JP2002128258A - 物体浮揚装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の振動系を使用して物体を浮揚させる際
に、振動子の電源を共通にしても物体を安定した状態で
浮揚させることを可能にする。 【解決手段】 物体浮揚搬送装置１は平行に配設された
２個の長尺の振動体２ａ，２ｂを備えている。振動体２
ａ，２ｂの一端に締結された各ホーン４ａは、超磁歪材
を用いた磁歪振動子７を使用した励振用の振動子５に固
定されている。振動体２ａ，２ｂの他端に締結された各
ホーン４ｂはエネルギー変換用の振動子６に固定されて
いる。各振動子５は共通の交流電源９に接続されてい
る。振動子６はピエゾ素子を備え、ピエゾ素子は抵抗Ｒ
及びコイルＬからなる負荷回路17に接続されている。各
振動子５，６には振動系の共振周波数を調整するため、
ピエゾ素子及び外部インピーダンス14を備えた調整手段
が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば音波等の放
射圧を用いて物体を浮揚させる物体浮揚装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置と
して、振動手段により振動される振動体の音波の放射圧
により振動体の表面上において物体を浮揚させる物体浮
揚装置が特開平７−２４４１５号公報、特開平７−１３
７８２４号公報、特開平９−２０２４２５公報等に開示
されている。これらの装置では平板状の振動体を使用
し、浮揚させるべき物体の前記平板状の振動体の表面と
対向する面を平面とし、振動体の振動による音波の放射
圧により物体が浮揚する。また、浮揚した物体に空気を
噴射したり、前記振動体で進行波を発生させて浮揚した
物体を移動させる物体搬送装置も開示されている。

【０００３】特開平９−２０２４２５号公報には、平行
に配置された複数の振動体に進行波を発生させて、物体
を浮揚状態で搬送する物体搬送装置が開示され、振動子
を駆動する発振器を共用することが開示されている。

【０００４】また、物体を浮揚状態で搬送する方法とし
て、台車に物体浮揚装置を装備して該物体浮揚装置を移
動させる方法がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記各物体浮揚装置で
は、振動子として圧電素子（ピエゾ素子）を使用したラ
ンジュバン形振動子が使用されている。圧電素子を使用
した振動子では、共振周波数で振動子を励振させること
で、振動体を必要な強さ（振幅）で振動させる。振動体
を複数平行に配置する構成では振動系が複数必要にな
り、振動子も複数必要になる。そして、物体を安定した
状態で浮揚させるには、各振動系を同期して互いに同じ
強さで振動させる必要がある。ところが、各振動系毎に
励振部の電源を別に設けると、コストが高くなる。従っ
て、励振部の電源を共通にするのが望ましい。

【０００６】しかし、圧電素子を使用した振動子では、
部品の製造及び組み付けの誤差により、各振動系を完全
に同一にすることは難しい。従って、各振動系の共振周
波数が微妙に異なる場合が生じ、振動子（励振部）の電
源を共通にすると各振動系の振動体による物体の浮揚作
用が安定して行われない場合がある。

【０００７】本発明は前記の問題点に鑑みてなされたも
のであって、その目的は複数の振動系を使用して物体を
浮揚させる際に、振動子の電源を共通にしても物体を安
定した状態で浮揚させることができる物体浮揚装置を提
供する複数の振動系を使用して物体を浮揚させる際に、
振動子の電源を共通にしても物体を安定した状態で浮揚
させることができる物体浮揚装置を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、複数の振動体を複数の
励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧によ
り振動体の表面上において物体を浮揚させる物体浮揚装
置であって、前記励振手段を構成する振動子に超磁歪材
を使用するとともに、複数の振動子の電源を共通にし
た。

【０００９】従って、この発明では、励振手段で励振さ
れる複数の振動体からの音波の放射圧により、振動体の
表面上において物体が浮揚される。振動子に超磁歪材が
使用されているため、振動子は供給される電流量に比例
して振動が大きくなる。従って、圧電素子を使用した振
動子の場合と異なり、複数の振動系で部品の製造及び組
み付けの誤差があっても、各振動子の電源を共通にする
ことにより、各振動体を物体が安定した浮揚状態となる
ほぼ同じ強さで振動させることができる。

