JP2002139643A - 光結合モジュール及びその光軸修正方法 - Google Patents

光結合モジュール及びその光軸修正方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光軸調整が容易な光結合モジュールとその光
軸調整方法を課題とする。 【解決手段】 光結合素子と入力光の光路を変更するプ
リズムとを備え、入力側に1以上の入力コリメータと出
力側に出力コリメータとを備えた光結合モジュールであ
って、上記コリメータの光軸が、光軸調整手段により調
整可能である。また、コリメータをモジュールに組み立
てた後、光学部品間の光損失をモニタしながら、一方の
光学部品の接合部周囲の任意の複数箇所に対して外力を
順次に加えることにより、光損失の低減が最大となるヒ
ット箇所を探しだし、その反対側の接合部の箇所にレー
ザを照射することによって光軸ずれを修正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、入力側と出力側
の少なくとも2つのコリメータを筒状体に固定したコリ
メータ間の光軸を調整できる光結合モジュールおよびそ
の光軸調整に関する。
【0002】
【従来の技術】少なくとも2つのコリメータと、その光
軸を合わせた状態で固定される筒状体112とを具えた
光結合モジュールとして、例えば図7に示すような構造
の光結合モジュール100があり、このモジュールの断
面を概略的に示してある。このモジュール100は、2
つの光入力側のコリメータ102および104からモジ
ュール100内に入力される光をそれぞれ、プリズム1
06および光結合器108を介して、光出力側のコリメ
ータ110に結合させるものである。
【0003】このようなモジュール100の製造に際し
ては、光入力側のコリメータ102および104と光出
力側のコリメータ110との光損失が最小限になるよう
に光軸を合わせる(調芯とも称する。)必要がある。一
方側のコリメータを筒状体112に固定した後、もう一
方側のコリメータを、光損失が最小限となる最適調芯位
置に調整する。
【0004】この後、コリメータ102、104または
110と筒状体112との接合部をレーザ溶接、例えば
YAGレーザを用いて溶接固定する。コリメータ10
2、104および110は、それぞれ、筒状体112に
形成された円筒空洞118、120および122内に挿
入して固定する。コリメータ102、104および11
0の外壁と円筒状空洞118、120および122の周
縁とが円形に線接触して、接合部を構成している。よっ
て接合部は円形であり、この円の円周上にレーザを12
〜15箇所、互いに等間隔となるように照射する。
【0005】この照射は、例えば、まず円周上の3点の
互いに等間隔な位置に同時に行われ、その後円周上で位
置をずらしてさらに3点同時に照射を行う。その後は、
位置をずらしながらさらに2回あるいは3回、3点での
照射を行うことにより、最終的に接合部の円周の12〜
15箇所で溶接固定することができる。これにより、コ
リメータが筒状体に固定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなレーザによる溶接固定では、レーザの照射位置
のずれやレーザパワーのばらつき、溶接部分の状態の違
い等によって、レーザの照射部分に生じる収縮が照射位
置によって異なる。このため、コリメータ102、10
4および110の角度が接合時に調整した最適調芯位置
よりもずれてしまうことが多い。よって、筒状体112
に固定した後の光入力側のコリメータ102および10
4と光出力側のコリメータ110との間では、光軸がず
れて光損失が増加してしまうという問題があった。
【0007】このため、光軸合わせを行った少なくとも
2つの光学部品の筒状体への溶接固定時に発生する光軸
ずれが生じない光結合モジュール、及び光軸を修正する
方法の出現が望まれていた。
【0008】
【課題を解決するための手段】発明の第1の態様は、下
記の構造を備えたことを特徴とする光結合モジュールで
ある。 (a)中間の空洞部(35)の光軸上に光結合素子(3
4)と入力光の光路を変更するプリズム(32)とを収
