JP2002112392A - 超音波センサ、およびこれを用いる電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易に製造できる超音波センサの提供を目的
とする。 【解決手段】 振動することにより超音波を送波及び
／又は受波する音源部分４を備えたセンサケース２と、
前記センサケース２の前記音源部分４の内面に設けられ
た圧電振動素子１と、基板面にリード電極Ｌ１，Ｌ２を
備え、かつ、このリード電極Ｌ１，Ｌ２が、圧電振動素
子の電極に接続された形態でセンサケースに収納されて
いる基板５と、を具備した超音波センサ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば車両のバッ
クソナーやコーナソナー等に供される超音波センサ、お
よびこれを用いる電子機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の超音波センサとしては、
例えば特開平８−２３７７９６号公報に開示されている
ものが知られている。この超音波センサにあっては、図
４に示すように、有底筒状をしたセンサケース２の前面
に薄肉部４が位置しており、圧電振動素子１は薄肉部４
の内面に密着して固定され、圧電振動素子１の振動面上
に形成された一方の電極は薄肉部と導通している。ま
た、２本の信号入出力用のリード線６，７の先端は、温
度補償用の単板コンデンサ１３の外部電極に接続されて
おり、単板コンデンサ１３の両外部電極と圧電振動素子
１の他方の電極及びセンサケース２もそれぞれリード線
８，９によって接続されている。こうしてリード線６，
７，８，９に接続された圧電振動素子１と単板コンデン
サ１３をセンサケース２の内部に納めた状態で、センサ
ケース２の内部にフェルト等の吸音材１１と、シリコン
ゴムやウレタンゴム等の弾性を有する絶縁性樹脂１２を
充填してセンサケース２の内部を封止している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、リード線を圧電振動素子の電極や、センサケー
スの薄肉部等に接続する作業は、有底筒状構造となって
いるセンサケースの底部近くに位置する各電極に対して
行わなければならなかったので、人手作業において作業
しにくく、熟練を要するとともに、その作業の機械化も
困難であった。

【０００４】また、センサケースがアルミニウムを素材
とするものの場合には、そのケースに設けた電極とリー
ド線とを接続するのに、高価な特殊はんだを使用しなけ
ればならないので、コスト高を招くという問題があっ
た。

【０００５】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であって、簡易に製造できる超音波センサ、およびこれ
を備える電子機器を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
超音波センサは、振動することにより超音波を送波及び
／又は受波する音源部分を備えたセンサケースと、前記
センサケースの前記音源部分の内面に設けられた圧電振
動素子と、基板面にリード電極を備え、かつ、このリー
ド電極が、圧電振動素子の電極に接続された形態でセン
サケースに収納されている基板と、を具備したことを特
徴構成とする。

【０００７】本発明の請求項１に係る構成によれば、基
板のリード電極に予めリード線や、圧電振動素子を接続
した状態で、圧電振動素子をセンサケースの音源部分の
内面に設けたり、あるいは、予めセンサケースの音源部
分に圧電振動素子を設けた状態で、圧電振動素子の電極
に基板のリード電極が圧着等で接続されるよう、基板を
センサケースに収めていくだけの簡易な作業により超音
波センサを組み立てることができるから、製造効率を向
上できる。

【０００８】本発明の請求項２に係る超音波センサは、
請求項１に記載の超音波センサにおいて、前記音源部分
は、前記センサケースの薄肉部であり、前記基板は、そ
の一面に前記リード電極と接続される一対の入力及び／
又は出力用の電気配線を備えているとともに、前記圧電
振動素子に搭載された状態で、前記両リード電極が、前
記圧電振動素子の両電極に個別に対応して接続されてい
ることを特徴構成とする。

【０００９】本発明の請求項２に係る構成によれば、基
板を、圧電振動素子に搭載されるようにセンサケース内
に収納していくことでリード電極と圧電振動素子の電極
との接続が行えるようになっているから、製造効率を向
上できる利点がある。例えば予め基板のリード電極に圧
電振動素子を接続した状態で、かつ、基板の入力及び／
又は出力用の電気配線を通して外部からのリード線等を
予め接続した状態で、基板をセンサケース内に収納し、
圧電振動素子をその基板のケース内への収納時にセンサ
ケースに取り付けることを図ることができる。

