JP2002096466A - インクジェット記録装置、ヘッド駆動制御装置及びヘッド駆動制御方法並びにインクジェットヘッド - Google Patents

インクジェット記録装置、ヘッド駆動制御装置及びヘッド駆動制御方法並びにインクジェットヘッド

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 微小滴の吐出ができない。 【解決手段】 インク滴を吐出させるための第１駆動信
号Ｐ１を印加し、所定時間Ｔｄ経過後、振動板５０の変
形を抑制する第２駆動信号Ｐ２を印加する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録装
置、ヘッド駆動制御装置及びヘッド駆動制御方法並びに
インクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プ
ロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いる
インクジェット記録装置において使用するインクジェッ
トヘッドとして、インク滴を吐出するノズルと、このノ
ズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液
室、液室等とも称される。）と、このインク流路内の壁
面の一部を形成する振動板と、この振動板に対向する電
極とを有し、振動板を静電気力で変形変位させてインク
流路内インクを加圧してノズルからインク滴を吐出させ
る静電型インクジェットヘッドがある。
【０００３】静電型インクジェットヘッドは、静電気力
を用いるために、同じ体積に蓄えるエネルギーが小さ
く、アクチュエータ手段としてピエゾ素子や発熱抵抗体
を用いる他の形式のインクジェットヘッドに比べて、低
消費電力化、多数ノズルの同時駆動による高速化を図る
ことできる。すなわち、静電型以外のヘッドでは、イン
ク滴の運動エネルギーよりも数桁大きいエネルギーを使
用してインク滴を吐出させるために、余分なエネルギー
はヘッド或いはドライバＩＣ（駆動回路）で発熱するこ
とになり、蓄熱等の影響で同時に駆動できるノズル数や
駆動周波数に限界がある。
【０００４】ところで、インクジェット記録装置におい
ては、画質の高品位化、記録速度の高速化が求められて
いるので、より微小なインク滴をより高周波で吐出させ
る必要があるが、吐出周波数の限界から、微小滴だけで
は高速記録は難しく、１つのノズルからインク滴量の異
なるインク滴を吐出させる多値化が求められている。
【０００５】この場合、静電型インクジェットヘッドに
おいては、振動板を電極側に引く引力だけしか発生でき
ない静電力の力の方向性、振動板と電極との間の距離の
２乗に反比例する静電力の非線形性が原因となって、イ
ンク滴吐出力の制御性が他の方式に比べて難しいことか
ら、多値化駆動方式が確立できていない。
【０００６】また、微小なインク滴を吐出させるために
ノズルを小径化する傾向にあるが、ノズルの小径化は他
方でノズルの目詰まりが発生し易くなるという問題を伴
なうことから、ノズル径に対して相当の大きさのインク
滴と、より微小なインク滴とを吐出できることが望まれ
る。
【０００７】そこで、従来の静電型インクジェットヘッ
ドとして、特開平８−７２２４０号公報に開示されて
いるように、１つの振動板に対向する複数のインク滴吐
出用の電極を備え、階調信号に応じて駆動する電極数を
変化させて、階調信号に応じた滴量のインク滴を吐出さ
せるようにしたものがある。
【０００８】また、特開平９−３９２３５号公報に開
示されているように、振動板に対向する電極を階段状に
形成して、振動板との間で大きな隙間、中間の隙間、小
さい隙間を形成し、振動板をいずれの段階まで変形させ
るかによって振動板の変形量を変化させることで、イン
ク滴吐出量を可変としたものがある。
【０００９】さらに、特開平９−２５４３８１号公報
に開示されているように、第１駆動電圧を印加し、この
第１駆動電圧で変形変位した振動板が電極側に近づいた
タイミングで第１駆動電圧より低い第２駆動電圧（補助
電圧）を印加して振動板を強制的に電極側に当接させる
ことで、振動板の変位を拘束して、高周波駆動を可能に
するとともに、インク系の固有振動数を短くすることで
微小なインク滴が吐出されるようにしたものもある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように１つの振動板に対向する複数のインク滴吐出
用の電極を備えることは、電極を独立して駆動しなけれ
ばならないので、配線数、ドライバの数が増加して構成
が複雑になり、装置の大型化、高コストを招くことにな
る。
【００１１】また、振動板に対向する電極を階段状に
形成して、振動板との間で大きな隙間、中間の隙間、小
さい隙間を形成することは、ヘッド構成が複雑となり、
製造工程も複雑になって、コストが高くなる。また、こ
のようなヘッドを駆動するには、駆動電圧値を変化させ
る複雑な駆動波形を印加しなければならないので、駆動
回路の構成も複雑になって高コスト化を招くことにな
る。
【００１２】さらに、第１駆動電圧を印加し、この第
１駆動電圧で変形変位した振動板が電極側に近づいたタ
イミングで第１駆動電圧より低い第２駆動電圧（補助電
圧）を印加して振動板を強制的に電極側に当接させるこ
とで、インク系の固有振動数を短くするものにあって
は、固有振動数が短くなるほど微小滴を吐出できるとい
うことについて技術的説明ができず、また、実際には滴
速度を確保しながら微小滴を吐出することは不可能であ
る。
【００１３】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、単純な構成で微小滴を吐出できるインクジェッ
ト記録装置、単純な構成で微小滴を吐出させることがで
きるヘッド駆動制御装置及びヘッド駆動制御方法、単純
な構成で微小滴を吐出させることが可能なインクジェッ
トヘッドを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るインクジェット記録装置は、インクジ
ェットヘッドに対してノズルからインク滴を吐出させる
第１駆動信号と、この第１駆動信号から所定時間経過後
に振動板の変位を抑制する第２駆動信号を印加する手段
を備えた構成としたものである。
【００１５】ここで、第２駆動信号は電極に印加するこ
とができるし、或いは、第２駆動信号を電極とは電気的
に分離され、振動板に対向する第３電極に印加すること
もできるし、若しくは電極を設ける基板に印加すること
もできる。
【００１６】また、第２駆動信号は振動板が平衡位置を
通過するタイミングから電極から最も離れるタイミング
の間のいずれかのタイミングで印加することが好まし
い。さらに、振動板が電極に当接する前のタイミングで
第２駆動信号の印加を停止することが好ましい。この場
合、振動板が平衡位置を電極の方向に通過する前に第２
駆動信号の印加を停止することがより好ましい。
【００１７】さらに、第２駆動信号は矩形状パルスであ
ることが好ましい。また、第２駆動信号の立下り変化速
度は第１駆動信号の立下り変化速度よりも緩やかとする
こともできる。さらに、第２駆動信号の波高値が第１駆
動信号の波高値よりも高いことが好ましい。さらにま
た、第２駆動信号の波高値を変化できることが好まし
い。
【００１８】また、第２駆動信号は、第１駆動信号及び
第２駆動信号の波高値が略同一としたとき、第２駆動信
号を印加したときのインク滴最後尾の速度が第１駆動信
号のみを印加したときのインク滴最後尾の速度と略同一
になるタイミングで印加することが好ましい。なお、
「インク滴最後尾」とは、サテライトがある場合はサテ
ライトを意味するものとする。さらに、第２駆動信号の
印加時間は、インク滴のパルス幅特性のピーク時間に対
して１／４以上３／４未満の時間であることが好まし
い。
【００１９】さらに、第１駆動信号及び第２駆動信号を
印加する場合と、第１駆動信号のみを印加する場合とを
選択できることが好ましい。また、第１駆動信号と第２
駆動信号とを印加する場合の第１駆動信号の波高値を第
１駆動信号のみを印加する場合の第１駆動信号の波高値
よりも小さくすることができる。
【００２０】さらにまた、第２駆動信号は第１駆動信号
に対して逆極性とすることができる。また、駆動周期又
は所定回数毎に第１駆動信号及び第２駆動信号の両方の
極性を反転させることができる。
【００２１】本発明に係るヘッド駆動制御装置は、ノズ
ルからインク滴を吐出させる第１駆動信号と、この第１
駆動信号から所定時間経過後に振動板の変位を抑制する
第２駆動信号とを生成する手段を備えている構成とした
ものである。
【００２２】ここで、第１駆動信号と第２駆動信号とを
時系列で生成する手段を備えていることが好ましい。ま
た、第１駆動信号から第２駆動信号までの所定時間は、
インクジェットヘッドに印加したときに振動板が平衡位
置を通過するタイミングから電極から最も離れるタイミ
ングの間に含まれる時間であることが好ましい。さら
に、第２駆動信号はインクジェットヘッドに印加したと
きに振動板が平衡位置を電極の方向に通過する前に立ち
下がる信号であることが好ましい。なお、本命最初にお
いて、「立ち下がる」とは「絶対値が小さくなる：０に
なる」ことを意味するものとして用いる。
【００２３】また、第１駆動信号及び第２駆動信号は矩
形状パルス信号であることが好ましい。さらに、第２駆
動信号の波高値は第１駆動信号の波高値よりも高いこと
が好ましい。
【００２４】さらに、第２駆動信号は第１駆動信号に対
して逆極性の信号とすることができる。また、駆動周期
又は所定回数毎に第１駆動信号及び第２駆動信号の両方
の極性を反転させることができる。
【００２５】本発明に係るヘッド駆動制御法方法は、ノ
ズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号を印加した
後所定時間経過後に振動板の変位を抑制する第２駆動信
号を印加する構成としたものである。
【００２６】ここで、第１駆動信号を印加した後、この
第１駆動信号で変形した振動板が平衡位置を通過するタ
イミングから電極から最も離れるタイミングまでの間に
第２駆動信号を印加することが好ましい。また、第２駆
動信号を印加した後、第１駆動信号で変形した振動板が
平衡位置を電極の方向に通過する前に第２駆動信号の印
加を停止することが好ましい。
【００２７】また、第１駆動信号及び第２駆動信号は矩
形状パルス信号であることが好ましい。さらに、第２駆
動信号の波高値は第１駆動信号の波高値よりも高いこと
が好ましい。さらにまた、第２駆動信号の波高値を記録
画像に応じて変化させることが好ましい。
【００２８】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インクジェットヘッドに対して振動板を電極側に当接さ
せる第１駆動信号を印加し、この第１駆動信号の印加を
停止することで復元する振動板が平衡位置に達する前に
第１駆動信号よりも波高値の高い第２駆動信号を印加す
る手段を備えている構成としたものである。
【００２９】ここで、第２駆動信号の印加開始タイミン
グを変化させる手段を備えていることが好ましい。
【００３０】本発明に係るヘッド駆動制御装置は、イン
クジェットヘッドの振動板を電極側に当接させる第１駆
動信号と、この第１駆動信号の印加を停止することで復
元する振動板が平衡位置に達する前に出力される第１駆
動信号よりも波高値の高い第２駆動信号とを生成する手
段を備えている構成としたものである。
【００３１】本発明に係るインクジェットヘッドは、ノ
ズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号が印加され
る手段とは別に、第１駆動信号から所定時間経過後に振
動板の変位を抑制する第２駆動信号が印加される第３電
極を有する構成としたものである。
【００３２】ここで、第３電極は前記電極を設ける電極
基板とすることができる。また、第３電極はノズル周辺
に対応する部分でのみ振動板に対向していることが好ま
しい。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るインクジ
ェット記録装置の機構部の概略斜視説明図、図２は同機
構部の側面説明図である。
【００３４】このインクジェット記録装置は、記録装置
本体１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キ
ャリッジに搭載したインクジェットヘッドからなる記録
ヘッド、記録ヘッドへのインクを供給するインクカート
