JP2002083731A

JP2002083731A - 積層チップ部品の製造方法

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Publication number: JP2002083731A
Application number: JP2000271692A
Authority: JP
Inventors: Masabumi Ichikawa; 正文市川; Takeshi Takahashi; 高橋　　健; Kazumi Machida; 一己町田
Original assignee: Koa Corp
Current assignee: Koa Corp
Priority date: 2000-09-07
Filing date: 2000-09-07
Publication date: 2002-03-22

Abstract

(57)【要約】【課題】明瞭な表示マークの形成を可能とすると共
に、グリーンシートの積層精度を向上させ、良好な品質
の積層チップ部品が得られる積層チップ部品の製造方法
を提供する。【解決手段】無地のグリーンシートを下地に重ねて仮
プレスする工程を複数枚のグリーンシート１１ａ，１１
ｂ，１１ｃについて繰返し、次に内部電極パターンを有
するグリーンシートを下地に重ねて仮プレスする工程を
複数枚のグリーンシート１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１
ｇについて繰返し、再び無地のグリーンシートを下地に
重ねて仮プレスする工程を複数枚のグリーンシート１１
ｈ，１１ｉ，１１ｊについて繰返し、表示マーク１５，
１８を表示用フィルム１７上に印刷して、積層仮プレス
したグリーンシート積層体１１ａ〜１１ｉの最表面に圧
着転写して、表示用フィルム１７を剥離する工程を含
む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は積層チップ部品の製
造方法に係り、特にグリーンシートに導体パターンを形
成してこれを複数層重ね合わせて積層プレスする工程を
含む積層チップ部品の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層チップ型インダクタ等の積層チップ
部品の一般的な製造方法は、まずセラミック生材料によ
るセラミックグリーンシートをポリエチレンテレフタレ
ートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムという）上に印刷
法等により形成する。このフィルム上に形成されたグリ
ーンシートは、例えば、縦横がそれぞれ１５ｃｍ程度の
大きさであり、グリーンシートの膜厚は例えば２０μｍ
程度である。このグリーンシート及びフィルムには、四
隅に位置合わせ用の開口が設けられている。グリーンシ
ートの積層に際しては、平坦な表面を有する基台とその
基台の四隅に立設したポスト（ピン）等を有する治具を
用意し、その基台上に粘着性または吸着性を有する基体
シートを載置し、予め表示マークパターンを印刷等によ
り形成したグリーンシートを表示マーク面が基体シート
に接触するように治具にグリーンシートの開口をポスト
に嵌合させて装着し、圧力をかけて基体シート面にグリ
ーンシートを密着させて固定する。そして、ＰＥＴフィ
ルムを引き剥がすことにより、表示マークを備えた第１
層のグリーンシートを基体シート面に固着する。ここ
で、表示マークとしては、切断位置の表示、極性表示、
Ｌ値（インダクタンス値）表示等である。

【０００３】次に、ＰＥＴフィルム上に形成した無地の
グリーンシートを同様に上記ポストにグリーンシート及
びフィルムの開口がポストに嵌合するように装着し、仮
プレスした後にフィルムを剥離する。そしてこの工程を
例えば数枚分繰返すことで、無地のグリーンシート層が
積層される。

【０００４】次に、インダクタ等のコイル部を形成する
ための導体パターンを有するグリーンシートを積層す
る。導体パターンを有するグリーンシートは、上述した
ようにＰＥＴフィルム上にまずグリーンシートを印刷法
等により形成し、このグリーンシート上に導体パターン
を形成する。導体パターンは、コイルを形成する場合に
は、例えば半ターン分の導体パターンをスクリーン印刷
等により形成し、その端部がグリーンシートに設けたビ
アホールに重なるようにする。これを複数枚積層するこ
とで、それぞれのビアホールを通して導体パターンを接
続してコイルを形成することができる。例えば、一枚の
グリーンシートに半ターン分の導体が形成されていれ
ば、２ターンのコイルを形成するためには最低４枚のグ
リーンシートを積層すればよい。この場合には、上下両
端層に位置するグリーンシートには取出し電極が設けら
れ、これがチップとなる領域の端縁まで延びている。そ
して、これらの導体パターンを備えたグリーンシートの
積層体上に、その上部に数枚の無地のグリーンシートを
配置し、これを積層プレスして積層圧着体を形成する。

