JP2002124206A

JP2002124206A - 顕微分析装置

Info

Publication number: JP2002124206A
Application number: JP2000312488A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Hamochi; 満羽持
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2000-10-12
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2002-04-26

Abstract

(57)【要約】【課題】周囲の振動、音響の入力により、電子顕
微鏡等の顕微分析装置の構成部材がそれぞれの固有振動
モードにて振動するとき、その振動エネルギを熱エネル
ギに変換して前記振動を減衰させること。【解決手段】ホルダ装着部材２０と、ホルダ装着部材
２０と共に移動可能な移動部材１７，１８と前記移動部
材１７，１８を支持する支持部材１１とを有する装着部
材支持装置（１１〜１９）と、装着部材支持装置の振動
時に振動する振動抑制部材装着部５２；６１と、前記振
動抑制部材装着部に対して相対移動可能に支持された慣
性部材５１；６２と、前記振動抑制部材装着部および前
記慣性部材間に設けられて前記振動抑制部材装着部およ
び慣性部材間の相対的な往復移動の繰り返しである振動
の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前
記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材５３；６３と有
する振動抑制装置Ｕｘ；Ｕｚ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡等の、
電子ビーム、イオンビーム、あるいは光等を用いて、試
料の観察、分析を行う装置または、荷電粒子ビームによ
りウエハの表面を描画する装置等の顕微分析装置に関
し、特に、顕微分析で使用される試料ホルダ、プローブ
ホルダ、ビーム絞り用アパーチャホルダ等の顕微分析で
使用する部材を保持するホルダが装着されるホルダ装着
部材と、前記ホルダ装着部材が周囲の振動や音響等の環
境による影響で振動するのを抑制する振動抑制装置とを
備えた顕微分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記電子顕微鏡等のような試料に対する
分析・観察・測定、描画像等の精密作業を行う装置で
は、顕微分析用試料の水平面内および鉛直軸方向（光軸
方向）等の移動、回転等を高精度で行い、種々の方向か
ら観察や分析が行われる。前記観察、分析等の精密作業
を行う装置や試料を支持する部材等に、外部からの振動
（すなわち、外乱）が伝達されると、前記分析・観察・
測定・描画用の装置や試料等に振動が伝達されて、観察
結果、分析結果等に悪影響が生じる。また、前記分析・
観察・測定、描画等の精密作業を行う装置は、非常に微
細な作業を行うために高精度に製作されている。このた
め、外部からの振動の伝達は精密に調整された装置に誤
差を発生させる原因となる。

【０００３】前記観察、分析等の精密作業を行う装置に
振動が生じた場合、試料位置とビームの結像面との相対
位置が振動することにより、像上に振動ノイズが観察さ
れたり、分解能が低下したりする。振動は大きく分ける
と、次の２種類がある。（１）設置環境の床から伝わる振動。（２）音が前記観察、分析装置等の表面に入力（伝達）
されることにより生じる振動。一般に、前記観察、分析装置等には床振動の装置への伝
達量を減ずるために、防振装置が設置されている。音響
に関しては、遮音構造等が用いられるが、一般的には、
装置全体を囲む等、大掛かりなものになりがちである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記観察、分析装置等
に対する音響、振動の入力を小さくする方法は様々であ
るが、入力を完全に無くすることは不可能に近い。前記
観察、分析装置等に広域の周波数成分を持つ振動が入力
した時、前記観察、分析装置等を構成する各部分が、そ
れぞれ有する固有振動モードにて振動する。特に、試料
を保持する試料ステージの振動は、観察、分析位置の変
動に直接つながるため、影響が大きい。また、ビームの
径を規定する可動絞り装置等が振動して、絞りの孔位置
が振動すると、ビーム照射位置が振動するので、同様の
影響を及ぼす。前記可動絞り装置等は比較的軽量である
ために、固有モードにおける振幅は比較的大きなものに
なる。これらの振動が、像ノイズ、分解能低下等を招い
てしまう。

【０００５】設置環境に依存する振動、音響の入力によ
り、試料ステージや可動絞り装置等が、それぞれの固有
振動モードにて振動するとき、この振動エネルギを摩擦
等により熱エネルギに変換し、減衰させることができれ
ば、像ノイズ量を抑えることができ、また、分解能の低
下を防ぐことができる。本発明は前述の事情に鑑み、下
記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。（Ｏ01）周囲の振
動、音響の入力により、電子顕微鏡等の顕微分析装置の
構成部材がそれぞれの固有振動モードにて振動すると
き、その振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動
を減衰させること。

【０００６】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００７】（第１発明）前記課題を解決するために、
第１発明の顕微分析装置は、次の構成要件（Ａ01）〜
（Ａ03）を備えたことを特徴とする、（Ａ01）顕微分析
で使用される顕微分析部材を保持するホルダが装着され
るホルダ装着部材（２０；９４）（Ａ02）前記ホルダ装着部材（２０，９４）を支持し且
つホルダ装着部材（２０，９４）と共に移動可能な移動
部材（１７，１８；９３）と前記移動部材（１７，１
８；９３）を支持する支持部材とを有する装着部材支持
装置（１１〜１９，２２〜２６；９２〜９６）、（Ａ0
3）前記装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２６；
９２〜９６）の振動時に振動する振動抑制部材装着部
（５２；６１；７１；９６ｂ）と、前記振動抑制部材装
着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材（５
１；６２；７２；９８）と、前記振動抑制部材装着部お
よび前記慣性部材間に設けられて前記振動抑制部材装着
部および慣性部材間の相対的な往復移動の繰り返しであ
る振動の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換
して前記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材（５３；
６３；７３；９７）とを有する振動抑制装置（Ｕｘ；Ｕ
ｚ；Ｕａ）。

【０００８】（第１発明の作用）前記構成を備えた第１
発明の顕微分析装置では、振動抑制装置（Ｕｘ；Ｕｚ；
Ｕａ）の振動エネルギ吸収部材（５３；６３；７３；９
７）は、前記装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２
６；９２〜９６）の振動時に振動する振動抑制部材装着
部（５２；６１；７１；９６ｂ）および前記振動抑制部
材装着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材慣
性部材（５１；６２；７２；９８）の間に設けられ、前
記振動抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な往復
移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギ
を熱エネルギに変換して前記振動を抑制する。したがっ
て、顕微分析で使用される顕微分析部材（例えば、試
料、プローブ、絞り板等）を保持するホルダが装着され
るはホルダ装着部材（２０，９４）およびこれを支持す
る装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２６；９２〜
９６）の振動は抑制される。

【０００９】（第２発明）第２発明の顕微分析装置は、
次の構成要件（Ａ01），（Ａ02），（Ａ04）を備えたこ
とを特徴とする。（Ａ01）顕微分析で使用される顕微分析部材を保持する
ホルダが装着されるホルダ装着部材（２０）、（Ａ02）
前記ホルダ装着部材（２０）を支持し且つホルダ装着部
材（２０）と共に移動可能な移動部材（２６）と前記移
動部材（２６）を支持する支持部材（１４）とを有する
装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２６）、（Ａ0
4）前記移動部材（２６）と支持部材（１４）との間に
設けられて、前記移動部材（２６）および支持部材（１
４）間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発生
時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動
を抑制する振動エネルギ吸収部材（３２；４４）を有す
る振動抑制装置（Ｕｙ）。

【００１０】（第２発明の作用）前記構成を備えた第２
発明の顕微分析装置では、振動抑制装置（Ｕｙ）の振動
エネルギ吸収部材（３２；４４）は、前記移動部材（２
６）と支持部材（１４）との間に設けられて、前記移動
部材（２６）および支持部材（１４）間の相対的な往復
移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギ
を熱エネルギに変換して前記振動を抑制する。したがっ
て、移動部材（２６）と共に移動するホルダ装着部材
（２０）に装着された試料ホルダに保持された試料等の
顕微分析部材の振動が抑制される。

