JP2002153747A

JP2002153747A - 高圧相物質の製造方法

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Publication number: JP2002153747A
Application number: JP2000354316A
Authority: JP
Inventors: Kenji Ito; 憲治伊藤; Tomoaki Hatake; 友昭畠; Ikuo Sakakibara; 育夫榊原; Katsuhiko Takahashi; 勝彦高橋
Original assignee: NOF Corp
Current assignee: NOF Corp
Priority date: 2000-11-21
Filing date: 2000-11-21
Publication date: 2002-05-28
Anticipated expiration: 2020-11-21
Also published as: JP4677665B2; US6562292B2; CN1354131A; US20020061276A1

Abstract

(57)【要約】【課題】不純物の少ない高圧相物質、例えば高圧相窒
化ホウ素、ダイヤモンド等を容易に得ることができる高
圧相物質の製造方法を提供する。【解決手段】高圧相物質は、純度が９９．８％以上で
酸不溶分となる不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下である
金属粉末に低圧相物質を混合し、その混合物を加圧成形
後、衝撃圧縮処理を施すことにより得られる。すなわ
ち、原料混合物を円筒試料管６内に装填し、それを爆薬
容器１内の中心に配置し、その周囲に爆薬１３を充填す
る。そして、爆薬１３を爆轟させて衝撃加圧処理を行う
ことによって高圧相物質が得られる。低圧相物質として
六方晶窒化ホウ素粉末を用い、金属粉として銅粉末を用
いることにより、高圧相物質として高圧相窒化ホウ素が
得られる。また、低圧相物質としてグラファイト又は炭
素材料を用い、金属粉として銅粉末を用いることによ
り、高圧相物質としてダイヤモンドが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、衝撃圧縮処理によ
る衝撃圧力を利用して低圧相物質から高圧相物質、例え
ば高圧相窒化ホウ素やダイヤモンドを得るための高圧相
物質の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、火薬類の爆発又は高速の飛翔
体の衝撃等により発生する衝撃波に伴う衝撃圧力を利用
して、低圧相物質から高圧相物質を得る方法に関して多
数報告がなされている。例えば、高圧相物質として高圧
相窒化ホウ素又はダイヤモンドを合成する方法が知られ
ている（特公昭４７−３４５９７号、特公昭５２−４５
１１号公報）。このような合成方法においては、得られ
る高圧相物質の凍結が重要となる。低圧相物質は衝撃波
の通過により高温高圧の状態となって高圧相物質へと転
移するが、その持続時間は数μ秒から数１０μ秒と極め
て短時間であり、その後圧力は大気圧まで急激に降下す
る。

【０００３】一方、衝撃圧力により発生した熱は圧力が
除去された後も残留し、このため合成された高圧相窒化
ホウ素又はダイヤモンドは逆転移を起こし、低圧相物質
から高圧相物質への転換率を低下させることとなる。従
って、圧力が解放された後、合成された高圧相物質が安
定に存在しうる温度域までできるだけ急速に冷却するこ
とが必要となる。

【０００４】このため、冷却媒体として熱容量が大きく
熱伝導率の高い金属粉末をマトリックスとして、低圧相
物質の粉末を均一に分散させた試料を衝撃圧縮処理する
方法が行われてきた。金属粉末の種類としては金、白
金、銀、銅、鉄、ニッケル、タングステンなどが用いら
れる。ここで、この金属マトリックスは冷却媒体として
作用すると同時に圧力媒体としても作用する。低圧相窒
化ホウ素又はグラファイトなどの炭素源のみを衝撃処理
した場合、衝撃インピーダンスが低いために圧力が上が
りにくく、仮に圧力が上がったとしても衝撃圧力下の温
度は極めて高くなり、従って残留温度も高くなるため低
圧相物質から高圧相物質への転換率を大きく低下させ
る。

【０００５】低圧相物質の粉末原料を衝撃インピーダン
スの高い金属粉末と混合することにより、混合物質の衝
撃インピーダンスを高くすることができ、高圧力の発生
が容易になると同時に、金属マトリックスの冷却媒体と
しての作用により、残留温度を抑制することができる。
こうした金属マトリックスの物理的特性を利用した衝撃
加圧合成による製造方法に関しては広く研究が行われて
いる。例えば、高圧相窒化ホウ素又はダイヤモンドなど
の高圧相物質の粉体はＢＮ切削工具、精密研磨などの分
野で使用されてきた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記方法により製造し
た場合、出発原料である低圧相物質の粉体原料や金属マ
トリックス原料に不純物が含まれる場合には、得られる
高圧相粉体の内外にも不純物を多く含み、衝撃加圧後の
精製工程によっても不純物を除去するには困難があっ
た。特に、近年では半導体製品関連部品、精密機器部品
の精密研磨などの加工工程における不純物混入が製品の
性能に悪影響を及ぼす可能性があることから、不純物の
極力少ない研磨材料が求められてきている。

