JP2002079460A - 両面研磨方法および該両面研磨方法により研磨された薄板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属箔等のような薄板であっても、両面平行
にかつ精度の良い両面研磨を行うことができる両面研磨
方法を提供する。 【解決手段】 被研磨金属板１の第一面を第１研磨保持
治具２に熱可塑性接着剤４を介して接着固定し、これを
研磨装置に装着して金属板１の第二面の研磨を行い、そ
の後に、研磨された第二面を第２研磨保持治具９に常温
硬化型接着剤１０を介して接着固定した後に、第１研磨
保持治具２を加熱して金属板１の第一面から第１研磨保
持治具２を取り外し、第２研磨保持治具９に接合した金
属板１の第一面の研磨を行う。両接着剤４、１０として
硬化条件や剥離条件等の性質が全く異なる種類のものを
用いることにより、研磨保持治具に対して金属板を接
合、剥離する際に、金属板の他の面の接合状態に悪影響
を与えることがなく、面精度を維持して受け渡しがで
き、精度の良い両面研磨を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、両面研磨方法に関
し、特に、金属箔等の薄板の両面を研磨する両面研磨方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】板状の部材を両面研磨する方法は、従来
から数多く提案されており、その代表的な例としては、
半導体ウエハの研磨等に用いられている両面研磨方法、
すなわち、ウエハよりも薄いキャリアにウエハを嵌め込
むように装填し、ウエハの上下両面に研磨剤を注入しな
がら両面を同時に研磨する方法がある。また、被研磨部
材を研磨保持治具に接着剤等にて固定して片面を研磨し
た後に、被研磨部材を研磨保持治具から外し、研磨され
た面を研磨保持治具に固定しなおしてから反対面を研磨
するという方法も知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来技術において、半導体ウエハの研磨にようにキャ
リアを用いる方法は、被研磨部材の厚みが０．５ｍｍ程
度の薄板には適用することができるけれども、厚みが
０．１ｍｍ以下のような金属箔等の薄板を想定すると、
このような薄板を保持するキャリアを作製することが困
難であって、厚みが０．１ｍｍ以下のような金属箔や薄
板の両面研磨には適用できない。

【０００４】また、片面を研磨した後に被研磨部材を研
磨保持治具から外し、研磨された面を研磨保持治具に固
定しなおしてから反対面を研磨する方法においては、被
研磨部材を研磨保持治具から取り外す際に、被研磨部材
が金属箔等である場合、被研磨面を研磨されたままの平
面状態に保つことが難しい場合がある。特に、被研磨部
材が金属箔であれば、研磨時に被研磨面に応力が発生
し、研磨保持治具から取り外した際にカールしてしまう
例が多々ある。一度カールしてしまうと最初の被研磨面
を研磨直後の状態に戻すことは非常に困難であり、反対
面を研磨することができなくなってしまう。このような
状況にならないようにするために、被研磨部材の片面を
研磨した後に、研磨保持治具から被研磨部材を取り外す
前に研磨した面を第２の研磨保持治具に固定する必要が
生じてくる。その一例として、特公平４−１３０９４号
公報に開示されているように、融点の異なる熱軟化性の
接着剤を用いる方法が提案されている。すなわち、被研
磨部材を第１接着剤で第１の研磨保持治具に接着して被
研磨部材の一面を研磨した後に、被研磨部材を接着した
第１の研磨保持治具と、軟化点を第１接着剤の軟化点よ
りも高く設定した第２接着剤を塗布した第２の研磨保持
治具とを軟化点以上に加熱し、それらの軟化点以上の温
度で第２の研磨保持治具上の第２接着剤を被研磨部材の
研磨された一面に重ね、その後に、第２の研磨保持治具
を冷却して第２の研磨保持治具に被研磨部材を接着して
時点で第１の研磨保持治具を除去するようにしている。
しかし、この方法を用いると、第２接着剤で接着する際
に必ず第１接着剤の軟化点以上の温度にする必要があ
り、被研磨部材が金属箔等の金属薄板の場合、被研磨部
材内で温度勾配はつきにくいために第１接着剤まで軟化
してしまう。こうなると被研磨部材の最初に研磨した面
の精度は保てなくなってしまい、両面を研磨した後で被
研磨面が平行になっていない場合が生じるという問題点
がある。