【０００５】積層圧着体は多数個取りの基板であるの
で、各区画に対応してカッティングを行い、個々のチッ
プとした後に高温で焼成する。この焼成によりグリーン
シートの積層圧着体は硬度を有するセラミックス焼結体
となり、また、導電パターンである導電材は溶媒が揮発
して金属の導電層が形成される。そして、外部電極の形
成を導電材料のディッピング・めっき等の手段により形
成して、チップ部品が完成する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このプ
ロセスにおいて、特に表示マークの印刷された最下層部
グリーンシートには、この仮プレスによる累積応力によ
り、変形が生じやすく、コイル導体である内部電極パタ
ーンと表示マークとにずれが生じる場合がある。このよ
うなずれが生じると、内部電極が極端な場合には切断部
にはみ出してしまい、所要の電気的特性が得られず、信
頼性にも問題が生じる。又、仮プレスの累積応力により
表示マークが不明瞭となる問題がある。

【０００７】本発明は上述した事情に鑑みて為されたも
ので、明瞭な表示マークの形成を可能とすると共に、グ
リーンシートの積層精度を向上させ、良好な品質の積層
チップ部品が得られる積層チップ部品の製造方法を提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の積層チップ部品
の製造方法は、無地のグリーンシート上に内部電極パタ
ーンを有するグリーンシートを重ね、さらに無地のグリ
ーンシートを重ねて仮プレスする工程を有し、この積層
仮プレスしたグリーンシート積層体の最表面に、表示用
フィルム上に印刷した表示マークを圧着転写して、前記
フィルムを剥離する工程を含むことを特徴とする。本発
明の積層チップ部品の製造方法は、さらに好ましくは、
無地のグリーンシートを下地に重ねて仮プレスする工程
を複数枚のグリーンシートについて繰返し、次に内部電
極パターンを有するグリーンシートを下地に重ねて仮プ
レスする工程を複数枚のグリーンシートについて繰返
し、再び無地のグリーンシートを下地に重ねて仮プレス
する工程を複数枚のグリーンシートについて繰返し、表
示マークパターンを表示用フィルム上に印刷して、前記
積層仮プレスした前記グリーンシート積層体の最表面に
圧着転写して、前記フィルムを剥離する工程を含むこと
を特徴とする。

【０００９】前記表示マークは、表示マーク用ペースト
を用いてスクリーン印刷により前記フィルム上に形成す
ることが好ましい。また、前記表示マークは、鏡像の関
係にある逆パターンを前記フィルム上に形成することが
好ましい。また、前記グリーンシートの積層は、グリー
ンシートをフィルム上に形成し、該フィルムを表裏反転
して該グリーンシートを下地に圧着して仮プレスし、そ
の後該フィルムを剥離することが好ましい。

【００１０】上述した本発明によれば、表示マークを表
示用フィルム上に印刷して、最終工程のグリーンシート
の積層圧着体上にこれを転写して形成するので、明瞭な
表示マークが得られる。そして、表示マークの転写固定
を最終工程で行うので、一枚毎の仮プレスの累積応力に
よる変形がなく、このため位置精度の高い積層圧着体が
得られる。これにより、積層チップ部品の歩留まりが向
上し、コストダウンが可能となると共に高信頼性の部品
が得られる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の
実施形態のグリーンシートの積層圧着体を示す。図示の
例は、チップ一個分について示すが、実際には大判のグ
リーンシートにより多数のチップがマトリックス状に配
列されて形成されている。この実施例では、１１ａ〜１
１ｊの１０枚のグリーンシートにより積層圧着体１０が
構成されている。下側の３枚のグリーンシート１１ａ，
１１ｂ，１１ｃは、電極パターンを有さない無地のグリ
ーンシートにより構成されている。真ん中の４枚のグリ
ーンシート１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇは、内部電
極パターンを有するグリーンシートにより構成され、そ
れぞれのグリーンシートには接続部にビヤホールを備
え、上下の電極がビヤホール内に充填された導電材によ
り導通するようになっている。内部電極パターンが形成
されたグリーンシートのうち最も下層と上層のグリーン
シートには側面に電極が露出し、焼結後に形成される外
部電極１２に接続するようになっている。積層体１０の
最表面には、表示マーク１５が転写により形成されてい
る。

【００１２】図２は、内部電極パターンの配置例を示
す。最下層のグリーンシート１１ｄにはチップ端縁から
内部電極２１が延伸し、半ターン後の他方の電極端部２
１ａはビアホール２２を有する上層のグリーンシート１
１ｅ上の内部電極２１に接続する。この様にして、グリ
ーンシート１１ｄ〜１１ｇ上の内部電極２１が相互にビ
アホール２２を介して接続され、コイルが形成される。
そして、グリーンシート１１ｇ上の内部電極２１が他方
のチップ端縁に延伸して、チップ外部の電極１２に接続
される。