【００１１】（第３発明）第３発明の顕微分析装置は、
次の構成要件（Ａ01），（Ａ05），（Ａ06）を備えたこ
とを特徴とする、（Ａ01）顕微分析で使用される顕微分
析部材を保持するホルダが装着されるホルダ装着部材
（２０）、（Ａ05）前記ホルダ装着部材（２０）を支持
し且つホルダ装着部材（２０）と共に移動可能な移動テ
ーブル（１７）と、前記移動テブル（１７）を支持する
移動テーブル支持部材（１１）と、前記移動テーブル
（１７）と一体的に移動可能に構成されたナット（１７
ａ）に螺合して前記ナット（１７ａ）を貫通するととも
に一端部に回転力が伝達され且つ他端部が前記移動テー
ブル支持部材（１１）に回転可能に支持されたスクリュ
ーシャフト（２６）とを有する装着部材支持装置（１１
〜１９，２２〜２６；９２〜９６）、（Ａ06）前記スク
リューシャフト（２６）の他端部と移動テーブル支持部
材（１１）との間に設けられて、前記スクリューシャフ
ト（２６）および移動テーブル支持部材（１１）間の相
対的な往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振
動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する
振動エネルギ吸収部材（３２；４４）を有する振動抑制
装置（Ｕｙ）。

【００１２】（第３発明の作用）前記構成を備えた第３
発明の顕微分析装置では、装着部材支持装置（１１〜１
９，２２〜２６）は、移動テーブル支持部材（１１）を
有しており、移動テーブル支持部材（１１）は、ホルダ
装着部材（２０）を支持し且つホルダ装着部材（２０）
と共に移動可能な移動テーブル（１７）を支持するとと
もに、前記移動テーブル（１７）と一体的に移動可能に
構成されたナット（１７ａ）に螺合して前記ナット（１
７ａ）を貫通するスクリューシャフト（２６）を回転可
能に支持する。前記スクリューシャフト（２６）の一端
部に回転力が伝達されると、スクリューシャフト（２
６）が回転し、前記ナット（１７ａ）および移動テーブ
ル（１７）が移動する。振動抑制装置（Ｕｙ）の振動エ
ネルギ吸収部材（３２；４４）は、スクリューシャフト
（２６）の他端部と移動テーブル支持部材（１１）との
間に設けられて、前記スクリューシャフト（２６）およ
び移動テーブル支持部材（１１）間の相対的な往復移動
の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱
エネルギに変換して前記振動を抑制する。したがって、
テーブル支持部材（１１）に支持されたホルダ装着部材
（２０）および前記ホルダ装着部材（２０）に装着され
たホルダに保持された顕微分析部材（試料、プローブ、
絞り板等）の振動が抑制される。

【００１３】（第４発明）第４発明の顕微分析装置は、
次の構成要件（Ａ07），（Ａ08）を備えたことを特徴と
する、（Ａ07）顕微分析で使用される顕微分析部材を内
端部に保持し且つ外端部に操作部（Ｈａ）が設けられた
ホルダ（Ｈ）の円筒状外周面を回転可能且つスライド可
能に支持する円筒状内周面を有し、前記ホルダ（Ｈ）を
顕微鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する円筒状のホルダ
装着部材（１１２）、（Ａ08）前記ホルダ（Ｈ）の振動
時に振動する振動抑制部材装着部（１３２）と、前記振
動抑制部材装着部（１３２）に対して相対移動可能に支
持された慣性部材（１３１）と、前記振動抑制部材装着
部（１３２）および前記慣性部材（１３１）間に設けら
れて前記振動抑制部材装着部（１３２）および慣性部材
（１３１）間の相対的な往復移動の繰り返しである振動
の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前
記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材（１３３）とを
有する振動抑制装置（Ｕｙ）。

【００１４】（第４発明の作用）前記構成を備えた第４
発明の顕微分析装置では、円筒状のホルダ装着部材（１
１２）は、顕微分析で使用される顕微分析部材を内端部
に保持し且つ外端部に操作部（Ｈａ）が設けられたホル
ダ（Ｈ）の円筒状外周面を回転可能且つスライド可能に
支持する円筒状内周面を有し、前記ホルダ（Ｈ）を顕微
鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する。前記ホルダ（Ｈ）
は外端部の操作部（Ｈａ）を操作することにより、内端
部の顕微分析試料の位置および姿勢を調節することがで
きる。振動抑制装置（Ｕｙ）の振動エネルギ吸収部材
（１３３）は、前記ホルダ（Ｈ）の外端部に固定された
振動抑制部材装着部（１３２）と前記振動抑制部材装着
部（１３２）に対して相対移動可能に支持された慣性部
材（１３１）との間に設けられて、前記振動抑制部材装
着部（１３２）および慣性部材（１３１）間の相対的な
往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネ
ルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する。した
がって、ホルダ（Ｈ）内端部に保持された顕微分析部材
（試料、プローブ、絞り板等）の振動が抑制される。

【００１５】（第５発明）第５発明の顕微分析装置は、
次の構成要件（Ａ07），（Ａ09）を備えたことを特徴と
する、（Ａ07）顕微分析で使用される顕微分析部材を内
端部に保持し且つ外端部に操作部（Ｈａ）が設けられた
ホルダ（Ｈ）の円筒状外周面を回転可能且つスライド可
能に支持する円筒状内周面を有し、前記ホルダ（Ｈ）を
顕微鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する円筒状のホルダ
装着部材（１１２）、（Ａ09）前記ホルダ装着部材（１
１２）の振動時に振動する振動抑制部材装着部（１３
６）と、前記振動抑制部材装着部（１３６）に対して相
対移動可能に支持された慣性部材（１３７）と、前記振
動抑制部材装着部（１３６）および前記慣性部材（１３
７）間に設けられて前記振動抑制部材装着部（１３６）
および慣性部材（１３７）間の相対的な往復移動の繰り
返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱エネル
ギに変換して前記振動を抑制する振動エネルギ吸収部材
（１３８）とを有する振動抑制装置（Ｕｘ）。

【００１６】（第５発明の作用）前記構成を備えた第５
発明の顕微分析装置では、円筒状のホルダ装着部材（１
１２）は、顕微分析で使用される顕微分析部材を内端部
に保持し且つ外端部に操作部（Ｈａ）が設けられたホル
ダ（Ｈ）の円筒状外周面を回転可能且つスライド可能に
支持する円筒状内周面を有し、前記ホルダ（Ｈ）を顕微
鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する。前記ホルダ（Ｈ）
は外端部の操作部（Ｈａ）を操作することにより、内端
部の顕微分析試料の位置および姿勢を調節することがで
きる。振動抑制装置（Ｕｘ）の振動エネルギ吸収部材
（１３８）は、前記ホルダ装着部材（１１２）の外側面
に固定された振動抑制部材装着部（１３６）と前記振動
抑制部材装着部（１３６）に対して相対移動可能に支持
された慣性部材（１３７）との間に設けられて、前記振
動抑制部材装着部（１３６）および慣性部材（１３７）
間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発生時に
前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑
制する。したがって、ホルダ（Ｈ）内端部に保持された
顕微分析部材（試料、プローブ、絞り板等）の振動が抑
制される。

【００１７】（第６発明）第６発明の顕微分析装置は、
前記第４発明または第５発明において、次の構成要件
（Ａ010），（Ａ011）を備えたことを特徴とする、（Ａ
010）前記円筒状のホルダ装着部材（１１２）をその軸
上に設定された揺動中心（Ｏ）回りに揺動可能に支持す
る装着部材支持装置（１０６，１０８，１１１，１１６
〜１２０）、（Ａ011）前記装着部材支持装置（１０
６，１０８，１１１，１１６〜１２０）の振動時に振動
する振動抑制部材装着部（１３６）と、前記振動抑制部
材装着部（１３６）に対して相対移動可能に支持された
慣性部材（１３７）と、前記振動抑制部材装着部（１３
６）および前記慣性部材（１３７）間に設けられて前記
振動抑制部材装着部（１３６）および慣性部材（１３
７）間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発生
時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動
を抑制する振動エネルギ吸収部材（１３８）とを有する
振動抑制装置（Ｕｘ）。

