JP2002148021A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JP2002148021A JP2002148021A JP2000347635A JP2000347635A JP2002148021A JP 2002148021 A JP2002148021 A JP 2002148021A JP 2000347635 A JP2000347635 A JP 2000347635A JP 2000347635 A JP2000347635 A JP 2000347635A JP 2002148021 A JP2002148021 A JP 2002148021A
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- Japan
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- input
- temperature
- refractive index
- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度や気圧等のパラメータを容易に変更可能
にして、高精度で位置決めを行うことができる位置決め
装置を実現することを目的とする。 【解決手段】 レーザ干渉計を位置センサとして用い、
位置指令値と前記レーザ干渉計の検出位置との偏差をも
とに対象物の位置決めを行う位置決め装置において、外
部ターミナルの画面から気温、気圧等のパラメータを入
力すると、入力された値をもとに空気屈折率を求め、求
めた空気屈折率をもとに位置指令値に対して補正演算を
行う。
にして、高精度で位置決めを行うことができる位置決め
装置を実現することを目的とする。 【解決手段】 レーザ干渉計を位置センサとして用い、
位置指令値と前記レーザ干渉計の検出位置との偏差をも
とに対象物の位置決めを行う位置決め装置において、外
部ターミナルの画面から気温、気圧等のパラメータを入
力すると、入力された値をもとに空気屈折率を求め、求
めた空気屈折率をもとに位置指令値に対して補正演算を
行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ干渉計を位
置センサとして用いた位置決め装置に関するものであ
る。更に詳しくは、温度、気圧等のパラメータを容易に
変更可能にして、高精度な位置決めを行うことができる
位置決め装置に関するものである。
置センサとして用いた位置決め装置に関するものであ
る。更に詳しくは、温度、気圧等のパラメータを容易に
変更可能にして、高精度な位置決めを行うことができる
位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【０００３】図４はレーザ干渉計の構成例を示した図で
ある。このレーザ干渉計は本出願人による特願平１１−
３０８７９７号の出願明細書に記載されたレーザ干渉計
である。図４で、スライダ部７０には位置決め対象物
（図示せず）が搭載されている。スライダ部７０はリニ
アモータ（図示せず）によりｅ−ｅ´方向に移動する。
ミラー７１は位置が固定されている。レーザ光源７２は
レーザ光を出射する。レーザ光源７２の出射光の光路に
は、ミラー７３，７４、ハーフミラー７５、偏向ビーム
スプリッタ（ＰＢＳとする）７６、λ／４板７７、コー
ナーキューブ７８が配置されている。
ある。このレーザ干渉計は本出願人による特願平１１−
３０８７９７号の出願明細書に記載されたレーザ干渉計
である。図４で、スライダ部７０には位置決め対象物
（図示せず）が搭載されている。スライダ部７０はリニ
アモータ（図示せず）によりｅ−ｅ´方向に移動する。
ミラー７１は位置が固定されている。レーザ光源７２は
レーザ光を出射する。レーザ光源７２の出射光の光路に
は、ミラー７３，７４、ハーフミラー７５、偏向ビーム
スプリッタ（ＰＢＳとする）７６、λ／４板７７、コー
ナーキューブ７８が配置されている。
【０００４】レーザ光源７２から出た光には、ハーフミ
ラー７５、ミラー７４、ミラー７３、ハーフミラー７５
の経路で進み、図のｂ方向に進む光がある。この光を
の光とする。また、レーザ光源７２から出た光には、ハ
ーフミラー７５、ＰＢＳ７６、λ／４板７７、ミラー７
１、λ／４板７７、ＰＢＳ７６、コーナーキューブ７
８、λ／４板７７、Ｘ軸ミラー７１、λ／４板７７、Ｐ
ＢＳ７６、ハーフミラー７５の経路で進み、図のｂ方向
