JP3139873B2 - 回転陽極型ｘ線管 - Google Patents
回転陽極型ｘ線管Info
- Publication number
- JP3139873B2 JP3139873B2 JP05069489A JP6948993A JP3139873B2 JP 3139873 B2 JP3139873 B2 JP 3139873B2 JP 05069489 A JP05069489 A JP 05069489A JP 6948993 A JP6948993 A JP 6948993A JP 3139873 B2 JP3139873 B2 JP 3139873B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- iron
- rotating
- rotating member
- bearing
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、回転陽極型Ｘ線管に
係わり、とくにその陽極ターゲットを支える回転機構に
関する。
係わり、とくにその陽極ターゲットを支える回転機構に
関する。
【０００２】
【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、周知のように、円
盤状の陽極ターゲットを相互間に軸受を有する回転体お
よび固定体で支え、真空容器外に配置した電磁コイルを
付勢し高速回転させながら陰極から電子ビームを放出し
て陽極ターゲットに当ててＸ線を放出する。軸受は、玉
軸受が久しく実用になってきたが、近来、軸受面にらせ
ん溝を形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はガリウ
ム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金のような
液体金属を潤滑剤として用いた動圧すべり軸受の採用が
望まれている。後者のすべり軸受を用いた例は、たとえ
ば特公昭６０−２１４６３号、特開昭６０−９７５３６
号、特開昭６０−１１７５３１号、特開昭６１−２９１
４号、あるいは特開昭６０−２８７５５５号の各公報に
開示されている。
盤状の陽極ターゲットを相互間に軸受を有する回転体お
よび固定体で支え、真空容器外に配置した電磁コイルを
付勢し高速回転させながら陰極から電子ビームを放出し
て陽極ターゲットに当ててＸ線を放出する。軸受は、玉
軸受が久しく実用になってきたが、近来、軸受面にらせ
ん溝を形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はガリウ
ム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金のような
液体金属を潤滑剤として用いた動圧すべり軸受の採用が
望まれている。後者のすべり軸受を用いた例は、たとえ
ば特公昭６０−２１４６３号、特開昭６０−９７５３６
号、特開昭６０−１１７５３１号、特開昭６１−２９１
４号、あるいは特開昭６０−２８７５５５号の各公報に
開示されている。
【０００３】陽極ターゲットを支える回転体は、通常、
電気伝導度の高い銅からなる外側円筒のローターをろう
接により一体的に接合したターゲット支持部を備えた構
成になっている。このローターに、管外のステータから
回転磁界を作用させ、誘導電動機の原理で高速回転させ
るものである。玉軸受を使用したＸ線管では、軸受の温
度が上昇すると、軸受間隙の変化や固体潤滑剤の消耗に
より騒音が大きくなる。従来、玉軸受の温度上昇を抑制
する種々の提案がされている。その例として、特開昭５
５−３１８０号、特開昭５５−７８４４９号、あるいは
特開平２−１４４８３６号公報に開示がある。しかし、
これらは未だ実用に達していない。
電気伝導度の高い銅からなる外側円筒のローターをろう
接により一体的に接合したターゲット支持部を備えた構
成になっている。このローターに、管外のステータから
回転磁界を作用させ、誘導電動機の原理で高速回転させ
るものである。玉軸受を使用したＸ線管では、軸受の温
度が上昇すると、軸受間隙の変化や固体潤滑剤の消耗に
より騒音が大きくなる。従来、玉軸受の温度上昇を抑制
する種々の提案がされている。その例として、特開昭５
５−３１８０号、特開昭５５−７８４４９号、あるいは
特開平２−１４４８３６号公報に開示がある。しかし、
これらは未だ実用に達していない。
【０００４】ところで、上記の動圧すべり軸受を用いた
Ｘ線管は、回転音がほとんど生じない特長がある。一
方、Ｘ線管を組込んだ例えばＸ線診断装置は、０℃以下
の厳寒の環境下で使用される場合も少なくない。そのた
め、潤滑剤はなるべく融点の低い材料が望ましい。Ｇａ
合金は、蒸気圧が低く、且つ１０℃前後の融点のものが
得られるため、最も適している。
Ｘ線管は、回転音がほとんど生じない特長がある。一
方、Ｘ線管を組込んだ例えばＸ線診断装置は、０℃以下
の厳寒の環境下で使用される場合も少なくない。そのた
め、潤滑剤はなるべく融点の低い材料が望ましい。Ｇａ
合金は、蒸気圧が低く、且つ１０℃前後の融点のものが
得られるため、最も適している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｇａ合金のような液体
金属潤滑剤を使用した場合には、次のような不都合があ
る。すなわち、一般的にこれら液体金属潤滑剤は活性で
あるため、軸受構成材料と反応を起こし、軸受の間隙が
徐々に変わって回転特性が劣化してしまうおそれがあ
る。そのため、使用できる軸受構成材料は、潤滑剤で侵
食されないタングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）、
タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、あるいはその合金
等に限られてしまう。これらは、材料自体が高価である
ばかりでなく、加工が困難である。それに対して、銅
（Ｃｕ）や真鍮、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ある
いはステンレス鋼のような鉄合金は、廉価であるととも
に加工性にすぐれているにもかかわらず、潤滑剤で非常
に侵食されるので実用性に乏しいものとされている。液
体金属潤滑剤と軸受構成材料との反応は、温度が高いほ
ど顕著である。軸受構成材料が潤滑剤で侵食されるのを
防止するため、冷媒を軸受構成部材の内部に送り込んで
軸受部を強制冷却する構造も知られている。しかしなが
