JP2002090270A - 吸引式ガス検出システム - Google Patents
吸引式ガス検出システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス検出装置に供給されるサンプリングガス
を長期間に亘って良好に乾燥し得る乾燥器を備えた吸引
式ガス検出システムを構成する。 【解決手段】 ガス検出装置１の上流位置にサンプリン
グガスＧｓの乾燥を行う乾燥装置４を配置すると共に、
この乾燥装置４を減圧用容器１２に中空糸膜１０を収
め、中空糸膜１０の内面（１次側）にサンプリングガス
Ｇｓを送り、中空糸膜１０の外面（２次側）を減圧用容
器１２に露出させて構成し、ガス検出装置１から送り出
されたサンプリングガスの排気Ｇｅを減圧用容器１２の
内部を通過させることで、この減圧用容器１２の減圧を
行うと共に、このサンプリングガスの排気Ｇｅをパージ
ガスとして用いた。
を長期間に亘って良好に乾燥し得る乾燥器を備えた吸引
式ガス検出システムを構成する。 【解決手段】 ガス検出装置１の上流位置にサンプリン
グガスＧｓの乾燥を行う乾燥装置４を配置すると共に、
この乾燥装置４を減圧用容器１２に中空糸膜１０を収
め、中空糸膜１０の内面（１次側）にサンプリングガス
Ｇｓを送り、中空糸膜１０の外面（２次側）を減圧用容
器１２に露出させて構成し、ガス検出装置１から送り出
されたサンプリングガスの排気Ｇｅを減圧用容器１２の
内部を通過させることで、この減圧用容器１２の減圧を
行うと共に、このサンプリングガスの排気Ｇｅをパージ
ガスとして用いた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸引式のガス検出
装置に対してサンプリングガスを送るガス流通路を備
え、このガス流通路にサンプリングガスの乾燥を行う乾
燥器を介装してある吸引式ガス検出システムに関し、詳
しくは、乾燥器の改良に関する。
装置に対してサンプリングガスを送るガス流通路を備
え、このガス流通路にサンプリングガスの乾燥を行う乾
燥器を介装してある吸引式ガス検出システムに関し、詳
しくは、乾燥器の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】吸引式のガス検出装置でガス検出素子を
用いたものでは、サンプリングガスを吸引することによ
りガス検出素子に対してサンプリングガスに含まれるガ
スを接触させ、このガス検出素子の電気的特性の変化に
基づいてガスの種類の特定とガスの濃度の判別とを行え
るものとなっている。そして、このようにサンプリング
ガスを強制的に供給するガス検出装置では、ガス検出素
子の表面を比較的多量のサンプリングガスが流通するの
で、このサンプリングガスに含まれる水蒸気がガス検出
素子の表面で結露して検出精度を低下させる不都合を生
ずることがあり、この不都合を回避する目的からサンプ
リングガスを送るガス流通路に対して乾燥器を備えるこ
とが多い。
用いたものでは、サンプリングガスを吸引することによ
りガス検出素子に対してサンプリングガスに含まれるガ
スを接触させ、このガス検出素子の電気的特性の変化に
基づいてガスの種類の特定とガスの濃度の判別とを行え
るものとなっている。そして、このようにサンプリング
ガスを強制的に供給するガス検出装置では、ガス検出素
子の表面を比較的多量のサンプリングガスが流通するの
で、このサンプリングガスに含まれる水蒸気がガス検出
素子の表面で結露して検出精度を低下させる不都合を生
ずることがあり、この不都合を回避する目的からサンプ
リングガスを送るガス流通路に対して乾燥器を備えるこ
とが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】乾燥器を考えるに、こ
の乾燥器に塩化カルシウムやシリカゲルのように水分を
吸収する乾燥剤を用いることも考えられるが、このよう
に乾燥剤を用いた乾燥器では、定期的に乾燥剤の交換を
行う必要から、メンテナンスが煩雑になりやすい。そこ
で、例えば、中空糸膜の内側にサンプリングガスを供給
し、中空糸膜の外側に乾燥したパージガスを供給するこ
とで、サンプリングガスに含まれる水蒸気を中空糸膜の
外側に透過させてサンプリングガスの乾燥を行う構造の
乾燥装置を用いることが考えられる。この中空糸膜のよ
うに水蒸気透過材を用いた乾燥器では、長期間メンテナ
ンスを行う必要が無く、メンテナンスに手間が掛からな
いものである反面、乾燥したパージガスを供給するポン