リッジ等で構成される印字機構部２等を収納し、給紙カ
セット４或いは手差しトレイ５から給送される用紙３を
取り込み、印字機構部２によって所要の画像を記録した
後、後面側に装着された排紙トレイ６に排紙する。
【００３５】印字機構部２は、図示しない左右の側板に
横架したガイド部材である主ガイドロッド１１と従ガイ
ドロッド１２とでキャリッジ１３を主走査方向（図２で
紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１
３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ
（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する
インクジェットヘッドからなるヘッド１４をインク滴吐
出方向を下方に向けて装着し、キャリッジ１３の上側に
はヘッド１４に各色のインクを供給するための各インク
タンク（インクカートリッジ）１５を交換可能に装着し
ている。
【００３６】ここで、キャリッジ１３は後方側（用紙搬
送方向下流側）を主ガイドロッド１１に摺動自在に嵌装
し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１
２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ
１３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１
７で回転駆動される駆動プーリ１８と従動プーリ１９と
の間にタイミングベルト２０を張装し、このタイミング
ベルト２０をキャリッジ１３に固定している。
【００３７】また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘ
ッド１４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノ
ズルを有する１個のヘッドでもよい。さらに、ヘッド１
４としては、後述するように、インク流路の壁面の少な
くとも一部を形成する振動板とこれに対向する電極とを
備え、静電力で振動板を変形変位させてインクを加圧す
る静電型インクジェットヘッドを用いている。
【００３８】一方、給紙カセット４にセットした用紙３
をヘッド１４の下方側に搬送するために、給紙カセット
４から用紙３を分離給装する給紙ローラ２１及びフリク
ションパッド２２と、用紙３を案内するガイド部材２３
と、給紙された用紙３を反転させて搬送する搬送ローラ
２４と、この搬送ローラ２４の周面に押し付けられる搬
送コロ２５及び搬送ローラ２４からの用紙３の送り出し
角度を規定する先端コロ２６とを設けている。搬送ロー
ラ２４は副走査モータ２７によってギヤ列を介して回転
駆動される。
【００３９】そして、キャリッジ１３の主走査方向の移
動範囲に対応して搬送ローラ２４から送り出された用紙
３を記録ヘッド１４の下方側で案内する用紙ガイド部材
である印写受け部材２９を設けている。この印写受け部
材２９の用紙搬送方向下流側には、用紙３を排紙方向へ
送り出すために回転駆動される搬送コロ３１、拍車３２
を設け、さらに用紙３を排紙トレイ６に送り出す排紙ロ
ーラ３３及び拍車３４と、排紙経路を形成するガイド部
材３５，３６とを配設している。
【００４０】また、キャリッジ１３の移動方向右端側に
はヘッド１４の信頼性を維持、回復するための信頼性維
持回復機構（以下「サブシステム」という。）３７を配
置している。キャリッジ１３は印字待機中にはこのサブ
システム３７側に移動されてキャッピング手段などでヘ
ッド１４をキャッピングされる。
【００４１】次に、このインクジェット記録装置のヘッ
ド１４を構成するインクジェットヘッドについて図３乃
至図６を参照して説明する。なお、図３はインクジェッ
トヘッドの分解斜視説明図、図４は同ヘッドの振動板長
手方向に沿う断面説明図、図５は同ヘッドの振動板長手
方向に沿う要部拡大断面説明図、図６は同ヘッドの振動
板短手方向に沿う要部拡大断面図である。
【００４２】インクジェットヘッド４０は、単結晶シリ
コン基板、多結晶シリコン基板、ＳＯＩ基板などのシリ
コン基板等を用いた第一基板である流路基板４１と、こ
の流路基板４１の下側に設けたシリコン基板、パイレッ
クス（登録商標）ガラス基板、セラミックス基板等を用
いた第二基板である電極基板４２と、流路基板４１の上
側に設けた第三基板であるノズル板４３とを備え、複数
のインク滴を吐出するノズル４４、各ノズル４４が連通
するインク流路である加圧室４６、各加圧室４６にイン
ク供給路を兼ねた流体抵抗部４７を介して連通する共通
液室流路４８などを形成している。
【００４３】流路基板４１には加圧室４６及びこの加圧
室４６の壁面である底部をなす第１電極を兼ねた振動板
５０を形成する凹部を形成し、ノズル板４３には流体抵
抗部４７を形成する溝を形成し、また流路基板４１と電
極基板４２には共通液室流路４８を形成する貫通部を形
成している。
【００４４】ここで、流路基板４１は、例えば単結晶シ
リコン基板を用いた場合、予め振動板厚さにボロンを注
入してエッチングストップ層となる高濃度ボロン層を形
成し、電極基板４２と接合した後、加圧室４６となる凹
部をＫＯＨ水溶液などのエッチング液を用いて異方性エ
ッチングすることにより、このとき高濃度ボロン層がエ
ッチングストップ層となって振動板５０が高精度に形成
される。また、多結晶シリコン基板で振動板５０を形成
する場合は、液室基板上に振動板となる多結晶シリコン
薄膜を形成する方法、または、予め電極基板４２を犠牲
材料で平坦化し、その上に多結晶シリコン薄膜を成膜し
た後、犠牲材料を除去することで形成できる。
【００４５】なお、振動板５０に別途電極膜を形成して
もよいが、上述したように不純物の拡散などによって振
動板が電極を兼ねるようにしている。また、振動板５０
の電極基板４２側の面に絶縁膜を形成することもでき
る。この絶縁膜としてはＳiＯ2等の酸化膜系絶縁膜、Ｓ
i3Ｎ4等の窒化膜系絶縁膜などを用いることができる。
絶縁膜の成膜は、振動板表面を熱酸化して酸化膜を形成
したり、成膜手法を用いたりすることができる。
【００４６】また、電極基板４２には酸化膜層４２ａを
形成し、この酸化膜層４２ａの部分に凹部５４を形成し
て、この凹部５４底面に振動板５０に対向する第２電極
である電極１５を設け、振動板５０と電極５５との間に
ギャップ５６を形成し、これらの振動板５０と電極５５
とによってアクチュエータ部を構成している。なお、電
極５５表面にはＳiＯ2膜などの酸化膜系絶縁膜、Ｓi3Ｎ
4膜などの窒化膜系絶縁膜からなる電極保護膜５７を成
膜しているが、電極表面５５に電極保護膜５７を形成し
ないで、振動板５０側に絶縁膜を形成することもでき
る。
【００４７】この電極基板４２として単結晶シリコン基
板を用いる場合には通常のシリコンウエハーを用いるこ
とができる。その厚さはシリコンウエハーの直径で異な
るが、直径４インチのシリコンウエハーであれば厚さが
５００μｍ程度、直径６インチのシリコンウエハーであ
れば厚さは６００μｍ程度であることが多い。シリコン
ウエハー以外の材料を選択する場合には、流路基板のシ
リコンと熱膨張係数の差が小さい方が振動板と接合する
場合に信頼性を向上できる。
【００４８】これらの流路基板４１と電極基板４２との
接合は、接着剤による接合も可能であるが、より信頼性
の高い物理的な接合、例えば電極基板４２がシリコンで
形成される場合、酸化膜を介した直接接合法を用いるこ
とができる。この直接接合は１０００℃程度の高温化で
実施する。また、電極基板４２がガラスの場合、陽極接
合を行うことができる。電極基板４２をシリコンで形成
して、陽極接合を行う場合には、電極基板４２と流路基
板４１との間にパイレックスガラスを成膜し、この膜を
介して陽極接合を行うこともできる。さらに、流路基板
４１と電極基板４２にシリコン基板を使用して金等のバ
インダーを接合面に介在させた共晶接合で接合すること
もできる。
【００４９】また、電極基板４２の電極５５としては、
通常半導体素子の形成プロセスで一般的に用いられるＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｎｉ等の金属材料や、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｗ等の
高融点金属、または不純物により低抵抗化した多結晶シ
リコン材料などを用いることができる。電極基板４２を
シリコンウエハで形成する場合には、電極基板４２と電
極５５との間には絶縁層（上述した酸化膜層４２ａ）を
形成する必要がある。電極基板４２にガラス等の絶縁性
材料を用いる場合には電極５５との間に絶縁層を形成す
る必要はない。
【００５０】また、電極基板４２にシリコン基板を用い
る場合、電極５５としては、不純物拡散領域を用いるこ
とができる。この場合、拡散に用いる不純物は基板シリ
コンの導電型と反対の導電型を示す不純物を用い、拡散
領域周辺にｐｎ接合を形成し、電極５５と電極基板４２
とを電気的に絶縁する。
【００５１】ノズル板４３は多数のノズル４４を二列配
置して形成したものであり、吐出面には撥水処理を施し
ている。ここでは、このノズル板４３はＮｉ電鋳工法で
製作しているが、この他、例えば樹脂と金属層の複層構
造のものなども用いることができる。このノズル板４３
は流路基板４１に接着剤にて接合している。
【００５２】このインクジェットヘッド４０ではノズル
４４を二列配置し、この各ノズル４４に対応して加圧室
４６、振動板５０、電極５５なども二列配置し、各ノズ
ル列の中央部に共通液室流路４８を配置して、左右の加
圧室４６にインクを供給する構成を採用している。これ
により、簡単なヘッド構成で多数のノズルを有するマル
チノズルヘッドを構成することができる。
【００５３】そして、インクジェットヘッド４０の電極
５５は外部に延設して接続部（電極パッド部）５５ａと
し、これにヘッド駆動回路であるドライバＩＣ６０を搭
載したＦＰＣケーブル６１を異方性導電膜などを介して
接続している。このとき、電極基板４２とノズル板４３
との間は図４に示すようにエポキシ樹脂等の接着剤を用
いたギャップ封止剤６２にて気密封止している。
【００５４】さらに、インクジェットヘッド４０全体を
フレーム部材６５上に接着剤で接合している。このフレ
ーム部材６５にはインクジェットヘッド４０の共通液室
流路４８に外部からインクを供給するためのインク供給
穴６６を形成しており、またＦＰＣケーブル６１等はフ
レーム部材６５に形成した穴部６７に収納される。
【００５５】このフレーム部材６５とノズル板４３との
間は図４に示すようにエポキシ樹脂等の接着剤を用いた
ギャップ封止剤６８にて封止し、撥水性を有するノズル
板４３表面のインクが電極基板４２やＦＰＣケーブル６
１等に回り込むことを防止している。
【００５６】そして、このヘッド１４のフレーム部材６
５にはインクカートリッジ１５とのジョイント部材７０
が連結されて、フィルタ７１を介してインクカートリッ
ジ１５からインク供給穴６６を通じて共通液室流路４８
にインクが供給される。
【００５７】このインクジェットヘッド４０において
は、振動板５０を共通電極とし、電極５５を個別電極と
して、振動板５０と電極５５との間に駆動電圧を印加す
ることによって、振動板５０と電極５５との間に発生す
る静電力によって振動板５０が電極５５側に変形変位
し、この状態から振動板５０と電極５５間の電荷を放電
させることによって振動板５０が復帰変形して、加圧室
４６の内容積（体積）／圧力が変化することによって、
ノズル４４からインク滴が吐出される。
【００５８】すなわち、個別電極とする電極５５にパル
ス電圧を印加すると、共通電極となる振動板５０との間
に電位差が生じて、個別電極５５と振動板５０の間に静
電力が生じる。この結果、振動板５０は印加した電圧の
大きさに応じて変位する。その後、印加したパルス電圧
を立ち下げることで、振動板５０の変位が復元して、そ
の復元力により加圧室４６内の圧力が高くなり、ノズル
４４からインク滴が吐出される。この場合、振動板５０
を電極５５（実際には絶縁保護膜５７表面）に当接する
まで変位させる方式を当接駆動方式、振動板５０を電極
５５に当接させない位置まで変位させる方式を非当接駆
動方式と称する。
【００５９】次に、このインクジェット記録装置の制御
部の概要について図７を参照して説明する。この制御部
は、この記録装置全体の制御を司るマイクロコンピュー
タ（以下、「ＣＰＵ」と称する。）８０と、プログラ
ム、駆動信号の電圧値データなどの所要の固定情報を格
納したＲＯＭ８１と、ワーキングメモリ等として使用す