容し、入力側に1以上の入力コリメータ(14、16)
を収容する第1の円筒空洞(26)と、出力側に単数の
出力コリメータ(18)を収容する第2の円筒空洞を備
えた筒状体(12)と、(b)前記第2の円筒空洞(2
6)に収容されて固定される、出力コリメータ(18)
と、(c)前記第1の円筒空洞(26)に収容されて固
定される、1以上の入力コリメータ(14、16)であ
って、前記出力コリメータに対する光軸が、光軸調整手
段により調整可能である入力コリメータ(14、1
6)。
【0009】発明の第2の態様は、前記入力コリメータ
の光軸調整手段は、(a)前記筒状体の端面に溶接され
る端面と反対側の端面が球面を形成するリング(38)
と、(b)前記シリンダの中間に設けられた先端(4
0)が平面であるフランジ(42)であって、前記リン
グの球面(38a)に線接触させた後、更に、前記リン
グに溶接されるフランジと、から構成されることを特徴
とする光結合モジュールである。
【0010】発明の第3の態様は、前記溶接はレーザ溶
接であることを特徴とする光結合モジュールである。
【0011】発明の第4の態様は、前記レーザ溶接は、
YAGレーザ溶接又はエキシマレーザ溶接であることを
特徴とする光結合モジュールである。
【0012】発明の第5の態様は、光の入力強度と出力
強度とを測定して、両者の減衰が最小になるように、前
記溶接されたことを特徴とする光結合モジュールであ
る。
【0013】発明の第6の態様は、前記溶接後、再度入
力強度と出力強度とを測定して、両者の減衰が最小にな
るように、溶接されたことを特徴とする光結合モジュー
ルである。
【0014】発明の第7の態様は、下記の工程を備えた
ことを特徴とする光結合モジュールの光軸調整方法であ
る。(a)中間の空洞部(35)の光軸上に光結合素子
(34)と入力光の光路を変更するプリズム(32)と
を収容し、入力側に1以上の入力コリメータ(14、1
6)を収容する第1の円筒空洞(26)と、出力側に単
数の出力コリメータ(18)を収容する第2の円筒空洞
を備えた筒状体(12)を用意し、(b)前記第2の円
筒空洞(26)にシリンダ内に,出力コリメータ(1
8)を装入して、前記筒状体と溶接して固定し、(c)
次いで、前記第1の円筒空洞(26)に、入力コリメー
タ(14、16)を装入し、前記入力コリメータと前記
出力コリメータの光軸を、両者間の光の減衰量を測定し
て、その減衰量が最小となるように調整して固定する方
法である。
【0015】発明の第8の態様は、前記調整して固定す
る方法は、(a)前記筒状体(12)の端面に、端面
(38b)と反対側の端面が球面(38a)を形成するリ
ング(38)を点溶接し、(b)次いで、前記シリンダ
の中間に設けられたフランジ(42)の先端(40)
を、前記リングの球面(38a)に接触させ、前記フラ
ンジ(42)に対するリング(38)の角度の調整して
点溶接する、ことを特徴とする光結合モジュールの光軸
調整方法である。
【0016】発明の第9の態様は、前記固定は、複数回
行なうことを特徴とする光結合モジュールの光軸調整方
法である。
【0017】発明の第10の態様は、前記固定のうち第
2回以降の固定は、(a)光入力側および光出力側の前
記コリメータ間の光損失をモニタしながら、一方のコリ
メータの接合部周囲の任意の複数箇所に対して外力を順
次に加えることにより、光損失の低減が最大になるヒッ
ト箇所を探し出し、(b)次いで、前記ヒット箇所のコ
リメータを挟んで180度反対側の箇所(80)に点溶
接する、ことを特徴とする光結合モジュールの光軸調整
方法である。
【0018】発明の第11の態様は、前記点溶接は、レ
ーザ溶接で行うことを特徴とする光結合モジュールの光
軸調整方法である。
【0019】発明の第12の態様は、前記レーザ溶接
は、YAGレーザ又はエキシマレーザであることを特徴
とする光結合モジュールの光軸調整方法である。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図を参照してこの発明の実
施の形態につき説明する。なお、各図は発明を理解でき
る程度に各構成成分の形状、大きさおよび配置関係を概
