JP2002060239A - ガラス用成形型 - Google Patents

ガラス用成形型

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス用成形型において、型の母材と離型膜
との間の相互拡散を防止することによって、離型膜の離
型性を長期間に渡って維持する。 【解決手段】 母材1の上に、拡散防止膜2が被覆さ
れ、その上に離型膜3が被覆されている。この例では、
母材1は、炭化タングステン(WC)の焼結体で構成さ
れている。この母材1の中には、炭化チタン(TiC)
が3wt%含まれているが、金属系のバインダは含まれ
ていない。拡散防止膜2は、ニオブ(Nb)をスパッタ
法により厚さ0.05μmで被覆したものである。離型
膜3は、白金(Pt)とイリジウム(Ir)の合金をス
パッタ法により厚さ0.3μmで被覆したものである。
なお、拡散防止膜2として、Nbの他に、Ta、Hf、
Zr、Re、Ir、Mo、Rh、Ru、Osなどの高融
点金属を使用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスのプレス成
形の際に使用される成形型に係り、特に、型の表面に被
覆されるコーティング膜の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、ガラス製の光学部品などを製
造する際、プレス成形法が広く採用されている。この方
法では、ガラスを転移点近傍の温度まで加熱した後、成
形型を用いて上下からプレス成形することによって、型
の形状をガラスに転写している。ガラスのプレス成形に
用いられる成形型には、表面の鏡面加工が可能で、高温
強度が高く、ガラスの離型性に優れているなどの特性が
要求される。
【0003】一般的な成形型として、例えば、炭化タン
グステン(WC)の焼結体の表面に、耐酸化性に優れた
貴金属の離型膜を被覆したものが用いられている。炭化
タングステンの焼結体には、バインダとしてコバルトま
たはニッケルが使用されることが多い。これらのバイン
ダの金属は、プレス成形の際に繰り返し加熱されること
によって、離型膜中の貴金属との間で相互に拡散を起こ
す。その結果、離型膜の組成が変化し、外観上では型の
表面が曇り始めるとともに、次第にガラスが融着し易く
なる。このように、離型膜の中へバインダの金属が拡散
することが、成形型の寿命を短くする要因の一つとなっ
ている。
【0004】このような問題を解決するため、特開平7
−2533号公報及び特開平10−194754公報に
は、バインダを含まない炭化タングステン焼結体を用い
たガラス用成形型が記載されている。このように、バイ
ンダを含まない炭化タングステン焼結体で成形用型を製
作することによって、離型膜の中へのバインダの金属の
拡散を防止することができる。
【0005】しかし、成形用型の母材としてバインダを
含まない炭化タングステンを用いても、母材中のタング
ステンと離型膜との間の相互拡散を防ぐことはできな
い。このため、タングステンが離型膜を通って離型膜の
表面まで到達し、そこで酸化物を形成する。その結果、
外観変化として型の表面が曇るようになるとともに、離
型性が低下してガラスの融着を招くことがあった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の様な
従来のガラス用成形型の問題点に鑑み成されたもので、
本発明の目的は、型の母材と離型膜との間の相互拡散を
防止することによって、離型膜の離型性を長期間に渡っ
て維持することができるガラス用成形型を提供すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス用成形型
は、表面が離型膜によって被覆されたガラス用成形型に
おいて、母材と離型膜との間に、離型膜中への母材の第
一成分元素の拡散を防止する拡散防止膜が設けられてい
ることを特徴とする。
【0008】本発明のガラス用成形型によれば、前記拡
散防止膜を、その中での母材の第一成分元素(構成元素
の内、重量比で表した組成が最も高い元素)の拡散速度
が著しく遅い材料で形成することによって、母材の第一
成分元素の拡散による離型膜の変質を防ぎ、離型膜の離
型性を長期間に渡って維持することができる。
【0009】このような拡散防止膜は、例えば、温度を