るＲＡＭ８２と、ホスト側から転送される画像データを
処理したデータを格納する画像メモリ８３と、パラレル
入出力（ＰＩＯ）ポート８４と、入力バッファ８５と、
パラレル入出力（ＰＩＯ）ポート８６と、波形生成回路
８７と、ヘッド駆動回路８８及びドライバ８９等を備え
ている。
【００６０】ここで、ＰＩＯポート８４にはホスト側か
ら画像データなどの各種情報、図示しない操作パネルか
らの信頼性回復指示情報等の各種指示情報、用紙の始
端、終端を検知する紙有無センサからの検知信号、キャ
リッジ１３のホームポジション（基準位置）を検知する
ホームポジションセンサ等の各種センサからの信号等が
入力され、またこのＰＩＯポート８４を介してホスト側
や操作パネル側に対して所要の情報が送出される。
【００６１】また、波形生成回路８７は、インクジェッ
トヘッド４０の振動板５０と電極５５との間にインク滴
を吐出させるエネルギーを発生する、つまり、振動板５
０をインク滴が吐出するだけの変位量、タイミングで電
極５５側に変位させるインク滴を吐出するための第１駆
動信号Ｐ１と、この第１駆動信号Ｐ１から所定時間Ｔｄ
経過後に振動板５０の変形を抑制する第２駆動信号Ｐ２
とを時系列で生成して出力する。
【００６２】ヘッド駆動回路８８は、ＰＩＯポート８６
を介して与えられる各種データ及び信号に基づいて、ヘ
ッド１４の各ノズル４４に対応するエネルギー発生手段
（振動板５０と電極５５）に対して駆動波形等を印加す
る。さらに、ドライバ８９は、ＰＩＯポート８６を介し
て与えられる駆動データに応じて主走査モータ１７及び
副走査モータ２７を各々駆動制御することで、キャリッ
ジ１３を主走査方向に移動走査し、搬送ローラ２４を回
転させて用紙３を所定量搬送させる。
【００６３】次に、この制御部における本発明に係るヘ
ッド駆動制御装置としてのヘッド駆動制御部に係わる部
分について図８を参照して説明する。このヘッド駆動制
御部は、前述したＣＰＵ８０、ＲＯＭ８１、ＲＡＭ８２
及び周辺回路等を含む主制御部９１と、波形生成回路８
７と、アンプ９２と、駆動回路（ドライバＩＣ）９３等
とを備えている。
【００６４】主制御部９１は、波形生成回路８７に対し
て第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２を生成するため
のデータを与え、ドライバＩＣ９３に対して印字信号
（シリアルデータである）ＳＤ、シフトクロックＣＬ
Ｋ、ラッチ信号ＬＡＴなどを与える。
【００６５】波形生成回路８７は、前述したようにイン
クジェットヘッド４０のアクチュエータ部に対してノズ
ル４４からインク滴を吐出させるエネルギーを発生させ
る矩形状パルスである第１駆動信号Ｐ１と、この第１駆
動信号から所定時間Ｔｄ経過後に第１駆動信号Ｐ１が印
加されなくなることで復元する振動板５０の変形を抑制
する矩形状パルスである第２駆動信号Ｐ２とを１駆動周
期内で時系列で発生する。
【００６６】この波形生成回路８７にはＤ／Ａ変換器を
用いて主制御部９１から与えられる電圧データをＤ／Ａ
変換することにより第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動信号
Ｐ２を時系列で生成出力するようにしている。主制御部
９１のＲＯＭ８１には各駆動信号Ｐ１、Ｐ２及び所定時
間Ｔｄを一体とするデータを格納しており、このＲＯＭ
８１と波形生成回路８７で第１駆動信号Ｐ１と第２駆動
信号Ｐ２を時系列で生成出力する手段を構成している。
【００６７】ドライバＩＣ９３は、印字信号に応じて波
形生成回路８７から与えられる第1駆動信号及び第２駆
動信号をヘッド１４を構成するインクジェットヘッド４
０の各個別電極５５に与える。
【００６８】すなわち、ドライバＩＣ９３は、主制御部
９１からのシリアルクロックＣＬＫ及び印字信号である
シリアルデータＳＤを入力するシフトレジスタ９５と、
シフトレジスタ９５のレジスト値を主制御部９１からの
ラッチ信号ＬＡＴでラッチするラッチ回路９６と、ラッ
チ回路９６の出力値をレベル変化するレベル変換回路９
７と、このレベル変換回路９７でオン／オフが制御され
るアナログスイッチアレイ９８とからなる。アナログス
イッチアレイ９８は、インクジェットヘッド４０のｍ個
（ノズル数をｍ個とする。）の個別電極５５に接続した
アナログスイッチＡＳ１〜ＡＳｍからなる。なお、イン
クジェットヘッド４０の共通電極となる振動板５０は接
地している。
【００６９】 そして、このシフトレジスタ９５にシフ
トクロックに応じてシリアルデータ（印字信号）ＳＤを
取込み、ラッチ回路９６でラッチ信号ＬＡＴによってシ
フトレジスタ回路９５に取り込んだシリアルデータＳＤ
をラッチしてレベル変換回路９８に入力する。このレベ
ル変換回路９８は、データの内容に応じて各アクチュエ
ータ部の個別電極５５に接続しているアナログスイッチ
ＡＳｍ（ｍ＝１〜ｍ）をオン／オフする。
【００７０】このアナログスイッチＡＳｍ（ｍ＝１〜
ｍ）には波形生成回路８７からアンプ９２を介して駆動
波形Ｐｖ（第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２）を
与えているので、アナログスイッチＡＳｍ（ｍ＝１〜
ｍ）がオンしたときに駆動波形Ｐｖが個別電極５５に与
えられる。
【００７１】このヘッド駆動制御部による駆動波形印加
の作用について図９を参照して簡単に説明する。まず、
上述したように、波形生成回路９２からは、同図（ａ）
に示すように、１駆動周期毎に、いずれも矩形状パルス
である第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２とが所定時
間Ｔｄの間隔で時系列で生成出力され、これがドライバ
ＩＣ９３のアナログスイッチＡＳ１〜ＡＳｍに与えられ
ている。
【００７２】そこで、主制御部９１から印字信号を与え
ることによって、例えば同図（ｂ）に示すように、ドラ
イバＩＣ９３のアナログスイッチＡＳｎ（ｎ＝１〜ｍの
いずれか）がオン又はオフし、アナログスイッチＡＳｎ
がオンしている間に入力される第１駆動信号Ｐ１及び第
２駆動信号Ｐ２が選択されて、同図（ｃ）に示すように
インクジェットヘッド４０の個別電極５５に与えられ
る。
【００７３】同図（ｃ）は１つのノズルに対応する個別
電極５５に印加されるパルスを示しているものであり、
このノズルは、図示している最初の駆動周期では印字
（駆動）であるので、第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動信
号Ｐ２を順次印加して微小なインク滴を吐出させ、次の
駆動周期では非印字（非駆動）であるので第１駆動信号
Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２のいずれも印加せず、次の駆
動周期では印字であるので同様に第１駆動信号Ｐ１及び
第２駆動信号Ｐ２を順次印加して微小なインク滴を吐出
させる。
【００７４】この動作から分かるように、アナログスイ
ッチＡＳｎのオン時間／オフ時間を印字信号に応じて変
化させることで、駆動波形Ｐｖの選択を行うことができ
るので、例えば、同図（ｃ）に破線で示すように、第１
駆動信号Ｐ１を印加した後アナログスイッチＡＳｎをオ
フ状態にすることで、同じ印字でも、第１駆動信号Ｐ１
のみによるインク滴吐出を行わせることができる。すな
わち、第１駆動信号Ｐ１のみによる通常の大きさのイン
ク滴の吐出と、第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２
による微小なインク滴の吐出とを選択的に行うことがで
き、多値記録を行うことができる。
【００７５】そこで、このヘッド駆動制御装置で生成出
力する駆動波形Ｐｖを構成する第１駆動信号Ｐ１及び第
２駆動信号Ｐ２について図１０以降をも参照して説明す
る。まず、インクジェットヘッドにおけるインク滴吐出
特性（インク滴吐出速度Ｖｊ及びインク滴体積Ｍｊ）の
駆動波形（駆動信号）のパルス幅Ｐｗに対する依存性に
ついて図１０を参照して説明する。
【００７６】インクジェットヘッドの電極５５に矩形状
パルス電圧が印加されて振動板５０が電極５５側に引き
付けられるときには、加圧室４６内には負圧が生じてい
る。圧力は加圧室４６の固有振動数で振動するので、パ
ルス立ち下げ時の圧力は、パルス立ち上げ時の残留圧力
振動と、振動板５０の復元による圧力の重ね合せにな
る。
【００７７】したがって、静電型インクジェットヘッド
においては、印加するパルス電圧のパルス幅Ｐｗによっ
てインク滴吐出特性に差が生じる。すなわち、例えば、
図１０に示すように、吐出特性（吐出滴速度Ｖｊ、吐出
滴体積Ｍｊ）は、パルス幅Ｐｗによる圧力の重ね合せの
タイミングによって変動する。なお、同図の例は、加圧
室４６の長さを８００μｍ、振動板５０の厚さを２μ
ｍ、ノズル径を２２μｍとするヘッド構成とした場合で
ある。
【００７８】ここで、このインクジェット記録装置にお
いては、波形生成回路８７から図９に示すように、イン
ク滴を吐出させるための第１駆動信号Ｐ１（電圧値Ｖｐ
１、パルス幅Ｐｗ１）と振動板５０の変位を抑制するた
めの第２駆動信号Ｐ２（電圧値Ｖｐ２、パルス幅Ｐｗ
２）とを時系列で生成して出力し、第１駆動信号Ｐ１の
印加を停止した後（立下り後）所定時間Ｔｄを経過した
時に第２駆動信号Ｐ２の印加を開始する。
【００７９】このようにインク滴を吐出させるための第
１駆動信号Ｐ１（電圧値Ｖｐ１、パルス幅Ｐｗ１）と振
動板５０の変位を抑制するための第２駆動信号Ｐ２（電
圧値Ｖｐ２、パルス幅Ｐｗ１）を印加したときの振動板
５０の変形動作の一例について図１１を参照して説明す
る。
【００８０】先ず、駆動波形を印加しない状態では、同
図（ａ）に示すように振動板５０は平衡位置（初期位
置）にあり、この状態で第１駆動信号Ｐ１を印加する
と、電極５５との間に発生する静電力によって振動板５
０は電極５５側に変形して、同図（ｂ）に示すように電
極５５側（保護膜５７表面）に当接する。
【００８１】ここで、第１駆動信号Ｐ１を立ち下げて印
加を停止することによって、振動板５０が開放されて平
衡位置に復帰しようと加圧室４６内のインクに圧力を加
えて、インク滴が吐出するエネルギーを与える。ただ
し、同図（ａ）から（ｂ）の間に、加圧室４６内では負
圧が生じ、圧力は加圧室４６の固有振動数で振動しよう
とするので、前述したように吐出力は残留圧力振動と振
動板５０の復元力の重ね合わせになる。
【００８２】その後、振動板５０は、加圧室４６の圧力
振動と慣性により平衡位置を中心として振動しようとす
る。したがって、同図（ｃ）に示すように、平衡位置を
通過した振動板５０は同図（ｄ）に示すように更に電極
５５から離れる方向に変形変位しようとする。
【００８３】ここで、第１駆動信号Ｐ１から所定時間Ｔ
ｄ経過した時に第２駆動信号Ｐ２を印加すると、振動板
５０と電極５５との間に再び静電吸引力が発生するの
で、同図（ｄ）に示すように、電極５５から最も離れた
破線位置まで変形変位しようとする振動板５０の変形変
位が抑制され、振動板５０は実線図示の位置で変形が停
止し、電極５５側に向けて変位を開始し、同図（ｅ）に
示すように平衡位置に復帰する。この場合、第２駆動信
号Ｐ２を立ち下げて印加を停止することで、振動板５０
は略平衡位置で停止し、電極５５側には再度当接しな
い。
【００８４】このように、第１駆動信号Ｐ１でインク滴
の吐出を開始して所定時間経過後Ｔｄ経過後に第２駆動
信号Ｐ２を印加することにより、第１駆動信号Ｐ１によ
ってノズル４４のインクメニスカス面から外方に向かっ
て形成されるインク柱に余分なインクが追従することを
抑えることができ、細いインク柱を形成できるととも
に、インク柱後端の液切れ早くして、吐出インク量を微
小化することができる。そして、微小滴を吐出すること
で粒状感を抑えた良好な画質得ることができるようにな
る。
【００８５】そこで、このインクジェット記録装置で用
いる駆動波形Ｐｖの詳細、すなわち、駆動波形Ｐｖを構
成する第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２のパルス幅
Ｐｗ１，Ｐｗ２、電圧値（波高値）Ｖｐ１，Ｖｐ２、第
１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２との間隔（所定時
間：第２駆動信号Ｐ２の印加開始タイミング）Ｔｄなど
の詳細について図１２以降をも参照して説明する。
【００８６】先ず、第２駆動信号Ｐ２の印加開始タイミ
ングＴｄについて図１２及び図１３を参照して説明す
る。図１２に示すように、第１駆動信号Ｐ１及び第２駆
動信号Ｐ２からなる駆動波形Ｐｖにおいて、第１駆動信