【０００７】本発明は、上記のような従来技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、不純物の少ない高圧相物質、例えば高圧相
窒化ホウ素、ダイヤモンド等を容易に得ることができる
高圧相物質の製造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく工程に用いる材質の不純物に着目し鋭意研
究を重ねた結果、特にマトリックスとして使用する金属
粉末原料に関して純度が高いものを用いた場合に最も効
果があり、不純物の少ない高圧相窒化ホウ素及び低圧相
窒化ホウ素の混合物又はダイヤモンドが得られることを
見出し、本発明を完成した。

【０００９】すなわち、第１の発明の高圧相物質の製造
方法は、純度が９９.８％以上で酸不溶分となる不純物
成分が各々５０ｐｐｍ以下である金属粉末に低圧相物質
を混合し、その混合物を加圧成形後、得られた成形体に
衝撃圧縮処理を施して衝撃圧力を作用させ、高圧相物質
を製造することを特徴とするものである。

【００１０】第２の発明の高圧相物質の製造方法は、第
１の発明において、前記低圧相物質が六方晶窒化ホウ素
粉末であり、金属粉が銅粉末であって、得られる高圧相
物質が高圧相窒化ホウ素であることを特徴とするもので
ある。

【００１１】第３の発明の高圧相物質の製造方法は、第
１の発明において、前記低圧相物質が炭素材料であり、
金属粉が銅粉末であって、得られる高圧相物質がダイヤ
モンドであることを特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
詳細に説明する。目的とする高圧相物質は、純度が９
９.８％以上で酸不溶分となる不純物成分が各々５０ｐ
ｐｍ以下である金属粉末に低圧相物質を混合し、その混
合物を加圧成形後、得られた成形体に衝撃圧縮処理を施
して衝撃圧力（動的高圧力）を作用させることにより得
られる。

【００１３】衝撃圧縮処理の前の条件としては、出発原
料の選択、銅粉等の金属の純度、出発原料の混合比率、
加圧成形体の密度、その加圧成形体中での空孔率などが
重要である。

【００１４】出発原料の低圧相物質として、炭素材料を
使用する場合、その粒径は小さい方が転換率は向上する
傾向があるため、１００μｍ以下でできるだけ細かくす
ることが望ましい。炭素材料の種類としては、燐状、燐
片状、土状黒鉛などの天然黒鉛（グラファイト）、コー
クスの他、カーボンブラック、人造黒鉛、ガラス状炭
素、その他有機物を炭化して得られる炭素、及び炭素前
駆体等を使用することができる。しかし、天然黒鉛、コ
ークスなどは不純物を多く含有している場合もあり、材
料の選定が重要である。また、含有する不純物の種類に
よっては酸処理、アルカリ処理、加熱などにより、予め
処理して使用することができる。

【００１５】低圧相物質として、低圧相窒化ホウ素を使
用する場合、市販の六方晶窒化ホウ素（ｈＢＮ）を原料
として用いることが低コストであり好ましい。また、菱
面体窒化ホウ素（ｒＢＮ）なども原料として用いること
ができる。

【００１６】次に、金属粉末は原料中のマトリックスと
なるもので、純度が９９.８％以上で酸不溶分となる酸
化スズなどの不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下であるこ
とが必要である。純度が９９.８％未満で酸不溶分とな
る酸化スズなどの不純物成分が各々５０ｐｐｍを越える
場合には、目的とする不純物の少ない高圧相物質を得る
ことができなくなる。

【００１７】金属粉末としては、アトマイズ粉（噴霧し
て得られた粉末）、電解粉、粉砕粉などが知られている
が、一般的には充填性の面から球状である方が望まし
い。しかしながら、低圧相物質の粉末を金属粉末のマト
リックス中で保持させる目的で電解粉等球状でないもの
と組み合わせて用いることもできる。その粒径は０．１
〜数１００μｍのものが好ましい。金属粉末の種類とし
ては、金、白金、銀、銅、鉄、ニッケル、タングステン
などを用いることができるが、銅、鉄などが化学的精製
処理等の取扱いが容易で、低コストであるために好まし
い。

