JP2002170756A

JP2002170756A - 基板処理装置の制御装置、基板処理システム及び基板処理システムにおける基板情報の表示方法

Info

Publication number: JP2002170756A
Application number: JP2000364664A
Authority: JP
Inventors: Takao Adachi; 高夫足立
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-11-30
Filing date: 2000-11-30
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶表示パネルやプラズマ表示パネル等に用
いるガラス基板等の基板処理装置において、各基板の位
置等の基板情報を把握して適切な制御を行えるようにす
ることである。【解決手段】基板処理装置１の各処理ユニット１０〜
７０から送信される基板情報を受信する受信手段と、各
処理ユニット１０〜７０の配置を模式的に表示するため
のグラフィックデータを格納している記憶手段と、受信
した基板情報とグラフィックデータとを対応付ける割り
付け手段と、対応付けられた基板情報（ロット番号、基
板番号）及びグラフィックデータを表示するとともに、
基板の存在するポジションを色付けし、ロット中の最後
の基板が存在するポジションをさらに別の色で色づけ
し、またポインタによってさらに詳しい情報（ステータ
ス、レシピ番号）を表示する表示手段２４０とを備える
基板処理システム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板処理装置の制
御装置及び基板処理システム、特に、液晶表示パネルや
プラズマ表示パネル等に用いるガラス基板、半導体ウエ
ハ等の基板処理装置の制御装置及び基板処理システムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置又はプラズマ表示装置用の
ガラス基板（ＦＰＤ基板）や半導体ウエハ等の製造プロ
セスにおいては、基板の表面にレジスト膜を形成して露
光・現像を行う基板処理装置が必要である。この基板処
理装置は、複数の処理ユニットを接続して一貫した処理
を可能にした装置（インラインシステム）であり、例え
ばフォトリソグラフィ工程では、露光機と接続してレジ
スト塗布前洗浄からレジスト塗布・露光・現像までを連
続して行えるようにしたコータ／デベロッパ装置があ
る。

【０００３】このような基板処理装置では、搬送ロボッ
トにより基板を搬入し、各処理ユニット間を移動させつ
つ基板に所定の処理（洗浄・レジスト塗布・現像）を施
す。処理ユニットとしては、例えば洗浄ユニット・脱水
ベークユニット・レジスト塗布ユニット・現像ユニット
・ポストベークユニットがある。所定の処理としては、
例えばレジスト塗布前洗浄・脱水乾燥・レジスト塗布・
露光後に行われる現像・レジストの硬化がある。また各
処理ユニット内は、複数の処理部から構成されており、
それぞれの処理部において基板に所定の処理が行われ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、基板
処理装置は複数の処理ユニットから構成され、各処理ユ
ニットも複数の処理部から構成されている。また基板の
搬入及び各処理ユニットでの処理は連続して行われ、複
数の基板が同時に基板処理装置内に存在することにな
る。このような基板処理装置では、基板の存在する処理
ユニット・処理部等の基板の情報を把握して、基板の搬
送及び処理を適切に制御する必要がある。また、例えば
一連の基板処理の途中において、基板搬送におけるハン
ドリングミスや、一部の処理ユニットや処理部における
不都合、安全のため、など何らかの理由により、稼動中
の装置全体が停止してしまうことがある。例えばある処
理部で基板の搬送の際にハンドリングミスにより基板が
破損したような場合、破損した基板はどのロットの何番
目の基板であるか、また、そのときに他の処理部、他の
処理ユニットに入っている基板はそれぞれどのロットの
何番目の基板であるかを装置のオペレータが認識し、事
後に適切な対応がなされなければならない。すなわち、
破損した基板を装置から取り除くことはもちろん、その
基板はどのロットの何番目の基板であるかを認識して、
装置にある当該破損基板のデータも削除して以後に混乱
を生じないようにしなければならない。またその装置停
止に伴い、他の処理部、例えば加熱部に長時間入ってい
たままになっていた基板や、回転塗布動作中に装置が停
止した基板などは、プロセス上の不都合が生じている可
能性が高いため、不良品の発生を防ぐためにこれらの基
板も取り除くか、あるいは後工程において格別な配慮を
するなどの必要があり、他方、単なる搬送経路上で停止
していた基板などには、格別の配慮無く通常の工程に戻
しても以後の工程に不都合がなく不良品発生の心配もな
いものもあるので、それらの基板はそのまま処理を継続
することが好ましい。このように、基板処理装置におい
ては、どの処理ユニットの位置、どの処理部の位置に、
いかなる基板が存在しているのかをオペレータが正しく
特定し、認識できることが好ましい。しかるに、一般に
素材としての基板はその概観は一様であり、基板のみを
一見しただけで、その基板のロットや順番までを特定す
ることは困難である。

【０００５】本発明の課題は、液晶表示パネルやプラズ
マ表示パネル等に用いるガラス基板、半導体ウエハ等の
基板処理装置において、各基板の位置等の基板情報を把
握して適切な制御を行えるようにすることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板処理
装置の制御装置は、基板を複数の処理ユニット間で移動
させ所定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置
であって、受信手段と記憶手段と割付手段と表示手段と
を備えている。受信手段は、各処理ユニットから送信さ
れる基板の情報（以下、基板情報と称す）を受信する。
基板情報には、例えば処理ユニット名、各処理ユニット
内での処理部の名称（以下、ポジション名という）、ロ
ット番号、各ロット内で基板を特定する基板番号が含ま
れる。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式化して
示すためのグラフィックデータを格納している。割付手
段は、グラフィックデータと受信された基板の情報とを
対応づける。表示手段は、割付手段により対応づけられ
たグラフィックデータ及び基板の情報を表示するととも
に、基板が存在する部分を基板が存在しない部分と区別
して表示する。

【０００７】請求項１に係る制御装置では、まず受信手
段が各処理ユニットから出力される基板情報を受信す
る。次に各基板についての基板情報が、記憶手段に格納
されている各処理ユニットの配置を模式化して示すため
のグラフィックデータに対応づけられる。例えば基板情
報が、現像ユニット・現像部・「ＡＢＣＤＥ」（ロット
番号）・「１５」（基板番号）・処理中（ステータス）
・００７（レシピ番号）である場合には、これらの基板
情報が現像ユニットの現像部のグラフィックデータに対
応付けられる。そして表示手段において、各処理ユニッ
トの配置を模式化した画像が表示されるとともに、各処
理ユニットの各ポジションに対応する基板情報も表示さ
れる。さらに、基板が存在する部分は、基板が存在しな
い部分とは区別して表示される。例えば、基板が存在す
る部分を、基板が存在しない部分の色とは異なる色で表
示して、区別しても良い。または、基板が存在する部分
を点滅表示させ、基板が存在しない部分を点滅させない
で表示して、基板が存在する部分を基板が存在しない部
分と区別しても良い。

【０００８】請求項１に係る制御装置によれば、基板が
存在する処理ユニット及び処理部を確実に把握でき、基
板の搬送及び処理を適切に制御することができる。また
装置が偶発的に停止した場合等にも、基板が存在する処
理ユニット及び処理部を即座に把握して適切な対応を行
うことができる。さらに、基板が存在する部分を基板が
存在しない部分とは区別して表示するため、基板が存在
する処理ユニット及び処理部を容易に視認することがで
きる。

【０００９】請求項２に係る基板処理装置の制御装置
は、基板を複数の処理ユニット間で移動させ所定の処理
を行う基板処理装置を制御する制御装置であって、受信
手段と記憶手段と割付手段と表示手段とを備えている。
受信手段は、各処理ユニットから送信される基板の情報
を受信する。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式
化して示すためのグラフィックデータを格納している。
割付手段は、グラフィックデータと受信された基板の情
報とを対応づける。表示手段は、割付手段により対応づ
けられたグラフィックデータ及び基板の情報を表示する
とともに、特定の基板が存在する部分を他の部分とは区
別して表示する。

【００１０】請求項２に係る制御装置では、表示手段に
おいて、各処理ユニットの配置を模式化した画像が表示
されるとともに、各処理ユニットの各ポジションに対応
する基板情報も表示される。さらに、特定の基板が存在
する部分は他の部分とは区別して表示される。例えば、
特定の基板が存在する部分を、他の基板が存在する部分
及び基板が存在しない部分のいずれとも異なる色で表示
して、区別しても良い。または、特定の基板が存在する
部分を点滅表示させ、他の基板が存在する部分及び基板
が存在しない部分を点滅させないで表示して、特定の基
板が存在する部分を他の部分と区別しても良い。

【００１１】請求項２に係る制御装置によれば、ロット
中の特定の基板を他の部分とは区別して表示するため、
特定の基板の処理の進行状況を容易に視認することがで
きる。

【００１２】請求項３に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項１に係る制御装置において、表示手段は、特
定の基板が存在する部分を他の部分とは区別して表示す
る。請求項３に係る制御装置では、例えば、基板が存在
する部分を、基板が存在しない部分と異なる色で表示し
て、区別する。さらに特定の基板が存在する部分を、他
の基板が存在する部分及び基板が存在しない部分のいず
れとも異なる色で表示して、区別する。または、基板が
存在する部分を点滅表示させ、基板が存在しない部分を
点滅させないで表示して、基板が存在する部分を基板が
存在しない部分と区別する。さらに特定の基板が存在す
る部分の点滅の速度を、他の基板が存在する部分の点滅
の速度とは異ならせ、これらを区別する。

【００１３】請求項３に係る制御装置によれば、請求項
１に係る制御装置の場合と同様の効果を奏する。即ち、
基板が存在する処理ユニット及び処理部を確実に把握で
きる。さらに、特定の基板が存在するを他の部分とは区
別して表示するため、基板処理の進行状況を容易に視認
することができる。

【００１４】請求項４に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項２に係る制御装置において、特定の基板は、
属するロット中の最後の基板である。請求項４に係る制
御装置では、表示手段において、例えば、基板が存在す
る部分を、基板が存在しない部分と異なる色で表示し
て、区別する。さらにロット中の最後の基板が存在する
部分を、他の基板が存在する部分及び基板が存在しない
部分のいずれとも異なる色で表示して、区別する。また
は、基板が存在する部分を点滅表示させ、基板が存在し
ない部分を点滅させないで表示して、基板が存在する部
分を基板が存在しない部分と区別する。さらにロット中
の最後の基板が存在する部分の点滅の速度を、他の基板
が存在する部分の点滅の速度とは異ならせ、これらを区
別する。

【００１５】請求項４に係る制御装置によれば、ロット
中の最後の基板が存在する部分を他の部分とは区別して
表示するため、各ロットにおける基板処理の終期を視認
し易くなる。

【００１６】請求項５に係る基板処理装置の制御装置
は、基板を複数の処理ユニット間で移動させ所定の処理
を行う基板処理装置を制御する制御装置であって、受信
手段と記憶手段と割付手段と表示手段とを備えている。
受信手段は、各処理ユニットから送信される基板の情報
を受信する。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式
化して示すためのグラフィックデータを格納している。
割付手段は、グラフィックデータと受信された基板の情
報とを対応づける。表示手段は、割付手段により対応づ
けられたグラフィックデータ及び基板の情報の一部を表
示するとともに、画面上のポインタによって基板の情報
をさらに表示する。

【００１７】請求項５に係る制御装置では、表示手段に
おいて、各処理ユニットの配置を模式化した画像が表示
されるとともに、各処理ユニットの各ポジションに対応
する基板情報の一部（例えば、処理ユニット名・ポジシ
ョン名・ロット番号・基板番号）も表示される。さら
に、画面上のポインタによって、さらに詳細な基板情報
（ステータス・レシピ番号）を表示する。例えば、画面
上のポインタの先端をポジション名の表示領域に合わせ
ることにより、さらに詳細な基板情報（ステータス・レ
シピ番号）を表示させるようにしても良い。