【００１８】（第６発明の作用）前記構成を備えた第４
発明の顕微分析装置では、装着部材支持装置（１０６，
１０８，１１１，１１６〜１２０）は前記軸上に設定さ
れた揺動中心（Ｏ）回りにホルダ装着部材（１１２）を
揺動可能に支持する。前記ホルダ装着部材（１１２）に
支持されたホルダ（Ｈ）の外端部の操作部（Ｈａ）を操
作することによりホルダ（Ｈ）を軸方向に移動させた
り、揺動中心（Ｏ）回りに揺動させることができる。振
動抑制装置（Ｕｘ）の振動エネルギ吸収部材（１３８）
は、前記装着部材支持装置（１０６，１０８，１１１，
１１６〜１２０）の振動時に振動する振動抑制部材装着
部（１３６）と前記振動抑制部材装着部（１３６）に対
して相対移動可能に支持された慣性部材（１３７）との
間に設けられて前記振動抑制部材装着部（１３６）およ
び慣性部材（１３７）間の相対的な往復移動の繰り返し
である振動の発生時に前記振動エネルギを熱エネルギに
変換して前記振動を抑制する。したがって、ホルダ装着
部材（１１２）に装着されたホルダ（Ｈ）に保持された
顕微分析部材（試料、プローブ、絞り板等）の振動が抑
制される。

【００１９】

【発明の実施の形態】前記第１発明の顕微分析装置にお
いて、次の各構成要件（Ａ012）〜（Ａ016）を備えるこ
とが可能である。（Ａ012）前記ホルダ装着部材（２０，９４）と共に第
１の移動軸方向に移動可能な第１移動テーブル（１７）
と、前記第１移動軸に直交する第２の移動軸に沿う方向
に移動可能な第２移動テーブル（１８）とを有する前記
移動部材。

【００２０】（Ａ013）鉛直な回転軸回りに回転する回
転テーブル（１９）または水平な傾斜軸回りに傾斜する
傾斜テーブル（１１）を有する前記移動部材。

【００２１】（Ａ014）前記ホルダ装着部材（２０，９
４）と共に傾斜軸（Ｙａ）回りに傾斜可能且つ前記傾斜
軸線を中心とする円周に沿って形成された円筒状の振動
抑制部材当接面（２２ａ）を有する前記装着部材支持装
置（１１〜１９，２２〜２６）、（Ａ015）前記振動抑
制部材当接面（２２ａ）に摺動可能に当接する当接部材
（５２ｂ；６１ａ）と、前記当接部材（５２ｂ；６１
ａ）に対して相対移動可能に支持された慣性部材（５
１；６２）と、前記当接部材（５２ｂ；６１ａ）および
前記慣性部材間（５１；６２）に設けられた前記振動エ
ネルギ吸収部材（５３；６３）を有する前記振動抑制装
置（Ｕｚ）。

【００２２】（Ａ016）前記装着部材支持装置（１１〜
１９，２２〜２６）上に設定した振動抑制装置装着部
（６１）と、前記振動抑制部材装着部（６１）の前記振
動抑制装置装着部（６１）とは反対側に配置した振動エ
ネルギ吸収部材（６３）と、前記振動エネルギ吸収部材
（６３）を挟んで前記振動抑制部材装着部（６１）と反
対側に配置された移動可能な慣性部材（６２）とを有
し、前記振動抑制部材装着部（６１）および慣性部材
（６３）間に相対的に発生した前記振動抑制部材装着部
（６１）および慣性部材（６３）を結ぶ方向の振動を抑
制する前記振動抑制装置（Ｕｘ）。

【００２３】また、前記第１発明〜第４発明の顕微分析
装置は、次の構成要件（Ａ017）または（Ａ018）を備え
ることが可能である。（Ａ017）粘弾性素材により構成された前記振動エネル
ギ吸収部材（５３，６３，７３，９７，１３２，１３
６）。

【００２４】（Ａ018）シリンダ（４１＋４２）と、シ
リンダ（４１＋４２）内に充填された粘性流体（４４）
と、前記シリンダ（４１＋４２）内にスライド可能に支
持された連通孔を有するピストン（４３）および前記ピ
ストン（４３）に連結され且つシリンダ（４１＋４２）
外部に突出するピストン連結軸（２６）とにより構成さ
れた前記振動エネルギ吸収部材。

【００２５】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例の
顕微分析装置を説明するが、本発明は以下の実施例に限
定されるものではない。なお、以後の説明の理解を容易
にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右
左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，
−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそ
れぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、また
は、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。ま
た、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面
の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」
が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味
するものとする。

【００２６】（実施例１）図１は本発明の顕微分析装置
の実施例１の要部説明図である。図１において、ベース
１の上面には電子顕微鏡の鏡筒２を支持する鏡筒支持部
材３が支持されている。鏡筒支持部材３の一側面は開口
しており、その開口はステージ支持部材４により閉塞さ
れている。前記鏡筒支持部材３およびステージ支持部材
４の内部には真空試料室Ａが形成されている。鏡筒支持
部材３の下面を形成する下壁部３ａには排気管接続孔３
ｂが形成されており、排気管接続孔３ｂには真空排気管
５に接続されており、前記真空試料室Ａは真空ポンプ
（図示せず）により真空排気管５から排気される。

【００２７】ステージ支持部材４の内面にはＺ軸ガイド
６が固定されており、前記Ｚ軸ガイド６はＺ軸テーブル
７を鉛直なＺ軸方向にガイドする。Ｚ軸テーブル７は、
Ｚ軸駆動モータＭｚの出力軸８に形成されたオスネジ８
ａと螺合するネジ孔７ａを有しており、前記出力軸８の
回転によりＺ軸方向に位置調節される。前記Ｚ軸テーブ
ル７には水平なＹ軸方向に突出する円筒状外周面を有す
る傾斜テーブル支持部７ｂが設けられており、前記傾斜
テーブル支持部７ｂにより傾斜テーブル１１がＹ軸に平
行な傾斜軸Ｙａ回りに回転可能に支持されている。

【００２８】図２は試料ホルダが装着される試料ステー
ジの説明図で、図２Ａは前記図１の矢印IIから見た図、
図２Ｂは前記図２Ａの要部拡大図でＺ軸方向振動抑制装
置の説明図、図２Ｃは前記図２Ａの要部拡大図でＸ軸方
向振動抑制装置の説明図である。図３は前記図２Ａの矢
印IIIから見た図である。図２、図３において、傾斜テ
ーブル１１は下方に伸び且つ前方または後方に延びる前
後一対の傾斜アーム１２，１２と前記傾斜アーム１２，
１２の下端から右方向（Ｙ方向）に延びる一対の水平ア
ーム１３，１３と、前記水平アーム１３，１３の右端
（Ｙ側の端）を連結する連結部材１４とを有している。
前記一対の水平アーム１３，１３上面にはＹ軸テーブル
１７がＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｙ軸テー
ブル１７上にはＸ軸テーブル１８がＸ軸方向に移動可能
に支持されている。前記Ｘ軸テーブル１８には回転テー
ブル１９が鉛直なＺ軸回りに回転可能に支持されてい
る。回転テーブル１９の上面には試料ホルダ（図示せ
ず）が着脱可能に装着されるホルダ装着部材２０が設け
られている。

【００２９】前記連結部材１４には、振動抑制用プレー
ト２２が固定されており、振動抑制用プレート２２は、
傾斜テーブル１１等と一体的に前記傾斜軸線Ｙａ回りに
傾斜する。前記振動抑制用プレート２２の下面には傾斜
軸線Ｙａを中心とする円弧状の振動抑制部材当接面２２
ａ（図２参照）が形成されている。

【００３０】前記Ｙ軸テーブル１７の下面にはナット１
７ａが下方に突出して設けられている。ナット１７ａは
前記一対の水平アーム１３，１３の間に配置されてい
る。前記ナット１７ａに螺合して貫通するスクリューシ
ャフト２６は、右端（Ｙ側の端）が他の部材（後述する
振動抑制装置を構成する部材）を介して前記連結部材１
４に回転可能に支持され、左端部（−Ｙ端部）が傾斜テ
ーブル１１の左端部下面に設けたスクリューシャフト支
持部１１ａにより回転可能に支持されている。前記符号
１１〜１９，２２〜２６で示された要素により、前記ホ
ルダ装着部材２０を直交する３軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）
方向に移動可能に支持し且つ傾斜軸Ｙａ回りに前記ホル
ダ装着部材２０と共に傾斜可能な装着部材支持装置（１
１〜１９，２２〜２６）が構成されている。前記装着部
材支持装置（１１〜１９，２２〜２６）、ホルダ装着部
材２０等により構成された部材全体の重心位置は、前記
傾斜軸Ｙａよりも低い位置となっている。前記スクリュ
ーシャフト２６の左端には回転力伝達ロッド２７の右端
部がスクリューシャフト２６の軸（Ｙ軸に平行な軸）に
垂直で且つ互いに直交する２軸（例えばＺ軸、Ｘ軸）回
りに回転可能に連結されている。