に進む光がある。この光をの光とする。
ラー７５、ミラー７４、ミラー７３、ハーフミラー７５
の経路で進み、図のｂ方向に進む光がある。この光を
の光とする。また、レーザ光源７２から出た光には、ハ
ーフミラー７５、ＰＢＳ７６、λ／４板７７、ミラー７
１、λ／４板７７、ＰＢＳ７６、コーナーキューブ７
８、λ／４板７７、Ｘ軸ミラー７１、λ／４板７７、Ｐ
ＢＳ７６、ハーフミラー７５の経路で進み、図のｂ方向
に進む光がある。この光をの光とする。
【０００５】ミラー７４はレーザ光源７２の光軸と４５
°の角度をなして配置されている。これに対して、ミラ
ー７５はレーザ光源７２の光軸と４５°＋θａの角度を
なして配置されている。ミラー７５の配置角度がθａだ
けずれていることにより、の光の波面がの光の波面
に対してθａだけずれる。これによって、の光との
光が干渉して干渉縞Ｓを作る。フォトダイオードアレイ
（ＰＤＡとする）７９は干渉縞Ｓを検出する。ＰＤＡ７
９は４個のフォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄからなる。
４個のフォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄは干渉縞Ｓの１
ピッチ内に配置されている。各フォトダイオード７９Ａ
〜７９Ｄはｐ／４（ｐは干渉縞のピッチ）ずつずらして
配置されている。干渉縞のピッチｐ＝λ／θａ（λはレ
ーザ光の波長）となる。
°の角度をなして配置されている。これに対して、ミラ
ー７５はレーザ光源７２の光軸と４５°＋θａの角度を
なして配置されている。ミラー７５の配置角度がθａだ
けずれていることにより、の光の波面がの光の波面
に対してθａだけずれる。これによって、の光との
光が干渉して干渉縞Ｓを作る。フォトダイオードアレイ
（ＰＤＡとする）７９は干渉縞Ｓを検出する。ＰＤＡ７
９は４個のフォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄからなる。
４個のフォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄは干渉縞Ｓの１
ピッチ内に配置されている。各フォトダイオード７９Ａ
〜７９Ｄはｐ／４（ｐは干渉縞のピッチ）ずつずらして
配置されている。干渉縞のピッチｐ＝λ／θａ（λはレ
ーザ光の波長）となる。
【０００６】減算器８０は、（フォトダイオード７９Ａ
の検出信号）−（フォトダイオード７９Ｃの検出信号）
なる演算を行う。減算器８１は、（フォトダイオード７
９Ｂの検出信号）−（フォトダイオード７９Ｄの検出信
号）なる演算を行う。
の検出信号）−（フォトダイオード７９Ｃの検出信号）
なる演算を行う。減算器８１は、（フォトダイオード７
９Ｂの検出信号）−（フォトダイオード７９Ｄの検出信
号）なる演算を行う。
【０００７】スライダ部７０が移動すると、これに伴っ
て干渉縞がのｄ−ｄ´方向に動く。干渉縞が動くと各フ
ォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄに当る干渉縞の明暗部分
が動き、フォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄの検出値が変
化する。これをもとにスライダ部７０の位置を検出す
る。
て干渉縞がのｄ−ｄ´方向に動く。干渉縞が動くと各フ
ォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄに当る干渉縞の明暗部分
が動き、フォトダイオード７９Ａ〜７９Ｄの検出値が変
化する。これをもとにスライダ部７０の位置を検出す
る。
【０００８】干渉縞がｄ方向に移動したときは、フォト
ダイオードの出力ＶA〜ＶDは次のとおりになる。 ＶA＝Ｋ［１＋ｍｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶB＝Ｋ［１＋ｍｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶC＝Ｋ［１−ｍｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶD＝Ｋ［１−ｍｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ｘｅ：検出対象の距離、Ｋ，ｍ：係数、Ｋn：ノイズ成
分
ダイオードの出力ＶA〜ＶDは次のとおりになる。 ＶA＝Ｋ［１＋ｍｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶB＝Ｋ［１＋ｍｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶC＝Ｋ［１−ｍｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ＶD＝Ｋ［１−ｍｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝］
＋Ｋn ｘｅ：検出対象の距離、Ｋ，ｍ：係数、Ｋn：ノイズ成
分
【０００９】減算器８０と８１の減算信号は次のとおり
になる。 ＶA−ＶC＝２ｍＫｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝ ＶB−ＶD＝２ｍＫｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝ 減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Ｋ
nがキャンセルされる。信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDが前述
したＡ相パルスとＢ相パルスに変換される。干渉縞がｄ
´方向に動いたときは、信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDの位相
関係は逆転する。
になる。 ＶA−ＶC＝２ｍＫｓｉｎ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝ ＶB−ＶD＝２ｍＫｃｏｓ｛ｘｅ・２π／（λ／４）｝ 減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Ｋ
nがキャンセルされる。信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDが前述
したＡ相パルスとＢ相パルスに変換される。干渉縞がｄ
´方向に動いたときは、信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDの位相
関係は逆転する。
【００１０】コンパレータ８２，８３は減算器８０と８
１の減算信号からＡ相パルスとＢ相パルスを生成する。
方向判別回路８４は、Ａ相パルスとＢ相パルスの位相関
係からスライダ部の移動方向を判別し、判別結果に応じ
てアップパルスまたはダウンパルスを発生する。
１の減算信号からＡ相パルスとＢ相パルスを生成する。
方向判別回路８４は、Ａ相パルスとＢ相パルスの位相関
係からスライダ部の移動方向を判別し、判別結果に応じ
てアップパルスまたはダウンパルスを発生する。
【００１１】アップダウンカウンタ８５はアップパルス
またはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウ
ンカウントを行う。アップダウンカウンタ８５のカウン
トがスライダ部の検出位置になる。基準位置でのアップ
ダウンカウンタ３０の値を０に設定し、アップカウント
またはダウンカウントを行って位置を検出する。このよ
うにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
またはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウ
ンカウントを行う。アップダウンカウンタ８５のカウン
トがスライダ部の検出位置になる。基準位置でのアップ
ダウンカウンタ３０の値を０に設定し、アップカウント
またはダウンカウントを行って位置を検出する。このよ
うにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
【００１２】レーザ干渉計を位置センサとして用いた位
置決め装置では、測長のためにレーザ光を用いている。
レーザ干渉計では、長さを決める基準はレーザ光の波長
（レーザ波長）である。気温や気圧が変化することによ
り、空気屈折率が変化すると、その空気中を伝播するレ
ーザ波長も変わる。従来の位置決め装置では、装置自身
の位置決め分解能がレーザ波長に比して大きいために、
レーザ波長の補正は省略したものがあった。この従来例
では、温度変化や気圧変化があると高精度な位置決めを
補償できなくなるという問題点があった。
置決め装置では、測長のためにレーザ光を用いている。
レーザ干渉計では、長さを決める基準はレーザ光の波長
