JP2002168906A - テストヘッドの接続装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 テストヘッドとオートハンドラの固定忘れに
より、正常運転できないという不都合を解消する。 【解決手段】 測定ボックス３が所定の接続高さにあ
り、しかもオートハンドラ１に対する接続完了位置にあ
るかどうかをセンサ１４・１５により検知し、その検知
結果を出力するので、テストヘッド２とオートハンドラ
１との固定を確認できる。
より、正常運転できないという不都合を解消する。 【解決手段】 測定ボックス３が所定の接続高さにあ
り、しかもオートハンドラ１に対する接続完了位置にあ
るかどうかをセンサ１４・１５により検知し、その検知
結果を出力するので、テストヘッド２とオートハンドラ
１との固定を確認できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣを選別するオ
ートハンドラと、測定用のＩＣソケット等を備えたテス
トヘッドを接続する際に、適切に接続されたかを確認で
きるテストヘッドの接続装置に関する。
ートハンドラと、測定用のＩＣソケット等を備えたテス
トヘッドを接続する際に、適切に接続されたかを確認で
きるテストヘッドの接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のテストヘッドの接続装置を図３か
ら図５を参照して説明する。図３（Ａ）はＩＣが測定ボ
ックス３と接続する前の状態図、図３（Ｂ）はＩＣが測
定ボックス３と接続している状態図である。図４（Ａ）
はオートハンドラ１とテストヘッド２が接続する前の状
態図、図４（Ｂ）はオートハンドラ１とテストヘッド２
が接続した状態図である。図５（Ａ）はオートハンドラ
と測定ボックス３を接続する前の状態図、図５（Ｂ）は
オートハンドラと測定ボックス３を接続している状態図
である。
ら図５を参照して説明する。図３（Ａ）はＩＣが測定ボ
ックス３と接続する前の状態図、図３（Ｂ）はＩＣが測
定ボックス３と接続している状態図である。図４（Ａ）
はオートハンドラ１とテストヘッド２が接続する前の状
態図、図４（Ｂ）はオートハンドラ１とテストヘッド２
が接続した状態図である。図５（Ａ）はオートハンドラ
と測定ボックス３を接続する前の状態図、図５（Ｂ）は
オートハンドラと測定ボックス３を接続している状態図
である。
【０００３】図３から図５に示すように、ＩＣを選別す
るオートハンドラ１と、測定用のＩＣソケット等を備え
たテストヘッド２とによりＩＣを測定（試験）するため
のＩＣテストシステムが構成されている。図３に示すよ
うに、オートハンドラ１は、複数のキャリアコマ５Ａが
配列された移動用キャリア５を搬送自在に備えている。
オートハンドラ１の図示しないローダ部にて、移動用キ
ャリア５内の複数のキャリアコマ５ＡにＩＣは移載され
る。移動用キャリア５はオートハンドラ１内部を循環
し、測定部に備わるリフタ７によりコンタクトプッシャ
６と共に後述する測定ボックス３へ降下する。
るオートハンドラ１と、測定用のＩＣソケット等を備え
たテストヘッド２とによりＩＣを測定（試験）するため
のＩＣテストシステムが構成されている。図３に示すよ
うに、オートハンドラ１は、複数のキャリアコマ５Ａが
配列された移動用キャリア５を搬送自在に備えている。
オートハンドラ１の図示しないローダ部にて、移動用キ
ャリア５内の複数のキャリアコマ５ＡにＩＣは移載され
る。移動用キャリア５はオートハンドラ１内部を循環
し、測定部に備わるリフタ７によりコンタクトプッシャ
６と共に後述する測定ボックス３へ降下する。
【０００４】図４に示すように、テストヘッド２はオー
トハンドラ１に対して着脱自在に設けられている。テス
トヘッド２上には、図３及び図５に示すように測定ボッ
クス３が固定金具１１を介して昇降自在に弾性支持され
ている。測定ボックス３の側面には相反する形でローラ
１０を配設している。一方、オートハンドラ１側には、
エアシリンダ１３で往復動するカム１２が設けられてお
り、所定の位置に位置決めされた測定ボックス３は、ロ
ーラ１０とカム１２との結合によりオートハンドラ１側
に接続する。
トハンドラ１に対して着脱自在に設けられている。テス
トヘッド２上には、図３及び図５に示すように測定ボッ
クス３が固定金具１１を介して昇降自在に弾性支持され
ている。測定ボックス３の側面には相反する形でローラ
１０を配設している。一方、オートハンドラ１側には、