略的に示してあるに過ぎず、したがってこの発明を図示
例に限定するものではない。また、図において、図を分
かり易くするために断面を示すハッチング(斜線)は一
部分を除き省略してある。この実施の形態では、光入力
側のコリメータおよび光出力側のコリメータを備えた光
結合モジュールの例と、その光軸修正方法につき、より
詳しく説明する。図1はこの実施形態の光結合モジュー
ルの概略的な構成の断面図である。
【0021】以下において、入力側のコリメータが2セ
ットの場合を述べるが、2セットに限定されず、3セッ
ト或いは4セットでも、筒状体内にコリメータ数に対応
する個数のプリズムを収容できれば、実施できることは
言うまでもない。
【0022】光結合モジュール10は、中間の円筒空洞
に光結合素子34と出力コリメータ18の光軸から変位
した入力コリメータ16の入力光の光軸を変更するプリ
ズム32を収容している筒状体12と、この筒状体12
に固定された入力コリメータ14、16および出力コリ
メータ18とを備えている。光結合素子は、例えば偏光
分離素子等である。また、プリズムは、異方性結晶のプ
リズムである。入力コリメータ14には第1入力ファイ
バ20が連結しており、出力コリメータ16には第2入
力ファイバ22が連結しており、出力コリメータ18に
は出力ファイバ24が連結されている。
【0023】筒状体12の入力側12aに形成された第
1円筒空洞26には、入力側の第1入力ファイバ20お
よび第2入力ファイバ22からそれぞれ筒状体12内に
入力する光を、このプリズム32および光結合素子34
を用いて合成した後、合成した光を出力ファイバ24に
結合させる作用が行われる。
【0024】この光モジュール10の組立ては、まず、
筒状体12の出力側12bの円筒空洞30に出力コリメ
ータ18を挿入した後、レーザ溶接、例えばYAG溶接
により固定する。次に、筒状体12の入力側12aに形
成された第1および第2円筒空洞26および28に、入
力コリメータ14および出力コリメータ16を、出力コ
リメータ18に光軸を合わせながら、それぞれ挿入した
後固定する。
【0025】この実施の形態では、筒状体12の入力側
12aの第1円筒空洞26と入力コリメータ14との接
合部は、以下に説明するような構造である。なお、第2
円筒空洞28と出力コリメータ16との接合部も同様の
構造である。図2は、コリメータと筒状体との接続部の
構造の拡大図であり、また、図3は、接続部の接続前の
状態を示した図である。
【0026】図2に示すように、コリメータ14は、シ
リンダ44と、その先端に設けられたコリメータレンズ
48と、他端に接続された光ファイバ20とから構成さ
れる。そして、第1円筒空洞26の端面26aに、リン
グ38の下面38bを溶接させる。このリング38の反
対側の面38aは所定の半径を有する球面を形成する。
【0027】他方、入力コリメータ14のシリンダ44
の中間には、先端40が平面であるフランジ42が設け
られ、前記リングの球面38aと線接触する。そして、
リング38の球面38aと入力コリメータ14のフラン
ジ42の先端40とは、レーザ溶接により固定される。
また、出力コリメータ16も入力コリメータ14と同様
に筒状体12の円筒空洞28の端部にリング38を介し
て溶接されて固定されている。
【0028】次に、コリメータの筒状体への接続は、次
のようにして行う。図3に示す構成例では、入力コリメ
ータ14は、円筒状シリンダ44と、このシリンダ44
内に具えられた空洞部46と、空洞部46に接続された
第1入力ファイバ20と、第1入力ファイバ20の反対
側に固定されたレンズ48とを具えている。更に、シリ
ンダの中間にフランジ42を備える。
【0029】リング38の球面38aは上記フランジ4
2の平面状である先端40と当接し、球面と線接触する
ので、コリメータのx軸(光軸)方向の向きを容易に調
整できる。このため、上記コリメータ間の光軸を合わせ
た状態で、これらのコリメータをそれぞれ筒状体に接合
させた後に、この接合部を溶接して光結合モジュールの
光学部品間の光軸ずれを修正する。具体的には、溶接後
に、コリメータ間の光損失をモニタしながら、レーザ溶
接を行うことが望ましい。
