JP2002090461A - 放射線撮像装置 - Google Patents

放射線撮像装置

Info

Publication number
JP2002090461A
JP2002090461A JP2000280279A JP2000280279A JP2002090461A JP 2002090461 A JP2002090461 A JP 2002090461A JP 2000280279 A JP2000280279 A JP 2000280279A JP 2000280279 A JP2000280279 A JP 2000280279A JP 2002090461 A JP2002090461 A JP 2002090461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photoelectric conversion
ray
unit
tft
imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000280279A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002090461A5 (ja
JP4508390B2 (ja
Inventor
Eiichi Takami
栄一 高見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2000280279A priority Critical patent/JP4508390B2/ja
Publication of JP2002090461A publication Critical patent/JP2002090461A/ja
Publication of JP2002090461A5 publication Critical patent/JP2002090461A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4508390B2 publication Critical patent/JP4508390B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォトタイマーを撮影有効面の周辺や撮影面
の裏面に配置しているので、装置が大型化、部品点数が
増加する。 【解決手段】 光電変換基板の光電変換素子が配置され
ない隅部に放射線量を測定する放射線量測定素子を配置
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線等の放射線の
読み取りを行う二次元の光電変換基板を用いた放射線撮
像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ファクシミリや複写機、スキャナ
あるいはX線撮像装置等の読み取り装置としては、縮小
光学系とCCD型センサを組み合わせたシステムで構成
されている。しかしながら、近年になり水素化アモルフ
ァスシリコン(以下a−Siと記す)に代表される光電
変換半導体材料の開発により、光電変換素子及び信号処
理部を大面積の基板に形成し、情報源と等倍の光学系で
読み取る密着型センサの開発が進んでいる。
【0003】特に、a−Siは光電変換材料としてだけ
でなく、薄膜電界効果型トランジスタ(以下、TFTと
記す)の半導体材料としても用いることができるので、
光電変換半導体層とTFTの半導体層を同時に形成でき
る利点を有している。
【0004】一方、光電変換半導体層とTFTの半導体
層を同時に形成した大面積光電変換基板上にX線を可視
光に波長変換する材料を組み合わせてX線による撮像を
行うX線撮像装置が知られている。このようなX線撮像
装置においては、多種の被写体の差によるX線量の強弱
と大面積撮影部の光電変換後の電気出力とのマッチング
をとる必要があるため、光電変換基板の周辺にX線量を
計測するユニットが配置されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
銀塩系フィルムによるX線撮影装置において多種の被写
体の差によるX線量の強弱を測定する線量ユニット(フ
ォトタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配
置するのと同様に、光電変換基板を用いたX線撮像装置
においてもX線量の強弱を測定する線量ユニット(フォ
トタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配置
しているので、装置の大型化や部品点数が増加する等の
問題があった。
【0006】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、その目的は、放射線量測定素子を光電変換基
板の隅部に配置することにより、小型化、軽量化が可能
な放射線撮像装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、光電変
換素子及びTFT部が二次元に配列された光電変換基板
を有する放射線撮像装置において、前記光電変換基板の
光電変換素子が配置されない隅部に放射線量を測定する
放射線量測定素子を配置したことを特徴とする放射線撮
像装置によって達成される。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0009】(第1の実施形態)図1は本発明の放射線
撮像装置における第1の実施形態の構成を示す平面図で
ある。図1において、1はX線量測定ユニット、2は電
気接続部、3はX線撮影有効面、4はガラス基板であ
る。X線撮影有効面3はガラス基板4上に薄膜半導体プ
ロセスによって作製された光電変換素子であるセンサ部
と光電変換後の電気信号を転送するTFT部とからな
り、その転送信号は電気接続部2を経由し光電変換基板
から外部に出力される。
【0010】光電変換素子はX線撮影有効面3内に配置
され、その周辺に電気接続部2が配置されている。X線
撮影有効面3の最大4辺から電気接続線が配線されると
すると、電気接続部2は最大4個所に存在するが、光電
変換素子のX線撮影有効面3はガラス基板4内に配置さ
れ、その外周の周辺は電気接続部2が配置されているの
で、ガラス基板4の4隅のコーナー部は光電変換素子も
電気接続部2も配置されない空きスペースとなる。この
ガラス基板4の4隅のコーナー部の光電変換素子も電気
接続部2も配置されない空きスペースにX線量測定ユニ
ット1が配置されている。
【0011】従来の銀塩系フィルムによるX線撮像装置
に使用されているX線量測定ユニットは、多種の被写体
の差によるX線量の強弱であるX線源の管電圧、管電流
やX線源から撮影装置までの距離、撮影装置の感度等に
よるX線量の測定をする線量ユニット(フォトタイマ
ー)から成っていて、撮影有効面の周辺や撮影面の裏面
に配置されている。また、同様に従来の光電変換基板を
用いたX線撮像装置においても、X線量の強弱を測定す
る線量ユニットは撮影有効面の周辺や撮影面の裏面に配
置されているが、撮影有効面の周辺配置の場合は装置全
体が大面積化し、撮影面の裏面に配置すると装置が厚型
化や大型化し、部品点数が増加する等の課題があった。
【0012】そこで、本実施形態では、図1に示すよう
にガラス基板4のX線撮影有効面3の周辺に電気接続部
2を配置し、ガラス基板4の4隅のコーナー部の光電変
換素子も電気接続部2も配置されないスペースにX線量
測定ユニット1を配置することによって装置の大面積
化、厚型化、大型化を防いでいる。
【0013】(第2の実施形態)図2は本発明の第2の
実施形態を示す平面図である。図2において、4はガラ
ス基板、5は配線(信号線)、6は配線(駆動線)、7
は光電変換素子であるセンサ部、8は光電変換後の電気
信号を転送するTFT部、9はX線量測定用のセンサ
部、10はX線量測定用のセンサ電気信号を転送するT
FT部、11はX線量測定用の配線(信号線)、12は
X線量測定用の配線(駆動線)、13は5の配線(信号
線)と6の配線(駆動線)のクロス部である。
【0014】本実施形態では、ガラス基板4の4隅のコ
ーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに、X
線量測定センサ部9とX線量測定TFT部10をX線撮
影有効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電変換
後電気信号を転送するTFT部8と同一材料でX線量測
定ユニットとして配置している。同一材料とは、例え
ば、従来技術で説明したようなa−Siであり、このa
−Siを用いることによって双方を同時に形成してい
る。
【0015】従来、前述のようにX線量を測定するた
め、多種の被写体の差によるX線量の強弱であるX線源
の管電圧、管電流やX線源から撮影装置までの距離、撮
影装置の感度等によるX線量の測定する線量ユニット
(フォトタイマー)を撮影有効面の周辺や撮影面の裏面
に配置しているが、撮影有効面の周辺に配置すると装置
全体が大面積化し、撮影面の裏面に配置すると装置が厚
型化、大型化し、部品点数が増加する問題があった。
【0016】第2の実施形態では、ガラス基板の4隅の
コーナー部の光電変換素子も電気接続部も配置されない
スペースに、X線量測定センサ部9とX線測定TFT部
10をX線撮影有効面内の光電変換素子であるセンサ部
7と光電変換後電気信号を転送するTFT部8と同一材
料でX線量測定ユニットとして配置しているので、装置
の大面積化、厚型化、大型化を防ぐことができると共
に、製造を容易に行うことができる。
【0017】また、多種の被写体の差によるX線量の強
弱であるX線源の管電圧、管電流やX線源から撮影装置
までの距離、撮影装置の感度等によるX線量を測定する
線量ユニット(フォトタイマー)は撮影有効面の光電変
換素子とは独立駆動である。この時、光蓄積時間が撮影
有効面内の光電変換素子の光蓄積時間より長時間必要な
場合、X線量測定センサ部9とX線測定TFT部10が
撮影有効面の光電変換素子であるセンサ部7及び光電変
換後電気信号を転送するTFT部8と同一構造である
と、X線量測定センサ部9及びX線量測定TFT部9の
面積(サイズ)は撮影有効面の光電変換素子であるセン
サ部7及び光電変換後電気信号を転送するTFT部8よ
り大面積になる。
【0018】図2は撮影有効面内の光電変換素子である
センサ部7、及び光電変換後電気信号を転送するTFT
部8より大面積になるX線量測定センサ部9及びX線量
測定用のセンサ電気信号を転送するTFT部10を1素
子で構成した場合の例を示している。
【0019】図3はX線量測定用センサ部14及びX線
量測定用のセンサ電気信号を転送するTFT部15を2
素子以上の多素子で構成した場合の図である。図2と同
一部分は同一符号を付している。X線量測定用のセンサ
電気信号を転送するTFT部14から撮影有効面の光電
変換素子であるセンサ部7及び光電変換後電気信号を転
送するTFT部8とは独立して外部に配線されている。
【0020】また、図2と同様にガラス基板4の4隅の
コーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに、
X線量測定センサ部14、X線量測定TFT部15をX
線撮影有効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電
変換後電気信号を転送するTFT部8と同一材料で、X
線量測定ユニットとして配置している。従って、図3に
おいてもシステム全体を軽量化、小型化できると共に、
光電変換基板を容易に作製することができる。
【0021】(第3の実施形態)図4は本発明の第3の
実施形態を示す断面図である。図4において、16はX
線を光に変換する波長変換材料(蛍光板)、4はガラス
基板、7は光電変換素子であるセンサ部、8は光電変換
後電気信号を転送するTFT部、9はX線量測定用セン
サ部、10はX線量測定用のセンサ電気信号を転送する
TFT部である。本実施形態では、ガラス基板4の4隅
のコーナー部の光電変換素子が配置されないスペースに
X線量測定用センサ部9とTFT部10を、X線撮影有
効面内の光電変換素子であるセンサ部7と光電変換後電
気信号を転送するTFT部8と同一材料で、更に、波長
変換材料16と同一の材料で構成し、X線量測定ユニッ
トとして配置している。
【0022】このように本実施形態においては、ガラス
基板の4隅のコーナー部の光電変換素子が配置されない
スペースに、X線量測定用センサ部9、X線量測定TF
T部10を、X線撮影有効面内の光電変換素子であるセ
ンサ部7と光電変換後電気信号を転送するTFT部8と
同一材料で、更に、X線を可視光に変換する波長変換材
料16と同一材料で構成されたX線量測定ユニットとし
て配置しているので、装置を軽量化、小型化でき、更
に、製造が容易で部品点数を削減することが可能であ
る。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
電変換基板の隅部に放射線量測定素子を配置することに
より、光電変換基板の大型化、厚型化等を防ぎ、システ
ム全体を小型化、軽量化できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の放射線撮像装置の第1の実施形態を示
す平面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す平面図である。
【図3】図2のX線量測定センサ部とX線量測定TFT
部を多素子で構成した平面図である。
【図4】本発明の第3の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 X線量測定ユニット 2 電気接続部 3 X線撮影有効面 4 ガラス基板 5 配線(信号線) 6 配線(駆動線) 7 光電変換素子であるセンサ部 8 光電変換後電気信号を転送するTFT部 9 X線量測定用センサ部 10 X線量測定用のセンサ電気信号を転送するTF
T部 11 X線量測定用の配線(信号線) 12 X線量測定用の配線(駆動線) 13 5の配線(信号線)と6の配線(駆動線)のク
ロス部 14 X線量測定センサ部 15 X線量測定TFT部 16 波長変換材料(蛍光板)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/09 H01L 27/14 K H04N 5/32 Z 31/00 A Fターム(参考) 2G088 BB05 FF02 GG19 GG20 GG21 JJ05 KK32 4M118 AA10 AB01 BA05 CA11 CA14 CA40 FB03 FB09 FB13 FB24 FB25 FB30 5C024 AX11 AX16 CY47 EX11 HX40 5F088 AB05 BA15 BA16 BB03 EA04 EA08 HA20 KA03 LA08

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光電変換素子及びTFT部が二次元に配
    列された光電変換基板を有する放射線撮像装置におい
    て、前記光電変換基板の光電変換素子が配置されない隅
    部に放射線量を測定する放射線量測定素子を配置したこ
    とを特徴とする放射線撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記放射線量測定素子は、光電変換基板
    の4隅に配置されていることを特徴とする請求項1に記
    載の放射線撮像装置。
  3. 【請求項3】 前記放射線量測定素子は、前記光電変換
    素子及びTFT部と同一材料で構成されていることを特
    徴とする請求項1又は2に記載の放射線撮像装置。
  4. 【請求項4】 更に、放射線を光に変換する波長変換材
    料を含み、前記放射線量測定素子は前記波長変換材料と
    同一材料で構成されていることを特徴とする請求項1〜
    3のいずれかに記載の放射線撮像装置。
JP2000280279A 2000-09-14 2000-09-14 放射線撮像装置 Expired - Fee Related JP4508390B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000280279A JP4508390B2 (ja) 2000-09-14 2000-09-14 放射線撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000280279A JP4508390B2 (ja) 2000-09-14 2000-09-14 放射線撮像装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2002090461A true JP2002090461A (ja) 2002-03-27
JP2002090461A5 JP2002090461A5 (ja) 2007-10-25
JP4508390B2 JP4508390B2 (ja) 2010-07-21

Family

ID=18765151

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000280279A Expired - Fee Related JP4508390B2 (ja) 2000-09-14 2000-09-14 放射線撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4508390B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005087281A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線撮影装置
JP2010091586A (ja) * 2010-01-28 2010-04-22 Shimadzu Corp 放射線検出装置
JP2010516318A (ja) * 2007-01-19 2010-05-20 イー2ヴイ テクノロジーズ (ユーケイ) リミテッド 像形成装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5795771A (en) * 1980-12-05 1982-06-14 Fuji Photo Film Co Ltd Solid-state image pickup device
JPS63143862A (ja) * 1986-12-08 1988-06-16 Fuji Photo Film Co Ltd 固体撮像装置
JPH05130990A (ja) * 1991-10-25 1993-05-28 Hamamatsu Photonics Kk 自動露出機能付き医療用x線画像検出装置
JPH05285128A (ja) * 1992-04-15 1993-11-02 Hamamatsu Photonics Kk X線撮像装置
JPH0772259A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線検出器
JPH11188021A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Shimadzu Corp X線面センサおよびx線撮影装置
JP2000049321A (ja) * 1998-07-29 2000-02-18 Nec Corp 分光特性や感度をモニターする素子およびモニターする方法
WO2000023820A1 (en) * 1998-10-22 2000-04-27 Direct Radiography Corp. Direct radiographic imaging panel with shielding electrode

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5795771A (en) * 1980-12-05 1982-06-14 Fuji Photo Film Co Ltd Solid-state image pickup device
JPS63143862A (ja) * 1986-12-08 1988-06-16 Fuji Photo Film Co Ltd 固体撮像装置
JPH05130990A (ja) * 1991-10-25 1993-05-28 Hamamatsu Photonics Kk 自動露出機能付き医療用x線画像検出装置
JPH05285128A (ja) * 1992-04-15 1993-11-02 Hamamatsu Photonics Kk X線撮像装置
JPH0772259A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線検出器
JPH11188021A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Shimadzu Corp X線面センサおよびx線撮影装置
JP2000049321A (ja) * 1998-07-29 2000-02-18 Nec Corp 分光特性や感度をモニターする素子およびモニターする方法
WO2000023820A1 (en) * 1998-10-22 2000-04-27 Direct Radiography Corp. Direct radiographic imaging panel with shielding electrode

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005087281A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線撮影装置
JP4501383B2 (ja) * 2003-09-12 2010-07-14 パナソニック株式会社 X線撮影装置
JP2010516318A (ja) * 2007-01-19 2010-05-20 イー2ヴイ テクノロジーズ (ユーケイ) リミテッド 像形成装置
JP2010091586A (ja) * 2010-01-28 2010-04-22 Shimadzu Corp 放射線検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4508390B2 (ja) 2010-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7564037B2 (en) Image sensor, image-sensing apparatus using the image sensor, and image-sensing system
US6800836B2 (en) Image pickup device, radiation image pickup device and image processing system
JP5043374B2 (ja) 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム
TWI447924B (zh) Radiation photography device
JP4908947B2 (ja) 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム
JPH0975332A (ja) X線診断装置
JPH07209430A (ja) 放射線固体検出パネル
US6703617B1 (en) Device for imaging radiation
JPH1168078A (ja) 撮像装置
JP2001108751A (ja) 2次元画像入力装置及びそれを用いた画像処理システム
JP2002090461A (ja) 放射線撮像装置
JP2002026302A (ja) 放射線撮像装置とその製造方法
JP4408593B2 (ja) 放射線検出装置及びシステム
JP2000292546A (ja) X線撮影装置
JP2005114518A (ja) 放射線検出装置及びその製造方法
JP2002267758A (ja) X線撮像装置
JP2014041116A (ja) 放射線撮影装置
JP2005140587A (ja) 放射線撮像装置の製作方法
JP2002236179A (ja) 放射線検出装置及びそれを用いた放射線撮像システム
JP2002236180A (ja) 放射線検出装置及びそれを用いた放射線撮像システム
JP2006186031A (ja) 光電変換装置及び放射線撮像装置
JP2017164070A (ja) 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
GB2349504A (en) Imaging device assembly
JP2003249637A (ja) 画像検出器
JP2002341042A (ja) 光電変換装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070907

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070907

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20090324

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100126

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20100201

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100209

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100420

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100427

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees