JP2006343287A - 光学特性測定装置 - Google Patents
光学特性測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006343287A JP2006343287A JP2005171310A JP2005171310A JP2006343287A JP 2006343287 A JP2006343287 A JP 2006343287A JP 2005171310 A JP2005171310 A JP 2005171310A JP 2005171310 A JP2005171310 A JP 2005171310A JP 2006343287 A JP2006343287 A JP 2006343287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- output
- interference
- photodiode
- photodiodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明は、光源部からの光を分岐し、一方の分岐光を被測定対象に入力させ、この被測定対象から出力される出力光(信号光)に、他方の分岐光(参照光)を干渉させて被測定対象の光学特性を測定する光学特性測定装置に改良を加えたものである。本装置は、出力光の光軸と他方の分岐光の光軸とを傾けて合波させて干渉縞を形成する干渉部を設け、干渉縞の移動方向と移動量を測定することを特徴とするものである。
【選択図】 図1
Description
波長可変光源2は、光源部であり、所定の波長掃引速度で波長掃引しつつ、レーザ光を出力する。光ファイバ3は、波長可変光源2からのレーザ光を伝送する。レンズ4は、光ファイバ3から出射されたレーザ光を平行光にする。偏波コントローラ5は、レンズ4からの平行光を所望の偏光状態(例えば、直線偏光)に変換する。
被測定対象1にp偏光とs偏光それぞれを入力させるため、所定の波長範囲において2回波長掃引する。まず、1回目の波長掃引から説明する。
波長可変光源2が、所定の波長範囲において連続的に波長掃引しつつレーザ光を出力する。そして、光ファイバ3によって伝送されたレーザ光をレンズ4が平行光にし、偏波コントローラ5が、平行光になったレーザ光の偏光状態をp偏光に変換して干渉部6に出力する。
光源部からの光を分岐し、一方の分岐光を被測定対象に入力させ、この被測定対象から出力される出力光に、他方の分岐光を干渉させて前記被測定対象の光学特性を測定する光学特性測定装置において、
前記出力光の光軸と他方の分岐光の光軸とを傾けて合波させて干渉縞を形成する干渉部を設け、
前記干渉縞の移動方向と移動量を測定することを特徴とするものである。
複数のフォトダイオードを有し、前記干渉部からの干渉光を受光するフォトダイオードアレイと、
このフォトダイオードアレイの出力から位相のずれた干渉信号を生成する干渉信号変換部と
を設け、前記フォトダイオードは、前記干渉縞が形成される方向に沿って、ずらして配置されることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、
フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも4個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、前記干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明において、
干渉信号変換部は、
1番目のフォトダイオードの出力と3番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第1の干渉信号として出力し、
2番目のフォトダイオードの出力と4番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第2の干渉信号として出力することを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項2〜4のいずれかに記載の発明において、
前記干渉縞が形成される方向に沿って、前記フォトダイオードアレイを複数個設けたことを特徴とするものである。
請求項6記載の発明は、請求項2記載の発明において、
フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも(4×n)個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、前記干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光し、
干渉信号変換部は、
(4×(i−1)+1)番目のフォトダイオードの出力と(4×(i−1)+3)番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第1の干渉信号として出力し、
(4×(i−1)+2)番目のフォトダイオードの出力と(4×(i−1)+4)番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第2の干渉信号として出力し、
ただし、n、iは自然数であることを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項2〜6のいずれかに記載の発明において、
前記干渉縞の空間的な周期と前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードとの周期のずれを補正する補正手段を設けたことを特徴とするものである。
請求項1〜7によれば、被測定対象の出力光(信号光)の光軸に対して、他方の分岐光(参照光)の光軸をずらして合波させて干渉縞を形成させ、干渉縞の移動量と移動方向を測定する。すなわち、干渉縞は、合波される光(信号光と参照光)の位相差の増減に伴って所定の方向に移動する。これにより、合波される光の位相差の増減を容易に判断することができる。
[第1の実施例]
図1は、本発明の第1の実施例を示した構成図である。図2は、図1に示す装置の要部を詳細に示した図である。ここで、図6と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図1において、干渉部6の代わりに干渉部10が設けられる。また、フォトダイオード7、8の代わりに、フォトダイオードアレイ11、12が設けられる。そして、フォトダイオードアレイ11、12と演算部9との間に干渉信号変換部13、14が設けられる。
図6に示す装置と同様に、被測定対象1にp偏光とs偏光それぞれを入力させるため、所定の波長範囲において2回波長掃引する。まず、1回目の波長掃引から説明する。
まず1回目の波長掃引で、図6に示す装置と同様に、波長可変光源2から出力され、光ファイバ3、レンズ4、偏波コントローラ5を通過した平行光のレーザ光(p偏光)が、干渉部10に入力される。
図3は、本発明の第2の実施例を示した構成図である。ここで、図1、図2と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図3において、干渉部10からの干渉縞が形成される方向に沿って、フォトダイオードアレイ11、12が複数個設けられる。なお、図3においては、フォトダイオードアレイ11のみを図示し、フォトダイオードアレイ11側で説明する。