【0030】上記において、入力コリメータ14の筒状
体12への接続は、まず、入力コリメータ14を保持し
ている図示しない治具を用いて、入力コリメータ14
を、レンズ48側が、第1円筒空洞26の端部26aに
対向するように調節する。その後、第1円筒状空洞部の
端部26aを含む面におけるx軸およびy軸方向の筒状
体12の位置、x軸方向の筒状体12の角度およびy軸
方向の筒状体12の角度を、それぞれ筒状体12を保持
している図示しない治具を用いて、出力コリメータ18
に入力する光の損失が最小となるように調整する。すな
わち、入力コリメータ14と、出力コリメータ18との
光軸合わせを行う。
【0031】次に、リング38を、その球面38aが入
力コリメータ14と対向するようにして、第1円筒空洞
26の端面26aにセットする。このリング38の構造
を図4に示す。図4(A)は、リング38の断面図であ
り、図4(B)は、リングを上から見た平面図である。
【0032】図4(A)に示す、球面38aは、球50
を、その中心52を通る軸54に対して垂直な2つの面
56および58で切断して得られる。この球50の大き
さは、フランジ42の先端40が球面38aと常に接触
するように、フランジ42の先端40の面積の大きさに
応じて適宜設定する。
【0033】図5は、円筒空洞26にリング38を介し
てコリメータ14が接合した際におけるリング、フラン
ジの先端およびコリメータのシリンダのそれぞれの位置
関係、およびレーザヘッドの配置位置を概略的に示した
構成図であり、筒状体の入力側から見た平面図であり、
その一部に図2に示すZ−Z面での断面矢視図も示す。
【0034】図4(B)に示す、リング38の内側の円
38cは、入力コリメータ14または出力コリメータ1
6のシリンダ44の外周円45よりも大きく、フランジ
42の先端40で形成される円41よりも小さくなるよ
うにする。そして、リング38の球面38aと入力コリ
メータ14のフランジ42の先端面40とを接触させた
状態で、リング38と円筒空洞26の端部26aとの接
合部分を溶接し固定し、その後、球面38aと先端40
との接触部を溶接し固定する。
【0035】この例では、一度にリング38の外側の3
ヶ所(p、q、r)に対して等間隔にレーザを照射し、
点溶接を行なう。筒状体12の周囲に、レーザヘッド6
0を3台120°間隔で配置して、3方向から同時に照
射を行う。これにより、照射の衝撃による接合部の位置
ずれは最小限に抑えることができる。この照射を4〜5
回、照射箇所をずらしながら行うことによって、接合部
に12〜15ヶ所の溶接固定部分を形成することができ
る。レーザ溶接は、YAGレーザ又はエキシマレーザが
溶接部の面積が小さい。従って凝固収縮量が小なく溶接
後の変形が少ない点で望ましい。
【0036】その後、第1円筒空洞26に入力コリメー
タ14の光軸合わせを行った状態のまま挿入して、リン
グ38の球面38aと入力コリメータ14のフランジ4
2の先端40とを接合させる。その後、この球面38と
フランジ先端40との円形の接合部41に対して、12
〜15ヶ所、等間隔にレーザを照射して溶接を行う。こ
の溶接も、一度に3ヶ所(例えばx、y、z)に等間隔
にレーザを照射する処理を、照射位置をずらしながら4
〜5回行う。YAGレーザの場合には、照射エネルギー
を、例えば6.4Jとする。
【0037】また、出力コリメータ16も入力コリメー
タ14と同様にしてリング38を介して筒状体12の第
2円筒空洞28に溶接固定する。
【0038】しかしながら、溶接ビームの照射位置やパ
ワー、溶接箇所の状態によって照射による収縮の度合い
が、この12〜15ヶ所の溶接固定部分の中でも違って
くる。よって、入力コリメータ14および出力コリメー
タ16は光軸合わせを行った時点よりも傾いて固定され
ることがある。これにより、入力コリメータ14および
出力コリメータ18間、ならびに入力コリメータ16お
よび出力コリメータ18間の光の結合損失値は最大15
dB程度増加してしまうことがある。
【0039】このような場合には、再度コリメータの光
軸ずれを修正する方法を図6に示す。まず、光入力側お
よび光出力側のコリメータ間の光損失をモニタしなが