（レーザ波長）である。気温や気圧が変化することによ
り、空気屈折率が変化すると、その空気中を伝播するレ
ーザ波長も変わる。従来の位置決め装置では、装置自身
の位置決め分解能がレーザ波長に比して大きいために、
レーザ波長の補正は省略したものがあった。この従来例
では、温度変化や気圧変化があると高精度な位置決めを
補償できなくなるという問題点があった。
【００１３】これを解決するために、レーザ干渉計の測
長結果に対して、付属の温度計や気圧計で温度や気圧を
測定した結果をもとに、補正演算を行っていた。しか
し、このやり方では補正に手間がかかる。
長結果に対して、付属の温度計や気圧計で温度や気圧を
測定した結果をもとに、補正演算を行っていた。しか
し、このやり方では補正に手間がかかる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、外部ターミナ
ルの画面から気温、気圧等のパラメータを入力すると、
位置指令値に対して補正演算を行うことによって、温度
や気圧等のパラメータを容易に変更可能にして、高精度
で位置決めを行うことができる位置決め装置を実現する
ことを目的とする。
点を解決するためになされたものであり、外部ターミナ
ルの画面から気温、気圧等のパラメータを入力すると、
位置指令値に対して補正演算を行うことによって、温度
や気圧等のパラメータを容易に変更可能にして、高精度
で位置決めを行うことができる位置決め装置を実現する
ことを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になった位置決め装置である。
成になった位置決め装置である。
【００１６】（１）レーザ干渉計を用いて対象物の位置
決めを行う位置決め装置において、気温と気圧の少なく
とも一方を入力する入力手段と、この入力手段から入力
された値をもとに位置指令値を補正する補正手段と、を
有することを特徴とする位置決め装置。
決めを行う位置決め装置において、気温と気圧の少なく
とも一方を入力する入力手段と、この入力手段から入力
された値をもとに位置指令値を補正する補正手段と、を
有することを特徴とする位置決め装置。
【００１７】（２）レーザ干渉計を位置センサとして用
い、位置指令値と前記レーザ干渉計の検出位置との偏差
をもとに対象物の位置決めを行う位置決め装置におい
て、画面上に気温と気圧の少なくとも一方の入力エリア
を設けた入力画面を表示する表示手段と、前記入力画面
から気温と気圧の少なくとも一方を入力する入力手段
と、この入力手段から入力された値をもとに空気屈折率
を求め、求めた空気屈折率をもとに位置指令値を補正す
る補正手段と、を有することを特徴とする位置決め装
置。
い、位置指令値と前記レーザ干渉計の検出位置との偏差
をもとに対象物の位置決めを行う位置決め装置におい
て、画面上に気温と気圧の少なくとも一方の入力エリア
を設けた入力画面を表示する表示手段と、前記入力画面
から気温と気圧の少なくとも一方を入力する入力手段
と、この入力手段から入力された値をもとに空気屈折率
を求め、求めた空気屈折率をもとに位置指令値を補正す
る補正手段と、を有することを特徴とする位置決め装
置。
【００１８】（３）気温と気圧の少なくとも一方と空気
屈折率を対応させた補正テーブルを設け、前記補正手段
は、前記入力手段から入力された値に対応する空気屈折
率を前記補正テーブルから読み出し、読み出した空気屈
折率をもとに位置指令値を補正することを特徴とする
（２）記載の位置決め装置。
屈折率を対応させた補正テーブルを設け、前記補正手段
は、前記入力手段から入力された値に対応する空気屈折
率を前記補正テーブルから読み出し、読み出した空気屈
折率をもとに位置指令値を補正することを特徴とする
（２）記載の位置決め装置。
【００１９】（４）前記表示手段は、画面上に気温、気
圧、湿度の少なくとも１つ以上の入力エリアを設けた入
力画面を表示し、前記入力手段は、気温、気圧、湿度の
少なくとも１つ以上を入力画面から入力することを特徴
とする（２）記載の位置決め装置。
圧、湿度の少なくとも１つ以上の入力エリアを設けた入
力画面を表示し、前記入力手段は、気温、気圧、湿度の
少なくとも１つ以上を入力画面から入力することを特徴
とする（２）記載の位置決め装置。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明が適用されるシステムの構成例
を示した図である。図１で、ＸＹステージ１は対象物を
