JP2002119932A - 集積製品の塵埃除去方法及び装置 - Google Patents

集積製品の塵埃除去方法及び装置

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JP2002119932A
JP2002119932A JP2000315520A JP2000315520A JP2002119932A JP 2002119932 A JP2002119932 A JP 2002119932A JP 2000315520 A JP2000315520 A JP 2000315520A JP 2000315520 A JP2000315520 A JP 2000315520A JP 2002119932 A JP2002119932 A JP 2002119932A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 少ないスペースで静電除去対策を行いつつ短
時間に多量の集積製品の分離作業及び塵埃除去作業を行
うことができ、能率を飛躍的に向上させ得る集積製品の
塵埃除去方法及び装置を提供すること。 【解決手段】 塵埃除去室1内の塵埃除去作業台2上に
横向きに供給された集積製品16の上方からエア吹き付
けノズル5を集積方向に移動させながらエアを吹き付け
て集積製品16を集積方向に順次拡開して個々のものに
分離しつつ個々の製品に付着している切り屑、ゴミ等の
塵埃を吹き飛ばして離脱除去させ、下方から離脱除去さ
れた塵埃を集塵機12により吸引除去し、この間、同時
に静電気除去手段6により静電気除去をも行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックシー
トから真空成型されたスーパーマーケット等で使用され
る商品包装用トレー又は工業用部品トレー等の集積製品
の塵埃除去方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、スーパーマーケット又は食品製
造メーカー等で使用される商品包装用トレーは、原反シ
ートから真空成型機で所定個数ずつ成型され、順次、ト
リミング機等で個々の製品に切断分離されて集積され、
塵埃を除去して包装し、各店舗又は食品製造メーカー等
に配布されている。この場合、真空成型工程や切断分離
工程等で製品に切り屑やゴミ等の塵埃が付着するため、
従来では、トリミング機で切断分離され、集積装置で集
積された製品を、作業者が台の上で手作業で広げて個々
の製品間にスキマを形成し、その状態でエアを吹き付け
て塵埃を吹き飛ばしたり、掃除機等により、吸引除去さ
せるようにしていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
塵埃除去方法では、次のような問題点がある。即ち、広
い場所が必要であり、作業能率が低い。塵埃が確実に除
去できない。食品の盛付け用トレー等の場合、塵埃の除
去が不完全であると、塵埃が食品中に混入したり、トレ
ー内に切り屑や異物が一緒に包装される恐れがあり、塵
埃の除去を完全にすることが厳しく要求されている。更
にこの種トレーは静電気を帯電しているために、エアー
を吹き付けるだけでは完全に塵埃を除去することが困難
であり、塵埃の除去が不完全なまま使用されるといった
問題があった。
【0004】そこで本発明は、少ないスペースで静電除
去対策を行いつつ集積製品の分離作業及び塵埃除去作業
の能率を飛躍的に向上させ得る集積製品の塵埃除去方法
及び装置を提供することを課題としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の方法は、横向きにした集積製品の上方から
エア吹き付けノズルを集積製品の集積方向に移動させな
がらエアを吹き付けて集積製品を集積方向に拡開して個
々の製品を離隔分離しつつ個々の製品に付着している切
り屑、ゴミ等の塵埃を吹き飛ばして離脱除去させ、下方
から離脱除去された塵埃を吸引除去し、この間、同時に
静電気除去をも行うことを特徴とする。
【0006】また、本発明の装置は、入口及び出口に開
閉可能なシャッターを備え、底部に集塵ホッパーを有
し、天井部及び周囲を囲繞閉鎖した塵埃除去室と、塵埃