【００１０】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の発明において、前記各振動体を励振させる励振手段
には、前記振動体を振動させる振動系のインピーダンス
を調整するための調整手段が設けられている。この発明
では、調整手段の調整により各振動系の共振周波数を同
じに調整できるため、共振周波数を同じに調整すること
で、物体の浮揚がより安定して行われる。

【００１１】請求項３に記載の発明では、複数の振動体
を複数の励振手段で励振させて、振動体からの音波の放
射圧により振動体の表面上において物体を浮揚させる物
体浮揚装置であって、前記励振手段を構成する振動子を
圧電素子で形成するとともに、各励振手段に前記振動体
を振動させる振動系のインピーダンスを調整するための
調整手段を設け、複数の振動子の電源を共通にした。

【００１２】この発明では、励振手段で励振される複数
の振動体からの音波の放射圧により、振動体の表面上に
おいて物体が浮揚される。各振動子の電源が共通のた
め、物体を安定した浮揚状態とするには、各振動系の共
振周波数を正確に合わせる必要がある。複数の振動系で
部品の製造及び組み付けの誤差があっても、各振動系に
設けられた調整手段の調整により、各振動系の共振周波
数を正確に合わせることが可能になり、各振動体を物体
が安定した浮揚状態となるほぼ同じ強さで振動させるこ
とができる。

【００１３】請求項４に記載の発明では、請求項１〜請
求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記各振
動体は定在波を発生させるように振動される。この発明
では、物体は振動体から発生する定在波によって、所定
の位置で安定した状態で浮揚される。

【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項１〜請
求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記各振
動体は長尺の平板状に形成されるとともに互いに平行に
配置され、前記励振手段は各振動体から進行波が発生す
るように構成されている。この発明では、物体は振動体
から発生する進行波によって、浮揚状態で振動体に沿っ
て安定した状態で搬送される。

【００１５】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明を物体を浮揚させた状態で搬送する物体浮揚装置（物
体浮揚搬送装置）に具体化した第１の実施の形態を図１
及び図２に従って説明する。

【００１６】図１に示すように、物体浮揚搬送装置１は
複数（この実施の形態では２個）の長尺の振動体２ａ，
２ｂを備えている。両振動体２ａ，２ｂは同じ大きさの
矩形平板状に形成されるとともに、互いに平行に配置さ
れて、搬送すべき物体３を両者で共同して浮揚保持する
ようになっている。各振動体２ａ，２ｂには励振手段を
構成するホーン４ａ，４ｂが、その先端において図示し
ないネジにより締結されている。ホーン４ａ，４ｂは偏
平なほぼ直方体状に形成され、各振動体２ａ，２ｂに対
してその長手方向両端部において長手方向と直交する状
態で取付けられている。

【００１７】各ホーン４ａ，４ｂは振動体２ａ，２ｂが
締結される面の反対側の面において振動子５，６に固定
されている。ホーン４ａ，４ｂの先端面は振動子５，６
の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン４ａ，４ｂ
及び振動子５，６の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配
置されている。振動子５，６はそれぞれベースプレート
に支持ブラケット（いずれも図示せず）を介して固定さ
れている。

【００１８】振動体２ａ，２ｂを励振するため、振動体
２ａ，２ｂの一端（図１における振動体の左端）に設け
られた振動子５には、超磁歪材を用いた磁歪振動子７が
図２（ａ）に示すように、途中に設けられている。磁歪
振動子７は図示しない励磁用のコイル巻線を備え、コイ
ル巻線が配線８を介して共通の電源としての交流電源９
に接続されている。各振動体２ａ，２ｂの振動系のイン
ピーダンスを調整可能とするため、各振動子５には調整
手段１０が設けられている。磁歪振動子７及び調整手段
１０は、振動子５を構成する金属ブロック１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ間に、図示しないボルトによって締め付け固
定されている。ボルトは金属ブロック１１ａに形成され
た図示しないねじ穴に、金属ブロック１１ｃ側から螺合
されている。

【００１９】調整手段１０は、金属ブロック１１ａ，１
１ｂ間に設けられ、電極板１３を挟持した一対のピエゾ
素子１２ａ，１２ｂと、電極板１３とピエゾ素子１２ａ
との間に接続された外部インピーダンス１４とを備えて
いる。外部インピーダンス１４はインピーダンスの値が
変更可能に構成されている。