【００１０】本発明の請求項３に係る超音波センサは、
請求項１に記載の超音波センサにおいて、前記音源部分
は、前記センサケースの開口に取り付けた薄肉の金属板
であり、前記基板は、その一面に前記リード電極と接続
される一対の入力及び／又は出力用の電気配線を備えて
いるとともに、前記圧電振動素子に搭載された状態で、
前記両リード電極が、前記圧電振動素子の両電極に個別
に対応して接続されていることを特徴構成とする。

【００１１】本発明の請求項３に係る構成によれば、基
板を、圧電振動素子に搭載されるようにセンサケース内
に収納していくことでリード電極と圧電振動素子の電極
との接続が行えるようになっているから、製造効率を向
上できる利点がある。例えば予め基板のリード電極に圧
電振動素子を接続した状態で、かつ、基板の入力及び／
又は出力用の電気配線を通して外部からのリード線等を
予め接続した状態で、基板をセンサケース内に収納し、
圧電振動素子をその基板のケース内への収納時にセンサ
ケースに取り付けることを図ることができる。

【００１２】本発明の請求項４に係る超音波センサは、
請求項２または３に記載の超音波センサにおいて、前記
基板は、導電部材を充填されたスルーホールを有してお
り、かつ、前記圧電振動素子上に前記基板の他面側を向
けて搭載された状態で、前記基板の一面の前記入力及び
／又は出力用の電気配線が、前記スルーホールの導電部
材を介して、前記基板の他面側の前記リード電極に接続
されることで前記圧電振動素子の両電極に個別に対応し
て接続されていることを特徴構成とする。

【００１３】本発明の請求項４に係る構成によれば、基
板の入力及び／又は出力用の電気配線がスルーホールの
導電材及びリード電極を通して圧電振動素子の電極に接
続されるから、比較例として基板の入力及び／又は出力
用の電気配線やリード端子と圧電振動素子の両電極とを
別途リード線を介して接続するものよりも簡易な構造と
なるともに、接続作業が簡易にできる。

【００１４】本発明の請求項５に係る超音波センサは、
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の超音波センサ
において、前記基板は、前記圧電振動素子の素子面積よ
りも大きな面積を有する平板状のベース部分を有してお
り、前記ベース部分が、前記圧電振動素子の上方を覆う
位置関係で配置されていることを特徴構成とする。

【００１５】本発明の請求項５に係る構成によれば、基
板のベース部分が圧電振動素子の上方をその圧電振動素
子の全体を覆うように設けられることになるので、圧電
振動素子がベース部分によって保護されることになる。
また、圧電振動素子と基板のベース部分とを接着剤で接
着するような製造を行う場合には、ベース部分と圧電振
動素子との間の接着剤量が幾分多めであっても、ベース
部分の上側まで接着剤があふれてことないよう、ベース
部分で規制できる利点もある。

【００１６】本発明の請求項６に係る超音波センサは、
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の超音波センサ
において、前記基板は、フレキシブル基板で構成してい
るとともに、前記基板における前記圧電振動素子の電極
との接続部分から前記センサケースの外方側に延出され
る延出部を備えていることを特徴構成とする。

【００１７】本発明の請求項６に係る構成によれば、基
板がフレキシブル基板であるから、適当な可撓性をもっ
てセンサケース内に収納することができ、その収納時の
作業性を向上できるとともに、延出部に前記入出力用の
電気配線を形成しておくことにより、リード線を別途設
けなくて済み、構造的にきわめて簡単なものにでき、製
造効率の向上をより一層図ることができる。

【００１８】本発明の請求項７に係る超音波センサは、
請求項２ないし６のいずれか一項に記載の超音波センサ
において、前記基板は、３箇所以上の支持箇所をもって
前記圧電振動素子に対して搭載していることを特徴構成
とする。

【００１９】本発明の請求項７に係る構成によれば、基
板が圧電振動素子に不当に重心が偏ったりしない安定し
た状態で搭載され、その搭載に伴い圧電振動素子での超
音波の送波や受波に対しても悪影響を与えることがない
ようになっている。

【００２０】本発明の請求項８に係る超音波センサは、
請求項２または３に記載の超音波センサにおいて、前記
圧電振動素子と前記薄肉部もしくは金属板との間に電極
層を設けるとともに、該電極層から前記圧電振動素子の
脇を通して内面側に延出させて前記基板のリード電極と
接合するための電極を形成していることを特徴構成とす
る。

