JP2002174773A - 立体顕微鏡検査システム - Google Patents
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Abstract
成される中間像を観察するための改善された立体顕微鏡
検査システムを提供する。 【解決手段】 この立体顕微鏡検査システムは、観察さ
れるべき物体又は中間像を配置する物体平面を有する対
物システムと、対物レンズの左側に入射するビーム束が
供給される左側接眼システムと、対物レンズの右側に入
射するビーム束が供給される右側接眼システムとを備え
ている。左側接眼システムに供給されるビーム束を右側
接眼システムに反射し、右側接眼システムに供給される
ビーム束を左側接眼システムに反射するためのビーム交
換システム1が、両接眼システムのビーム光路に設けら
れている。さらに、ビーム交換システムに供給されるビ
ーム束と、同システムから出射するビーム束とが同じ像
方位を有する。
Description
生成される中間像を観察するための立体顕微鏡検査シス
テム(stereomicroscopy system)に関する。特に、この
中間像は、物体を垂直方向及び水平方向に反転した像で
あってもよい。また、この顕微鏡検査システムは、顕微
手術、特に眼の手術を行うために利用することができ
る。
路を模式的に示している。従来の立体顕微鏡において、
観察者は、観察者自身の二つの眼901、902でそれ
ぞれ左の接眼レンズ903と右の接眼レンズ904を覗
き、例えば、顕微鏡の物体平面905に置かれた物体を
観察する。接眼レンズ903、904は、像反転プリズ
ム915及び管レンズ(tube lens)913と共に、ケプ
ラー型双眼望遠鏡として機能する管(tube)を形成して
いる。物体は、立体空間的な印象をもって観察者に知覚
される。なぜなら、物体から発せられ、顕微鏡の中心平
面906に対して左側へ顕微鏡の集光レンズ909へと
伸びるビーム束907は、集光レンズ909の左側に入
って左の接眼レンズ903の中に像を結ぶのに対して、
物体から発せられ、中心平面906に対して右側へ集光
レンズ909へと伸びるビーム束908もまた、集光レ
ンズ909の右側に入って右の接眼レンズ904の中に
像を結ぶからである。対物システム(objective syste
m)は、さらに倍率を変えるためのアフォーカルズーム
システムを備えている。接眼レンズ903、904は、
それぞれ管レンズ913とシュミット−ペカンプリズム
915とを備えている。シュミット−ペカンプリズム9
15は、対物レンズによって方位が反転された物体の、
垂直方向及び水平方向に修正された像を提供するために
必要とされる。
者の眼917の眼底916を観察するために使用するこ
ともできる。この目的のために、患者の眼の前には検眼
鏡レンズ919が置かれ、この検眼鏡レンズ919によ
って顕微鏡の物体平面905に眼底916の中間像が生
成される。そして、眼底916の中間像は、立体顕微鏡
を通して外科医によって観察される。
ンズ919の構成においては、検眼鏡レンズ919を通
して像方位と立体視線(stereoscopic sightline)とが
変化するために、眼底916は、外科医によって垂直方
向及び水平方向に反転された状態で知覚され、さらに、
外科医には、擬似立体的に、すなわち、奥行感覚に関す
る限り、前と後が反転しているように見える。この問題
を取り除くために、一方では正しい像方位を再び作り出
さなければならないが、他方では顕微鏡の2つの立体チ
ャンネルを入れ替えなければならない。すなわち、物体
平面905から左側に発せられるビーム束907は外科
医の右眼902に供給されなければならず、物体平面9
05から右側に発せられるビーム束908は外科医の左
眼901に供給されなければならない。
可能性を提供している。
46A1によれば、屋根縁を有するシュミット−ペカン
プリズムは、検眼鏡レンズと物体レンズである集光レン
ズとの間に配置してもよい。
69C2によれば、倍率変更機と接眼レンズの管レンズ
との間の平行ビーム光路に、像方位を変化させ左右のビ
ーム光路を入れ替えるミラーシステムを設けてもよい。
る欠点の一つは、像の反転を検眼鏡レンズの近くで行う
としたら、動作フィールドへのアクセスが邪魔されるこ
とであり、もう一つは、ミラーシステムをアフォーカル
ズームシステムと管との間に設けるとしたら、顕微鏡全
体の高さが人間工学的に不利なほど増加してしまうこと
である。
間像を観察するための改善された立体顕微鏡検査システ
ムを提供することを目的とする。このシステムは、反転
した像方位及び擬似立体(pseudo-stereoscopy)を有す
る中間像を観察するために特に適している。
発明は、対物システムと、観察されるべき物体又は中間
像がその中に配置される物体平面と、前記対物システム
の左側に入射するビーム束が供給される左側接眼システ
ムと、前記対物システムの右側に入射するビーム束が供
給される右側接眼システムとを備えた立体顕微鏡検査シ
ステムである。
えるために、すなわち、左側接眼システムに供給される
ビーム束を右側接眼システムに移し、右側接眼システム
に供給されるビーム束を左側接眼システムに移すため
に、接眼システムのビーム光路にビーム交換システムが
設けられていることである。しかし、ビーム交換システ
ムは、像方位を変えることはない。すなわち、ビーム交
換システムに入射するビーム束と、そこから出射するビ
ーム束との像方位は、同じである。接眼システムにも、
像方位を変えるための別のシステムは設けられていな
い。
上記で詳細に説明したように、接眼レンズ又は管に像反
転装置が設けられているという概念に基づいている。し
かしながら、もし、中間像を観察するときに、この像の
反転が検眼鏡レンズによって既に起こっているのであれ
ば、管では像方位を変えてはならない。奥行の擬似立体
効果を取り除くために、像の反転を起こす代わりに、2
つの立体チャンネルを入れ替える必要があるだけであ
る。
ーム光路から取り外し可能であり、立体チャンネルを交
換することなく、接眼システムにそれぞれ供給されるビ
ーム束の像方位を反転させる像反転システムと交換可能
であることが好ましい。従って、立体顕微鏡検査システ
ムは、ビーム交換システムが接眼システムのビーム光路
の中に挿入されている、垂直方向及び水平方向に反転し
た中間像を観察するための第1の観察モードから、像反
転システムがビーム光路中に挿入されている第2の観察
モードに移転可能である。
システムを横切るビーム束が、同じ接眼中間像位置に実
質的に集光されるように、前記両システムの光学的有効
媒体と形状とが互いに調整されるのが有利である。これ
によれば、1つの観察モードから他の観察モードに変え
るとき、観察者の両眼に鮮明な像を与えるために、立体
顕微鏡検査システムの焦点を再び定める必要はない。
システム及び/又は像反転システムを、接眼システムの
収束又は発散ビーム光路中に場所を取らないで収容する
ことも可能である。この接眼システムは、特にケプラー
