JP2002150626A

JP2002150626A - スタンパ及び情報記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JP2002150626A
Application number: JP2000344585A
Authority: JP
Inventors: Chuichi Nagai; 忠一長井; Masaaki Mizuno; 正明水野
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 2000-11-13
Filing date: 2000-11-13
Publication date: 2002-05-24

Abstract

(57)【要約】【課題】記録した信号の再生信号品質が向上した情報
記録媒体及びそれに用いるスタンパの製造方法を提供す
る。また、底面がいずれも平坦な、深さの異なる凹凸パ
ターンを有する情報記録媒体及びそれに用いるスタンパ
の製造方法を提供する。【解決手段】基体上に感光層を設け、該感光層にレー
ザービームスポットを照射してパターンの潜像を形成し
たのち現像することによって該基体表面に第１の凹凸パ
ターンを形成した後、該感光層上に被覆層を成膜するこ
とによって該被覆層表面に該第１の凹凸パターンより浅
い第２の凹凸パターンが形成された原盤を得、さらに該
原盤の被覆層の表面に金属層を形成し、該金属層を分離
してスタンパを得る情報記録媒体用スタンパの製造方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光ディスクなどの情
報記録媒体を作製するためのスタンパの製造方法及びそ
のスタンパを用いた情報記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光磁気ディスク、相変化ディスク、無機
穴あけ型ディスク、色素ディスク等の光ディスクは、ユ
ーザーが記録可能な大容量情報記録媒体であり、コンピ
ュータの外部記憶装置に用いる媒体として広く普及して
いる。また音楽や写真、画像、動画などの情報を記録す
るため音楽プレーヤーやデジタルカメラ、ビデオ、セッ
トトップボックスなどの記録再生装置に用いる媒体とし
ても急速に普及しつつある。

【０００３】光ディスクは再生専用と記録可能な記録可
能メディアに大別できる。記録可能メディアは更に、一
度だけ記録可能なメディア（ライトワンス）と書き換え
可能なメディアとに分類できる。現在広く普及している
ＣＤやＤＶＤにも各々再生専用と記録可能メディアが存
在する。再生専用ＣＤとしては、いわゆるＣＤファミリ
ーである、ＣＤＤＡ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭＸ
Ａ、ＣＤＶ、ＣＤ−Ｉ、ＣＤ−ＭＩＤＩなどが挙げられ
る。ＣＤ系の記録可能メディアであり近年パソコンの外
部記憶メモリーとして急激に普及し始めたＣＤ−Ｒ（Ｃ
Ｄ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）はライトワンスメディアで
あり、ＣＤ−ＲＷ（ＣＤ−Ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ）は１
０００回程度の書き換えが可能なメディアである。ＤＶ
Ｄでは、再生専用メディアとしてはＤＶＤ−ＲＯＭが、
ライトワンスメディアとしてはＤＶＤ−Ｒが、書き換え
可能メディアとしてはＤＶＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＡＭな
どが製品化されている。

【０００４】このディスクを製造するには、凹凸ピット
列やグループなどの凹凸パターンが形成された原盤を製
造し、この原盤からスタンパを製造する。そして、この
スタンパから、通常は射出成形により凹凸を転写した透
光性ポリカーボネート製等の基板を製造し、さらにこの
基板のピットやグルーブを形成した面に各種ディスクに
応じた層を形成する。例えば、ＣＤ−ＲＯＭディスクで
は基板にスパッタリング等の方法で貴金属やＡｌ合金等
の金属膜からなる反射層を形成し、さらにこの上に光硬
化型樹脂からなる保護層を形成する。

【０００５】また、ＣＤ−ＲＷディスクやＤＶＤ−ＲＷ
ディスクでは、通常、第一保護層（誘電体層）／相変化
型記録層／第二保護層（誘電体層）／反射層をこの順に
スパッタリング法等により基板上に形成し、さらにこの
上に光硬化型樹脂からなる保護層を形成し、必要に応じ
て外の基板と貼合せる。図２〜は従来の原盤及びス
タンパの製造方法を示す模式的な説明図である。

【０００６】表面を研磨したガラス盤１の表面にプライ
マーを塗布した後、ポジ型フォトレジストを塗布してフ
ォトレジスト層２を形成する（）。このフォトレジス
ト層２をピット又は溝等の凹部の配列パターンに従って
レーザー露光する（）。符号４はレーザー３が照射さ
れた部分を示す。次いで、アルカリ性現像液によって現
像する（）。レーザー露光された部分４は現像液に対
し可溶化しており、現像液によってエッチングされ、凹
部５が形成される。次いで、加熱硬化処理（ベーク）し
てフォトレジスト層２を硬化させ、原盤６となる
（）。