【００１８】請求項５に係る制御装置によれば、まず表
示手段の画面上には必要最小限の基板情報が表示され、
基板の存在する位置を容易に視認することができ、ポイ
ンタによって、さらに詳細な基板の処理状況及び基板の
処理条件等の情報を把握することができる。

【００１９】請求項６に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項５に係る制御装置において、表示手段は、さ
らに、基板が存在する部分を基板が存在しない部分と区
別して表示する。請求項６に係る制御手段によれば、請
求項５に係る制御装置の場合の効果に加えて、さらに請
求項１に係る制御装置の場合と同様の効果を奏する。

【００２０】請求項７に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項６に係る制御装置において、表示手段は、さ
らに、特定の基板が存在する部分を他の部分とは区別し
て表示する。請求項７に係る制御手段によれば、請求項
６に係る制御装置の場合の効果に加えて、さらに請求項
２に係る制御装置の場合と同様の効果を奏する。

【００２１】請求項８に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項７に係る制御装置において、特定の基板は属
するロット中の最後の基板である。請求項７に係る制御
手段によれば、請求項７に係る制御装置の場合の効果に
加えて、さらに請求項４に係る制御装置の場合と同様の
効果を奏する。

【００２２】請求項９に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項１から８のいずれかに係るの制御装置におい
て、グラフィックデータは、各処理ユニットの名称と各
処理ユニット内での位置情報とを含んでいる。一般に、
複数の処理ユニットにより基板処理装置を構成すると、
その後において処理ユニットの配置や構成を変更するこ
とは希である。したがって、各処理ユニットの名称及び
ポジション名は、各処理ユニットの配置を模式的に示す
グラフィックデータに対応させて記憶手段に予め格納し
ておく。この場合、制御装置が受信する基板情報は処理
ユニット名及びポジション名を含む必要がなく、特定の
処理ユニットのポジションを識別する情報のみを含んで
いればよい。請求項９に係る制御装置によれば、制御装
置が受信する基板情報が少なくてよいので、受信速度が
速くなり受信手段及び割付手段での処理が簡略化され
る。

【００２３】請求項１０に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項１から９のいずれかに係る制御装置におい
て、受信する基板の情報には、ロット番号と基板番号と
ステータスとレシピ番号とが含まれている。ロット番号
は、基板が属するロットを特定する番号である。基板番
号は、属するロット中において各基板を特定するための
番号である。ステータスは、基板が処理中であるか否か
を表す標識である。レシピ番号は、各処理ユニットの各
位置における処理条件を表す番号である。

【００２４】請求項１０に係る制御装置では、個々の基
板の特定はロット番号と基板番号によって行われる。各
基板は、ロット番号によって属するロットが特定され、
さらに属するロット中で基板を特定する基板番号によっ
て特定される。さらに、基板情報にステータスを含ませ
て、基板が処理中又は処理待であるかを把握し、レシピ
番号を含ませて、基板の処理条件を把握することもでき
る。

【００２５】請求項１０に係る制御装置によれば、ロッ
ト番号及び基板番号という簡易な特定方法により、多数
の基板の中で確実に各基板を特定することができる。ま
た、ステータスにより、基板が処理中又は処理待ちであ
るかを把握し、基板処理装置が停止した場合にも、適切
な対応を採ることができる。さらに、レシピ番号によ
り、基板の処理の条件が適切であるか確認することがで
きる。

【００２６】請求項１１に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項１０の制御装置において、受信する基板の情
報には、各処理ユニットの名称と各処理ユニットにおけ
る位置情報とをさらに含んでいる。

【００２７】請求項１１に係る制御装置では、処理ユニ
ットの配置及び構成が変更された場合、記憶手段に格納
されている処理ユニットの配置を模式的に示すグラフィ
ックデータのみを書き換え、基板情報に含まれる処理ユ
ニット名及びポジション名によって基板情報を変更後グ
ラフィックデータに対応させる。

【００２８】請求項１１に係る制御装置によれば、処理
ユニットの配置及び構成が変更された場合においても、
簡易な変更を加えるのみで基板情報の表示を適切に行う
ことができる。

【００２９】請求項１２に係る基板処理装置の制御装置
は、請求項１から１１のいずれかに係る制御装置におい
て、各処理ユニットとの間でＴＣＰ／ＩＰによってデー
タを受信する。請求項１２に係る制御装置では、ＴＣＰ
／ＩＰプロトコルを用いたデータ（基板情報）を受信
し、受信したデータを割り付け手段及び表示手段におい
て用いる。請求項１２に係る装置によれば、ＴＣＰ／Ｉ
Ｐは、デファクトスタンダードであるため、これに対応
した表示手段のアプリケーションを入手し易い。

【００３０】請求項１３に係る基板処理装置の制御装置
は、基板を複数の処理ユニット間で移動させ所定の処理
を行う基板処理装置を制御する制御装置であって、受信
手段と表示手段とを備えている。受信手段は、各処理ユ
ニットから送信される基板の情報を受信する。表示手段
は、受信した基板の情報を表示する。

【００３１】請求項１３に係る制御装置では、基板処理
装置から基板情報を受信し、表示手段に表示する。請求
項１３に係る制御装置によれば、基板が存在する処理ユ
ニット及び処理部を把握でき、基板の搬送及び処理を適
切に制御することができる。また装置が偶発的に停止し
た場合にも、基板が存在する処理ユニット及び処理部を
把握して適切な対応を行うことができる。

【００３２】請求項１４に係る基板処理システムは、基
板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、基板を複
数の処理ユニット間で移動させる基板搬送手段と、処理
ユニット及び搬送手段を制御する制御装置とを備えてい
る。ここで、処理ユニットは、基板の情報を検出するた
めの検出手段と、検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有している。制御装置は、受信手段と記憶手段
と割付手段と表示手段とを有している。受信手段は、各
処理ユニットの送信手段から送信される基板の情報を受
信する。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式化し
て示すためのグラフィックデータを格納している。割付
手段は、グラフィックデータと受信された基板の情報と
を対応づける。表示手段は、割付手段により対応づけら
れたグラフィックデータ及び基板の情報を表示するとと
もに、基板が存在する部分を基板が存在しない部分と区
別して表示する。

【００３３】請求項１４に係る基板処理システムでは、
まず各処理ユニットの検出手段により基板情報が検出さ
れ、基板情報が送信手段により送信される。そして制御
装置では、請求項１に係る制御装置の場合と同様の処理
が施される。請求項１４に係る基板処理システムによれ
ば、請求項１に係る制御装置の場合と同様の効果を奏す
る。

【００３４】請求項１５に係る基板処理システムは、基
板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、基板を複
数の処理ユニット間で移動させる基板搬送手段と、処理
ユニット及び搬送手段を制御する制御装置とを備えてい
る。ここで、処理ユニットは、基板の情報を検出するた
めの検出手段と、検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有している。制御装置は、受信手段と記憶手段
と割付手段と表示手段とを有している。受信手段は、各
処理ユニットの送信手段から送信される基板の情報を受
信する。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式化し
て示すためのグラフィックデータを格納している。割付
手段は、グラフィックデータと受信された基板の情報と
を対応づける。表示手段は、割付手段により対応づけら
れたグラフィックデータ及び基板の情報を表示するとと
もに、特定の基板が存在する部分を他の部分とは区別し
て表示する。請求項１５に係る基板処理システムによれ
ば、請求項２に係る制御装置の場合と同様の効果を奏す
る。

【００３５】請求項１６に係る基板処理システムは、基
板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、基板を複
数の処理ユニット間で移動させる基板搬送手段と、処理
ユニット及び搬送手段を制御する制御装置とを備えてい
る。ここで、処理ユニットは、基板の情報を検出するた
めの検出手段と、検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有している。制御装置は、受信手段と記憶手段
と割付手段と表示手段とを有している。受信手段は、各
処理ユニットの送信手段から送信される基板の情報を受
信する。記憶手段は、各処理ユニットの配置を模式化し
て示すためのグラフィックデータを格納している。割付
手段は、グラフィックデータと受信された基板の情報と
を対応づける。表示手段は、割付手段により対応づけら
れたグラフィックデータ及び基板の情報の一部を表示す
るとともに、画面上のポインタによって基板の情報をさ
らに表示する。請求項１６に係る基板処理システムによ
れば、請求項５に係る制御装置の場合と同様の効果を奏
する。

【００３６】請求項１７に係る基板処理システムは、基
板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、基板を複
数の処理ユニット間で移動させる基板搬送手段と、処理
ユニット及び搬送手段を制御する制御装置とを備えてい
る。ここで、処理ユニットは、基板の情報を検出するた
めの検出手段と、検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有している。制御装置は、各処理ユニットの送
信手段から送信される基板の情報を受信する受信手段
と、受信した基板の情報を表示する表示手段とを有して
いる。請求項１７に係る基板処理システムによれば、請
求項１３に係る制御装置の場合と同様の効果を奏する。

【００３７】請求項１８に係る基板処理システムにおけ
る基板情報の表示方法は、基板を複数の処理ユニット間
で移動させて所定の処理を行う基板処理装置と、基板処
理装置を制御する制御装置とから構成される基板処理シ
ステムにおける基板情報の表示方法であって、第１〜第
４の段階を含んでいる。第１段階では、各処理ユニット
において基板の情報を検出する。第２段階では、各処理
ユニットにおいて、第１段階で検出された基板の情報を
制御装置に送信する。第３段階では、制御装置におい
て、各処理ユニットから送信される基板の情報を受信す
る。第４段階では、第３段階で受信した基板の情報を表
示する。請求項１８に係る基板情報の表示方法によれ
ば、請求項１４の基板処理システムの場合と同様の効果
を奏する。

【００３８】

【発明の実施の形態】〔第１実施形態〕〔基板処理装置〕本発明の基板処理システムの一実施形
態（第１実施形態）を図１及び図２に示す。図１は基板
処理装置１の平面図であり、図２は基板処理装置１に接
続される制御装置２を含む基板処理システムのブロック
図である。

【００３９】基板処理装置１は、図１に示すように、複
数の処理ユニットを接続して一貫した処理を可能にした
コータ／デベロッパ装置であって、露光機７と接続さ
れ、フォトリソグラフィ工程においてレジスト塗布前洗
浄からレジスト塗布・露光・現像までを連続して行える
ようにするものである。

【００４０】基板処理装置１は、インデクサー部９０、
洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット２０、レジスト
塗布ユニット３０、プリベークユニット４０、Ｉ／Ｆ部
５０、現像ユニット６０、ポストベークユニット７０及
びコンベアユニット８０の各処理部ユニットを備えさら
に、搬送ロボット４〜６を備えている。また各処理ユニ
ット１０〜９０は、それぞれ、ＣＰＵ１０ａ〜９０ａ
と、メモリ１０ｂ〜９０ｂと、外部の制御装置２と通信
するためのＩ／Ｆ（インターフェース）１０ｃ〜９０ｃ
と、基板の位置を検出するためのセンサ１０ｄ〜９０ｄ
とを備えている（図２）。

【００４１】基板処理装置１は、インデクサー部９０に
戴置されたカセット３から被処理ガラス基板（以下、基
板という）を取り出して各処理部へ送り出し、各処理工
程を終えた基板を同じカセット３に収納するユニカセッ
ト方式を採用可能である。カセット３からの取り出し及
びカセット３への収納は、基板を保持して旋回可能なア
ームを備えカセット３の列に沿って移動可能なインデク
サーロボット９０Ｒによって行う。