型双眼望遠鏡として与えられてもよい。
移動する光学距離について、そのシステムに供給される
ビーム束に対してビーム交換システムが与える差異を所
望の値に設定するために、ビーム交換システムに調整装
置が設けられていれば、接眼中間像位置の調整を可能と
するために有利である。特に、前記所望の値は、実質的
にゼロである。すなわち、両方のビーム束は、ビーム交
換システムを通って実質的に同じ光学距離だけ移動する
が、光学部品の避けることのできない製造公差の結果と
して、互いにわずかに逸れるのは必至である。
両方のビーム束、すなわち、左側のビーム束と右側のビ
ーム束に対し、前記両ビーム束の間の中心平面に対して
対称的に作用する光学的に有効な部品と、両ビーム束に
非対称的に作用する部品とにより構成されているのが有
利である。特に好ましいビーム交換システムにおいて
は、左側のビーム束はミラーによってまず右に屈折する
のに対し、右側のビーム束は別のミラーによってまず左
に屈折する。従って、これらの2つのミラーは、中心平
面に対して、2つのビーム束に対称的に作用する。次い
で、左側のビーム束は2つの連続ミラーによって左に2
回屈折するのに対し、同様に右側のビーム束は2つの連
続ミラーによって左に2回屈折する。従って、これらの
二組のミラーは、中心平面に対して、2つのビーム束に
非対称的に作用する。2つのビーム束がビーム交換シス
テムを去る前に、左側のビーム束は、さらに別のミラー
によってそれから再び右に屈折するのに対し、右側のビ
ーム束は、さらに別のミラーによって再び左に屈折す
る。
テムと、観察されるべき物体又は中間像がその中に配置
される物体平面とを備えた立体顕微鏡検査システムであ
って、ビーム交換−像反転システムが、前記物体平面と
前記対物システムの入射レンズとの間に配置されてい
る。前記ビーム交換−像反転システムは、中心平面に対
して、対物システムの方向の左側に向けられたビーム束
を、対物システムの右側に供給し、前記中心平面に対し
て、対物システムの方向の右側に向けられたビーム束
を、対物システムの左側に供給する。また、前記システ
ムは、各ビーム束の像方位を反転させる。従って、この
立体顕微鏡検査システムは、垂直方向及び水平方向に反
転した中間像を観察するのに特に適している。
転システムは、少なくとも第二種のポロプリズムを備え
ている。
るビーム束をシフトさせるのに特に有効な光学部品であ
り、このシフトは、ビーム交換のためだけなく、所望の
像反転を得るためにも必要である。第二種のポロプリズ
ムは、比較的コンパクトであり、比較的短い光学距離を
有することから、自由作業場(free working field)の
障害物、及び鏡像力場制限(image field restriction)
等の観察された像の可視歪み(visible distortion)も
また最小にする。
いに関連している2つのビーム束のそれぞれに対して設
けられているのが好ましい。その結果、像反転及びビー
ム交換は、比較的短い光学距離だけでビーム束の光路全
体に寄与する光学部品によって実現される。
によって利用されるように設計される場合には、これに
代わる構成が有利である。中心平面に対して左側と右側
で対物システムに供給されるビーム束は、その後、第1
の観察者の左眼と右眼にそれぞれ投影されるのに対し、
中心平面の中央に上側と下側で対物システムに供給され
るビーム束は、第2の観察者の左眼と右眼にそれぞれ投
影される。
れるビーム束を第1の観察者に投影するために、また、
下に供給されるビーム束を第2の観察者に投影するため
に、第1の第二種のポロプリズムを設けるのに対して、
上に供給されるビーム束を第2の観察者に投影するため
に、第2の第二種のポロプリズムを設けるのが好まし
い。その結果、二人の独立した観察者に対して、簡単に
ビーム交換及び像反転を実現する簡単な構成が提供され
る。
に配置される第1の物体、例えば、眼の角膜と、前記物
体平面の中に投影される第2の物体の中間像、例えば、
眼底とを交互に観察するための立体顕微鏡検査システム
である。第2の物体の中間像を観察するために、第2の
物体の垂直方向及び水平方向に反転した中間像を生成す
るための反転レンズシステム、例えば、検眼鏡アタッチ
メントが、対物レンズの前のビーム光路中に挿入される
と共に、中間像の像反転と瞳孔交換のためのビーム交換
−像反転システムが挿入される。第1の物体を観察する
ためには、2つの部品、すなわち、ビーム交換−像反転
システムと反転レンズシステムとが、眼と対物レンズと
の間のビーム光路から取り外される。
った第1の物体と、他方では眼底の領域といった第2の
物体の鮮明な像を得るために、1つの観察モードから別
の観察モードに変えるとき、対物レンズと物体との間の
距離は、実質的には変える必要がない。本発明によれ
ば、これは、ビーム交換−像反転システムの幾何学的寸
法及び光学媒体と、反転レンズシステムの焦点距離とが
これに合わせて互いに調整されることによって実現され
る。
交換−像反転システムがビーム光路に挿入されるときに
は、物体平面が対物レンズから離れている距離の差によ
り、また、ビーム交換−像反転システムがビーム光路か
ら取り外されるときには、前記距離は所望の観察位置に
よって決定される。ここでは、特に、観察されるべき物
体及び/又は同物体を観察するために用いられる補助手
段により、ビーム交換−像反転システムの光学距離を、
例えば、この目的のために用いられる光学部品を注意深
く選ぶことにより、物体平面が対物レンズから間隔をも
って配置されるような構成とすることである。眼の手術
においては、ここで重要である観察されるべき物体間の
距離は、実質的には角膜と眼底の中間像との間の距離で
あり、物体を観察するために用いられる補助手段は、実
質的には検眼鏡アタッチメントである。
ーム光路に挿入されているときの対物レンズと物体平面
との間の距離は、ビーム交換−像反転システムがビーム
光路から取り外されたときの対物レンズと物体表面との
距離と異なる。これら2つの距離の差が15mmから4
0mmの範囲であれば有利であり、20mmから30m
mの範囲であるのが好ましく、24mmから26mmの
範囲であるのが特に好ましい。
テムと、観察されるべき物体又は中間像及び左右の接眼
システムを配置するための物体平面と、中心平面に対し
て対物システムの左側に入射するビーム束を右の接眼シ
ステムに供給し、これに対応して、対物システムの右側
に入射するビーム束を左の接眼システムに供給し、同時
に前記2つのビーム束の像方位を反転するビーム交換−
像反転システムとを備えた立体顕微鏡検査システムであ
る。
テムは、一組の短くされた第二種のポロプリズムから構
成されている。上記のように、第二種のポロプリズム
は、ビーム交換と同時に像反転のために必要なビームの
シフトを行うのに適している。本発明によれば、いわゆ
る『短くされた』第二種のポロプリズムを、従来の第二
種のポロプリズムの代わりに使用することにより、像性
能がさらに改善される。
と像の反転を行う場合、この短くされた第二種のポロプ
リズムは、通常の第二種のポロプリズムと比べて、短い
光学距離を与えるため、本発明の立体顕微鏡検査システ
ムの実施の形態においては、全体の高さと可視像の歪み
から起こる様々な障害が最小化される。
テムと、その中に観察されるべき物体又は中間像を配置
するための物体平面とを備え、左右の接眼システム及び
倍率変更システム並びにビーム交換−像反転システム
が、対物システムと接眼システムとの間のビーム光路に
配置されている。
テムは、倍率変更システムの前で、かつ、対物システム
の後ろのビーム光路に設けられている。その結果、ビー
ム交換−像反転システムによって生じる口径食等の像へ
の障害は、好ましく最小となる。
をさらに具体的に説明する。
参照しながら、2つの観察モードに選択的に利用可能な
立体顕微鏡を、本発明の第1の実施の形態として説明す
る。第1の観察モードにおいては、立体顕微鏡は、例え
ば、眼底を顕微鏡の物体平面に結像させるための検眼鏡
アタッチメントによって生成されるような、垂直方向及
び水平方向に反転した中間像を観察するのに役立つ。第
2の観察モードにおいては、立体顕微鏡は、物体平面に
置かれた物体を直接観察するのに役立つ。
て、眼底の垂直方向及び水平方向に反転した像を、擬似
立体的な空間表現の中間像として生成する。この気がか
りな効果を避けるために、図1に示すビーム交換システ
ム1が立体顕微鏡のビーム光路中に挿入される。ビーム
交換システム1は、中心平面3に対してビーム交換シス
テム1の左側に入射するビーム束5を、中心平面3に対
してビーム交換システム1の右側から出射するビーム束
7に変換する。また、ビーム交換システム1は、中心平
面3に対してビーム交換システム1の右側に入射するビ
ーム束9を、中心平面3に対してビーム交換システム1
の左側から出射するビーム束11に変換する。ここで、
入射するビーム束5、9と出射するビーム束7、11と
は、同じ像方位を示す。すなわち、ビーム交換システム
1によって像反転が起こることはない。
とガラスプリズムとにより構成されており、それらの内
表面でビーム束が反射される。
ビーム束5、9の中心ビームの光路に基づいて図1に示
されている。
ムの管レンズ13を横切った後、90°プリズム15に
入射する。90°プリズム15は、ビーム5が右に90
°反射されてビーム19となるように、ビーム5の進行
方向に対し45°の角度をもって配置された鏡面17を
備えている。ビーム19は、90°プリズム15から出
射した後、2つのガラスブロック21、22を連続して
横切る。ここで、直角プリズム15とガラスブロック2
1、22とは、互いに接合されている。ガラスブロック
22から出射したビーム19は、エアギャップ23を通
過した後、180°プリズム25に入射する。ビーム1
9は、180°プリズム25の第1の鏡面27で左に9
0°反射されてビーム29となる。従って、ビーム29
は、ビーム5の原方向と平行に伝搬した後、180°プ
リズム25の第2の鏡面31に衝突する。ビーム29
は、180°プリズム25の第2の鏡面31でさらに9
0°左に反射されて、ビーム19の方向と反平行(anti
-parallel)に伸びるビーム33になる。ビーム33は、
180°プリズム25から出射し、エアギャップ23及
びガラスブロック22を順次横切った後、ガラスブロッ
ク22に接合された90°プリズム35に入射する。ビ
ーム33は、90°プリズム35の鏡面37で右に90
°反射されて、90°プリズム35から出射する。すな
わち、ビーム33は、ビーム交換システム1から出射し
て、ビーム7として右側接眼システムに入射する。
テムの管レンズ39を下部から上部へ横切った後、ガラ
スブロック21に入射し、ガラスブロック21を横切っ
てから、鏡面43を備えた90°プリズム41に入射す
る。ビーム9は、90°プリズム41の鏡面43で左に
90°反射されてビーム45になる。90°プリズム4
1は、ガラスブロック21に接合されている。90°プ
リズム41、35は、それらの鏡面43、37がほんの
わずかだけ互いに間隔をおいて配置されるように接合さ
れている。90°プリズム41から出射したビーム45
は、90°プリズム41に接合されたガラスブロック4
7を横切った後、エアギャップ49を横切ってから18
0°プリズム51に入射する。ビーム45は、180°
プリズム51の鏡面53で左に90°反射されてビーム
55になる。従って、ビーム55は、ビーム9の方向と
反平行に伝搬した後、180°プリズム53の第2の鏡
面57によって再び左に90°反射されてビーム59に
なる。このため、ビーム59は、ビーム45と反平行に
伝搬する。ビーム59は、180°プリズム53から出
射した後、エアギャップ49を横切って鏡面63を有す
る90°プリズム61に入射する。そして、ビーム59
は、90°プリズム61の鏡面63で再び左に90°反
射され、ビーム11として再びガラスブロック47を横
切った後、ビーム交換システム1から出射して、ビーム
11として左側接眼システムに入射する。
中で、ビーム5として入射してからビーム7として出射
し、ビーム9として入射してからビーム11として出射
するまでの間に移動するそれぞれの光学距離は、実質的
に等しい。これは、上記したガラスプリズムとガラスブ
ロックの構成によって実現される。ガラスブロック2
1、47は、両方のビーム束によって横切られるが、ガ
ラスブロック22は、ビーム5としてビーム交換システ
ム1に入射し、ビーム7として同システムから出射する
ビーム束によって横切られるだけである。後者のガラス
ブロック22は、他方のビーム束が付加的に移動しなけ
ればならない光学距離を補償するのに役立つ。なぜな
ら、他方のビーム束は、ビーム55としてビーム9の原
方向(下部から上部)と反対の方向に一定の距離にわた
って移動するが、ビーム5として入射するビーム束は、
原ビーム方向と反対の方向には決して伝播しないからで
ある。
で移動する光学距離の微調整を達成するために、調整装
置65によって調整可能なエアギャップ23、49が設
けられている。ここで、調整装置65は、180°プリ
ズム25をガラスブロック22に、180°プリズム5
7をガラスブロック47及び90°プリズム15にそれ
ぞれ連結している。
ーム束5は、左側接眼システムの管レンズ13に平行ビ
ーム束として入射し、そこで収束ビーム束に変換され
る。このため、右側の立体チャンネルの中間像平面69
に鮮明な中間像が形成される。中間像平面69は、管レ
ンズ13の焦点に距離d1だけ離れて配置されている。
ここで、距離d1は、プリズム15、25、35及びガ
ラスブロック21、22に使用されるガラスの屈折率、
その幾何学的寸法、並びに横切られた空気路の寸法によ
って規定される。
れ、観察される物体が立体顕微鏡の物体平面に置かれる
他の観察モードにこの立体顕微鏡が利用される場合に
は、ビーム交換システム1によるビーム交換はもはや必
要とされないので、ビーム交換システム1はビーム光路
から取り外されるべきである。しかし、プリズムを反転