号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２の間の所定時間Ｔｄ（第２駆
動信号Ｐ２の印加開始タイミング）を変化させて電極５
５に印加した場合の吐出特性（吐出滴速度Ｖｊ、吐出滴
体積Ｍｊ）を測定した。
【００８７】このとき、図１３の測定結果に示すよう
に、印加開始タイミングＴｄに対して吐出滴速度Ｖｊは
破線で示すように変化し、印加開始タイミングＴｄに対
して吐出滴体積（適量）Ｍｊは実線で示すように変化し
た。また、第１駆動信号Ｐ１のみを印加して駆動した場
合のインク滴（これを「通常のインク滴」という。）の
吐出滴速度Ｖｊは同図に線で示す値に、同じく吐出滴
体積Ｍｊは線で示す値になった。
【００８８】なお、各特性を測定するときの駆動波形
は、所定時間Ｔｄを含めて第１駆動信号Ｐ１と第２駆動
信号Ｐ２とを一纏めにしてＲＯＭ７１に書き込み、所定
時間Ｔｄを変えるときには別の駆動波形を読み出すよう
にした。また、第１駆動信号Ｐ１は、図１０を参考にし
て、吐出効率の良いパルス幅Ｐｗ１＝６μｓ、電圧値Ｖ
ｐ１＝３４Ｖとし、第２駆動信号Ｐ２はパルス幅Ｐｗ２
＝３μｓ、電圧値Ｖｐ２（＝Ｖｐ１）＝３４Ｖとした。
【００８９】この測定結果から分かるように、第２駆動
信号Ｐ２の印加開始タイミングＴｄを選択することで、
通常のインク滴よりも滴量の小さな微小インク滴を吐出
することができる。ただし、この場合、微小インク滴が
吐出する印加開始タイミングＴｄ（Ｔｄ＜２．５μｓ）
では、滴速度Ｖｊも同時に小さくなる。したがって、滴
速度Ｖｊを確保できる印加開始タイミングＴｄ（Ｔｄ＞
２．５μｓ）では滴体積Ｍｊの変化量としては大きく取
ることができず、図１３の例では、滴体積Ｍｊは７．５
ｐｌ〜８．６ｐｌの範囲で、１０数％しか変化させるこ
とができない。
【００９０】したがって、印加開始タイミングＴｄを制
御するだけでは、滴速度Ｖｊの遅い微小滴しか吐出でき
ない。用紙とヘッドとの間で確保しなければならない距
離、インク滴の着弾位置精度などを考慮すると、通常の
インク滴の吐出速度Ｖｊで微小滴を吐出できることが好
ましい。
【００９１】このように、所定時間（印加開始タイミン
グ）Ｔｄが短いと、インクに吐出するための十分なエネ
ルギー伝わる前に振動板５０の動きが抑制されるので、
滴体積Ｍｊは少なくなるが、滴速度Ｖｊも小さくなる。
したがって、十分な滴速度Ｖｊを確保するためには、第
１駆動信号Ｐ１を立ち下げて振動板５０が復元して平衡
位置（図１１(ｃ)）を通り過ぎるまで、第２駆動信号Ｐ
２の印加開始タイミングＴｄを遅らせることが好まし
い。
【００９２】また逆に、図１１（ｄ）に破線で示すよう
に、振動板５０が電極５５から最も離れた状態に達した
後に第２駆動信号Ｐ２を印加した場合、インクを引き戻
す速度が速くなるのでインク滴量（滴体積）Ｍｊを若干
少なくすることはできるが、滴体積Ｍｊの変化量を大き
くすることができないことが分かった。
【００９３】これらの点から、第２駆動信号Ｐ２の印加
開始タイミング（第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２
との間の所定時間）Ｔｄは、振動板５０が平衡位置（初
期状態）を通過するタイミングから電極５５から最も離
れるタイミングの間とすることが好ましい。
【００９４】これにより、吐出するインク滴には十分な
吐出エネルギーが伝達され、十分なインク滴吐出速度Ｖ
ｊが確保できると共に、また、第２駆動信号Ｐ２が、加
圧室４６の圧力振動および振動板５５の慣性により振動
板５５が動くことを抑制することができ、余分なインク
の追従を抑えて細いインク柱を形成すると共に、インク
柱後端の液切れを早くして、吐出インク量（滴体積Ｍ
ｊ）を微小化することができるようになる。
【００９５】次に、第２駆動信号Ｐ２の印加時間（パル
ス幅Ｐｗ）について図１４及び図１５を参照して説明す
る。図１４に示すように、第１駆動信号Ｐ１及び第２駆
動信号Ｐ２からなる駆動波形において、第２駆動信号Ｐ
２のパルス幅Ｐｗ２（第２駆動電圧Ｖｐ２の印加時間）
を変化させて電極５５に印加した場合の吐出特性（吐出
滴速度Ｖｊ、吐出滴体積Ｍｊ）を測定した。
【００９６】このとき、図１５の測定結果に示すよう
に、印加時間に対して吐出滴速度Ｖｊは破線で示すよう
に変化し、印加時間に対して吐出滴体積Ｍｊは実線で示
すように変化した。また、第１駆動信号Ｐ１のみを印加
して駆動した場合の通常のインク滴の吐出滴速度Ｖｊは
同図に線で示す値に、同じく吐出滴体積Ｍｊは線で
示す値になった。
【００９７】なお、ここでも、各特性を測定するときの
駆動波形は、所定時間Ｔｄを含めて第１駆動信号Ｐ１と
第２駆動信号Ｐ２とを一纏めにしてＲＯＭ７１に書き込
み、パルス幅Ｐｗを変えるときには別の駆動波形を読み
出すようにした。また、第１駆動信号Ｐ１は、図１０を
参考にして、吐出効率の良いパルス幅Ｐｗ１＝６μｓ、
電圧値Ｖｐ１＝３４Ｖとし、第２駆動信号Ｐ２は電圧値
Ｖｐ２（＝Ｖｐ１）＝３４Ｖとし、印加開始タイミング
Ｔｄ＝３μｓとした。
【００９８】この場合、第２駆動信号Ｐ２のパルス幅Ｐ
ｗ２＞６μｓの領域では、第２駆動信号Ｐ２でインク滴
が非常に遅い速度で吐出され、或いは、液垂れでノズル
面を濡らすことを確認した。ただし、第２駆動信号Ｐ２
の立下りを緩やかにするなど、第２駆動信号Ｐ２でイン
ク滴を吐出させない手段はあるので、第２駆動信号Ｐｗ
２に対する制限は微小滴を吐出するための制限ではな
い。
【００９９】そして、この測定結果から分かるように、
第２駆動信号Ｐ２のパルス幅Ｐｗ２≦６μｓの範囲にお
いては、通常のインク滴の滴体積Ｍｊよりも微小なイン
ク滴を吐出させることはできるが、パルス幅Ｐｗ２を変
化させることによる滴体積Ｍｊの変化量は大きく取れな
い。
【０１００】このように、第２駆動信号Ｐ２のパルス幅
Ｐｗ２（印加時間）の長さは、インク滴の微小化には直
接関係しないので、第２駆動信号Ｐ２によって振動板５
５を再び電極５５側に当接させることは、インク滴を微
小化するには関係ない。
【０１０１】しかしながら、振動板５０が電極５５側に
当接した状態から第２駆動信号Ｐ２を立ち下げる（印加
を停止する）ことによって振動板５０を開放したとき、
振動板５０は復元力によって平衡位置に戻ろうとするた
め、インク滴が吐出される可能性が高くなる。したがっ
て、第２駆動信号Ｐ２によって生じる静電力では振動板
５０が再び電極５５側に当接しない方が好ましい。
【０１０２】そのため、第２駆動信号Ｐ２のパルス幅Ｐ
ｗ２（印加時間）は、インク滴吐出後、振動板５５が電
極５５に最も接近する前に第２駆動信号Ｐ２が立ち下が
る（第２駆動信号Ｐ２の印加が停止される）パルス幅に
設定することで、振動板５０が再び電極５５側に当接す
ることを防止して、第２駆動信号Ｐ２によるインク滴吐
出や液垂れを防止することができる。
【０１０３】この場合、第２駆動信号Ｐ２のパルス幅Ｐ
ｗ２（印加時間）は、振動板５０が平衡位置（初期位
置）を電極５５方向に通過する前に、第２駆動信号Ｐ２
が立ち下げる（第２駆動信号Ｐ２の印加が停止される）
パルス幅に設定することで、より確実に第２駆動信号Ｐ
２によるインク滴の吐出或いはインク垂れを防止するこ
とができるようになる。
【０１０４】特に、本実施形態のように第２駆動信号と
して矩形状パルスである第２駆動信号Ｐ２を用いる場合
には、パルス幅Ｐｗ２（印加時間）を振動板５０が平衡
位置（初期位置）を電極５５方向に通過する前に立ち下
がるパルス幅に設定することが好ましい。
【０１０５】すなわち、静電型インクジェットヘッドの
場合、電圧波形に対して振動板５０の動きに適当な遅れ
があるため、矩形状パルスで駆動しても圧電体のように
破壊することはなく、回路として可能な限り速い立ち上
がり、立ち下がりに設定することができ、立ち上がり、
立ち下がりの時定数を設定するために、抵抗値などを管
理する必要がない。駆動回路としては、「時定数Δｔ以
下」の回路構成の方が「時定数ｔ0±Δｔ」の回路構成
よりも簡単である。したがって、駆動波形としては矩形
状パルスを用いることが好ましい。
【０１０６】したがって、本実施形態のように記憶手段
（ここではＲＯＭとＤ／Ａ変換回路）を使わなくても、
駆動信号発生手段としてはスイッチ等で容易に構成する
ことができる。また、特開平９−２５４３８１号公報に
開示されている駆動回路を用いることもできる。
【０１０７】ただし、矩形状パルスを用いた場合、第２
駆動信号（第２駆動信号）の立ち下げで振動板５０は急
に開放されるので、第２駆動信号で振動板５０が電極５
５側に当接していると、それだけ第２駆動信号によるイ
ンク滴吐出が生じ易くなる。そのためには、上述したよ
うに、振動板５０が対向電極５５に最も接近する前に、
より好ましくは、振動板５５が平衡位置（初期位置）を
対向電極５５方向に通過する前に、第２駆動信号を立ち
下げる。
【０１０８】次に、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２と
第１駆動信号Ｐ１の波高値Ｖｐ１との関係について図１
６及び図１７を参照して説明する。図１６に示すよう
に、第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２からなる駆
動波形において、第２駆動信号Ｐ２の波高値（電圧値）
Ｖｐ２を変化させて電極５５に印加した場合の吐出特性
（吐出滴速度Ｖｊ、吐出滴体積Ｍｊ）を測定した。
【０１０９】このとき、図１７の測定結果に示すよう
に、波高値Ｖｐ２に対して吐出滴速度Ｖｊは破線で示す
ように変化し、波高値Ｖｐ２に対して吐出滴体積Ｍｊは
実線で示すように変化した。また、第１駆動信号Ｐ１の
みを印加して駆動した場合の通常のインク滴の吐出滴速
度Ｖｊは同図に線で示す値に、同じく吐出滴体積Ｍｊ
は線で示す値になった。さらに、第２駆動信号Ｐ２の
波高値Ｖｐ２を高くすると、サテライト滴が発生し、こ
のサテライト滴の吐出速度Ｖｊは同図に二点鎖線で示す
ように変化した。
【０１１０】なお、ここでも、各特性を測定するときの
駆動波形は、所定時間Ｔｄを含めて第１駆動信号Ｐ１と
第２駆動信号Ｐ２とを一纏めにしてＲＯＭ７１に書き込
み、波高値Ｖｐ２を変えるときには別の駆動波形を読み
出すようにした。また、第１駆動信号Ｐ１は、図１０を
参考にして、吐出効率の良いパルス幅Ｐｗ１＝６μｓ、
電圧値Ｖｐ１＝３４Ｖとし、第２駆動信号Ｐ２はパルス
幅Ｐｗ２＝３μｓとし、印加開始タイミングＴｄ＝３μ
ｓとした。
【０１１１】この測定結果から分かるように、第２駆動
信号Ｐ２の波高値（電圧値）Ｖｐ２を高くするに従って
インク滴体積Ｍｊが小さく、滴速度Ｖｊが大きくなる。
図では示していないが、電圧値Ｖｐ２を３４Ｖから小さ
くしていくと、インク滴体積Ｍｊは第１駆動信号Ｐ１の
みで駆動した場合のＭｊ＝８．６ｐｌに近づくので、こ
こでは、インク滴体積Ｍｊの変化量は８．６ｐｌ〜４．
７ｐｌの４５％となり、幅広い変化量が得られる。
【０１１２】このように、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖ
ｐ２を通常のインク滴を吐出させる第１駆動信号Ｐ１の
波高値Ｖｐ１よりも高くすることで、滴速度Ｖｊを確保
しつつ、通常のインク滴に対して大きな変化量の微小滴
を吐出させることができる。つまり、第２駆動信号（第
２駆動信号Ｐ２）によってインク滴を吐出させてはいけ
ないので、第２駆動信号（第２駆動信号Ｐ２）の波高値
をインク滴吐出用の第１駆動信号の波高値よりも小さく
するというのが技術的常識であるが、本発明は、静電型
インクジェットヘッド特有の構成に着目して、敢えてこ
の技術的常識を覆して、第２駆動信号の波高値を第１駆
動信号の波高値より高く設定するものである。
【０１１３】これは、前述したように、第２駆動信号Ｐ
２の印加開始タイミングＴｄを、振動板５０が平衡位置
（初期状態）を通過するタイミングから電極５５から最
も離れるタイミングまでの間に設定すると、振動板５０
と電極５５とのギャップは振動板５０が平衡位置にある
ときよりも広がった状態になるので、振動板５０が電極
５５から遠ざかる方向に慣性を持って移動している状態
になっている。
【０１１４】この場合、振動板５０と電極５５との間に
発生する静電力は、ギャップ長の２乗に反比例するの
で、ギャップが広がった位置にある振動板５０の動きを
十分に抑制するために、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ
２を第１駆動信号Ｐ１の波高値Ｖｐ１より高く設定して
所望の静電力を発生させるのである。
【０１１５】なお、前述した図１７に示すように、第２
駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２＝４８Ｖにしたときに、第
２駆動信号Ｐ２でインク滴が吐出しているが、これは、
振動板５０が第２駆動信号Ｐ２で電極５５側に当接した
ためで、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２によっては、
前述したように、印加時間（パルス幅Ｐｗ２）を短くす
るなど当接させないようにするか、当接しても吐出しな
いように立ち下げを緩やかにするなど駆動波形を制御す
ることが好ましい。
【０１１６】次に、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２を
可変する例について前述した図１３及び図１７のほか、
図１８及び図１９をも参照して説明する。図１８に示す
ように、第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２との間の
所定時間Ｔｄを図１６に示したＴｄ＝３μｓからＴｄ＝
２．５μｓに変更して、第２駆動信号Ｐ２の波高値（電
圧値）Ｖｐ２を変化させて電極５５に印加した場合の吐
出特性（吐出滴速度Ｖｊ、吐出滴体積Ｍｊ）を測定し
た。
【０１１７】このとき、図１８の測定結果に示すよう
に、波高値Ｖｐ２に対して吐出滴速度Ｖｊは破線で示す
ように変化し、波高値Ｖｐ２に対して吐出滴体積Ｍｊは
実線で示すように変化した。また、第１駆動信号Ｐ１の
みを印加して駆動した場合の通常のインク滴の吐出滴速
度Ｖｊは同図に線で示す値に、同じく吐出滴体積Ｍｊ
は線で示す値になった。さらに、同図に示すＳ線はサ
テライト滴の滴速度Ｖｊである。なお、図中で通常のイ
ンク滴の吐出速度Ｖｊとサテライト滴の吐出速度Ｖｊ
（Ｓ）が交差しているのは、滴の大きさが入れ替わった
ことを表している。ここでは、複数の滴が吐出した場
合、一番大きい滴を主滴としている。
【０１１８】なお、ここでも、各特性を測定するときの
駆動波形は、所定時間Ｔｄを含めて第１駆動信号Ｐ１と
第２駆動信号Ｐ２とを一纏めにしてＲＯＭ７１に書き込
み、波高値Ｖｐ２を変えるときには別の駆動波形を読み
出すようにした。また、第１駆動信号Ｐ１は、前述した
ように、吐出効率の良いパルス幅Ｐｗ１＝６μｓ、電圧
値Ｖｐ１＝３４Ｖとし、第２駆動信号Ｐ２はパルス幅Ｐ
ｗ２＝３μｓとし、印加開始タイミングＴｄ＝２．５μ
ｓとした。
【０１１９】この図１９に示す測定結果と前述した図１
７に示す測定結果とを対比すると分かるように、所定時
間Ｔｄを短く設定すると、第２駆動信号Ｖｐ２の波高値
Ｖｐ２に対するインク滴体積Ｍｊの変化率は大きくなる
が、サテライト滴が発生し、波高値Ｖｐ２に従って主滴
とサテライト滴の時間差が広がる。
【０１２０】これは、十分な吐出エネルギーがインク滴
に伝わる前に、振動板５０の動きを抑制してしまうた
め、インク滴の後端速度（サテライトのある場合はサテ
ライトの速度）が波高値Ｖｐ２とともに低くなるためで
あり、サテライト滴の発生や主滴とサテライト滴の時間
差の拡大はドット形状、画像品質上は好ましくない。
【０１２１】このことから、所定時間Ｔｄは、インク滴
量Ｍｊとは別に、インク滴の後端速度（サテライトのあ
る場合はサテライトの速度）が確保できるタイミングに
設定する方が良いことが分かる。
【０１２２】そこで、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２
を可変にすることでインク滴量Ｍｊを制御することによ
って、吐出させるインク滴量Ｍｊに関わらず、インク滴
の後端速度（サテライトのある場合はサテライト）を確
保できるタイミングで第２駆動信号Ｐ２の印加を行うこ
とができる。なお、波高値Ｖｐ２を可変にするために
は、前述したように所要範囲の各波高値Ｖｐ２を含む駆
動波形のデータを格納して読み出すようにすればよい。
【０１２３】次に、第２駆動信号Ｐ２の印加開始タイミ
ング（所定時間）Ｔｄの設定についての他の例を説明す
る。この例は、第２駆動信号Ｐ２の印加を開始するタイ
ミングである所定時間Ｔｄを図１３の測定結果から設定
するものである。すなわち、駆動条件を設定する際、振
動板５０の動きを測定しながら決定するのは実際は難し
い。しかし、図１９で説明したように、所定時間Ｔｄの
設定を誤ると、印字品質に多大な影響が生じることにな
り、一方、製造工程ではヘッドのでき上がりにバラツキ
があるため、所定時間Ｔｄを既定値に設定しては問題が
生じる場合もある。
【０１２４】そこで、ここでは、第１駆動信号Ｐ１と第
２駆動信号Ｐ２とが略同一の電圧値（Ｖｐ１＝Ｖｐ２）
としたとき、インク滴最後尾（サテライトがある場合は
サテライト）の速度が、第１駆動信号Ｐ１のみを印加し
た場合のインク滴最後尾（サテライトがある場合はサテ
ライト）の速度と略同一になる時間（タイミング）に所
定時間Ｔｄを設定すると、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖ
ｐ２を大きくしても、滴速度Ｖｊが確保できることを見
出した（図１７参照）。
【０１２５】これにより、振動板の動きを直接観測する
ことなく、製造バラツキによる各ヘッドの個体差を補正
し、最適な所定時間（第２駆動信号の印加開始タイミン
グ）Ｔｄを設定することができる。したがって、サテラ
イトなどの飛び散りの少ないきれいなドットを形成で
き、画像品質が向上する。
【０１２６】次に、第２駆動信号の印加時間（パルスの
場合はパルス幅Ｐｗ２）の設定の他の例について説明す
る。この例では、第２駆動信号の印加時間（パルスの場
合はパルス幅Ｐｗ２）をインク滴のパルス幅特性のピー
クの時間に対して１／４以上〜３／４未満の範囲内の時
間に設定している。
【０１２７】前述した図１０に示すパルス幅特性には、
第１駆動信号の立ち上がり（静電気による振動板の引き
込み）と立ち下がり（振動板の開放）の圧力振動の重ね
合わせが反映されている。つまり、同図の山谷を生じる
圧力振動はインク液室（加圧室４６）の固有振動周期に
関連する。
【０１２８】第２駆動信号の電圧Ｖｐ２の大きさで若干
周期の短い方向にシフトするが、振動板５０の基本振動
周期はインク液室（加圧室６）の固有振動周期、即ち、
図１０のパルス幅特性の山谷から推測できる。ここで、
第２駆動信号で再び振動板を当接させないためには、パ
ルス幅特性のピークの時間に対して１／４以上〜３／４
未満の時間に設定する。
【０１２９】これにより、振動板の動きを直接観測する
ことなく、製造バラツキによる各ヘッドの個体差を補正
し、最適な第２駆動信号の印加時間（パルス幅Ｐｗ２）
を容易に設定できる。
【０１３０】次に、インクジェットヘッドに与える駆動
波形の他の異なる例について図２０乃至図２３をも参照
して説明する。図２０に示す駆動波形は、同図（ａ）に
示すように第１駆動信号Ｐ１のみでインク滴を吐出させ
るときには、波高値Ｖｐ１、パルス幅Ｐｗ１の駆動波形
とし、同図（ｂ）に示すように第１駆動信号Ｐ１及び第
２駆動信号Ｐ２で微小滴を吐出させるときには、第１駆
動波形Ｐ１を波高値Ｖｐ１’（Ｖｐ１’＜Ｖｐ１）、パ
ルス幅Ｐｗ１としている。
【０１３１】すなわち、図１７に示したように、第２駆
動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２を大きくしていくと、インク
滴量Ｍｊはより小さく、インク滴速度Ｖｊはより大きく
なる。これは、インク滴量Ｍｊが小さくなることで、第
１駆動信号Ｐ１で与えられた運動エネルギーが、速度に
反映されるからである。
【０１３２】ここで、インク滴速度Ｖｊは、一定値であ
ることが着弾位置精度などの点から好ましいので、第１
駆動信号Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２を印加して微小滴を
吐出させるときの第１駆動信号Ｐ１の波高値Ｖｐ１’
を、第１駆動信号Ｐ１のみを印加する場合の波高値Ｖｐ
１より小さくする（Ｖｐ１＞Ｖｐ１’）。
【０１３３】これにより、インク滴量Ｍｊが更に微少化
するので、より小さなドットが形成できる。また、粒状
感が少なくなり、印刷画像の画質を向上させることがで
きる。なお、インク滴速度Ｖｊが多少速い分にはドット
径、画像品質に与える影響は少ないので、無理にインク
滴速度Ｖｊを下げる必要はない。
【０１３４】次に、図２１に示す駆動波形は、第２駆動
信号Ｐ２の立下り変化速度を緩やかにした（立ち下がり
時定数ｔｆを大きくした）ものである。
【０１３５】すなわち、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ
２により更なる微小滴化を行うためには、波高値Ｖｐ２
を更に高くする必要があるが、前述した図１７の例で
は、既に第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２＝４８Ｖで、
インク滴の吐出が開始している。これは、振動板５０が
第２駆動信号Ｐ２で電極５５側に当接したためで、更な
る微小滴化には、当接しても吐出しない第２駆動信号Ｐ
２を形成する必要がある。
【０１３６】また、振動板５０が当接しないまでも、吐
出周波数が高くなった時に、圧力振動が重畳され、液垂
れの原因になる。したがって、第２駆動信号Ｐ２による
インク液室内圧力振動はできるだけ小さくすることが好
ましい。
【０１３７】そこで、第２駆動信号Ｐ２の立ち下がりの
変化速度を緩やかにすることで、インク室（加圧室４
６）の圧力振動がより小さくなり、高周波で駆動したと
きにも、第２駆動信号Ｐ２でのインク滴の吐出、液垂れ
を抑えることができる。また、インク滴の吐出、液垂れ
のおそれが少ないので、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ
２をより高く設定することができるようになり、より微
小量のインク滴を吐出することができる。これにより、
粒状感が少なくなり、印刷画像の画質を向上させること
ができる。
【０１３８】次に、図２２に示す駆動波形は、第１駆動
信号Ｐ１に対して第２駆動信号Ｐ２を逆極性の電圧信号
としたものである。
【０１３９】すなわち、静電型アクチュエータの場合、
保護層５７に残留電荷が蓄積する場合がある。残留電荷
が蓄積すると、実効的な電界強度が弱まり、インク滴の
安定吐出ができなくなる。なお、残留電荷は、保護層５
７の残留分極や、電界放出、トンネル効果による帯電が
原因と言われている。
【０１４０】そこで、第２駆動信号Ｐ２を第１駆動信号
Ｐ１に対して逆極性にすることで、残留電荷の蓄積を防
止し、微少インク滴を安定して吐出することができるよ
うになる。この場合、１駆動周期毎に同じ波形を使用で
きるので、駆動制御が容易である。
【０１４１】次に、図２３に示す駆動波形は、第１駆動
信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２の両方の極性を駆動周期毎
に反転させている。なお、ここでは、１駆動周期毎に極
性を反転させているが、駆動周期の所定回数毎に極性を
反転させても良い。
【０１４２】これにより、上記の例と同様に保護層５７
の残留電荷蓄積を防止する効果がある。ここで、残留電
荷の蓄積の仕方は、当接／非当接の状態、非当接でも振
動板５０と保護層５７の距離により変化し、また、非当
接の場合、環境温度によるインク粘度変化などの要因
で、振動板５０と保護層５７の距離は変化することが考
えられる。したがって、第２駆動信号Ｐ２により振動板
５０を当接させない場合は、当接させる第１駆動信号Ｐ
１を含んで波形全体の極性を反転させた方が、安定して
残留電荷を消去できる。
【０１４３】本発明は、第２駆動信号Ｐ２による振動板
５０の当接をできるだけ避ける方向なので、前記のよう
に第２駆動信号Ｐ２のみ極性を反転させる場合に比べ
て、残留電荷をより確実に防止することができる。
【０１４４】次に、本発明の他の実施形態について図２
４及び図２５をも参照して説明する。なお、図２４は同
実施形態の要部平面説明図、図２５は同実施形態におけ
るインクジェットヘッドの振動板長手方向に沿う断面説
明図である。なお、前記実施形態におけるインクジェッ
トヘッド４０と対応する部分には同一符号を付して説明
を省略する。
【０１４５】この実施形態におけるインクジェットヘッ
ド１００は、各振動板５０にそれぞれ対向し、第２駆動
信号が印加される第３電極１０１を、電極５５と同一平
面に設け、すべての第３電極１０１は共通部１０２に接
続している。
【０１４６】そして、この実施形態では、このインクジ
ェットヘッド１００の各電極５５に対しては第１駆動信
号生成部１０３から第１駆動信号ＰＶ１を前述したドラ
イバＩＣ９３を介して印加するようにし、各第３電極１
０１には第２駆動信号生成部１０４から第２駆動信号Ｐ
Ｖ２を印加するようにしている。
【０１４７】この第１駆動信号生成部１０３は、図２６
（ａ）に示すように、波高値Ｖｐ１、パルス幅Ｐｗ１の
第１駆動信号ＰＶ１を生成して出力する。また、第２駆
動信号生成部１０４は、同図（ｂ）に示すように、第１
駆動信号ＰＶ１に対して所定時間Ｔｄ遅れたタイミング
で波高値Ｖｐ２、パルス幅Ｐｗ２の第２駆動信号ＰＶ２
を生成して出力する。
【０１４８】このように構成したので、インク滴を吐出
させるときに第１駆動信号ＰＶ１を電極５５に印加して
振動板５０との間に静電力を発生させ、振動板５０の動
きを抑制する第２駆動信号ＰＶ２を第３電極１０１に印
加することで、振動板５０と第３電極１０１との間に静
電力を発生させる。
【０１４９】このように、第１駆動信号と第２駆動信号
を別の経路で印加するようにした場合、第１駆動信号と
第２駆動信号との間の短い所定時間Ｔｄに、放電と充電
を完了させる必要がなくなる。したがって、第１駆動信
号によるインク吐出に影響が少ない範囲で、ドライバＩ
ＣのＯＮ抵抗を高くしても良く、ドライバＩＣのコスト
を下げることができる。また、各信号を別々に発生する
（同期は必要）ので、駆動信号発生手段が簡単な回路で
構成できる。なお、第２駆動信号により振動板の動きを
抑制することで、微小なインク滴を吐出することが可能
になることは前記実施形態と同様である。
【０１５０】この実施形態の他の例について図２７を参
照して説明する。この例は、第２駆動信号が印加される
第３電極としてシリコン基板からなる電極基板４２を用
いて、インク滴を吐出させる第１駆動信は電極５５に印
加し、振動板５０の動きを抑制する第２駆動信号を電極
基板４２に印加している。
【０１５１】このように、第３電極として電極基板を使
用することで、特別の電極パターンを構成する必要がな
いため、ヘッド構成が簡略化する。また、振動板の全面
積に静電力が作用するので、インク滴に作用する効果も
大きくなる。ただし、電極基板から振動板までの距離が
電極から振動板までの距離より長いため、電極或いは電
極と同一平面の第３電極を用いる場合よりは第２駆動信
号の電圧値を高くする必要がある。
【０１５２】次に、この実施形態の更に他の例について
図２８及び図２９を参照して説明する。この例における
インクジェットヘッド１１０は、各振動板５０にそれぞ
れ対向し、第２駆動信号が印加される第３電極１１１
を、電極５５と同一平面で、かつ、ノズル４４側に設
け、電極５５と同様に外部に引き出している。複数の第
３電極１１１は、電極引き出し用のＦＰＣ上にパターン
ニングされた配線により、ひとつに接続している。
【０１５３】なお、このインクジェットヘッド１１０の
各電極５５に対しては第１駆動信号生成部１０３から第
１駆動信号ＰＶ１を前述したドライバＩＣ９３を介して
印加するようにし、各第３電極１１１には第２駆動信号
生成部１０４から第２駆動信号ＰＶ２を印加するように
している。
【０１５４】この第１駆動信号生成部１０３は、前述し
た図２６（ａ）に示すように、波高値Ｖｐ１、パルス幅
Ｐｗ１の第１駆動信号ＰＶ１を生成して出力する。ま
た、第２駆動信号生成部１０４は、同図（ｂ）に示すよ
うに、第１駆動信号Ｐ１に対して所定時間Ｔｄ遅れたタ
イミングで波高値Ｖｐ２、パルス幅Ｐｗ２の第２駆動信
号ＰＶ２を生成して出力する。
【０１５５】このように、第３電極を部分的に設ける場
合には、ノズル４４の周辺に対応する部分のみで振動板
５０に対向する領域に、言いかえれば、ノズル４４によ
り近い部分に設けることにより、ノズル４４に近い部分
で振動板５０の変形を効果的に抑制でき、インク滴の切
れが速くなり、より微少なインク滴を吐出できる。
【０１５６】次に、本発明の更に他の実施形態について
図３０乃至図３２を参照して説明する。なお、図３０は
同実施形態における振動板の動作を説明する説明図、図
３１は同実施形態における駆動波形を説明する説明図、
図３２は同実施形態の説明に供する印加開始タイミング
とインク滴吐出特性の関係を示す説明図である。なお、
前記実施形態と同一部分には同一符号を用いる。
【０１５７】この実施形態は、第１駆動信号Ｐ１で振動
板５０を電極５５側に当接させるとともに、第１駆動信
号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２との間の所定時間Ｔｄを短く
し、第１駆動信号Ｐ１の印加停止で振動板５０が初期位
置に復帰する前のタイミングで第２駆動信号Ｐ２を印加
することによって、主敵の前にサテライト滴を吐出させ
ることで微小なインク滴を吐出するようにしたものであ
る。
【０１５８】すなわち、図３０に示すように、駆動波形
を印加しない状態では、同図（ａ）に示すように振動板
５０は平衡位置（初期位置）にあり、この状態で第１駆
動信号Ｐ１を印加すると、電極５５との間に発生する静
電力によって振動板５０は電極５５側に変形して、同図
（ｂ）に示すように電極５５側（保護膜５７表面）に当
接する。このとき、駆動電圧を高くしていくと、振動板
５０が当接する面積が増えて、蓄えられるエネルギーが
大きくなる。
【０１５９】ここで、第１駆動信号Ｐ１を立ち下げて印
加を停止し、振動板５０を開放すると、同図（ｃ）に示
すように、振動板５０は変形曲率の大きな部分、すなわ
ち、当接している部分の両端部から急激に復元を開始す
る。この急激な振動板５０の復元変形によって圧力波が
発生し、振動板５０が平衡位置に戻る前に、すなわち主
滴の前にサテライト滴（主滴より速度が大きいので、
「前サテライト滴」という。）を吐出するエネルギーが
生じ、ノズル４４から主滴に比べて微小な前サテライト
滴が吐出される。
【０１６０】その後、同図（ｄ）に示すように振動板５
０は大きな変形部分がなくなって平衡位置に復帰しよう
とするので、このタイミングで第２駆動信号Ｐ２を印加
することにより、振動板５０の復元力が弱まり、同図
（ｅ）に示すように、緩やかに平衡位置に復帰するの
で、インク滴（主滴）を吐出するだけのエネルギーがな
くなり、ノズル４４からは主滴が吐出されない。この場
合、第２駆動信号Ｐ２の波高値Ｖｐ２は第１駆動信号Ｐ
１の波高値Ｖｐ１よりも大きくする。
【０１６１】このように、当接している振動板５０の初
期復元開始圧力を利用して前サテライト滴を吐出させて
微小滴とする場合、前サテライトは、十分な速度を有す
るので、ドット位置ずれも少なく、また、主滴に対して
かなり小さいので、粒状感を抑えることができる。
【０１６２】この場合の第１駆動信号Ｐ１及び第２駆動
信号Ｐ２並びに所定時間Ｔｄについて図３１及び図３２
を参照して説明する。図３１に示すように、第１駆動信
号Ｐ１及び第２駆動信号Ｐ２からなる駆動波形につい
て、第１駆動信号Ｐ１と第２駆動信号Ｐ２の間の所定時
間Ｔｄ（第２駆動信号Ｐ２の印加開始タイミング）Ｔｄ
を０．５μｓ〜２．０μｓの間で変化させて電極５５に
印加した場合の吐出特性（吐出滴速度Ｖｊ、吐出滴体積
Ｍｊ）を測定した。
【０１６３】このとき、図３２の測定結果に示すよう
に、印加開始タイミングＴｄに対して吐出滴速度Ｖｊは
実線で示すように変化し、印加開始タイミングＴｄに対
して吐出滴体積Ｍｊは破線で示すように変化し、前サテ
ライト滴の吐出速度Ｖｊは二点鎖線Ｓで示すように変化
した。また、第１駆動信号Ｐ１のみを印加して駆動した
場合、主滴の吐出滴速度Ｖｊは同図に線で示す値に、
同じく主滴の吐出滴体積Ｍｊは線で示す値、サテライ
ト滴の吐出速度Ｖｊは同図に線で示す値になった。
【０１６４】なお、各特性を測定するときの駆動波形
は、所定時間Ｔｄを含めて第１駆動信号Ｐ１と第２駆動
信号Ｐ２とを一纏めにしてＲＯＭ７１に書き込み、所定
時間Ｔｄを変えるときには別の駆動波形を読み出すよう
にした。また、第１駆動信号Ｐ１は、図１０を参考にし
て、吐出効率の良いパルス幅Ｐｗ１＝６μｓ、電圧値Ｖ
ｐ１とし、第２駆動信号Ｐ２はパルス幅Ｐｗ２＝３μ
ｓ、電圧値Ｖｐ２（＞Ｖｐ１）とした。
【０１６５】また、ヘッド構成については、前記実施形
態における構成において、加圧液室長８００μｍ、振動
板厚さ２μｍ、ノズル径２０μｍとして、流体抵抗を少
し大きくした。これは、ノズル径を小さくして流体抵抗
を大きくすると、インクが流れ難くなるので、インクの
追従が遅くなり、前サテライトが発生し易くなるためで
ある。
【０１６６】この測定結果から分かるように、第１駆動
信号Ｐ１による振動板５０の開放から極めて短い所定時
間Ｔｄで第２駆動信号Ｐ２を印加することによって、前
サテライト滴のみを吐出させることができる。
【０１６７】この場合、第１駆動信号印加時のインク液
室の残留圧力及び振動板開放時に発生したインクと振動
板の運動エネルギーがあるので、振動板を緩やかに復帰
させる（インク滴を吐出させない）ためには、第２駆動
信号は、第１駆動信号より波高値を高くする。これによ
り、主滴を吐出させることなく、先行した微小滴（前サ
テライト）だけを吐出させることができる。
【０１６８】また、振動板５０が平衡位置に戻る前に第
２駆動信号を印加する場合は、図３２に示したように所
定時間（印加開始タイミングＴd）を変化させることに
よって階調を制御することが好ましい。これにより、安
定してドット径を制御することができるようになる。
【０１６９】なお、上記各実施形態においては、静電型
インクジェットヘッドの振動板と電極の平面形状を矩形
とした例で説明したが、平面形状を台形、三角形とする
こともできる。また、上記各実施形態ではインクジェッ
トヘッドは振動板と液室とを流路基板として同一部材か
ら形成しているが、振動板と液室形成部材とを別部材で
形成して接合することもできる。
【０１７０】また、本発明で駆動制御するインクジェッ
トヘッドは流路基板中に形成したノズル、加圧室、流体
抵抗部、共通流路液室の形状、配置、形成方法は適切に
変更することができる。例えば、上記実施形態において
は、ノズルは振動板の変位方向にインク滴が吐出するよ
うに形成したサイドシュータ方式のインクジェットヘッ
ドであるが、ノズルを振動板の変位方向と交差する方向
にインク滴が吐出するように形成したエッジシュータ方
式のインクジェットヘッドでもよい。
【０１７１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るイン
クジェット記録装置によれば、インクジェットヘッドに
対してノズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号
と、この第１駆動信号から所定時間経過後に振動板の変
位を抑制する第２駆動信号を印加する手段を備えている
ので、微小インク滴を吐出することが可能になる。
【０１７２】ここで、第２駆動信号を電極に印加するこ
とで、電極構成を簡略化することができる。また、第２
駆動信号を電極とは電気的に分離され、振動板に対向す
る第３電極に印加することで、駆動回路の構成を簡略化
できる。さらに、第２駆動信号を電極を設ける基板に印
加することで、電極構成及び駆動回路構成を簡略化でき
る。
【０１７３】また、第２駆動信号は振動板が平衡位置を
通過するタイミングから電極から最も離れるタイミング
の間のいずれかのタイミングで印加することで、十分な
インク滴吐出速度を確保しつつ、微小滴を吐出できる。
さらに、振動板が電極に当接する前のタイミングで第２
駆動信号の印加を停止することで、第２駆動信号による
インク滴吐出やインク垂れを防止できる。この場合、振
動板が平衡位置を電極の方向に通過する前に第２駆動信
号の印加を停止することで、より確実に第２駆動信号に
よるインク滴吐出やインク垂れを防止できる。
【０１７４】さらに、第２駆動信号は矩形状パルスとす
ることで、駆動回路構成を簡単にでき、コストも廉価に
なる。また、第２駆動信号の立下り変化速度は第１駆動
信号の立下り変化速度よりも緩やかであるものとするこ
とができ、加圧室内での圧力変動が小さくなり、高周波
駆動における第２駆動信号によるインク滴吐出やインク
垂れを防止できる。
【０１７５】さらにまた、第２駆動信号の波高値が第１
駆動信号の波高値よりも高くすることで、より確実に振
動板の変形を抑制することができる。また、第２駆動信
号の波高値を変化できるようにすることで、吐出する微
小滴の滴量を制御することができ、印加タイミングを制
御するよりもインク滴吐出速度を確保しつつ制御幅を広
くすることができる。
【０１７６】また、第２駆動信号は、第１駆動信号及び
第２駆動信号の波高値が略同一としたとき、第２駆動信
号を印加したときのインク滴最後尾の速度が第１駆動信
号のみを印加したときのインク滴最後尾の速度と略同一
になるタイミングで印加することで、振動板の動きを直
接観測することなくタイミング設定が可能になり、製造
バラツキによるヘッドの個体差を補正して最適な所定時
間を設定することができる。
【０１７７】さらに、第２駆動信号の印加時間は、イン
ク滴のパルス幅特性のピーク時間に対して１／４以上３
／４未満の時間とすることで、振動板の動きを直接観測
することなく最適な第２駆動信号の印加時間を容易に設
定することができる。
【０１７８】さらにまた、第１駆動信号と第２駆動信号
とを印加する場合と、第１駆動信号のみを印加する場合
とを選択できることで、多値化記録を行うことができ
る。この場合、
【０１７９】また、第１駆動信号と第２駆動信号とを印
加する場合の第１駆動信号の波高値を第１駆動信号のみ
を印加するときの波高値よりも小さくすることで、より
微少量のインク滴を吐出することができ、粒状感が少な
くなって画質が向上する。
【０１８０】さらに、第２駆動信号を第１駆動信号に対
して逆極性とすることで、残留電荷の蓄積を抑えて、静
電力のばらつきを低減することができ、微小なインク滴
を安定して吐出することができて、粒状感が少なくなっ
て画質が向上する。また、駆動周期又は所定回数毎に第
１駆動信号及び第２駆動信号の両方の極性を反転させる
ことで、残留電荷の蓄積を抑えて、静電力のばらつきを
低減することができ、微小なインク滴を安定して吐出す
ることができて、粒状感が少なくなって画質が向上す
る。
【０１８１】本発明に係るヘッド駆動制御装置によれ
ば、ノズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号と、
この第１駆動信号から所定時間経過後に振動板の変位を
抑制する第２駆動信号とを生成する手段を備えているの
で、微小滴を吐出させることが可能になる。
【０１８２】ここで、第１駆動信号と第２駆動信号とを
時系列で生成する手段を備えることで、簡単な構成で、
第１駆動信号のみ及び第１駆動信号と第２駆動信号の選
択を行うことができるようになる。また、第１駆動信号
から第２駆動信号までの所定時間は、インクジェットヘ
ッドに印加したときに振動板が平衡位置を通過するタイ
ミングから電極から最も離れるタイミングの間に含まれ
る時間とすることで、滴速度を確保しつつ微小滴を吐出
させることができるようになる。
【０１８３】また、第２駆動信号は、インクジェットヘ
ッドに印加したときに振動板が平衡位置を電極の方向に
通過する前に立ち下がる信号とすることで、第２駆動信
号によってインク滴が吐出したり、液垂れを生じること
を防止できる。さらに、第１駆動信号及び第２駆動信号
は矩形状パルス信号とすることで、回路構成が簡単にな
る。
【０１８４】さらに、第２駆動信号の波高値は第１駆動
信号の波高値よりも高くすることで、振動板をより確実
に抑制することができるようになる。また、第２駆動信
号は第１駆動信号に対して逆極性の信号とすることで、
残留電荷を低減することができるようになる。さらに、
駆動周期又は所定回数毎に前記第１駆動信号及び第２駆
動信号の両方の極性を反転させることでも、残留電荷を
低減することができるようになる。
【０１８５】本発明に係るヘッド駆動制御方法によれ
ば、ノズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号を印
加した後所定時間経過後に振動板の変位を抑制する第２
駆動信号を印加するので、微小滴を吐出させることがで
きる。
【０１８６】ここで、第１駆動信号を印加した後、この
第１駆動信号で変形した振動板が平衡位置を通過するタ
イミングから電極から最も離れるタイミングまでの間に
第２駆動信号を印加することで、インク滴吐出速度を確
保しつつ微小滴を吐出させることができる。また、第２
駆動信号を印加した後、第１駆動信号で変形した振動板
が平衡位置を電極の方向に通過する前に第２駆動信号の
印加を停止することで、第２駆動信号によるインク滴の
吐出や液垂れを防止することができる。
【０１８７】また、第１駆動信号及び第２駆動信号は矩
形状パルス信号とすることで、駆動回路の構成が簡単に
なる。さらに、第２駆動信号の波高値は第１駆動信号の
波高値よりも高くすることで、確実に振動板を抑制する
ことができる。さらにまた、第２駆動信号の波高値を記
録画像に応じて変化させることで、微小滴の適量を変化
させることができる。
【０１８８】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、インクジェットヘッドに対して振動板を電極側に
当接させる第１駆動信号を印加し、この第１駆動信号の
印加を停止することで復元する振動板が平衡位置に達す
る前に第１駆動信号よりも波高値の高い第２駆動信号を
印加する手段を備えることで、より小さな微小滴を吐出
することができる。
【０１８９】ここで、第２駆動信号の印加開始タイミン
グを変化させる手段を備えることで、安定してドット径
を変化させることができる。
【０１９０】本発明に係るヘッド駆動制御装置によれ
ば、インクジェットヘッドの振動板を電極側に当接させ
る第１駆動信号と、この第１駆動信号の印加を停止する
ことで復元する振動板が平衡位置に達する前に出力され
る第１駆動信号よりも波高値の高い第２駆動信号とを生
成する手段を備えているので、より小さな微小滴を吐出
させることができるようになる。
【０１９１】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、ノズルからインク滴を吐出させる第１駆動信号から
印加される手段とは別に、第１駆動信号から所定時間経
過後に振動板の変位を抑制する第２駆動信号が印加され
る第３電極を有するので、第２駆動信号を印加するため
の回路構成が簡単になる。
【０１９２】ここで、第３電極は電極を設ける電極基板
とすることで、電極構成を複雑化することなく、第２駆
動信号を印加するための回路構成が簡単になる。また、
第３電極はノズル周辺部に対応する部分でのみ振動板に
対向している構成とすることで、より効果的に振動板を
抑制することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るインクジェット記録装置の機構部
の概略斜視説明図
【図２】同機構部の側面説明図
【図３】同記録装置のヘッドの分解斜視説明図
【図４】同ヘッドの振動板長手方向の断面説明図
【図５】図４の要部拡大説明図
【図６】同ヘッドの振動板短手方向の要部拡大断面説明
図
【図７】同記録装置の制御部の一例を示すブロック図
【図８】同制御部の本発明に係るヘッド駆動制御装置部
分のブロック説明図
【図９】同ヘッド駆動制御装置の作用説明に供する説明
図
【図１０】同ヘッドの駆動波形のパルス幅と吐出滴速度
及び吐出滴体積の関係の一例を説明する説明図
【図１１】本発明の第１実施形態の説明に供する説明図
【図１２】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図１３】図１１の駆動波形を印加したときの印加開始
タイミングと吐出滴速度及び吐出滴体積の関係を説明す
る説明図
【図１４】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図１５】図１４の駆動波形を印加したときの印加時間
と吐出滴速度及び吐出滴体積の関係を説明する説明図
【図１６】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図１７】図１６の駆動波形を印加したときの電圧値と
吐出滴速度及び吐出滴体積の関係を説明する説明図
【図１８】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図１９】図１８の駆動波形を印加したときの電圧値と
吐出滴速度及び吐出滴体積の関係を説明する説明図
【図２０】同実施形態における駆動波形の他の例の説明
に供する説明図
【図２１】同実施形態における駆動波形の他の例の説明
に供する説明図
【図２２】同実施形態における駆動波形の他の例の説明
に供する説明図
【図２３】同実施形態における駆動波形の他の例の説明
に供する説明図
【図２４】本発明の他の実施形態の説明に供する説明図
【図２５】同実施形態における本発明に係るインクジェ
ットヘッドの振動板長手方向の断面説明図
【図２６】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図２７】同実施形態の他の例の説明に供する説明図
【図２８】同実施形態の更に他の例の説明に供する説明
図
【図２９】同例における本発明に係るインクジェットヘ
ッドの振動板長手方向の模式的断面説明図
【図３０】本発明の更に他の実施形態の説明に供する説
明図
【図３１】同実施形態における駆動波形の説明に供する
説明図
【図３２】図３０の駆動波形を印加したときの印加開始
タイミングと吐出滴速度及び吐出滴体積の関係の説明に
供する説明図
【符号の説明】
１３…キャリッジ、１４…ヘッド、２４…搬送ローラ、
３３…排紙ローラ、４０…インクジェットヘッド、４１
…流路基板、４２…電極基板、４３…ノズル板、４４…
ノズル、４６…加圧室、４７…流体抵抗部、４８…共通
流路液室、５０…振動板、５５…電極、５６…ギャッ
プ、８７…波形生成回路、９１…主制御部、９３…ドラ
イバＩＣ、９５…シフトレジスタ、９６…ラッチ回路、
９７…レベル変換回路、９８…アナログスイッチアレ
イ、１０１…第３電極。

Claims (37)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インク滴を吐出するノズルと、このノズ
    ルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の壁
    面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを
    有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノズ
    ルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを搭
    載したインクジェット記録装置において、前記インクジ
    ェットヘッドに対して前記ノズルからインク滴を吐出さ
    せる第１駆動信号と、この第１駆動信号から所定時間経
    過後に前記振動板の変位を抑制する第２駆動信号を印加
    する手段を備えていることを特徴とするインクジェット
    記録装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェット記録装
    置において、前記第２駆動信号を前記電極に印加するこ
    とを特徴とするインクジェット記録装置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載のインクジェット記録装
    置において、前記第２駆動信号を前記電極とは電気的に
    分離され、前記振動板に対向する第３電極に印加するこ
    とを特徴とするインクジェット記録装置。
  4. 【請求項４】 請求項１に記載のインクジェット記録装
    置において、前記第２駆動信号を前記電極を設けた基板
    に印加することを特徴とするインクジェット記録装置。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
    クジェット記録装置において、前記第２駆動信号は前記
    振動板が平衡位置を通過するタイミングから前記電極か
    ら最も離れるタイミングの間のいずれかのタイミングで
    印加することを特徴とするインクジェット記録装置。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
    クジェット記録装置において、前記振動板が前記電極に
    当接する前のタイミングで前記第２駆動信号の印加を停
    止することを特徴とするインクジェット記録装置。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載のインクジェット記録装
    置において、前記振動板が平衡位置を前記電極の方向に
    通過する前に前記第２駆動信号の印加を停止することを
    特徴とするインクジェット記録装置。
  8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
    クジェット記録装置において、前記第２駆動信号は矩形