【０００５】そこで、本発明は、前記のような従来技術
の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、
金属箔等のような薄板であっても、両面平行にかつ精度
の良い両面研磨を行うことができる両面研磨方法および
該両面研磨方法により両面研磨された薄板を提供するこ
とを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の両面研磨方法は、被研磨部材の第一
面を第１の研磨保持治具に接着固定して被研磨部材の第
二面の研磨を行い、研磨された被研磨部材の第二面を第
２の研磨保持治具に接着固定した後に、被研磨部材の第
一面と第１の研磨保持治具とを取り外し、被研磨部材の
第一面の研磨を行う両面研磨方法において、被研磨部材
の第一面と第１の研磨保持治具とを接着する際に用いる
接着剤と、被研磨部材の第二面と第２研磨保持治具とを
接着する際に用いる接着剤とは、それぞれ、硬化条件と
剥離条件が全く異なる種類の接着剤であることを特徴と
する。

【０００７】本発明の第１の両面研磨方法においては、
被研磨部材の第二面と第２研磨保持治具とを接着する際
に用いる接着剤は、常温にて硬化する性質をもつ接着剤
であることが好ましく、また、被研磨部材の第一面と第
１の研磨保持治具とを接着する際に用いる接着剤は、熱
可塑性接着剤または水溶性接着剤であることが好まし
い。

【０００８】さらに、本発明の第２の両面研磨方法は、
被研磨部材の第一面を第１の研磨保持治具に接着固定し
て被研磨部材の第二面の研磨を行い、研磨された被研磨
部材の第二面を第２の研磨保持治具に接着固定した後
に、被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを取り
外し、被研磨部材の第一面の研磨を行う両面研磨方法に
おいて、被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを
接着する際に用いる接着剤を切り代となりうるような十
分な接着厚みをもたせて硬化接着させることを特徴とす
る。

【０００９】本発明の第２の両面研磨方法においては、
被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具との取り外し
は、被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを接着
固定する十分な接着厚みを有する接着剤層を機械的に切
断して行うことが好ましい。

【００１０】本発明の第２の両面研磨方法においては、
被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを接着する
際に用いる接着剤は、常温にて硬化する性質をもつ接着
剤であることが好ましく、さらに、被研磨部材の第二面
と第２研磨保持治具とを接着する際に用いる接着剤は、
常温にて硬化する性質をもつ接着剤であることが好まし
い。

【００１１】本発明の両面研磨方法においては、前記被
研磨部材が薄板であることが好ましい。

【００１２】

【作用】本発明の第１の両面研磨方法によれば、被研磨
部材の第一面と第１研磨保持治具とを接着する第１接着
剤および被研磨金属板の第二面と第２研磨保持治具とを
接着する第２接着剤として、それぞれ硬化条件と剥離条
件等の性質が全く異なる種類の接着剤を用いることによ
り、被研磨部材を研磨保持治具に接合する際や研磨保持
治具から剥離する際に、被研磨部材の他の面を接着固定
している接着、接合状態になんら悪影響を与えることな
く接合や剥離を行うことができ、面精度を維持した状態
で受け渡しを行うことができ、金属箔等のような薄板で
あっても、精度の良い両面研磨を行うことを可能にす
る。

【００１３】また、本発明の第２の両面研磨方法によれ
ば、被研磨部材の第一面と第１研磨保持治具とを接着す
る第１接着剤を常温にて硬化する接着剤とし、その層を
切り代となりうるように十分に厚く形成して、研磨保持
治具に対する被研磨部材の受け渡し時に、厚さのある接
着剤層を機械的に切断するようにすることにより、被研
磨部材を研磨保持治具に接合する際や研磨保持治具から
剥離する際に、被研磨部材の他の面を接着固定している
接着、接合状態になんら悪影響を与えることなく接合や
剥離を行うことができ、面精度を維持した状態で受け渡
しを行うことができ、金属箔等のような薄板であって
も、精度の良い両面研磨を行うことを可能にする。

【００１４】以上のように、本発明によれば、例えば厚
みが１００μｍ以下の金属箔等の薄板であっても、両面
平行にかつ精度の良い両面研磨を行うことが可能とな
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１６】本発明の第１の両面研磨方法を図１に図示
する工程図に基づいて説明する。

【００１７】図１の（ａ）に示すように、先ず、両面を
研磨する厚み５０μｍの被研磨金属板１の片面を研磨す
るために、被研磨金属板１の第一面を第１研磨保持治具
２に接着する。この接着に際して、最初に、平坦な面を
備えた作業台３を加熱して、被研磨金属板１と第１研磨
保持治具２とを接着固定する第１の接着剤である熱可塑
性接着剤４の軟化点以上にし、そして、作業台３の平坦
な面上に被研磨金属板１を置きその温度をなじませる。
次に、加熱ヒーター１２によって第１研磨保持治具２を
加熱して熱可塑性接着剤４を着けて軟化させ、そして、
第１研磨保持治具２の平行を出すための基準面５（被研
磨金属板１を接着固定する面の反対側の面）を作業台３
の平坦な面に対して略平行になるように位置合わせし
て、被研磨金属板１と第１研磨保持治具２とを接着させ
る。このとき、第１研磨保持治具２は被研磨金属板１と
同材料を用いることにより、熱膨張差による接着時の歪
みを回避して固定することができる。また、被研磨金属
板１の両面を平行に研磨するためには、第１研磨保持治
具２において、被研磨金属板１を接着固定する面と基準
面５とが平行に作製されていることが好ましい。

【００１８】第１研磨保持治具２ごと冷却して熱可塑性
接着剤４が完全に硬化した後に、第１研磨保持治具２を
図１の（ｂ）に示すように研磨装置に装着し、被研磨金
属板１の第二面を研磨する。研磨装置は、図１の（ｂ）
に示すように、駆動手段（不図示）により回転軸７を介
して回転駆動される研磨面を有する研磨定盤６と、被研
磨金属板１を保持するとともに駆動手段（不図示）によ
り回転軸８を介して回転駆動される第１研磨保持治具２
とから構成され、第１研磨保持治具２に保持される被研
磨金属板１を研磨定盤６の研磨面上に押し付け、研磨定
盤６および被研磨金属板１をそれぞれの回転軸７、８を
介して回転させることにより、被研磨金属板１の被研磨
面（第二面）が研磨される。この第二面の研磨に際して
は、第１研磨保持治具２の基準面５を研磨定盤６の研磨
面に対して平行となるように装着し平行を保つようにし
て研磨を行う。この第二面の研磨は、被研磨金属板１の
表面に元々存在している凹凸を完全になくしかつ第１研
磨保持治具２の基準面５と完全に平行になった時点で完
了となる。このとき、被研磨金属板１の厚みは約４０μ
ｍとなった。

【００１９】この研磨工程における研磨定盤の研磨面と
研磨保持治具の基準面との平行の取り方の一例を図３を
用いて説明する。

【００２０】図３において、オートコリメータ３１は、
研磨装置から十分に離れて設置された平坦度の良い定盤
３２上に配置され、オートコリメータ３２から発せられ
る光線３３を被測定面に指向させるミラー３４が定盤３
１上を移動可能に設けられている。また、定盤３２に
は、光線３３を通す穴３２ａ、３２ｂが適宜あけられて
おり、穴３２ａは研磨定盤６の研磨面を測定する位置
に、穴３２ｂは第１研磨保持治具２の基準面を測定する
位置にそれぞれ設けられている。

【００２１】研磨定盤６の研磨面と第１研磨保持治具２
の基準面５とを平行に設定するためには、先ず、ミラー
３４を一点鎖線で示す位置（ａ）に移動させて、オート
コリメータ３２から発せられる光線３３をミラー３４を
介して研磨定盤６の研磨面に照射させて、研磨定盤６の
研磨面を測定し、その面の情報を得る。さらに、研磨定
盤６を回転させて研磨面が変動しないように調整する。
なお、研磨定盤６の研磨面は予め十分な平坦度に仕上げ
ておくことが必要である。次に、ミラー３４を実線で示
す位置（ｂ）に移動させて同様に第１研磨保持治具２の
基準面５を測定する。その後に、第１研磨保持治具２の
基準面５が先に測定した研磨定盤６の研磨面と平行とな
るように第１研磨保持治具２を調整し、さらに、基準面
５を回転させて面の振れがないように第１研磨保持治具
２を調整する。このようにして、研磨定盤６の研磨面と
第１研磨保持治具２の基準面５の平行を完全にすること
ができる。

【００２２】研磨工程によって被研磨金属板１の第二面
の研磨が完了すると、図１の（ｃ）に図示するように、
第一面の研磨を行うための第２研磨保持治具９を被研磨
金属板１の第二面に接着する。ここで、被研磨金属板１
と第２研磨保持治具９とを接着固定するために使用する
第２の接着剤１０として、硬化収縮が少なく、常温にて
硬化しかつ硬化後には十分な接着強度をもつ２液混合硬
化式のエポキシ系接着剤を用いる。この第２研磨保持治
具９の接着に際しては、最初の第二面を研磨する際に用
いた第１研磨保持治具２の基準面５と第２研磨保持治具
９の基準面１１とが完全に平行となるように接着を行う
必要がある。

【００２３】そして、被研磨金属板１の第二面と第２研
磨保持治具９とを接着する接着剤１０が完全に硬化した
後に、最初に接着してある被研磨金属板１の第一面と第
１研磨保持治具２とを剥離する。被研磨金属板１の第一
面と第１研磨保持治具２は前述したように熱可塑性接着
剤４で接着固定してあるので、これを剥離するために、
第１研磨保持治具２のみをヒーター１２で加熱する。こ
の際に、第２研磨保持治具９は冷却または常温に保持し
ておくことが望ましい。こうして第二面の研磨に用いた
第１研磨保持治具２が熱可塑性接着剤４の軟化点以上に
なったら、第１研磨保持治具２をすばやく取り外す。

【００２４】このように、被研磨金属板１と第２研磨保
持治具９との接合には常温にて硬化する２液混合硬化式
のエポキシ系接着剤を用いることにより、この接合時
に、熱可塑性接着剤である第１接着剤４およびその接合
状態に何ら悪影響を与えることがなく、被研磨金属板１
の研磨された第二面の面精度を維持することができる。
さらに、被研磨金属板１と第２研磨保持治具９との接合
後に被研磨金属板１から第１研磨保持治具２を剥離する
際に、第１研磨保持治具２を第１接着剤４の軟化点以上
に加熱するとしても、第２接着剤１０と第１接着剤４は
それぞれ硬化条件や剥離条件が異なっているために、第
２研磨保持治具９と被研磨金属板１との接合状態になん
ら悪影響を与えることなく、第１研磨保持治具２を取り
外すことができる。

【００２５】第１研磨保持具２を前述のように取り外す
ことにより、熱可塑性接着剤４は被研磨金属板１の表面
に数多く残るけれども、これらの接着剤４は切削や荒研
磨によって機械的に削り取ることができる。その際に、
接着剤４の残滓と被研磨金属板１を同時に削り、被研磨
金属板１の面が完全に表面に出るようにかつ第２研磨保
持治具９の基準面１１と被研磨金属板１の第一面が略平
行になるようにする（図１の（ｄ））。この荒研磨を行
った後に、被研磨金属板１の表面を洗浄する。