２次元方向に位置決めする。スライダ１１は位置決め対
象物が載せられ、圧縮空気によりステージ１２上に浮揚
している。スライダ１１には、スライダを２次元方向に
移動させるためのリニアモータ（図示せず）と、スライ
ダの位置を検出するためのレーザ干渉計（図示せず）が
搭載されている。
説明する。図１は本発明が適用されるシステムの構成例
を示した図である。図１で、ＸＹステージ１は対象物を
２次元方向に位置決めする。スライダ１１は位置決め対
象物が載せられ、圧縮空気によりステージ１２上に浮揚
している。スライダ１１には、スライダを２次元方向に
移動させるためのリニアモータ（図示せず）と、スライ
ダの位置を検出するためのレーザ干渉計（図示せず）が
搭載されている。
【００２１】ステージ１２はスライダ１１が移動する部
分である。ステージ１２は高精度な平面加工によって仕
上げられている。ステージ１２の縁にはレーザ干渉計か
ら出たレーザ光を反射するための２個のミラー１３，１
４が設置されている。一方のミラーはＸ軸方向に延び、
他方のミラーはＹ軸方向に延びている。
分である。ステージ１２は高精度な平面加工によって仕
上げられている。ステージ１２の縁にはレーザ干渉計か
ら出たレーザ光を反射するための２個のミラー１３，１
４が設置されている。一方のミラーはＸ軸方向に延び、
他方のミラーはＹ軸方向に延びている。
【００２２】ＸＹサーボドライバ２は、スライダ１１を
制御するためのＣＰＵを実装したコントロール・ボード
と、スライダ１１に搭載されたリニアモータを駆動する
ためのドライバ・ボードとを内蔵している。パソコン３
は、ＸＹサーボドライバ２内のコントロール・ボードに
対して、シリアル通信を介して制御コマンドの送信、ス
テータスの受信を行うためのターミナルである。パルス
発生コントローラ４は、スライダ１１に搭載されたリニ
アモータに対して、位置指令をパルス信号により与え
る。
制御するためのＣＰＵを実装したコントロール・ボード
と、スライダ１１に搭載されたリニアモータを駆動する
ためのドライバ・ボードとを内蔵している。パソコン３
は、ＸＹサーボドライバ２内のコントロール・ボードに
対して、シリアル通信を介して制御コマンドの送信、ス
テータスの受信を行うためのターミナルである。パルス
発生コントローラ４は、スライダ１１に搭載されたリニ
アモータに対して、位置指令をパルス信号により与え
る。
【００２３】図２は本発明にかかる位置決め装置の一実
施例を示した構成図である。図２で、表示手段３１は、
画面上に気温と気圧の少なくとも一方の入力エリアを設
けた入力画面を表示する。表示手段３１はパソコン３の
表示装置の部分に相当する。入力手段３２は、入力画面
から気温と気圧の少なくとも一方を入力する。入力手段
３２は、パソコン３に設けたキーボード、マウス等に相
当する。
施例を示した構成図である。図２で、表示手段３１は、
画面上に気温と気圧の少なくとも一方の入力エリアを設
けた入力画面を表示する。表示手段３１はパソコン３の
表示装置の部分に相当する。入力手段３２は、入力画面
から気温と気圧の少なくとも一方を入力する。入力手段
３２は、パソコン３に設けたキーボード、マウス等に相
当する。
【００２４】指令値算出手段２１は、パルス発生コント
ローラ４から与えられた位置指令パルスのパルス数から
位置指令値を算出する。補正手段２２は、入力手段３２
から入力された気温や気圧から空気屈折率を求め、求め
た空気屈折率をもとに位置指令値を補正する。
ローラ４から与えられた位置指令パルスのパルス数から
位置指令値を算出する。補正手段２２は、入力手段３２
から入力された気温や気圧から空気屈折率を求め、求め
た空気屈折率をもとに位置指令値を補正する。
【００２５】図３は入力画面の一例を示した図である。
図３に示すように入力画面には気温と気圧の入力エリア
５０と５１が設けられている。この入力エリア５０，５
１に気温と気圧の値を入力し、設定ボタン５２をクリッ
クすると、入力操作が完了する。
図３に示すように入力画面には気温と気圧の入力エリア
５０と５１が設けられている。この入力エリア５０，５
１に気温と気圧の値を入力し、設定ボタン５２をクリッ
クすると、入力操作が完了する。
【００２６】図２の位置決め装置の動作を説明する。真
空中におけるレーザ光の波長をλｖ、空気中におけるレ
ーザ光の波長をλａ、空気屈折率をｎとすると、波長λ
ａは次式で与えられる。 λａ＝λｖ／ｎ （１） 波長λｖは既知の値である。空気屈折率ｎと，気圧ｐ，