除去室内底部に設置された塵埃除去作業台と、該塵埃除
去作業台上に横向きにして供給された集積製品の集積方
向に対向して設置された基準プレート及び可動プレート
と、塵埃除去室内の上部に設置されたエア吹き付けノズ
ル及び静電気除去手段を有するノズルヘッドと、該ノズ
ルヘッドを昇降させるノズルヘッド昇降手段と、該ノズ
ルヘッド昇降手段と共にノズルヘッドを前記塵埃除去作
業台上に支持された集積製品の集積方向に往復移動させ
るためのノズルヘッド往復移動手段と、塵埃除去室の底
部の集塵ホッパーに集塵ダクトを介して接続された集塵
機と、塵埃除去室の入口側に設置された集積製品供給手
段と、塵埃除去室の出口側に設置された集積製品排出手
段とを具備していることを特徴とする。
【0007】また本発明の装置は、前記エア吹き付けノ
ズルがノズルヘッドの往復移動方向前後に2段又は複数
段配置してあることを特徴とする。
【0008】さらに本発明の装置は、前記エア吹き付け
ノズルが集積製品の上部と両側部とに対応させて設置し
てあることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基いて説明する。図1の(A)は本発明に係る装置全
体の概略平面図、(B)はその概略側面図、図2の
(A)は塵埃除去室内でのノズルヘッド往復移動手段の
概略平面図、(B)は塵埃除去室内での主要部材の概略
構成を示す正面図、図3は塵埃除去室内の主要部材の概
略構成を示す側面図、図4は本発明の方法の原理説明図
である。
【0010】図1〜図3において、1は塵埃除去室、2
は塵埃除去作業台、3は基準プレート、4は可動プレー
ト、5はエア吹き付けノズル、6は静電気除去手段、7
はノズルヘッド、8はノズルヘッド昇降手段、9はノズ
ルヘッド往復移動手段、10は集塵ホッパー、11は集
塵ダクト、12は集塵機、13は集積製品供給手段、1
4は集積製品排出手段、15は機台、16は集積製品を
示している。
【0011】塵埃除去室1は、図1及び図3に示すよう
に、入口及び出口にそれぞれ開閉シリンダ17、18で
開閉可能とされたシャッター19、20を備え、底部に
集塵ホッパー10を有し、天井部及び周囲を囲繞閉鎖し
てあり、機台15の中央上部に設置してある。
【0012】上記塵埃除去室1内底部には、塵埃除去作
業中、集積製品16を集積方向に拡開分離可能に支持さ
せておくための塵埃除去作業台2が設置してある。この
塵埃除去作業台2は、図3に示すように、出口側端部を
支点としてシリンダ2aにより水平状態と傾斜排出状態
とに傾動可能に設置された第1コンベア枠2bと、第1
コンベア枠2b内でシリンダ2cにより独立して昇降可
能に設置された第2コンベア枠2dとからなり、第1コ
ンベア枠2bの上面には入口側から出口側に向けて等ピ
ッチで丸棒状のコロ2eの両端を自由回転可能に支持す
る軸受溝2fが形成されており、この軸受溝2fの入口
側端部と出口側端部とにコロ2eが装着されている。そ
して、入口側端部と出口側端部との間のコロ2eが装着
されていない部分に対応して第2コンベア枠2dが昇降
可能に配置されている。この第2コンベア枠2dの上面
にも等ピッチで丸棒状のコロ2gの両端を自由回転可能
に支持する軸受溝(前記と同様)が形成されており、こ
の軸受溝にコロ2gが装着されている。通常、第2コン
ベア枠2dは上昇位置に保持されてコロ2gが第1コン
ベア枠2bのコロ2eと同一レベルに揃えられ、塵埃除
去動作の間だけ下降位置に下げられて大きい切り屑等が
集積製品16の間に残存している場合、それらを下方に
通過排出させるようにしている。即ち、集積製品16の
下面を第1コンベア枠2bの入口側端部と出口側端部と
に装着されたコロ2eで支持させ、第2コンベア枠2d
のコロ2gを下げて大きい隙間を形成し、この隙間から
大きい切り屑等を排出させるものである。
【0013】基準プレート3及び可動プレート4は、塵
埃除去作業台2上に横向きにして供給された集積製品1
6を塵埃除去作業時にエア吹き付けノズル5により集積
方向に拡開して離隔分離動作可能とし、塵埃除去作業終
了後、元の状態に集積させるためのもので、図2の
(B)に示すように、塵埃除去作業台2上に供給された
集積製品16の集積方向に対向して設置され、可動プレ