【００２６】その後に、第２研磨保持治具９を図１の
（ｅ）に図示するように研磨装置に装着して、精密な仕
上げ研磨を行う。この仕上げ研磨は、第２研磨保持治具
９の基準面１１と被研磨金属板１の第一面が完全に平行
になるように、そして、被研磨金属板１が所定の厚みと
なるまで、研磨する。本実施例では、厚み２０μｍとな
るように設定した。このように、被研磨金属板１が所定
の厚みと平行度を達成できたら、研磨を終了する。その
後に、例えば溶剤を用いて、被研磨金属板１の第二面と
第２研磨保持治具９とを剥離する（図１の（ｆ））。こ
のようにして、所定の厚みと平行な両面をもった所望の
金属薄板が得られる。

【００２７】以上のように、被研磨金属板１の第一面と
第１研磨保持治具２とを接着する第１接着剤４および被
研磨金属板１の第二面と第２研磨保持治具９とを接着す
る第２接着剤１０として、それぞれ、硬化条件と剥離条
件等の性質が全く異なる種類の接着剤を用いることによ
り、被研磨金属板を研磨保持治具に接合する際や研磨保
持治具から剥離する際に、被研磨金属板の他の面を接着
固定している接着や接合状態になんら悪影響を与えるこ
となく接合や剥離を行うことができ、両面平行にかつ精
度の良い両面研磨を行うことができる。

【００２８】なお、本実施例では、第１接着剤と第２接
着剤として、熱可塑性接着剤と２液混合式エポキシ系接
着剤とを用いたが、これらに限定されるものではない。
最初に研磨した第二面と第２研磨保持治具とを固定する
第２接着剤としては、常温硬化型のものがよく、例え
ば、主剤と硬化剤からなる２液混合硬化型や紫外線硬化
型、嫌気性硬化型等が挙げられる。また、最初に研磨保
持治具に接着する第１接着剤の例としては、熱可塑性接
着剤、水溶性接着剤等が挙げられる。

【００２９】次に、本発明の第２の両面研磨方法につい
て、図２に図示する工程図を用いて説明する。本実施例
は、研磨保持治具に対する被研磨金属板の受け渡しに際
して熱を加えることができない場合に特に有用である。
なお、本実施例において前述した実施例と同様の部材に
は同一符号を用いて説明する。

【００３０】図２の（ａ）に示すように、先ず、厚み５
０μｍの被研磨金属板１の片面を最初に研磨するため
に、常温で硬化して硬化収縮が少なくかつ硬化後に十分
な接着強度をもつ第１接着剤２１（例えば、２液混合型
のエポキシ系接着剤）を用いて、被研磨金属板１の第一
面を第１研磨保持治具２に接着する。このとき、接着剤
２１の厚みを５ｍｍ程度に厚くして、十分な硬化時間を
かけて完全に硬化させる。また、第１研磨保持治具２の
平行を出すための基準面５（被研磨金属板１を接着固定
する面の反対側の面）を作業台３の平坦な面に対して略
平行になるように位置合わせして固定する。

【００３１】その後に、第１研磨保持治具２を図２の
（ｂ）に示すように研磨装置に装着して、被研磨金属板
１の第二面を研磨する。この際に、第１研磨保持治具２
の基準面５と研磨定盤６の研磨面を確実に平行にして研
磨を行い、この第二面の研磨において、被研磨金属板１
の表面に元々存在している凹凸を完全になくすこと等
は、前述した実施例と同様である。

【００３２】こうして被研磨金属板１の第二面の研磨が
完了すると、図２の（ｃ）に示すように、第一面の研磨
を行うための第２研磨保持治具９を被研磨金属板１の第
二面に接着する。このときに用いる第２接着剤２２は、
第１接着剤２１と同様の、硬化収縮が少ない常温硬化型
でかつ硬化後には十分な接着強度をもつ接着剤である。
この第２接着剤２２は、被研磨金属板１の第一面と第１
研磨保持治具２とを接着固定する際に用いた第１接着剤
２１と違う性質のものである必要はなく、同じ接着剤を
用いても良い。この第２研磨保持治具９の接着に際して
は、前述した第１実施例と同様に、最初の第二面を研磨
する際に用いた第１研磨保持治具２の基準面５と第２研
磨保持治具９の基準面１１とが完全に平行となるように
接着を行う。