プや、パージガスを供給するための管路を特別に備える
必要があるので、乾燥器が複雑になりやすくコストを上
昇させる点で改善の余地がある。
の乾燥器に塩化カルシウムやシリカゲルのように水分を
吸収する乾燥剤を用いることも考えられるが、このよう
に乾燥剤を用いた乾燥器では、定期的に乾燥剤の交換を
行う必要から、メンテナンスが煩雑になりやすい。そこ
で、例えば、中空糸膜の内側にサンプリングガスを供給
し、中空糸膜の外側に乾燥したパージガスを供給するこ
とで、サンプリングガスに含まれる水蒸気を中空糸膜の
外側に透過させてサンプリングガスの乾燥を行う構造の
乾燥装置を用いることが考えられる。この中空糸膜のよ
うに水蒸気透過材を用いた乾燥器では、長期間メンテナ
ンスを行う必要が無く、メンテナンスに手間が掛からな
いものである反面、乾燥したパージガスを供給するポン
プや、パージガスを供給するための管路を特別に備える
必要があるので、乾燥器が複雑になりやすくコストを上
昇させる点で改善の余地がある。
【０００４】本発明の目的は、ガス検出装置に供給され
るサンプリングガスを長期間に亘って良好に乾燥し得る
乾燥器を備えた吸引式ガス検出システムを合理的に構成
する点にある。
るサンプリングガスを長期間に亘って良好に乾燥し得る
乾燥器を備えた吸引式ガス検出システムを合理的に構成
する点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴（請
求項１）は、吸引式のガス検出装置に対してサンプリン
グガスを送るガス流通路を備え、このガス流通路にサン
プリングガスの乾燥を行う乾燥器を介装してある吸引式
ガス検出システムにおいて、前記乾燥器が、前記ガス流
通路から１次側に供給されたサンプリングガス中の水蒸
気を２次側に透過させる透過材と、この透過材を収めた
減圧用容器とを備えて構成され、又、前記ガス検出装置
から送り出された前記サンプリングガスの排気を前記減
圧用容器の前記２次側の空間を通過させることで、この
減圧用容器内の圧力を低下させ、前記１次側と２次側と
に圧力差を作り出すガス排気流通路が形成されている点
にあり、その作用、及び、効果は次の通りである。
求項１）は、吸引式のガス検出装置に対してサンプリン
グガスを送るガス流通路を備え、このガス流通路にサン
プリングガスの乾燥を行う乾燥器を介装してある吸引式
ガス検出システムにおいて、前記乾燥器が、前記ガス流
通路から１次側に供給されたサンプリングガス中の水蒸
気を２次側に透過させる透過材と、この透過材を収めた
減圧用容器とを備えて構成され、又、前記ガス検出装置
から送り出された前記サンプリングガスの排気を前記減
圧用容器の前記２次側の空間を通過させることで、この
減圧用容器内の圧力を低下させ、前記１次側と２次側と
に圧力差を作り出すガス排気流通路が形成されている点
にあり、その作用、及び、効果は次の通りである。
【０００６】本発明の第２の特徴（請求項２）は請求項
１において、前記減圧用容器に対して前記ガス排気流通
路からのガスを高速化して送るノズルを備えている点に
あり、その作用、及び、効果は次の通りである。
１において、前記減圧用容器に対して前記ガス排気流通
路からのガスを高速化して送るノズルを備えている点に
あり、その作用、及び、効果は次の通りである。
【０００７】本発明の第３の特徴（請求項３）は請求項
１において、前記透過材が中空糸膜であり、前記減圧用
容器内において中空糸膜の内側を前記１次側に設定し、
この中空糸膜の外側を前記２次側に設定してある点にあ
り、その作用、及び、効果は次の通りである。
１において、前記透過材が中空糸膜であり、前記減圧用
容器内において中空糸膜の内側を前記１次側に設定し、
この中空糸膜の外側を前記２次側に設定してある点にあ
り、その作用、及び、効果は次の通りである。
【０００８】本発明の第４の特徴（請求項４）は請求項
１〜３のいずれか１項において、前記ガス流通路のうち
前記乾燥器の上流側に水滴除去装置を介装している点に
あり、その作用、及び、効果は次の通りである。
１〜３のいずれか１項において、前記ガス流通路のうち
前記乾燥器の上流側に水滴除去装置を介装している点に
あり、その作用、及び、効果は次の通りである。
【０００９】本発明の第５の特徴（請求項５）は請求項
１〜４のいずれか１項において、前記ガス流通路に対し
て、このガス流通路に流通するサンプリングガスの量を
計測する流量センサを備えている点にあり、その作用、
及び、効果は次の通りである。
１〜４のいずれか１項において、前記ガス流通路に対し
て、このガス流通路に流通するサンプリングガスの量を
計測する流量センサを備えている点にあり、その作用、
及び、効果は次の通りである。
【００１０】〔作用〕
【００１１】上記第１の特徴によると、ガス検出装置か
ら送り出されたサンプリングガスの排気を減圧用容器の
２次側の空間を通過させ、この２次側を１次側より減圧
させるので、透過材の１次側に送られたサンプリングガ
スに含まれる水蒸気は圧力差によって透過材を２次側に
透過し、この水蒸気は２次側に送られたサンプリングガ
スの排気と伴に乾燥器外に送り出されるものとなる。特
に、ガス検出装置から送り出されたサンプリングガスの
排気は、乾燥状態にあることから、１次側に送られるサ
ンプリングガスに含まれる水蒸気の２次側への透過を促
進して良好な乾燥を可能にするものとなるのである。つ
まり、本発明では乾燥器から送り出されるサンプリング
ガスの排気が流動状態にあるために２次側を１次側より
も減圧状態に出来、しかも、サンプリングガスの排気が
乾燥状態にあることを利用することにより、パージガス
供給用に専用のポンプを備えない構成でありながら、こ
の排気をパージガスとして使用することを可能にするも
のとなり、その結果、何ら補助的な減圧を行わずとも減
圧用容器に減圧状態を簡単に作り出し、サンプリングガ
スの乾燥を促進するものとなる。
ら送り出されたサンプリングガスの排気を減圧用容器の
２次側の空間を通過させ、この２次側を１次側より減圧
させるので、透過材の１次側に送られたサンプリングガ
スに含まれる水蒸気は圧力差によって透過材を２次側に
透過し、この水蒸気は２次側に送られたサンプリングガ
スの排気と伴に乾燥器外に送り出されるものとなる。特
に、ガス検出装置から送り出されたサンプリングガスの
排気は、乾燥状態にあることから、１次側に送られるサ
ンプリングガスに含まれる水蒸気の２次側への透過を促
進して良好な乾燥を可能にするものとなるのである。つ
まり、本発明では乾燥器から送り出されるサンプリング
ガスの排気が流動状態にあるために２次側を１次側より
も減圧状態に出来、しかも、サンプリングガスの排気が
乾燥状態にあることを利用することにより、パージガス
供給用に専用のポンプを備えない構成でありながら、こ
の排気をパージガスとして使用することを可能にするも
のとなり、その結果、何ら補助的な減圧を行わずとも減
圧用容器に減圧状態を簡単に作り出し、サンプリングガ
スの乾燥を促進するものとなる。
【００１２】上記第２の特徴によると、ガス排気流通路
のガスをノズルによって高速化して減圧用容器に送るの
で、このガスの流動によるエゼクタ効果により１次側と
２次側との圧力差を大きくして良好な乾燥を可能にす
る。
のガスをノズルによって高速化して減圧用容器に送るの
で、このガスの流動によるエゼクタ効果により１次側と
２次側との圧力差を大きくして良好な乾燥を可能にす
る。
【００１３】上記第３の特徴によると、透過材として中
空糸膜を用いることにより広い透過面積を作り出しなが
ら、圧力差によってサンプリングガスの乾燥を良好に行
えるものとなる。
空糸膜を用いることにより広い透過面積を作り出しなが
ら、圧力差によってサンプリングガスの乾燥を良好に行
えるものとなる。
【００１４】上記第４の特徴によると、乾燥器の上流側
に水滴除去装置を備えているので、サンプリングガスに
ミストや水滴の形で水分が含まれる場合でも水滴除去装
置で除去でき、乾燥器でサンプリングガスを乾燥する際
の負担を軽減して、ガス検出装置に送られるサンプリン
グガスの乾燥度を高め得るものとなる。
に水滴除去装置を備えているので、サンプリングガスに
ミストや水滴の形で水分が含まれる場合でも水滴除去装
置で除去でき、乾燥器でサンプリングガスを乾燥する際
の負担を軽減して、ガス検出装置に送られるサンプリン
グガスの乾燥度を高め得るものとなる。
【００１５】上記第５の特徴によると、ガス流通路に流
通するサンプリングガスの量を流量センサで計測できる
ので、この流量センサの計測結果に基づいてガス検出装
置に吸引させるサンプリングガスの量の制御や、ガス検
出装置に供給したサンプリングガスの積算量の把握も簡
単に行えるものとなる。
通するサンプリングガスの量を流量センサで計測できる
ので、この流量センサの計測結果に基づいてガス検出装
置に吸引させるサンプリングガスの量の制御や、ガス検
出装置に供給したサンプリングガスの積算量の把握も簡
単に行えるものとなる。
【００１６】〔発明の効果〕従って、ガス検出装置に供