【００２１】本発明の請求項８に係る構成によれば、圧
電振動素子と基板とのそれぞれの電極の接合を圧電振動
素子の一側においてのみ行えるので、圧電振動素子と薄
肉部もしくは金属板との間の電極層についても良好に電
気的接続がなされるとともに、リード線等を引き回さな
くて済み、構造的に簡単なものとなる。

【００２２】本発明の請求項９に係る超音波センサは、
請求項６に記載の超音波線センサにおいて、前記フレキ
シブル基板における前記延出部に形成される入出力用電
線路に温度補償用コンデンサを接続して設けていること
を特徴構成とする。

【００２３】本発明の請求項９に係る構成によれば、温
度補償用コンデンサをフレキシブル基板における入出力
用電線路に接続しているから、その温度補償用コンデン
サが宙に浮いた状態でリード線等で接続するものに比べ
て取り付け姿勢が安定したものとなり、製造時のコンデ
ンサの脱落等も回避できるとともに、接続も簡易に行
え、また、フレキシブル基板自体がそのコンデンサの支
持部材となるので、専用の支持部材が不要にできる。

【００２４】本発明の請求項１０に係る電子機器は、振
動することにより超音波を送受波する音源部分を備えた
センサケースと、前記センサケースの前記音源部分の内
面に設けられた圧電振動素子と、基板面にリード電極を
備え、かつ、このリード電極が、圧電振動素子の電極に
接続された形態でセンサケースに収納されている基板と
を具備した超音波センサを用いていることを特徴構成と
する。

【００２５】本発明の請求項１０に係る構成によれば、
超音波センサを備えることで安価に構成できるととも
に、基板が収納されていることで、センサとしての耐久
性も高いものにできるから、電子機器としての耐久性も
高いものにできる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。

【００２７】図１は、超音波センサの一例としての防滴
型空中超音波センサを示す縦断面図である。この超音波
センサにおいては、圧電振動素子１を収納するセンサケ
ース２が、アルミニウム等の金属材料によって、背面が
開口した有底筒状に形成されている。センサケース２
は、図１に示すように、ほぼ筒状をした胴部３の前端に
底面を有しており、この底面が、振動を発生し、反射波
を受波する音源部分としての振動板部分４を構成してい
る。尚、請求項５の記載に対応させるため、センサケー
ス２の振動板部分４のある側を下側、センサケース２の
開口した側を上側として以下に説明する。

【００２８】圧電振動素子１は、圧電セラミック材料か
らなる圧電板の両主面に素子電極を形成したものであっ
て、図１に示すように、圧電振動素子１は、振動板部分
４の内面に取り付けられている。振動板部分４は、正面
視で円形の薄肉に形成されて薄肉部分を構成していると
ともに、その円の中心位置に円板状の圧電振動素子１が
取り付けられている。なお、この薄肉部分は、センサケ
ース２の底部を切削や研削等により薄肉に加工したもの
である。また、圧電振動素子１は、両面に電極層１ａ，
１ｂを設けている。下面側の電極層１ａは、圧電振動素
子１の脇箇所で、上側に立ちあがり、さらにその先端部
分は、圧電振動素子１の上面に折り曲げられて接着され
ている。ただし、その上面に折り曲げられて接着される
電極層１ａは、電極層１ｂ及び圧電振動素子１の上面や
側面に対して絶縁されている。