ら、このようなＸ線管では、冷媒循環装置を付加する必
要があり、Ｘ線装置が複雑化してしま意、好ましくな
い。
金属潤滑剤を使用した場合には、次のような不都合があ
る。すなわち、一般的にこれら液体金属潤滑剤は活性で
あるため、軸受構成材料と反応を起こし、軸受の間隙が
徐々に変わって回転特性が劣化してしまうおそれがあ
る。そのため、使用できる軸受構成材料は、潤滑剤で侵
食されないタングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）、
タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、あるいはその合金
等に限られてしまう。これらは、材料自体が高価である
ばかりでなく、加工が困難である。それに対して、銅
（Ｃｕ）や真鍮、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ある
いはステンレス鋼のような鉄合金は、廉価であるととも
に加工性にすぐれているにもかかわらず、潤滑剤で非常
に侵食されるので実用性に乏しいものとされている。液
体金属潤滑剤と軸受構成材料との反応は、温度が高いほ
ど顕著である。軸受構成材料が潤滑剤で侵食されるのを
防止するため、冷媒を軸受構成部材の内部に送り込んで
軸受部を強制冷却する構造も知られている。しかしなが
ら、このようなＸ線管では、冷媒循環装置を付加する必
要があり、Ｘ線装置が複雑化してしま意、好ましくな
い。
【０００６】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、動圧すべり軸受の構成部材を鉄合金
のような廉価で且つ加工性にすぐれた材料を使用しなが
ら、液体金属潤滑剤で侵食されず、長期にわたって安定
した回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管を提供する
ことを目的とする。
されたものであり、動圧すべり軸受の構成部材を鉄合金
のような廉価で且つ加工性にすぐれた材料を使用しなが
ら、液体金属潤滑剤で侵食されず、長期にわたって安定
した回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、一部に陽極
ターゲットが固定された回転体と、この回転体と嵌合し
該回転体を回転可能に保持する固定体と、前記回転体お
よび固定体の嵌合部に設けられたらせん溝を有するすべ
り軸受と、前記すべり軸受のらせん溝及び軸受間隙に供
給された液体金属潤滑剤とを具備する回転陽極型Ｘ線管
において、上記回転体は、上記陽極ターゲットが機械的
に結合された第１の回転部材と上記軸受が設けられた第
２の回転部材とが同軸的に嵌合され、且つこれら第１回
転部材及び第２回転部材は上記陽極ターゲットから回転
軸方向にみて熱伝導経路的に遠い位置で結合されるとと
もに該結合部以外の嵌合部に断熱領域が設けられてな
り、さらに上記第１回転部材は０℃〜５００℃の温度範
囲における熱伝導率が０．１（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・
℃）未満の材料で構成されてなる回転陽極型Ｘ線管であ
る。
ターゲットが固定された回転体と、この回転体と嵌合し
該回転体を回転可能に保持する固定体と、前記回転体お
よび固定体の嵌合部に設けられたらせん溝を有するすべ
り軸受と、前記すべり軸受のらせん溝及び軸受間隙に供
給された液体金属潤滑剤とを具備する回転陽極型Ｘ線管
において、上記回転体は、上記陽極ターゲットが機械的
に結合された第１の回転部材と上記軸受が設けられた第
２の回転部材とが同軸的に嵌合され、且つこれら第１回
転部材及び第２回転部材は上記陽極ターゲットから回転
軸方向にみて熱伝導経路的に遠い位置で結合されるとと
もに該結合部以外の嵌合部に断熱領域が設けられてな
り、さらに上記第１回転部材は０℃〜５００℃の温度範
囲における熱伝導率が０．１（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・
℃）未満の材料で構成されてなる回転陽極型Ｘ線管であ
る。
【０００８】なお、第１回転部材の０〜５００℃の温度
範囲における熱伝導率は、０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・ｓ
ｅｃ・℃）以下の材料がより一層好ましい。そして、好
ましくは第２回転部材が、鉄、ニッケル、鉄に炭素を含
む合金、鉄及びニッケルを主体とする合金、鉄、ニッケ
ル及びコバルトを主体とする合金、鉄及びクロムを主体
とする合金、鉄、クロム及びニッケルを主体とする合
金、又は鉄及びクロムに炭素、バナジウム、モリブデ
ン、タングステンの中から選択された少なくとも一種を
含有する鉄合金からなるものである。
範囲における熱伝導率は、０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・ｓ
ｅｃ・℃）以下の材料がより一層好ましい。そして、好
ましくは第２回転部材が、鉄、ニッケル、鉄に炭素を含
む合金、鉄及びニッケルを主体とする合金、鉄、ニッケ
ル及びコバルトを主体とする合金、鉄及びクロムを主体
とする合金、鉄、クロム及びニッケルを主体とする合
金、又は鉄及びクロムに炭素、バナジウム、モリブデ
ン、タングステンの中から選択された少なくとも一種を
含有する鉄合金からなるものである。
【０００９】
【作用】この発明によれば、動作中も動圧すべり軸受構
成部材およびそこに供給された液体金属潤滑剤の温度上
昇が確実に抑えられ、潤滑剤による軸受構成部材の侵食
がほとんど生じない。したがって、廉価で且つ高精度の
加工により長期に安定で高性能の軸受回転特性を維持す
る回転陽極型Ｘ線管が得られる。
成部材およびそこに供給された液体金属潤滑剤の温度上
昇が確実に抑えられ、潤滑剤による軸受構成部材の侵食
がほとんど生じない。したがって、廉価で且つ高精度の
加工により長期に安定で高性能の軸受回転特性を維持す
る回転陽極型Ｘ線管が得られる。
【００１０】
【実施例】以下その実施例を図面を参照して説明する。
なお、同一部分は同一符号であらわす。図１乃至図４に
示す実施例は、次の構成を有する。すなわち、重金属か
らなる円盤状陽極ターゲット１１は、円筒状回転体１２
の一端に突設されたＭｏ合金製のターゲット支持用シャ
フト１３に固定ねじ１４により一体的に結合固定されて
いる。円筒状回転体１２の内側には、固定体１５が挿入
嵌合されており、回転体の下端部には円板状の開口部閉
塞体１６が固定されている。固定体１５の下端部１７