給されるサンプリングガスを長期間に亘って良好に乾燥
する乾燥器を備えた吸引式ガス検出システムが比較的簡
単な構造で低廉に合理的に構成されたのである。又、本
発明によると、排気流通路にノズルを備えることや、透
過材に中空糸膜を用いることや、水滴除去装置を備える
ことでサンプリングガスを良好に乾燥し、サンプリング
ガスの供給量を計測してサンプリングガスを良好に管理
し得るものとなったのである。
給されるサンプリングガスを長期間に亘って良好に乾燥
する乾燥器を備えた吸引式ガス検出システムが比較的簡
単な構造で低廉に合理的に構成されたのである。又、本
発明によると、排気流通路にノズルを備えることや、透
過材に中空糸膜を用いることや、水滴除去装置を備える
ことでサンプリングガスを良好に乾燥し、サンプリング
ガスの供給量を計測してサンプリングガスを良好に管理
し得るものとなったのである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１に示すように、吸引口ＩＮか
ら吸引されたサンプリングガスを吸引式のガス検出装置
１に送るガス流通路Ｌｓに対して、サンプリングガスに
ミストや水滴の形で含まれる水分を除去して排出する水
滴除去装置２と、このガス流通路Ｌｓに流通するサンプ
リングガスの流量をチェックし、かつ、ガス中の塵埃を
フィルタで除去する流量チェッカー付きダストフィルタ
３と、サンプリングガスを乾燥する乾燥器４とを備えて
吸気系を構成すると共に、このガス検出装置１から送り
出されるサンプリングガスの排気を送るガス排気流通路
Ｌｅに対してエゼクタ機構５を備え、このエゼクタ機構
５を流通した排気を前記乾燥器４を通過させ、排出口Ｏ
ＵＴに送る排気系を構成し、更に、吸引式のガス検出装
置１からの信号に基づいてガスの種類、ガスの濃度を判
別して、液晶ディスプレイや発光ダイオード等の表示手
段６に出力する処理装置７を備えて吸引式ガス検出シス
テムが成っている。
に基づいて説明する。図１に示すように、吸引口ＩＮか
ら吸引されたサンプリングガスを吸引式のガス検出装置
１に送るガス流通路Ｌｓに対して、サンプリングガスに
ミストや水滴の形で含まれる水分を除去して排出する水
滴除去装置２と、このガス流通路Ｌｓに流通するサンプ
リングガスの流量をチェックし、かつ、ガス中の塵埃を
フィルタで除去する流量チェッカー付きダストフィルタ
３と、サンプリングガスを乾燥する乾燥器４とを備えて
吸気系を構成すると共に、このガス検出装置１から送り
出されるサンプリングガスの排気を送るガス排気流通路
Ｌｅに対してエゼクタ機構５を備え、このエゼクタ機構
５を流通した排気を前記乾燥器４を通過させ、排出口Ｏ
ＵＴに送る排気系を構成し、更に、吸引式のガス検出装
置１からの信号に基づいてガスの種類、ガスの濃度を判
別して、液晶ディスプレイや発光ダイオード等の表示手
段６に出力する処理装置７を備えて吸引式ガス検出シス
テムが成っている。
【００１８】この吸引式ガス検出システムは、トンネル
や暗渠のような地下ピットにおいてメタンガスの濃度を
計測するため、あるいは、半導体製造設備の排気ダクト
から排出されるガスの種類や濃度を判別するため等に用
いられるものであり、前記吸引式のガス検出装置１は吸
引されたサンプリングガスに含まれるガスが接触するこ
とで電気的特性が変化してガスの種類の特定やガスの濃
度を判別し得るガス検出素子Ｓと、サンプリングガスを
吸引するポンプＰと、このガス検出装置内のガス流通路
を通過するサンプリングガス量を計測して電気信号に変
換して出力するよう気体熱伝導式の流量センサＱとを内
蔵している。そして、このシステムでは、ガス検出装置
１に内蔵されたガス検出素子Ｓに対してサンプリングガ
スが連続的に供給される構造であることから、サンプリ
ングガスに水蒸気が含まれている場合には、このガス中
の水蒸気がガス検出素子Ｓの表面で結露して検出性能を
低下させたり、検出不能に陥ることから、この不都合を
解消するため、前記水滴除去装置２でミストや水滴の形
で含まれる水分を取除き、しかも、前記乾燥器４でサン
プリングガスに含まれる水蒸気をできるだけ取除くよう
構成されている。
や暗渠のような地下ピットにおいてメタンガスの濃度を
計測するため、あるいは、半導体製造設備の排気ダクト
から排出されるガスの種類や濃度を判別するため等に用
いられるものであり、前記吸引式のガス検出装置１は吸
引されたサンプリングガスに含まれるガスが接触するこ
とで電気的特性が変化してガスの種類の特定やガスの濃
度を判別し得るガス検出素子Ｓと、サンプリングガスを
吸引するポンプＰと、このガス検出装置内のガス流通路
を通過するサンプリングガス量を計測して電気信号に変
換して出力するよう気体熱伝導式の流量センサＱとを内
蔵している。そして、このシステムでは、ガス検出装置
１に内蔵されたガス検出素子Ｓに対してサンプリングガ
スが連続的に供給される構造であることから、サンプリ
ングガスに水蒸気が含まれている場合には、このガス中
の水蒸気がガス検出素子Ｓの表面で結露して検出性能を
低下させたり、検出不能に陥ることから、この不都合を
解消するため、前記水滴除去装置２でミストや水滴の形
で含まれる水分を取除き、しかも、前記乾燥器４でサン
プリングガスに含まれる水蒸気をできるだけ取除くよう
構成されている。
【００１９】つまり、前記乾燥器４は、図２に示すよう
に、透過材として束ねた状態の多数本の中空糸膜１０の
両端部を支持部材１１に支持された状態で減圧用容器１
２に収めて成り、図３に示すように、中空糸膜１０の内
面をサンプリングガスＧｓが供給される１次側に設定
し、この中空糸膜１０の外面をサンプリングガスの排気
Ｇｅが送られる２次側に設定してある。又、この２次側
は減圧用容器１２に露出し、この減圧容器１２に対して
サンプリングガスの排気Ｇｅを通過させることで、エゼ
クタ効果により、この減圧用容器１２の内部を１次側よ
り減圧して圧力差を生じさせるように構成してある。
に、透過材として束ねた状態の多数本の中空糸膜１０の
両端部を支持部材１１に支持された状態で減圧用容器１
２に収めて成り、図３に示すように、中空糸膜１０の内
面をサンプリングガスＧｓが供給される１次側に設定
し、この中空糸膜１０の外面をサンプリングガスの排気
Ｇｅが送られる２次側に設定してある。又、この２次側
は減圧用容器１２に露出し、この減圧容器１２に対して
サンプリングガスの排気Ｇｅを通過させることで、エゼ
クタ効果により、この減圧用容器１２の内部を１次側よ
り減圧して圧力差を生じさせるように構成してある。
【００２０】又、前記エゼクタ機構５は図１に示すよう
に、ガス排気流通路Ｌｅを送られるガス（サンプリング
ガスの排気Ｇｅ）の流速を高めるよう先端の内径が小径
化したノズル１５を備えると共に、このノズル１５の近
傍部位に発生する負圧によってシリカゲル等の乾燥剤１
６を介して外気を吸入する吸入路１７とを備えて構成さ
れ、このように高速化されたガス（サンプリングガスの
排気Ｇｅ）と共に、乾燥状態のガスを減圧用容器１２に
送ることで良好な圧力差を作り出すものにしている。
に、ガス排気流通路Ｌｅを送られるガス（サンプリング
ガスの排気Ｇｅ）の流速を高めるよう先端の内径が小径
化したノズル１５を備えると共に、このノズル１５の近
傍部位に発生する負圧によってシリカゲル等の乾燥剤１
６を介して外気を吸入する吸入路１７とを備えて構成さ
れ、このように高速化されたガス（サンプリングガスの
排気Ｇｅ）と共に、乾燥状態のガスを減圧用容器１２に
送ることで良好な圧力差を作り出すものにしている。
【００２１】そして、このシステムでガスの検出を行う
場合には、吸引式のガス検出装置１のポンプＰの作動に
より発生する負圧によって吸引口ＩＮからガス流通路Ｌ
ｓにサンプリングガスＧｓが吸引されると共に、このサ
ンプリングガスＧｓにミストや水滴として含まれる水分
を水滴除去装置２で取除き、このガス流通路Ｌｓに流れ
るガスの流量を流量チェッカー付きフィルタ３がチェッ
クし、更に、このサンプリングガスＧｓを乾燥器４で乾
燥した後、吸引式のガス検出装置１に吸引するものとな
っており、このガス検出装置１では、ガス検出素子Ｓに
よってガスの種類の特定とガスの濃度の計測とを行うと
共に、流量センサＱでガスの流量の計測を行い、この特
定・計測の結果を前記処理装置７に出力し、処理結果を
表示手段６に出力する。次に、このガス検出装置１から
排出されたサンプリングガスの排気Ｇｅはエゼクタ機構
５によって流速が高められると共に、乾燥剤１６で乾燥
された外気とともに乾燥器４の減圧用容器１２に送られ
るものとなる。このように減圧用容器１２に送られたガ
ス（サンプリングガスの排気Ｇｅ）によって、減圧用容
器１２の内部では中空糸膜１０の１次側より２次側の圧
力を低下させると同時に２次側のガス（サンプリングガ
スの排気Ｇｅ）の乾燥度が高くなる結果、１次側（内面
側）に供給されるサンプリングガスＧｓに含まれる水蒸
気が中空糸膜１０を２次側（外面側）に透過することに