図1、図3に示す光学特性測定装置は、所定の波長においては、干渉縞の空間的周期とフォトダイオードアレイ11、12の周期とが一致するが、所定の波長から離れるほど周期が一致しなくなる。
波長可変光源2から、出力中のレーザ光の波長(例えば、[pm]単位でなく、[nm]単位の粗い精度でも構わない)が補正手段9aに入力される。そして、補正手段9aが、粗い精度の波長から、干渉縞の空間的な周期とフォトダイオードアレイ11、12のフォトダイオードP(1)〜P(4)との周期のずれを求める。
図1、図4に示す装置において、干渉部100として、マッハ・ツェンダ型の干渉計を設ける構成を示したが、どのような2光束干渉計を用いてもよく、例えば、マイケルソン型の干渉計でもよい。要は、信号光と参照光の波面を傾いた状態で合波させて直線状の干渉縞を発生させるものならばどのようなものでもよい。
2 波長可変光源
9a 補正手段
10 干渉部
11、12 フォトダイオードアレイ
P(1)〜P(4) フォトダイオード
13、14 干渉信号変換部
Claims (7)
- 光源部からの光を分岐し、一方の分岐光を被測定対象に入力させ、この被測定対象から出力される出力光に、他方の分岐光を干渉させて前記被測定対象の光学特性を測定する光学特性測定装置において、
前記出力光の光軸と他方の分岐光の光軸とを傾けて合波させて干渉縞を形成する干渉部を設け、
前記干渉縞の移動方向と移動量を測定することを特徴とする光学特性測定装置。 - 複数のフォトダイオードを有し、前記干渉部からの干渉光を受光するフォトダイオードアレイと、
このフォトダイオードアレイの出力から位相のずれた干渉信号を生成する干渉信号変換部と
を設け、前記フォトダイオードは、前記干渉縞が形成される方向に沿って、ずらして配置されることを特徴とする請求項1記載の光学特性測定装置。 - フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも4個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、前記干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光することを特徴とする請求項2記載の光学特性測定装置。 - 干渉信号変換部は、
1番目のフォトダイオードの出力と3番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第1の干渉信号として出力し、
2番目のフォトダイオードの出力と4番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第2の干渉信号として出力することを特徴とする請求項3記載の光学特性測定装置。 - 前記干渉縞が形成される方向に沿って、前記フォトダイオードアレイを複数個設けたことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の光学特性測定装置。
- フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを少なくとも(4×n)個有し、
前記フォトダイオードのそれぞれは、前記干渉縞の空間的な1周期を4等分して受光し、
干渉信号変換部は、
(4×(i−1)+1)番目のフォトダイオードの出力と(4×(i−1)+3)番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第1の干渉信号として出力し、
(4×(i−1)+2)番目のフォトダイオードの出力と(4×(i−1)+4)番目のフォトダイオードの出力とを減算した結果を第2の干渉信号として出力し、
ただし、n、iは自然数であることを特徴とする請求項2記載の光学特性測定装置。 - 前記干渉縞の空間的な周期と前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードとの周期のずれを補正する補正手段を設けたことを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の光学特性測定装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005171310A JP4835908B2 (ja) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | 光学特性測定装置 |
DE102006025122A DE102006025122A1 (de) | 2005-05-31 | 2006-05-30 | Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik |
US11/443,344 US7538885B2 (en) | 2005-05-31 | 2006-05-31 | Optical characteristic measuring apparatus |
US12/186,201 US7692796B2 (en) | 2005-05-31 | 2008-08-05 | Optical characteristic measuring apparatus |
US12/277,032 US7609386B2 (en) | 2005-05-31 | 2008-11-24 | Optical characteristic measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005171310A JP4835908B2 (ja) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | 光学特性測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006343287A true JP2006343287A (ja) | 2006-12-21 |
JP4835908B2 JP4835908B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=37640344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005171310A Expired - Fee Related JP4835908B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-06-10 | 光学特性測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4835908B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102983492A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 饱和吸收消多普勒加宽谱线的装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01187406A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Rikagaku Kenkyusho | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 |
JP2002148021A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-22 | Yokogawa Electric Corp | 位置決め装置 |