させなければ、物体平面に置かれた物体は、観察者によ
って垂直方向及び水平方向に反転された状態で知覚され
ることになるであろう。物体平面に置かれた物体の垂直
方向及び水平方向に正しい像を与えるために、この観察
モードにおいては、ビーム交換システム1の代わりに、
像反転システム73がビーム光路に設けられている。像
反転システム73は、左側接眼システムを通って伸びて
いるビーム束5が左側接眼システム内に残されて左側接
眼システムの中間像平面71にビーム束7’として集光
され、右側接眼システムを通って伸びているビーム束9
が右側接眼システム内に残されて対応する中間像平面に
集光されるように機能する。このため、像反転システム
73は、左側接眼システムと右側接眼システムの各々の
ための屋根縁を有する1つのシュミット−ペカンプリズ
ム74から構成されている。
観察モードにおける中間像平面71との距離d2は、シ
ュミット−ペカンプリズム74の幾何学的寸法、並びに
これに使用されるガラスの屈折率によって決定される。
ビーム交換システム1の調整装置65を適切に調節する
ことにより、距離d1と距離d2を等しくすることが可
能である。このため、観察モードが変更されるときに、
鮮明な像を得るための接眼システムの再調節は必要とさ
れない。
面が管レンズ39から離されている距離についても当て
はまる。理解し易くするために、これに関連するビーム
光路は、図2(a)、(b)には示されていない。
ては、図1、図2に示した立体顕微鏡の変形について説
明する。尚、構造及び機能において互いに対応する構成
部品には、図1、図2で用いたのと同じ参照番号を付し
ている。しかし、区別するために、それらに付加的な文
字が付されている。はっきりさせるために、上記の説明
全体が参照されている。
上記第1の観察モードにおける立体顕微鏡(物体平面で
垂直方向及び水平方向に反転された中間像を観察するた
めの立体顕微鏡)の部分斜視図である。
テム87の入射レンズ(entry lens)85の前には、2
つの第二種のポロプリズムからなるビーム交換−像反転
システム89が配置されている。理解し易くするため
に、図3には、前記2つのポロプリズムのうちの1つの
ポロプリズム91だけが示されている。倍率を変えるた
めに、対物システム87は、複数のレンズ93を有する
ズームシステムをさらに具備している。第二種のポロブ
リズム91は、対物システム87の中心平面95に対し
て左側に伸びるビーム束97に平行移動を与える。これ
により、物体平面から出て入射レンズ85に向かうビー
ム束97は、ビーム束99として中心平面95に対して
入射レンズ85の右側に供給される。同様に、図3に示
されていないビーム交換−像反転システム89における
第2の第二種ポロプリズムは、物体平面から出て中心平
面95に対して入射レンズ85の右側に向かっているビ
ーム束101に平行移動を与え、中央平面95に対して
入射レンズ85の左側にビーム束103として供給す
る。ビーム束101、103の光路は、図3において破
線で輪郭が描かれているだけである。
のようにして行われる。すなわち、ビーム束99は顕微
鏡の右側接眼システムに結像され、これに対応して、ビ
ーム束103は顕微鏡の左側接眼システムに結像され
る。
の全く同じ第二種のポロプリズムから構成されており、
これらは、小さい90°プリズムの鏡面の背面が互いに
背中合わせで接するように嵌め合わされている。
ーム光路の拡大図である。ポロプリズム91は、2つの
小さい90°プリズム105、109と大きい180°
プリズム111とを組み合わせたものと考えることがで
きる。2つの小さい90°プリズム105、109は、
長さLの短い端部(edge)を有している。ビーム97
は、第1の90°プリズム105に入射し、第1の90
°プリズム105の鏡面107で90°反射されるま
で、その中を距離L/2だけ移動する。その後、ビーム
97は、180°プリズム111に入射するまでに距離
L/2だけ移動し、180°プリズム111の中で最初
に90°反射されるまでに距離L/2だけ移動する。続
いて、ビーム97は、180°プリズム111の中でさ
らに90°反射されるまでに距離Lだけ移動する。そし
て、ビーム97は、180°プリズム111から出射す
るまでにさらに距離L/2だけ移動して、第2の90°
プリズム109に入射する。この第2の90°プリズム
109中で、ビーム97は、その鏡面で90°反射され
るまでに距離L/2だけ移動し、さらに距離L/2だけ
移動した後、ビーム99として第2の90°プリズム1
09から出射する。これにより、ビームは、プロプリズ
ム91中で合計4Lの幾何学的距離を移動することが分
かる。
ズ115を示す概略図である。図4に示すように、検眼
鏡レンズ115は、立体顕微鏡の物体平面117に眼底
の像を生成するために、患者の眼の前に置かれている。
図4には、検査される眼の瞳孔119と、角膜121の
表面だけが概略的に示されている。検眼鏡レンズ115
は、眼の方に向いた曲率半径42.474mmのレンズ
面122と、物体平面117の方に向いた曲率半径1
1.372mmの非球面レンズ面123とを有してい
る。
眼の瞳孔119からほぼ8.5mmの距離a1だけ離さ
れている。また、検眼鏡レンズ115の2つのレンズ面
122、123の中心は、5.6mmの距離a2だけ互
いに離されており、レンズ面123は、9.99mmの
距離a3だけ物体平面117から離されている。従っ
て、瞳孔119は、中間像平面からほぼ24.09mm
の距離だけ離れている。尚、角膜121の表面は、一般
に、ほぼ1mmの距離だけ瞳孔平面から離れている。
ち、ビーム交換−像反転システム89がビーム光路から
取り外された状態における立体顕微鏡のビーム光路と物
体平面117の位置を示している。手術される眼の角膜
は、この観察モードにある立体顕微鏡で観察される。従
って、角膜121もまた物体平面117に置かれてい
る。入射レンズ85と物体平面117との距離はb1で
ある。
転された眼底の擬似立体中間像を立体顕微鏡の物体平面
117で観察するために、ビーム交換−像反転システム
89が入射レンズ85の前に配置された状態の、第1の
観察モードにおけるシステムを示している。前記中間像
は、検眼鏡レンズ115によって生成される。
17から距離B4=a1+a2+a3だけ離れて眼の瞳
孔119の前に置かれている。よって、第1の観察モー
ドにおいて、立体顕微鏡の焦点は、この中間像平面上に
合わさなければならない。従って、第1の観察モードに
おいては、立体顕微鏡のために新しい物体平面が設定さ
れる。
構成により、立体顕微鏡で観察される物体平面117
は、第1の観察モードにおいて、入射レンズ85から正
確に距離b2だけ移動することができるようになり、そ
の差はb1−b2=b4である(図6(a)、(b)参
照)。従って、最適な像の鮮明度(sharpness)を得るた
めに2つの観察モードを変更する場合であっても、再び
焦点合わせを行う必要はない。
するために、第1の観察モードにおけるビーム光路が図