【００１８】金属粉末の混合割合は任意であるが、好ま
しくは７０〜９８重量％、さらに好ましくは８０〜９８
重量％である。従って、低圧相物質の混合割合は好まし
くは２〜３０重量％、さらに好ましくは２〜２０重量％
である。金属粉末が７０重量％より少ないと、試料の過
度の温度上昇、試料管の破損などにより試料回収が困難
になる。また、金属粉末の混合割合は、９９.９９重量
％であっても原理的には高圧相物質の変換が可能である
が、金属粉末の割合を増すと得られる高圧相物質も減少
し、効率が低下するので、金属粉末の割合は９８重量％
程度までが望ましい。

【００１９】また、金属粉末に対する低圧相物質の混合
はできるだけ均一であることが、衝撃圧縮処理を施して
衝撃圧力を低圧相物質に均一に作用させ、目的とする高
圧相物質を収率良く得るために望ましい。

【００２０】金属粉末と低圧相物質の混合物は油圧プレ
ス、金型などを用いて加圧成形され、所定形状の成形体
とされる。得られた成形体の空孔率は、５〜５０％であ
ることが望ましい。空孔率が５％未満の場合高圧プレス
装置などの特殊な装置を使用しなければならず、５０％
を越える場合成形助剤を用いても成形が困難になる。

【００２１】この空孔率は、衝撃圧縮時の温度上昇を制
御するのに重要であり、空孔率が大きいと高い温度上昇
となり、溶融したりして試料容器が破損する原因にな
る。衝撃圧縮時の温度上昇は、圧力が高くなると大きく
なるので、空孔率の値は、衝撃圧力の上昇につれて小さ
くする必要がある。従って、空孔率に合わせて爆薬の種
類の選定と組み合わせが重要となる。

【００２２】次に、この成形体を金属製容器（爆薬容
器）内に配設する。金属製容器の材質としては、鉄、
銅、真鍮、ステンレス鋼、クロム鋼等が用いられ、その
形状はボックス型、円管状等が挙げられる。このように
して金属製容器に配設された成形体に対し、各種の衝撃
圧縮処理装置、例えば特公昭４７−３４５９７号公報に
記述されている衝撃圧縮処理装置を用いて、爆薬の爆発
により生ずる高温、高圧を伴う衝撃圧力（衝撃波）によ
り衝撃圧縮処理を施す。

【００２３】図１は、高圧相物質を製造するための衝撃
圧縮処理装置の概念を例示した断面図である。この衝撃
圧縮処理装置について説明する。円筒状をなす金属製の
爆薬容器１の底部には、爆薬容器１よりも肉厚の底板２
が接合されている。爆薬容器１の上端部には、板状に形
成されたブースター爆薬３が配設され、その中心部上面
には雷管４が立設状態で埋め込まれている。

【００２４】前記底板２の内面中心部には円筒駆動管５
が立設され、その内部には円筒試料管６が上下両端の固
定リング７を介して同心円状に配設されている。従っ
て、円筒駆動管６と円筒試料管７の間には空間部８が形
成されている。円筒試料管６内の底部には下プラグ９が
配置され、その上には低圧相物質の粉体よりなる試料１
０が装填され、その上端部が上プラグ１１で密閉されて
いる。

【００２５】さらに、円筒駆動管５と円筒試料管６の上
端部には円錐キャップ１２が載置されている。この円錐
キャップ１２は円筒試料管６の中心方向に加わる衝撃圧
力を緩衝する役目を果たす。爆薬容器１内には円筒駆動
管５及び円錐キャップ１２を覆うように爆薬１３が充填
されている。爆薬１３としては、各種のものが使用でき
るが、例えばダイナマイト、ＡＮＦＯ、含水爆薬、ＨＭ
Ｘ、ＰＢＸ等が挙げられる。

【００２６】そして、上部の雷管４を起爆するとブース
ター爆薬３を介して爆薬１３が爆轟する。その際、円筒
駆動管５、さらには円筒試料管６の中心方向（直径方
向）に向かって衝撃圧縮する力、つまり衝撃圧力が作用
する。加えて、衝撃圧力が上部から下部に伝播すること
により円筒試料管６内の試料１０が高い圧力で圧縮され
る。

【００２７】この場合に必要な衝撃圧力としては、１０
ＧＰａ以上であるが、高い収率を得るためには１５ＧＰ
ａ以上であることが望ましい。しかし、衝撃圧力があま
り高すぎると原料が分解したり、溶融が始まったりし
て、試料回収が困難になる。

【００２８】また、爆薬１３の爆発による衝撃波は高速
の飛翔体を介して原料の入った容器に加えることができ
る他、直接原料の入った容器に加えることもできる。即
ち、図１に示す円筒駆動管５がなく、円筒試料管６が直
接爆薬１３と接触した状態で爆薬１３を爆発させ、爆薬
１３の爆発による衝撃波を直接原料の入った円筒試料管
６に加えることもできる。

【００２９】次に、このようにして衝撃圧縮処理を施さ
れた試料１０を回収し、適当な酸などを用いて金属分を
溶解除去することにより、目的とする衝撃加圧後の試料
１０を精製回収することができる。例えば、鉄粉を用い
た場合には塩酸により鉄分を溶解分離したり、また銅粉
であれば硝酸又は王水などにより銅分を溶解分離して試
料１０を精製して回収することができる。

【００３０】上記の実施形態により発揮される効果を以
下にまとめて説明する。・実施形態で説明した高圧相物質の製造方法によれ
ば、原料の金属粉末として、純度が９９．８％以上で酸
不溶分となる不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下であるも
のが使用される。つまり、出発原料の１つである金属マ
トリックス原料中の不純物が抑制されている。このた
め、低圧相物質を衝撃圧力により高圧相物質へ転移させ
たとき、金属マトリックスに基づく不純物を低減させる
ことができる。従って、Ｘ線回折分析による不純物のピ
ークが見られなくなる程度に不純物の少ない高圧相物質
を容易に得ることができる。

【００３１】・具体的には、低圧相物質として六方晶
窒化ホウ素粉末を用い、金属粉として銅粉末を用いるこ
とにより、高圧相物質として不純物の少ない高圧相窒化
ホウ素を容易に得ることができる。

【００３２】また、低圧相物質としてグラファイト又は
炭素材料を用い、金属粉として銅粉末を用いることによ
り、高圧相物質として不純物の少ないダイヤモンドを容
易に得ることができる。

【００３３】

【実施例】以下、実施例及び比較例を挙げて前記実施形
態をさらに具体的に説明する。（実施例１）低圧相物質である窒化硼素２０重量％に平
均粒径１００μｍ、純度９９．８％の銅粉末（酸不溶分
となる不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下）を８０重量％
加え、さらにエタノールを２重量％加えてボールミルに
て混合して原料物質を得た。この原料物質を前記図１に
示す円筒試料管６（外径３０mm、内径２６mm、長さ３５
０mm）内に金型を用いて加圧装填し、成形した。このと
きの円筒試料管６内の装填密度は６．０ｇ／ｃｍ³、空
孔率は２０％となるようにした。円筒試料管６の両端に
は軟鋼製の下プラグ９及び上プラグ１１を圧入した。

【００３４】下プラグ９には図示しない脱気用の銅パイ
プが設けられている。そして、この脱気用の銅パイプを
利用し、４００℃、０．１Ｐａで２時間保持して脱気処
理を行った。脱気処理後の円筒試料管６を、上下の固定
リング７を介して円筒駆動管５内に収容するとともに、
その上に円錐キャップ１２を載置した。その状態で円筒
試料管６を爆薬容器１（外径７６mm、内径６８mm、長さ
４００mm）の中心にセットし、円筒駆動管５と爆薬容器
１との間に爆薬１３（爆速５４００ｍ／ｓｅｃ）を装填
した。

【００３５】次に、雷管４として６号電気雷管を用い、
その雷管４を起爆させ、ブースター爆薬３からさらに爆
薬１３をその長手方向に１５〜３０ＧＰａの衝撃圧力で
爆轟させた。衝撃加圧処理の後、円筒試料管６を回収し
た。そして、円筒試料管６から内容物を取り出し、王水
（硝酸：塩酸＝１：３）中に入れ、銅などを溶解除去し
た。そこから得られた粉体を水洗後、乾燥した。Ｘ線回
折分析によると、生成物はウルツ鉱型窒素化硼素であ
り、不純物のピークは見られなかった。