ら、一方のコリメータの接合部周囲の任意の複数箇所に
対して外力を順次に加えることにより、光損失の低減が
最大になるヒット箇所を探し出す。光損失は、例えばJ
IS C5901に規定する光伝送用受動部品試験方法
により行う。
【0040】この例では、入力コリメータ14または出
力コリメータ16のシリンダ周囲の任意の箇所に対し
て、例えば金属の棒を押しつけることによって外力を加
える。このように外力を加えながら、入力コリメータ1
4と16、及び出力コリメータ18との間の光損失をモ
ニタして、外力を加えたときに光損失が一番低減するヒ
ット箇所70を探し出す。
【0041】次に、光損失が一番低減するヒット箇所7
0とコリメータを挟んで180度反対側の箇所80に、
レーザを照射する。すなわち、溶接された接合部が円形
の場合には、ヒット箇所と直径方向に180度反対の側
の箇所にレーザを再照射することにより、接合部での光
軸ずれの再調整を行う。
【0042】レーザを照射した箇所80は、溶解して再
び固化する際に収縮する。よって、この収縮の力を利用
して、入力コリメータ14の溶接固定に起因する傾きを
修正する。なお、コリメータの光軸ずれの修正を行う場
合に、レーザの照射位置を接合部の決定された照射位置
の周辺で微妙に変化させて、照射実験を行ったところ、
レーザの照射エネルギーが同じであれば、フランジに対
して照射を行ったときに、最も修正能力が高くなること
が確認された。
【0043】また、実験により、光軸合わせを行った時
点の光損失値に対する溶接後の光損失値の増加分によっ
て、YAGレーザの照射エネルギーを変えて、光軸ずれ
の修正にかかる照射をより効率的に行うことを見出し
た。この光損失値の増加分に対する照射エネルギーの最
適値を下記表1に示す。
【0044】
【表1】
【0045】表1によれば、光損失値の増加分が0.1
dB以下のときは照射エネルギーを2.0Jとするのが
よく、増加分が0.1〜0.3dBのときは照射エネル
ギーを4.2Jとする。同様に、光損失値の増加分が
0.3〜0.5dBのときは照射エネルギーを5.1J
とし、0.5〜1.0dBのときは5.7Jとし、1.
0〜2.0dBのときは6.4Jとし、2.0〜3.0
dBのときは7.0Jとし、および増加分が3.0dB
以上のときは照射エネルギーを7.5Jとするのが修正
に効果的である。
【0046】この修正は、光損失の値が、溶接固定前に
光軸合わせを行った時点と比較して、±0.01dB程
度になるまで、外力を加えて光損失が低減するヒット箇
所を探しだし、この後そのヒット箇所とはコリメータを
挟んで反対側の箇所に対してYAGレーザを照射すると
いう修正工程を数回繰り返して行う。
【0047】この結果、表2に示すように、入力コリメ
ータ14および出力コリメータ18間の光損失に関して
は、光軸合わせ時に0.22dBで、溶接固定により
0.30dBとなった光損失値を、上述した修正によっ
て0.23dBにまで低減することができる。また、入
力コリメータ16および出力コリメータ18間の光損失
に関しては、光軸合わせ時に0.30dBで、溶接固定
により4.1dBとなってしまった光損失値を、修正に
よって0.29dBにすることができる。
【0048】
【表2】
【0049】レーザを照射した金属製の筒状体の箇所は
溶けた後、冷えて再び固まるときに収縮する。この収縮
によってレーザ照射箇所を含む光学部品全体が照射箇所
の方向に引っ張られる。すなわち、照射箇所とは反対側
の接合部の箇所に外力が加えられたと同様の状態とな
る。この照射箇所とは反対側の接合部の箇所は、コリメ
ータ等の光学部品間の光損失をモニタしながら探しださ
れた、光損失の低減が最大となるヒット箇所であるた
め、光損失の低減を図ることができる。よって、光学部
品の溶接後に生じる光学部品間の光軸ずれを、接合時の
状態とほぼ同じ状態にまで修正することができる。
【0050】また、光軸ずれを修正するためのレーザの
照射を一度行った時点で、コリメータ間の光損失がまだ
大きい場合には、再度、光損失の低減が最大となるヒッ
ト箇所を探し、このヒット箇所とは光学部品を挟んで反
対側の接合部の箇所にYAGレーザ等のレーザを照射す
