JP2002087574A - 物体浮揚装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の振動体を使用して物体を浮揚させる場
合、物体を所定位置に保持する保持力を向上させること
ができる物体浮揚装置を提供する。 【解決手段】 物体浮揚装置１は矩形板状に形成された
振動体２ａ〜２ｄ，３を備えている。４個の振動体２ａ
〜２ｄは矩形板状の物体４の四隅と対応する位置に配設
されている。各振動体２ａ〜２ｄは、縦振動の他に振動
面を揺動させる振動を加える振動子６ａに接続されてい
る。振動体３は縦振動のみを加える振動子６ｂに接続さ
れている。振動子６ａは縦振動を発生させる一対のリン
グ状のピエゾ素子７ａ、７ｂと、４対一組の四半円弧状
のピエゾ素子とを備えている。そして、発振器15からピ
エゾ素子７ａ、７ｂに、発振器16からピエゾ素子に所定
周波数の電圧が供給される。４対一組のピエゾ素子には
切換スイッチ19を介して順次所定時間ずづ電圧が供給さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば音波等の放
射圧を用いて物体を浮揚させる物体浮揚装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置と
して、振動手段により振動される振動体の音波の放射圧
により、振動体の表面上において物体を浮揚させる物体
浮揚装置が特開平７−２４４１５号公報、特開平７−１
３７８２４号公報等に開示されている。この装置では平
板状の振動体を使用し、浮揚させるべき物体の前記平板
状の振動体の表面と対向する面を平面とし、振動体の振
動による音波の放射圧により物体が浮揚する。また、浮
揚した物体に空気を噴射したり、前記振動体で進行波を
発生させて浮揚した物体を移動させる物体搬送装置も提
案されている。

【０００３】また、物体を浮揚状態で搬送する方法とし
て、台車に前記浮揚装置を装備して浮揚装置を移動させ
る方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】浮揚させる物体が板状
で面積が広い場合、物体を安定した状態で浮揚させるに
は、複数の振動板で物体に放射圧を作用させるのが好ま
しい。しかし、単純に複数の振動板に縦振動を発生させ
た場合、物体を所定の位置に保持する作用が不十分で、
横方向から僅かな力が作用するだけで物体の位置ずれが
発生するという問題がある。

【０００５】本発明は前記の問題点に鑑みてなされたも
のであって、その目的は複数の振動体を使用して物体を
浮揚させる場合、物体を所定位置に保持する保持力を向
上させることができる物体浮揚装置を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め請求項１に記載の発明では、複数の振動体を励振手段
で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体
の表面上において物体を浮揚させる物体浮揚装置であっ
て、前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該
振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える
振動子に連結した。

【０００７】従って、この発明では、励振手段で励振さ
れる複数の振動体からの音波の放射圧により、振動体の
表面上において物体が浮揚される。そして、少なくとも
一部の振動体は、振動子から縦振動の他に振動面を揺動
させる振動が加えられる。振動板は振動子の軸方向に対
して直交する状態で単純に往復動するのではなく、振動
面が揺動するように振動される。従って、浮揚物体と振
動板との間に空気の流が発生し、物体を横方向に移動さ
せるには空気の流れによる力に抗して物体を移動させる
必要があり、従来の単純な縦振動のみで物体を浮揚保持
する構成に比較して、物体を所定位置に保持する保持力
が向上する。

【０００８】請求項２に記載の発明では、前記縦振動の
他に振動面を揺動させる振動が加えられる複数の振動体
は、物体を浮揚保持する際、保持すべき物体の中心に対
して対称に配置される。この発明では、浮揚物体は保持
力の向上した複数の振動体から対称位置において保持力
が作用するため、物体に小さな水平方向の外力が作用し
た程度では物体は所定位置により安定した状態でとどま
る。

【０００９】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
請求項２に記載の発明において、前記縦振動の他に振動
面を揺動させる振動が加えられる複数の振動体は、物体
を浮揚保持する際に、内側に向いて傾斜するように配置
されている。この発明では、前記振動体と物体との間に
発生する空気流の作用により、物体には互いに向かい合
う水平方向の力が存在する状態となり、物体に小さな水
平方向の外力が作用した程度では物体は所定位置により
安定した状態でとどまる。

【００１０】請求項４に記載の発明では、請求項１〜請
求項３のいずれか一項に記載の発明において、浮揚保持
すべき物体は四角板状であり、前記縦振動の他に振動面
を揺動させる振動が加えられる振動体は、物体を浮揚保
持する際に、その外側のエッジが物体のエッジの近傍で
該エッジに沿って延びるように配置されている。

【００１１】物体は浮揚状態においてそのエッジが振動
体のエッジと対向する位置より外側へ移動し難くなるた
め、この発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項
に記載の発明の作用と相俟って、物体は各振動体の外側
のエッジと対応する位置で、より安定した状態で保持さ
れる。

【００１２】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明を矩形状の平板を浮揚保持するのに適した物体浮揚装
置に具体化した第１の実施の形態を図１〜図３に従って
説明する。図１（ａ）は物体浮揚装置の模式平面図であ
る。

【００１３】図１（ａ）に示すように、物体浮揚装置１
は矩形板状に形成された複数（この実施の形態では５
個）の振動体２ａ〜２ｄ，３を備えている。各振動体２
ａ〜２ｄ，３は同じ大きさに形成されている。４個の振
動体２ａ〜２ｄは矩形板状の物体４（鎖線で図示）の四
隅と対応する位置に配設され、１個の振動体３は４個の
振動体２ａ〜２ｄから等距離の位置に配設されている。
各振動体２ａ〜２ｄ，３には励振手段を構成するホーン
５が、それぞれその先端において図示しないネジにより
締結されている。図１（ｂ）に示すように、ホーン５は
円錐台の上部に円柱部が連続する形状に形成され、各振
動体２ａ〜２ｄ，３の中央において各振動体２ａ〜２
ｄ，３と直交する状態で取付けられている。

【００１４】図１（ｂ）に示すように、振動体３はその
表面が水平に配置されている。物体４の長手方向に沿っ
て配設された各一対の振動体２ａ，２ｃ、２ｂ，２ｄ
は、その表面が物体４の底面に対して逆方向に内側に向
かって傾斜した状態に、かつ物体４に作用する放射圧が
釣り合うように配置されている。各振動体２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄの水平面と成す角度θは、物体４の質量、振
動体２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの面積などによって適正値
は変化するが、例えば、ほぼ１°前後であり、通常３°
以下である。

【００１５】図１（ｂ）に示すように、各ホーン５は振
動体２ａ〜２ｄ，３が締結される面の反対側の面におい
て振動子６ａ，６ｂに固定されている。ホーン５の先端
面は振動子６ａ，６ｂの軸方向と直交する平面に形成さ
れ、ホーン５及び振動子６ａ，６ｂの中心軸が鉛直方向
に対して、水平面と振動体２ａ〜２ｄ，３との成す角度
θと同じ角度傾斜した状態で配置されている。

【００１６】振動体３を駆動する振動子６ｂには所謂ラ
ンジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエ
ゾ素子７ａ，７ｂと、ピエゾ素子７ａ，７ｂ間に配置さ
れたリング状の電極板８と、ピエゾ素子７ａ，７ｂの外
側面と当接する位置に配置された金属ブロック９ａ，９
ｂとを、図示しないボルトによって締め付け固定するこ
とにより構成されている。ボルトは金属ブロック９ａに
形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック９ｂ側か
ら螺合されている。両金属ブロック９ａ，９ｂはボルト
を介して互いに導通された状態となっている。

【００１７】図２（ａ）に示すように、振動体２ａ〜２
ｄを駆動する振動子６ａには単純なランジュバン形振動
子ではなく、複合振動子が使用されている。振動子６ａ
は縦振動を励起させるための一対のリング状のピエゾ素
子７ａ，７ｂと、起振部が円周上を移動する作用を為す
４対一組のピエゾ素子１０ａ，１０ｂとを備えている。
図２（ｃ）に示すようにピエゾ素子７ａ，７ｂが円環状
であるのに対して、図２（ｂ）に示すように、ピエゾ素
子１０ａ，１０ｂはそれぞれ四半円弧状に形成されてい
る。ピエゾ素子１０ａ，１０ｂはそれぞれ四半円弧状に
形成された電極板１１ａ〜１１ｄ（図３に図示）を挟持
するように電極板１１ａ〜１１ｄに固定されている。

【００１８】そして、図２（ａ）に示すように、共通の
円環状の接地用電極板１２を挟んで上側にピエゾ素子７
ａ，７ｂが配置され、下側に４対のピエゾ素子１０ａ，
１０ｂが配置された状態で、金属ブロック９ａ，９ｂに
より各ピエゾ素子７ａ，７ｂ、電極板８、接地用電極板
１２、ピエゾ素子１０ａ，１０ｂ及び電極板１１ａ〜１
１ｄが締め付け固定されている。なお、各ピエゾ素子１
０ａ，１０ｂ及び各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂ間に配置
された各電極板１１ａ〜１１ｄは互いに干渉しないよう
に、それぞれ同一平面上で９０°ずつ位置的に位相をず
らした状態で間隔をあけて配置されている。両金属ブロ
ック９ａ，９ｂはボルトを介して互いに導通された状態
となっている。

【００１９】図１（ｂ）に示すように、物体浮揚装置１
は台車としての搬送車１３上に支持ブラケット１４を介
して取り付けられている。各振動子６ａ，６ｂは各振動
体２ａ〜２ｄ，３が所定の角度θ又は水平となるように
支持ブラケット１４に固定されている。

【００２０】図１（ａ）に示すように、振動子６ａ，６
ｂは発振器１５，１６に接続されている。ホーン５、振
動子６ｂ、発振器１５により振動体３を励振させる励振
手段が構成され、ホーン５、振動子６ａ、発振器１５，
１６により振動体２ａ〜２ｄを励振させる励振手段が構
成されている。

【００２１】図１（ｂ）に示すように、電極板８は配線
１７ｂを介して発振器１５と接続され、発振器１５の接
地端子が配線１７ａを介して金属ブロック９ａに接続さ
れている。４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂに挟持され
た各電極板１１ａ〜１１ｄは、図３に示すように、発振
器１６にそれぞれ配線１８及び切換スイッチ１９を介し
て接続されている。切換スイッチ１９は所定周期（例え
ば、５０ミリ秒間隔）で順次各電極板１１ａ〜１１ｄと
発振器１６とを接続させるように構成されている。な
お、図１（ｂ）では発振器１６、配線１８及び切換スイ
ッチ１９等の図示を省略している。

【００２２】次に前記のように構成された装置の作用を
説明する。物体浮揚装置１は、搬送すべき板状の物体４
を浮揚状態に保持しつつ搬送車１３の移動により目的位
置まで搬送される。

【００２３】図１（ａ），（ｂ）に示すように、物体４
は各エッジ４ａが各振動体２ａ〜２ｄの外側のエッジ２
０に揃うように各振動体２ａ〜２ｄ，３上に載置され
る。その状態で発振器１５，１６の駆動により、振動子
６ａ，６ｂが所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前
後）で励振され、ホーン５を介して振動体２ａ〜２ｄ，
３が励振される。振動体２ａ〜２ｄ，３が励振される
と、振動体２ａ〜２ｄ，３から音波が放射され、その音
波の放射圧によって物体４は振動体２ａ〜２ｄ，３の表
面から浮揚する。浮揚距離は数１０〜数１００μｍであ
る。

【００２４】発振器１５に接続されたピエゾ素子７ａ，
７ｂにのみ電圧が印加されて振動子６ａ，６ｂが励振さ
れると、ホーン５は縦振動のみを行う。従って、振動体
３が接続された振動子６ｂは縦振動のみを行う。

【００２５】一方、振動子６ａに装備された４対の四半
円弧状のピエゾ素子１０ａ，１０ｂには、発振器１６に
より切換スイッチ１９、電極板１１ａ〜１１ｄ等を介し
て所定周期で所定時間ずつ順次電圧が印加され、各ピエ
ゾ素子１０ａ，１０ｂが順次縦振動を行う。４対のピエ
ゾ素子１０ａ，１０ｂは９０°ずつ位相がずれた状態に
あるため、各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂが順次縦振動す
ることにより、振動体２ａ〜２ｄには図１（ａ）に矢印
で示すように、一方向へ回転する進行波が発生するよう
な振動が励起される。その結果、振動子６ａの振動に伴
って振動体２ａ〜２ｄが単純な縦振動ではなく一方向へ
旋回するような揺動運動を行い、物体４と振動体２ａ〜
２ｄとの間に、物体４を所定位置に保持する保持力を増
す旋回空気流が発生する。そのため、物体４は振動体２
ａ〜２ｄの表面から安定に浮揚する。

【００２６】振動体２ａ〜２ｄのエッジ２０と物体４の
エッジ４ａとが揃った状態に配置された状態では、振動
体２ａ〜２ｄのエッジ２０からはみ出そうとした物体４
が、振動体２ａ〜２ｄが放射する音波の作用によって内
側に引き戻される作用があるため、物体４が所定の位置
に安定した状態で保持される。

【００２７】この実施の形態では以下の効果を有する。 （１） 複数の振動体２ａ〜２ｄ，３の一部の振動体２
ａ〜２ｄを、該振動体２ａ〜２ｄに縦振動の他に振動面
を揺動させる振動を加える振動子６ａに連結した。その
ため、振動体２ａ〜２ｄの振動時に、物体４と各振動体
２ａ〜２ｄとの間に物体４の保持力を増す空気流が発生
し、簡単な構成で物体浮揚装置１の保持力が向上する。

【００２８】（２） 振動子６ａは四半円弧状の４対の
ピエゾ素子１０ａ，１０ｂを備え、４対のピエゾ素子１
０ａ，１０ｂが順次振動されて振動体２ａ〜２ｄに一方
向に回転する進行波が発生するため、物体４と振動体２
ａ〜２ｄとの間に渦状の空気流が発生して保持力が大き
くなる。

【００２９】（３） 矩形板状の物体４の四隅と対応す
る位置に配置された状態で物体４を浮揚保持するため、
物体４に対して水平方向においていずれの側から外力が
作用した場合でも、その力に抗する放射圧により物体４
の移動が抑制され、物体４を所定位置に保持する保持力
がより向上する。

【００３０】（４） 各振動体２ａ〜２ｄからほぼ等距
離の位置に、縦振動される振動体３が配設されているた
め、物体４の面積が大きな場合でも振動体３からの放射
圧によりその撓みが抑制されて、物体４が安定した状態
で浮揚する。

【００３１】（５） 浮揚すべき物体４は底面がフラッ
トで、直線状のエッジ４ａを有し、振動体２ａ〜２ｄは
物体４を浮揚状態で保持する際、その外側のエッジ２０
が物体４の直線状のエッジ４ａの近傍で該エッジ４ａに
沿って延びるように配置されている。従って、物体４を
所定位置により安定した状態で保持できる。

【００３２】（６） 物体４の四隅と対応する位置に配
置される振動体２ａ〜２ｄを水平面に対して所定角度θ
傾斜した状態に配設しているため、各振動体２ａ〜２ｄ
を水平に配置した場合より、物体４を所定位置に保持す
る効果が向上する。

【００３３】（７） 物体浮揚装置１は搬送車１３上に
装備されている。従って、搬送車１３の移動により物体
４を浮揚状態で所定の位置まで確実に搬送することがで
きる。

【００３４】（８） 物体４に音波を放射する振動体と
して物体４の底面積全体と対応する大きさの振動体を使
用せずに、複数の振動体２ａ〜２ｄ，３を使用するとと
もに、その面積の合計が物体４の底面積より小さいた
め、振動体２ａ〜２ｄ，３を軽量化でき、ひいては物体
浮揚装置１全体の軽量化を図ることができる。

【００３５】（第２の実施の形態）次に第２の実施の形
態を図４に従って説明する。この実施の形態では２個の
振動体２１ａ，２１ｂで物体４を浮揚保持する点と、振
動体２１ａ，２１ｂの振動面を揺動させる振動子６ａの
構成と、ホーン５の形状とが前記実施の形態と大きく異
なっている。前記実施の形態と同一部分は同一符号を付
して詳しい説明を省略する。なお、搬送車１３、支持ブ
ラケット１４、発振器１６等は図示を省略した。

【００３６】一対の振動体２１ａ，２１ｂの外側同士の
距離は物体４の幅と同じに形成されている。振動子６ａ
を構成する金属ブロック９ａがホーン５を兼用してい
る。振動子６ａは図４（ｂ），（ｃ）に示すような半円
弧状の２対のピエゾ素子２２ａ，２２ｂと、それに対応
する２個の半円弧状の電極板２３ａ，２３ｂとを備えて
いる。電極板２３ａ，２３ｂは切換スイッチ（図示せ
ず）を介して発振器１６に接続されている。

【００３７】この実施の形態では振動体２１ａ，２１ｂ
には、ピエゾ素子７ａ，７ｂを介して縦振動が加えら
れ、ピエゾ素子２２ａ，２２ｂを介して振動体２１ａ，
２１ｂの中央をそれぞれ挟んで図４の左右両側が交互に
昇降する揺動運動が励起される。そして、振動体２１
ａ，２１ｂの表面（上面）と物体４の底面との間に図４
の左右方向へ往復移動する空気流が発生する。その結
果、ピエゾ素子７ａ，７ｂを介して縦振動が加えられる
だけの構成に比較して、物体４の保持力が向上する。

【００３８】この実施の形態では前記実施の形態の
（１），（５），（７）及び（８）と同様な効果の他に
次の効果を有する。 （９） 振動体２１ａ，２１ｂに縦振動の他に振動面を
揺動させる振動を加えるための振動子６ａの構成が簡単
になる。

【００３９】実施の形態は前記に限定されるものではな
く、例えば次のように構成してもよい。 ○ 第１の実施の形態のように物体４の四隅と対応する
位置に、振動面が揺動される振動体２ａ〜２ｄを配置す
る構成において、振動体２ａ〜２ｄの振動時に振動体２
ａ〜２ｄの表面と物体４の底面との間に、図５（ｂ）に
示す矢印方向の気流が発生する構成としてもよい。例え
ば、振動子６ａとして第２の実施の形態の振動子６ａと
同じもの、即ち、円環状のピエゾ素子７ａ，７ｂと、一
対の半円弧状のピエゾ素子２２ａ，２２ｂとを備えた構
成とする。そして、例えば図５（ａ）に示すように、ピ
エゾ素子２２ａ，２２ｂの直線部が振動体２ａ〜２ｄの
対角線とほぼ直交する状態に振動子６ａを配置する。こ
の場合、各振動子６ａの駆動により物体４の底面と振動
体２ａ〜２ｄの表面との間に物体４の対角線に沿った気
流が発生するため、縦振動が加えられるだけの構成に比
較して、物体４に対する保持力が向上する。

【００４０】○ 円環状のピエゾ素子７ａ，７ｂと，半
円弧状のピエゾ素子２２ａ，２２ｂとを備えた振動子６
ａを、振動体２ａ〜２ｄの振動時に振動体２ａ〜２ｄの
表面と物体４の底面との間に、図６（ｂ）に示す矢印方
向の気流が発生するように配置してもよい。各振動子６
ａのピエゾ素子２２ａ，２２ｂが図６（ａ）に示すよう
に、直線部が物体４の長手方向（図６（ｂ）の左右方
向）と直交するように、振動子６ａが配置される。

【００４１】○ 各振動子６ａ毎に発振器１５，１６を
設ける代わりに、各１個の発振器１５，１６及び切換ス
イッチ１９を各振動子６ａで共用してもよい。この場
合、構成が簡単になるとともに製造コストを低減でき
る。

【００４２】○ 矩形状の物体４を所定位置に浮揚保持
する物体浮揚装置において、各振動体２ａ〜２ｄの配設
位置は、物体４の四隅と対応する位置に限らず、各辺の
中央と対応する位置に配置してもよい。また、振動体２
ａ〜２ｄ，３の数は５個に限らず、中央に配置される振
動体３を省略して４個としたり、物体４の大きさにより
適宜変更してもよい。

【００４３】○ 全ての振動体２ａ〜２ｄ，３を水平に
配置してもよい。 ○ 物体浮揚装置１は搬送車１３のような移動体に装備
されて使用されるとは限らず、所定位置に配設されて物
体４を一時浮揚状態で保持する用途に使用してもよい。

【００４４】○ 浮揚保持する物体４の形状は矩形等の
四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任
意の形状としてよい。 ○ ホーン５の形状は円柱状、円錐台状、両者を組み合
わせた形状に限らず、例えば扁平な直方体状としてもよ
い。

【００４５】○ 各振動体２ａ〜２ｄ等のエッジ２０の
一部が物体４のエッジ４ａと対応せず、物体４がエッジ
２０からはみ出す大きさのものに適用してもよい。 ○ 底面がフラットな物体を浮揚保持する装置に限ら
ず、特開平７−１３７８２４号公報に開示された装置の
ように、物体の底面がＶ字状の物体を浮揚させる装置に
適用してもよい。

【００４６】○ 振動体２ａ〜２ｄ，３，２１ａ，２１
ｂのホーン５への固定はネジによる締結に限らず、接着
剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。 ○ 振動子６ａ，６ｂはランジュバン形振動子に限らず
他の振動子を使用してもよい。

【００４７】前記実施の形態から把握される請求項記載
以外の発明（技術思想）について、以下に記載する。 （１） 請求項１〜請求項４に記載された発明におい
て、前記物体は矩形又は正方形の板状であり、少なくと
も前記物体の四隅と対応する位置に、縦振動の他に振動
面を揺動させる振動を加える振動子に連結された前記振
動体が配置されている。

【００４８】（２） 請求項１〜請求項４及び（１）に
記載された発明において、前記振動子は前記振動体が所
定方向に向かって円を描く進行波を形成するように、該
振動体を振動させる。

【００４９】（３） 請求項１〜請求項４及び（１）に
記載された発明において、前記振動子は前記振動体と物
体の底面との間に直線状に移動するとともにその移動方
向が逆転する気流を発生させるように、該振動体を振動
させる。

【００５０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜請求項
４に記載の発明によれば、複数の振動体を使用した複合
振動により物体を浮揚させる場合、物体を所定位置に保
持する保持力を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は第１の実施の形態の物体浮揚装置の
模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置を装備した搬送車の
模式側面図。

【図２】 （ａ）は同じく振動体と励振手段を示す模式
斜視図、（ｂ），（ｃ）はピエゾ素子の模式平面図。

【図３】 電極板の発振器への接続状態を示す模式図。

【図４】 （ａ）は第２の実施の形態の物体浮揚装置の
模式平面図、（ｂ）は模式側面図、（ｃ）はピエゾ素子
及び電極板の形状を示す模式平面図。

【図５】 （ａ）は別の実施の形態のピエゾ素子及び電
極板の形状を示す模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置の
振動体と物体との関係を示す模式平面図。

【図６】 （ａ）は別の実施の形態のピエゾ素子及び電
極板の形状を示す模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置の
振動体と物体との関係を示す模式平面図。

【符号の説明】

１…物体浮揚装置、２ａ〜２ｄ，３，２１ａ，２１ｂ…
振動体、４…物体、４ａ，２０…エッジ、５…励振手段
を構成するホーン、６ａ，６ｂ…同じく振動子、１５，
１６…励振手段を構成する発振器。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の振動体を励振手段で励振させて、
   振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上におい
   て物体を浮揚させる物体浮揚装置であって、前記複数の
   振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動
   の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し
   た物体浮揚装置。
2. 【請求項２】 前記縦振動の他に振動面を揺動させる振
   動が加えられる複数の振動体は、物体を浮揚保持する
   際、保持すべき物体の中心に対して対称に配置される請
   求項１に記載の物体浮揚装置。
3. 【請求項３】 前記縦振動の他に振動面を揺動させる振
   動が加えられる複数の振動体は、物体を浮揚保持する際
   に、内側に向いて傾斜するように配置されている請求項
   １又は請求項２に記載の物体浮揚装置。
4. 【請求項４】 浮揚保持すべき物体は四角板状であり、
   前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる
   振動体は、物体を浮揚保持する際に、その外側のエッジ
   が物体のエッジの近傍で該エッジに沿って延びるように
   配置されている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記
   載の物体浮揚装置。