6(c)に示されており、第二種のポロプリズム91を
通過するビーム光路を広げた状態で示されている。
7は、長さ4Lのガラスブロックによってb3=4L*
(n−1)/nだけ移動されている。
折り畳まれているために、物体平面117は、反対方向
に3Lだけ移動されている。
ズム端部の長さLの両方は、物体平面をb4=3L−b
3だけ、検眼鏡レンズによって与えられる眼底の中間像
位置へ移動させるための決め手となる。
動量が示されている。
4mmとし、ショット社(companySchott)の屈折率が
n=1.60994のN−SK2タイプガラスを使用し
た場合、距離b3は25.52mmである。従って、3
L=50.52mmのとき、物体平面117の移動量b
4=3L−b3として25.0mmが得られる。
ことにより、この値は、実用的な目的に役に立つように
変更することができる。
っている第2の観察モードから、眼の眼底の像を観察す
るために、検眼鏡レンズ115が眼の前に置かれている
第1の観察モードに変更する場合であっても、対物レン
ズ(入射レンズ)85と眼との間の距離を実質的に変え
る必要はない。これは、外科医の負担を大いに軽減する
こととなる。
した実施の形態の変形を示している。上記した実施の形
態との主な相違は、立体顕微鏡が一人の観察者のためだ
けに提供されているのではなく、すなわち、一組の接眼
システムが設けられているのではなく、むしろ立体顕微
鏡が二人の観察者のために提供されている点である。そ
のために、二組の立体観察チャンネルが、2つの接眼レ
ンズにそれぞれ設けられている。
ーム光路の部分空間図であり、対応するビーム束が二組
の接眼システムにどのように供給されるかを示してい
る。
供給されるビーム束5bと、第1の観察者の右の接眼レ
ンズに供給されるビーム束9bとを示している。ビーム
束5bは、立体顕微鏡の対物レンズ85bの中心平面9
5bの左側からビーム束131として出射するが、複数
のレンズ93bからなるズームシステムに入射して、そ
こから出射するのはビーム束5bとしてである。それに
対応して、ビーム束133は、対物レンズ85bの中心
平面95bの右側から出射するが、さらに、ビーム束1
33は、第1の共通使用者の右側の立体チャンネルのズ
ームレンズ93bを横切り、第1の観察者の右の接眼レ
ンズにビーム束9bとして入射する。
面(horizontal plane)135が、図7の入射レンズ
(対物レンズ)85bの上に描かれている。中心平面9
5bと横平面135とは、入射レンズ85bを等しい四
分円に分割している。
b上の中央から出射するビーム束137は、その移動方
向に対して45°の角度をもって配置された鏡139に
衝突し、この鏡139により、その原ビーム方向に対し
て90°の角度をもって反射する。次いで、ビーム束1
37は、複数のレンズ141からなるガリレオシステム
(Galilean system)141を横切り、第2の観察者の左
の接眼レンズにビーム束143として供給される。入射
レンズ85bから横平面135の上で、かつ、中心平面
95上の中央に出射するビーム束145もまた、鏡13
9と平行に配置された別の鏡147により、90°の角
度をもって反射し、ビーム束137のための複数のレン
ズ141からなるガリレオシステム141と平行に配置
された複数のレンズ149からなる別のガリレオシステ
ムを横切り、第2の観察者の右の接眼レンズにビーム1
51として供給される。
145の断面の投影図であり、同じく断面で、物体平面
の反対を向いている入射レンズ85bのレンズ面上に対
する平面図として、ビーム束131とビーム束133と
が、高い倍率で起こる大きい束の断面図のために示され
ている。
するビーム束131、133、137、145は、図9
の部分斜視図から明らかである。図9においては、入射
レンズ85bから出射するビーム束の中で、関連するズ
ームレンズ93bを有するビーム束だけが、ビーム束9
bとして第1の観察者の右の接眼レンズの中に供給され
るビームとして示されている。ビーム束131、13
3、137、145は、入射レンズ85bに入射する前
に、物体平面で垂直方向及び水平方向に反転された中間
像を観察するために必要なビーム交換と像反転を行うビ
ーム交換−像反転システム89bを通過している。
つの第二種のポロプリズム153、155から構成され
ている。図9の斜視図においては、ポロプリズム153
だけが示されているのが、両方のポロプリズム153、
155の投影は、図8から明らかである。
つのビーム束5b、9bのビーム交換及び像反転は、ポ
ロプリズム153によって行われる。このために、物体
平面から出て入射レンズ85bの中心平面95bの左側
に向かうビーム束157は、ポロプリズム153からビ
ーム束133として出射し中心平面95bの右側から対
物レンズ(入射レンズ85b)に入射するように、ポロ
プリズム153によってシフトされ、第1の観察者の右
眼にビーム束9bとして向かう。それに対応して、入射
レンズ85bの中心平面95bの右側に向けられたビー
ム束159は、ポロプリズム153に入射し、ポロプリ
ズム153からビーム束131として出射して、第1の
観察者の左眼に向かう。
上の中央で、横平面135の上を入射レンズ85bの方
に向けられたポロプリズム153に入射する。プリズム
153は、このビーム束161をシフトさせることによ
り、図8からも明らかなように、これを中心平面95b
上の中央に、横平面135の下をビーム束137として
対物レンズに入射させる。
第2の観察者の左眼に向けられている。
のポロプリズム155は、ビーム束163に横切られる
だけであり、その他のビーム束157、159、161
に対するこのビーム束163の空間的な位置決めは、図
9から明らかである。ビーム束163は、対物レンズで
ある入射レンズ85bの、中心平面95bに対して中央
で、かつ、横平面135の下側に向けられている。ポロ
プリズム155は、ビーム束163をシフトさせること
により、同様に図9に概略が示されているように、これ
を対物レンズ(入射レンズ85b)の、中心平面95b
に対して中央で、かつ、横平面135の上側にビーム束
145として入射させる。
の投影された出射面を示している。従って、第1の観察
者の左右の眼に向けられた2つのビーム束131、13
3と第2の観察者の右眼に向けられたビーム束137と
が、第二種のポロプリズム153から出てくるのが図8
から分かる。第2の観察者の左眼に向けられたビーム束
145だけがポロプリズム155から出射する。
それゆえに動作フィールドへのアクセスに関して最小限
の障害を与える、立体顕微鏡の対物レンズの前に挿入可
能なビーム交換−像反転システムが実現される。また、
第1の観察者に対するビーム交換及び像反転は、一体プ
リズムにより引き起こされているため、観察者は、互い
に相関している左右の眼に対して像の位置を調節すると
いう問題に直面することはない。しかし、2つの全く同
じ第二種のポロプリズムは、そのような精度をもって互
いに嵌め合せることもできるし、2つの立体チャンネル