は、補助金属リング１７ａおよび薄肉シールリング１８
ｂ，１８ｃを介して真空容器１８のガラス製円筒部に気
密接合されている。真空容器１８は陽極ターゲット１１
を包囲する径大部およびＸ線放射窓１８ａを有してい
る。ターゲット１１に対向して陰極構体１９が設けられ
ている。円筒状回転体１２と固定体１５との嵌合部分に
は、前述の各公報に示されるような動圧式のラジアルす
べり軸受２０ａ、およびスラストすべり軸受２０ｂが設
けられている。回転軸方向に離れて設けられた２つのラ
ジアルすべり軸受２０ａは、固定体外周壁面１５ａに形
成された２組のヘリンボンパターンらせん溝２１ａを有
している。また、２つのスラストすべり軸受２０ｂの一
方は、固定体端面１５ｂに形成された図３に示すような
サークル状のヘリンボンパターンらせん溝２１ｂを有し
ている。スラストすべり軸受２０ｂの他方は、固定体の
下部段差面が接する円板状のフランジ１６の上面に形成
された図４に示すようなサークル状のヘリンボンパター
ンらせん溝２１ｃを有している。これららせん溝が形成
された軸受面と近接する回転体の各すべり軸受面は、単
なる平滑な面でもよく、あるいは必要に応じてらせん溝
を形成したものでもよい。回転体および固定体の両軸受
面は、動作中におよそ２０μ の軸受間隙を保つように
なっており、らせん溝内および軸受間隙に、動作中に液
状であるＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金からなる液体金属潤滑剤
（図示せず）が供給される。そして、真空容器１８の外
側の回転体１２に対応する位置に、電磁コイルをもつス
テータ３０を配置して回転磁界を生じさせ、回転陽極タ
ーゲット１１を矢印Ｐの如く高速回転させる。陰極構体
１９から放出された電子ビームが陽極ターゲット１１に
射突してＸ線が発生させられるとともに、このターゲッ
トに生じた熱はその多くが輻射で放散されるとともに、
一部がシャフト１３および回転体１２を伝導して軸受２
０ａ，２０ｂに伝わる。
なお、同一部分は同一符号であらわす。図１乃至図４に
示す実施例は、次の構成を有する。すなわち、重金属か
らなる円盤状陽極ターゲット１１は、円筒状回転体１２
の一端に突設されたＭｏ合金製のターゲット支持用シャ
フト１３に固定ねじ１４により一体的に結合固定されて
いる。円筒状回転体１２の内側には、固定体１５が挿入
嵌合されており、回転体の下端部には円板状の開口部閉
塞体１６が固定されている。固定体１５の下端部１７
は、補助金属リング１７ａおよび薄肉シールリング１８
ｂ，１８ｃを介して真空容器１８のガラス製円筒部に気
密接合されている。真空容器１８は陽極ターゲット１１
を包囲する径大部およびＸ線放射窓１８ａを有してい
る。ターゲット１１に対向して陰極構体１９が設けられ
ている。円筒状回転体１２と固定体１５との嵌合部分に
は、前述の各公報に示されるような動圧式のラジアルす
べり軸受２０ａ、およびスラストすべり軸受２０ｂが設
けられている。回転軸方向に離れて設けられた２つのラ
ジアルすべり軸受２０ａは、固定体外周壁面１５ａに形
成された２組のヘリンボンパターンらせん溝２１ａを有
している。また、２つのスラストすべり軸受２０ｂの一
方は、固定体端面１５ｂに形成された図３に示すような
サークル状のヘリンボンパターンらせん溝２１ｂを有し
ている。スラストすべり軸受２０ｂの他方は、固定体の
下部段差面が接する円板状のフランジ１６の上面に形成
された図４に示すようなサークル状のヘリンボンパター
ンらせん溝２１ｃを有している。これららせん溝が形成
された軸受面と近接する回転体の各すべり軸受面は、単
なる平滑な面でもよく、あるいは必要に応じてらせん溝
を形成したものでもよい。回転体および固定体の両軸受
面は、動作中におよそ２０μ の軸受間隙を保つように
なっており、らせん溝内および軸受間隙に、動作中に液
状であるＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金からなる液体金属潤滑剤
（図示せず）が供給される。そして、真空容器１８の外
側の回転体１２に対応する位置に、電磁コイルをもつス
テータ３０を配置して回転磁界を生じさせ、回転陽極タ
ーゲット１１を矢印Ｐの如く高速回転させる。陰極構体
１９から放出された電子ビームが陽極ターゲット１１に
射突してＸ線が発生させられるとともに、このターゲッ
トに生じた熱はその多くが輻射で放散されるとともに、
一部がシャフト１３および回転体１２を伝導して軸受２
０ａ，２０ｂに伝わる。
【００１１】そこで、回転体１２は、第１の回転部材す
なわち陽極ターゲット１１がシャフト１３を介して一体
的に結合された中間円筒２２と、その内側に断熱間隙２
６を保って嵌合された第２の回転部材すなわち有底内側
円筒２３と、さらに中間円筒２２の外周に嵌合された銅
製の外側円筒２４とを有している。有底内側円筒２３
は、その内面の一部が固定体の外面とともにすべり軸受
面を構成している。断熱間隙２６の半径方向の幅寸法
は、０．１ｍｍ〜１ｍｍの範囲、例えば０．５ｍｍであ
る。内周壁面が動圧すべり軸受面となる内側円筒２３
は、ステンレス鋼，あるいはＳＫＤ−１１（ＪＩＳ規
格）のような鉄合金工具鋼で構成されている。この軸受
構成材料は、廉価であるとともに加工性にすぐれ、比較
的高強度を有し、且つＧａ合金潤滑剤でよく濡れる。そ
して、上端外周に４個の小さい突起２７が形成され、こ
れらが中間円筒２２の内周壁に小さい接触面積で接し、
断熱間隙２６を維持しつつ両円筒の正確な同軸位置関係
を保っている。
なわち陽極ターゲット１１がシャフト１３を介して一体
的に結合された中間円筒２２と、その内側に断熱間隙２
６を保って嵌合された第２の回転部材すなわち有底内側
円筒２３と、さらに中間円筒２２の外周に嵌合された銅
製の外側円筒２４とを有している。有底内側円筒２３
は、その内面の一部が固定体の外面とともにすべり軸受
面を構成している。断熱間隙２６の半径方向の幅寸法
は、０．１ｍｍ〜１ｍｍの範囲、例えば０．５ｍｍであ
る。内周壁面が動圧すべり軸受面となる内側円筒２３
は、ステンレス鋼，あるいはＳＫＤ−１１（ＪＩＳ規
格）のような鉄合金工具鋼で構成されている。この軸受
構成材料は、廉価であるとともに加工性にすぐれ、比較
的高強度を有し、且つＧａ合金潤滑剤でよく濡れる。そ
して、上端外周に４個の小さい突起２７が形成され、こ
れらが中間円筒２２の内周壁に小さい接触面積で接し、
断熱間隙２６を維持しつつ両円筒の正確な同軸位置関係
を保っている。
【００１２】中間円筒２２は、後述するように、熱伝導
率が鈍鉄よりも十分小さく、０℃〜５００℃の温度範囲