るという一連の動作を、所望の光損失の値が得られるま
で繰り返して行えばよい。
【0051】また、このような光軸調整方法は、一般に
コリメータを備えた光モジュールに適用できることは言
うまでもない。
【0052】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明の光結合モジュールは、中間の空洞部の光軸上に光
結合素子と入力光の光路を変更するプリズムとを収容
し、入力側に1以上の入力コリメータを収容し、出力側
に単数の出力コリメータを収容している。そして、前記
1以上の入力コリメータの光軸が、製作後において光軸
調整手段により調整できる構造であるので、光結合モジ
ュールとして利用価値が高い。
【0053】また、本発明の光軸修正方法によれば、溶
接固定後に、コリメータを含む光学部品間の光損失をモ
ニタしながら、一方のコリメータの接合部周囲の任意の
複数箇所に対して外力を順次に加えることにより、光損
失の低減が最大となるヒット箇所を探しだし、このヒッ
ト箇所とは光学部品を挟んで反対側の接合部の箇所にレ
ーザを照射することによって容易に光軸ずれを容易に修
正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態に係る光結合モジュールの
概略的な構成図である。
【図2】図1に示すコリメータの要部拡大図である。
【図3】筒状体にコリメータを挿入する前の時点におけ
る各構成成分の概略図である。
【図4】(A)は、リングの断面図であり、(B)は、
リングを上から見た平面図である。
【図5】リング、フランジの先端およびコリメータのシ
リンダの位置関係およびレーザヘッドの配置位置を示す
概略図である。
【図6】光損失が低減する箇所およびYAGレーザの照
射箇所の一例を示す図である。
【図7】従来の光モジュールの構成図である。
【符号の説明】
10,100:光結合モジュール 12,112:筒状体 14、16:入力コリメータ 18:出力コリメータ 20:第1入力ファイバ 22:第2入力ファイバ 24:出力ファイバ 26:第1円筒空洞 26a:筒状体の端部 28:第2円筒空洞 30:第3円筒空洞 32,106:プリズム 34,108:光結合器 38:リング 38a:リング球面38b:リング球面と反対側の面 38c:リング内面 40:先端 41:先端で形成される円(球面とフランジ先端との接
合部) 42:フランジ 44:シリンダ 45:シリンダ外周 46:空洞部 48:レンズ 60:YAGレーザヘッド 70:光損失が最低のヒット箇所 80:反対側の箇所 102,104,110:コリメータ 118,120,122:円筒空洞
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年6月28日(2001.6.2
8)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0044
【補正方法】変更
【補正内容】
【0044】
【表1】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松浦 寛 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA31 CA32 CA39 DA04 DA05 DA18

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記の構造を備えたことを特徴とする光
    結合モジュール。 (a)中間の空洞部(35)の光軸上に光結合素子(3
    4)と入力光の光路を変更するプリズム(32)とを収
    容し、入力側に1以上の入力コリメータ(14、16)
    を収容する第1の円筒空洞(26)と、出力側に単数の
    出力コリメータ(18)を収容する第2の円筒空洞を備
    えた筒状体(12)と、(b)前記第2の円筒空洞(2
    6)に収容されて固定される出力コリメータ(18)
    と、(c)前記第1の円筒空洞(26)に収容されて固
    定される、1以上の入力コリメータ(14、16)であ
    って、前記出力コリメータに対する光軸が、光軸調整手