【０００７】この原盤６に対しＮｉ（ニッケル）をスパ
ッタリング（符号７はスパッタ層を示す。）して表面を
導体化した後（）、Ｎｉメッキ（例えば電解メッキ）
し、例えば厚さ３００μｍ程度のメッキ層８を形成す
る。（）。次いで、スパッタ層７及びメッキ層８と原
盤６とを分離し、所定の大きさに打ち抜いてスタンパ９
を得る。分離した後の原盤６は、再利用工程に送られ
る。

【０００８】図示はしないが、このスタンパ９を射出成
形用の金型にセットし、ポリカーボネート等を射出して
情報記録媒体（ディスク）用基板を成形する。ところ
で、近年、１つの基板上に比較的浅い凹部と比較的深い
凹部との双方を形成することが検討されている。図３は
そのような情報記録媒体の一例を示す平面図、図４はそ
の表面部分の断面を著しく拡大した斜視図である。

【０００９】この情報記録媒体１０にあっては、内周縁
に近い部分に幅約８０μｍのピットエリア１１が設定さ
れており、このピットエリア１１よりも内周側と外周側
にそれぞれグルーブエリア１２、１３が設定されてい
る。図４は、内周縁のグルーブエリア１２と該ピットエ
リア１１との境界付近の表面部分を示している。１４は
グルーブ、１５はピットを示す。

【００１０】このような深浅２種類（又はそれ以上）の
凹部を有した情報記録媒体を製造するには、同じく深浅
複数種類の凹部を有した原盤が必要である。このような
原盤の製造方法として、図５に示すように、ガラス盤１
の上にフォトレジスト２を塗布し、次いで強いレーザー
光を照射して原盤１に対する深い露光部４ａを形成する
と共に、弱いレーザー光を照射して浅い露光部４ｂを形
成し、次いで現像して深い凹部５ａと浅い凹部５ｂとを
形成することが考えられるが、このようにすると、フォ
トレジスト層２の途中で止まる浅い凹部５ｂの底面が弧
状ないし略Ｖ字状に湾曲又は屈曲した非平坦なものとな
ってしまう。このような非平坦な底面の凹部にあっては
例えば次のような短所がある。

【００１１】即ち、非平坦な底面を持つグルーブ上へ信
号を記録した際の再生信号のジッターは、一般に平坦な
底面を持つグルーブ上へ記録した際のそれに対して高く
なるため、特に繰り返し記録耐久性への悪影響が懸念さ
れる。さらに弱いレーザー光で露光した場合、グルーブ
形状が光量ぶれに対して敏感になるため、グルーブ形状
の均一性も、非平坦な底を持つグルーブにおいて顕著に
悪化する。

【００１２】また一方、矩形のグルーブには底面の両側
に側面（側壁、端部）があるが、矩形グルーブの側面は
一般に傾斜が急峻で切り立っている。本発明者らの検討
によれば、理由は未だ明らかではないが、側面の傾斜が
急だと再生信号ノイズが大きくなることが分かった。グ
ルーブ側面の傾斜角度を緩やかにする方法としては、低
ガンマ値のレジストを用いる、または照射レーザースポ
ットの径を広げるなどの方法がある。

【００１３】しかしながらこれらの方法はいずれもグル
ーブ側面を荒らしてしまう傾向がありノイズの原因とな
るため、傾斜角度を緩やかにして再生信号ノイズを低減
する効果が抑制されてしまうという問題があった。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記いずれか
の問題を解決することを目的とする。すなわち、本発明
は、上述のような浅い凹部であっても底面が平坦である
ような、或いはグルーブ側面の傾斜が緩やかで且つ滑ら
かであるような原盤の製造方法と、この原盤を用いたス
タンパの製造方法と、このスタンパを用いた情報記録媒
体の製造方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明の要旨
は、基体上に感光層を設け、該感光層にレーザービーム
スポットを照射してパターンの潜像を形成したのち現像
することによって該基体表面に第１の凹凸パターンを形
成した後、該感光層上に被覆層を成膜することによって
該被覆層表面に該第１の凹凸パターンより浅い第２の凹
凸パターンが形成された原盤を得、さらに該原盤の被覆
層の表面に金属層を形成し、該金属層を分離してスタン
パを得ることを特徴とする、情報記録媒体用スタンパの
製造方法に存する。