より、サンプリングガスＧｓを良好に乾燥させるものと
なっているのである。
場合には、吸引式のガス検出装置１のポンプＰの作動に
より発生する負圧によって吸引口ＩＮからガス流通路Ｌ
ｓにサンプリングガスＧｓが吸引されると共に、このサ
ンプリングガスＧｓにミストや水滴として含まれる水分
を水滴除去装置２で取除き、このガス流通路Ｌｓに流れ
るガスの流量を流量チェッカー付きフィルタ３がチェッ
クし、更に、このサンプリングガスＧｓを乾燥器４で乾
燥した後、吸引式のガス検出装置１に吸引するものとな
っており、このガス検出装置１では、ガス検出素子Ｓに
よってガスの種類の特定とガスの濃度の計測とを行うと
共に、流量センサＱでガスの流量の計測を行い、この特
定・計測の結果を前記処理装置７に出力し、処理結果を
表示手段６に出力する。次に、このガス検出装置１から
排出されたサンプリングガスの排気Ｇｅはエゼクタ機構
５によって流速が高められると共に、乾燥剤１６で乾燥
された外気とともに乾燥器４の減圧用容器１２に送られ
るものとなる。このように減圧用容器１２に送られたガ
ス（サンプリングガスの排気Ｇｅ）によって、減圧用容
器１２の内部では中空糸膜１０の１次側より２次側の圧
力を低下させると同時に２次側のガス（サンプリングガ
スの排気Ｇｅ）の乾燥度が高くなる結果、１次側（内面
側）に供給されるサンプリングガスＧｓに含まれる水蒸
気が中空糸膜１０を２次側（外面側）に透過することに
より、サンプリングガスＧｓを良好に乾燥させるものと
なっているのである。
【００２２】又、このように構成したシステムにおい
て、作動条件を２０℃に設定した環境において、図４に
示すように吸引口部ＩＮのサンプリングガスＧｓの相対
湿度を１００％、圧力を２．３Ｐａ〔１７ｍｍＨｇ〕、
流量を１Ｌ／分とすると共に、排出口ＯＵＴの排気Ｇｅ
の相対湿度を７０％、圧力を１．６Ｐａ〔１２ｍｍＨ
ｇ〕、流量を１．５Ｌ／分にするよう設定を行った場合
に、図１に示すＸ，Ｙ，Ｚ夫々の流通路における２０℃
での相対湿度と流量との標準的な値は、図５に示すよう
に、Ｘのポイントで８０％、１．０Ｌ／分、Ｙのポイン
トで８０％、１．０Ｌ／分、Ｚのポイントで６０％、
１．５Ｌ／分となる。
て、作動条件を２０℃に設定した環境において、図４に
示すように吸引口部ＩＮのサンプリングガスＧｓの相対
湿度を１００％、圧力を２．３Ｐａ〔１７ｍｍＨｇ〕、
流量を１Ｌ／分とすると共に、排出口ＯＵＴの排気Ｇｅ
の相対湿度を７０％、圧力を１．６Ｐａ〔１２ｍｍＨ
ｇ〕、流量を１．５Ｌ／分にするよう設定を行った場合
に、図１に示すＸ，Ｙ，Ｚ夫々の流通路における２０℃
での相対湿度と流量との標準的な値は、図５に示すよう
に、Ｘのポイントで８０％、１．０Ｌ／分、Ｙのポイン
トで８０％、１．０Ｌ／分、Ｚのポイントで６０％、
１．５Ｌ／分となる。
【００２３】このように、本発明ではガス検出装置１か
ら送り出されたサンプリングガスの排気Ｇｅを、エゼク
タ機構５で高速化するとともに、更に乾燥させた状態で
減圧用容器１２の２次側の空間に対してパージガスとし
て通過させることで、このパージガスを供給するために
特別なポンプを備えず、又、何ら補助的な減圧を行わな
いものでありながら、中空糸膜１０の２次側を１次側よ
り減圧させると共に、２次側の乾燥度を高めるものとな
り、その結果、中空糸膜１０の１次側に送られたサンプ
リングガスＧｓに含まれる水蒸気を中空糸膜１０の２次
側に対して良好に透過させ、この２次側に送られたサン
プリングガスの排気Ｇｅと伴に乾燥器４の外部に送り出
するものとなっている。特に、この構成と、ガス流通路
Ｌｓの上流位置に配置した水滴除去装置２との組み合わ
せにより、ガス検出装置１に供給されるサンプリングガ
スＧｓを良好に乾燥させ、ガス検出素子Ｓを乾燥状態に
維持して高い検出感度を維持できるものなっている。
ら送り出されたサンプリングガスの排気Ｇｅを、エゼク
タ機構５で高速化するとともに、更に乾燥させた状態で
減圧用容器１２の２次側の空間に対してパージガスとし
て通過させることで、このパージガスを供給するために
特別なポンプを備えず、又、何ら補助的な減圧を行わな
いものでありながら、中空糸膜１０の２次側を１次側よ
り減圧させると共に、２次側の乾燥度を高めるものとな
り、その結果、中空糸膜１０の１次側に送られたサンプ
リングガスＧｓに含まれる水蒸気を中空糸膜１０の２次
側に対して良好に透過させ、この２次側に送られたサン
プリングガスの排気Ｇｅと伴に乾燥器４の外部に送り出
するものとなっている。特に、この構成と、ガス流通路