【００２０】振動体２ａ，２ｂの他端に設けられたエネ
ルギー変換用の振動子６には所謂ランジュバン形振動子
が使用され、図２（ｂ）に示すように、一対のリング状
のピエゾ素子１５ａ，１５ｂと、ピエゾ素子１５ａ，１
５ｂ間に配置されたリング状の電極板１６とを備えてい
る。また、振動子６にも前記と同様な調整手段１０が設
けられている。そして、調整手段１０が金属ブロック１
１ａ，１１ｂ間に設けられ、ピエゾ素子１５ａ，１５ｂ
が金属ブロック１１ｂ，１１ｃ間に挟持された状態で、
図示しないボルトによって締め付け固定されて振動子６
が構成されている。ピエゾ素子１５ａ，１５ｂは、抵抗
Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負
荷回路１７にそれぞれ接続されている。

【００２１】次に前記のように構成された装置の作用を
説明する。交流電源９から各磁歪振動子７に所定の周波
数（例えば、２０ｋＨｚ前後）の交流が供給されると振
動子５が励振され、ホーン４ａが縦振動してホーン４ａ
を介して振動体２ａ，２ｂが励振されて撓み振動を行
う。振動体２ａ，２ｂから放射される音波の放射圧によ
って、物体３は振動体２ａ，２ｂの表面から浮揚する。
浮揚距離は例えば数１０〜数１００μｍである。

【００２２】振動体２ａ，２ｂの振動は負荷回路１７に
接続された振動子６に伝達され、振動子６を構成するピ
エゾ素子１５ａ，１５ｂにより、機械エネルギーである
振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。この
電気エネルギーが負荷回路１７の抵抗Ｒでジュール熱に
変換されて放散される。そのため、各振動体２ａ，２ｂ
に生じる振動の波が一方向へ進む進行波（この実施の形
態ではホーン４ａ側からホーン４ｂ側へ進む進行波）と
なり、物体３は振動体２ａ，２ｂの一端側から他端側へ
浮揚状態で搬送される。搬送の停止は振動子５への交流
電源９からの電力供給を停止することにより行われる。

【００２３】物体浮揚搬送装置１は２個の振動体２ａ，
２ｂから発生する進行波により物体３を搬送するため、
両振動体２ａ，２ｂから発生する進行波の位相及び振幅
が同等でないと、安定した浮揚状態で物体３を搬送する
ことは難しい。電源を共通にすることで、位相は同じに
なる。

【００２４】圧電素子を使用した振動子では、振動体を
必要な強さ（振幅）で振動させるには共振周波数で振動
子を励振させる必要があるが、超磁歪材を使用した振動
子では、供給される電流量にほぼ比例して振動が大きく
なる。従って、必ずしも両振動系の共振周波数が同じに
設定されていなくても、共通の電源（交流電源９）から
磁歪振動子７に大きな電流量を供給することにより、両
振動体２ａ，２ｂが必要な強さで振動される。

【００２５】両振動系の共振周波数が同じであれば、そ
の共振周波数で磁歪振動子７に交流を供給すれば、少な
い電力で必要な励振を行うことができる。従って、物体
浮揚搬送装置１の組立時あるいは使用前に、各振動子
５，６に設けられた調整手段１０を調整して両振動系の
インピーダンスが同じになるように、各調整手段１０の
外部インピーダンス１４が調整される。

【００２６】この実施の形態では以下の効果を有する。 （１） 振動体２ａ，２ｂの励振手段を構成する振動子
５に超磁歪材を使用した磁歪振動子７を使用するととも
に、複数の振動子５の電源を共通にした。従って、圧電
素子を使用した振動子の場合と異なり、複数の振動系で
部品の製造及び組み付けの誤差により、両振動系の共振
周波数を同じでなくても、各振動体２ａ，２ｂを物体３
が安定した浮揚状態となるほぼ同じ強さで振動させるこ
とができる。