ート4を駆動手段4aによって基準プレート3に向けて
移動可能としてある。
【0014】塵埃除去室1内の上部には、エア吹き付け
ノズル5及び静電気除去手段6を有するノズルヘッド7
がノズルヘッド昇降手段8及びノズルヘッド往復移動手
段9を介して設置されている。
【0015】エア吹き付けノズル5は、塵埃除去作業台
2上に横向きにして供給されている集積製品16の上方
からエアを吹き付けて集積製品16を集積方向に拡開し
て個々の製品16aに離隔分離しながら個々の製品16
aに付着しているか又は個々の製品16a間に介在して
いる切り屑、ゴミ等の塵埃を吹き飛ばして離脱除去させ
るためのもので、先端が製品16aの長辺側の周縁に沿
って細長く延びるスリット形状とされ、集積製品16の
集積方向に前後2段又は複数段にして設置され、更に、
図3に示すように、スリットの長手方向に複数(図では
3つ)に分割され、その間に静電気除去手段6が配置さ
れている。なお、集積製品16の下方での拡開分離を助
勢させるために集積製品16の両側部に側面用のエア吹
き付けノズル5a‘がノズルヘッド7から吊下げられて
いる。
【0016】静電気除去手段6は、プラス又はマイナス
のイオン風を噴出させて集積製品16に吹き掛けること
により集積製品16のもつ静電気を放電させて除電させ
るもので、エア吹き付けノズル5と共にノズルヘッド7
に取付けられる。
【0017】ノズルヘッド7のエア吹き付けノズル5及
び5a‘は、可撓ホースを介して高圧エア供給源(コン
プレッサ等)に接続される。また、静電気除去手段6
は、イオン風の供給源に同様に接続される。
【0018】ノズルヘッド7は、集積製品16のサイズ
に対応してノズルヘッド昇降手段8により昇降移動せし
められる。
【0019】ノズルヘッド昇降手段8は、図2の(A)
(B)に示すように、ノズルヘッド7を昇降可能に支持
する2本のガイドロッド8aと、駆動モータ8bにより
正逆回転駆動されるボールねじ軸8cと、このボールね
じ軸8cに螺合せしめられ、ノズルヘッド7に固着され
たボールナット8dとで構成され、これらは、ノズルヘ
ッド往復移動手段9の移動ブロック9aの一部に取付け
られている。
【0020】ノズルヘッド往復移動手段9は、図2の
(A)(B)に示すように、移動ブロックを介してノズ
ルヘッド昇降手段8及びノズルヘッド7を塵埃除去作業
台2上に横向きに供給されている集積製品16の集積方
向に沿って往復移動させるためのもので、塵埃除去室1
内に支持ブラケット9bを介して両端を支持された2本
のガイドロッド9cと、このガイドロッド9cに移動可
能に支持された移動ブロック9aと、この移動ブロック
9aを上記方向に往復移動させるボールねじ軸9d及び
ボールナット9eと、このボールねじ軸9dを正逆回転
駆動する駆動モータ9fとからなる。
【0021】塵埃除去室1の底部には、図1の(B)に
示すように、集塵ホッパー10が取付けられており、こ
の集塵ホッパー10は、集塵ダクト11を介して集塵機
12に接続されている。
【0022】塵埃除去室1の入口側には集積製品供給手
段13が設置されている。この集積製品供給手段13
は、図1の(A)(B)に示すように、第1コンベア1
3a、第2コンベア13b、第3コンベア13c及び受
け台13iで構成している。第1コンベア13aは、集
積製品16をストックしておくためのもので、塵埃除去
室1側に向けて傾斜を付けて機台15に取付けられ(図
1では水平に作図した場合を示す)、集積製品16を重
力で移送させるようにしたフリーローラーコンベアで構
成されている。第2コンベア13bは、第1コンベア1
3aから前進端位置にある第3コンベア13c上へ集積
製品16を橋渡しするためのもので、機台15上に設置
された傾動用シリンダ13dにより、第1コンベア13
a側の端部を支点として水平状態から第3コンベア13
c側へ低くなるように傾斜して集積製品16を送り出す
ようにフリーローラーコンベアで構成されている。第3
コンベア13cは、塵埃除去作業台2と同一レベルで塵
埃除去室1の入口側に固定設置された受け台13i上を
押込み方向に前後動可能に設置されており、第2コンベ
ア13bから受取った集積製品16を後退動作で受け台