エアシリンダ１３で往復動するカム１２が設けられてお
り、所定の位置に位置決めされた測定ボックス３は、ロ
ーラ１０とカム１２との結合によりオートハンドラ１側
に接続する。
【０００５】測定ボックス３上には複数のＩＣソケット
８が載置されている。また、測定ボックス３上にはガイ
ドピン９が立設されており、オートハンドラ１側の移動
用キャリア５にはガイドブッシュ５Ｂが、コンタクトプ
ッシャ６にはガイドブッシュ６Ａがそれぞれ設けられて
いる。移動用キャリア５とコンタクトプッシャ６が測定
ボックス３へ降下する際には、ガイドピン９とガイドブ
ッシュ５Ｂ及び６Ａが嵌合して位置決めがなされる。更
に、測定ボックス３のＩＣソケット８にはガイドピン８
Ａが立設されており、移動用キャリア５のキャリアコマ
５Ａがガイドピン８Ａに係合することによりＩＣソケッ
ト８とキャリアコマ５Ａが位置決めされる。
８が載置されている。また、測定ボックス３上にはガイ
ドピン９が立設されており、オートハンドラ１側の移動
用キャリア５にはガイドブッシュ５Ｂが、コンタクトプ
ッシャ６にはガイドブッシュ６Ａがそれぞれ設けられて
いる。移動用キャリア５とコンタクトプッシャ６が測定
ボックス３へ降下する際には、ガイドピン９とガイドブ
ッシュ５Ｂ及び６Ａが嵌合して位置決めがなされる。更
に、測定ボックス３のＩＣソケット８にはガイドピン８
Ａが立設されており、移動用キャリア５のキャリアコマ
５Ａがガイドピン８Ａに係合することによりＩＣソケッ
ト８とキャリアコマ５Ａが位置決めされる。
【０００６】図３に示すように、リフタ７により移動用
キャリア５とコンタクトプッシャ６が測定ボックス３へ
降下し、測定ボックス３に備わるＩＣソケット８の接触
子へ被測定ＩＣのリードを圧接させることにより、被測
定ＩＣの電気的特性を測定（試験）する。なお、図３に
おける測定部４は測定環境を一定温度に保つために恒温
槽の構造となっている。
キャリア５とコンタクトプッシャ６が測定ボックス３へ
降下し、測定ボックス３に備わるＩＣソケット８の接触
子へ被測定ＩＣのリードを圧接させることにより、被測
定ＩＣの電気的特性を測定（試験）する。なお、図３に
おける測定部４は測定環境を一定温度に保つために恒温
槽の構造となっている。
【０００７】次に、オートハンドラ１とテストヘッド２
の接続動作を説明する。まず、図４（Ａ）の状態からテ
ストヘッド２をオートハンドラ１の下部へ図４（Ａ）の
矢印方向に移動挿入し、図４（Ｂ）及び図５（Ａ）に示
すように測定ボックス３つきテストヘッド２全体を図４
（Ｂ）及び図５（Ａ）の矢印方向に上昇させる。
の接続動作を説明する。まず、図４（Ａ）の状態からテ
ストヘッド２をオートハンドラ１の下部へ図４（Ａ）の
矢印方向に移動挿入し、図４（Ｂ）及び図５（Ａ）に示
すように測定ボックス３つきテストヘッド２全体を図４
（Ｂ）及び図５（Ａ）の矢印方向に上昇させる。
【０００８】テストヘッド２全体を所定の接続高さまで
上昇させ、この状態を目視にて確認した後、図５（Ｂ）
に示すように、図示しない手動式空気圧切替弁を操作し
てエアシリンダ１３を駆動する。これによりカム１２が
図５（Ｂ）の矢印方向に移動するので、測定ボックス３
側のローラ１０がカム１２に案内駆動されて、オートハ
ンドラ１側へ測定ボックス３が押し付けられ、オートハ
ンドラ１とテストヘッド２との接続が完了する。
上昇させ、この状態を目視にて確認した後、図５（Ｂ）
に示すように、図示しない手動式空気圧切替弁を操作し
てエアシリンダ１３を駆動する。これによりカム１２が
図５（Ｂ）の矢印方向に移動するので、測定ボックス３
側のローラ１０がカム１２に案内駆動されて、オートハ
ンドラ１側へ測定ボックス３が押し付けられ、オートハ
ンドラ１とテストヘッド２との接続が完了する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のテスト
ヘッド接続装置では、テストヘッドとオートハンドラと
の接続状態は目視のみで確認していた。作業者が適切に
接続するのを忘れて通常運転すると、測定ボックス３が
正規の位置より外れた状態のまま、移動用キャリア５と
コンタクトプッシャ６が測定ボックス３側へ下降してし
まうので、移動用キャリア５側と測定ボックス３側との
正常な嵌合は実現せず、正常な測定ができない状態が発
生する。
ヘッド接続装置では、テストヘッドとオートハンドラと
の接続状態は目視のみで確認していた。作業者が適切に
接続するのを忘れて通常運転すると、測定ボックス３が
正規の位置より外れた状態のまま、移動用キャリア５と