【００１６】また本発明の別の要旨は、このような方法
により製造した情報記録媒体用スタンパの表面形状を転
写した基板を作製し、そののち該基板上に少なくとも記
録層を含む情報層を形成することを特徴とする情報記録
媒体の製造方法に存する。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明は、一旦、常法によって感
光層表面に第１の凹凸パターンを形成し、その上に被覆
層を、凹凸パターンを一部埋めるように成膜することに
よって、第２の凹凸パターンが形成された原盤を得る。
第２の凹凸パターンは略矩形でありながら第１の凹凸パ
ターンに比べて浅く、また側面の傾斜も緩やかである。

【００１８】従ってこのような原盤を用いて作られたス
タンパ及び情報記録媒体は、側面の傾斜が緩く、かつ側
面の荒れが小さいグルーブを有するので、再生信号ノイ
ズを抑えることができ、ジッターの小さい良好な再生信
号が得られる。さらに、被覆層を感光性材料で構成すれ
ば、常法によって被覆層に深い矩形の凹凸パターンを第
３の凹凸パターンとして形成することができるので、浅
い矩形の第２の凹凸パターンと深い矩形の第３の凹凸パ
ターンを共に形成することができる。

【００１９】従ってこのような原盤を用いて作られたス
タンパ及び情報記録媒体は、共に平坦な底部を持つ、深
さの異なるピットとグルーブを同一スタンパ及び同一媒
体上に有するので、再生信号のジッターを抑えることが
でき、特に繰り返し記録耐久性を改善できる。本発明の
情報記録媒体用原盤及びスタンパの作製方法の一実施形
態について、図を用いてより詳細に説明する。

【００２０】図１は、本発明の方法を説明するための厚
み方向の断面模式図である。まず、研磨処理された清浄
かつ平坦なガラス板からなる基体１上に感光性樹脂をス
ピンコート法により塗布して、約２０から２００ｎｍの
範囲の特定の均一な厚みをもつ感光層２１（下層、第１
フォトレジスト層）を形成する（）。このように作製
された感光層塗布基体は、感光層塗布時に使用した溶媒
を蒸発除去させるために、必要に応じて約８０℃程度の
温度で一定時間乾燥させることが行われる。

【００２１】次にレーザーカッティングマシンと称する
原盤露光装置を用いて露光する。感光層が上面に塗布さ
れた円形ガラス基板を、ターンテーブル上に固定して回
転させながら、感光層２１上に、図示しない対物レンズ
等の光学系で微小に絞ったレーザー光を照射し、所望の
微細パターンに相当する潜像５０（露光領域）を形成す
る（）。

【００２２】感光層２１を感光させるために用いるレー
ザー光は、通常、青色から近紫外域（波長が５００〜２
００ｎｍ）である。このレーザー光の焦点が、回転する
ガラス板上の感光層面からはずれないように、波長の長
い赤色レーザーによる追従機構が設けられている。この
ように潜像５０が形成された感光層２１は次に、アルカ
リ性現像液を施し現像されることにより、感光された部
分が選択的に除去され、所望の微細凹部５１が表面に形
成される。このとき微細凹部の深さ（又は高さ）の最大
値は、感光層の厚さによって規定されることになる
（）。

【００２３】感光層２１は現像ののち加熱乾燥（ベー
ク）し、次いで紫外線照射して硬化し、さらなる感光が
されないようにするのが望ましい。またこれら処理は、
続いて被覆層を塗布する場合に被覆層の溶剤によって感
光層が溶けたり表面が荒れたりすることを防止する効果
もある。次に、感光層２１表面にスパッタリング法など
の方法でニッケル薄膜からなる中間層２３を形成するの
が好ましい（）。感光層と被覆層とが互いに侵されな
いようにするためである。

【００２４】続いて、中間層２３上に被覆層２２を成膜
し、被覆層２２の表面に、感光層２１に予め形成した微
細凹部５１（第１の凹凸パターン）をなぞったような凹
部６１（第２の凹凸パターン）を形成する。第２の凹凸
パターンは略矩形でありながら第１の凹凸パターンに比
べて浅く、また側面の傾斜も緩やかである（）。この
ような被覆層の成膜方法としては、凹凸を一部埋めるよ
うに成膜できるものであればよいが、装置が安価であ
り、簡便かつ膜厚安定性に優れるため、溶媒に溶解して
スピンコート塗布する方法が好ましい。