【００３３】そして、被研磨金属板１の第二面と第２研
磨保持治具９とを接着する第２接着剤２２が完全に硬化
した後に、図２の（ｄ）に示すように、最初に接着して
ある被研磨金属板１の第一面と第１研磨保持治具２とを
切り離す。この切り離しに際しては、５ｍｍほどの厚み
のある第１接着剤２１の層を機械的に切り取る。この第
１接着剤２１の厚みは、機械的に切り取ることができる
範囲の厚さとし、より具体的には鋸等の刃の厚み以上の
厚さであれば良い。第１接着剤層を切り取った後に、被
研磨金属板１の第一面に残っている接着剤２１は切削ま
たは荒研磨等の手法にて機械的に削り取る（図２の
（ｅ））。この段階で荒研磨を行って、被研磨金属１と
接着剤の残滓を同時に削り、被研磨金属板面が完全に表
面に出るようにかつ第２研磨保持治具９の基準面１１と
被研磨金属板１の第一面が略平行になるようにする。

【００３４】その後の工程は、図２には図示しないけれ
ども、前述した実施例と同様であって、第２研磨保持治
具９を研磨装置に装着して、被研磨金属板１の第一面の
仕上げ研磨を行い、第２研磨保持治具９の基準面１１と
被研磨金属板１の第一面が完全に平行になるようにそし
て被研磨金属板１が所定の厚みとなるまで研磨する。研
磨終了後に、例えば溶剤を用いて、被研磨金属板１の第
二面と第２研磨保持治具９とを剥離する。このようにし
て、所定の厚みと平行な両面をもつ所望の金属薄板が得
られる。

【００３５】以上のように、本実施例においては、第１
接着剤と第２接着剤として、必ずしも異種の接着剤とす
る必要はなく、特に、第１接着剤を常温にて硬化する接
着剤とし、その層を切り代となりうるように厚く形成し
て、研磨保持治具に対する被研磨金属板の受け渡し時
に、厚みのある接着剤層を機械的に切断することによ
り、被研磨金属板を研磨保持治具に接合する際や研磨保
持治具から剥離する際に、被研磨金属板の他の面を接着
固定している接着、接合状態になんら悪影響を与えるこ
となく、接合や剥離を行うことができ、さらに、第１お
よび第２接着剤として共に常温で硬化する接着剤を用い
ることによって熱を加えることなく研磨保持治具に対す
る被研磨金属板の受け渡しを行うことができ、両面平行
でかつ精度の良い両面研磨を行うことができる。

【００３６】また、第１接着剤層を十分な厚みに形成す
るために、補助材料を接着と同時に固めると、硬化収縮
等の影響を減らしてより接着剤層の厚みを正確に確保し
て接着できる。例えば、樹脂製のハニカム構造体を接着
剤で固め込んでもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の両
面研磨方法によれば、第１接着剤および第２接着剤とし
て、それぞれ、硬化条件と剥離条件等の性質が全く異な
る種類の接着剤を用いることにより、被研磨部材を研磨
保持治具に接合する際や研磨保持治具から剥離する際
に、被研磨部材の他の面を接着固定している接着や接合
状態になんら悪影響を与えることなく接合や剥離を行う
ことができ、面精度を維持した状態で受け渡しを行うこ
とが可能となり、両面平行にかつ精度の良い両面研磨を
行うことができる。