【００１３】次に、図１に示す積層圧着体の形成方法に
ついて、図３を参照しながら説明する。この実施形態に
おいては、例えばチップサイズが１００５サイズ（１ｍ
ｍ×０．５ｍｍ）、又は０６０３サイズ（０．６ｍｍ×
０．３ｍｍ）のような超小型部品を対象としている。従
って、一枚のグリーンシートの厚みは数μｍから数十μ
ｍと極めて薄い。このため、グリーンシートは、ＰＥＴ
フィルム上に印刷により形成する。そして、内部電極は
このグリーンシート上に更に導電体ペーストを用いてス
クリーン印刷により形成する。尚、表示マークも着色ペ
ーストを用いてスクリーン印刷により表示用ＰＥＴフィ
ルム上に形成してこれを転写する。

【００１４】このグリーンシート１１を積層圧着体１０
として形成するには、平坦な表面を有する基台１３とそ
の基台１３の四隅に立設した位置合わせ用ピン１４を有
する治具１９を用意し、その基台１３上に好ましくは粘
着性または吸着性を有する基体シート２０を載置・固定
し、基体シート２０上に最下層となるグリーンシート１
１ａを固定し、仮プレスを行い基体シート２０上に十分
に圧着した後に、グリーンシート１１ａから図示省略の
ＰＥＴフィルムのみを剥離する。この際、グリーンシー
ト１１ａの位置合わせは、治具１９に立設されたピン１
４にＰＥＴフィルム及びグリーンシート１１ａの四隅に
形成された開口１６を嵌合させることにより行う。次
に、同様に無地のグリーンシート１１ｂが貼着されたフ
ィルムを準備し、グリーンシート１１ｂ面を下側にして
四隅のピン１４に開口１６を嵌合させることで下地のグ
リーンシート１１ａに重ねる。そして、ＰＥＴフィルム
上から仮プレスし、その後ＰＥＴフィルムを剥離する。
これにより、グリーンシート１１ｂが積層される。この
作業を３枚目のグリーンシート１１ｃについて繰り返
す。

【００１５】そして、内部電極パターン及びビアホール
を有するグリーンシート１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１
ｇについて、下地グリーンシートに重ねて仮プレスし、
その後ＰＥＴフィルムを剥離するという作業を同様に１
枚づつ繰り返す。そして、更にその上層に内部電極を有
さない無地のグリーンシート１１ｈ，１１ｉ，１１ｊを
上述したと同様の手順により積層圧着する。

【００１６】次に、図４に示すように表示用のＰＥＴフ
ィルム１７に表示用ペーストとして、着色硝子ペースト
等を用いて表示マーク１５をスクリーン印刷により形成
する。この時、表示マークは数字であれば積層圧着体１
０に固定後正しく見えるように、図５（ａ）に示すよう
に鏡像の関係となるように逆パターンで形成する。表示
マーク１５としては、グリーンシートの切断線の表示マ
ーク１８、積層チップ部品の方向を示す極性表示マー
ク、インダクタンス値を示すＬ値表示（図１、図５参
照）等である。なお、表示用のＰＥＴフィルム１７はグ
リーンシート１１ａ〜１１ｊ用のＰＥＴフィルムと同一
のものを使用してもよい。

【００１７】次に、積層圧着体１０の上面に、各種表示
マーク１５を備えた表示用ＰＥＴフィルム１７を裏返し
て、上述した治具１９のピン１４に嵌合するようにその
開口１６を挿入して位置合わせして重ね、仮プレスす
る。そして表示用ＰＥＴフィルム１７を剥離することに
より、図５（ｂ）に示すように表示マーク１５が積層圧
着体１０の最上層に固定される。

【００１８】基体シート２０は、通常の状態では粘着性
または吸着性があるので、最下層のグリーンシート１１
ａをこれに固定して、以後次々とグリーンシート１１ｂ
〜１１ｊが積層される。そして、基体シート２０を紫外
線剥離フィルムで構成すると、この基体シート２０に紫
外線を照射することにより粘着性が消失する。従って、
表示マークの形成後は、治具１９から取り出し、紫外線
を基体シート２０に照射することで、この粘着性が消失
し、基体シート２０から容易に積層体１０を離脱するこ
とができる。

【００１９】そして、水圧プレス等の本プレスを行い、
表示マークに示された切断線１８に沿ってダイシングソ
ー等によりシート状の積層圧着体を切断して個々のチッ
プ状の積層圧着体とする。以降の工程は従来の技術と同
様であり、高温で焼成することによりセラミック焼結体
が得られる。内部電極も高温の焼成により金属導電層と
なり、これがビアホールを介して接続された状態とな
り、金属導体のコイルがセラミック焼結体内に形成され
る。そして、引出電極に接続するように外部電極１２
（図１参照）をＡｇ又はＡｇ−Ｐｄペースト等の導電材
のコーティング等により形成し、更にニッケルまたはは
んだめっき等の処理を行いチップ部品として完成する。

【００２０】このようにして製造された積層チップ部品
は、表示マークの固定を積層工程の最終段階で行うの
で、明瞭な表示マークが得られる。又、従来技術に示し
たような仮プレスの累積応力による変形がないため、内
部電極と表示マークとのズレが少なくなる。従って、切
断線の表示マーク１８に対する内部電極の位置精度が高
く、これにより製造歩留まりを向上させることができ
る。

【００２１】尚、上記実施の形態では表示マークを着色
硝子ペーストを用いて形成する例について説明したが、
その他の表示マーク用の素材を用いて表示するようにし
ても勿論よい。又、上記実施形態ではインダクタ素子の
製造について説明したが、積層フェライトビーズ、積層
コンデンサ、積層フィルタ等にも同様に適用できること
も勿論である。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、明
瞭な表示マークが得られると共に、製造歩留まりが高く
且つ良好な信頼性を有する積層チップ部品を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】セラミックグリーンシートを積層圧着した積層
圧着体を示す斜視図である。

【図２】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は、それぞれグリー
ンシート１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇの内部電極と
ビヤホールの配置を示した平面図である。

【図３】本発明の実施形態のグリーンシートの積層工程
を示す分解斜視図である。

【図４】（ａ）（ｂ）は、表示用ＰＥＴフィルム上に表
示マークのみを印刷し、これを下地グリーンシートに重
ねて表示用ＰＥＴフィルムを剥がす工程を示した図であ
る。

【図５】（ａ）は表示マークを鏡像の関係により印刷し
た状態を示した図であり、（ｂ）は表示マークを積層圧
着体上に転写固定した状態を示した図である。

【符号の説明】

１０積層圧着体１１a〜１１ｊグリーンシート１２外部電極１３基台１４位置合わせ用ピン１５表示マーク１６開口１７表示用ＰＥＴフィルム１８切断線の表示マーク１９治具２０基体シート２１内部電極２２ビアホール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者町田一己長野県上伊那郡箕輪町大字中箕輪14016 コーア株式会社内Ｆターム(参考） 5E062 FF01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】無地のグリーンシート上に内部電極パタ
ーンを有するグリーンシートを重ね、さらに無地のグリ
ーンシートを重ねて仮プレスする工程を有し、この積層
仮プレスしたグリーンシート積層体の最表面に、表示用
フィルム上に印刷した表示マークを圧着転写して、前記
フィルムを剥離する工程を含むことを特徴とする積層チ
ップ部品の製造方法。
【請求項２】無地のグリーンシートを下地に重ねて仮
プレスする工程を複数枚のグリーンシートについて繰返
し、次に内部電極パターンを有するグリーンシートを下
地に重ねて仮プレスする工程を複数枚のグリーンシート
について繰返し、再び無地のグリーンシートを下地に重
ねて仮プレスする工程を複数枚のグリーンシートについ
て繰返し、表示マークを表示用フィルム上に印刷して、
前記積層仮プレスした前記グリーンシート積層体の最表
面に圧着転写して、前記フィルムを剥離する工程を含む
ことを特徴とする積層チップ部品の製造方法。
【請求項３】前記表示マークは、表示マーク用ペース
トを用いてスクリーン印刷により前記フィルム上に形成
することを特徴とする請求項１または２に記載の積層チ
ップ部品の製造方法。
【請求項４】前記表示マークは、鏡像の関係にある逆
パターンを前記フィルム上に形成することを特徴とする
請求項１または２に記載の積層チップ部品の製造方法。
【請求項５】前記グリーンシートの積層は、グリーン
シートをフィルム上に形成し、該フィルムを表裏反転し
て該グリーンシートを下地に圧着して仮プレスし、その
後該フィルムを剥離することを特徴とする請求項１また
は２に記載の積層チップ部品の製造方法。