【００２５】凹部６１の高さ（深さ）は被覆層の塗布条
件、すなわち粘度、振り切り回転数、膜厚などにより変
化させることができる。概ね、凹部５１の高さ（深さ）
の１／５〜４／５程度が作成しやすい。一方凹部６１の
幅は、少なくとも５０〜１０００ｎｍ程度の範囲におい
ては、上記の諸条件にあまり関係なく、下の感光層に形
成させた凹凸パターンのそれと略同等になるが、パター
ンの側面の切り立ち方は多少傾斜したなだらかなものと
なる。このとき、側面に特段の荒れが生じることは無
く、他の面と同じく滑らかである。

【００２６】被覆層２２の厚さは１０ｎｍ以上が好まし
い。薄すぎる場合には均一な被覆層の形成がしにくく、
また凹部を浅くする効果も小さくなるからである。ただ
し被覆層の厚さは２００ｎｍ以下が好ましい。厚すぎる
場合には、被覆層が第１の凹凸パターンを埋め尽くし、
被覆層表面に形成される凹凸形状が不鮮明になってしま
う可能性がある。

【００２７】また、凹部５１の高さ（深さ）に対して、
被覆層２２の膜厚が、１／２〜２倍程度が好ましい。被
覆層２２の材料としては、凹凸を一部埋めるように成膜
できるものであればよいが、塗布法により形成する場合
には溶剤への溶解がしやすい点から有機材料が好まし
い。好ましくは、被覆層塗布時の粘度は０．１〜２０ｃ
ｐｓ程度とする。また振り切り回転数は粘度にもよる
が、１００〜３０００ｒｐｍ程度とし、その中から条件
を選ぶのがよい。実用的な条件範囲では、粘度が高いと
凹部５１が埋まりやすく凹部６１は浅くなり、振り切り
回転数が高くなると膜厚は薄くなり凹部６１は深くなる
傾向がある。

【００２８】被覆層を形成するにあたっては、第１の凹
凸パターンを持つ感光層を侵すことを避けなければなら
ない。例えば被覆層の溶剤が感光層を溶かすものであっ
た場合、凹凸パターンが不明瞭になったり、感光層表面
が荒れてしまい、被覆層表面の第２の凹凸パターンが明
瞭に形成されなくなるからである。そこでいくつかの手
法を取りうる。

【００２９】まず、被覆層を感光層と異なる材料で構成
し、被覆層の塗布溶剤は感光層を侵さないものとするこ
とが好ましい。例えば、感光層２１として水に不溶性あ
るいは難溶性な材料を用い、被覆層２２として水溶性材
料を用いることで、中間層２３を設けなくても、感光層
２１を侵すことなく被覆層２２を形成することができ好
ましい。

【００３０】一方、感光層２１と被覆層２２として同じ
材料を用いる場合は、感光層２１に凹部５１を形成後、
加熱、紫外線照射などによって溶剤溶解性を失わせたの
ちに、同一の感光性材料を溶剤に溶解して塗布し、被覆
層２２とすることができる。或いは、感光層２１と被覆
層２２のあいだに中間層２３を設け、互いに接しないよ
うにすることが好適である。

【００３１】中間層２３の成膜方法は、真空蒸着、ＣＶ
Ｄ、スパッタリングなど一般的なものが用いうるが、成
膜速度などの点からスパッタリングが好ましい。中間層
２３としては、薄膜で遮断性の高い無機材料が好まし
く、金属、合金、セラミックなどが用いうるが、安価で
成膜速度の速い金属や合金が好ましい。例えばニッケル
やアルミニウムなどである。ニッケルは、現在一般にス
タンパ製造工程で用いられているので、スパッタリング
装置等をそのまま利用でき機器増設が不用であり有利で
ある。

【００３２】中間層の厚さは５ｎｍ以上が好ましい。薄
すぎる場合には中間層の構造に部分的に間隙が存在する
ので、被覆層を塗布形成する際にその溶媒が間隙を透過
して感光層を侵す可能性がある。ただし中間層の厚さは
２００ｎｍ以下が好ましい。厚すぎる場合には、後の工
程でスタンパの被覆層からの剥離性が悪化することがあ
る。また第１の凹凸パターンが中間層で一部埋められ、
被覆層表面に形成される凹凸形状に影響を与え不鮮明に
してしまう可能性がある。