【００４２】洗浄ユニット１０は、枚葉式の処理部の集
合であって、搬入部１１、水洗部１２、乾燥部１３、及
び搬出部１４からなる。搬入部１１から搬出部１４まで
は、コンベアによって基板を搬送しつつ洗浄処理する。
なお、コンベアはクリーンルーム内に対応した発塵性の
少ないローラコンベアを採用する。

【００４３】脱水ベークユニット２０は、静止式の処理
部が多段に積み上げられたものであり、搬送ロボット５
をはさんで２つの積層体２０Ｘおよび２０Ｙを備える。
それら２つの積層体２０Ｘおよび２０Ｙは、あわせて３
つの加熱部と、３つの冷却部とを備え、さらに、搬入部
と、搬出部と、通過部とを備えている。洗浄ユニット１
０とレジスト塗布ユニット３０の側（以下、「行き側」
と称する）の積層体２０Ｘは、下から、冷却部、搬入
部、搬出部、加熱部、加熱部の５つが積層されている。
現像ユニット６０とコンベアユニット８０の側（以下、
「帰り側」と称する）の積層体２０Ｙは、下から、冷却
部、通過部、冷却部、加熱部の４つが積層されている。
搬送ロボット５は、これら両方の積層体２０Ｘ，２０Ｙ
のすべての加熱部とすべての冷却部と搬入部と搬出部と
にアクセス可能であり、それらに対する基板の搬入と搬
出を行う。なお、以下の説明および図面において、加熱
部をＨＰ、冷却部をＣＰ、搬入部をＩＮＣＶ、搬出部
をＯＵＴＣＶ、通過部をスルーＣＶと略記することが
ある。

【００４４】脱水ベークユニット２０において、搬入部
および搬出部は積層体２０Ｘに設けられる。搬入部は基
板を搬送するためのコンベアを備えており、当該コンベ
アは、後述するポストベークユニット７０の通過部のコ
ンベアを介して洗浄ユニット１０の搬出部１４のコンベ
アに連なっているものである。洗浄ユニット１０の搬出
部１４からポストベークユニット７０の通過部を通って
この脱水ベークユニット２０の搬入部に至った基板は、
搬送ロボット５によって受け取られてこの搬入部から取
り出され、脱水ベークユニット２０の各部に入れられて
処理される。搬出部は、後述するレジスト塗布ユニット
３０の搬入部３１に連続するコンベアを備えている。脱
水ベークユニット２０の各部での処理が済んだ基板は搬
送ロボット５に取り出されて、この搬出部にて搬送ロボ
ット５からコンベアに引き渡され、そのコンベアからレ
ジスト塗布ユニット３０の搬入部３１に向けて搬送され
る。搬送ロボット５と搬入部及び搬出部のコンベアと
は、互いに衝突することなく基板を受渡し可能な形状と
なっている。

【００４５】脱水ベークユニット２０において、通過部
は積層体２０Ｙに設けられる。通過部は基板を搬送する
ためのコンベアを備えており、当該コンベアは、現像ユ
ニット６０の搬出部６５のコンベアをポストベークユニ
ット７０の搬入部のコンベアに連ねるためのものであ
る。すなわち現像ユニット６０の搬出部６５から送り出
された基板は、脱水ベークユニット２０の通過部を通過
してポストベークユニット７０の搬入部に至り、搬送ロ
ボット４によって受け取られてこの搬入部から取り出さ
れ、ポストベークユニット７０の各部に入れて処理され
る。脱水ベークユニット２０にある搬送ロボット５は脱
水ベークユニット２０の通過部にはアクセスしない。

【００４６】レジスト塗布ユニット３０は、枚葉式の処
理部であって、搬入部３１、塗布部３２、乾燥部３３、
エッジリンス部３４、搬出部３５からなる。搬入部３１
から搬出部３５までは、図外の間歇移送装置によって基
板を搬送する。

【００４７】プリベークユニット４０は、静止式の処理
部が多段に積み上げられたものであり、搬送ロボット６
をはさんで２つの積層体４０Ｘおよび４０Ｙを備える。
それら２つの積層体４０Ｘおよび４０Ｙは、あわせて４
つの加熱部と、２つの冷却部とを備え、さらに、搬入部
と、通過部とを備えている。行き側の積層体４０Ｘは、
下から、冷却部、搬入部、加熱部、加熱部の４つが積層
されている。帰り側の積層体４０Ｙは、下から、冷却
部、通過部、加熱部、加熱部の４つが積層されている。
搬送ロボット６は、これら両方の積層体４０Ｘ，４０Ｙ
のすべての加熱部とすべての冷却部と搬入部とにアクセ
ス可能であり、それらに対する基板の搬入と搬出を行う
とともに、隣接するＩ／Ｆ部５０の搬入部５１にもアク
セスしてその搬入部５１に対して基板を運び入れる。

【００４８】プリベークユニット４０において、搬入部
は積層体４０Ｘに設けられる。搬入部は基板を搬送する
ためのコンベアを備えており、当該コンベアは、現像ユ
ニット３０の搬出部３５のコンベアに連なっているもの
である。現像ユニット３０の搬出部３５からプリベーク
ユニット４０の搬入部に至った基板は、搬送ロボット６
によって受け取られてこの搬入部から取り出され、プリ
ベークユニット４０の各部に入れて処理される。プリベ
ークユニット２０の各部での処理が済んだ基板は搬送ロ
ボット６に取り出されて、隣接するＩ／Ｆ部５０の搬入
部５１に置かれ、露光機７に運ばれる。搬送ロボット６
と、搬入部のコンベアならびにＩ／Ｆ部５０の搬入部５
１とは、互いに衝突することなく基板を受渡し可能な形
状となっている。

【００４９】プリベークユニット４０において、通過部
は積層体４０Ｙに設けられる。通過部は基板を搬送する
ためのコンベアを備えており、当該コンベアは、Ｉ／Ｆ
部５０の搬出部５２のコンベアを現像ユニット６０の搬
入部６１のコンベアに連ねるためのものである。すなわ
ち露光機７で露光された基板はＩ／Ｆ部５０の搬出部５
２に置かれてそのコンベアから送り出され、プリベーク
ユニット４０の通過部を通過して現像ユニット６０の搬
入部６１に至り、現像ユニット６０に入って処理され
る。プリベークユニット４０にある搬送ロボット６はプ
リベークユニット４０の通過部にはアクセスしない。

【００５０】現像ユニット６０は、枚葉式の処理部であ
って、搬入部６１、現像部６２、水洗部６３、乾燥部６
４、搬出部６５からなる。搬入部６１から搬出部６５ま
では、コンベアによって基板を搬送しつつ現像処理す
る。

【００５１】ポストベークユニット７０は、静止式の処
理部が多段に積み上げられたものであり、搬送ロボット
４をはさんで２つの積層体７０Ｘおよび７０Ｙを備え
る。それら２つの積層体７０Ｘおよび７０Ｙは、あわせ
て３つの加熱部と、１つの冷却部とを備え、さらに、搬
入部と、搬出部と、通過部とを備えている。行き側の積
層体７０Ｘは、下から、冷却部、通過部、加熱部の３つ
が積層されている。帰り側の積層体７０Ｙは、下から、
搬入部、搬出部、加熱部、加熱部の４つが積層されてい
る。搬送ロボット４は、これら両方の積層体７０Ｘ，７
０Ｙのすべての加熱部とすべての冷却部と搬入部と搬出
部とにアクセス可能であり、それらに対する基板の搬入
と搬出を行う。

【００５２】ポストベークユニット７０において、搬入
部および搬出部は積層体７０Ｙに設けられる。搬入部は
基板を搬送するためのコンベアを備えており、当該コン
ベアは、脱水ベークユニット２０の通過部のコンベアを
介して現像ユニット６０の搬出部６５のコンベアに連な
っているものである。現像ユニット６０の搬出部６５か
ら脱水ベークユニット２０の通過部を通ってこのポスト
ベークユニット７０の搬入部に至った基板は、搬送ロボ
ット４によって受け取られてこの搬入部から取り出さ
れ、ポストベークユニット７０の各部に入れて処理され
る。搬出部は、後述するコンベアユニット８０の入口に
連続するコンベアを備えている。ポストベークユニット
７０の各部での処理が済んだ基板は搬送ロボット４に取
り出されて、この搬出部にて搬送ロボット４からコンベ
アに引き渡され、そのコンベアからコンベアユニット８
０の入口に向けて搬送される。搬送ロボット４と搬入部
及び搬出部のコンベアとは、互いに衝突することなく基
板を受渡し可能な形状となっている。

【００５３】ポストベークユニット７０において、通過
部は積層体７０Ｘに設けられる。通過部は基板を搬送す
るためのコンベアを備えており、当該コンベアは、洗浄
ユニット１０の搬出部１４のコンベアを脱水ベークユニ
ット２０の搬入部のコンベアに連ねるためのものであ
る。すなわち洗浄ユニット１０の搬出部から送り出され
た基板は、ポストベークユニット７０の通過部を通過し
て脱水ベークユニット２０の搬入部に至り、搬送ロボッ
ト５によって受け取られてこの搬入部から取り出され、
脱水ベークユニット２０の各部に入れて処理される。ポ
ストベークユニット７０にある搬送ロボット４はポスト
ベークユニット２０の通過部にはアクセスしない。

【００５４】コンベアユニット８０は基板を搬送するた
めのコンベアを備えており、当該コンベアは、ポストベ
ークユニット７０の搬出部のコンベアに連なり、インデ
クサー部９０にまで至っているものである。ポストベー
クユニット７０の搬出部からコンベアユニット８０に送
り出された基板はコンベアユニット８０のコンベアによ
って搬送され、インデクサー部９０にまで運ばれ、イン
デクサーロボット９０Ｒによって受け取られてインデク
サー部９０のカセット３に収納される。

【００５５】搬送ロボット４〜６は、旋回することはで
きるが水平方向に移動するような機構は有していない、
いわゆるクラスタタイプのロボットである。この搬送ロ
ボット４〜６は、それぞれ、床面に設置され旋回と昇降
が可能な胴部と、胴部から延び先端部分において基板を
保持することができる２つのアーム部とを有している。

【００５６】Ｉ／Ｆ部５０は、基板処理装置１と露光機
７との間で基板の受け渡しを順序良く行うための機構で
あり、一般に、基板を搬送する搬送ロボットやタクトタ
イムを調節するバッファ（カセット等）からなる。

【００５７】センサ１０ｄ〜９０ｄは、各処理ユニット
１０〜９０において、各ポジション間での基板の移動を
検出する。センサ１０ｄ〜９０ｄは、基板の移動を光学
的又は磁気的な手段によって検出する光センサ又は磁気
センサを用いる場合もあるし、基板を保持して移動する
移動手段（スライダ等）の移動量を認識して基板の移動
を検出する機械的手段を用いる場合もある。

【００５８】またＣＰＵ１０ａ〜９０ａは、メモリ１０
ｂ〜９０ｂに格納された基板の情報及び制御装置（後
述）からの信号に基づいて、各処理ユニット１０〜９０
における基板の搬送及び処理を制御する。

【００５９】メモリ１０ｂ〜９０ｂのそれぞれは、図３
に示すように、各ポジション毎に領域（この例では
［１］〜［６］）が確保されており、各領域には、ポジ
ション名・ロット番号・基板番号・レシピ番号・ロット
エンドフラグ・有無フラグが格納されている。さらに、
基板に対してプロセス処理を施すポジションでは、ステ
ータスが格納される。