が両方のプリズムを利用する第2の観察者のために互い
に相関して調節することもできるため、像の位置の問題
は大部分が回避可能である。
が公知の『短くされた(shortened)』第二種のポロプリ
ズム91cを示している。このポロプリズム91cもま
た、2つの90°プリズム105c、109cと180
°プリズム111cとを組み合わせたものと考えること
ができる。図5に示された第二種のポロプリズムとは対
照的に、図10のポロプリズム91cにおいては、18
0°プリズム111cの頂点(vertex)が短くされてい
るため、その反射面は90°プリズム105c、109
cにより接近した状態となっている。また、ポロプリズ
ム91cの部分プリズム105c、109c、111c
はすべて、ビーム束に横切られて反射されることのない
ブロークンエッヂ171を有している。図10から明ら
かなように、中心ビームは、90°プリズム105cで
反射してから180°プリズム111cで最初に反射す
るまでに距離Mだけ移動する。この距離Mは、同じくL
を90°プリズム105c、109cの端部の長さとし
たとき、M=0.71Lと算出される。
を移動する距離は、3.42Lであり、図5のプリズム
における値4Lに比べると、光学距離が短くなってい
る。同時に、ポロプリズム91cも同様に、垂直方向及
び水平方向に反転された中間像を観察するために立体顕
微鏡に挿入可能なビーム交換−像反転システムとしての
役割を果たす。
顕微鏡の種々の位置で使用されてもよい。図3、図9に
示した実施の形態に関連して通常の第二種のポロプリズ
ムについて既に説明したように、同ポロプリズムを、対
物レンズの前に配置してもよい。
は、既に最初に引用した図11で構成部品909と構成
部品913との間に配置したのとの比較において、ビー
ム交換及び像反転のために、対物レンズと接眼レンズと
の間のビーム光路に使用してもよい。この点では、倍率
変更システムと接眼レンズの間に配置することも可能で
ある(図11の構成部品911と構成部品913との
間)。しかし、対物レンズ又は対物レンズである集光レ
ンズと倍率変更システムとの間に配置するのが特に好ま
しい(図11の構成部品909と構成部品911との
間)。この位置で口径食等の生成された像への障害が最
小となるため、このような構成が特に好ましい。
換−像反転システム89cを備えた立体顕微鏡201の
側面図である。図12に示すように、顕微鏡本体205
は、台203に回転可能に取り付けられ、一組の接眼レ
ンズ207と対物レンズ208を保持している。但し、
図12には、接眼レンズ207と対物レンズ208に含
まれるレンズシステム、並びに顕微鏡本体205に含ま
れるレンズシステムは示されていない。前記レンズシス
テムの構造は、図3〜図11に関して説明したような種
類のものであってもよいが、他のレンズ構成とすること
も可能である。立体顕微鏡201は、患者の眼211を
観察するのに使用される。特に、眼の角膜121cを通
して、眼底213が観察されることになる。このため
に、立体顕微鏡201は、顕微鏡本体205に取り付け
られるアタッチメントシステム215を備えている。光
学部品として、アタッチメントシステム215は、対物
レンズ208の前に配置されたビーム交換−像反転シス
テム89cと、ビーム交換−像反転システム89cと角
膜121cとの間に配置された検眼鏡レンズ115cと
を備えている。ビーム交換−像反転システム89cと検
眼鏡レンズ115cは、共通の支持体217に取り付け
られており、この支持体217は顕微鏡本体205に取
り付けられている。支持体217は、ビーム交換−像反
転システム89cと検眼鏡レンズ115cとからなる光
学系を、回転させながら、簡単に立体顕微鏡のビーム光
路中に挿入したり、ビーム光路から外したりすることが
できるように、軸219の周りに回転可能な状態で顕微
鏡本体205に取り付けられている。立体顕微鏡201
によって生成された眼底213の像を簡単に調節するた
めに、検眼鏡レンズ115とビーム交換−像反転システ
ム89cとの間の距離は、スピンドルドライブ221に
よって調節可能となっている。
ビーム交換−像反転システム89cと検眼鏡レンズ11
5とは、回転させながら立体顕微鏡のビーム光路中に挿
入することができるように一緒に取り付けられている。
しかし、検眼鏡レンズを立体顕微鏡とは別の、例えば、
台に取り付け、ビーム交換−像反転システムを立体顕微
鏡に回転可能に取り付けることも可能である。同様に、
図12に示したピボットへの取り付けから離れて、例え
ば、異なる方位を有する1つ以上のピボット軸を設ける
ことも可能である。また、例えば、アタッチメントシス
テムをビーム光路中に挿入したり、そこから外したりす
るために、それをキャリッジの上に搭載することも可能
である。
テムは、図1を参照しながら説明した実施の形態におい
ては、立体顕微鏡の接眼システムのビーム光路中に置か
れている。しかし、このビーム交換システムは、所望の
効果を得るために、つまり、像方位を維持した状態でビ
ーム交換を達成するために、立体顕微鏡のビーム光路の
別のどの位置にも使用することができる。
ち、図1を参照しながら説明した構成におけるビーム光
路につき2つの90°ミラーと1つの180°ダブルミ
ラーの使用は、立体顕微鏡での使用に限定されるもので
はない。むしろ、このビーム交換システムは、像方位を
維持しているときにビーム交換の問題が生じるどの光学
分野においても、利用し得るように意図されている。
体平面に生成するために、眼の眼底の垂直方向及び水平
方向に反転された中間像を生成する検眼鏡レンズを利用
して説明している。しかし、前記の顕微鏡は、顕微鏡の
物体平面で垂直方向及び水平方向に反転された中間像を
観察する問題が生じるその他の用途にも使用することが
できる。例えば、別の外科手術に応用したり、立体顕微
鏡の利用が考えられるその他の用途があるかもしれな
い。
物体又は物体から生成される中間像を観察するための改
善された立体顕微鏡検査システムを提供することができ
る。
検査システムに使用されるビーム交換システムのビーム
光路を模式的に示した図
ーム交換システムの部分図、(b)はビーム交換システ
ムをビーム光路から外し、その代わりに像反転システム
を挿入した状態の、(a)の収束ビーム光路を模式的に
示した図
検査システムのビーム光路の部分図
検査システムに使用される検眼鏡アタッチメントを示す
概略図
検査システムに使用される第二種のポロプリズムを通過
するビーム光路を模式的に示した図
ビーム光路からビーム交換−像反転システムを外した状
態における、物体平面と対物レンズとの間のビーム光路
を模式的に示した図、(b)はビーム交換−像反転シス
テムがビーム光路に挿入されている状態における、
(a)に対応する図、(c)はビーム交換−像反転シス
テムを通過するビーム光路を広げた状態で示した(a)
に対応する図
検査システムを通過するビーム光路の詳細図
ンズの前にある第二種のポロプリズムの位置を示す概略
図
間図