コンタクトプッシャ６が測定ボックス３側へ下降してし
まうので、移動用キャリア５側と測定ボックス３側との
正常な嵌合は実現せず、正常な測定ができない状態が発
生する。
【００１０】本発明は上記事情に鑑み、オートハンドラ
とテストヘッドとが適切に接続されたかどうかを確認す
ることができ、確実に接続できるテストヘッドの接続装
置を提供することを目的とする。
とテストヘッドとが適切に接続されたかどうかを確認す
ることができ、確実に接続できるテストヘッドの接続装
置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のうち請求項１は、ＩＣを選別するオートハン
ドラ（１）と、ＩＣの測定手段（３）を有したテストヘ
ッド（２）を着脱自在に接続させるテストヘッドの接続
装置であって、ＩＣの測定手段（３）がオートハンドラ
（１）に対する正常な接続位置にあるかを検知し判定す
る検知判定手段と、前記検知判定手段からの判定結果を
出力する判定結果出力手段とを備えることを特徴とする
テストヘッドの接続装置にある。
の本発明のうち請求項１は、ＩＣを選別するオートハン
ドラ（１）と、ＩＣの測定手段（３）を有したテストヘ
ッド（２）を着脱自在に接続させるテストヘッドの接続
装置であって、ＩＣの測定手段（３）がオートハンドラ
（１）に対する正常な接続位置にあるかを検知し判定す
る検知判定手段と、前記検知判定手段からの判定結果を
出力する判定結果出力手段とを備えることを特徴とする
テストヘッドの接続装置にある。
【００１２】また本発明のうち請求項２は、カム（１
２）とローラ（１０）を結合し、カム（１２）またはロ
ーラ（１０）のどちらか一方を移動する移動手段（１
３）を有し、カム（１２）とローラ（１０）のうち、一
方をオートハンドラ（１）に、他方をテストヘッド
（２）に配置し、前記検知判定手段は、カム（１２）と
ローラ（１０）の相対位置を検知する位置検知部（１
５）と、位置検知部（１５）の検知結果に基づいてＩＣ
の測定手段（３）がオートハンドラ（１）に対する正常
な接続位置にあるかどうかを判定する判定部とを有する
ことを特徴とする請求項１記載のテストヘッドの接続装
置にある。
２）とローラ（１０）を結合し、カム（１２）またはロ
ーラ（１０）のどちらか一方を移動する移動手段（１
３）を有し、カム（１２）とローラ（１０）のうち、一
方をオートハンドラ（１）に、他方をテストヘッド
（２）に配置し、前記検知判定手段は、カム（１２）と
ローラ（１０）の相対位置を検知する位置検知部（１
５）と、位置検知部（１５）の検知結果に基づいてＩＣ
の測定手段（３）がオートハンドラ（１）に対する正常
な接続位置にあるかどうかを判定する判定部とを有する
ことを特徴とする請求項１記載のテストヘッドの接続装
置にある。
【００１３】また本発明のうち請求項３は、オートハン
ドラ（１）はテストヘッド（２）に対して、カム（１
２）によりローラ（１０）が駆動してテストヘッド
（２）を正常な接続位置に移動し、前記検知判定手段
は、テストヘッド（２）が前記接続位置に配置されたか
どうかを検知する位置検知部（１４）と、位置検知部
（１４）の検知結果に基づいてテストヘッド（２）が接
続位置にあるかどうかを判定する位置判定部とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のテストヘッドの
接続装置にある。
ドラ（１）はテストヘッド（２）に対して、カム（１
２）によりローラ（１０）が駆動してテストヘッド
（２）を正常な接続位置に移動し、前記検知判定手段
は、テストヘッド（２）が前記接続位置に配置されたか
どうかを検知する位置検知部（１４）と、位置検知部
（１４）の検知結果に基づいてテストヘッド（２）が接
続位置にあるかどうかを判定する位置判定部とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のテストヘッドの
接続装置にある。
【００１４】なお、上記括弧内の符号は図面と対照する
ためのものであり、本発明の構成を何等限定するもので
はない。
ためのものであり、本発明の構成を何等限定するもので
はない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施形態であるテストヘッド接続装置を説明する。図１
は本発明の一実施形態を示す断面図であり、（Ａ）はオ
ートハンドラと測定ボックスを接続する前の状態図、
（Ｂ）はオートハンドラと測定ボックスを接続している
状態図である。図２は図１（Ａ）の状態よりＣ−Ｃ方向
に見た図である。なお、以下の説明において、従来技術
（図３から図５）と同じ部材には同符号を付してその説
明は省略する。
実施形態であるテストヘッド接続装置を説明する。図１
は本発明の一実施形態を示す断面図であり、（Ａ）はオ
ートハンドラと測定ボックスを接続する前の状態図、
（Ｂ）はオートハンドラと測定ボックスを接続している
状態図である。図２は図１（Ａ）の状態よりＣ−Ｃ方向
に見た図である。なお、以下の説明において、従来技術
（図３から図５）と同じ部材には同符号を付してその説
明は省略する。
【００１６】本実施形態では、図１に示すように、オー
トハンドラ１には一対の光センサ１４を対向して配置す
る。光センサ１４は一方が発光側となり、他方が受光側
となる。また、カム１２を駆動させるエアシリンダ１３
に、図２に示すように、エアシリンダ１３内のピストン
の位置を検知することにより、ピストンの動きに伴って
駆動されるカム１２の位置を検知するセンサ１５を配置
する。また、エアシリンダ１３はセンサ１５つきのエア
シリンダでもある。
トハンドラ１には一対の光センサ１４を対向して配置す
る。光センサ１４は一方が発光側となり、他方が受光側
となる。また、カム１２を駆動させるエアシリンダ１３
に、図２に示すように、エアシリンダ１３内のピストン
の位置を検知することにより、ピストンの動きに伴って
駆動されるカム１２の位置を検知するセンサ１５を配置
する。また、エアシリンダ１３はセンサ１５つきのエア
シリンダでもある。
【００１７】従来の方法と同様に、オートハンドラ１に
テストヘッド２を挿入し、テストヘッド２全体を上昇さ
せた際には、測定ボックス３がオートハンドラ１との接
続高さ（セット位置）にあるかどうかを以下のように確
認する。
テストヘッド２を挿入し、テストヘッド２全体を上昇さ
せた際には、測定ボックス３がオートハンドラ１との接
続高さ（セット位置）にあるかどうかを以下のように確
認する。
【００１８】図１（Ａ）において、例えば、テストヘッ
ド２を上昇し忘れたなどの理由で、測定ボックス３が接
続高さに至っていない状態では、光センサ１４による光
は遮られず、受光側の光センサ１４は光を受光してい
る。光センサ１４からの検知信号（受光）を受信する図
示しないテストヘッド高さ判定部は、検知信号（受光）
に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１との接
続高さにない、従って、テストヘッド２はオートハンド
ラ１に接続されていないと判定し、例えば、図示しない
ディスプレイやランプ等の表示部により非接続状態であ
る旨を表示する。この表示を見て作業者はテストヘッド
２を上昇させる（或いはテストヘッド２の上昇をやり直
す。）。
ド２を上昇し忘れたなどの理由で、測定ボックス３が接
続高さに至っていない状態では、光センサ１４による光
は遮られず、受光側の光センサ１４は光を受光してい
る。光センサ１４からの検知信号（受光）を受信する図
示しないテストヘッド高さ判定部は、検知信号（受光）
に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１との接
続高さにない、従って、テストヘッド２はオートハンド
ラ１に接続されていないと判定し、例えば、図示しない
ディスプレイやランプ等の表示部により非接続状態であ
る旨を表示する。この表示を見て作業者はテストヘッド
２を上昇させる（或いはテストヘッド２の上昇をやり直
す。）。
【００１９】また図１（Ｂ）において、測定ボックス３
がオートハンドラ１と正常の接続高さにある状態では、
光センサ１４による光は遮られ、受光側の光センサ１４
は光を受光しない。光センサ１４からの検知信号（非受
光）を受信する図示しないテストヘッド高さ判定部は、
検知信号（非受光）に基づいて、測定ボックス３がオー
トハンドラ１との接続高さにあると判定し、例えば、図
示しないディスプレイやランプ等の表示部により接続高
さ位置にある旨を表示する。この表示を見て作業者は測
定ボックス３が適切な接続高さにあると確認し、次の手
順に進む。
がオートハンドラ１と正常の接続高さにある状態では、
光センサ１４による光は遮られ、受光側の光センサ１４
は光を受光しない。光センサ１４からの検知信号（非受
光）を受信する図示しないテストヘッド高さ判定部は、
検知信号（非受光）に基づいて、測定ボックス３がオー
トハンドラ１との接続高さにあると判定し、例えば、図
示しないディスプレイやランプ等の表示部により接続高
さ位置にある旨を表示する。この表示を見て作業者は測
定ボックス３が適切な接続高さにあると確認し、次の手
順に進む。
【００２０】次に、従来の方法と同様にエアシリンダ１
３でカム１２を駆動することにより、測定ボックス３と
オートハンドラ１との接続、従って、テストヘッド２と
オートハンドラ１とを接続する。このとき図２に示すセ
ンサ１５によりカム１２の位置を検知する。
３でカム１２を駆動することにより、測定ボックス３と
オートハンドラ１との接続、従って、テストヘッド２と
オートハンドラ１とを接続する。このとき図２に示すセ
ンサ１５によりカム１２の位置を検知する。
【００２１】例えば、エアシリンダ１３の駆動を忘れた
などの理由で、カム１２が所定の接続完了位置（接続位
置）にないとセンサ１５が検知した場合には、センサ１
５からの検知信号（接続完了位置以外）を受信する図示
しない接続完了判定部は、検知信号（接続完了位置以
外）に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１に
接続されていないと判定し、例えば、図示しないディス
プレイやランプ等の表示部により非接続状態である旨を
表示する。この表示を見て作業者はエアシリンダ１３に
よるカム１２を駆動し、測定ボックス３をオートハンド
ラ１に対して接続する（或いは接続し直す。）。
などの理由で、カム１２が所定の接続完了位置（接続位
置）にないとセンサ１５が検知した場合には、センサ１
５からの検知信号（接続完了位置以外）を受信する図示
しない接続完了判定部は、検知信号（接続完了位置以
外）に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１に
接続されていないと判定し、例えば、図示しないディス
プレイやランプ等の表示部により非接続状態である旨を
表示する。この表示を見て作業者はエアシリンダ１３に
よるカム１２を駆動し、測定ボックス３をオートハンド
ラ１に対して接続する（或いは接続し直す。）。
【００２２】また、カム１２が所定の接続完了位置（図
５（Ｂ）参照）にあるとセンサ１５が検知した場合に
は、センサ１５からの検知信号（接続完了位置）を受信
する図示しない接続完了判定部は、検知信号（接続完了
位置）に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１
に適切に接続されたと判定し、例えば、図示しないディ
スプレイやランプ等の表示部により接続位置にある旨を
表示する。この表示を見て作業者は測定ボックス３がオ
ートハンドラ１に対して適切に接続され、従って、測定
ボックス３とオートハンドラ１とが適切に接続されたこ
とを確認し、リフタ７による移動用キャリア５やコンタ
クトプッシャ６等の降下を行い（図３参照）、被測定Ｉ
Ｃの測定作業を始める。
５（Ｂ）参照）にあるとセンサ１５が検知した場合に
は、センサ１５からの検知信号（接続完了位置）を受信
する図示しない接続完了判定部は、検知信号（接続完了
位置）に基づいて、測定ボックス３がオートハンドラ１
に適切に接続されたと判定し、例えば、図示しないディ
スプレイやランプ等の表示部により接続位置にある旨を
表示する。この表示を見て作業者は測定ボックス３がオ
ートハンドラ１に対して適切に接続され、従って、測定
ボックス３とオートハンドラ１とが適切に接続されたこ
とを確認し、リフタ７による移動用キャリア５やコンタ
クトプッシャ６等の降下を行い（図３参照）、被測定Ｉ
Ｃの測定作業を始める。
【００２３】以上のように本実施形態のテストヘッド接
続装置では、光センサ１４の検知に基づいて測定ボック
ス３が正常な接続高さにあるかどうかを判定し、センサ
１５の検知に基づいてエアシリンダ１３によりカム１２
が接続完了位置に移動したかどうかを判定し、その判定
結果により作業者は、テストヘッド２とオートハンドラ
１が適切に接続されたかどうかを確認できる。正常な接
続を確認してからオートハンドラを運転開始するので安
全確実である。
続装置では、光センサ１４の検知に基づいて測定ボック
ス３が正常な接続高さにあるかどうかを判定し、センサ
１５の検知に基づいてエアシリンダ１３によりカム１２
が接続完了位置に移動したかどうかを判定し、その判定
結果により作業者は、テストヘッド２とオートハンドラ
１が適切に接続されたかどうかを確認できる。正常な接
続を確認してからオートハンドラを運転開始するので安
全確実である。
【００２４】なお、テストヘッド２とオートハンドラ１
が非接続状態において作業者がオートハンドラ１の運転
開始指令を図示しない操作ボタン等により入力した場
合、上述した図示しないテストヘッド高さ判定部及び接
続完了判定部からの判定結果に基づいて、図示しない適
宜なフェイルセーフ機構によりオートハンドラ１の運転
開始指令が取り消され、運転不可を知らせるアラームを
表示することが好ましい。これによりオートハンドラ１
は動作を中止する。
が非接続状態において作業者がオートハンドラ１の運転
開始指令を図示しない操作ボタン等により入力した場
合、上述した図示しないテストヘッド高さ判定部及び接
続完了判定部からの判定結果に基づいて、図示しない適
宜なフェイルセーフ機構によりオートハンドラ１の運転
開始指令が取り消され、運転不可を知らせるアラームを
表示することが好ましい。これによりオートハンドラ１
は動作を中止する。
【００２５】上記実施形態では、カム１２がオートハン
ドラ１側で、ローラ１０がテストヘッド２側に設けられ
ているが、ローラをオートハンドラ側に、カムをテスト
ヘッド側に設けてもよい。
ドラ１側で、ローラ１０がテストヘッド２側に設けられ
ているが、ローラをオートハンドラ側に、カムをテスト
ヘッド側に設けてもよい。
【００２６】テストヘッドが接続高さ（セット位置）に
あるかどうかを検知するためのセット位置検知部の一例
である上記光センサ１４は、測定ボックス３或いはテス
トヘッド２の高さ位置を検知できるものであれば光セン
サに限定されない。また、カム及びローラの相対位置を
検知する位置検知部の一例である上記センサ１５は、カ
ム１２及びローラ１０の相対位置を検知できるのであれ
ばエアシリンダ１３に設けられていなくてもよい。
あるかどうかを検知するためのセット位置検知部の一例
である上記光センサ１４は、測定ボックス３或いはテス
トヘッド２の高さ位置を検知できるものであれば光セン
サに限定されない。また、カム及びローラの相対位置を
検知する位置検知部の一例である上記センサ１５は、カ
ム１２及びローラ１０の相対位置を検知できるのであれ
ばエアシリンダ１３に設けられていなくてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のうち請求項
１によると、オートハンドラとテストヘッドが正常な状
態で接続されていることを判定結果の出力により確認す
ることができるので、安全確実な接続を確保できる。
１によると、オートハンドラとテストヘッドが正常な状
態で接続されていることを判定結果の出力により確認す
ることができるので、安全確実な接続を確保できる。
【００２８】また本発明のうち請求項２によると、カム
とローラの結合によるテストヘッドの固定を確認でき
る。
とローラの結合によるテストヘッドの固定を確認でき
る。
【００２９】また本発明のうち請求項３によると、テス
トヘッドが接続位置に配置されたかどうかを確認でき
る。
トヘッドが接続位置に配置されたかどうかを確認でき
る。
【図１】本発明の一実施形態を示す断面図であり、オー
トハンドラと測定ボックスを接続する前の状態及び接続
している状態を示す図。
トハンドラと測定ボックスを接続する前の状態及び接続
している状態を示す図。
【図２】図１（Ａ）の状態よりＣ−Ｃ方向に見た図。
【図３】従来技術に係る図であり、被測定ＩＣが測定ボ
ックスと接続する前の状態及び接続している状態を示す
図。
ックスと接続する前の状態及び接続している状態を示す
図。
【図４】オートハンドラに対してテストヘッドを挿入す
る前の状態及び挿入した状態を示す図。
る前の状態及び挿入した状態を示す図。
【図５】オートハンドラと測定ボックスを接続する前の
状態及び接続している状態を示す図。
状態及び接続している状態を示す図。
１ オートハンドラ ２ テストヘッド ３ 測定ボックス ４ 恒温槽 ５ キャリア ５Ａ キャリアコマ ５Ｂ ガイドブッシュ ６ コンタクトプッシャ ６Ａ ガイドピン ７ リフタ ８ ＩＣソケット ８Ａ ガイドピン ９ ガイドピン １０ ローラ １１ 固定金具 １２ カム １３ エアシリンダ １４ 光センサ １５ センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AF05 AG01 AG08 AG11 AG12 AG20 AH04 AH05 2G011 AA15 AC06 AC14 AF02 2G132 AE01 AE08 AL03 4M106 AA04 BA01 DD23 DD30 DJ07
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣを選別するオートハンドラと、ＩＣ
の測定手段を有したテストヘッドを着脱自在に接続させ
るテストヘッドの接続装置であって、 前記ＩＣの測定手段が前記オートハンドラに対する正常
な接続位置にあるかどうかを検知し判定する検知判定手
段と、 前記検知判定手段からの判定結果を出力する判定結果出
力手段とを備えることを特徴とするテストヘッドの接続
装置。 - 【請求項２】 カムとローラを結合し、カムまたはロー
ラのどちらか一方を移動する移動手段を有し、 前記カムとローラのうち、一方を前記オートハンドラ
に、他方を前記テストヘッドに配置し、 前記検知判定手段は、前記カムとローラの相対位置を検
知する位置検知部と、該位置検知部の検知結果に基づい
て前記ＩＣの測定手段が前記オートハンドラに対する正
常な接続位置にあるかどうかを判定する判定部とを有す
ることを特徴とする請求項１記載のテストヘッドの接続
装置。 - 【請求項３】 前記オートハンドラは前記テストヘッド
に対して、前記カムにより前記ローラが駆動して前記テ
ストヘッドを正常な接続位置に移動し、 前記検知判定手段は、前記テストヘッドが前記接続位置
に配置されたかどうかを検知する位置検知部と、該位置
検知部の検知結果に基づいて前記テストヘッドが前記接
続位置にあるかどうかを判定する位置判定部とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のテストヘッドの
接続装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000361609A JP2002168906A (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | テストヘッドの接続装置 |
| TW090128884A TW523587B (en) | 2000-11-28 | 2001-11-22 | Test head connection unit |
| KR1020010073712A KR20020041750A (ko) | 2000-11-28 | 2001-11-26 | 테스트헤드의 접속장치 |
| US09/995,229 US20020063558A1 (en) | 2000-11-28 | 2001-11-27 | Test head connection unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000361609A JP2002168906A (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | テストヘッドの接続装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002168906A true JP2002168906A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18833015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000361609A Pending JP2002168906A (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | テストヘッドの接続装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020063558A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002168906A (ja) |
| KR (1) | KR20020041750A (ja) |
| TW (1) | TW523587B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132064A1 (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-14 | Advantest Corporation | アダプタ、該アダプタを備えたインタフェース装置及び電子部品試験装置 |