【００６０】図３には、具体例として、時刻ｔ１、ｔ２
及びｔ３における現像ユニット６０のメモリ６０ｂの内
容を示している。ポジション名は、各処理ユニット１０
〜９０に含まれる各処理部の名称であり、図３の例では
搬入部、現像部、水洗部、乾燥部、搬出部及びスルーＣ
Ｖである。ここでは、搬入部・搬出部・スルーＣＶ等の
基板の移動のための部分（プロセス処理を施さない部
分）も、ポジション（処理部）として、基板にプロセス
処理を施す部分と同様に扱う。また、ここで現像ユニッ
ト６０のメモリ６０ｂにスルーＣＶが含まれている理由
は、次の通りである。すなわち、脱水ベークユニット２
０、プリベークユニット４０、ポストベークユニット７
０のそれぞれは、行き側のラインと帰り側のラインとの
両方にまたがって積層体を配置しているが、脱水ベー
ク、プリベーク、ポストベークの処理を施すのは行きか
帰りかいずれかの場合のみであるので、当該処理を施さ
ない側のラインにおいては各ベークユニットに上流側ユ
ニットからくる基板を単に通過させるための通過部を設
けている。この通過部においては基板は単に通過するだ
けであるので当該通過部が設けられている各ベークユニ
ットの動作とは関係がない。従ってそれぞれの通過部の
制御と管理は、当該通過部が設けられている各ベークユ
ニットではなく、当該通過部と連続している上流側ユニ
ットのＣＰＵが行う。具体的には、例えば脱水ベークユ
ニット２０において、通過部は積層体２０Ｙに設けられ
ており、当該通過部のコンベアは、現像ユニット６０の
搬出部６５のコンベアをポストベークユニット７０の搬
入部のコンベアに連ねるためのものであるから、脱水ベ
ークユニット２０の通過部の制御及び管理は上流側ユニ
ットである現像ユニット６０のＣＰＵ６０ａが行う。同
様に、プリベークユニット４０の通過部の管理はＩ／Ｆ
部５０のＣＰＵ５０ａが、ポストベークユニット７０の
通過部の管理は洗浄ユニット１０のＣＰＵ１０ａが、そ
れぞれ行う。そのため、この図３の例では、現像ユニッ
ト６０の制御及び管理を行うためのメモリ６０ｂには、
現像ユニット６０の搬出部６５に対応する領域[５]に続
いて、脱水ベークユニット２０の通過部に対応する領域
［６］が設けられている。他のベークユニットの通過部
においても同様である。

【００６１】ロット番号は、製造工程で用いられる被製
造物（基板）の集合を特定する番号であり、例えば複数
の基板が格納されるカセット３毎に１のロット番号を割
り当てることができる。また複数のカセット３に１のロ
ット番号を割り当てることもできる。図３の例では、ロ
ット番号は「ＡＢＣＤＥ」である。基板番号は、属する
ロットにおいて個々の基板を特定する番号であり、図３
の例では「１６」〜「１１」である。カセット３毎にロ
ット番号を割り当てる場合は、例えば、各カセット３の
棚位置を表す番号を基板番号として付ける。複数のカセ
ット３にロット番号を割り当てる場合は、例えば、その
複数のカセットのすべての棚位置を区別できる固有の番
号を付ける。このように、この実施形態では、各基板
は、ロット番号及び基板番号によって特定される。なお
この発明では、各基板に対して当該基板を特定するため
の基板情報を対応付けているが、その情報は必ずしもロ
ット番号と基板番号からなる基板情報に限らず、その他
の符号などでもよく、要するに基板を特定できるための
情報であればよい。

【００６２】有無フラグは、各ポジションにおける基板
の存否を表し、図３の例では、基板が存在する場合は
「１」であり、基板が存在しない場合は「０」である。
基板にプロセス処理を施すポジション（現像部・水洗部
・乾燥部）の領域には、さらにステータスを格納してい
る。ステータスとは、基板が該当するポジション（処理
部）において「処理待ち」、「処理中」、「処理済み」
のいずれの状態にあるかを表す標識である。レシピ番号
とは、基板の処理の条件を表す番号である。例えば現像
部の場合、使用する現像液の量及び基板の現像液との接
触時間等の処理条件を特定する番号である。ロットエン
ドフラグは、当該基板がそのロットの最後の基板である
か否かを示すフラグであり、インデクサー部９０によっ
て付与される。

【００６３】Ｉ／Ｆ１０ｃ〜９０ｃは、メモリ１０ｂ〜
９０ｂに格納されている基板情報等を所定のデータ形式
に加工し、ネットワークを介して制御装置２（後述）に
送信する。所定のデータ形式とは、例えばＴＣＰ／ＩＰ
のようなプロトコルを用いることができる。

【００６４】図４には、図３と同様に現像ユニット６０
の場合の具体例であり、時刻ｔ１、ｔ２及びｔ３におけ
るメモリ６０ｂの内容に対応したＩ／Ｆ６０ｃの送信す
るデータ（以下、送信データという）の内容を示してい
る。図４に示すように、送信データは、処理ユニット名
・ポジション名・ロット番号・基板番号・ロットエンド
フラグ・有無フラグを含んでいる。また、送信データの
現像部・水洗部・乾燥部に対応する部分には、さらにス
テータスを含んでいる。また、基板が存在しないポジシ
ョンに対応するロット番号及び基板番号の領域には、
「０」を割り当てている。

【００６５】なお、処理ユニット名（現像ユニット）を
送信するのは、制御装置２においてどの処理ユニットか
ら送信されたデータであるかを区別するためである。〔制御装置〕制御装置２は、図２に示すように、各処理
ユニットのＩ／Ｆ１０ｃ〜９０ｃとネットワークを介し
て信号を送受信し、各処理ユニット１０〜９０での基板
の搬送及び処理を制御する。

【００６６】制御装置２は、Ｉ／Ｆ２１０とメモリ２２
０とＣＰＵ２３０とモニタ２４０とを備えている。また
ＣＰＵ２１０に接続される入力装置としてキーボード２
５０を備えている。インターフェース２１０、ＣＰＵ２
２０、メモリ２３０はパーソナルコンピュータ（ＰＣ）
によって構成することができ、モニタ２４０はＰＣに接
続される外部モニタを用いても良い。また、キーボード
２５０からの入力によって、各処理ユニット１０〜９０
での基板の搬送及び処理の条件を変更することができ
る。

【００６７】Ｉ／Ｆ２１０は、各処理ユニットのＩ／Ｆ
１０ｃ〜９０ｃとの間で信号の送受信を行う装置であ
る。Ｉ／Ｆ２１０は、図４のような、Ｉ／Ｆ１０ｃ〜９
０ｃから送信される基板情報を受信する受信手段として
の役割を果たす。

【００６８】メモリ２２０は、処理ユニット１０〜９０
の配置を模式的に示すグラフィックデータと、グラフィ
ックデータ及び基板情報をどのようにモニタ２４０に出
力するかを記述した表示プログラムとが格納されている
記憶手段である。メモリ２２０の内容を図５に示す。図
５に示すように、グラフィックデータは各処理ユニット
１０〜９０毎にそれぞれファイル１〜９に別々に格納さ
れており、表示プログラムはファイル０に格納されてい
る。具体的には、インデクサー部９０，洗浄ユニット１
０、脱水ベークユニット２０、レジスト塗布ユニット３
０、プリベークユニット４０、Ｉ／Ｆ部５０、現像ユニ
ット６０、ポストベークユニット７０、コンベアユニッ
ト８０の配置を模式的に表示するグラフィックデータ
は、それぞれファイル１〜９に格納されている。各ファ
イルは、各処理ユニット１０〜９０に含まれる処理部の
数（ポジションの数）と、モニタ２４０の画面上におけ
る各処理ユニット１０〜９０の配置を示す座標Ｘ１Ｙ１
〜Ｘ９Ｙ９とを含んでいる。

【００６９】表示プログラム（ファイル０）は、各処理
ユニットのＩ／Ｆ１０ｃ〜９０ｃから受信した基板情報
をそれぞれファイル１〜９に割り付け、基板情報及び処
理ユニット１０〜９０の模式的な配置をモニタ２４０の
画面に表示する。また表示プログラムは、基板が存在す
るポジションに対応する領域、ロット中の最後の基板が
存在するポジションに対応する領域、画面の背景色にそ
れぞれ異なる色を付す。また表示プログラムは、画面上
のポインタ（例えば、矢印の表示）をキーボード２５０
あるいはキーボード２５０に付設されているマウス等の
指定デバイスで動かして、その先端を画面上に表示され
ている各ポジションに対応する領域に合わせて指定した
とき、そのポジションに入れられている基板のステータ
ス及びレシピ番号を表示する。

【００７０】ＣＰＵ２３０は、Ｉ／Ｆ２１０、メモリ２
２０及びキーボード２５０に接続されており、Ｉ／Ｆ２
１０及びネットワークを介して各処理ユニットのＩ／Ｆ
１０ｃ〜９０ｃと信号の送受信を行い、各処理ユニット
１０〜９０での基板の搬送及び処理を制御する。また、
メモリ２２０からグラフィックデータ及び表示プログラ
ムを読み出し、表示プログラムによって、Ｉ／Ｆ２１０
から受信した基板情報をグラフィックデータの各ファイ
ル１〜９に割り付け、これらをモニタ２４０の画面に表
示する。

【００７１】例えば、ＣＰＵ２３０において表示プログ
ラムは、現像ユニット６０からの基板情報（図４）をフ
ァイル６に割り付ける。さらに、ファイル６に含まれる
座標Ｘ６Ｙ６に基づいて、図６に示すモニタ２４０の画
面上の（Ｘ６，Ｙ６）の位置から現像処理部６０の模式
的な外形及び配置を描写する。この模式的な配置には、
処理ユニット名（「現像ユニット」）を記述する領域
と、ファイル６に含まれるポジション数「５」に相当す
る領域とが含まれ、ポジション数に相当する領域は、さ
らにポジション名・ロット番号・基板番号を表示するた
めの領域に分割されている。そして表示プログラムは、
受信した基板情報（処理ユニット名・ポジション名・ロ
ット番号・基板番号）をモニタ２４０の該当する部分
に、次のように表示する。即ち、基板が存在するポジシ
ョンに対応する領域には、ロット番号及び基板番号を表
示し、基板が存在しないポジションに対応する領域に
は、これらを表示せず空白とする。

【００７２】また、ＣＰＵ２３０において表示プログラ
ムは、基板が存在するポジションに対応する領域に、画
面の背景色とは異なる色を付け、ロット中の最後の基板
が存在するポジションに対応する領域には、さらに別の
色を付す。図６の例では、モニタ２４０の画面の背景色
が白色である場合に、基板が存在するポジションに対応
する領域に青色を付し、ロット中の最後の基板が存在す
るポジションに対応する領域に赤色を付している。な
お、図面の作成上、青色を斜線で、赤色を横線で表現し
ている。

【００７３】また、ＣＰＵ２３０において表示プログラ
ムは、図６に示すように、画面上のポインタの先端を各
ポジションに対応する領域に合わせたとき、さらに詳細
な基板情報として、そのポジションにおけるステータス
（処理中）及びレシピ番号（００７）を、コメント形式
で表示する。

【００７４】モニタ２４０は、ＣＰＵ２３０に接続され
る表示手段である。上述したように、モニタ２４０は、
ＣＰＵ２３０において表示プログラムによって処理され
た信号を受信して、処理ユニットの模式的な外形、配置
及び基板情報（図６）を表示するとともに、所定の領域
に色付けし、ポインタによってコメントを表示する。す
なわちモニタ２４０には、図６に示すように、各処理ユ
ニット１０〜９０のおよその外形（矩形）と、それら各
処理ユニット１０〜９０相互の位置関係を含む平面的な
配置が、模式的に矩形の領域からなる画像（処理ユニッ
ト像１０Ｇ〜９０Ｇ）として、表示される。そしてその
うち各処理ユニット像１０Ｇ〜８０Ｇについては、それ
ぞれが、処理ユニットの名称が表示される領域と、内部
の処理部に対応する矩形の領域に分割されている。特
に、複数の処理部を多段に積み上げて構成されている脱
水ベークユニット２０、プリベークユニット４０、ポス
トベークユニット７０に対応する処理ユニット像２０
Ｇ、４０Ｇ、７０Ｇにあっては、それぞれのユニットの
積層体２０Ｘ，２０Ｙ，４０Ｘ，４０Ｙ，７０Ｘ，７０
Ｙごとに該当する積層体の位置に、その積層体の内部の
処理部の上下方向の配置を、擬似的に平面方向に変換し
て表示している。