【００３３】本実施形態においては、中間層２３として
ニッケルを、被覆層２２として感光層と同一の感光性材
料を用いている。次いで、被覆層２２に第３の凹凸パタ
ーンを露光する（）。原盤を、上述と同一のレーザー
カッティングマシンのターンテーブル上に固定して回転
させながら、感光層２１上に、図示しない対物レンズ等
の光学系で微小に絞ったレーザー光を照射し、所望の微
細パターンに相当する潜像５２（露光領域）を形成す
る。

【００３４】このとき、感光層２１には、工程、に
おいて原盤位置合わせ用のスパイラルパターンを形成し
ておくのが望ましい。そして、既に形成したグルーブや
ピットとの位置がずれないように、原盤位置合わせ用の
スパイラルパターンを用いて位置合わせを行う。すなわ
ち、スパイラルパターンの回転対称中心と、ターンテー
ブルの回転中心との水平方向の距離が２００ｎｍ以下と
なるように調整する。この調整方法は、特開２０００−
１５５１０５の方法を用いることができる。

【００３５】露光条件等は感光層２１と同様でよい。次
いで潜像５２が形成された被覆層２２に、感光層２１と
同様に現像して深い凹部６２を形成し（）、ベーク、
紫外線照射して硬化させる（）。以上のようにして、
情報記録媒体用原盤が作製できる。続いてこの原盤に、
スパッタリング法又は無電解メッキ法で、ニッケル薄膜
からなる導電層を形成し、さらにニッケルイオンを含む
電解液中で湿式めっきを施し、導電層とメッキ層を被覆
層２２から分離することにより、厚さ約２００から３０
０μｍのニッケル製の情報記録媒体用スタンパが作製で
きる。スタンパ表面の凹凸形状は、被覆層２２表面に形
成される凹凸形状と相補的なものとなる。

【００３６】導電層の成膜方法は、成膜速度が速く、ま
た中間層と同じ成膜装置が使えるという理由で、スパッ
タリングにより形成するのが好ましい。導電層材料は導
電性がある金属、合金などが用いうるが、中間層と同じ
とするのが簡便である。なお、中間層２３を設けた場
合、導電層とメッキ層を被覆層から剥離する際に、中間
層の一部が剥離時の機械的な力によって破れ、被覆層と
ともにスタンパ表面に吸着してしまい、スタンパを汚染
することがある。これを避けるためには、中間層と導電
層の形成条件や形成前の紫外線照射条件に差を設け、中
間層をより剥がれにくく形成しておくことが有効であ
る。

【００３７】例えば、中間層及び導電層がともにスパッ
タリングにより形成される場合、中間層のスパッタリン
グの真空排気時間を長くするのが好ましい。また、メッ
キ時にかかる応力を、パターン面側が凸になるような条
件とすることも効果がある場合がある。以上のようにし
て得られたスタンパを、射出成形装置の金型にセット
し、射出成形することによりその表面形状を転写した合
成樹脂製の情報記録媒体用基板が得られる。そののち基
板上に記録層、保護層、反射層等を形成し、情報記録媒
体を得る。

【００３８】このように作製された情報記録媒体は、側
面の傾斜が緩く、かつ側面の荒れが小さいグルーブを有
するので、再生信号ノイズを抑えることができ、ジッタ
ーの小さい良好な再生信号が得られる。さらには、共に
平坦な底部を持つ、深さの異なるピットとグルーブを同
一スタンパ及び同一媒体上に有するので、再生信号のジ
ッターを抑えることができ、特に繰り返し記録耐久性を
改善できる。

【００３９】このようにして、情報ピットと信号特性の
よいグルーブとを一枚の媒体に形成できるので、例え
ば、グルーブ記録タイプの追記型ＤＶＤ、書換型ＤＶＤ
等において、ディスクの識別情報としての役割、あるい
は、著作権法を侵害するような違法コピーを防止するた
めに供する情報としての役割を持つピットパターンを形
成できる。

【００４０】

【実施例】以下、実施例をもって本発明を説明するが、
本発明はその要旨を超えない限り、本実施例に限定され
るものではない。（実施例１）直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍの円形ガラス
板の表面を酸化セシウム粉を用いて研磨処理した後、純
水にて洗浄、乾燥した。

【００４１】次に、ガラス表面と感光性樹脂成分との密
着性を向上させるプライマー（商品名アンカーコート）
をスピンコート法にて塗布した後、ナフトキノンジアジ
ド・ノボラック樹脂系のポジ型感光性樹脂（フォトレジ
スト、三菱化学社製、商品名ＭＣＰＲ２０００Ｈ）をス
ピンコート法により塗布した。粘度１７ｃｐｓのフォト
レジスト９重量部を、エチルセロソルブアセテート９１
重量部に溶解した。

【００４２】これを回転数２５０ｒｐｍで回転させたガ
ラス板上に吐出し、次いで回転数６００ｒｐｍで３０秒
振り切った。溶媒除去のため、クリーンオーブンを用
い、８０度で３０分加熱乾燥させ、平均膜厚８０ｎｍの
感光層を形成した。次に、感光層が形成されたガラス板
を、レーザーカッティングマシンのターンテーブル上に
固定し回転させながら、形成すべきグルーブ及びピット
に応じてレーザー光線を感光層に照射し、潜像を形成し
た。また、後述する原盤位置合わせ用のスパイラルパタ
ーンの潜像も同様に形成した。レーザー光線は、Ｋｒレ
ーザーの４１３ｎｍの発振光線をＮＡ０．９の対物レン
ズで微小スポットに絞って用いた。

【００４３】このように潜像を形成させた感光層に、
０．１８規定のアルカリ性現像液をスピン塗布して現像
を行い、潜像部を選択的に除去し、グルーブ及びピット
を形成した。露光現像後には、水分除去のため、ホット
プレートを用い８０度で１０分（プラス予熱２分）加熱
乾燥させた。形成したパターンはＤＶＤに準拠したもの
であり、隣接トラック間隔０．７４μｍのスパイラル状
のグルーブ、及びグルーブ同士の間の部分にピットが設
けられてなる。グルーブ及びピットの幅は約３００ｎ
ｍ、深さは感光層厚さに対応して約８０ｎｍであった。

【００４４】ここで形成したグルーブ及びピットのパタ
ーンは全て、のちに作製するスタンパにおいて、高さの
低いパターン部分に相当するものである。なお、感光層
は現像ののち加熱乾燥（ベーク）し、次いで紫外線照射
し、さらなる感光がされないようにした。次に、感光層
表面に約５０ｎｍ厚のニッケルからなる中間層をスパッ
タリング法にて成膜した。このとき真空排気時間は２０
分であり、到達真空度は１ｘ１０ ^-3Ｐａであった。

【００４５】続いて、中間層表面に、上述と同一のプラ
イマー及び感光性樹脂を順次スピンコート法にて塗布し
た。粘度１７ｃｐｓのフォトレジスト９重量部を、エチ
ルセロソルブアセテート９１重量部に溶解した。これを
回転数２５０ｒｐｍで回転させたガラス板上に吐出し、
次いで回転数６００ｒｐｍで３０秒振り切った。溶媒除
去のため、クリーンオーブンを用い、８０度で３０分加
熱乾燥させ、平均膜厚８０ｎｍの感光層を形成した。感
光層及び被覆層の膜厚はエリプソメーターで測定した。

【００４６】被覆層の最表面は、感光層に形成された凹
凸がなだらかにトレースされたような凹凸形状となって
おり、側壁の傾斜がやや緩く滑らかで、浅い矩形のグル
ーブ及びピットが形成されていた。グルーブ及びピット
の幅は約３００ｎｍ、深さは約３０ｎｍであった。この
原盤に、深いピットを形成するために、上述と同一のレ
ーザーカッティングマシンのターンテーブル上に固定し
た。その際、既に形成したグルーブやピットとの位置が
ずれないように、原盤位置合わせ用のスパイラルパター
ンを用いて位置合わせを行った。すなわち、スパイラル
パターンの回転対称中心と、ターンテーブルの回転中心
との水平方向の距離が２００ｎｍ以下となるように調整
した。

【００４７】上述と同様のレーザー発振光線を用いて、
感光性樹脂からなる被覆層に光を照射して潜像を形成し
た。ここで形成したピットのパターンは、のちに作製す
るスタンパにおいて、高さの高いパターン部分に相当す
るものである。この潜像に上述と同様の現像処理を施し
た。この現像処理で形成されたピットの幅は約３００ｎ
ｍ、深さは被覆層厚さに対応して約８０ｎｍであった。