【００２７】（２） 各振動体２ａ，２ｂを励振させる
励振手段には、振動体２ａ，２ｂを振動させる振動系の
インピーダンスを調整するための調整手段１０が設けら
れている。従って、調整手段１０の調整により各振動系
の共振周波数を同じに調整できるため、物体３の浮揚を
より安定させることができる。

【００２８】（３） 各振動体２ａ，２ｂは長尺の平板
状に形成されるとともに互いに平行に配置され、励振手
段は各振動体２ａ，２ｂから進行波が発生するように構
成されている。従って、物体３を浮揚させる作用と、物
体３を移動させる作用とが振動体２ａ，２ｂの振動によ
り行われ、物体３を浮揚状態で搬送する構成が簡単にな
る。

【００２９】（４） 各振動体２ａ，２ｂの両端に設け
られた各振動子５，６にそれぞれ調整手段１０が設けら
れているため、両振動系を同じ共振周波数に調整する作
業が容易になる。

【００３０】（５） 調整手段１０がピエゾ素子１２
ａ，１２ｂと外部インピーダンス１４との組合せで構成
されているため、質量の異なる質量体を複数準備してお
き、質量体を振動子５，６に螺着させて共振周波数の調
整を行う構成に比較して、共振周波数の調整作業が容易
になる。

【００３１】（第２の実施の形態）次に第２の実施の形
態を図３及び図４に従って説明する。この実施の形態で
は定在波を発生する複数の振動体で物体３を所定位置に
浮揚状態で保持する点と、振動体を励振させる振動子に
圧電素子を使用する点が前記実施の形態と大きく異なっ
ている。なお、前記実施の形態と同一部分は同一符号を
付して詳しい説明を省略する。

【００３２】図３は物体浮揚装置１８の模式平面図であ
り、図３は物体浮揚装置１８が装備された台車の側面図
である。図３に示すように、物体浮揚装置１８は矩形板
状に形成された複数（この実施の形態では５個）の振動
体１９ａ，１９ｂを備えている。各振動体１９ａ，１９
ｂは同じ大きさに形成されている。４個の振動体１９ａ
は矩形板状の物体３（鎖線で図示）の四隅と対応する位
置に配設され、１個の振動体１９ｂは４個の振動体１９
ａから等距離の位置に配設されている。各振動体１９
ａ，１９ｂには励振手段を構成するホーン２０が、その
先端において図示しないネジにより締結されている。ホ
ーン２０はほぼ円柱状に形成され、各振動体１９ａ，１
９ｂの中央に位置するように取付けられている。

【００３３】各ホーン２０は振動体１９ａ，１９ｂが締
結される面の反対側の面において振動子２１に固定され
ている。ホーン２０の先端面は振動子６の軸方向と直交
する平面に形成され、ホーン２０及び振動子２１の中心
軸が一直線上に位置するように連結されている。

【００３４】振動子２１にはランジュバン形振動子が使
用され、前記実施の形態の磁歪振動子７に代えて、一対
のリング状のピエゾ素子１５ａ，１５ｂと、ピエゾ素子
１５ａ，１５ｂ間に配置されたリング状の電極板１６と
が設けられている。各振動子２１は、共通の電源として
の発振器２２に接続されている。図４に示すように、電
極板１６は配線２３ａを介して発振器２２と接続され、
発振器２２の接地端子が配線２３ｂを介して金属ブロッ
ク１１ｃに接続されている。ホーン２０、振動子２１、
発振器２２により各振動体１９ａ，１９ｂを励振させる
励振手段が構成されている。

【００３５】図４に示すように、物体浮揚装置１８は台
車２４上に支持ブラケット２５を介して取り付けられて
いる。各振動子２１は各振動体１９ａ，１９ｂが所定の
角度θ又は水平となるように支持ブラケット２５に固定
されている。

【００３６】この実施の形態では、物体浮揚装置１８は
搬送すべき板状の物体３を浮揚状態に保持しつつ台車２
４の移動により目的位置まで搬送される。物体３はエッ
ジ３ａが各振動体１９ａの外側のエッジに揃うように各
振動体１９ａ，１９ｂ上に載置され、その状態で発振器
２２の駆動により、振動子２１が所定の共振周波数（例
えば、２０ｋＨｚ前後）で励振される。そして、各振動
体１９ａ，１９ｂから定在波が発生し、物体３が所定の
位置で浮揚状態に保持される。