において、０．１（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）未満、
より好ましくは０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）
以下の材料で構成されている。この中間円筒２２の上端
部はシャフト１３に固着され、下端部は陽極ターゲット
から遠い方のラジアルすべり軸受２０ａの近傍に位置す
るろう接部２５で内側円筒２３に部分的に結合されてい
る。こうして、中間円筒２２と内側円筒２３とは回転軸
の方向にみて伝熱経路的に陽極ターゲットから遠い位置
（ろう接部２５）で互いに一体結合され、残りの部分に
は断熱領域２６が設けられている。
率が鈍鉄よりも十分小さく、０℃〜５００℃の温度範囲
において、０．１（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）未満、
より好ましくは０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）
以下の材料で構成されている。この中間円筒２２の上端
部はシャフト１３に固着され、下端部は陽極ターゲット
から遠い方のラジアルすべり軸受２０ａの近傍に位置す
るろう接部２５で内側円筒２３に部分的に結合されてい
る。こうして、中間円筒２２と内側円筒２３とは回転軸
の方向にみて伝熱経路的に陽極ターゲットから遠い位置
（ろう接部２５）で互いに一体結合され、残りの部分に
は断熱領域２６が設けられている。
【００１３】なお、これら中間円筒２２および内側円筒
２３の少なくとも一方は、強磁性体で構成することが、
ステータとの回転磁界の磁気作用効率の上から好まし
い。外側円筒２４は、２０℃における電気抵抗が６×１
０-8（Ω・ｃｍ）以下の銅又は銅合金で構成されてい
る。なおまた、中間円筒２２と外側円筒２４とのろう接
部２５以外の部分には、０．５ｍｍ以下の断熱間隙を設
けて同軸状に配置してもよい。それによって、軸受部の
温度上昇を一層抑制することができる。
２３の少なくとも一方は、強磁性体で構成することが、
ステータとの回転磁界の磁気作用効率の上から好まし
い。外側円筒２４は、２０℃における電気抵抗が６×１
０-8（Ω・ｃｍ）以下の銅又は銅合金で構成されてい
る。なおまた、中間円筒２２と外側円筒２４とのろう接
部２５以外の部分には、０．５ｍｍ以下の断熱間隙を設
けて同軸状に配置してもよい。それによって、軸受部の
温度上昇を一層抑制することができる。
【００１４】さらにまた、中間円筒２２および外側円筒
２４のそれぞれ陽極ターゲット１１に対向する面２２
ａ、２４ａは、各材料の表面を好ましくは鏡面仕上げし
て露出してある。それによって、陽極ターゲット１１か
らの輻射熱を反射して、軸受部の温度上昇を抑制するよ
うになっている。また、外側円筒２４の陽極ターゲット
１１を見通せない領域の外周面には、黒色被膜２４ｂを
被覆してあり、それによって外側円筒２４に達した熱を
輻射により放出して軸受部の温度上昇をさらに抑制する
ようになっている。
２４のそれぞれ陽極ターゲット１１に対向する面２２
ａ、２４ａは、各材料の表面を好ましくは鏡面仕上げし
て露出してある。それによって、陽極ターゲット１１か
らの輻射熱を反射して、軸受部の温度上昇を抑制するよ
うになっている。また、外側円筒２４の陽極ターゲット
１１を見通せない領域の外周面には、黒色被膜２４ｂを
被覆してあり、それによって外側円筒２４に達した熱を
輻射により放出して軸受部の温度上昇をさらに抑制する
ようになっている。
【００１５】なお、内面が軸受面を構成する内側円筒２
３は、より好ましくは、加工が容易で熱伝導率が中間円
筒２２に近い、次のような材料を使用する。すなわち、
・鉄、・ニッケル、・鉄に炭素を含む合金、・鉄及びニ
ッケルを主体とする合金、・鉄、ニッケル及びコバルト
を主体とする合金、・各種のステンレス鋼を含むところ
の鉄及びクロムを主体とする合金、・鉄、クロム及びニ
ッケルを主体とする合金、・工具鋼を含むところの、鉄
及びクロムに炭素、バナジウム、モリブデン、タングス
テンの中から選択された少なくとも一種を含有する鉄合
金である。
３は、より好ましくは、加工が容易で熱伝導率が中間円
筒２２に近い、次のような材料を使用する。すなわち、
・鉄、・ニッケル、・鉄に炭素を含む合金、・鉄及びニ
ッケルを主体とする合金、・鉄、ニッケル及びコバルト
を主体とする合金、・各種のステンレス鋼を含むところ
の鉄及びクロムを主体とする合金、・鉄、クロム及びニ
ッケルを主体とする合金、・工具鋼を含むところの、鉄
及びクロムに炭素、バナジウム、モリブデン、タングス
テンの中から選択された少なくとも一種を含有する鉄合
金である。
【００１６】一方、固定体１５は、上述した内側円筒２
３と同様の材料を使用することが望ましいが、それに限
らず、ＷやＭｏ、Ｔａ、Ｎｂ、あるいはそれら少なくと
も１つを主体とする合金、又は上述のような内側円筒２
３と同様の材料、若しくは液体金属潤滑剤で濡れるセラ
ミックスを使用できる。
３と同様の材料を使用することが望ましいが、それに限
らず、ＷやＭｏ、Ｔａ、Ｎｂ、あるいはそれら少なくと
も１つを主体とする合金、又は上述のような内側円筒２
３と同様の材料、若しくは液体金属潤滑剤で濡れるセラ
ミックスを使用できる。
【００１７】さて、中間円筒２２としては、０℃〜５０
０℃の温度範囲における熱伝導率が、０．１（ｃａｌ／
ｃｍ・ｓｅｃ・℃）未満の、次のような材料を使用す
る。すなわち、・鉄及びニッケルを主体とする合金、・
鉄、ニッケル及びコバルトを主体とする合金、・各種の
ステンレス鋼を含むところの鉄及びクロムを主体とする
合金、・鉄、クロム及びニッケルを主体とする合金、・
工具鋼を含むところの鉄及びクロムに炭素、バナジウ
ム、モリブデン、タングステンの中から選択された少な
くとも一種を含有する鉄合金、・若しくはＧａ合金で濡
れるセラミックスである。
０℃の温度範囲における熱伝導率が、０．１（ｃａｌ／
ｃｍ・ｓｅｃ・℃）未満の、次のような材料を使用す
る。すなわち、・鉄及びニッケルを主体とする合金、・
鉄、ニッケル及びコバルトを主体とする合金、・各種の
ステンレス鋼を含むところの鉄及びクロムを主体とする
合金、・鉄、クロム及びニッケルを主体とする合金、・
工具鋼を含むところの鉄及びクロムに炭素、バナジウ
ム、モリブデン、タングステンの中から選択された少な
くとも一種を含有する鉄合金、・若しくはＧａ合金で濡
れるセラミックスである。
【００１８】これらの具体例について、熱伝導率、軸受
部Ｂの到達温度の比較を、表１に示す。なお、電気抵抗