【００３６】（実施例２）天然黒鉛１０重量％に平均粒
径１００μｍ、純度９９．８％の銅粉末（酸不溶分とな
る不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下）を９０重量％加
え、さらにエタノールを２重量％加えてボールミルにて
混合して原料物質を得た。これを円筒試料管６（外径２
７mm、内径１９mm、長さ２４０mm）内に金型を用いて加
圧装填し、成形した。このときの円筒試料管６内の装填
密度は６．５ｇ／ｃｍ³、空孔率は２０％となるように
した。円筒試料管６の両端には軟鋼製の下プラグ９及び
上プラグ１１を圧入した。下プラグ９には脱気用の銅パ
イプが設けられている。

【００３７】この円筒試料管６の外側に円筒駆動管５
（外径４３mm、内径３６mm、長さ２４０mm）を一対の固
定リング７を介在させて固定し、その上に円錐キャップ
１２を載置した。これを４００℃、０．１Ｐａで２時間
保持して脱気処理を行った。それを爆薬容器１（外径１
１４mm、内径１０５mm、長さ２８０mm）の中心にセット
し、円筒駆動管５と爆薬容器１との間に爆薬１３（爆速
６８００ｍ／sec）を装填した。

【００３８】次に、雷管４として６号電気雷管を用い、
その雷管４を起爆させ、ブースター爆薬３からさらに爆
薬１３をその長手方向に１５〜３０ＧＰａの衝撃圧力で
爆轟させた。衝撃加圧処理の後、円筒試料管６を回収し
た。そして、円筒試料管６から内容物を取り出し、王水
中に入れ、銅などを溶解除去した。そこから得られた粉
体を水洗後、乾燥した。さらに、この乾燥粉体に酸化鉛
を混合し、４００℃で１５時間熱処理し、未転換炭素分
を選択的に酸化後、硝酸により鉛を溶融除去させた後、
加水洗浄した。

【００３９】図２に示すように、Ｘ線回折分析による
と、生成物はダイヤモンドであり、不純物のピークは見
られなかった。（比較例１）低圧相窒化硼素２０重量％に平均粒径１０
０μｍ、純度９９．５％の銅粉末〔不純物としてスズ
（Ｓｎ）を１００ｐｐｍ以上含む〕を８０重量％加え、
さらにエタノールを２重量％加えてボールミルにて混合
して原料物質を得た。次に、原料物質を円筒試料管６
（外径３０mm、内径２６mm、長さ３５０mm）に金型を用
いて加圧装填し、成形した。このときの円筒試料管６内
の装填密度は６．０ｇ／ｃｍ³、空孔率は２０％となる
ようにした。

【００４０】円筒試料管６の両端には軟鋼製の下プラグ
９及び上プラグ１１を圧入した。下プラグ９には脱気用
の銅パイプが設けられている。そして、４００℃、０．
１Ｐａで２時間保持して脱気処理を行った。処理後の円
筒試料管６を爆薬容器１（外径７６mm、内径６８mm、長
さ４００mm）の中心にセットし、円筒駆動管５と爆薬容
器１との間に爆薬１３（爆速５４００ｍ／ｓｅｃ）を装
填した。

【００４１】次に、雷管４として６号電気雷管を用い、
その雷管４を起爆させ、ブースター爆薬３からさらに爆
薬１３をその長手方向に１５〜３０ＧＰａの衝撃圧力で
爆轟させた。衝撃加圧処理の後、円筒試料管６を回収し
た。円筒試料管６から内容物を取り出して王水中に入
れ、銅などを溶解除去した。そこから得られた粉体を水
洗後、乾燥した。Ｘ線回折分析によると、生成物はウル
ツ鉱型窒素化硼素の他に酸化スズのピークが検出され
た。

【００４２】（比較例２）天然黒鉛１０重量％に平均粒
径１００μｍ、純度９９．５％の銅粉末〔不純物として
スズ（Ｓｎ）を１００ｐｐｍ以上含む〕を９０重量％加
え、さらにエタノールを２重量％加え、ボールミルにて
混合して原料物質を得た。これを円筒試料管６（外径２
７mm、内径１９mm、長さ２４０mm）に金型を用いて加圧
装填し、成形した。このときの円筒試料管６内の装填密
度は６．５ｇ／ｃｍ³、空孔率は２０％なるようにし
た。円筒試料管６の両端には軟鋼製の下プラグ９及び上
プラグ１１を圧入した。下プラグ９には脱気用の銅パイ
プが設けられている。