    段により調整可能である入力コリメータ(14、1
    6)。
  2. 【請求項2】 前記入力コリメータの光軸調整手段は、
    (a)前記筒状体(12)の端面に溶接される端面(3
    8b)と反対側の端面が球面(38a)を形成するリング
    (38)と、(b)前記シリンダの中間に設けられた先
    端(40)が平面であるフランジ(42)であって、前
    記リングの球面(38a)に線接触させた後、更に,前
    記リングに溶接されるフランジと、から構成されること
    を特徴とする請求項1記載の光結合モジュール。
  3. 【請求項3】 前記溶接はレーザ溶接であることを特徴
    とする請求項2記載の光結合モジュール。
  4. 【請求項4】 前記レーザ溶接は、YAGレーザ溶接又
    はエキシマレーザ溶接であることを特徴とする請求項2
    又は3に記載の光結合モジュール。
  5. 【請求項5】 前記溶接は、光の入力強度と出力強度と
    を測定して、両者の減衰が最小になるように、行なわれ
    たことを特徴とする請求項2から4の何れか1項に記載
    の光結合モジュール。
  6. 【請求項6】 前記溶接後、再度入力強度と出力強度と
    を測定して、両者の減衰が最小になるように、溶接され
    たことを特徴とする請求項2から5の何れか1項に記載
    の光結合モジュール。
  7. 【請求項7】 下記の工程を備えたことを特徴とする光
    結合モジュールの光軸調整方法。 (a)中間の空洞部(35)の光軸上に光結合素子(3
    4)と入力光の光路を変更するプリズム(32)とを収
    容し、入力側に1以上の入力コリメータ(14、16)
    を収容する第1の円筒空洞(26)と、出力側に単数の
    出力コリメータ(18)を収容する第2の円筒空洞を備
    えた筒状体(12)を用意し、(b)前記第2の円筒空
    洞(26)にシリンダ内に,出力コリメータ(18)を
    装入して、前記筒状体と前記第2のコリメータを溶接し
    て固定し、(c)次いで、前記第1の円筒空洞(26)
    に、入力コリメータ(14、16)を装入し、前記入力
    コリメータと前記出力コリメータの光軸を、両者間の光
    の減衰量を測定して、その減衰量が最小となるように調
    整して固定する方法。
  8. 【請求項8】 前記調整して固定する方法は、(a)前
    記筒状体(12)の端面に、端面(38b)と反対側の
    端面が球面(38a)を形成するリング(38)を点溶
    接し、(b)次いで、前記シリンダの中間に設けられた
    フランジ(42)の先端(40)を、前記リングの球面
    (38a)に接触させ、前記フランジ(42)に対する
    リング(38)の角度の調整して点溶接する、ことを特
    徴とする請求項7記載の光結合モジュールの光軸調整方
    法。
  9. 【請求項9】 前記固定を複数回行なうことを特徴とす
    る請求項8記載の光結合モジュールの光軸調整方法。
  10. 【請求項10】 前記固定のうち第2回以降の固定は、
    (a)光入力側および光出力側の前記コリメータ間の光
    損失をモニタしながら、一方のコリメータの接合部周囲
    の任意の複数箇所に対して外力を順次に加えることによ
    り、光損失の低減が最大になるヒット箇所を探し出し、
    (b)次いで、前記ヒット箇所のコリメータを挟んで1
    80度反対側の箇所(80)に点溶接する、ことを特徴
    とする請求項9に記載の光結合モジュールの光軸調整方
    法。
  11. 【請求項11】 前記点溶接は、レーザ溶接で行うこと
    を特徴とする請求項8から10のいずれか1項に記載の
    光結合モジュールの光軸調整方法。
  12. 【請求項12】 前記レーザ溶接は、YAGレーザ又は
    エキシマレーザであることを特徴とする請求項11記載
    の光結合モジュールの光軸調整方法。
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