    状パルスであることを特徴とするインクジェット記録装
    置。
  9. 【請求項９】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
    クジェット記録装置において、前記第２駆動信号の立下
    り変化速度は第１駆動信号の立下り変化速度よりも緩や
    かであることを特徴とするインクジェット記録装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれかに記載のイ
    ンクジェット記録装置において、前記第２駆動信号の波
    高値が前記第１駆動信号の波高値よりも高いことを特徴
    とするインクジェット記録装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第２駆動信号の
    波高値を変化できることを特徴とするインクジェット記
    録装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第２駆動信号
    は、前記第１駆動信号及び第２駆動信号の波高値が略同
    一としたとき、第２駆動信号を印加したときのインク滴
    最後尾の速度が第１駆動信号のみを印加したときのイン
    ク滴最後尾の速度と略同一になるタイミングで印加する
    ことを特徴とするインクジェット記録装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第２駆動信号の
    印加時間は、インク滴のパルス幅特性のピーク時間に対
    して１／４以上３／４未満の時間であることを特徴とす
    るインクジェット記録装置。
  14. 【請求項１４】 請求項１乃至１３のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第１駆動信号及
    び第２駆動信号を印加する場合と、第１駆動信号のみを
    印加する場合とを選択できることを特徴とするインクジ
    ェット記録装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１乃至１４のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第１駆動信号及
    び第２駆動信号を印加する場合の第１駆動信号の波高値
    が第１駆動信号のみを印加する場合の第１駆動信号の第
    １波高値よりも小さいことを特徴とするインクジェット
    記録装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１乃至１５のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、前記第２駆動信号は
    第１駆動信号に対して逆極性の信号であることを特徴と
    するインクジェット記録装置。
  17. 【請求項１７】 請求項１乃至１５のいずれかに記載の
    インクジェット記録装置において、駆動周期又は所定回
    数毎に前記第１駆動信号及び第２駆動信号の両方の極性
    を反転させることを特徴とするインクジェット記録装
    置。
  18. 【請求項１８】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の
    壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
    を有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノ
    ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
    駆動制御するヘッド駆動制御装置において、前記ノズル
    からインク滴を吐出させる第１駆動信号と、この第１駆
    動信号から所定時間経過後に前記振動板の変位を抑制す
    る第２駆動信号とを生成する手段を備えていることを特
    徴とするヘッド駆動制御装置。
  19. 【請求項１９】 請求項１８に記載のヘッド駆動制御装
    置において、前記第１駆動信号と第２駆動信号とを時系
    列で生成する手段を備えていることを特徴とするヘッド
    駆動制御装置。
  20. 【請求項２０】 請求項１８又は１９に記載のヘッド駆
    動制御装置において、前記第１駆動信号から第２駆動信
    号までの所定時間は、前記インクジェットヘッドに印加
    したときに振動板が平衡位置を通過するタイミングから
    電極から最も離れるタイミングの間に含まれる時間であ
    ることを特徴とするヘッド駆動制御装置。
  21. 【請求項２１】 請求項１８乃至２０のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御装置において、前記第２駆動信号は、
    前記インクジェットヘッドに印加したときに振動板が平
    衡位置を電極の方向に通過する前に立ち下がる信号であ
    ることを特徴とするヘッド駆動制御装置。
  22. 【請求項２２】 請求項１８乃至２１のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御装置において、前記第１駆動信号及び
    第２駆動信号は矩形状パルス信号であることを特徴とす
    るヘッド駆動制御装置。
  23. 【請求項２３】 請求項１８乃至２２のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御装置において、前記第２駆動信号の波
    高値は前記第１駆動信号の波高値よりも高いことを特徴
    とするヘッド駆動制御装置。
  24. 【請求項２４】 請求項１８乃至２３のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御装置において、前記第２駆動信号は第
    １駆動信号に対して逆極性の信号であることを特徴とす
    るヘッド駆動制御装置。
  25. 【請求項２５】 請求項１８乃至２３のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御装置において、駆動周期又は所定回数
    毎に前記第１駆動信号及び第２駆動信号の両方の極性が
    反転することを特徴とするヘッド駆動制御装置。
  26. 【請求項２６】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の
    壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
    を有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノ
    ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
    駆動制御するヘッド駆動制御方法において、前記ノズル
    からインク滴を吐出させる第１駆動信号を印加した後所
    定時間経過後に前記振動板の変位を抑制する第２駆動信
    号を印加することを特徴とするヘッド駆動制御方法。
  27. 【請求項２７】 請求項２６に記載のヘッド駆動制御方
    法において、前記第１駆動信号を印加した後、この第１
    駆動信号で変形した振動板が平衡位置を通過するタイミ
    ングから電極から最も離れるタイミングまでの間に前記
    第２駆動信号を印加することを特徴とするヘッド駆動制
    御方法。
  28. 【請求項２８】 請求項２６又は２７に記載のヘッド駆
    動制御装置において、前記第２駆動信号を印加した後、
    前記第１駆動信号で変形した振動板が平衡位置を電極の
    方向に通過する前に前記第２駆動信号の印加を停止する
    ことを特徴とするヘッド駆動制御方法。
  29. 【請求項２９】 請求項２６乃至２８のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御方法において、前記第１駆動信号及び
    第２駆動信号は矩形状パルス信号であることを特徴とす
    るヘッド駆動制御方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２６乃至２９のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御方法において、前記第２駆動信号の波
    高値は前記第１駆動信号の波高値よりも高いことを特徴
    とするヘッド駆動制御方法。
  31. 【請求項３１】 請求項２６乃至３０のいずれかに記載
    のヘッド駆動制御方法において、前記第２駆動信号の波
    高値を記録画像に応じて変化させることを特徴とするヘ
    ッド駆動制御方法。
  32. 【請求項３２】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の
    壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
    を有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノ
    ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
    搭載したインクジェット記録装置において、前記インク
    ジェットヘッドに対して前記振動板を前記電極側に当接
    させる第１駆動信号を印加し、この第１駆動信号の印加
    を停止することで復元する前記振動板が平衡位置に達す
    る前に前記第１駆動信号よりも波高値の高い第２駆動信
    号を印加する手段を備えていることを特徴とするインク
    ジェット記録装置。
  33. 【請求項３３】 請求項３２に記載のインクジェット記
    録装置において、前記第２駆動信号の印加開始タイミン
    グを変化させる手段を備えていることを特徴とするイン
    クジェット記録装置。
  34. 【請求項３４】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の
    壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
    を有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノ
    ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
    駆動制御するヘッド駆動制御装置において、前記インク
    ジェットヘッドの振動板を前記電極側に当接させる第１
    駆動信号と、この第１駆動信号の印加を停止することで
    復元する前記振動板が平衡位置に達する前に出力される
    前記第１駆動信号よりも波高値の高い第２駆動信号とを
    生成する手段を備えていることを特徴とするヘッド駆動
    制御装置。
  35. 【請求項３５】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通するインク流路と、このインク流路の一部の
    壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極と
    を有し、前記振動板を静電気力により変形させて前記ノ
    ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
    おいて、前記ノズルからインク滴を吐出させる第１駆動
    信号が印加される手段とは別に、前記第１駆動信号から
    所定時間経過後に前記振動板の変位を抑制する第２駆動
    信号が印加される第３電極を有することを特徴とするイ
    ンクジェットヘッド。
  36. 【請求項３６】 請求項３５に記載のインクジェットヘ
    ッドにおいて、前記第３電極は前記電極を設ける電極基
    板であることを特徴とするインクジェットヘッド。
  37. 【請求項３７】 請求項３６に記載のインクジェットヘ
    ッドにおいて、前記第３電極は前記ノズル周辺に対応す
    る部分でのみ前記振動板に対向していることを特徴とす
    るインクジェットヘッド。
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