【００４３】次に、この円筒試料管６の外側に円筒駆動
管５（外径４３mm、内径３６mm、長さ２４０mm）を固定
リング７を介在させて固定した。次に、これを４００
℃、０．１Ｐａで２時間保持して脱気処理を行った。処
理後の円筒試料管６を爆薬容器１（外径１１４mm、内径
１０５mm、長さ２８０mm）の中心にセットし、円筒駆動
管５と爆薬容器１との間に爆薬１３（爆速６８００ｍ／
sec）を装填した。

【００４４】次に、雷管４として６号電気雷管を用い、
その雷管４を起爆させ、ブースター爆薬３からさらに爆
薬１３をその長手方向に１５〜３０ＧＰａの衝撃圧力で
爆轟させた。衝撃加圧処理の後、円筒試料管６を回収し
た。そして、円筒試料管６から内容物を取り出し、王水
中に入れ、銅などを溶解除去した。そこから得られた粉
体を水洗後、乾燥した。さらにこの乾燥粉体に酸化鉛を
混合し、４００℃で１５時間加熱処理し、未転換炭素分
を選択的に酸化後、硝酸により鉛を溶融除去し、次いで
加水洗浄した。

【００４５】図２に示すように、Ｘ線回折分析による
と、生成物はダイヤモンドの他に酸化スズのピークが検
出された。なお、前記実施形態を次のように変更して具
体化することもできる。

【００４６】・衝撃圧縮処理の方法として、爆薬の爆
発によって駆動された高速の飛翔体の衝突により生じる
高温、高圧を伴う衝撃波を利用する方法を採用してもよ
い。・図１において、雷管４を爆薬容器１の周壁に１箇所
又は複数箇所設け、爆薬１３を爆轟させてもよい。

【００４７】・爆薬容器１、円筒駆動管５、円筒試料
管６などを全て球状に形成し、成形体（試料）を全周か
ら均一に加圧するように構成してもよい。さらに、実施
形態より把握される技術的思想について以下に記載す
る。

【００４８】・前記成形体の空孔率は５〜５０％であ
る請求項1に記載の高圧相物質の製造方法。この製造方
法によれば、特殊な装置を使用したり、成形助剤を使用
したりすることなく、容易に成形体を得ることができ
る。

【００４９】・前記金属粉末の混合割合は７０〜９８
重量％である請求項1に記載の高圧相物質の製造方法。
この製造方法によれば、高圧相物質の回収が容易で、高
圧相物質の製造効率が向上させることができる。

【００５０】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれば
次のような効果を奏する。第１の発明の高圧相物質の製
造方法によれば、不純物の少ない高圧相物質、例えば高
圧相窒化ホウ素、ダイヤモンド等を容易に得ることがで
きる。

【００５１】第２の発明の高圧相物質の製造方法によれ
ば、低圧相物質として六方晶窒化ホウ素粉末を用い、金
属粉として銅粉末を用いることにより、高圧相物質とし
て不純物の少ない高圧相窒化ホウ素を容易に得ることが
できる。

【００５２】第３の発明の高圧相物質の製造方法によれ
ば、低圧相物質としてグラファイト又は炭素材料を用
い、金属粉として銅粉末を用いることにより、高圧相物
質として不純物の少ないダイヤモンドを容易に得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】爆薬による衝撃圧縮処理装置を示す縦断面
図。

【図２】実施例２及び比較例２の高圧相物質のＸ線回
折図。

【符号の説明】

１…衝撃圧縮処理を施すための爆薬容器、３…衝撃圧縮
処理を施すための爆薬、４…衝撃圧縮処理を施すための
雷管、１０…金属粉末と低圧相物質との混合物よりなる
試料、１３…爆薬。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】純度が９９．８％以上で酸不溶分となる
不純物成分が各々５０ｐｐｍ以下である金属粉末に低圧
相物質を混合し、その混合物を加圧成形後、得られた成
形体に衝撃圧縮処理を施して衝撃圧力を作用させ、高圧
相物質を製造することを特徴とする高圧相物質の製造方
法。
【請求項２】前記低圧相物質が六方晶窒化ホウ素粉末
であり、金属粉が銅粉末であって、得られる高圧相物質
が高圧相窒化ホウ素であることを特徴とする請求項1に
記載の高圧相窒化ホウ素の製造方法。
【請求項３】前記低圧相物質が炭素材料であり、金属
粉が銅粉末であって、得られる高圧相物質がダイヤモン
ドであることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモン
ドの製造方法。