【００４８】なお、被覆層は現像ののち加熱乾燥（ベー
ク）し、次いで紫外線照射し、さらなる感光がされない
ようにした。次に、被覆層表面にニッケルからなる導電
層をスパッタリング法にて成膜した。このとき真空排気
時間は６分であり、到達真空度は４ｘ１０^-3Ｐａであっ
た。また、膜厚は５０ｎｍであった。更に湿式のニッケ
ルメッキを施し、合計厚さ約３００μｍのニッケル金属
層を形成した。これを原盤から剥離することにより、ス
タンパを作製した。

【００４９】なお、ニッケルメッキ時にスタンパ側にか
かる応力は、グルーブ面がやや凸となるような状態が好
ましい。このように作製されたスタンパ上に形成された
パターンは、高さ約３０ｎｍの低いパターンと、高さ約
８０ｎｍの高いパターンがとがあり、共に平坦な底面形
状を有していた。

【００５０】この方法で作製したスタンパを用いて、ポ
リカーボネート樹脂を射出成形して直径１２０ｍｍ、厚
み０．６ｍｍの基板を得た。この基板上に、（ＺｎＳ）
₈₀（ＳｉＯ₂）₂₀からなる厚さ６５ｎｍの第一保護層、
Ｇｅ₅Ｓｂ₇₃Ｔｅ₂₂からなる厚さ１３ｎｍの記録層、
（ＺｎＳ）₈₀（ＳｉＯ₂）₂₀からなる厚さ１８ｎｍの第
二保護層、Ａｌ_99.5Ｔａ_0.5からなる厚さ２００ｎｍの
反射層、を高真空に排気された清浄な真空槽内で順次ス
パッタリング成膜した。

【００５１】更に、反射層上に紫外線硬化樹脂を数μｍ
の厚さに塗布、硬化した。その上に紫外線硬化型接着剤
を塗布し、もう一枚のポリカーボネート樹脂基板と貼り
合わせて、記録可能な相変化型ＤＶＤを作製した。記録
再生には、パルステック社製ＤＤＵ−１０００評価装置
を用いた。本評価装置のレーザー波長は６５８ｎｍ、対
物レンズの開口数（ＮＡ）は０．６５である。

【００５２】本ディスクに、線速度３．４９ｍ／ｓにお
いて、ＤＶＤで用いられている８−１６変調（ＥＦＭ＋
方式）ランダム信号をＤＶＤと同等の線密度で記録再生
を行い再生信号品質を測定した。１０回重ね書き（オー
バーライト）記録した信号を再生したときのジッターは
７．０％であった。

【００５３】また、相変化光ディスクでは、性能の良否
を判定する重要な項目として繰り返し記録耐久性があ
る。そこで、記録パワー１３．５ｍＷ、消去パワー６．
７ｍＷで、同一トラック上に１万回の繰り返し記録を行
って再生したときのジッターを測定したところ、１０．
４％であった。（比較例１）比較の為に、従来の方法でスタンパを作製
した。

【００５４】すなわち、実施例１と同じガラス板に、感
光層の平均膜厚が３０ｎｍである以外は実施例１と同様
にして感光層を形成した。次に、レーザーカッティング
マシンを用い、実施例１と同様に感光層に潜像を形成し
たのち現像を行い、感光された部分を選択的に除去さ
せ、隣接トラック間隔０．７４μｍのスパイラル状のグ
ルーブ、及びグルーブ同士の間の部分にピットを有する
原盤を作製した。グルーブ及びピットの幅は約３００ｎ
ｍ、深さは感光層厚さに対応して約３０ｎｍであった。

【００５５】この原盤から、実施例１と同様にしてスタ
ンパを作製し、さらに基板を成形し、情報層を成膜し
て、記録可能な相変化型ＤＶＤを作製した。比較例１の
ディスクについて、実施例１と同様の評価を行ったとこ
ろ、１０回重ね書き（オーバーライト）記録した信号を
再生したときのジッターは７．６％であった。

【００５６】また、記録パワー１３．５ｍＷ、消去パワ
ー６．７ｍＷで、同一トラック上に１万回の繰り返し記
録を行って再生したときのジッターを測定したところ、
１３．７％であった。すなわちいずれのジッターも、実
施例１のほうが良好であった。おそらく、実施例１のグ
ルーブが側面の傾斜がゆるやかなのに対し、比較例１の
グルーブ側面は垂直に近いためと考えられる。