【００３７】この実施の形態では次の効果を有する。 （６） 各振動体１９ａ，１９ｂはそれぞれ圧電素子
（ピエゾ素子１５ａ，１５ｂ）を使用した振動子２１に
よって励振されるが、各振動子２１に調整手段１０が設
けられているため、調整手段１０を調整して各振動系の
共振周波数を同じに調整できる。従って、両振動系が部
品の製造及び組み付けの誤差により同一に構成されてい
なくても、両振動系の共振周波数を同じに調整して、共
通の発振器２２で励振させることにより、各振動体１９
ａ，１９ｂを物体３が安定した浮揚状態となるほぼ同じ
強さで振動させることができる。

【００３８】（７） 各振動体１９ａ，１９ｂは定在波
を発生させるように振動されるため、進行波を発生する
構成に比較して構造が簡単になる。 （８） 物体浮揚装置１８は台車２４上に装備されてい
る。従って、台車２４の移動により、物体３を浮揚状態
で所定の位置まで搬送する経路の自由度が大きくなる。

【００３９】（９） 物体３の四隅と対応する位置に配
置される振動体１９ａを水平面に対して所定角度θ傾斜
した状態に配設しているため、各振動体１９ａを水平に
配置した場合より、物体３を所定位置に保持する効果が
向上する。

【００４０】（１０） 浮揚すべき物体３は底面がフラ
ットで、直線状のエッジ３ａを有し、振動体１９ａは物
体３を浮揚状態で保持する際、その外側のエッジが物体
３の直線状のエッジ３ａの近傍で該エッジ３ａに沿って
延びるように配置されている。従って、物体３を所定位
置により安定した状態で保持できる。

【００４１】実施の形態は前記に限定されるものではな
く、例えば次のように構成してもよい。 ○ 物体浮揚搬送装置１において、搬送経路が長い場合
は、所定長さの振動体２ａ，２ｂを搬送方向に、複数組
配置した構成としてもよい。この場合、各振動子５を共
通の交流電源に接続してもよい。また、搬送すべき物体
３の幅が広い場合は、振動体２ａ，２ｂを３個以上平行
に配置してもよい。

【００４２】○ 前記両実施の形態では、励振用の振動
子５，２１を共通の電源に対して並列に接続したが、電
源に対して直列に接続してもよい。例えば、第１の実施
の形態において、図５（ａ）に示すように、磁歪振動子
７の励磁用コイル２６を交流電源９に直列に接続した
り、エネルギー変換側の振動子６の圧電素子２７（ピエ
ゾ素子１２ａ，１２ｂ）に接続する負荷回路１７を共用
してもよい。なお、図５（ａ）では、振動子５，６がそ
れぞれ３個の場合を示している。また、振動子に圧電素
子を使用した場合は、図５（ｂ）に示すように、圧電素
子２８（ピエゾ素子１５ａ，１５ｂ）を発振器２２に直
列に接続する。

【００４３】○ 第１の実施の形態のように振動子５に
超磁歪材を使用する場合、調整手段１０は必ずしも無く
てもよい。 ○ 調整手段１０を設ける場合、調整手段１０を各振動
系に設ける構成に限らず、一つの振動系には調整手段を
設けず、残りの振動系に調整手段を設ける構成としても
よい。この場合、調整手段の数が少なくなり、コストが
低減される。

【００４４】○ 進行波を発生する構成の物体浮揚搬送
装置１において、励振側の振動子５及びエネルギー変換
側の振動子６の両方に調整手段１０を設ける代わりに、
いずれか一方のみに設けてもよい。この場合も調整手段
１０の数を少なくでき、製造コストを低減できる。

【００４５】○ 進行波を発生する構成の物体浮揚搬送
装置１において、超磁歪材を使用した磁歪振動子７に代
えて、圧電素子を使用した振動子を使用してもよい。ま
た、定在波を発生させる構成の物体浮揚装置において、
圧電素子を使用した振動子に代えて、超磁歪材を使用し
た磁歪振動子を使用してもよい。