JP2002214049A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Ando Electric Co Ltd | 波長モニタ |
JP2003185408A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Nikon Corp | 干渉測定方法及び干渉測定装置、並びに投影レンズの製造方法及び投影露光装置 |
JP2004093460A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Olympus Corp | レンズ検査方法 |
JP2006300803A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Yokogawa Electric Corp | 波長モニタ |
JP2006337239A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Yokogawa Electric Corp | 光学特性測定装置 |
-
2005
- 2005-06-10 JP JP2005171310A patent/JP4835908B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01187406A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Rikagaku Kenkyusho | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 |
JP2002148021A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-22 | Yokogawa Electric Corp | 位置決め装置 |
JP2002214049A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Ando Electric Co Ltd | 波長モニタ |
JP2003185408A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Nikon Corp | 干渉測定方法及び干渉測定装置、並びに投影レンズの製造方法及び投影露光装置 |
JP2004093460A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Olympus Corp | レンズ検査方法 |
JP2006300803A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Yokogawa Electric Corp | 波長モニタ |
JP2006337239A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Yokogawa Electric Corp | 光学特性測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102983492A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 饱和吸收消多普勒加宽谱线的装置 |
CN102983492B (zh) * | 2012-12-05 | 2014-12-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 饱和吸收消多普勒加宽谱线的装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4835908B2 (ja) | 2011-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11114814B2 (en) | Relative phase measurement for coherent combining of laser beams | |
US10895477B2 (en) | Sine-cosine optical frequency encoder devices based on optical polarization properties | |
JP2010230653A (ja) | 光波干渉計測装置 | |
JP5550384B2 (ja) | 光波干渉計測装置 | |
US7675628B2 (en) | Synchronous frequency-shift mechanism in Fizeau interferometer | |
US8345258B2 (en) | Synchronous frequency-shift mechanism in fizeau interferometer | |
JPH0552540A (ja) | 干渉計レーザ表面粗さ計 | |
JP2006266797A (ja) | 光ヘテロダイン干渉装置 | |
US7692796B2 (en) | Optical characteristic measuring apparatus | |
JP2010261890A (ja) | 光波干渉計測装置 | |
JP2010038552A (ja) | 多波長干渉変位測定方法及び装置 | |
US20140160490A1 (en) | Interference measuring apparatus and interference measuring method | |
JP2021139890A (ja) | 非線形干渉計を用いた画像化または分光法のための方法 | |
JP4835908B2 (ja) | 光学特性測定装置 | |
JP2014149190A (ja) | 計測装置、計測方法、光源装置および物品の製造方法 | |
JP2006308531A (ja) | 波長分散測定方法および装置 | |
JP2023036027A (ja) | 計測システムで用いるためのヘテロダイン光源 | |
JP4600755B2 (ja) | 波長モニタ | |
JP4678587B2 (ja) | 光学特性測定装置 | |
JPH06317478A (ja) | 光波長・周波数検出装置 | |
Deck | High-performance multi-channel fiber-based absolute distance measuring interferometer system | |
WO2023135662A1 (ja) | 測定装置、測定方法、測定プログラム、及び記録媒体 | |
JP7329241B2 (ja) | ファブリペロー・エタロン、これを用いた波長変化量検出器、及び波長計 | |
US11215511B2 (en) | Wavefront detector | |
JP2013057619A (ja) | 計測装置および計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110315 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110901 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110914 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |