JP2002078102A - 無人搬送装置 - Google Patents

無人搬送装置

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JP2002078102A JP2000251729A JP2000251729A JP2002078102A JP 2002078102 A JP2002078102 A JP 2002078102A JP 2000251729 A JP2000251729 A JP 2000251729A JP 2000251729 A JP2000251729 A JP 2000251729A JP 2002078102 A JP2002078102 A JP 2002078102A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 故障した無人搬送車を走行レールの任意位置
から吊り上げ撤去することができる無人搬送装置を提供
すること。 【解決手段】 走行レール1に沿って配設した高周波電
流を流す給電線2と、無人搬送車側に設けた給電コイル
4を介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車に給電す
るようにした無人搬送装置において、無人搬送車3に、
給電コイル4を給電線2から後退させる後退機構を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、無人搬送装置に関
し、特に、給電コイルを給電線から後退可能とすること
により、故障した無人搬送車を走行レールの任意位置か
ら吊り上げ撤去することができる無人搬送装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体等の製造ラインにおいて
は、部品等の必要部材を搬送するために、無人搬送車を
クリーンルーム内の製造ラインに沿って自力走行するよ
うに配置している。この際、無人搬送車が走行するとき
の発塵を可能な限り抑制するために、無人搬送車に対し
電磁誘導によって非接触で給電するようにしている。
【0003】また、この非接触給電を効率的に行うた
め、図4に示すように、走行レール1に沿って配設した
給電線2に可及的に近接した状態で、給電コイル4を無
人搬送車3側に固定している。具体的には、無人搬送車
3下部の両側で、走行レール1から側方に突出するよう
に支持された給電線2が、給電コイル4のE型コアの溝
を挿通するように位置決めされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
無人搬送装置においては、無人搬送車が走行中に故障し
た場合、給電コイル4のコア内部を挿通する給電線がコ
アと干渉することから、その位置で走行レールから無人
搬送車を上方に吊り上げて撤去することができず、故障
した無人搬送車を待避位置まで移動させた後、走行レー
ルから撤去して修理を行う必要がある。このため、修理
に必要以上の手数を要するとともに、故障した無人搬送
車を撤去するまでは他の無人搬送車の走行ができないこ
とから、搬送装置全体が停止するという問題があった。
【0005】本発明は、上記従来の無人搬送装置が有す
る問題点に鑑み、給電コイルを給電線から後退可能とす
ることにより、故障した無人搬送車を走行レールの任意
位置から吊り上げ撤去することができる無人搬送装置を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の無人搬送装置は、走行レールに沿って配設
した高周波電流を流す給電線と、無人搬送車側に設けた
給電コイルを介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車
に給電するようにした無人搬送装置において、無人搬送
車に、給電コイルを給電線から後退させる後退機構を設
けたことを特徴とする。
【0007】この無人搬送装置は、無人搬送車が故障し
た場合でも、給電コイルを給電線から後退させられるこ
とから、給電線と給電コイルが干渉することなく、その
場で故障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤
去することができ、これにより、他の無人搬送車に影響
を与えることなく、安定した搬送作業を継続することが
できる。
【0008】この場合において、給電コイルを、走行方
向と直交して水平に設けた給電コイル支持軸に対し、そ
の軸方向に沿って摺動可能とし、所定位置にて固定でき
るようにすることができる。
【0009】これにより、給電コイルを給電線から後退
させる後退機構を簡易に構成することができる。
【0010】また、走行レールのカバーを、L字形に屈
曲形成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成し
た挿入溝に挿入して係止するようにすることができる。
【0011】これにより、故障した無人搬送車を走行レ
ールから吊り上げて撤去する際に支障となる走行レール
のカバーを、走行レールから簡単に取り外すことができ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の無人搬送装置の実
施の形態を図面に基づいて説明する。
【0013】図1〜図3に、本発明の無人搬送装置の一
実施例を示す。この無人搬送装置は、図1〜図2に示す
ように、走行レール1に沿って配設した高周波電流を流
す給電線2と、無人搬送車3側に設けた給電コイル(図
示省略)を介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車3
に給電するように構成されている。
【0014】この無人搬送装置の走行レール1は箱形を
しており、この走行レール1の空洞内に給電線2が張架
配設されている。給電線2は、走行レール1の左側面と
右側面にそれぞれ相対するように配設することにより、
図3に示すように、走行レール1が分岐するような場合
でも、その分岐点において、電力が中断されることなく
左右いずれかの給電線2、2より、継続的に給電するこ
とができる。そして、この左右に相対する給電線2、2
間の幅Wを、無人搬送車3のガイド車輪32、32間の
幅Woよりも大となるように設定し、無人搬送車の吊り
上げ撤去時においても、ガイド車輪32が給電線2、2
に接触しないようにする。
【0015】なお、走行レール1には、走行レール内で
発生する塵埃がクリーンルーム内へ漏洩しないように、
カバー13が配設されている。このカバー13は、L字
形に屈曲形成され、その垂片下端を走行レール1の外側
面に形成した挿入溝14に落とし込むように挿入して係
止し、これによりカバー13を走行レール1から簡単に
取り外し、取り付けが行えるようにしている。
【0016】一方、無人搬送車3は、下部に、走行車輪
31とガイド車輪32とを備え、前記箱形の走行レール
1の内底面に沿って配設されたレール11に走行車輪3
1が接触するようにしている。また、走行レール1の左
右の内側面12でガイド車輪32を接触させ、これによ
り無人搬送車3が走行レール1に沿って安定して走行で
きるようにしている。
【0017】無人搬送車3の下部両側には、給電コイル
4がそれぞれ配設されている。これらの給電コイル4、
4はE型を呈し、給電コイル支持軸41によって、溝が
側方に開口するように支持されている。そして、無人搬
送車3の両側で、走行レール1から側方に突出するよう
に支持された給電線2、2が、給電コイル4、4のE型
コアの溝をそれぞれ挿通するように位置決めされてい
る。
【0018】この場合、この無人搬送装置では、給電コ
イル4、4を給電線2、2から後退させる後退機構を設
けている。この後退機構は、各給電コイル4、4を、走
行方向と直交して水平に設けた給電コイル支持軸41に
対し、その軸方向に沿って摺動可能とし、所定位置にて
固定できるようにしている。具体的には、図1に示すよ
うに、給電コイル4のフレーム42にクランプ43を突
設し、このクランプ43に給電コイル支持軸41を摺動
可能に貫通させ、セットボルト44にて締結できるよう
にしている。これにより、図2に示すように、給電コイ
ル4、4を、給電線2、2と上下に重ならない位置まで
後退させることができ、給電線2と給電コイル4が干渉
することなく、その場で故障した無人搬送車3を走行レ
ール1から吊り上げることができる。
【0019】以下、本実施例の無人搬送装置の作用につ
いて説明する。走行レール1に沿って無人搬送車3が自
動走行する際、走行レール1の内側面に張架された給電
線2、2から無人搬送車3側の給電コイル4、4に電磁
誘導により非接触で給電される。通常走行時において
は、左右に相対する給電線2、2より給電されるが、図
3に示すような走行レール1の分岐点7においては、左
右の給電線2、2のいずれか一方から給電され、安定し
た走行が行われる。そして、無人搬送車3は自動走行
し、目的地に到着すると停車し、停車位置の上にあるカ
セット5は、移載機6により持ち上げられ指定の位置に
移動される。
【0020】ところで、この搬送作業時に無人搬送車3
に故障が生じる場合がある。この場合、無人搬送車3が
故障した位置で、無人搬送車3の吊り上げ撤去時に支障
となる箇所のカバー13を取り外す。このカバー13の
取り外しは、カバー13を挿入溝14内より持ち上げる
ことにより、簡単に行うことができる。
【0021】次に、この取り外したカバー13の開口部
からセットボルト44を弛め、給電コイル4、4を、給