【００３１】また、回転力伝達ロッド２７の左端部はＹ
軸駆動モータＭｙの出力軸２８の右端部に、前記出力軸
２８（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で且つ互いに直交する２
軸（例えばＺ軸、Ｘ軸）回りに回転可能に連結されてい
る。前記回転力伝達ロッド２７はその軸方向に伸縮可能
に構成されており、前記傾斜テーブル１１が前記傾斜軸
Ｙａ回りに傾斜した場合には、傾斜に応じて伸縮するよ
うに構成されている。そして、出力軸２８の回転は、前
記回転力伝達ロッド２７を介してスクリューシャフト２
６に伝達されるように構成されている。

【００３２】（Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙ）図４は前記
図１の要部拡大図で、Ｙ軸テーブル１７を支持する傾斜
テーブル１１に回転可能に支持されるスクリューシャフ
ト２６の右端部と傾斜テーブル１１の連結部材１４との
間に設けられ、前記スクリューシャフトおよび傾斜テー
ブル１１間に相対的に発生したスクリューシャフト２６
の軸方向の振動を抑制する振動抑制装置の説明図であ
り、図４Ａは実施例１の振動抑制装置の拡大図、図４Ｂ
はその変更例を示す図である。図４Ａにおいて、傾斜テ
ーブル１１の連結部材１４に固定されたケース３１は、
左端に開口する円筒室３１ａを有しており、円筒室３１
ａの右端の端壁にはネジ孔３１ｂが形成されている。そ
の円筒室３１ａ内部には損失係数の大きな粘弾性素材に
より形成された振動吸収部材３２とその両端面を挟んだ
状態で配置され且つ円筒室３１ａ内でその軸方向に移動
可能なプレート３３および３４が収容されている。な
お、この実施例１では、粘弾性素材により形成された振
動吸収部材３２の真空内へのガス放出を防ぐために、プ
レート３３および３４が真空シールリングとしての役目
を果たしている。前記振動吸収部材３２を形成する粘弾
性素材としては、ソルボセイン、アルファゲル等の損失
係数の大きな材料を使用することができる。

【００３３】前記円筒室３１ａの左端部にはベアリング
３６が装着されており、ベアリング３６によりスクリュ
ーシャフト２６の右端部の小径部分２６ａが回転可能且
つスライド可能に支持されている。前記小径部分２６ａ
の外周には圧縮バネ３７が配置されており、圧縮バネ３
７の左端はスクリューシャフト２６の大径部の右端の端
面に当接しており、圧縮バネ３７の左端は前記ベアリン
グ３６に当接している。スクリューシャフト２６の小径
部分２６ａはベアリング３６のインナレースに対してス
ライド可能に構成されており、前記圧縮バネ３７は、ベ
アリング３６および対向するベアリング（スクリューシ
ャフト２６の他端側のベアリング）のラジアル隙間のガ
タを吸収し、予圧を与えている。前記ネジ孔３１ｂに
は、前記プレート３３の位置を調節するための調節ネジ
３８が螺合している。前記符号３１〜３８により示され
た要素によりＹ軸方向振動抑制装置Ｕｙが構成されてい
る。

【００３４】（Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙの変更例）な
お前記図４Ａに示す実施例１のＹ軸方向振動抑制装置Ｕ
ｙの代わりに、図４Ｂに示すＹ軸方向振動抑制装置を使
用することが可能である。図４Ｂにおいて、傾斜テーブ
ル１１の連結部材１４に固定されたケース４１は、左端
に開口する円筒室４１ａを有しており、円筒室３１ａの
左端の開口は密封部材４２により密封されている。前記
ケース４１および密封部材４２によりシリンダ（４１＋
４２）が構成されている。密封された円筒室４１ａ内に
はピストン４３および損失係数の大きな粘性流体４４が
収容されており、ピストン４３には貫通孔４３ａが形成
されている。また、密封部材４２は左端に開口する円筒
状の凹部４２ａを有しておりの左端部にはベアリング４
６が装着されている。前記ベアリング３６によりスクリ
ューシャフト２６の右端部の小径部分２６ａが回転可能
に支持されている。前記小径部分２６ａの外周には圧縮
バネ４７が配置されており、圧縮バネ４７の左端はスク
リューシャフト２６の大径部の右端の端面に当接してお
り、圧縮バネ４７の左端は前記ベアリング４６に当接し
ている。前記符号４１〜４７により示された要素により
Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙの変更例が構成されている。

【００３５】（Ｚ軸方向振動抑制装置Ｕｚ）図２におい
て、鏡筒支持部材３（図１参照）の下壁部３ａをスライ
ド可能に貫通するロッド５１は中実の質量の大きなロッ
ド本体５１ａおよびその上端に連結されたプレート部５
１ｂを有している。ロッド本体５１ａの上端部は、ケー
ス本体５２ａおよびケースカバー５２ｂを有するケース
５２の前記ケース本体５２ａの底壁をスライド可能に貫
通しており、プレート部５１ｂはケース５２の内部に収
容されている。前記プレート部５１ｂと蓋部分５２ａと
の間には粘弾性素材により形成された振動吸収部材５３
が配置されている。ロッド５１は下端が大気圧により押
圧されているため、その上端のプレート５１ｂは振動吸
収部材５３を介してケース５２のケースカバー５２ｂ下
面を上方に押圧している。このため、ケースカバー５２
ｂは前記連結部材１４に固定された振動抑制用プレート
２２下面の円弧状の振動抑制部材当接面２２ａに当接し
ている。前記ケース５２は振動抑制用プレート２２の振
動時に連動して振動させるために軽量な部材により構成
されている。ケース５２が振動した時、ロッド５１は前
記振動時に振動せずに停止しているように大きな質量を
有している。前記符号５１〜５３により示された要素に
よりＺ軸方向振動抑制装置Ｕｚが構成されている。

【００３６】ケース５２は、大気圧によって部材５３を
介してプレート２２に押圧されており、且つ、軽量且つ
であるので、プレート２２と一体に振動する。部材５２
は、軸対称に構成されており、プレート２２の接触面
は、この軸上にあるため、プレート２２のＺ方向振動に
対して、部材５２を回転させるモーメントなどは発生し
ない。よって、Ｚ軸振動に対しては、プレート２２と部
材５２とは一体で振動すると。

【００３７】（Ｘ軸方向振動抑制装置Ｕｘ）図２におい
て、傾斜テーブル１１の前後一対の水平アーム１３，１
３のうちの前側（Ｘ側）の水平アーム１３の右端部（Ｙ
端部、図３参照）の上面には上方に延びるロッド６１が
固定されている。ロッド６１は中空の質量の小さなロッ
ド本体６１ａおよびその上端に連結されたプレート部６
１ｂを有している。ロッド本体６１ａの上端部は、ケー
ス部分６２ａおよび蓋部分６２ｂを有する慣性部材６２
の前記ケース部分６２ａの底壁をスライド可能に貫通し
ており、プレート部６１ｂは慣性部材６２の内部に収容
されている。前記プレート部６１ｂと蓋部分６２ａとの
間には粘弾性素材により形成された振動吸収部材６３が
配置されている。前記慣性部材６２は、ロッド６１が傾
斜テーブル１１と一緒に振動した時に、慣性力で停止し
ている程度の質量を有している。前記符号６１〜６３に
より示された要素によりＸ軸方向振動抑制装置Ｕｘが構
成されている。

【００３８】（実施例１の作用）（Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙの作用）図１、図４Ａにお
いて、Ｙ軸テーブル１７がＹ軸方向に振動したとき、Ｙ
軸テーブル１７と一体的にナット１７ａおよびスクリュ
ーシャフト２６もＹ軸方向に振動する。したがって、Ｙ
テーブル１７と傾斜テーブル１１とがＹ軸方向に相対的
に振動（相対的に往復移動）した場合には、粘弾性素材
により形成された振動吸収部材３２が剪断変形を繰り返
して振動エネルギを熱エネルギに変換する。このため、
Ｙ軸テーブル１７のＹ軸方向の振動が抑制される。この
Ｙ軸方向の振動抑制機能は、Ｚ軸テーブル７、Ｙ軸テー
ブル１７、Ｘ軸テーブル１８がどの位置に移動した状態
でも有効に機能するとともに、また、傾斜テーブル１１
がどの位置に傾斜した状態でも有効に機能する。

【００３９】（Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙの変更例（図
４Ｂ参照）の作用）図４Ｂにおいて、Ｙテーブル１７と
傾斜テーブル１１とがＹ軸方向に相対的に往復移動（相
対的に振動）した場合には、粘性流体がピストン４３の
貫通孔４３ａを往復流動し、そのときの粘性摩擦により
振動エネルギは熱エネルギに変換される。このため、Ｙ
軸方向の振動が抑制される。

【００４０】（Ｚ軸方向振動抑制装置Ｕｚの作用）図２
Ａ、図２Ｂにおいて、傾斜テーブル１１がＺ軸方向に振
動したとき、連結部材２２もＺ軸方向に振動する。この
振動時にケース５２が連動して振動する。このとき、ロ
ッド５１は慣性力で停止しているため、粘弾性素材によ
り形成された振動吸収部材５３は、ロッド５１のプレー
ト５１ｂと円弧状の振動抑制部材当接面２２ａに当接し
て連動するケースカバー５２ｂとの間で剪断変形を繰り
返して振動エネルギを熱エネルギに変換する。このた
め、Ｚ軸方向の振動が抑制される。このＺ軸方向の振動
抑制機能は、Ｚ軸テーブル７、傾斜テーブル、Ｙ軸テー
ブル１７、Ｘ軸テーブル１８がどの位置に移動した状態
でも有効に機能するとともに、また、ケースカバー５２
ｂが円弧状の振動抑制部材当接面２２ａに当接するの
で、傾斜テーブル１１がどの位置に傾斜した状態でも有
効に機能する。

【００４１】（Ｘ軸方向振動抑制装置Ｕｘの作用）図２
Ａ、図２Ｃにおいて、傾斜テーブル１１およびそれに支
持されたＹ軸テーブル１７およびＸテーブル１８等を有
する装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２６）の合
計の質量の重心位置は前記傾斜軸Ｙａの下方にあるた
め、装着部材支持装置（１１〜１９，２２〜２６）がＸ
軸方向に振動したとき、それらは傾斜軸Ｙａ回りに回転
振動する。このため、装着部材支持装置（１１〜１９，
２２〜２６）のＸ軸方向の振動により、水平アーム１３
上面のロッド６１はＺ軸方向に振動する。このとき、慣
性力で停止している慣性部材６２と振動するロッド６１
上端のプレート６４との間の粘弾性素材により形成され
た振動吸収部材６４は、剪断変形を繰り返して振動エネ
ルギを熱エネルギに変換する。このため、Ｘ軸方向の振
動が抑制される。このＸ軸方向の振動抑制機能は、Ｚ軸
テーブル７、傾斜テーブル、Ｙ軸テーブル１７、Ｘ軸テ
ーブル１８がどの位置に移動した状態でも有効に機能す
るとともに、また、傾斜テーブル１１がどの位置に傾斜
した状態でも有効に機能する。

【００４２】図５は本実施例１の顕微分析装置のＺ軸方
向振動抑制装置Ｕｚの作用効果を確認するための試験結
果示すグラフで、振動周波数に対するＺ軸方向の加速度
パワースペクトルを示すグラフであり、図５Ａは振動抑
制装置を使用しない場合、図５Ｂは実施例１の振動抑制
装置を使用した場合のグラフである。図６は本実施例１
の顕微分析装置のＸ軸方向振動抑制装置Ｕｘの作用効果
を確認するための試験結果示すグラフで、振動周波数に
対するＸ軸方向の加速度パワースペクトルを示すグラフ
であり、図６Ａは振動抑制装置を使用しない場合、図６
Ｂは実施例１の振動抑制装置を使用した場合のグラフで
ある。なお、前記図５、図６のデータを得たときのロッ
ド５１、ケース５２および慣性部材６２等の質量は次の
とおりである。ロッド５１の質量＝２００ｇケース５２の質量＝２０ｇ慣性部材６２の質量＝３００ｇ前記図５、図６から分かるように、本実施例では、Ｚ軸
方向振動抑制装置ＵｚおよびＸ軸方向振動抑制装置Ｕｘ
は、それぞれ、Ｚ軸方向およびＸ軸方向の振動を抑制す
る効果がある。

【００４３】（実施例２）図７は本発明の実施例２の説
明図で、前記実施例１の図１に対応する図である。図８
は前記図７の矢印ＶIから見た図である。なお、この実
施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応
する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明
を省略する。この実施例２は、下記の点で前記実施例１
と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構
成されている。図７、図８において、この実施例２は、
Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙ、Ｚ軸方向振動抑制装置Ｕｚ
およびＸ軸方向振動抑制装置Ｕｘが真空試料室Ａの外部
に配置されている点で前記真空試料室Ａ内部に配置され
た実施例１と異なっている。

【００４４】（Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙ）図７、図８
において、鏡筒支持部材３（図１参照）の右側壁にはロ
ッド貫通孔３ｃが形成されており、前記ロッド貫通孔３
ｃはロッド支持壁７０により閉塞されている。ロッド支
持壁７０をスライド可能に貫通するロッド７１は、ロッ
ド本体７１ａおよびその右端に連結されたプレート部７
１ｂを有している。ロッド本体７１ａの右端部は、ケー
ス部分７２ａおよび蓋部分７２ｂを有する慣性部材７２
の前記ケース部分７２ａの底壁をスライド可能に貫通し
ており、前記プレート部７１ｂは慣性部材７２の内部に
収容されている。前記プレート部７１ｂと蓋部分７２ａ
との間には粘弾性素材により形成された振動吸収部材７
３が配置されている。前記慣性部材７２は、ロッド７１
がＹ軸テーブル１７と一緒に振動した時に、慣性力で停
止している程度の質量を有している。前記符号７１〜７
３により示された要素により実施例２Ｙ軸方向振動抑制
装置Ｕｙが構成されている。なお、この実施例２ではＹ
軸方向振動抑制装置Ｕｙは大気中にあるため、粘弾性素
材により形成された振動吸収部材７３を前記実施例１の
ように真空に対してシールする必要がない。

【００４５】前記ロッド７１の左端には伝達ロッド７７
の右端部がロッド７１の軸（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で
且つ互いに直交する２軸（例えばＺ軸、Ｘ軸）回りに回
転可能に連結されている。伝達ロッド７７の左端部はＹ
軸テーブル１７の右端にＹ軸に垂直で且つ互いに直交す
る２軸（例えばＺ軸、Ｘ軸）回りに回転可能に連結され
ている。前記伝達ロッド７７はその軸方向に伸縮不可能
に構成されており、前記傾斜テーブル１１が前記傾斜軸
Ｙａ回りに傾斜した場合や、Ｙ軸テーブルがＹ軸方向に
移動した場合には前記ロッド７１およびその先端に支持
されたＹ軸方向振動抑制装置ＵｙがＹ軸方向に移動する
ように構成されている。前記Ｙ軸方向振動抑制装置Ｕｙ
は、Ｙ軸テーブル１７がＹ軸方向に振動したとき、ロッ
ド７１がＹ軸方向に振動するが慣性部材７２がその慣性
により停止しているので、振動吸収部材７３は前記振動
に応じて剪断変形を繰り返して振動エネルギを熱エネル
ギに変換し、Ｙ軸テーブル１７を含む装着部材支持装置
（１１〜１９，２２〜２６）の振動を抑制する。

【００４６】（Ｚ軸方向振動抑制装置Ｕｚ）図８におい
て、実施例２のＺ軸方向振動抑制装置Ｕｚは前記図１、
図３に示す実施例１のＺ軸方向振動抑制装置Ｕｚとは上
下逆転した構成となっており、さらにこの実施例２のＺ
軸方向振動抑制装置Ｕｚは、中空の高剛性の質量の小さ
いロッド６１が使用されており、ロッド６１の下端部の
プレート部６１ｂの上面と慣性部材６２との間に粘弾性
素材により形成された振動吸収部材６３が配置されてい
る。この実施例２のロッド６１の上端は連結部材２２の
振動抑制部材当接面２２ａに当接しており、このロッド
６１は軽量であるので、連結部材２２のＺ軸方向の振動
に連動する。ロッド６１が連結部材２２のＺ軸方向の振
動に連動して振動したとき、慣性部材６２は慣性により
停止しているので、振動吸収部材６３は剪断変形して振
動を吸収する。

【００４７】（Ｘ軸方向振動抑制装置Ｕｘ）図８におい
て、傾斜テーブル１１の傾斜アーム１２の表面には上方
に突出する振動伝達部１２ａが設けられている。振動伝
達部１２ａの上端にはロッド６１の下端が当接してい
る。ロッド６１の上端には前記実施例１と同様のＸ軸方
向振動抑制装置Ｕｘが連結されている。この実施例２の
Ｘ軸方向振動抑制装置Ｕｘも前記実施例１と同様に傾斜
テーブル１１を含む装着部材支持装置（１１〜１９，２
２〜２６）のＸ軸方向の振動を抑制する。

【００４８】（実施例３）図９は本発明の実施例３の説
明図で前記実施例２の図８に対応する図である。なお、
この実施例３の説明において、前記実施例２の構成要素
に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細
な説明を省略する。この実施例３は、下記の点で前記実
施例２と相違しているが、他の点では前記実施例２と同
様に構成されている。図９において、この実施例３は、
下壁部３ａとＺ軸方向振動抑制装置Ｕｚの慣性部材６２
との間に引張バネ５７を設けて、慣性部材６２を上方に
引っ張ることにより、プレート６１ｂ下面に粘弾性素材
により形成された振動吸収部材６３を押し付けている。
これにより、振動吸収部材６３に適正な圧力をかけるこ
とができる。この実施例３も前記実施例２と同様に各軸
方向の振動を抑制することができる。

【００４９】（実施例４）図１０は本発明の顕微分析装
置の実施例４の全体説明図である。この実施例４は走査
型電子顕微鏡に使用される可動絞り装置に本発明を適用
した例である。図１０において、走査型電子顕微鏡によ
り構成された顕微分析装置８１は真空室Ａの上壁に支持
された鏡筒８２を有している。鏡筒８２の内部の上端部
には電子銃８３が配置されており、電子銃８３の下方に
は、順次、集束レンズ８４、第１偏向コイル８５、第２
偏向コイル８６、対物レンズ８７等が配置されている。
真空試料室Ａ内部には、Ｙ軸テーブルＴｙ、Ｘ軸テーブ
ルＴｘ、回転テーブルＴｒおよび試料Ｓを保持する試料
保持部Ｔｓが配置されている。

【００５０】前記集束レンズ８４の下側の鏡筒８２の側
壁には、絞り装置装着孔８２ａが形成されており、絞り
装置装着孔８２ａには内側球面軸受け９０が装着されて
いる。外側球面軸受け９１は鏡筒８の側壁に固定されて
おり、前記内側球面軸受け９０および外側球面軸受け９
１により回動筒９２の球面９２ａが回動可能に支持され
ている。回動筒９２内孔には外周面にネジが形成された
送りネジ９３が回転不能且つ軸方向に移動可能に収容さ
れている。送りネジ９３の内端にはロッド状のホルダ装
着部材９４の外端部が連結されており、ホルダ装着部材
９４の内端部にはホルダ装着部９４ａが設けられてい
る。ホルダ装着部９４ａに絞りホルダＨの外端部が連結
されている。絞りホルダＨには図示しない絞り板が支持
されており、絞り板には複数の絞り孔（図示せず）が形
成されている。したがって、絞りホルダＨを内方または
外方に移動させて前記図示しない絞り板の複数の絞り孔
のいずれか１個を電子ビームの通路に配置するように構
成されている。

【００５１】前記回動筒９２の外端部にはベアリング９
５を介して回転操作部材９６が回転可能且つ軸方向の移
動不能に支持されている。回転操作部材９６には前記送
りネジ９３と螺合するネジ孔９６ａが形成されている。
したがって、回転操作部材９６を回転操作することによ
り送りネジ９３およびホルダ装着部材９４を鏡筒８２の
内方または外方に移動させることができる。前記回転操
作部材９６の外周面には大径部９６ｂが形成されてい
る。前記符号９２〜９６で示された要素により、絞りホ
ルダＨが装着されるホルダ装着部９４ａを装着部材支持
装置（９２〜９６）が構成されている。前記大径部９６
ｂの外周面を被覆する形で粘弾性素材により形成された
振動吸収部材９７が配置されている。振動吸収部材９７
の外側には２つ割りのリング状慣性部材を結合して円筒
状に構成した慣性部材９８が装着されている。前記符号
９６〜９８で示された要素により振動抑制装置Ｕａが構
成されている。

【００５２】（実施例４の作用）前記構成を備えた顕微
分析装置の実施例４では、電子銃８３から出射した電子
ビームは、集束レンズ８４により集束し、絞りホルダＨ
に支持された図示しない絞り板の絞り孔によって、電子
ビームの中心部以外が遮られる。その後、対物レンズ８
７で電子ビームが１点に絞られて、観察、分析試料に照
射され、照射部分からの２次電子等の検出信号により試
料の観察、分析を行う。このとき、第１偏向コイル８
５、第２偏向コイル８６を用いて、電子ビームにより試
料表面を走査することにより、試料表面上の情報を画像
にすることができる。前記電子ビームを遮るこことで、
ビーム径を制御する絞り孔の位置が振動すると、電子銃
８３の光源の位置が変動することと同じことである。こ
の時、観察面（試料表面）におけるビーム照射位置が移
動することになり、結果として像ノイズとして観察され
ることになる。ホルダ装着部材支持装置（９２〜９６）
がＹ軸方向に振動すると、振動する回転操作部材９６と
静止している慣性部材９８との間でＹ軸方向の相対的な
往復移動が発生する。このとき、回転操作部材９６の大
径部９６ｂと慣性部材９８との間に配置された振動吸収
部材９７は剪断変形して振動エネルギを熱エネルギに変
換する。Ｚ軸方向およびＸ軸方向についても同様であ
る。したがって、ホルダ装着部材支持装置（９２〜９
６）および絞りホルダＨの振動を抑制することができ
る。

【００５３】（実施例５）図１１は本発明の顕微分析装
置の実施例５としての透過型電子顕微鏡の要部平断面図
である。図１１において、透過型電子顕微鏡１０１は鏡
筒１０２を有しており、電子ビームは画面の手前側から
背面側に進むように構成されている。鏡筒１０２にはゴ
ニオステージＧＳ、ゴニオメータＧＭが設けられてい
る。鏡筒１０２に固定され且つ鏡筒１０２の一部を構成
するゴニオステージＧＳは、上下方向に延びるＺ軸（上
下軸、画面に垂直な軸）に沿った荷電粒子ビームの通路
が内部に形成されている。ゴニオステージＧＳは前記Ｚ
軸に垂直な方向に延び且つ前記鏡筒１０２の内外を連通
させるゴニオメータ装着孔１０３と、前記ゴニオメータ
装着孔１０３の外端に形成されたゴニオメータ装着面１
０４と、前記ゴニオメータ装着孔１０３の内端部に設け
られた球面軸受け１０６とを有する。また、ゴニオステ
ージＧＳは前記ゴニオメータ装着孔１０３と角度９０°
をなす方向に形成されたホルダ位置決め部材装着孔１０
７を有している。

【００５４】ゴニオメータＧＭは軸受部材１０８を有
し、軸受部材１０８は前記ゴニオメータ装着面１０４に
接合した状態で連結される被装着面１０８ａおよび前記
被装着面１０８ａに垂直な軸受孔１０８ｂとを有する。
前記軸受部材１０８により回転可能に支持された回転部
材１１１は、その外周部にギヤ１１１ａを有しており、
ギヤ１１１ａは、図示しないＹ軸周り駆動用モータによ
り駆動されるウォームギヤ（図示せず）と噛み合って、
Ｙ軸周りの回転位置を調節することができる。前記回転
部材１１１のホルダ装着部材貫通孔１１１ｂを貫通する
ホルダ装着部材１１２は円筒状部材で、内端部の外側面
に球面１１２ａを有し、且つ内側面にホルダ装着孔１１
２ｂが形成されている。前記球面１１２ａは前記球面軸
受け１０６により回動可能に支持されている。

【００５５】前記ホルダ装着孔１１２ｂは試料ホルダＨ
が装着される孔であり、ホルダ装着孔１１２ｂの軸は試
料ホルダＨのホルダ軸と同一であり、前記球面軸受け１
０６の中心Ｏを通る。試料ホルダＨは前記ホルダ装着孔
１１２ｂを貫通して、外端部には操作ツマミＨａが設け
られており、内端部には試料（図示せず）を保持する。

【００５６】ホルダ装着部材１１２の外端部はＸ軸方向
の後側面（−Ｘ側面）が、前記回転部材１１１に支持さ
れたＸ軸方向押圧部材１１６により前方（Ｘ方）に押圧
されており、他側面（左側面）には前記回転部材１１１
に支持されたネジ１１７（Ｘ軸方向位置調節部材）の先
端が当接しており前記ネジ１１７の進退移動によりホル
ダ装着部材１１２は前後に揺動する。前記ネジ１１７は
ギヤ１１８と一体に構成されており、前記回転部材１１
１に支持された前後移動用モータ１１９が回転するとギ
ヤ１２０およびこのギヤ１２０と噛み合う前記ギヤ１１
８および前記ネジ１１７が回転する。このとき、前記ネ
ジ１１７が進退移動し、前記ホルダ装着部材１１２およ
び試料ホルダＨの軸が前後に傾斜する。前記符号１１６
〜１２０で示された部材によりホルダ装着部材１１２は
前記球面軸受け１０６の中心Ｏ回りにＸ軸方向の回転位
置の調節が可能である。前記符号１０６，１０８，１１
１，１１６〜１２０で示された要素によりホルダ装着部
材１１２を支持する装着部材支持装置（１０６，１０
８，１１１，１１６〜１２０）が構成されている。

【００５７】前記ホルダ位置決め部材装着孔１０７には
円筒状ケース１２１が収容されており、円筒状ケース１
２１に収容されて鏡筒１０２を内外に貫通するホルダＹ
軸方向位置決め部材１２２はヒンジ１２２ａ回りに回動
可能である。ホルダＹ軸方向位置決め部材１２２と円筒
状ケース１２１内面との間にはベローズ１２３が設けら
れている。前記ホルダＹ軸方向位置決め部材１２２の外
端部の左側面には、円筒状ケース１２１の外端部に支持
されたネジ１２４（Ｙ軸方向位置調節部材）の先端が当
接しており前記ネジ１２４の進退移動によりホルダＹ軸
方向位置決め部材１２２は左右に揺動する。前記ネジ１
２４はギヤ１２５と一体に構成されており、前記円筒状
ケース１２１に支持された左右移動用モータ１２６が回
転するとギヤ１２７およびこのギヤ１２７と噛み合う前
記ギヤ１２５および前記ネジ１２４が回転する。このと
き、前記ネジ１２４が進退移動し、前記ホルダＹ軸方向
位置決め部材１２２がヒンジ１２２ａ回りに左右に回動
する。前記符号１２１〜１２７で示された部材により試
料ホルダＨは前記Ｙ軸方向の位置（ホルダの軸方向の位
置）の調節が可能である。

【００５８】なお、図示しないが、試料ホルダＨの球面
中心Ｏを中心としたＺ軸方向の傾斜角度も調節可能に構
成されている。このような構成は従来周知（例えば、特
開平８−２９３２７８号公報、特開平１２−１０６１１
８号公報等参照）である。

【００５９】試料ホルダＨの外端部の外周面には円板状
の慣性部材１３１がスライド可能に装着されている。ま
た、操作ツマミＨａの内端面にはプレート１３２が前記
慣性部材１３１に対向して設けられている。前記プレー
ト１３２は振動抑制部材装着部として使用される。前記
慣性部材１３１とプレート１３２との間には粘弾性素材
により形成された振動吸収部材１３３が配置されてい
る。前記慣性部材１３１はホルダ装着部材１１２との間
に配置された圧縮バネ１３４によりプレート１３２の方
向に押圧されており、このため、振動吸収部材１３３は
慣性部材１３１とプレート１３２との間に挟まれてい
る。したがって、試料ホルダＨがＹ軸方向に振動する
と、慣性力で静止している慣性部材１３１との間でＹ軸
方向の相対的な往復移動が発生する。このとき、プレー
ト１３２と慣性部材１３１との間に配置された振動吸収
部材１３３は剪断変形して振動エネルギを熱エネルギに
変換する。したがって、試料ホルダＨの振動を抑制する
ことができる。前記符号１３１〜１３３で示された要素
によりＹ軸方向の振動を抑制する振動抑制装置Ｕｙが構
成されている。

【００６０】前記ホルダ装着部材１１２の外端部の外周
面には前方（Ｘ軸方向）に延びるロッド１３６が固定さ
れている。ロッド１３６の先端部には前記実施例１のＸ
軸方向振動抑制装置Ｕｘと同様の振動抑制装置Ｕｘが装
着されている。すなわち、ロッド１３６はロッド本体１
３６ａおよびその上端に連結されたプレート部１３６ｂ
を有している。ロッド本体１３６ａの上端部は、ケース
部分１３７ａおよび蓋部分１３７ｂを有する慣性部材１
３７の前記ケース部分１３７ａの底壁をスライド可能に
貫通しており、プレート部１３６ｂは慣性部材１３７の
内部に収容されている。前記プレート部１３６ｂと蓋部
分１３７ａとの間には粘弾性素材により形成された振動
吸収部材１３８が配置されている。前記慣性部材１３７
は、ロッド１３６がホルダ装着部材１１２と一緒に前後
に振動した時に、慣性力で停止している程度の質量を有
している。前記符号１３６〜１３８により示された要素
によりＸ軸方向振動抑制装置Ｕｘが構成されている。そ
して、ロッド１３６周囲には引張バネ１３９が配置され
ており、振動抑制装置Ｕｘの慣性部材１３７が振動吸収
部材１３８に圧接するように構成されている。

【００６１】また、前記回転部材１１１の外端部の外周
面には後方（−Ｘ方向）に延びるロッド１３６が固定さ
れている。ロッド１３６の先端部には前記ホルダ装着部
材のロッド１３６の先端部に設けたＸ軸方向振動抑制装
置Ｕｘと同一の振動抑制装置Ｕｘが装着されている。そ
して、ロッド１３６の周囲には引張バネ１３９が配置さ
れており、Ｘ軸方向振動抑制装置Ｕｘの慣性部材１３７
が振動吸収部材１３８に圧接するように構成されてい
る。前記回転部材１１１およびホルダ装着部材１１２に
設けたロッド１３６の先端に支持したＸ軸方向振動抑制
装置Ｕｘは、ロッド１３６が振動したとき、ロッド１３
６と慣性部材１３７との間に配置された振動吸収部材１
３８が剪断変形して振動エネルギを熱エネルギに変換す
るので、振動が抑制される。

【００６２】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。（Ｈ01）本発明は走査型電子顕微鏡以外の電子顕微鏡や
精密作業を行う装置等の顕微分析装置に適用可能であ
る。