【００２９】図１に示すように、圧電振動素子１の上面
よりも大面積でその上方を覆うように、フレキシブル基
板５のベース部分５Ａを、圧電振動素子１の上に載置し
ている。このフレキシブル基板５は、図１及び図２に示
すように、円板状のベース部分５Ａと、このベース部分
５Ａから延出されるように設けられている矩形状の延出
部５Ｂとが一体に形成されて構成している。この延出部
５Ｂの先端からベース部分５Ａにわたって入出力用の一
対の電気配線６，７が形成されているとともに、それぞ
れの電気配線６，７がベース部分５Ａの上面側に形成さ
れている入出力用の電気配線８，９につながっている。
そして、ベース部分５Ａの一対の電気配線８，９には、
上下に貫通するスルーホールＨ，Ｈ，Ｈがそれぞれ設け
られているとともに、各スルーホールＨ，Ｈ，Ｈの下端
部にはバンプ状にリード電極Ｌ１，Ｌ１，Ｌ２が形成さ
れている。スルーホールＨ，Ｈ，Ｈ内にはその上下にわ
たって導電性ペーストが充填されており、電気配線８，
９と前記バンプ状の各リード電極Ｌ１，Ｌ１，Ｌ２とが
それぞれ電気的に導通するものとなっている。ベース部
分５Ａの圧電振動素子１への搭載および接着に伴い、こ
のバンプ状のリード電極Ｌ１，Ｌ１，Ｌ２と圧電振動素
子１の電極層１ａ，１ｂとが圧着されており、これによ
って、電気配線６，７を通しての圧電振動素子１に対す
る電気信号の入出力が可能となっている。なお、スルー
ホールＨ，Ｈ，Ｈは、図１および図２に示すように、電
気配線８側には２つ形成し、電気配線９側には１つ形成
しており、ベース部分５Ａの中心周りにほぼ等間隔とな
るよう、配置している。従って、３個のバンプ状のリー
ド電極Ｌ１，Ｌ１，Ｌ２を介して圧電振動素子１上にベ
ース部分５Ａが安定した状態でかつ電気的接触も良好に
なされる状態で搭載されることになる。図中、１０は、
圧電振動素子１とベース部分５Ａを接着する接着剤層で
ある。また、この接着剤層１０とセンサケース２との間
の空間部には、超音波センサの特性に応じて、残響振動
を抑えるためシリコン樹脂等を充填しても良く、あるい
は単なる空間部にしても良い。さらに、ベース部分５Ａ
を覆う状態でフェルト等の防音層１１を設けているとと
もに、この防音層１１からセンサケース２の開口近くま
で例えばシリコン樹脂等の絶縁性樹脂剤１２を充填して
封止している。フレキシブル基板５において絶縁性樹脂
剤１２より外部に露出する部分には、別途リード線が接
続されたりする。

【００３０】フレキシブル基板５の延出部５Ｂは、セン
サケース２の胴部３の内面に沿って位置させているとと
もに、この延出部５Ｂにおける電気配線６，７の中間位
置に温度補償用コンデンサ１３を接続している。

【００３１】上記構成により、この超音波センサでは、
その製造の際、振動板部分４に圧電振動素子１を接着し
た後、フレキシブル基板５を、リード電極Ｌ１，Ｌ２位
置と圧電振動素子の電極位置とを適正に位置合わせした
状態でセンサケース２内の底部へ収納している。そし
て、接着剤でベース部分５Ａを、圧電振動素子１やセン
サケース２に接着させる。それにより、リード電極Ｌ
１，Ｌ２と、圧電振動素子１の電極とが圧着されて接続
される。その後、防音層１や、樹脂剤１２のセンサケー
ス２内への充填を行う。

【００３２】次に、本発明に係る超音波センサを備える
電子機器について説明する。図３に電子機器の一例とし
ての車両用バックソナーを備える乗用車を示している。
すなわち、車体Ｂのバックバンパに後方の障害物の有無
を検出するための上記実施の形態に係る構成の超音波セ
ンサＳが設けられている。この超音波センサＳは、車体
Ｂに備える制御装置１４からの駆動信号で超音波を送波
するとともに、その送波され障害物で反射した超音波は
超音波センサＳの振動板部分４で受波されるようになっ
ている。そして、その受波による振動で圧電振動素子１
が出力する検出信号を制御装置１４に入力するようにし
ている。制御装置１４では、超音波信号の送波から受波
までの経過時間を算出して車体と障害物との間の距離や
障害物の有無を検出する。

【００３３】上述した実施の形態の超音波センサでは、
送波と受波とを共通の振動板部分及び圧電振動素子で兼
用させるものを示したが、送波と受波とを個別の振動板
部分及び圧電振動素子で行うものでも良い。従って、例
えば送波のみ行う超音波センサでは、圧電振動素子に対
して電気信号が入力されるのみで、受波のみ行う超音波
センサでは、圧電振動素子から電気信号が出力されるの
みである。

【００３４】また、上述した実施の形態の超音波センサ
は、振動板部分がセンサケースの底部の薄肉部分である
が、筒状のセンサケース（金属製に限定されず、樹脂製
でも良い）の開口部に、センサケースとは別体の薄肉の
金属板を設けたものでも良い。基板としては可撓性を有
するフレキシブル基板に限定されるものでなく、可撓性
のないプリント基板でも良い。また、上記実施の形態で
は、フレキシブル基板における電気配線が外部との電気
信号の入出力を行うものに構成したものを示したが、基
板に外部との電気信号の入出力を行うリード線を接続す
るものでも良い。