Ｌｓの上流位置に配置した水滴除去装置２との組み合わ
せにより、ガス検出装置１に供給されるサンプリングガ
スＧｓを良好に乾燥させ、ガス検出素子Ｓを乾燥状態に
維持して高い検出感度を維持できるものなっている。
【００２４】尚、このシステムでは、流量センサＱを備
えているので、この流量センサＱで計測した流量に基づ
いてポンプＰによる単位時間あたりのガスの吸引量を制
御することや、ガス流通路Ｌｓを流通したガス積算値を
求めることが容易に行えるものとなっており、ガス流通
路Ｌｓを流通するガスの量を管理できるものとなってい
る。
えているので、この流量センサＱで計測した流量に基づ
いてポンプＰによる単位時間あたりのガスの吸引量を制
御することや、ガス流通路Ｌｓを流通したガス積算値を
求めることが容易に行えるものとなっており、ガス流通
路Ｌｓを流通するガスの量を管理できるものとなってい
る。
【００２５】〔別実施の形態〕本発明は上記実施の形態
以外に、例えば、図１に仮想線で示すように、乾燥器４
の上手位置にサンプリングガスＧｓに含まれる塵埃を取
除くフィルタ２０を備えることも可能であり、このよう
にフィルタ２０を備えることにより、中空糸膜１０に対
する塵埃の詰まりを回避して長期に亘って中空糸膜を清
浄な状態に維持し得るものとなる。又、本発明は、透過
材として、１次側と２次側との圧力差によってサンプリ
ングガスに含まれる水蒸気を透過する特性を備えた半透
膜を用いることも可能である。
以外に、例えば、図１に仮想線で示すように、乾燥器４
の上手位置にサンプリングガスＧｓに含まれる塵埃を取
除くフィルタ２０を備えることも可能であり、このよう
にフィルタ２０を備えることにより、中空糸膜１０に対
する塵埃の詰まりを回避して長期に亘って中空糸膜を清
浄な状態に維持し得るものとなる。又、本発明は、透過
材として、１次側と２次側との圧力差によってサンプリ
ングガスに含まれる水蒸気を透過する特性を備えた半透
膜を用いることも可能である。
【図１】吸引式ガス検出システムの構成図
【図２】乾燥器の断面図
【図３】中空糸膜からの水蒸気の透過を説明する図
【図４】作動条件の数値を一覧化した図
【図５】各ポイントの標準的な数値を一覧化した図
１ ガス検出装置 ４ 乾燥器 １０ 中空糸膜 １２ 減圧用容器 １５ ノズル Ｑ 流量センサ Ｇｓ サンプリングガス Ｇｅ 排気 Ｌｓ ガス流通路 Ｌｅ ガス排気流通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 27/12 Ｇ０１Ｎ 27/12 Ｂ (72)発明者 山本 好昭 大阪府大阪市淀川区三津屋中２丁目５番４ 号 新コスモス電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G046 AA03 AA19 BD01 BG04 CA09 DC14 2G060 AB17 AE19 BC03 BD10 GA02 HC07 HD01 4D006 GA41 HA02 HA18 KA01 KA13 KB14 KB30 MA01 MB06 PA01 PB17 PB19 PB65 PC01 4D052 AA00 EA02
Claims (5)
- 【請求項１】 吸引式のガス検出装置に対してサンプリ
ングガスを送るガス流通路を備え、このガス流通路にサ
ンプリングガスの乾燥を行う乾燥器を介装してある吸引
式ガス検出システムであって、 前記乾燥器が、前記ガス流通路から１次側に供給された
サンプリングガス中の水蒸気を２次側に透過させる透過
材と、この透過材を収めた減圧用容器とを備えて構成さ
れ、又、前記ガス検出装置から送り出された前記サンプ
リングガスの排気を前記減圧用容器の前記２次側の空間
を通過させることで、この減圧用容器内の圧力を低下さ
せ、前記１次側と２次側とに圧力差を作り出すガス排気
流通路が形成されている吸引式ガス検出システム。 - 【請求項２】 前記減圧用容器に対して前記ガス排気流
通路からのガスを高速化して送るノズルを備えている請
求項１記載の吸引式ガス検出システム。 - 【請求項３】 前記透過材が中空糸膜であり、前記減圧
用容器内において中空糸膜の内側を前記１次側に設定
し、この中空糸膜の外側を前記２次側に設定してある請
求項１記載の吸引式ガス検出システム。 - 【請求項４】 前記ガス流通路のうち前記乾燥器の上流
側に水滴除去装置を介装している請求項１〜３のいずれ
か１に記載の吸引式ガス検出システム。 - 【請求項５】 前記ガス流通路に対して、このガス流通
路に流通するサンプリングガスの量を計測する流量セン
サを備えている請求項１〜４のいずれか１項に記載の吸
引式ガス検出システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281941A JP4690530B2 (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 吸引式ガス検出システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281941A JP4690530B2 (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 吸引式ガス検出システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090270A true JP2002090270A (ja) | 2002-03-27 |
| JP4690530B2 JP4690530B2 (ja) | 2011-06-01 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000281941A Expired - Fee Related JP4690530B2 (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 吸引式ガス検出システム |
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| JP (1) | JP4690530B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017015642A (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-19 | 理研計器株式会社 | ガス検知システム |
| WO2021172504A1 (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガス検出システム、及びガス検出システムの制御方法 |
| WO2022158424A1 (ja) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガス検出方法、プログラム、制御システム及びガス検出システム |
Citations (7)
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|---|---|---|---|---|
| JPS53111784A (en) * | 1977-03-11 | 1978-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | Gas analyzer |
| JPS5432551Y2 (ja) * | 1975-03-28 | 1979-10-09 | ||
| JPS5515024A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-01 | Fuji Electric Co Ltd | Dehumidifier for gas analizer |
| JPS5748443U (ja) * | 1980-09-04 | 1982-03-18 | ||
| JPS6242723A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Ube Ind Ltd | 混合ガスの除湿方法 |
| JPH0663118U (ja) * | 1993-02-10 | 1994-09-06 | 株式会社島津製作所 | ガス乾燥装置 |
| JP2000009611A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Nikkiso Co Ltd | サンプリングガス分析装置 |
-
2000
- 2000-09-18 JP JP2000281941A patent/JP4690530B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4690530B2 (ja) | 2011-06-01 |
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