が大きいセラミックスを使用する場合は、その一部表面
に陽極電流の経路となる導電膜を付着する。あるいは別
の導電路を構成する必要がある。軸受部Ｂの到達温度
は、同等の構造、寸法で陽極ターゲットに２４０Ｗの電
子ビーム入力を連続して印加した時の軸受部Ｂの最高到
達温度を計算により導き出した値である。比較として、
純鉄およびニッケルの場合を同表に表示した。
部Ｂの到達温度の比較を、表１に示す。なお、電気抵抗
が大きいセラミックスを使用する場合は、その一部表面
に陽極電流の経路となる導電膜を付着する。あるいは別
の導電路を構成する必要がある。軸受部Ｂの到達温度
は、同等の構造、寸法で陽極ターゲットに２４０Ｗの電
子ビーム入力を連続して印加した時の軸受部Ｂの最高到
達温度を計算により導き出した値である。比較として、
純鉄およびニッケルの場合を同表に表示した。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１から明らかなように、実施例に示した
材料で構成することにより、回転陽極型Ｘ線管の動作時
の軸受部の到達温度を約２００℃以下に抑えることがで
き、したがって軸受構成部材に前述のような純鉄、ニッ
ケル或いは鉄合金を使用してもＧａ合金による軸受面の
侵食がほとんど発生せず、動圧すべり軸受の長期にわた
る安定な動作が維持できる。
材料で構成することにより、回転陽極型Ｘ線管の動作時
の軸受部の到達温度を約２００℃以下に抑えることがで
き、したがって軸受構成部材に前述のような純鉄、ニッ
ケル或いは鉄合金を使用してもＧａ合金による軸受面の
侵食がほとんど発生せず、動圧すべり軸受の長期にわた
る安定な動作が維持できる。
【００２１】図５に示す実施例は、外側円筒２４の陽極
ターゲット１１に近い上端部をろう接部２８で中間円筒
２２に部分的に結合し、その他の大部分と中間円筒２２
との間に第２の断熱間隙２９を形成したものである。そ
れによって、陽極ターゲットからの熱が外側円筒を経て
軸受部に到達する量が低減され、軸受温度の上昇が一層
抑制される。なお、外側円筒２４の図示下端部は、中間
円筒２２の外周壁の円周方向の４箇所に形成した小突起
２２ｂに点接触しており、それによって両者の同軸位置
関係が保たれている。なお、外側円筒２４の内周壁に小
突起２２ｂの先端が入り込む複数の溝を形成し、それら
の溝に小突起２２ｂの先端を嵌めて組み立ててもよい。
それによって、動作中、外側円筒２４に生じる回転力を
中間円筒２２および内側円筒２３に有効に伝達させるこ
とができ、ろう接部２８にかかる過大な回転応力を緩和
できる。
ターゲット１１に近い上端部をろう接部２８で中間円筒
２２に部分的に結合し、その他の大部分と中間円筒２２
との間に第２の断熱間隙２９を形成したものである。そ
れによって、陽極ターゲットからの熱が外側円筒を経て
軸受部に到達する量が低減され、軸受温度の上昇が一層
抑制される。なお、外側円筒２４の図示下端部は、中間
円筒２２の外周壁の円周方向の４箇所に形成した小突起
２２ｂに点接触しており、それによって両者の同軸位置
関係が保たれている。なお、外側円筒２４の内周壁に小
突起２２ｂの先端が入り込む複数の溝を形成し、それら
の溝に小突起２２ｂの先端を嵌めて組み立ててもよい。
それによって、動作中、外側円筒２４に生じる回転力を
中間円筒２２および内側円筒２３に有効に伝達させるこ
とができ、ろう接部２８にかかる過大な回転応力を緩和
できる。
【００２２】なお、この実施例では、中間円筒２２の下
端部が、陽極ターゲットから遠いラジアルすべり軸受部
２０ａの近傍で、内側円筒２３の下端部に溶接部３１で
結合されている。そして、中間円筒２２と内側円筒２３
との嵌合部の大部分に、断熱間隙２６が形成されてい
る。
端部が、陽極ターゲットから遠いラジアルすべり軸受部
２０ａの近傍で、内側円筒２３の下端部に溶接部３１で
結合されている。そして、中間円筒２２と内側円筒２３
との嵌合部の大部分に、断熱間隙２６が形成されてい
る。
【００２３】図６に示す実施例は、中間円筒２２と内側
円筒２３とを、２つのラジアルすべり軸受部２０ａの回
転軸方向の中間位置に対応する位置Ｔよりも熱伝導経路
的に遠い領域は密に嵌合させ、残りのターゲットに近い
部分に断熱間隙２６を形成したものである。なお、固定
体１５の回転軸方向の中間位置に、円周状の凹み１５ｃ
を形成してある。この実施例によれば、中間円筒２２と
内側円筒２３との機械的な嵌合強度が高く、重量の重い
陽極ターゲットを安定に支持させ、回転させることがで
きる。
円筒２３とを、２つのラジアルすべり軸受部２０ａの回
転軸方向の中間位置に対応する位置Ｔよりも熱伝導経路
的に遠い領域は密に嵌合させ、残りのターゲットに近い
部分に断熱間隙２６を形成したものである。なお、固定
体１５の回転軸方向の中間位置に、円周状の凹み１５ｃ
を形成してある。この実施例によれば、中間円筒２２と
内側円筒２３との機械的な嵌合強度が高く、重量の重い
陽極ターゲットを安定に支持させ、回転させることがで
きる。
【００２４】図７に示す実施例は、固定体１５の中間位
置の凹み１５ｃに対応する位置で中間円筒２２と内側円
筒２３とをろう接により結合したものである。このろう
接部を符号２５であらわしている。そして、ろう接部２
５の軸方向両側に、断熱間隙２６、２６を形成してあ
る。なお、中間円筒２２と外側円筒２４とは、陽極ター
ゲットに近いろう接部２８で結合されるとともに、下端
部２４ｃが円周方向の波状凹凸により機械的に嵌合され
ている。それによって、外側円筒から中間円筒への回転
駆動力によるろう接部２８への応力集中を緩和すること
ができる。
置の凹み１５ｃに対応する位置で中間円筒２２と内側円
筒２３とをろう接により結合したものである。このろう
接部を符号２５であらわしている。そして、ろう接部２
５の軸方向両側に、断熱間隙２６、２６を形成してあ
る。なお、中間円筒２２と外側円筒２４とは、陽極ター
ゲットに近いろう接部２８で結合されるとともに、下端
部２４ｃが円周方向の波状凹凸により機械的に嵌合され
ている。それによって、外側円筒から中間円筒への回転
駆動力によるろう接部２８への応力集中を緩和すること
ができる。
【００２５】図８に示す実施例は、中心部に陽極ターゲ
ット１１と一体結合されて回転する円柱状の回転体１２
を配置したものである。そして、この回転体１２を包囲
して略円筒状の固定体１５が設けられている。この固定
体１５には、図示上端部に回転シャフト１３が貫通する
透孔が設けられ、図示下端開口部に円板状の開口閉塞体
１６、および陽極支持体１７が複数個のねじにより固定