13i上に移載させ、該受け台13i上に移載させた集
積製品16を前進動作時、その先端で押して塵埃除去室
1内の塵埃除去作業台2上へ押込み供給するためのもの
で、フリーローラーコンベアで構成されており、機台1
5上に設置された押込みシリンダ13eにより前後に往
復移動可能とされている。この押込みシリンダ13eに
よる第3コンベア13cの前進端位置は、集積製品16
のサイズに応じてハンドル13fにより調整可能とされ
ている。この第3コンベア13cの前進端位置に対応し
て、塵埃除去作業台2上で集積製品16の位置決めを行
うストッパー21が出口側のシャッター20の一部に停
止位置調整可能に設置されている。また、第1コンベア
13a〜第3コンベア13cには、集積製品16の横方
向両側を案内するガイドバー13gがそれぞれのコンベ
アフレームに設置されており、また、集積製品16の供
給を円滑に行わせるために、ストッパー13hが高さ調
整可能に設置されている。即ち、集積製品16の供給
は、先ず、第3コンベア13cが前進端位置にあるとき
に、第2コンベア13bが傾動して、第2コンベア13
b上にある先頭の集積製品16がストッパー13hから
外れて第3コンベア13c上に送り出され、該先頭の集
積製品16の後端がストッパ−13hの下を通過すると
直ちに第2コンベア13bが水平状態に戻され、次後の
集積製品16の先頭のものがストッパー13hで停止さ
れて待機する。そして、第2コンベア13bが水平状態
に戻ると、直ちに、第3コンベア13cが第2コンベア
13bの下まで後退動作せしめられ、第2コンベア13
bから受取った集積製品16を受け台13iに落下移載
させて待機する。塵埃除去室1内での先の集積製品16
の塵埃除去作業が終了すると、第3コンベア13cが前
進動作し、受け台13i上の集積製品16を塵埃除去室
1の塵埃除去作業台2上に向けて押込む。この第3コン
ベア13cが押込み動作の前進端に達すると、第2コン
ベア13bが傾動を開始し、次の集積製品16を第3コ
ンベア13c上に送り出し、以後、前述の動作を反復
し、これによって、集積製品16の供給を円滑に行える
ようにしている。
【0023】塵埃除去室1の出口側には、集積製品排出
手段14が設置されている。この集積製品排出手段14
は、機台15に傾斜させて設置されたフリーローラーコ
ンベアからなる排出コンベア14aと、この排出コンベ
ア14aから集積製品16を受取って次工程、例えば、
金属探知機による金属探知を経て包装する工程等に搬送
する次工程搬送コンベア14bとで構成され、各コンベ
アの両側には集積製品16のガイドバー14cが設けら
れている。
【0024】本発明に係る実施形態の構成は以上の通り
であって、次に動作を説明する。先ず、集積製品供給手
段13により、塵埃除去室1の塵埃除去作業台2上に集
積製品16が順次供給される。このとき、入口側のシャ
ッター19は開放されているが、出口側のシャッター2
0は閉じている。集積製品供給手段13の前記した押込
み作業により集積製品16はストッパー21と第3コン
ベア13cの先端により塵埃除去室1の中央に両サイド
をガイドされた状態で送り込まれる。そうして、入口側
のシャッター19が閉じられ、可動プレート4が基準プ
レート3に対し集積製品16を拡張し得るよう製品16
aの1個分の深さにほぼ相当する寸法x(図2の(B)
及び図4参照)だけ可動プレート4を後退させる。次
に、ノズルヘッド昇降手段8により所定高さ位置に設定
されたノズルヘッド7がノズルヘッド往復移動手段9に
より塵埃除去作業台2上に供給されている集積製品16
の集積方向に沿って移動せしめられる。このとき、ノズ
ルヘッド7に取付けられているエア吹き付けノズル5及
び静電気除去手段6には高圧エア及びイオン風が供給開
始されている。また、集塵機12も動作開始されてい
る。
【0025】塵埃の除去は、図4を参照して説明する
と、前後2段のエア吹き付けノズル5a、5bから高圧
のエアを集積製品16に向けて吹き付けると、エアの流
れは上から下へ向けて発生すると同時に、進行方向前段
側のノズル5aからのエアにより、隣接する2個の製品
16aと16bのa面とb面にc方向とd方向への反発
力を発生させ、この位置で両製品16aと16bを分離
