接続リング １５…陽極ターゲット １６…陰極 １７…ナット １８…回転シャフト １９…回転機構 ２０…中間円筒 ２１…外側円筒 ２２…内側円筒 ２３…固定体 ２４…封止体 ２５ａ、２５ｂ…らせん溝 ２６ａ、２６ｂ…らせん溝 ２７…固定体の径小部 ２８…間隙部分 ２９…給電線路 ３０…給電線路 ３１…ステータ Ｌ…液体金属潤滑剤
Claims (7)
- 【請求項１】 Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受が相互間に形成された回転体および固定体
を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転
機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回転機構を収納
する真空外囲器とを具備した回転陽極型Ｘ線管におい
て、前記回転体および前記固定体の少なくとも一方をセ
ラミックスで形成し、かつ、セラミックスで形成された
前記回転体および前記固定体の少なくとも一方の表面に
金属拡散層を設けたことを特徴とする回転陽極型Ｘ線
管。 - 【請求項２】 Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受が相互間に形成された回転体および固定体
を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転
機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回転機構を収納
する真空外囲器とを具備した回転陽極型Ｘ線管におい
て、前記回転体および前記固定体の少なくとも一方を金
属拡散層が表面に設けられたセラミックスで形成し、か
つ、セラミックスで形成された前記回転体および前記固
定体の少なくとも一方に給電線路を設けたことを特徴と
する回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項３】 回転体および前記固定体の少なくとも一
方に設けられる給電線路の一端は、動圧式すべり軸受を
構成する動圧発生溝が形成されていない面に露出してい
る請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項４】 金属拡散層を形成する金属がＷ若しくは
Ｗ合金またはＭｏ若しくはＭｏ合金である請求項１また
は請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項５】 回転体と対向する固定体の一部に外径の
小さい径小部が形成され、給電線路の一端が前記径小部
に露出している請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項６】 Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受が相互間に形成された回転体および固定体
を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転
機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回転機構を収納
する真空外囲器とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造方
法において、少なくとも一方がセラミックスで形成され
た前記回転体および前記固定体の少なくとも一方に動圧
式すべり軸受を構成する動圧発生溝を形成する第１工程
と、この第１工程の後、セラミックスで形成された前記
回転体および前記固定体の少なくとも一方の表面に高融
点金属材料を塗布して加熱し、前記高融点金属材料を前
記セラミックスに拡散させる第２工程とからなる回転陽
極型Ｘ線管の製造方法。 - 【請求項７】 第２工程の後、高融点金属材料を拡散さ
せたセラミックスの表面を研磨する工程が設けられた請
求項６記載の回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372758A JP2002175769A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372758A JP2002175769A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002175769A true JP2002175769A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18842245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000372758A Pending JP2002175769A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002175769A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103939484A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-23 | 浙江优特轴承有限公司 | 隔热式x光管连接轴连轴承 |
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-
2000
- 2000-12-07 JP JP2000372758A patent/JP2002175769A/ja active Pending
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