【００７５】そして、各処理ユニット像１０Ｇ〜８０Ｇ
については、該当する処理ユニットの内部の個別の処理
部に対応する矩形の領域には、ＣＰＵ２３０が受信した
情報に基づき、該当する処理部のポジション名と、当該
処理部の中に存する基板を特定するための情報、すなわ
ちロット番号と基板番号が表示される。例えば、ポスト
ベークユニット７０の積層体７０Ｘの通過部の下に位置
する冷却部（積層体７０Ｘの最下部の冷却部）には、ポ
ジション名「ＣＰ」とその中に存する基板情報「ＡＢＣ
ＤＥ」「６」が表示される。これはすなわち、ポストベ
ークユニット７０の積層体７０Ｘの通過部の下に位置す
る処理部が「ＣＰ」すなわち冷却部であって、かつその
中に存する基板がロット「ＡＢＣＤＥ」の「６」番目の
基板であることを示している。また、その表示は、背景
が白色であるのに対してこの領域が青色で表示されてい
るから、この処理部には基板が存在していることが一目
でわかる。また、レジスト塗布ユニット３０の塗布部３
２には、ロット番号及び基板番号のいずれも表示されて
おらず、この部分は画面の背景色と同色（白色）である
ため、この処理部（ポジション）には基板が存在しない
ことを示している。現像ユニット６０の現像部には、ロ
ット番号「ＡＢＣＤＥ」・基板番号「１５」の基板が存
在する。また、この部分は青色で表示されているため、
この部分には基板が存在していることと、この基板はロ
ット（「ＡＢＣＤＥ」）中で最後に処理されている基板
ではないことを示している。現像ユニット６０の搬入部
には、ロット番号「ＡＢＣＤＥ」・基板番号「１６」の
基板が存在する。また、この部分は赤色で表示されてい
るため、この基板はロット（「ＡＢＣＤＥ」）中で最後
に処理されている基板であることを示している。さら
に、ポインタＰの先端が現像部６０の領域に重ねられて
おり、現像部６０に対するコメントを含む情報を表示す
るためのコメント窓ＰＣが表示されている。このコメン
トには、ステータス及びレシピ番号が含まれており、基
板が処理中であり、処理条件はレシピ番号「００７」で
特定される条件であることを示している。

【００７６】他方、インデクサー部９０については、Ｃ
ＰＵ９０ａとＣＰＵ２３０とは、インデクサー部９０の
５つのカセットのセット位置（ポート）ごとに、当該セ
ット位置にどのロット番号のカセットがセットされてい
るかの情報を送受信する。この情報はオペレータがキー
ボード２５０から入力した情報がＣＰＵ２３０によって
ＣＰＵ９０ａに送信されてメモリ１０ｂに記憶されてい
た情報である。ＣＰＵ２３０が表示する、インデクサー
部９０に対応する処理ユニット像９０Ｇについては、ポ
ートごとに対応する５つの矩形の領域に分割されてい
る。そしてＣＰＵ２３０は、インデクサー部９０のポー
トごとに、そこにセットされているカセットのロット番
号を、対応する矩形の領域に表示する。図６の例では、
最も帰り側寄りのポートである「ポート１」には、ロッ
ト番号「ＡＢＣＤＥ」のカセットが置かれている。

【００７７】〔基板処理システムの動作〕次に、基板処
理システムにおける動作を、図１を参照しつつ順に説明
する。インデクサー部９０においてインデクサーロボッ
ト９０Ｒによりカセット３から取り出された基板は、洗
浄ユニット１０に移される。基板は、搬入部１１から搬
出部１４へとコンベアによって搬送されつつ、洗浄処理
が施される。

【００７８】搬出部１４に至った基板は、そのまま連続
コンベアによって搬送されてポストベークユニット７０
の通過部を通過し、脱水ベークユニット２０の搬入部に
至る。そしてここでは、基板は、搬送ロボット５によっ
て搬入部から取り出され、まず加熱部へ、次に冷却部へ
と搬入、搬出され、複数の加熱部及び冷却部によって脱
水ベーク処理が施される。

【００７９】次に、基板は、搬送ロボット５によって冷
却部から搬出部に移される。そして搬出部のコンベアに
より、レジスト塗布ユニット３０の搬入部３１へ運ばれ
る。レジスト塗布ユニット３０では、基板は、搬入部３
１から搬出部３５に移されつつ、レジスト塗布に関する
各処理が施される。すなわち、まず搬入部３１から間歇
移送装置によって塗布部３２へ運ばれ、以下、順に乾燥
部３３、エッジリンス部３４を通ってそれぞれの処理が
施された後、搬出部３５へ運ばれる。

【００８０】搬出部３５に至った基板は、搬出部３５か
らそのまま連続するコンベアによってプリベークユニッ
ト４０の搬入部に移され、さらに搬送ロボット６によっ
て搬送されて、複数の加熱部及び冷却部において加熱乾
燥が行われる。その後、基板は、搬送ロボット６によっ
てＩ／Ｆ部５０に運ばれる。Ｉ／Ｆ部５０に運ばれた基
板は、露光機７に移されて、露光処理が施される。露光
された基板は、露光機７からＩ／Ｆ部５０に移送され、
Ｉ／Ｆ部５０からプリベークユニット４０の通過部を通
って現像ユニット６０の搬入部６１に至る連続したコン
ベアにより、現像ユニット６０に搬入される。

【００８１】基板は、現像ユニット６０において、搬入
部６１から搬出部６５へ移されつつ現像処理が行われ
る。搬出部６５に至った基板は、搬出部６５から脱水ベ
ークユニット２０の通過部を通ってポストベークユニッ
ト７０の搬入部に至る連続したコンベアによって、ポス
トベークユニット７０の搬入部に至る。

【００８２】ポストベークユニット７０では、搬送ロボ
ット４によって搬送されて複数の加熱部及び冷却部によ
って熱処理が施され、最後に搬出部へ運ばれる。搬出部
に送った基板は、搬出部からそのまま連続するコンベア
によってコンベアユニット８０に移され、コンベアユニ
ット８０によってインデクサー部９０の近傍まで搬送さ
れる。そして、基板は、インデクサーロボット９０Ｒに
よって元のカセット３に収納される。

【００８３】〔基板情報の表示〕制御装置２は、上述し
たような基板処理装置１での一連の処理中に、各処理ユ
ニット１０〜８０から基板情報を受信し、図６に示すよ
うに、処理ユニットの模式的配置及び基板情報をモニタ
２４０に出力する。

【００８４】以下、基板情報の表示について図７及び図
８に示すフローチャートを参照して説明する。図７は各
処理ユニット１０〜８０のそれぞれに共通である操作実
行と基板情報の送信のフローチャートであり、図８は制
御装置２でのＣＰＵ２３０による基板情報の表示のフロ
ーチャートである。なお、インデクサー部９０のＣＰＵ
９０ａ、メモリ９０ｂの動作については他のＣＰＵ１０
ａ〜８０ａとは若干異なるが、これについては後に詳述
する。

【００８５】インデクサー部９０の動作及び操作につき
説明すると、インデクサー部９０はカセット３をセット
するセット位置（ポート）を５つ備えている。装置のオ
ペレータはインデクサー部９０にカセット３をセットす
る際、インデクサー部９０のどのセット位置にカセット
３をセットするかという情報と、当該カセットのロット
番号および当該ロットを処理する際のレシピ番号をキー
ボード２５０から入力する。入力されたロット番号およ
びレシピ番号の情報はネットワークを介してインデクサ
ー部９０のＣＰＵ９０ａに送信され、ＣＰＵ９０ａはそ
の情報をメモリ９０ｂに記憶する。また、インデクサー
部９０はカセット３がセットされた際には、図示しない
センサにより当該カセット３内に何枚の基板が収納され
ているかを検出し、メモリ９０ｂに記憶する。そして、
インデクサー部９０のＣＰＵ９０ａは、インデクサーロ
ボット９０Ｒがカセット３から基板を取り出して洗浄ユ
ニット１０の搬入部１１に向けて払い出す際に、当該基
板に対してロット番号と基板番号とレシピ番号とを特定
し対応付けする。この対応付けは、インデクサーロボッ
ト９０Ｒがどの位置にセットされたカセットのどの棚位
置から基板を取り出したかによって行われる。そして、
基板を実際に搬入部１１に引き渡すと同時に、ＣＰＵ９
０ａは、引き渡す基板のロット番号と基板番号とレシピ
番号とロットエンドフラグと、有無フラグとを、ネット
ワークを通じて下流側の処理ユニットである洗浄ユニッ
ト１０のＣＰＵ１０ａに送信する。ここで、ロットエン
ドフラグとは、当該ロットの最後の基板（ロットエンド
基板）を払い出す際、すなわち当該ロットのカセットの
最終の基板を払い出す際に、ＣＰＵ９０ａがその最終基
板に対して対応付けするものであって、ロットエンド基
板に対してはロットエンドフラグを「１」として対応付
けを行い、ロットエンド基板でない基板に対してはロッ
トエンドフラグを「０」とする。有無フラグとは、イン
デクサー部９０から払い出すすべての基板に必ず付与さ
れるもので、払い出されるすべての基板にＣＰＵ９０ａ
が有無フラグを「１」として対応付けを行い付与する。
よって、有無フラグが「１」となっている処理部には基
板が存在していることになり、有無フラグが「０」であ
る処理部には基板が存在していないことになる。

【００８６】さて、図７のフローチャートの動作を洗浄
ユニット１０の場合を例として説明する。インデクサー
部９０の下流側ユニットである洗浄ユニット１０のＣＰ
Ｕ１０ａは、図７に示すフローチャートに従い制御を実
行する。まず、ステップＳ１１では基板の受け入れの有
無を検出する。上流側ユニットであるインデクサー部９
０から基板の引き渡しがあったことが確認されると、ス
テップＳ１２へ進む。ステップＳ１２では、基板の引き
渡しと同時にインデクサー部９０のＣＰＵ９０ａから受
信した基板のロット番号と基板番号とレシピ番号とロッ
トエンドフラグと有無フラグを、受け入れた当該基板が
存在する処理部である搬入部１１に対応するメモリ１０
ｂの領域に記憶させるとともに、当該メモリ１０ｂのデ
ータをＣＰＵ２３０へ送信する。そして、ステップＳ３
に進み、当該基板に必要なプロセス処理が施されるよう
に、洗浄ユニット１０の搬入部１１以下のすべての処理
部に対して、指定されているレシピ番号に基づく必要な
搬送やプロセス処理等の操作の実行を命令する。一方、
ステップＳ１１において基板の受入がない場合には、ス
テップＳ１３に移行し、上記と同様の処理を行う。