移動させ、清掃のための空間xを発生させる。そして、
その空間xに向けて進行方向後段のノズル5bから清掃
用のエアを吹き付けて両製品16aのa面と16bのb
面の清掃を確実に行う。この動作はノズル5a、5bの
走行と共に1枚ずつの製品に作用するのであって、これ
により、集積製品16の全部の製品1枚ずつについて全
て確実に清掃を行わせることができる。特に、製品1枚
ずつ確実に分離するために平面的なエアの流れが必要で
あり、前記ノズル5a、5bの先端が平坦なものを使用
している。また、ノズルの配列数は、2段以上としても
よく、例えば、3段配置とする場合では、進行方向最前
列のものを製品の分離専用とし、残りのものを清掃専用
とすることにより、清掃を一層確実化できる。従って、
ノズルの設置数は、対象となる製品に応じて、2段以上
の複数段とすることもある。
【0026】以上のようにしてノズルからのエアの吹き
付けによって、集積製品16を1枚ずつに分離させて清
掃のための隙間を形成させ、その隙間に清掃用エアを吹
き付けて個々の製品に付着している切り屑やゴミ等の塵
埃を下方に吹き飛ばして集塵ホッパー10から集塵ダク
ト11を経由して集塵機12に回収除去させる。このと
き、静電気除去手段6による静電気の除電も行われてい
るから、塵埃の除去は確実容易に行われる。上記動作
は、ノズルヘッド往復移動手段9の戻りにも同様に行わ
せることができる。なお、往復の一方だけとしてもよ
い。
【0027】上記塵埃の除去動作の間、本実施形態で
は、塵埃除去作業台2が第1コンベア枠2bに対して第
2コンベア枠2dを下降させ得るようにしてあるため、
大きい切り屑等が介在していても下方へ除去させること
ができる。
【0028】さらに、高圧エアの吹き付けによる集積製
品16の拡開分離が上部だけからでは下部が拡開しない
ことも考えられるため、本発明では、両側にもエア吹き
付けノズル5a‘、5a’を設置して、下部も確実に拡
開分離させ得るようにしている。
【0029】また、エア吹き付けノズル5は、前後2段
又は複数段に配置してあり、これによって、例えば、前
段のものが拡開分離を主として受け持ち、後段のものが
塵埃除去を受け持つというが如き機能を分担してもたせ
ることができ、塵埃を残存させることなく確実に除去さ
せることができる。
【0030】特に、本発明は、エア吹き付けノズル5を
図4に示すように、集積製品16の集積方向に移動させ
ることが特徴であって、このようにすると、集積製品1
6の一端から他端まで順番に拡開分離して塵埃を除去さ
せることができる。そして、拡開分離される位置は、順
番に移動するため、集積製品16全体に対して、拡開分
離のために必要な隙間は、製品16aの1個分程度でよ
い。例えば、製品16aの集積数が50個とか100個
の単位となってくると、これらを一斉に拡開分離させれ
ば、塵埃除去室1のスペースを集積製品16の集積寸法
の数倍に大きくとらなければならないが、本発明によれ
ば、何個あっても、製品16aの1個分程度でよいた
め、装置を小型コンパクトに構成することができる。
【0031】以上のようにして塵埃の除去を行わせる
が、集積製品16の全部の製品16aについて塵埃の除
去を終了すると、可動プレート4を基準プレート3側に
押し付けて元の集積状態に戻し、直ぐに後退して把持を
解放して、出口側のシャッター20を開放し、塵埃除去
作業台2の第1コンベア枠2bを持上げて排出する。こ
のとき、高圧エア及びイオン風の供給も一旦停止させ
る。排出後、出口側のシャッター20を閉じ、入口側の
シャッター19を開放し、次の集積製品16を受け入れ
て前記動作を繰り返し、塵埃の除去を同様に行う。以
後、これを反復する。
【0032】塵埃の除去は、高圧エアの吹き付けと集塵
を同時に行いながら行うようにしているが、これを密閉
した塵埃除去室1内で行うようにしているため、吹き出
したエアの吸塵効率を高め確実なエアの流れを発生さ
せ、吹き飛ばした塵埃を確実に集塵装置に吸込むことが
できる。
【0033】さて、本発明の動作は以上であるが、各可
動部の動作は、自動運転操作により、リミットスイッチ
やタイマー等で設定されたシーケンスプログラムにより
自動的に連携して実行され、これらの動作制御は制御盤