【００５７】

【発明の効果】以上述べたとおり、本発明によれば、記
録した信号の再生信号品質が向上した情報記録媒体及び
それに用いるスタンパを比較的簡便な工程で製造するこ
とができる。また、深さの異なる凹凸パターンを形成す
るに際し、これらの凹部の底面をいずれも平坦なものと
することができ、凹部の断面形状を略矩形にすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における原盤の製造方法の実施の形態
を示す模式的な厚み方向の断面図である。

【図２】従来例に係る方法を説明する断面図である。

【図３】情報記録媒体の一例を示す平面図である。

【図４】図３の表面の一部を著しく拡大して示す断面
斜視図である。

【図５】原盤の製造方法の従来例を説明する断面図で
ある。

【符号の説明】

１ガラス盤２１下層（感光層、第１フォトレジスト層）２２上層（被覆層、第２フォトレジスト層）２３中間層５０、５２露光領域５１凹部６１浅い凹部６２深い凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ２３Ｃ 14/14 Ｃ２３Ｃ 14/14 ＦＧ 14/20 14/20 ＡＢ 14/34 14/34 Ｐ 14/58 14/58 ＤＣ２５Ｄ 1/00 ３２１Ｃ２５Ｄ 1/00 ３２１ // Ｂ２９Ｌ 17:00 Ｂ２９Ｌ 17:00 Ｆターム(参考） 4F202 CA11 CD02 CD22 4K029 AA09 AA11 BA12 BA21 BA50 BB02 BC06 BD11 CA05 FA01 GA03 HA07 5D121 AA02 BB04 BB06 BB07 BB22 BB32 CA01 CA03 CB01 CB03 CB08 GG02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基体上に感光層を設け、該感光層にレー
ザービームスポットを照射してパターンの潜像を形成し
たのち現像することによって該基体表面に第１の凹凸パ
ターンを形成した後、該感光層上に被覆層を成膜することによって該被覆層表
面に該第１の凹凸パターンより浅い第２の凹凸パターン
が形成された原盤を得、さらに該原盤の被覆層の表面に金属層を形成し、該金属
層を分離してスタンパを得ることを特徴とする、情報記
録媒体用スタンパの製造方法。
【請求項２】前記被覆層の厚さが１０ｎｍ以上２００
ｎｍ以下である、請求項１に記載の情報記録媒体用スタ
ンパの製造方法。
【請求項３】前記被覆層が、被覆層材料を溶媒に溶解
して塗布することにより成膜され、かつ、該溶媒が前記
感光層を溶解しないものである、請求項１又は２に記載
の情報記録媒体用スタンパの製造方法。
【請求項４】前記感光層上に中間層を形成した後、前
記被覆層を形成する、請求項１乃至３に記載の情報記録
媒体用スタンパの製造方法。
【請求項５】前記中間層が金属からなる、請求項４に
記載の情報記録媒体用スタンパの製造方法。
【請求項６】前記中間層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎ
ｍ以下である、請求項４又は５に記載の情報記録媒体用
スタンパの製造方法。
【請求項７】前記被覆層が感光性材料からなり、該被
覆層に、レーザービームスポットを照射してパターンの
潜像を形成したのち現像することによって、第３の凹凸
パターンを形成する、請求項１乃至６のいずれかに記載
の情報記録媒体用スタンパの製造方法。
【請求項８】前記被覆層表面に導電層を形成したのち
金属をメッキし、次いで導電層と原盤とを分離してメッ
キ層及び導電層よりなるスタンパを得る、請求項１乃至
７のいずれかに記載の情報記録媒体用スタンパの製造方
法。
【請求項９】前記導電層が、導電材料のスパッタリン
グにより形成される、請求項８に記載の情報記録媒体用
スタンパの製造方法。
【請求項１０】上記中間層及び導電層がともにスパッ
タリングにより形成され、かつ、中間層のスパッタリン
グのほうが真空排気時間が長い、請求項４乃至９のいず
れかに記載の情報記録媒体用スタンパの製造方法。
【請求項１１】請求項１乃至１０のいずれかに記載の
方法により製造した情報記録媒体用スタンパの表面形状
を転写した基板を作製し、そののち該基板上に少なくと
も記録層を含む情報層を形成することを特徴とする情報
記録媒体の製造方法。