鏡検査システムに使用される短くされた第二種のポロプ
リズムを示す斜視図
した図
鏡検査システムの側面図
Claims (24)
- 【請求項1】 物体又は物体から生成される中間像を観
察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、前記物体平面から左側に向
けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前記
対物システムの右側に供給し、前記物体平面から右側に
向けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前
記対物システムの左側に供給し、前記2つのビーム束の
像方位を反転するビーム交換−像反転システムとを備
え、 前記ビーム交換−像反転システムが少なくとも1つの第
二種のポロプリズムを含むことを特徴とする立体顕微鏡
検査システム。 - 【請求項2】 前記2つのビーム束のそれぞれに対し
て、別個の第二種のポロプリズムが設けられ、前記2つ
の第二種のポロプリズムが、対称的な構成となるように
互いに嵌め合わされている請求項1に記載の立体顕微鏡
検査システム。 - 【請求項3】 前記対物システムの左側と右側に供給さ
れるビーム束が供給される2つの接眼システムが第1の
観察者のために設けられ、前記対物システムの上側と下
側に供給されるビーム束が供給される別の2つの接眼シ
ステムが第2の観察者のために設けられ、 前記対物システムの左側と右側に供給されるビーム束を
供給し、前記対物システムの上側と下側に供給されるビ
ーム束のうちの1つをさらに供給する第1の第二種のポ
ロプリズムが設けられ、 前記対物システムの上側と下側に供給されるビーム束の
うちの他の1つを供給する第2の第二種のポロプリズム
が設けられた請求項1に記載の立体顕微鏡検査システ
ム。 - 【請求項4】 前記ビーム交換−像反転システムが回転
又はシフトによってビーム光路中に挿入可能である請求
項1〜3のいずれかに記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項5】 前記対物システムの前記物体平面に眼底
の中間像を生成する検眼鏡アタッチメントをさらに備
え、前記検眼鏡アタッチメントが前記ビーム交換−像反
転システムと共に回転又はシフトによってビーム光路中
に挿入可能である請求項4に記載の立体顕微鏡検査シス
テム。 - 【請求項6】 前記対物システムの前に挿入可能な、前
記対物システムの前記物体平面に眼底の垂直方向及び水
平方向に反転させた中間像を生成するための検眼鏡レン
ズシステムをさらに備え、前記ビーム交換−像反転シス
テムと検眼鏡レンズシステムは、前記対物システムの前
でビーム光路から外すことができ、前記ビーム交換−像
反転システムの幾何学的寸法及び光学媒体と前記検眼鏡
レンズシステムの焦点距離を調整することにより、前記
ビーム交換−像反転システムと前記検眼鏡レンズシステ
ムとがビーム光路中に位置しているときには、眼底の中
間像が前記対物システムの前記物体平面に位置すること
ができ、その際に前記対物システムは第1の距離(b2
+b4)だけ眼から離されており、前記ビーム交換−像
反転システムと前記検眼鏡レンズシステムとがビーム光
路から外れているときには、眼の角膜が前記対物システ
ムの前記物体平面に位置することができ、その際に前記
対物システムは第2の距離(b1)だけ眼から離されて
おり、かつ、前記第1の距離と前記第2の距離とが実質
的に等しくなっている請求項1〜3のいずれかに記載の
立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項7】 物体又は物体から生成される中間像を観
察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、前記物体平面から左側に向
けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前記
対物システムの右側に供給し、前記物体平面から右側に
向けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前
記対物システムの左側に供給し、前記2つのビーム束の
像方位を反転するビーム交換−像反転システムと、前記
対物システムの前に挿入可能な、前記対物システムの前
記物体平面に眼底の垂直方向及び水平方向に反転させた
中間像を生成するための検眼鏡レンズシステムとを備
え、前記ビーム交換−像反転システムと検眼鏡レンズシ
ステムは、前記対物システムの前でビーム光路から外す
ことができ、前記ビーム交換−像反転システムの幾何学
的寸法及び光学媒体と前記検眼鏡レンズシステムの焦点
距離を調整することにより、前記ビーム交換−像反転シ
ステムと前記検眼鏡レンズシステムとがビーム光路中に
位置しているときには、眼底の中間像が前記対物システ
ムの前記物体平面に位置することができ、その際に前記
対物システムは第1の距離(b2+b4)だけ眼から離
されており、前記ビーム交換−像反転システムと前記検
眼鏡レンズシステムとがビーム光路から外れているとき
には、眼の角膜が前記対物システムの前記物体平面に位
置することができ、その際に前記対物システムは第2の
距離(b1)だけ眼から離されており、かつ、前記第1
の距離と前記第2の距離とが実質的に等しくなっている
ことを特徴とする立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項8】 前記ビーム交換−像反転システムが前記
対物システムの前でビーム光路から外すことができ、前
記ビーム交換−像反転システムがビーム光路中に位置し
ているときには、前記対物システムの前記物体平面が第
3の距離(b2)だけ前記対物システムから離されてお
り、前記ビーム交換−像反転システムがビーム光路から
外れているときには、前記物体平面が第4の距離(b
1)だけ前記対物システムから離されており、前記第3
の距離と前記第4の距離との差が所定の値である請求項
1〜4のいずれかに記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項9】 物体又は物体から生成される中間像を観
察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、前記物体平面から左側に向
けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前記
対物システムの右側に供給し、前記物体平面から右側に
向けられたビーム束を前記対物システムの方向でかつ前
記対物システムの左側に供給し、前記2つのビーム束の
像方位を反転するビーム交換−像反転システムとを備
え、 前記ビーム交換−像反転システムが前記対物システムの
前でビーム光路から外すことができ、前記ビーム交換−
像反転システムがビーム光路中に位置しているときに
は、前記対物システムの前記物体平面が第3の距離(b