電コイル支持軸41に沿って給電線2、2と反対側に後
退させ、この後退位置で再びセットボルト44を締結
し、給電コイル4、4を給電コイル支持軸41に固定す
る。これにより、左右に相対する給電コイル4、4の出
幅が、左右に相対して配設した給電線2、2間の幅Wよ
りも小となり、その結果、故障した無人搬送車3を、走
行レールから給電線2、2と接触させることなく吊り上
げて、撤去することができる。
【0022】そして、故障した無人搬送車3を所定の保
守点検位置まで搬送し、この位置で修理する。これによ
り、後行する他の無人搬送車3の走行に支障を与えない
ようすることができる。また、故障した無人搬送車3
は、修理が完了した時点で、上記と逆の手順により、再
び走行レール1に復帰させることができる。
【0023】以上、本発明の無人搬送装置について、そ
の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に
記載した構成に限定されるものではなく、例えば、給電
コイルの後退機構を、ボールナット、エアシリンダ、ピ
ニオンラック等を用いて構成することにより動作を自動
化する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その
構成を変更することができるものである。
【0024】
【発明の効果】本発明の無人搬送装置によれば、無人搬
送車が故障した場合でも、給電コイルを給電線から後退
させられることから、給電線と給電コイルが干渉するこ
となく、その場で故障した無人搬送車を走行レールから
吊り上げて撤去することができ、これにより、他の無人
搬送車に影響を与えることなく、安定した搬送作業を継
続することができる。
【0025】また、給電コイルを、走行方向と直交して
水平に設けた給電コイル支持軸に対し、その軸方向に沿
って摺動可能とし、所定位置にて固定できるようにする
ことにより、給電コイルを給電線から後退させる後退機
構を簡易に構成することができる。
【0026】また、走行レールのカバーを、L字形に屈
曲形成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成し
た挿入溝に挿入して係止するようにすることにより、故
障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤去する
際に支障となる走行レールのカバーを、走行レールから
簡単に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無人搬送装置の一実施例を示し、
(A)は無人搬送車と走行レールの拡大断面図、(B)
は給電コイルの取付部を示す部分拡大図である。
【図2】同実施例において故障した無人搬送車の撤去順
序を示す説明図である。
【図3】同実施例の無人搬送装置を示す部分斜視図であ
る。
【図4】従来の無人搬送装置の断面図である。
【符号の説明】
1 走行レール 11 レール 12 走行レール内側面 13 カバー 14 挿入溝 2 給電線 3 無人搬送車 31 走行車輪 32 ガイド車輪 33 下部フレーム 4 給電コイル 41 給電コイル支持軸 42 フレーム 43 クランプ 44 セットボルト 5 カセット 6 移載機 7 分岐点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B65G 1/00 501 B65G 1/00 501C 35/00 35/00 B 49/02 49/02 G H01L 21/68 H01L 21/68 A

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 走行レールに沿って配設した高周波電流
    を流す給電線と、無人搬送車側に設けた給電コイルを介
    し、電磁誘導により非接触で無人搬送車に給電するよう
    にした無人搬送装置において、無人搬送車に、給電コイ
    ルを給電線から後退させる後退機構を設けたことを特徴
    とする無人搬送装置。
  2. 【請求項2】 給電コイルを、走行方向と直交して水平
    に設けた給電コイル支持軸に対し、その軸方向に沿って
    摺動可能とし、所定位置にて固定できるようにしたこと
    を特徴とする請求項1記載の無人搬送装置。
  3. 【請求項3】 走行レールのカバーを、L字形に屈曲形
    成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成した挿
    入溝に挿入して係止するようにしたことを特徴とする請
    求項1又は2記載の無人搬送装置。
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