【００３８】また、本発明の第２の両面研磨方法によれ
ば、被研磨部材の第一面と第１研磨保持治具とを接着す
る第１接着剤を常温にて硬化する接着剤とし、その層を
切り代となりうるように十分に厚く形成して、研磨保持
治具に対する被研磨部材の受け渡し時に、厚さのある接
着剤層を機械的に切断するようにすることにより、被研
磨部材を研磨保持治具に接合する際や研磨保持治具から
剥離する際に、被研磨部材の他の面を接着固定している
接着、接合状態になんら悪影響を与えることなく接合や
剥離を行うことができ、面精度を維持した状態で受け渡
しを行うことが可能となり、両面平行にかつ精度の良い
両面研磨を行うことができる。

【００３９】以上のように、本発明によれば、例えば厚
みが１００μｍ以下の金属箔等の薄板であっても、両面
平行にかつ精度の良い両面研磨を行うことが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の両面研磨方法を示す工程図であ
る。

【図２】本発明の第２の両面研磨方法を示す工程図であ
る。

【図３】本発明の両面研磨方法における研磨の際に研磨
面と研磨保持治具の基準面の平行を得る方法例を示す概
略図である。

【符号の説明】

１ 被研磨金属板（被研磨部材） ２ 第１研磨保持治具 ３ 作業台 ４ 第１接着剤 ５ 基準面 ６ 研磨定盤 ９ 第２研磨保持治具 １０ 第２接着剤 １１ 基準面 １２ 加熱ヒーター ２１ 第１接着剤 ２２ 第２接着剤 ３１ オートコリメータ ３２ 定盤 ３４ ミラー

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨部材の第一面を第１の研磨保持治
   具に接着固定して被研磨部材の第二面の研磨を行い、研
   磨された被研磨部材の第二面を第２の研磨保持治具に接
   着固定した後に、被研磨部材の第一面と第１の研磨保持
   治具とを取り外し、被研磨部材の第一面の研磨を行う両
   面研磨方法において、 被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを接着する
   際に用いる接着剤と、被研磨部材の第二面と第２研磨保
   持治具とを接着する際に用いる接着剤とは、それぞれ硬
   化条件と剥離条件が全く異なる種類の接着剤であること
   を特徴とする両面研磨方法。
2. 【請求項２】 被研磨部材の第二面と第２研磨保持治具
   とを接着する際に用いる接着剤が常温にて硬化する性質
   をもつ接着剤であることを特徴とする請求項１記載の両
   面研磨方法。
3. 【請求項３】 被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治
   具とを接着する際に用いる接着剤が熱可塑性接着剤また
   は水溶性接着剤であることを特徴とする請求項１または
   ２記載の両面研磨方法。
4. 【請求項４】 被研磨部材の第一面を第１の研磨保持治
   具に接着固定して被研磨部材の第二面の研磨を行い、研
   磨された被研磨部材の第二面を第２の研磨保持治具に接
   着固定した後に、被研磨部材の第一面と第１の研磨保持
   治具とを取り外し、被研磨部材の第一面の研磨を行う両
   面研磨方法において、 被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治具とを接着する
   際に用いる接着剤を切り代となりうるような十分な接着
   厚みをもたせて硬化接着させることを特徴とする両面研
   磨方法。
5. 【請求項５】 被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治
   具との取り外しは、被研磨部材の第一面と第１の研磨保
   持治具とを接着固定する十分な接着厚みを有する接着剤
   層を機械的に切断して行うことを特徴とする請求項４記
   載の両面研磨方法。
6. 【請求項６】 被研磨部材の第一面と第１の研磨保持治
   具とを接着する際に用いる接着剤が常温にて硬化する性
   質をもつ接着剤であることを特徴とする請求項４または
   ５記載の両面研磨方法。
7. 【請求項７】 被研磨部材の第二面と第２研磨保持治具
   とを接着する際に用いる接着剤が常温にて硬化する性質
   をもつ接着剤であることを特徴とする請求項４ないし６
   のいずれか１項に記載の両面研磨方法。
8. 【請求項８】 前記被研磨部材が薄板であることを特徴
   とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の両面研
   磨方法。
9. 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれか１項に記載
   の両面研磨方法によって両面研磨されていることを特徴
   とする薄板。