【００６３】

【発明の効果】前述の本発明の顕微分析装置は、下記の
効果（Ｅ01）を奏することができる。（Ｅ01）周囲の振動、音響の入力により、電子顕微鏡等
の顕微分析装置の構成部材がそれぞれの固有振動モード
にて振動するとき、その振動エネルギを熱エネルギに変
換して前記振動を減衰させること。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の顕微分析装置の実施例１の要
部説明図である。

【図２】図２は試料ホルダが装着される試料ステージ
の説明図で、図２Ａは前記図１の矢印IIから見た図、図
２Ｂは前記図２Ａの要部拡大図でＺ軸方向振動抑制装置
の説明図、図２Ｃは前記図２Ａの要部拡大図でＸ軸方向
振動抑制装置の説明図である。

【図３】図３は前記図２Ａの矢印IIIから見た図であ
る。

【図４】図４は前記図１の要部拡大図で、Ｙ軸テーブ
ル１７を支持する傾斜テーブル１１に回転可能に支持さ
れるスクリューシャフト２６の右端部と傾斜テーブル１
１の連結部材１４との間に設けられ、前記スクリューシ
ャフトおよび傾斜テーブル１１間に相対的に発生したス
クリューシャフト２６の軸方向の振動を抑制する振動抑
制装置の説明図であり、図４Ａは実施例１の振動抑制装
置の拡大図、図４Ｂはその変更例を示す図である。

【図５】図５は本実施例１の顕微分析装置のＺ軸方向
振動抑制装置Ｕｚの作用効果を確認するための試験結果
示すグラフで、振動周波数に対するＺ軸方向の加速度パ
ワースペクトルを示すグラフであり、図５Ａは振動抑制
装置を使用しない場合、図５Ｂは実施例１の振動抑制装
置を使用した場合のグラフである。

【図６】図６は本実施例１の顕微分析装置のＸ軸方向
振動抑制装置Ｕｘの作用効果を確認するための試験結果
示すグラフで、振動周波数に対するＸ軸方向の加速度パ
ワースペクトルを示すグラフであり、図６Ａは振動抑制
装置を使用しない場合、図６Ｂは実施例１の振動抑制装
置を使用した場合のグラフである。

【図７】図７は本発明の実施例２の説明図で、前記実
施例１の図１に対応する図である。

【図８】図８は前記図７の矢印ＶIから見た図であ
る。

【図９】図９は本発明の実施例３の説明図で前記実施
例２の図８に対応する図である。

【図１０】図１０は本発明の顕微分析装置の実施例４
の全体説明図である。

【図１１】図１１は本発明の顕微分析装置の実施例５
としての透過型電子顕微鏡の要部平断面図である。

【符号の説明】

Ｈ…ホルダ、Ｈａ…操作部、Ｕｘ，Ｕｙ，Ｕｚ，Ｕａ…振動抑制装置、１１…移動テーブル支持部材、１４…支持部材、１７…移動テーブル、１７ａ…ナット、２０，９４…ホルダ装着部材、２６…移動部材（スクリューシャフト）、３２，４４，５３；６３；７３；９７；１３３；１３８
…振動エネルギ吸収部材、５１；６２；７２；９８；１３１；１３７…慣性部材、９３…軸方向移動部材、９６ｂ…振動抑制部材装着部、（１１〜１９，２２〜２６）…装着部材支持装置、（９２〜９６）…装着部材支持装置、（１０６，１０８，１１１，１１６〜１２０）…装着部
材支持装置、５２；６１；７１；９６ｂ；１３２；１３６）…振動抑
制部材装着部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03）を備え
たことを特徴とする顕微分析装置、（Ａ01）顕微分析で
使用される顕微分析部材を保持するホルダが装着される
ホルダ装着部材、（Ａ02）前記ホルダ装着部材を支持し
且つホルダ装着部材と共に移動可能な移動部材と前記移
動部材を支持する支持部材とを有する装着部材支持装
置、（Ａ03）前記装着部材支持装置の振動時に振動する
振動抑制部材装着部と、前記振動抑制部材装着部に対し
て相対移動可能に支持された慣性部材と、前記振動抑制
部材装着部および前記慣性部材間に設けられて前記振動
抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な往復移動の
繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱エ
ネルギに変換して前記振動を抑制する振動エネルギ吸収
部材とを有する振動抑制装置。
【請求項２】次の構成要件（Ａ01），（Ａ02），（Ａ
04）を備えたことを特徴とする顕微分析装置、（Ａ01）
顕微分析で使用される顕微分析部材を保持するホルダが
装着されるホルダ装着部材、（Ａ02）前記ホルダ装着部
材を支持し且つホルダ装着部材と共に移動可能な移動部
材と前記移動部材を支持する支持部材とを有する装着部
材支持装置、（Ａ04）前記移動部材と支持部材との間に
設けられて、前記移動部材および支持部材間の相対的な
往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネ
ルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する振動エ
ネルギ吸収部材を有する振動抑制装置。
【請求項３】次の構成要件（Ａ01），（Ａ05），（Ａ
06）を備えたことを特徴とする顕微分析装置、（Ａ01）
顕微分析で使用される顕微分析部材を保持するホルダが
装着されるホルダ装着部材、（Ａ05）前記ホルダ装着部
材を支持し且つホルダ装着部材と共に移動可能な移動テ
ーブルと、前記移動テーブルを支持する移動テーブル支
持部材と、前記移動テーブルと一体的に移動可能に構成
されたナットに螺合して前記ナットを貫通するとともに
一端部に回転力が伝達され且つ他端部が前記移動テーブ
ル支持部材に回転可能に支持されたスクリューシャフト
とを有する装着部材支持装置、（Ａ06）前記スクリュー
シャフトの他端部と移動テーブル支持部材との間に設け
られて、前記スクリューシャフトおよび移動テーブル支
持部材間の相対的な往復移動の繰り返しである振動の発
生時に前記振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振
動を抑制する振動エネルギ吸収部材を有する振動抑制装
置。
【請求項４】次の構成要件（Ａ07），（Ａ08）を備え
たことを特徴とする顕微分析装置、（Ａ07）顕微分析で
使用される顕微分析部材を内端部に保持し且つ外端部に
操作部が設けられたホルダの円筒状外周面を回転可能且
つスライド可能に支持する円筒状内周面を有し、前記ホ
ルダを顕微鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する円筒状の
ホルダ装着部材、（Ａ08）前記ホルダの振動時に振動す
る振動抑制部材装着部と、前記振動抑制部材装着部に対
して相対移動可能に支持された慣性部材と、前記振動抑
制部材装着部および前記慣性部材間に設けられて前記振
動抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な往復移動
の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネルギを熱
エネルギに変換して前記振動を抑制する振動エネルギ吸
収部材とを有する振動抑制装置。
【請求項５】次の構成要件（Ａ07），（Ａ09）を備え
たことを特徴とする顕微分析装置、（Ａ07）顕微分析で
使用される顕微分析部材を内端部に保持し且つ外端部に
操作部が設けられたホルダの円筒状外周面を回転可能且
つスライド可能に支持する円筒状内周面を有し、前記ホ
ルダを顕微鏡の鏡筒を貫通する状態で保持する円筒状の
ホルダ装着部材、（Ａ09）前記ホルダ装着部材の振動時
に振動する振動抑制部材装着部と、前記振動抑制部材装
着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材と、前
記振動抑制部材装着部および前記慣性部材間に設けられ
て前記振動抑制部材装着部および慣性部材間の相対的な
往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振動エネ
ルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する振動エ
ネルギ吸収部材とを有する振動抑制装置。
【請求項６】次の構成要件（Ａ010），（Ａ011）を備
えたことを特徴とする、請求項４または６記載の顕微分
析装置、（Ａ010）前記円筒状のホルダ装着部材をその
軸上に設定された揺動中心回りに揺動可能に支持する装
着部材支持装置、（Ａ011）前記装着部材支持装置の振
動時に振動する振動抑制部材装着部と、前記振動抑制部
材装着部に対して相対移動可能に支持された慣性部材
と、前記振動抑制部材装着部および前記慣性部材間に設
けられて前記振動抑制部材装着部および慣性部材間の相
対的な往復移動の繰り返しである振動の発生時に前記振
動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を抑制する
振動エネルギ吸収部材とを有する振動抑制装置。