【００３５】超音波センサを備える電子機器として、車
両用バックソナーについて示したが、本発明に係る超音
波センサは、リモコン装置等各種電子機器に適用可能で
ある。

【００３６】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る構成によれば、
基板のリード電極に予めリード線や、圧電振動素子を接
続した状態で、圧電振動素子をセンサケースの音源部分
の内面に設けたり、あるいは、予めセンサケースの音源
部分に圧電振動素子を設けた状態で、圧電振動素子の電
極に基板のリード電極が圧着等で接続されるよう、基板
をセンサケースに収めていくだけの簡易な作業により超
音波センサを組み立てることができるから、従来よりも
製造工程が簡略化できるとともに、機械化も図れること
等で生産性を向上できる。また、センサケースがアルミ
ニウム製であっても、そのセンサケースに圧電振動素子
に対する入出力用の配線の接続を特殊半田等で行わなく
て良いので、特殊半田を使用しなくて済む点で、コスト
低下を図れる。

【００３７】本発明の請求項２に係る構成によれば、基
板を、圧電振動素子に搭載されるようにセンサケース内
に収納していくことでリード電極と圧電振動素子の電極
との接続が行えるようになっているから、製造効率を向
上できる利点がある。

【００３８】本発明の請求項３に係る構成によれば、基
板を、圧電振動素子に搭載されるようにセンサケース内
に収納していくことでリード電極と圧電振動素子の電極
との接続が行えるようになっているから、製造効率を向
上できる利点がある。

【００３９】本発明の請求項４に係る構成によれば、基
板の入力及び／又は出力用の電気配線がスルーホールの
導電材及びリード電極を通して圧電振動素子の電極に接
続されるから、比較例として基板の入力及び／又は出力
用の電気配線やリード端子と圧電振動素子の両電極とを
別途リード線を介して接続するものよりも簡易な構造と
なるともに、接続作業が簡易にできる。

【００４０】本発明の請求項５に係る構成によれば、基
板のベース部分が圧電振動素子の上方をその圧電振動素
子の全体を覆うように設けられることになるので、圧電
振動素子がベース部分によって保護されることになる。
また、圧電振動素子と基板のベース部分とを接着剤で接
着するような製造を行う場合には、ベース部分と圧電振
動素子との間の接着剤量が幾分多めであっても、ベース
部分の上側まで接着剤があふれてことないよう、ベース
部分で規制できる利点もある。

【００４１】本発明の請求項６に係る構成によれば、基
板がフレキシブル基板であるから、適当な可撓性をもっ
てセンサケース内に収納することができ、その収納時の
作業性を向上できるとともに、延出部に前記入出力用の
電気配線を形成しておくことにより、リード線を別途設
けなくて済み、構造的にきわめて簡単なものにでき、製
造効率の向上をより一層図ることができる。

【００４２】本発明の請求項７に係る構成によれば、基
板が圧電振動素子に不当に重心が偏ったりしない安定し
た状態で搭載され、その搭載に伴い圧電振動素子での超
音波の送波や受波に対しても悪影響を与えることがない
ようになっている。

【００４３】本発明の請求項８に係る構成によれば、圧
電振動素子と基板とのそれぞれの電極の接合を圧電振動
素子の一側においてのみ行えるので、圧電振動素子と薄
肉部もしくは金属板との間の電極層についても良好に電
気的接続がなされるとともに、リード線等を引き回さな
くて済み、構造的に簡単なものとなる。温度補償用コン
デンサをフレキシブル基板における入出力用電線路に接
続しているから、その温度補償用コンデンサが宙に浮い
た状態でリード線等で接続するものに比べて取り付け姿
勢が安定したものとなるとともに、接続も簡易に行え
る。

【００４４】本発明の請求項９に係る構成によれば、温
度補償用コンデンサをフレキシブル基板における入出力
用電線路に接続しているから、その温度補償用コンデン
サが宙に浮いた状態でリード線等で接続するものに比べ
て取り付け姿勢が安定したものとなり、製造時のコンデ
ンサの脱落等も回避できるとともに、接続も簡易に行
え、また、フレキシブル基板自体がそのコンデンサの支
持部材となるので、専用の支持部材が不要にできる。

【００４５】本発明の請求項１０に係る構成によれば、
超音波センサを備えることで安価に構成できるととも
に、基板が収納されていることで、センサとしての耐久
性も高いものにできるから、電子機器としての耐久性も
高いものにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波センサの一例を示す展開縦断面
図