| JP2011528124A (ja) * | 2008-07-14 | 2011-11-10 | インテスト コーポレイション | テストヘッド結合システムおよび結合方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6674296B1 (en) * | 2002-02-28 | 2004-01-06 | Advanced Micro Devices, Inc. | Probe card measurement tool |
| EP1868002A1 (en) * | 2004-07-19 | 2007-12-19 | Kodak IL Ltd. | Apparatus for position detection |
| US7847568B2 (en) * | 2007-08-17 | 2010-12-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multi-site probe |
| US10281518B2 (en) * | 2014-02-25 | 2019-05-07 | Formfactor Beaverton, Inc. | Systems and methods for on-wafer dynamic testing of electronic devices |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3307470B2 (ja) * | 1993-04-05 | 2002-07-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体検査装置 |
| US5661408A (en) * | 1995-03-01 | 1997-08-26 | Qc Solutions, Inc. | Real-time in-line testing of semiconductor wafers |
| KR100217339B1 (ko) * | 1996-12-05 | 1999-09-01 | 윤종용 | 반도체 웨이퍼 정렬장치 및 그 방법 |
| JPH10185998A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-14 | Advantest Corp | テストヘッドのロック装置 |
| JP2000315711A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-14 | Sony Corp | 半導体測定装置 |
-
2000
- 2000-11-28 JP JP2000361609A patent/JP2002168906A/ja active Pending
-
2001
- 2001-11-22 TW TW090128884A patent/TW523587B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-11-26 KR KR1020010073712A patent/KR20020041750A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-11-27 US US09/995,229 patent/US20020063558A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132064A1 (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-14 | Advantest Corporation | アダプタ、該アダプタを備えたインタフェース装置及び電子部品試験装置 |
| JP2011528124A (ja) * | 2008-07-14 | 2011-11-10 | インテスト コーポレイション | テストヘッド結合システムおよび結合方法 |
| US8760182B2 (en) | 2008-07-14 | 2014-06-24 | Intest Corporation | Test head docking system and method with sliding linkage |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW523587B (en) | 2003-03-11 |
| US20020063558A1 (en) | 2002-05-30 |
| KR20020041750A (ko) | 2002-06-03 |
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