2)だけ前記対物システムから離されており、前記ビー
ム交換−像反転システムがビーム光路から外れていると
きには、前記物体平面が第4の距離(b1)だけ前記対
物システムから離されており、前記第3の距離と前記第
4の距離との差が所定の値であることを特徴とする立体
顕微鏡検査システム。 - 【請求項10】 前記第3の距離と前記第4の距離との
差が15mm〜40mmの範囲にある請求項8又は9に
記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項11】 前記第3の距離と前記第4の距離との
差が20mm〜30mmの範囲にある請求項10に記載
の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項12】 前記第3の距離と前記第4の距離との
差が24mm〜26mmの範囲にある請求項11に記載
の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項13】 物体又は物体から生成される中間像を
観察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、左側接眼システム及び右側
接眼システムと、前記対物システムの左側に入射するビ
ーム束を前記右側接眼システムに供給し、前記対物シス
テムの右側に入射するビーム束を前記左側接眼システム
に供給し、前記2つのビーム束の像方位を反転させるビ
ーム交換−像反転システムとを備え、 前記ビーム交換−像反転システムが一組の短くされた第
二種のポロプリズムを含むことを特徴とする立体顕微鏡
検査システム。 - 【請求項14】 前記対物システムと前記2つの接眼シ
ステムとの間に配置された倍率変更システムをさらに備
え、前記ビーム交換−像反転システムが前記対物システ
ムと前記倍率変更システムとの間に配置された請求項1
3に記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項15】 物体又は物体から生成される中間像を
観察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、左側接眼システム及び右側
接眼システムと、前記対物システムの左側に入射するビ
ーム束を前記右側接眼システムに供給し、前記対物シス
テムの右側に入射するビーム束を前記左側接眼システム
に供給し、前記2つのビーム束の像方位を反転させるビ
ーム交換−像反転システムと、前記対物システムと前記
2つの接眼システムとの間に配置された倍率変更システ
ムとを備え、 前記ビーム交換−像反転システムが前記対物システムと
前記倍率変更システムとの間に配置されたことを特徴と
する立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項16】 前記対物システムの前に挿入可能な、
前記対物システムの前記物体平面に観察されるべき物体
の垂直方向及び水平方向に反転させた中間像を生成する
ためのアタッチメントレンズシステムをさらに備えた請
求項13〜15のいずれかに記載の立体顕微鏡検査シス
テム。 - 【請求項17】 物体又は物体から生成される中間像を
観察するための立体顕微鏡検査システムであって、 観察されるべき物体又は中間像を配置するための物体平
面を有する対物システムと、前記対物システムの左側に
入射するビーム束が供給される左側接眼システムと、前
記対物システムの右側に入射するビーム束が供給される
右側接眼システムとを備え、 前記左側接眼システムに供給されるビーム束を前記右側
接眼システムに反射し前記右側接眼システムに供給され
るビーム束を前記左側接眼システムに反射するためのビ
ーム交換システムが、前記両接眼システムのビーム光路
中に設けられ、 前記ビーム交換システムに供給されるビーム束と前記ビ
ーム交換システムから出射するビーム束とが同じ像方位
を有することを特徴とする立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項18】 前記左側接眼システムと前記右側接眼
システムのそれぞれが収束ビーム光路を有する部分を含
み、前記ビーム交換システムが前記収束ビーム光路に配
置されている請求項17に記載の立体顕微鏡検査システ
ム。 - 【請求項19】 前記ビーム交換システムが、前記右側
接眼システムに供給されるビーム束と、前記左側接眼シ
ステムに供給されるビーム束のそれぞれに対して、実質
的に同じ光学距離を与える請求項17又は18に記載の
立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項20】 少なくとも光学距離を調整するための
調整装置が設けられた請求項19に記載の立体顕微鏡検
査システム。 - 【請求項21】 前記ビーム交換システムが前記接眼シ
ステムのビーム光路から取り外し可能であり、代わり
に、前記左右の接眼システムに供給されるビーム束の像
方位をぞれぞれ反転させる像反転システムが前記接眼シ
ステムのビーム光路中に挿入可能である請求項17〜2
0のいずれかに記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項22】 前記ビーム交換システムと前記像反転
システムとが、前記両接眼システムに供給されるビーム
束に対して、実質的に同じ接眼中間像位置を与える請求
項21に記載の立体顕微鏡検査システム。 - 【請求項23】 前記対物システムの前に挿入可能な、
前記対物システムの前記物体平面に観察されるべき物体
の垂直方向及び水平方向に反転させた中間像を生成する
ためのアタッチメントレンズシステムをさらに備えた請
求項17〜22のいずれかに記載の立体顕微鏡検査シス
テム。 - 【請求項24】 前記ビーム交換システムが、 前記接眼システムに供給される2つのビーム束の一つ目
を、前記ビーム交換システムへの入射方向を横切る方向
に屈折させる第1のミラーと、 前記第1のミラーで屈折されたビーム束を、入射方向と
平行な方向に屈折させる第2のミラーと、 前記第2のミラーで屈折されたビーム束を、前記第1の
ミラーで屈折された後の方向と反対の方向に屈折させる
第3のミラーと、 前記第3のミラーで屈折されたビーム束を、前記2つの
ビーム束の二つ目の方に、かつ、同軸上に屈折させる第
4のミラーと、 前記2つのビーム束の二つ目を、前記ビーム交換システ
ムへの入射方向を横切る方向に屈折させる第5のミラー
と、 前記第5のミラーで屈折されたビーム束を、入射方向と
反対の方向に屈折させる第6のミラーと、 前記第6のミラーで屈折されたビーム束を、前記第5の
ミラーで屈折された後の方向と反対の方向に屈折させる
第7のミラーと、 前記第7のミラーで屈折されたビーム束を、前記2つの
ビーム束の一つ目の方に、かつ、同軸上に屈折させる第
8のミラーとを備えた請求項12〜18のいずれかに記
載の立体顕微鏡検査システム。
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