気温ｔとの関係は次式のようになる。 ｎ＝{0.00104125p(ns−1)／(1+0.003671t)}＋１ （２ ） ここで、ｎｓは標準状態（気温１５℃、気圧１０１３ｈ
Ｐａ）における空気屈折率で、既知の値である。
空中におけるレーザ光の波長をλｖ、空気中におけるレ
ーザ光の波長をλａ、空気屈折率をｎとすると、波長λ
ａは次式で与えられる。 λａ＝λｖ／ｎ （１） 波長λｖは既知の値である。空気屈折率ｎと，気圧ｐ，
気温ｔとの関係は次式のようになる。 ｎ＝{0.00104125p(ns−1)／(1+0.003671t)}＋１ （２ ） ここで、ｎｓは標準状態（気温１５℃、気圧１０１３ｈ
Ｐａ）における空気屈折率で、既知の値である。
【００２７】指令値算出手段２１は、パルス発生コント
ローラ４から与えられた位置指令パルスのパルス数を、
レーザ光の波長単位に換算している。例えば、１個の位
置指令パルスは０．１μｍで、５０個のパルスが与えら
れたとする。このとき、移動距離は５μｍである。指令
値算出手段２１は５μｍの長さがレーザ光の基準波長の
何波長分に相当するかに換算する。そして、次式に従っ
て位置指令値を求める。 （位置指令値）＝（レーザ光の基準波長の数）×（１／ｎ）×λｖ （３） ここで、入力手段３２により気圧ｐ，気温ｔの値が入力
されると、補正手段２２は入力された値をもとに（２）
式から空気屈折率ｎを求める。そして、求めたｎの値を
（３）式に代入して位置指令値を算出する。このように
して補正手段２２は、気温や気圧の変化に応じて空気屈
折率ｎを補正し、補正したｎの値で位置指令値を補正す
る。
ローラ４から与えられた位置指令パルスのパルス数を、
レーザ光の波長単位に換算している。例えば、１個の位
置指令パルスは０．１μｍで、５０個のパルスが与えら
れたとする。このとき、移動距離は５μｍである。指令
値算出手段２１は５μｍの長さがレーザ光の基準波長の
何波長分に相当するかに換算する。そして、次式に従っ
て位置指令値を求める。 （位置指令値）＝（レーザ光の基準波長の数）×（１／ｎ）×λｖ （３） ここで、入力手段３２により気圧ｐ，気温ｔの値が入力
されると、補正手段２２は入力された値をもとに（２）
式から空気屈折率ｎを求める。そして、求めたｎの値を
（３）式に代入して位置指令値を算出する。このように
して補正手段２２は、気温や気圧の変化に応じて空気屈
折率ｎを補正し、補正したｎの値で位置指令値を補正す
る。
【００２８】レーザ干渉計の信号処理回路では、気温や
気圧の変化に関わらず一定のレーザ波長をもとに位置を
算出している。これに対してＸＹサーボドライバ２で
は、気温や気圧の変化に応じて位置指令値を補正してい
る。これによって、気温や気圧が変化しても高精度な位
置決めを確保している。
気圧の変化に関わらず一定のレーザ波長をもとに位置を
算出している。これに対してＸＹサーボドライバ２で
は、気温や気圧の変化に応じて位置指令値を補正してい
る。これによって、気温や気圧が変化しても高精度な位
置決めを確保している。
【００２９】なお、気温と気圧の少なくとも一方と空気
屈折率を対応させた補正テーブルを設けてもよい。この
場合は、補正手段２２は、入力手段３２から入力された
値に対応する空気屈折率を補正テーブルから読み出し、
読み出した空気屈折率をもとに位置指令値を補正する。
屈折率を対応させた補正テーブルを設けてもよい。この
場合は、補正手段２２は、入力手段３２から入力された
値に対応する空気屈折率を補正テーブルから読み出し、
読み出した空気屈折率をもとに位置指令値を補正する。
【００３０】また、入力手段は、気温、気圧、湿度の少
なくとも１つ以上を入力画面から入力し、補正手段は入
力された値から位置指令値を補正する構成にしてもよ
い。
なくとも１つ以上を入力画面から入力し、補正手段は入
力された値から位置指令値を補正する構成にしてもよ
い。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。
【００３２】請求項１記載の発明では、気温、気圧等の
パラメータを入力すると、位置指令値に対して補正演算
を行う。これによって、温度や気圧等のパラメータを容
易に変更可能にして、高精度で位置決めを行うことがで
きる。
パラメータを入力すると、位置指令値に対して補正演算
を行う。これによって、温度や気圧等のパラメータを容
易に変更可能にして、高精度で位置決めを行うことがで
きる。
【００３３】請求項２記載の発明では、外部ターミナル
の画面から気温、気圧等のパラメータを入力すると、位