【００４６】○ 長尺の振動体２ａ，２ｂに定在波を発
生させるように構成し、浮揚した物体に空気を噴射して
物体を移動させる構成としてもよい。 ○ 物体浮揚装置１８を台車２４上に装備する代わり
に、物体浮揚装置１８をベルトコンベア等に取り付けて
移動させる構成としてもよい。

【００４７】○ ホーン２０の形状は円柱状に限らず、
扁平な直方体状や円錐台状等先端側が細くなった形状と
してもよい。 ○ 矩形状の物体３を所定位置に浮揚保持する物体浮揚
装置１８において、各振動体１９ａ，１９ｂの配設位置
は、物体３の四隅と対応する位置に限らず、各辺の中央
と対応する位置に配置してもよい。また、振動体１９
ａ，１９ｂの数は５個に限らず、中央に配置される振動
体１９ｂを省略して４個としたり、物体３の大きさによ
り２個又は３個としたり６個以上とする等適宜変更し、
配置位置も適宜変更してもよい。

【００４８】○ 浮揚保持する物体３の形状は矩形等の
四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任
意の形状としてよい。 ○ 各振動体１９ａ，１９ｂ等のエッジの一部が物体３
のエッジ３ａと対応せず、物体３がエッジからはみ出す
大きさのものに適用してもよい。

【００４９】○ 振動体２ａ，２ｂ，１９ａ，１９ｂの
ホーン４ａ，４ｂ，２０への固定はネジによる締結に限
らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着して
もよい。

【００５０】前記実施の形態から把握される請求項記載
以外の発明（技術思想）について、以下に記載する。 （１） 請求項２〜請求項５のいずれか一項に記載の発
明において、前記調整手段は、振動子に設けられた電圧
が供給されないピエゾ素子と、該ピエゾ素子に接続され
インピーダンスが可変の外部インピーダンスとを備えて
いる。

【００５１】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜請求項
５に記載の発明によれば、複数の振動系を使用して物体
を浮揚させる際に、振動子の電源を共通にしても物体を
安定した状態で浮揚させることができる。その結果、電
源の数を減らせ、電源の設置スペースを小さくすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施の形態の物体浮揚搬送装置の概略
斜視図。

【図２】 （ａ）は励振側の振動子の模式正面図、
（ｂ）はエネルギー変換側の振動子の模式正面図。

【図３】 第２の実施の形態の物体浮揚装置の模式平面
図。

【図４】 台車に装備された物体浮揚装置の概略正面
図。

【図５】 別の実施の形態の振動子の接続状態を示す模
式図。

【符号の説明】

１…物体浮揚装置としての物体浮揚搬送装置、２ａ，２
ｂ，１９ａ，１９ｂ…振動体、３…物体、４ａ，２０…
励振手段を構成するホーン、５，６，２１…同じく振動
子、７…磁歪振動子、９…電源としての交流電源、１０
…調整手段、１８…物体浮揚装置、２２…電源としての
発振器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F037 BA03 CA14 CA15 CB02 CC05 5D107 AA13 BB06 CC04 CC07 CD02 FF01 FF03 FF05 FF09

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の振動体を複数の励振手段で励振さ
   せて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上
   において物体を浮揚させる物体浮揚装置であって、 前記励振手段を構成する振動子に超磁歪材を使用すると
   ともに、複数の振動子の電源を共通にした物体浮揚装
   置。
2. 【請求項２】 前記各振動体を励振させる励振手段に
   は、前記振動体を振動させる振動系のインピーダンスを
   調整するための調整手段が設けられている請求項１に記
   載の物体浮揚装置。
3. 【請求項３】 複数の振動体を複数の励振手段で励振さ
   せて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上
   において物体を浮揚させる物体浮揚装置であって、 前記励振手段を構成する振動子に圧電素子を使用すると
   ともに、各励振手段に前記振動体を振動させる振動系の
   インピーダンスを調整するための調整手段を設け、複数
   の振動子の電源を共通にした物体浮揚装置。
4. 【請求項４】 前記各振動体は定在波を発生させるよう
   に振動される請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載
   の物体浮揚装置。
5. 【請求項５】 前記各振動体は長尺の平板状に形成され
   るとともに互いに平行に配置され、前記励振手段は各振
   動体から進行波が発生するように構成されている請求項
   １〜請求項３のいずれか一項に記載の物体浮揚装置。