されている。開口閉塞体１６は、回転体１２の下端面に
接しており、その面にらせん溝２１ｃが形成されてい
る。さらに、この固定体１５の外周には、モータのロー
タとして機能する強磁性体円筒３１およびその外側に嵌
合された銅製の外側円筒２４が配置され、その上端部３
２が回転シャフト１３に機械的に強固に固着されてい
る。
ット１１と一体結合されて回転する円柱状の回転体１２
を配置したものである。そして、この回転体１２を包囲
して略円筒状の固定体１５が設けられている。この固定
体１５には、図示上端部に回転シャフト１３が貫通する
透孔が設けられ、図示下端開口部に円板状の開口閉塞体
１６、および陽極支持体１７が複数個のねじにより固定
されている。開口閉塞体１６は、回転体１２の下端面に
接しており、その面にらせん溝２１ｃが形成されてい
る。さらに、この固定体１５の外周には、モータのロー
タとして機能する強磁性体円筒３１およびその外側に嵌
合された銅製の外側円筒２４が配置され、その上端部３
２が回転シャフト１３に機械的に強固に固着されてい
る。
【００２６】そこで、回転体１２は、陽極ターゲット１
１を支える回転シャフト１３が柱状の第１回転部材３３
に固着され、この第１回転部材３３の外側に同軸状に嵌
合され外面がすべり軸受面となる円筒状の第２回転部材
３４を備えている。これら第１回転部材３３と第２回転
部材３４とは、陽極ターゲットから軸方向にみて熱伝導
経路的に遠い方の端部すなわち図示下端部のろう接部２
５で一体的に結合されている。そして、これらの回転部
材３３，３４のろう接部２５以外の大部分の領域には、
両者が実質的に非接触となるように断熱間隙２６が設け
られている。なお、第１回転部材３３の図示上端部には
４個の小突起２７が設けられて第２回転部材３４の内面
に接し、機械的に安定な同軸嵌合状態を保つようになっ
ている。第２回転部材３４の外周面および図示上端面
は、動圧すべり軸受２０ａ，２０ｂの軸受面を構成して
おり、ヘリンボン・パターンのらせん溝が形成されてい
る。こうして、断熱間隙２６によって陽極ターゲットか
ら軸受に至る熱伝導経路は、大きい熱抵抗を有する。
１を支える回転シャフト１３が柱状の第１回転部材３３
に固着され、この第１回転部材３３の外側に同軸状に嵌
合され外面がすべり軸受面となる円筒状の第２回転部材
３４を備えている。これら第１回転部材３３と第２回転
部材３４とは、陽極ターゲットから軸方向にみて熱伝導
経路的に遠い方の端部すなわち図示下端部のろう接部２
５で一体的に結合されている。そして、これらの回転部
材３３，３４のろう接部２５以外の大部分の領域には、
両者が実質的に非接触となるように断熱間隙２６が設け
られている。なお、第１回転部材３３の図示上端部には
４個の小突起２７が設けられて第２回転部材３４の内面
に接し、機械的に安定な同軸嵌合状態を保つようになっ
ている。第２回転部材３４の外周面および図示上端面
は、動圧すべり軸受２０ａ，２０ｂの軸受面を構成して
おり、ヘリンボン・パターンのらせん溝が形成されてい
る。こうして、断熱間隙２６によって陽極ターゲットか
ら軸受に至る熱伝導経路は、大きい熱抵抗を有する。
【００２７】なお、断熱領域２６，２９は、空間的な隙
間であるものに限らず、例えば熱伝導率の非常に小さい
セラミックスやその他の断熱材を配置することにより構
成してもよい。
間であるものに限らず、例えば熱伝導率の非常に小さい
セラミックスやその他の断熱材を配置することにより構
成してもよい。
【００２８】なおまた、液体金属潤滑剤は、Ｇａ、Ｇａ
−Ｉｎ合金、あるいはＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のようなＧ
ａを主体とするものが使用できるが、それに限らず、例
えばビスマス（Ｂｉ）を相対的に多く含むＢｉ−Ｉｎ−
Ｐｂ−Ｓｎ合金、あるいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ
−Ｂｉ合金、又はＩｎ−Ｂｉ−Ｓｎ合金を使用し得る。
これらは融点が室温以上であるので、陽極ターゲットを
回転させる前に金属潤滑剤をその融点以上の温度に予熱
したうえで回転させることが望ましい。
−Ｉｎ合金、あるいはＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のようなＧ
ａを主体とするものが使用できるが、それに限らず、例
えばビスマス（Ｂｉ）を相対的に多く含むＢｉ−Ｉｎ−
Ｐｂ−Ｓｎ合金、あるいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ
−Ｂｉ合金、又はＩｎ−Ｂｉ−Ｓｎ合金を使用し得る。
これらは融点が室温以上であるので、陽極ターゲットを
回転させる前に金属潤滑剤をその融点以上の温度に予熱
したうえで回転させることが望ましい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
動作中、動圧すべり軸受構成部材およびそこに供給され
た液体金属潤滑剤の温度上昇が確実に抑えられ、潤滑剤
による軸受構成部材の侵食がほとんど生じない。したが
って、廉価で且つ長期に安定で高性能の軸受回転特性を
維持する回転陽極型Ｘ線管が得られる。
動作中、動圧すべり軸受構成部材およびそこに供給され
た液体金属潤滑剤の温度上昇が確実に抑えられ、潤滑剤
による軸受構成部材の侵食がほとんど生じない。したが
って、廉価で且つ長期に安定で高性能の軸受回転特性を
維持する回転陽極型Ｘ線管が得られる。
【図１】この発明の実施例を示す要部縦断面図である。
【図２】図１の１−１における横断面図である。
【図３】図１のものの一部上面図である。
【図４】図１のものの一部上面図である。
【図５】この発明の他の実施例を示す要部縦断面図であ
る。
る。
【図６】この発明のさらに他の実施例を示す要部縦断面
図である。
図である。
【図７】この発明のさらに他の実施例を示す要部縦断面
図である。
図である。
【図８】この発明のさらに他の実施例を示す要部縦断面
図である。
図である。
１１…陽極ターゲット、 １２…回転体、 １５…固定体、 １８…真空容器、 ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…軸受、 ２２、３２…第１回転部材、 ２３，３４…第２回転部材、 ２４…外側円筒、 ２６，２９…断熱領域。
フロントページの続き (72)発明者 北見 隆幸 栃木県大田原市下石上1385番の１ 株式 会社東芝 那須電子管工場内 (72)発明者 杉浦 弘行 栃木県大田原市下石上1385番の１ 株式 会社東芝 那須電子管工場内 (72)発明者 田中 誠 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東芝電子エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−227947（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−94342（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 35/10
Claims (3)
- 【請求項１】 一部に陽極ターゲットが固定された回転
体と、この回転体と嵌合し該回転体を回転可能に保持す
る固定体と、前記回転体および固定体の嵌合部に設けら
れたらせん溝を有するすべり軸受と、前記すべり軸受の
らせん溝及びすべり軸受面相互間の軸受間隙に供給され
た動作中に液状である金属潤滑剤とを具備する回転陽極
型Ｘ線管において、 上記回転体は、上記陽極ターゲットが機械的に結合され
た第１の回転部材と上記固定体に接する面が上記すべり
軸受面となる第２の回転部材とが同軸的に嵌合され、且
つこれら第１回転部材及び第２回転部材は上記陽極ター
ゲットから回転軸に沿う方向にみて熱伝導経路的に遠い
位置で結合されるとともに該結合部以外の嵌合部に断熱
間隙が設けられてなり、上記第１回転部材は、 鉄及びニッケルを主体とする合金、 鉄、ニッケル及びコバルトを主体とする合金、 鉄及びクロムを主体とする合金、 鉄、クロム及びニッケルを主体とする合金、 又は鉄及びクロムに炭素、バナジウム、モリブデン、タ
ングステンの中から選択された少なくとも一種を含有す
る鉄合金、 若しくはセラミックス、 の中から選択された材料であって且つ ０℃〜５００℃の
温度範囲における熱伝導率が０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・
ｓｅｃ・℃）以下の材料で構成されてなり、 上記第２回転部材は、 鉄、 ニッケル、 鉄を主体としてそれに炭素を含む合金、 鉄及びニッケルを主体とする合金、 鉄及びニッケル及びコバルトを主体とする合金、 鉄及びクロムを主体とする合金、 鉄及びクロム及びニッケルを主体とする合金、 又は鉄及びクロムに炭素及びバナジウム及びモリブデン
及びタングステンの中から選択された少なくとも一種を
含有する鉄合金、 で構成されている ことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項２】 一部に陽極ターゲットが固定された回転
体と、この回転体と嵌合し該回転体を回転可能に保持す
る固定体と、前記回転体および固定体の嵌合部に設けら
れたらせん溝を有するすべり軸受と、前記すべり軸受の
らせん溝及びすべり軸受面相互間の軸受間隙に供給され
た動作中に液状である金属潤滑剤とを具備する回転陽極
型Ｘ線管において、 上記回転体は、上記陽極ターゲットが機械的に結合され
た第１の回転部材と上記固定体に接する面が上記すべり
軸受面となる第２の回転部材とが同軸的に嵌合され且つ
上記陽極ターゲットから回転軸に沿う方向にみて熱伝導
経路的に遠い位置で結合されるとともに該結合部以外の
嵌合部に第1の断熱間隙が設けられており、 上記第１回転部材は０℃〜５００℃の温度範囲における
熱伝導率が０．０８（ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）以下
の材料で構成されてなり、 更に上記第１回転部材の外周に銅又は銅を主体とする合
金からなる外側円筒が同軸的に嵌合されるとともに、こ
れら第１回転部材と外側円筒とは回転軸に沿う方向にみ
て熱伝導経路的に上記陽極ターゲットに近い部分で結合
され且つこの結合部よりも前記陽極ターゲットから遠い
領域の嵌合部には第２の断熱間隙が設けられていること
を特徴とする回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項３】 上記外側円筒の外周面には黒色被膜が被
覆されている請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05069489A JP3139873B2 (ja) | 1992-04-08 | 1993-03-29 | 回転陽極型ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11427692 | 1992-04-08 | ||
| JP4-114276 | 1992-04-08 | ||
| JP4-296242 | 1992-11-06 | ||
| JP29624292 | 1992-11-06 | ||
| JP05069489A JP3139873B2 (ja) | 1992-04-08 | 1993-03-29 | 回転陽極型ｘ線管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196112A JPH06196112A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3139873B2 true JP3139873B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=27300064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05069489A Expired - Lifetime JP3139873B2 (ja) | 1992-04-08 | 1993-03-29 | 回転陽極型ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3139873B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7215740B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-05-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode type X-ray tube |
| US7801278B2 (en) | 2008-03-26 | 2010-09-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode X-ray tube |