【図２】延出部をベース部分から立ち上げた状態のフレ
キシブル基板を示す斜視図

【図３】バックソナーとして超音波センサを備える車両
を示す概略側面図

【図４】従来の超音波センサを示す縦断面図

【符号の説明】

１ 圧電振動素子 ２ センサケース ４ 音源部分（振動板部分） ５ 基板(フレキシブル基板) ５Ａ ベース部分 ５Ｂ 延出部 ６〜８ 入出力用の電気配線 １３ 温度補償用コンデンサ Ｈ スルーホール Ｌ１，Ｌ２ リード電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｓ 7/521 Ｇ０１Ｓ 15/93 // Ｇ０１Ｓ 15/93 7/52 Ａ

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動することにより超音波を送波及び／
   又は受波する音源部分を備えたセンサケースと、 前記センサケースの前記音源部分の内面に設けられた圧
   電振動素子と、 基板面にリード電極を備え、かつ、このリード電極が、
   圧電振動素子の電極に接続された形態でセンサケースに
   収納されている基板と、 を具備したことを特徴とする超音波センサ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の超音波センサにおい
   て、 前記音源部分は、前記センサケースの薄肉部であり、 前記基板は、その一面に前記リード電極と接続される一
   対の入力及び／又は出力用の電気配線を備えているとと
   もに、前記圧電振動素子に搭載された状態で、前記両リ
   ード電極が、前記圧電振動素子の両電極に個別に対応し
   て接続されている、ことを特徴とする超音波センサ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の超音波センサにおい
   て、 前記音源部分は、前記センサケースの開口に取り付けた
   薄肉の金属板であり、 前記基板は、その一面に前記リード電極と接続される一
   対の入力及び／又は出力用の電気配線を備えているとと
   もに、前記圧電振動素子に搭載された状態で、前記両リ
   ード電極が、前記圧電振動素子の両電極に個別に対応し
   て接続されている、ことを特徴とする超音波センサ。
4. 【請求項４】 請求項２または３に記載の超音波センサ
   において、 前記基板は、導電部材を充填されたスルーホールを有し
   ており、かつ、前記圧電振動素子上に前記基板の他面側
   を向けて搭載された状態で、前記基板の一面の前記入力
   及び／又は出力用の電気配線が、前記スルーホールの導
   電部材を介して、前記基板の他面側の前記リード電極に
   接続されることで前記圧電振動素子の両電極に個別に対
   応して接続されている、ことを特徴とする超音波セン
   サ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか一項に記載
   の超音波センサにおいて、 前記基板は、前記圧電振動素子の素子面積よりも大きな
   面積を有する平板状のベース部分を有しており、 前記ベース部分が、前記圧電振動素子の上方を覆う位置
   関係で配置されている、ことを特徴とする超音波セン
   サ。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか一項に記載
   の超音波センサにおいて、 前記基板は、フレキシブル基板で構成しているととも
   に、前記基板における前記圧電振動素子の電極との接続
   部分から前記センサケースの外方側に延出される延出部
   を備えている、ことを特徴とする超音波センサ。
7. 【請求項７】 請求項２ないし６のいずれか一項に記載
   の超音波センサにおいて、 前記基板は、３箇所以上の支持箇所をもって前記圧電振
   動素子に対して搭載している、ことを特徴とする超音波
   センサ。
8. 【請求項８】 請求項２または３に記載の超音波センサ
   において、 前記圧電振動素子と前記薄肉部もしくは金属板との間に
   電極層を設けるとともに、該電極層から前記圧電振動素
   子の脇を通して内面側に延出させて前記基板のリード電
   極と接合するための電極を形成している、ことを特徴と
   する超音波センサ。
9. 【請求項９】 請求項６に記載の超音波線センサにおい
   て、 前記フレキシブル基板における前記延出部に形成される
   入出力用電線路に温度補償用コンデンサを接続して設け
   ている、ことを特徴とする超音波センサ。
10. 【請求項１０】 振動することにより超音波を送受波す
    る音源部分を備えたセンサケースと、 前記センサケースの前記音源部分の内面に設けられた圧
    電振動素子と、 基板面にリード電極を備え、かつ、このリード電極が、
    圧電振動素子の電極に接続された形態でセンサケースに
    収納されている基板とを具備した超音波センサを用いて
    いる、ことを特徴とする電子機器。