【００８７】次に、ステップＳ１４において、その処理
ユニット内のすべての処理部における処理の状態に変化
が生じたか否かを判断する。これはＣＰＵ１０ａが各処
理部において基板が「処理待ち」「処理中」「処理済
み」のいずれの状態であるかを認識し、状態（ステータ
ス）が変化していればステップＳ１９に進み、そのステ
ータスの変化を該当する処理部に対応するメモリ１０ｂ
の領域へ書き込むとともに、そのメモリ１０ｂの記憶内
容に基づいてＣＰＵ２３０への送信データを作成する。
そしてステップＳ２０へ進み、作成した送信データをＣ
ＰＵ２３０へ送信し、ステップＳ１１へ戻る。ステータ
スに変化がなければ、ステップＳ１４からステップＳ１
５へ進む。

【００８８】ステップＳ１５では、各処理部（ポジショ
ン）や、各処理部の間に設けられたセンサ１０ｄの検出
結果を入力して監視し、ステップＳ１６で当該監視結果
を分析して処理部間で基板の移動が生じたか否かを判断
する。基板の移動がない場合には、ステップＳ１１へも
どる。基板の移動が生じた場合には、ステップＳ１７へ
進み、生じた基板の移動が下流側処理ユニットへの基板
払い出しの移動であるのか、自らのＣＰＵ１０ａの管理
範囲内の移動であるのかを判断する。下流側ユニットへ
の基板払い出しでない場合には、ステップＳ１９に進
み、当該基板の移動に伴って移動させるべき基板情報
を、移動先の処理部に対応するメモリ１０ｂの領域へ書
き込むとともに、移動元の処理部に対応する領域の基板
情報を消去し、有無フラグを「０」とする。次にステッ
プＳ２０へ進み、メモリ１０ｂの内容をＣＰＵ２３０に
送信し、ステップＳ１１に戻る。ステップＳ１５におい
て生じた基板の移動が、下流側ユニットへの基板払い出
しである場合には、ステップＳ１８に進み、下流側ユニ
ットに対して、払い出した基板に対応する基板情報を送
信する。その後ステップＳ１９へ進む。

【００８９】なお、インデクサー部９０のＣＰＵ９０
ａ、メモリ９０ｂの動作については他のＣＰＵ１０ａ〜
８０ａとは若干異なる。すなわちインデクサー部９０に
おいては、上述のようにインデクサーロボット９０Ｒが
カセット３から基板を取り出して洗浄ユニット１０の搬
入部１１に向けて払い出す際に、当該基板に対してロッ
ト番号と基板番号とレシピ番号とロットエンドフラグを
対応付けして、下流側の洗浄ユニット１０に送信する。
また、コンベアユニット部８０から引き渡された基板と
当該基板に対応付けられて送信されてきたロット番号と
基板番号とを認識して、該当するロットのカセットの、
基板番号に該当する棚に当該基板をインデクサーロボッ
ト９０Ｒによって収納する。またメモリ９０ｂには、イ
ンデクサー部９０の５つのカセットのセット位置にそれ
ぞれ対応する領域を含んでおり、当該領域には該当する
セット位置に置かれているカセットのロット番号とレシ
ピ番号が記憶されており、Ｉ／Ｆ部９０ｃを介して当該
ロット番号データをＣＰＵ２３０に送信する。ＣＰＵ２
３０は、インデクサー部９０カセットのセット位置ごと
に、そこにセットされているカセットのロット番号を対
応する矩形の領域に表示する。

【００９０】図８において、ステップＳ２１では、制御
装置２において、基板情報がＩ／Ｆ２１０で受信された
か否かを判別する。基板情報が受信された場合は基板情
報がＣＰＵ２３０に送られ、ステップＳ２２に移行す
る。一方、基板情報が受信されていない場合は、ステッ
プＳ２５に進む。

【００９１】ステップＳ２２では、メモリ２２０からグ
ラフィックデータ（ファイル１〜９）及び表示プログラ
ム（ファイル０）が読み出され、ステップ２３に移行す
る。ステップＳ２３では、ＣＰＵ２３０において表示プ
ログラムによって、受信された基板情報がファイル１〜
９のいずれかに割り付けられ、ステップＳ２４に移行す
る。

【００９２】ステップＳ２４では、このように割り付け
られた基板情報及びグラフィックデータが、ＣＰＵ２３
０からモニタ２４０に送られて表示される（図６）。ま
た、図６に示すように、モニタ２４０の画面の背景色が
白色である場合に、基板が存在するポジションに対応す
る領域に青色を付し、ロット中の最後の基板が存在する
ポジションに対応する領域に赤色を付す。ここではま
ず、対応する処理部に基板が存在しているか否かを有無
フラグより判断し、存在している場合には、さらにロッ
トエンド基板か否かをロットエンドフラグにより判断
し、それらの結果に応じて３通りの表示を行う。その
後、ステップＳ２５に移行する。

【００９３】ステップＳ２５では、ポインタの先端がい
ずれかのポジションの領域と重なっているか否かを判別
する。ポインタの先端がいずれかのポジションの領域と
重なっている場合は、ステップＳ２６に移行する。一
方、ポインタの先端がいずれのポジションの領域とも重
なっていない場合は、ステップＳ２１に戻る。

【００９４】ステップＳ２６では、そのポジションにお
けるステータス及びレシピ番号を、図６に示すように、
コメント形式で表示する。その後、再びステップＳ２１
に戻り、上記の処理を繰り返す。

【００９５】さて、これらの通信、制御の結果、装置の
動作と、図６のようなモニタ２４０の画面表示の変化
は、次のようになる。すなわち、時刻ｔ１において図６
に示す基板の配置状態にあって基板の移動がないとき、
各処理ユニット１０〜８０のＣＰＵ１０ａ〜８０ａは図
７の制御フローチャートのＳ１１、Ｓ１３、Ｓ１４、Ｓ
１５、Ｓ１６、Ｓ１１…（以後、「通常ルーチン」と称
す）を繰り返している。コンベアユニット８０の最終の
ポジション「ＣＶ４」に位置するロット番号「ＡＢＣＤ
Ｅ」の基板番号「１」の基板がインデクサーロボット９
０Ｒによって受け取られて移動し、それとともに当該ポ
ジションには基板が存在しなくなり、それらの「基板移
動」「基板不存在」がセンサ８０ｄによって検出され
（Ｓ１５）て、基板の移動があったと判断される（Ｓ１
６）。この場合、自処理ユニット外（コンベアユニット
８０外）すなわち下流側ユニットへの基板の払い出しで
ある（Ｓ１７）から、ＣＰＵ８０ａはポジション「ＣＶ
４」に対応する部分のメモリ８０ｂの領域に記憶されて
いる当該基板のロット番号と基板番号とを、下流側処理
ユニットであるインデクサー部９０のＣＰＵ９０ａに送
信する（Ｓ１８）。それとともに当該ポジション「ＣＶ
４」からの「基板移動」がありかつ「基板不存在」がセ
ンサ８０ｄによって検出されたから、ＣＰＵ８０ａはポ
ジション「ＣＶ４」に対応する部分のメモリ８０ｂの領
域に記憶されている当該基板のロット番号と基板番号と
を消去するとともに対応する領域のフラグを「０」とす
る（Ｓ１９）。そして、そのデータはＣＰＵ２３０に送
信され（Ｓ２０）、モニタ２４０の画面において、ポジ
ション「ＣＶ４」にはロット番号も基板番号も表示され
なくなり、基板不存在を示す。なお、インデクサーロボ
ット９０Ｒはその受け取った基板をロット番号「ＡＢＣ
ＤＥ」のカセットがある「ポート１」のカセットに収納
する。

【００９６】その後また上記の通常ルーチンが行われて
処理及び搬送がなされた結果、ポジション「ＣＶ３」に
あった基板番号「２」の基板が「ＣＶ４」に運ばれ進ん
できた「基板移動」の発生と「ＣＶ４」内の「基板存
在」が検出されて（Ｓ１５）基板の移動があったと判断
される（Ｓ１６）と、今度は同じ処理ユニットであるコ
ンベアユニット８０内での基板の移動であって、下流側
処理ユニットへの払い出しではない（Ｓ１７）から、Ｃ
ＰＵ８０ａはポジション「ＣＶ３」に対応する部分のメ
モリ８０ｂの領域に記憶されている当該基板のロット番
号と基板番号とを、ポジション「ＣＶ４」に対応する部
分のメモリ８０ｂの領域に転送して記憶させ、ポジショ
ン「ＣＶ３」に対応する部分のメモリ８０ｂの領域に記
憶されている当該基板のロット番号と基板番号とを消去
する（Ｓ１９）。そして、そのデータはＣＰＵ２３０に
送信され（Ｓ２０）、モニタ２４０の画面において、ポ
ジション「ＣＶ４」にはロットＡＢＣＤＥの基板番号２
の基板が存在すること、ポジション「ＣＶ３」には基板
が存在しないことを示す。

【００９７】以下同様に、基板番号３の基板がポジショ
ン「ＣＶ３」に、基板番号「４」の基板がポジション名
「ＣＶ２」に運ばれて進むと、ポストベークユニット７
０の搬出部「ＯＵＴＣＶ」にある基板番号「５」の基
板が「ＣＶ１」に進む。すると、ポストベークユニット
７０では、搬送ロボット４が基板の搬送動作を行い、冷
却部「ＣＰ」にある基板番号「６」の基板が「ＯＵＴ
ＣＶ」に進み、積層体７０Ｙにある下側の加熱部「Ｈ
Ｐ」にある基板番号「７」の基板が「ＣＰ」に進み、ポ
ストベークユニット７０の積層体７０Ｙにある搬入部
「ＩＮＣＶ」にある基板番号「１０」の基板が積層体
７０Ｙにある下側の加熱部「ＨＰ」に進む。

【００９８】これにより、ポストベークユニット７０の
積層体７０Ｙにある搬入部「ＩＮＣＶ」が基板不存在と
なるので、脱水ベークユニット２０の通過部「スルー
ＣＶ」にある基板番号「１１」の基板が、ポストベーク
ユニット７０の搬入部「ＩＮＣＶ」に運び入れられる
（時刻ｔ２）。続いて、現像ユニット６０の搬出部６５
にある基板番号「１２」の基板が、脱水ベークユニット
２０の通過部「スルーＣＶ」に運び入れられる（時刻
ｔ３）。基板がこのように搬送されたとき、時刻ｔ１、
ｔ２、ｔ３の時点における、現像ユニット６０のメモリ
６０ｂに記憶されているデータの内容と、現像ユニット
６０のＣＰＵ６０ａがＩ／Ｆ７０ｃを介して制御部２へ
送信するデータの内容は、それぞれ図３、図４に示す通
りである。そして、モニタ２４０の画面には、装置全体
の配置等を模式化して示した画像の中で、処理ユニット
像６０Ｇの中でさらに区分けされた各処理部に対応する
部分に、図４に示した基板のロット番号と基板番号のデ
ータが重ねて割り付け表示される。

【００９９】第１の実施形態の基板処理システムでは、
基板の情報がほぼリアルタイムに、しかも処理システム
の模式的な配置図とともに表示されるため、各基板がど
の処理ユニット１０〜９０のどのポジション（処理部）
に存在するかを確実に視認することができる。

【０１００】さらに、基板が存在する部分を基板が存在
しない部分と色分けして表示するため、基板が存在する
処理ユニット及び処理部を容易に視認することができ
る。さらに、ロット中の最後の基板が存在する部分を他
の部分とは区別して表示するため、各ロットにおける基
板処理の終期を視認し易くなる。これは、別のロットが
間をあけずに続けて処理される場合に特に有効である。

【０１０１】さらに、モニタ２４０の画面上には必要最
小限の基板情報が表示され、特定の基板が存在する位置
を容易に視認することができ、ポインタの先端をいずれ
かのポジションに重ねると、ステータス及びレシピ番号
等のコメントが表示されて、基板の処理状況及び基板の
処理条件等を把握することができる。なお、ここでコメ
ントとしては、該当する基板を払出したカセットの識別
番号や払い出しポートの番号等任意の情報を表示でき
る。