置指令値に対して補正演算を行う。これによって、温度
や気圧等のパラメータを容易に変更可能にして、高精度
で位置決めを行うことができる。
の画面から気温、気圧等のパラメータを入力すると、位
置指令値に対して補正演算を行う。これによって、温度
や気圧等のパラメータを容易に変更可能にして、高精度
で位置決めを行うことができる。
【００３４】請求項３記載の発明では、気温と気圧の少
なくとも一方と空気屈折率を対応させた補正テーブルを
設け、補正テーブルから空気屈折率を直接読み出してい
る。これによって、補正演算の時間が不要になるため、
気温や気圧の変化に迅速に対応できる。
なくとも一方と空気屈折率を対応させた補正テーブルを
設け、補正テーブルから空気屈折率を直接読み出してい
る。これによって、補正演算の時間が不要になるため、
気温や気圧の変化に迅速に対応できる。
【００３５】請求項４記載の発明では、気温や気圧だけ
でなく湿度も考慮して位置決めを行うことができる。
でなく湿度も考慮して位置決めを行うことができる。
【図１】本発明が適用されるシステムの構成例を示した
図である。
図である。
【図２】本発明にかかる位置決め装置の一実施例を示し
た構成図である。
た構成図である。
【図３】入力画面の一例を示した図である。
【図４】レーザ干渉計の構成例を示した図である。
２１ 指令値算出手段 ２２ 補正手段 ３１ 表示手段 ３２ 入力手段
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ干渉計を用いて対象物の位置決め
を行う位置決め装置において、 気温と気圧の少なくとも一方を入力する入力手段と、 この入力手段から入力された値をもとに位置指令値を補
正する補正手段と、を有することを特徴とする位置決め
装置。 - 【請求項２】 レーザ干渉計を位置センサとして用い、
位置指令値と前記レーザ干渉計の検出位置との偏差をも
とに対象物の位置決めを行う位置決め装置において、 画面上に気温と気圧の少なくとも一方の入力エリアを設
けた入力画面を表示する表示手段と、 前記入力画面から気温と気圧の少なくとも一方を入力す
る入力手段と、 この入力手段から入力された値をもとに空気屈折率を求
め、求めた空気屈折率をもとに位置指令値を補正する補
正手段と、を有することを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項３】 気温と気圧の少なくとも一方と空気屈折
率を対応させた補正テーブルを設け、 前記補正手段は、前記入力手段から入力された値に対応
する空気屈折率を前記補正テーブルから読み出し、読み
出した空気屈折率をもとに位置指令値を補正することを
特徴とする請求項２記載の位置決め装置。 - 【請求項４】 前記表示手段は、画面上に気温、気圧、
湿度の少なくとも１つ以上の入力エリアを設けた入力画
面を表示し、 前記入力手段は、気温、気圧、湿度の少なくとも１つ以
上を入力画面から入力することを特徴とする請求項２記
載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000347635A JP2002148021A (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000347635A JP2002148021A (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002148021A true JP2002148021A (ja) | 2002-05-22 |
Family
ID=18821330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000347635A Pending JP2002148021A (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | 位置決め装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002148021A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 2000-11-15 JP JP2000347635A patent/JP2002148021A/ja active Pending
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