| KR101850741B1 (ko) * | 2016-11-22 | 2018-04-20 | 주식회사 서연이화 | 차량용 테일게이트의 스크린장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19514786C2 (de) * | 1995-04-21 | 2002-08-14 | Audi Ag | Vorrichtung zum diskreten Verstellen der Phasenlage zumindest zweier Nockenwellen |
| KR101948303B1 (ko) * | 2016-12-09 | 2019-02-14 | 경북대학교 산학협력단 | 플레인 베어링, 및 이를 구비한 양극 회전형 엑스선관 |
-
1993
- 1993-03-29 JP JP05069489A patent/JP3139873B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7215740B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-05-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode type X-ray tube |
| US7324629B2 (en) | 2003-08-29 | 2008-01-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode type X-ray tube |
| US7801278B2 (en) | 2008-03-26 | 2010-09-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode X-ray tube |
| KR101850741B1 (ko) * | 2016-11-22 | 2018-04-20 | 주식회사 서연이화 | 차량용 테일게이트의 스크린장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06196112A (ja) | 1994-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5204890A (en) | Rotary anode type x-ray tube | |
| EP0482386B1 (en) | Rotary-anode type X-ray tube | |
| KR970002680B1 (ko) | 회전양극형 x선관 | |
| US4097759A (en) | X-ray tube | |
| CA2052471C (en) | Rotary-anode type x-ray tube | |
| US6449339B2 (en) | Rotary anode type X-ray tube and X-ray tube apparatus provided with the same | |
| JP3139873B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| US4097760A (en) | X-ray tube having bearing lubrication | |
| EP1124250B1 (en) | X-Ray tube bearing | |
| JP4112829B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP3045906B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| US6157702A (en) | X-ray tube targets with reduced heat transfer | |
| JP2930280B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP3124023B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管の製造方法 | |
| JP2930255B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP2989056B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP3410808B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP3017859B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法 | |
| JP2003272548A (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP3032275B2 (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JP2001291480A (ja) | 回転陽極型ｘ線管 | |
| JPS6332844A (ja) | 回転陽極形ｘ線管 | |
| JP2001312985A (ja) | 回転陽極型ｘ線管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071215 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081215 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091215 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091215 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101215 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101215 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111215 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121215 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131215 Year of fee payment: 13 |