JP2002090461A - 放射線撮像装置 - Google Patents
放射線撮像装置Info
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Abstract
の裏面に配置しているので、装置が大型化、部品点数が
増加する。 【解決手段】 光電変換基板の光電変換素子が配置され
ない隅部に放射線量を測定する放射線量測定素子を配置
する。
Description
読み取りを行う二次元の光電変換基板を用いた放射線撮
像装置に関するものである。
あるいはX線撮像装置等の読み取り装置としては、縮小
光学系とCCD型センサを組み合わせたシステムで構成
されている。しかしながら、近年になり水素化アモルフ
ァスシリコン(以下a−Siと記す)に代表される光電
変換半導体材料の開発により、光電変換素子及び信号処
理部を大面積の基板に形成し、情報源と等倍の光学系で
読み取る密着型センサの開発が進んでいる。
でなく、薄膜電界効果型トランジスタ(以下、TFTと
記す)の半導体材料としても用いることができるので、
光電変換半導体層とTFTの半導体層を同時に形成でき
る利点を有している。
層を同時に形成した大面積光電変換基板上にX線を可視
光に波長変換する材料を組み合わせてX線による撮像を
行うX線撮像装置が知られている。このようなX線撮像
装置においては、多種の被写体の差によるX線量の強弱
と大面積撮影部の光電変換後の電気出力とのマッチング
をとる必要があるため、光電変換基板の周辺にX線量を
計測するユニットが配置されている。
銀塩系フィルムによるX線撮影装置において多種の被写
体の差によるX線量の強弱を測定する線量ユニット(フ
ォトタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配
置するのと同様に、光電変換基板を用いたX線撮像装置
においてもX線量の強弱を測定する線量ユニット(フォ
トタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配置
しているので、装置の大型化や部品点数が増加する等の
問題があった。
たもので、その目的は、放射線量測定素子を光電変換基
板の隅部に配置することにより、小型化、軽量化が可能
な放射線撮像装置を提供することにある。
換素子及びTFT部が二次元に配列された光電変換基板
を有する放射線撮像装置において、前記光電変換基板の
光電変換素子が配置されない隅部に放射線量を測定する
放射線量測定素子を配置したことを特徴とする放射線撮
像装置によって達成される。
て図面を参照して詳細に説明する。
撮像装置における第1の実施形態の構成を示す平面図で
ある。図1において、1はX線量測定ユニット、2は電
気接続部、3はX線撮影有効面、4はガラス基板であ
る。X線撮影有効面3はガラス基板4上に薄膜半導体プ
ロセスによって作製された光電変換素子であるセンサ部
と光電変換後の電気信号を転送するTFT部とからな
り、その転送信号は電気接続部2を経由し光電変換基板
から外部に出力される。
され、その周辺に電気接続部2が配置されている。X線
撮影有効面3の最大4辺から電気接続線が配線されると
すると、電気接続部2は最大4個所に存在するが、光電
変換素子のX線撮影有効面3はガラス基板4内に配置さ
れ、その外周の周辺は電気接続部2が配置されているの
で、ガラス基板4の4隅のコーナー部は光電変換素子も
電気接続部2も配置されない空きスペースとなる。この
ガラス基板4の4隅のコーナー部の光電変換素子も電気
接続部2も配置されない空きスペースにX線量測定ユニ
ット1が配置されている。
に使用されているX線量測定ユニットは、多種の被写体
の差によるX線量の強弱であるX線源の管電圧、管電流
やX線源から撮影装置までの距離、撮影装置の感度等に
よるX線量の測定をする線量ユニット(フォトタイマ
ー)から成っていて、撮影有効面の周辺や撮影面の裏面
に配置されている。また、同様に従来の光電変換基板を
用いたX線撮像装置においても、X線量の強弱を測定す
る線量ユニットは撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配
置されているが、撮影有効面の周辺配置の場合は装置全
体が大面積化し、撮影面の裏面に配置すると装置が厚型
化や大型化し、部品点数が増加する等の課題があった。
にガラス基板4のX線撮影有効面3の周辺に電気接続部
2を配置し、ガラス基板4の4隅のコーナー部の光電変
換素子も電気接続部2も配置されないスペースにX線量
測定ユニット1を配置することによって装置の大面積
化、厚型化、大型化を防いでいる。
実施形態を示す平面図である。図2において、4はガラ
ス基板、5は配線(信号線)、6は配線(駆動線)、7
は光電変換素子であるセンサ部、8は光電変換後の電気
信号を転送するTFT部、9はX線量測定用のセンサ
部、10はX線量測定用のセンサ電気信号を転送するT
FT部、11はX線量測定用の配線(信号線)、12は
X線量測定用の配線(駆動線)、13は5の配線(信号
線)と6の配線(駆動線)のクロス部である。
ーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに、X
線量測定センサ部9とX線量測定TFT部10をX線撮
影有効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電変換
後電気信号を転送するTFT部8と同一材料でX線量測
定ユニットとして配置している。同一材料とは、例え
ば、従来技術で説明したようなa−Siであり、このa
−Siを用いることによって双方を同時に形成してい
る。
め、多種の被写体の差によるX線量の強弱であるX線源
の管電圧、管電流やX線源から撮影装置までの距離、撮
影装置の感度等によるX線量の測定する線量ユニット
(フォトタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面
に配置しているが、撮影有効面の周辺に配置すると装置
全体が大面積化し、撮影面の裏面に配置すると装置が厚
型化、大型化し、部品点数が増加する問題があった。
コーナー部の光電変換素子も電気接続部も配置されない
スペースに、X線量測定センサ部9とX線測定TFT部
10をX線撮影有効面内の光電変換素子であるセンサ部
7と光電変換後電気信号を転送するTFT部8と同一材
料でX線量測定ユニットとして配置しているので、装置
の大面積化、厚型化、大型化を防ぐことができると共
に、製造を容易に行うことができる。
弱であるX線源の管電圧、管電流やX線源から撮影装置
までの距離、撮影装置の感度等によるX線量を測定する
線量ユニット(フォトタイマー)は撮影有効面の光電変
換素子とは独立駆動である。この時、光蓄積時間が撮影
有効面内の光電変換素子の光蓄積時間より長時間必要な
場合、X線量測定センサ部9とX線測定TFT部10が
撮影有効面の光電変換素子であるセンサ部7及び光電変
換後電気信号を転送するTFT部8と同一構造である
と、X線量測定センサ部9及びX線量測定TFT部9の
面積(サイズ)は撮影有効面の光電変換素子であるセン
サ部7及び光電変換後電気信号を転送するTFT部8よ
り大面積になる。
センサ部7、及び光電変換後電気信号を転送するTFT
部8より大面積になるX線量測定センサ部9及びX線量
測定用のセンサ電気信号を転送するTFT部10を1素
子で構成した場合の例を示している。
量測定用のセンサ電気信号を転送するTFT部15を2
素子以上の多素子で構成した場合の図である。図2と同
一部分は同一符号を付している。X線量測定用のセンサ
電気信号を転送するTFT部14から撮影有効面の光電
変換素子であるセンサ部7及び光電変換後電気信号を転
送するTFT部8とは独立して外部に配線されている。
コーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに、
X線量測定センサ部14、X線量測定TFT部15をX
線撮影有効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電
変換後電気信号を転送するTFT部8と同一材料で、X
線量測定ユニットとして配置している。従って、図3に
おいてもシステム全体を軽量化、小型化できると共に、
光電変換基板を容易に作製することができる。
実施形態を示す断面図である。図4において、16はX
線を光に変換する波長変換材料(蛍光板)、4はガラス
基板、7は光電変換素子であるセンサ部、8は光電変換
後電気信号を転送するTFT部、9はX線量測定用セン
サ部、10はX線量測定用のセンサ電気信号を転送する
TFT部である。本実施形態では、ガラス基板4の4隅
のコーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに
X線量測定用センサ部9とTFT部10を、X線撮影有
効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電変換後電
気信号を転送するTFT部8と同一材料で、更に、波長
変換材料16と同一の材料で構成し、X線量測定ユニッ
トとして配置している。
基板の4隅のコーナー部の光電変換素子が配置されない
スペースに、X線量測定用センサ部9、X線量測定TF
T部10を、X線撮影有効面内の光電変換素子であるセ
ンサ部7と光電変換後電気信号を転送するTFT部8と
同一材料で、更に、X線を可視光に変換する波長変換材
料16と同一材料で構成されたX線量測定ユニットとし
て配置しているので、装置を軽量化、小型化でき、更
に、製造が容易で部品点数を削減することが可能であ
る。
電変換基板の隅部に放射線量測定素子を配置することに
より、光電変換基板の大型化、厚型化等を防ぎ、システ
ム全体を小型化、軽量化できるという効果がある。
す平面図である。
部を多素子で構成した平面図である。
T部 11 X線量測定用の配線(信号線) 12 X線量測定用の配線(駆動線) 13 5の配線(信号線)と6の配線(駆動線)のク
ロス部 14 X線量測定センサ部 15 X線量測定TFT部 16 波長変換材料(蛍光板)
Claims (4)
- 【請求項1】 光電変換素子及びTFT部が二次元に配
列された光電変換基板を有する放射線撮像装置におい
て、前記光電変換基板の光電変換素子が配置されない隅
部に放射線量を測定する放射線量測定素子を配置したこ
とを特徴とする放射線撮像装置。 - 【請求項2】 前記放射線量測定素子は、光電変換基板
の4隅に配置されていることを特徴とする請求項1に記
載の放射線撮像装置。 - 【請求項3】 前記放射線量測定素子は、前記光電変換
素子及びTFT部と同一材料で構成されていることを特
徴とする請求項1又は2に記載の放射線撮像装置。 - 【請求項4】 更に、放射線を光に変換する波長変換材
料を含み、前記放射線量測定素子は前記波長変換材料と
同一材料で構成されていることを特徴とする請求項1〜
3のいずれかに記載の放射線撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000280279A JP4508390B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 放射線撮像装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2002090461A true JP2002090461A (ja) | 2002-03-27 |
JP2002090461A5 JP2002090461A5 (ja) | 2007-10-25 |
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-
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- 2000-09-14 JP JP2000280279A patent/JP4508390B2/ja not_active Expired - Fee Related
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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