【０１０２】この結果、基板処理装置１での基板の搬送
及び処理を適切に制御することができる。また、基板処
理装置１が偶発的に停止した場合等にも、各基板の位置
及び処理状況を即座に視認できて、事後の処理を適切に
行うことができる。

【０１０３】〔第２実施形態〕〔基板処理装置〕第２実施形態の基板処理装置１も図１
と同様の構成からなる。但し、以下では、第１実施形態
と異なる部分のみを説明すると、第２実施形態の基板処
理システムは、図９に示すように、基板処理装置１に設
けられるＣＰＵ１０ａ’〜９０ａ’、Ｉ／Ｆ１０ｃ’〜
９０ｃ’は、第１実施形態のものとは異なる。また、制
御装置２に設けられるＩ／Ｆ２１０’、メモリ２２
０’、ＣＰＵ２３０’も第１実施形態のものとは異な
る。

【０１０４】図１０は、現像ユニット６０のＩ／Ｆ６０
ｃでの送信データの具体例である。送信データの内容
は、第１実施形態の場合（図４）と異なる。即ち、本実
施形態では、図１０に示すように、処理ユニット名及び
ポジション名が含まれない。ＣＰＵ１０ａ’〜９０ａ’
は、第１実施形態と異なり、メモリ１０ｂ〜９０ｂから
処理ユニット名及びポジション名は読み出さず、ロット
番号・基板番号・ステータス・レシピ番号・ロットエン
ドフラグ・有無フラグのみを読み出して、送信データ
（図１０）を作成する。この場合、所定のポジション毎
の順番で送信データを作成することにより、各送信デー
タ（ロット番号・基板番号・ステータス・レシピ番号・
ロットエンドフラグ・有無フラグ）に対応するポジショ
ンを区別する。所定の順番は、例えば、各処理ユニット
１０〜９０での処理の流れに沿った順番（搬入部６１、
現像部６２、水洗部６３、乾燥部６４、搬出部６５）に
する。

【０１０５】また本実施形態では、所定の処理ユニット
１０〜９０毎の順番でＩ／Ｆ１０ｃ〜９０ｃから送信デ
ータ（例えば図１０）を送信し、制御装置２において、
受信されたデータの順番によって、送信データがどの処
理ユニット１０〜９０から送信されたものか認識する。
所定の順番は、例えば、基板処理装置１での処理の流れ
に沿った順番（洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット
２０、レジスト塗布ユニット３０、プリベークユニット
４０、Ｉ／Ｆ部５０、現像ユニット６０、ポストベーク
ユニット７０、コンベアユニット８０の順番）に決めら
れ、各処理ユニット１０〜８０は制御装置２への通信タ
イミングを順に連絡して所定順序で行うこととしてい
る。

【０１０６】〔制御装置〕図１１は、本実施形態でのメ
モリ２２０’の内容を示したものである。図１１に示す
ように、グラフィックデータは各処理ユニット１０〜９
０毎にそれぞれファイル１’〜９’に別々に格納されて
おり、表示プログラムはファイル０’に格納されてい
る。第１実施形態の場合と同様に、インデクサー部９
０，洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット２０、レジ
スト塗布ユニット３０、プリベークユニット４０、Ｉ／
Ｆ部５０、現像ユニット６０、ポストベークユニット７
０、コンベアユニット８０の配置を模式的に表示するグ
ラフィックデータは、それぞれファイル１’〜９’に格
納されている。

【０１０７】但し、各ファイル１’〜９’には、第１実
施形態と異なり、処理部の数（ポジションの数）及び座
標Ｘ１Ｙ１〜Ｘ９Ｙ９に加えて、ユニット名及びポジシ
ョン名が含まれている。

【０１０８】表示プログラム（ファイル０’）は、第１
実施形態の場合と同様に、各処理ユニットのＩ／Ｆ１０
ｃ’〜９０ｃ’から受信した基板情報をそれぞれファイ
ル１’〜９’に割り付け、さらにファイル１’〜９’に
含まれる座標及びポジション数に基づき、モニタ２４０
に図６に示すような模式的な配置及び基板情報を表示す
るためのプログラムである。但し、本実施形態では、第
１実施形態と異なり、受信した基板情報に処理ユニット
名・ポジション名が含まれておらず、処理ユニット名・
ポジション名はファイル１’〜９’に含まれているもの
を用いる。

【０１０９】ＣＰＵ２３０’は、メモリ２２０’からグ
ラフィックデータ（ファイル１’〜９’）及び表示プロ
グラム（ファイル０’）を読み出す。表示プログラム
（ファイル０’）は、Ｉ／Ｆ２１０’から受信した基板
情報の順番によって、その基板情報がどの処理ユニット
１０〜９０から送られたものかを識別し、各処理ユニッ
ト１０〜９０から受信した基板情報を各ファイル１’〜
９’に割り付ける。

【０１１０】例えば、ＣＰＵ２３０’において表示プロ
グラムは、現像ユニット６０からの基板情報（図１０）
をファイル６’に割り付ける。さらに、ファイル６’に
含まれる座標Ｘ６Ｙ６に基づいて、図６に示すモニタ２
４０の画面上の（Ｘ６，Ｙ６）の位置から現像ユニット
６０の模式的な配置を描写する。そして表示プログラム
は、ファイル６’に含まれている処理ユニット名（現像
ユニット）、ポジション名（搬入部、現像部、水洗部、
乾燥部、搬出部、スルーＣＶ）をモニタ２４０の画面に
表示し、受信した基板情報（ロット番号・基板番号）を
モニタ２４０の画面に表示する。また、表示プログラム
は、第１実施形態と同様に、基板が存在するポジション
（青色）及びロット中の最後の基板が存在するポジショ
ン（赤色）をそれぞれ色分けして表示する。また、表示
プログラムは、第１実施形態と同様に、そのポジション
におけるステータス及びレシピ番号を、コメント形式で
表示する。

【０１１１】〔基板情報の表示〕本実施形態における基
板情報の表示も、第１実施形態と同様のフローによって
行われる。以下、基板の表示について説明するが、基本
的な判断や動作の流れは第１実施形態と同一であるの
で、異なっている部分のみ説明すると、ステップＳ１９
で作成される送信データが図１０に示すように処理ユニ
ット名やポジション名をデータとして含まないことであ
る。しかし、各処理ユニット１０〜８０はフローチャー
トにあらわれない相互の連絡により所定順序でこれらの
データを制御装置２に送信する。

【０１１２】そこで、制御装置２は、ステップＳ２３に
おいて、ＣＰＵ２３０’に読み出された表示プログラム
（ファイル０’）よって、基板情報がどの処理ユニット
１０〜８０から送信されたものか、受信した順番に基づ
いて識別し、基板情報をファイル１’〜８’のいずれか
に割り付け、ステップＳ２４に移行する。

【０１１３】ステップＳ２４では、このように割り付け
られた基板情報及びグラフィックデータが、ＣＰＵ２３
０’からモニタ２４０に送られて表示される（図６）。
この場合、処理ユニット名及びポジション名は、ファイ
ル１’〜９’に含まれているものが画面上の該当する領
域に表示される。また、図６に示すように、モニタ２４
０の画面の背景色が白色である場合に、基板が存在する
ポジションに対応する領域に青色を付し、ロット中の最
後の基板が存在するポジションに対応する領域に赤色を
付す。その後、ステップＳ２５に移行するステップＳ２
５では、ポインタの先端がいずれかのポジションの領域
と重なっているか否かを判別する。ポインタの先端がい
ずれかのポジションの領域と重なっている場合は、ステ
ップＳ２６に移行する。一方、ポインタの先端がいずれ
のポジションの領域とも重なっていない場合は、ステッ
プＳ２１に戻る。

【０１１４】ステップＳ２６では、そのポジションにお
けるステータス及びレシピ番号を、図６に示すように、
コメント形式で表示する。その後、再びステップＳ２１
に戻り、上記の処理を繰り返す。

【０１１５】なお、インデクサー部９０のＣＰＵ９０
ａ’、メモリ９０ｂ’の制御動作はステップＳ１９で作
成されるデータの違いのため第１の実施形態とは若干異
なるが、動作は第１の実施形態とほぼ同様である。イン
デクサー部９０には、カセットのセット位置がポート１
からポート５までの５つ備えられており、図１１に示し
た制御装置２のメモリ２２０’には、ポジション名とし
てポート１〜ポート５が書き込まれている。そして、基
板情報を表示する際には、図６に示すようにそれぞれの
ポジション名をインデクサー部９０に対応する処理ユニ
ット像９０Ｇの中の対応する矩形の領域に表示する。あ
わせてこのとき、ＣＰＵ９０ａ’から送られる各ポート
に対応するロット名を同じ矩形の領域にあわせて表示す
る。

【０１１６】第２の実施形態の基板処理システムでは、
第１実施形態と同様に、各基板がどの処理ユニット１０
〜８０のどのポジション（処理部）に存在するかを確実
に視認することができる。さらに、基板が存在する部分
を基板が存在しない部分と色分けして表示するため、基
板が存在する処理ユニット及び処理部を容易に視認する
ことができる。さらに、ロット中の最後の基板が存在す
る部分を他の部分とは区別して表示するため、各ロット
における基板処理の終期を視認し易くなる。さらに、モ
ニタ２４０の画面上には必要最小限の基板情報が表示さ
れ、特定の基板の存在する位置を容易に視認することが
でき、ポインタの先端をいずれかのポジションに重ねる
と、ステータス及びレシピ番号が表示されて、基板の処
理状況及び基板の処理条件を把握することができる。

【０１１７】この結果、第１実施形態と同様に、基板処
理装置１での基板の搬送及び処理を適切に制御すること
ができる。また、基板処理装置１が偶発的に停止した場
合等にも、各基板の位置及び処理状況を即座に視認でき
て、事後の対処を適切に行うことができる。

【０１１８】さらに、第２実施形態の基板処理システム
によれば、基板処理装置１から送信する基板情報に処理
ユニット名及びポジション名を含む必要がないので、基
板処理装置１及び制御装置２の双方において、表示のた
めの処理が簡略化される。

【０１１９】〔他の実施形態〕上記実施形態では、基板
の検出手段としてセンサを用いたが、基板搬送手段に基
板の移動を指令する信号を出力する指令手段と、指令手
段からの信号を受信して基板の情報を算出する読取手段
とによって基板の存否を検出しても良い。具体的には、
指令手段及び読取手段をＣＰＵ１０ａ〜９０ａと所定の
手順を記載したプログラムを格納したメモリから構成す
ることができる。ＣＰＵ１０ａ〜９０ａが基板搬送手段
に基板の移動を指令する信号を出力した場合、ＣＰＵ１
０ａ〜９０ａにおいて上記プログラムが、出力信号に基
づいて基板のポジションを算出するようにしても良い。
この場合も、基板のポジションを確実に検出することが
でき、上記実施形態と同様の効果を奏する。

【０１２０】また、上記実施形態では、各処理ユニット
１０、３０，５０，６０，８０に対応する処理ユニット
像１０Ｇ、３０Ｇ，５０Ｇ，６０Ｇ，８０Ｇについては
その内部の処理部の平面的な配置が平面図的に表示され
るとともに、脱水ベークユニット２０、プリベークユニ
ット４０、ポストベークユニット７０に対応する処理ユ
ニット像２０Ｇ、４０Ｇ、７０Ｇにあっては、それぞれ
のユニットの積層体２０Ｘ，２０Ｙ，４０Ｘ，４０Ｙ，
７０Ｘ，７０Ｙごとに該当する積層体の位置に、その積
層体の内部の処理部の上下方向の配置を、擬似的に平面
方向に変換して表示することで、結果として立体的な装
置全体のレイアウトを模擬的に平面像として表示し、そ
こに基板情報を重ねて合成する形で表現し、基板の位置
を視覚的直感的に認識できるようにしている。しかし、
このように立体的な装置レイアウトを、例えば斜視図の
ような形で立体的な像に表現する手段を設け、その立体
的な像を表示するとともにその像に基板情報を合成する
形で表現すれば、各ユニット、各処理部内の基板の位置
をより視覚的直感的に認識することができる。立体的な
像で表現すれば、装置の高さ方向のレイアウトもより容
易に理解し得る。

【０１２１】図１の装置構成では、各処理ユニット１
０、３０，６０，８０の各処理部は水平方向に配置され
て基板の搬送方向も水平である。この場合、行き側にお
いては、脱水ベークユニット２０の搬入部以前（洗浄ユ
ニット１０のすべての処理部と、ポストベークユニット
７０の通過部）におけるコンベアの高さと、脱水ベーク
ユニット２０の搬出部以後（レジスト塗布ユニット３０
のすべての処理部と、プリベークユニット４０の搬入
部）におけるコンベアの高さとを比べると、後者が一段
高くなっている。帰り側においては、ポストベークユニ
ット７０の搬入部以前（脱水ベークユニット２０の通過
部と、現像ユニット６０のすべての処理部と、プリベー
クユニット４０の通過部）におけるコンベアの高さと、
ポストベークユニット７０の搬出部以後（コンベアユニ
ット８０のすべての処理部）におけるコンベアの高さと
を比べると、後者が一段高くなっている。このような構
成をより正確に表現でき、オペレータの理解が容易であ
る。

【０１２２】また、グラフィックデータは、上記実施形
態では処理ユニット毎に複数のファイルに格納していた
が、一つのファイルに装置全体のグラフィックデータを
納め、それらを一括で表示した上で、基板データをあわ
せて表示するようにしてもよい。また、上記実施形態で
は、説明の簡単のために各ベークユニットの通過部の制
御及び管理は上流側ユニットのＣＰＵが行うこととした
が、他のユニットのＣＰＵが制御する構成としても差し
支えない。

【０１２３】また、上記実施形態では、装置全体の処理
ユニット及び処理部の模式化したレイアウト像の中に、
各処理部に対応するように基板情報を表示していたが、
これに限らず、例えば各処理ユニット名や処理部名を表
の形で表示し、その表の中に処理部に対応するように基
板情報を表示するものであってもよい。さらに、そのよ
うな表示形式で表示した基板情報についても、基板があ
る処理部やロットエンドの基板がある処理部等の特定の
項目について、表示色を変えるなどの区別した表示方法
をとることができる。また、画面上のポインタで指定す
ることによってさらに詳細なデータなどのコメントを表
示させることも可能である。

【０１２４】

【発明の効果】本発明によれば、基板の情報がほぼリア
ルタイムに表示されるため、各基板がどの処理ユニット
のどのポジション（処理部）に存在するかを視認するこ
とができる。

【０１２５】さらに、基板が存在する部分を基板が存在
しない部分と色分けして表示するため、基板が存在する
処理ユニット及び処理部を容易に視認することができ
る。さらに、ロット中の最後の基板が存在する部分を他
の部分とは区別して表示するため、各ロットにおける基
板処理の終期を視認し易くなる。

【０１２６】さらに、モニタの画面上には必要最小限の
基板情報が表示され、基板の存在する位置を容易に視認
することができ、ポインタの先端をいずれかのポジショ
ンに重ねると、ステータス及びレシピ番号が表示され
て、基板の処理状況及び基板の処理条件を把握すること
ができる。

【０１２７】この結果、基板処理装置での基板の搬送及
び処理を適切に制御することができる。また、基板処理
装置が偶発的に停止した場合等にも、各基板の位置及び
処理状況を即座に視認できる。

【０１２８】別の本発明によれば、基板処理装置から送
信する基板情報に処理ユニット名及びポジション名を含
む必要がないので、基板処理装置及び制御装置の双方に
おいて、表示のための処理が簡略化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による基板処理装置の
平面図。

【図２】本発明の第１の実施形態による基板処理システ
ムのブロック図。

【図３】処理ユニットのメモリの内容の具体例。

【図４】処理ユニットのＩ／Ｆから送信するデータの具
体例。

【図５】制御装置のメモリの内容の具体例。

【図６】モニタに表示される基板情報の具体例。

【図７】各処理ユニットに共通である基板情報の表示の
フローチャート。

【図８】制御装置での基板情報の表示のフローチャー
ト。

【図９】本発明の第２の実施形態による基板処理システ
ムのブロック図。

【図１０】処理ユニットのＩ／Ｆから送信するデータの
具体例。

【図１１】制御装置のメモリの内容の具体例。

【符号の説明】

１基板処理装置２制御装置１０〜９０処理ユニット１０ｃ〜９０ｃＩ／Ｆ（送信手段）１０ｄ〜９０ｄセンサ（検出手段）２１０Ｉ／Ｆ（受信手段）２２０メモリ２３０ＣＰＵ２４０モニタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を複数の処理ユニット間で移動させ所
定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置であっ
て、前記各処理ユニットから送信される基板の情報を受信す
る受信手段と、前記各処理ユニットの配置を模式化して示すためのグラ
フィックデータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと前記受信された基板の情報と
を対応づける割付手段と、前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報を表示するとともに、前記基板
が存在する部分を基板が存在しない部分と区別して表示
する表示手段と、を備えた基板処理装置の制御装置。
【請求項２】基板を複数の処理ユニット間で移動させ所
定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置であっ
て、前記各処理ユニットから送信される基板の情報を受信す
る受信手段と、前記各処理ユニットの配置を模式化して示すためのグラ
フィックデータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと前記受信された基板の情報と
を対応づける割付手段と、前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報を表示するとともに、特定の基
板が存在する部分を他の部分とは区別して表示する表示
手段と、を備えた基板処理装置の制御装置。
【請求項３】前記表示手段は、特定の基板が存在する部
分を他の部分とは区別して表示する、請求項１に記載の
基板処理装置の制御装置。
【請求項４】前記特定の基板は、属するロット中の最後
の基板である、請求項２に記載の基板処理装置の制御装
置。
【請求項５】基板を複数の処理ユニット間で移動させ所
定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置であっ
て、前記各処理ユニットから送信される基板の情報を受信す
る受信手段と、前記各処理ユニットの配置を模式化して示すためのグラ
フィックデータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと前記受信された基板の情報と
を対応づける割付手段と、前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報の一部を表示するとともに、画
面上のポインタによって前記基板の情報をさらに表示す
る表示手段と、を備えた基板処理装置の制御装置。
【請求項６】前記表示手段は、さらに、前記基板が存在
する部分を基板が存在しない部分と区別して表示する、
請求項５に記載の基板処理装置の制御装置。
【請求項７】前記表示手段は、さらに、特定の基板が存
在する部分を他の部分とは区別して表示する、請求項６
基板処理装置の制御装置。
【請求項８】前記特定の基板は、属するロット中の最後
の基板である、請求項７に記載の基板処理装置の制御装
置。
【請求項９】前記グラフィックデータは、各処理ユニットの名称と、各処理ユニット内での位置情報と、を含む請求項１から８のいずれかに記載の基板処理装置
の制御装置。
【請求項１０】前記受信する基板の情報には、前記基板が属するロットのロット番号と、前記ロットの中で前記基板を特定する基板番号と、前記基板が処理中であるか否かを表すステータスと、各処理ユニットの各位置における処理条件を表すレシピ
番号と、を含む請求項１から９のいずれかに記載の基板
処理装置の制御装置。
【請求項１１】前記受信する基板の情報には、各処理ユニットの名称と、各処理ユニットにおける位置情報と、をさらに含む請求
項１０に記載の基板処理装置の制御装置。
【請求項１２】前記制御装置は、前記各処理ユニットと
の間でＴＣＰ／ＩＰによってデータを受信する、請求項
１から１１のいずれかに記載の基板処理装置の制御装
置。
【請求項１３】基板を複数の処理ユニット間で移動させ
所定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置であ
って、前記各処理ユニットから送信される基板の情報を受信す
る受信手段と、前記受信した基板の情報を表示する表示手段と、を備え
た基板処理装置の制御装置。
【請求項１４】基板に所定の処理を行う複数の処理ユニ
ットと、基板を前記複数の処理ユニット間で移動させる基板搬送
手段と、前記処理ユニット及び搬送手段を制御する制御装置と、
を備え、前記処理ユニットは、前記基板の情報を検出するための
検出手段と、前記検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有し、前記制御装置は、前記各処理ユニットの送信手段から送
信される基板の情報を受信する受信手段と、前記各処理
ユニットの配置を模式化して示すためのグラフィックデ
ータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと
前記受信された基板の情報とを対応づける割付手段と、
前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報を表示するとともに、前記基板
が存在する部分を基板が存在しない部分と区別して表示
する表示手段とを有する、基板処理システム。
【請求項１５】基板に所定の処理を行う複数の処理ユニ
ットと、基板を前記複数の処理ユニット間で移動させる基板搬送
手段と、前記処理ユニット及び搬送手段を制御する制御装置と、
を備え、前記処理ユニットは、前記基板の情報を検出するための
検出手段と、前記検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有し、前記制御装置は、前記各処理ユニットの送信手段から送
信される基板の情報を受信する受信手段と、前記各処理
ユニットの配置を模式化して示すためのグラフィックデ
ータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと
前記受信された基板の情報とを対応づける割付手段と、
前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報を表示するとともに、特定の基
板が存在する部分を他の部分とは区別して表示する表示
手段とを有する、基板処理システム。
【請求項１６】基板に所定の処理を行う複数の処理ユニ
ットと、基板を前記複数の処理ユニット間で移動させる基板搬送
手段と、前記処理ユニット及び搬送手段を制御する制御装置と、
を備え、前記処理ユニットは、前記基板の情報を検出するための
検出手段と、前記検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有し、前記制御装置は、前記各処理ユニットの送信手段から送
信される基板の情報を受信する受信手段と、前記各処理
ユニットの配置を模式化して示すためのグラフィックデ
ータを格納する記憶手段と、前記グラフィックデータと
前記受信された基板の情報とを対応づける割付手段と、
前記割付手段により対応づけられた前記グラフィックデ
ータ及び前記基板の情報の一部を表示するとともに、画
面上のポインタによって前記基板の情報をさらに表示す
る表示手段とを有する、基板処理システム。
【請求項１７】基板に所定の処理を行う複数の処理ユニ
ットと、基板を前記複数の処理ユニット間で移動させる基板搬送
手段と、前記処理ユニット及び搬送手段を制御する制御装置と、
を備え、前記処理ユニットは、前記基板の情報を検出するための
検出手段と、前記検出された基板の情報を送信する送信
手段とを有し、前記制御装置は、前記各処理ユニットの送信手段から送
信される基板の情報を受信する受信手段と、前記受信した基板の情報を表示する表示手段とを有す
る、基板処理システム。
【請求項１８】基板を複数の処理ユニット間で移動させ
て所定の処理を行う基板処理装置と、前記基板処理装置
を制御する制御装置とから構成される基板処理システム
における基板情報の表示方法であって、前記各処理ユニットにおいて前記基板の情報を検出する
第１段階と、前記各処理ユニットにおいて、前記第１段階で検出され
た基板の情報を制御装置に送信する第２段階と、前記制御装置において、前記各処理ユニットから送信さ
れる基板の情報を受信する第３段階と、前記第３段階で受信した基板の情報を表示する第４段階
と、を含む基板処理システムにおける基板情報の表示方
法。