で設定変更可能とされ、勿論、各可動部の動作は単独運
転も可能とされ、また、非常時の停止手段等も装備され
ている。
【0034】なお、本発明において、塵埃除去作業台2
は、間欠送り用コンベアとし集積製品16を単に載置す
るだけの作業台としてもよい。この場合の塵埃除去作業
台2は、塵埃の通過を妨げない金網やパンチングプレー
ト等で構成するのが好ましい。また、塵埃除去作業台2
への集積製品16の供給と排出は、手作業で実施するこ
とも可能である。さらに、本発明の変形実施形態とし
て、エアの吹き付けノズル5や静電気除去手段6を定位
置に固定しておいて、この下を集積製品を集積方向に移
動させながら通過させることにより集積製品の拡開分
離、塵埃除去を行わせるようにしてもよい。又、製品の
流れ方向と集積方向を同一にし、ノズルの走行を製品の
搬入搬出と同一方向に行うことも可能である。
【0035】
【発明の効果】本発明によれば、集積製品の塵埃の除去
を短時間に多量に比較的簡単な手段で確実迅速に実施で
き、特に、少ないスペースで多数枚集積された製品の拡
開分離と塵埃除去を高精度に能率よく実施することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明に係る装置全体の概略平面図、
(B)はその概略側面図。
【図2】(A)は塵埃除去室内でのノズルヘッド往復移
動手段の概略平面図、(B)は塵埃除去室内での主要部
材の概略構成を示す正面図。
【図3】塵埃除去室内の主要部材の概略構成を示す側面
図。
【図4】本発明の方法の原理説明図。
【符号の説明】
1 塵埃除去室 2 塵埃除去作業台 3 基準プレート 4 可動プレート 5 エア吹き付けノズル 6 静電気除去手段 7 ノズルヘッド 8 ノズルヘッド昇降手段 9 ノズルヘッド往復移動手段 10 集塵ホッパー 11 集塵ダクト 12 集塵機 13 集積製品供給手段 14 集積製品排出手段 15 機台 16 集積製品 17、18 開閉シリンダ 19、20 シャッター 21 ストッパー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 横向きにした集積製品の上方からエア吹
    き付けノズルを集積製品の集積方向に移動させながらエ
    アを吹き付けて集積製品を集積方向に拡開して個々の製
    品に離隔分離しつつ個々の製品に付着している切り屑、
    ゴミ等の塵埃を吹き飛ばして離脱除去させ、下方から離
    脱除去された塵埃を吸引除去し、この間、同時に静電気
    除去をも行うことを特徴とする集積製品の塵埃除去方
    法。
  2. 【請求項2】 入口及び出口に開閉可能なシャッターを
    備え、底部に集塵ホッパーを有し、天井部及び周囲を囲
    繞閉鎖した塵埃除去室と、塵埃除去室内底部に設置され
    た塵埃除去作業台と、該塵埃除去作業台上に横向きにし
    て供給された集積製品の集積方向に対向して設置された
    基準プレート及び可動プレートと、塵埃除去室内の上部
    に設置されたエア吹き付けノズル及び静電気除去手段を
    有するノズルヘッドと、該ノズルヘッドを昇降させるノ
    ズルヘッド昇降手段と、該ノズルヘッド昇降手段と共に
    ノズルヘッドを前記塵埃除去作業台上に支持された集積
    製品の集積方向に往復移動させるためのノズルヘッド往
    復移動手段と、塵埃除去室の底部の集塵ホッパーに集塵
    ダクトを介して接続された集塵機と、塵埃除去室の入口
    側に設置された集積製品供給手段と、塵埃除去室の出口
    側に設置された集積製品排出手段とを具備していること
    を特徴とする集積製品の塵埃除去装置。
  3. 【請求項3】 前記エア吹き付けノズルがノズルヘッド
    の往復移動方向前後に2段又は複数段配置してあること
    を特徴とする請求項2記載の集積製品の塵埃除去装置。
  4. 【請求項4】 前記エア吹き付けノズルが集積製品の上
    部と両側部とに対応させて設置してあることを特徴とす
    る請求項2又は3記載の集積製品の塵埃除去装置。
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