摂氏で表示した場合に、その融点がガラスの成形温度の
2.6倍以上である高融点金属によって構成することが
できる。
【0010】なお、前記拡散防止膜を、成形型及び離型
膜の材料に対応させて、互いに組成が異なる複数の層か
ら形成しても良い。
【0011】なお、前記拡散防止膜は、その熱膨張係数
が成形型と離型膜の熱膨張係数の間の値であることが好
ましい。
【0012】前記母材がWCの焼結体によって構成され
る場合、前記拡散防止膜を、Ta、Nb、Re、Os、
Ru、Ir、Zr、Mo、Rh及びHfのグループの中
から選ばれた少なくとも一種の金属から構成することが
できる。
【0013】なお、前記拡散防止膜が、離型性を備えて
いる場合には、その上に更に離型膜を形成する必要はな
い。
【0014】
【発明の実施の形態】図1に、本発明に基づくガラス成
形用の型の型面部分の断面構造の一例を示す。母材1の
上には、拡散防止膜2が被覆され、その上に離型膜3が
被覆されている。この例では、母材1は、炭化タングス
テン(WC)の焼結体である。拡散防止膜2は、ニオブ
(Nb)のスパッタ膜であり、離型膜3は、白金(P
t)とイリジウム(Ir)の合金のスパッタ膜である。
【0015】なお、拡散防止膜2の材料としては、ニオ
ブ(Nb)の他に、ジルコニウム(Zr)、ルテニウム
(Ru)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、レ
ニウム(Re)、オスミウム(Os)、モリブデン(M
o)、ロジウム(Rh)またはイリジウム(Ir)の単
体またはそれらの合金を使用することができる。
【0016】次に、各種の拡散防止膜2が設けられたガ
ラス成形用の型を試作し、その性能を比較した結果につ
いて説明する。なお、成形型は円盤状で、直径が34m
m、厚さが7.5mmである。母材1は、炭化タングス
テン(WC)の焼結体で構成されている。この母材1の
中には、炭化チタン(TiC)が3wt%含まれている
が、金属系のバインダ(例えば、ニッケル、コバルトな
ど)は含まれていない。母材1の表面を鏡面研磨で仕上
げた後、その上に、以下の様に、拡散防止膜2及び離型
膜3を形成して、以下に示す6種類の成形型(比較用の
従来品1種類を含む)製作した。
【0017】(供試体A)母材1の上に、ニオブ(N
b)をスパッタ法により厚さ0.05μmで被覆して、
拡散防止膜2を形成した。その上に、白金(Pt)とイ
リジウム(Ir)の合金(Pt:40wt%、Ir:6
0wt%)をスパッタ法により厚さ0.3μmで被覆し
て、離型膜3を形成した。
【0018】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Nbの融点 :2469℃ Pt−Irの融点 :2176℃ 成形温度 : 700℃ (Nbの融点/成形温度) :3.5 (Pt−Irの融点/成形温度):3.1 (供試体B)母材1の上に、モリブデン(Mo)をスパ
ッタ法により厚さ0.05μmで被覆して、拡散防止膜
2を形成した。その上に、白金(Pt)とイリジウム
(Ir)の合金(Pt:40wt%、Ir:60wt
%)をスパッタ法により厚さ0.3μmで被覆して、離
型膜3を形成した。
【0019】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Moの融点 :2623℃ Pt−Irの融点 :2176℃ 成形温度 : 700℃ (Moの融点/成形温度) :3.7 (Pt−Irの融点/成形温度):3.1 (供試体C)母材1の上に、ハフニウム(Hf)をスパ
ッタ法により厚さ0.02μmで被覆し、更にその上
に、ニオブ(Nb)をスパッタ法により厚さ0.03μ
mで被覆して、二層から成る拡散防止膜2を形成した。
その上に、白金(Pt)とイリジウム(Ir)の合金
(Pt:40wt%、Ir:60wt%)をスパッタ法
により厚さ0.3μmで被覆して、離型膜3を形成し
た。
【0020】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Hfの融点 :2231℃ Nbの融点 :2469℃ Pt−Irの融点 :2176℃ 成形温度 : 700℃ (Hfの融点/成形温度) :3.2 (Nbの融点/成形温度) :3.5 (Pt−Irの融点/成形温度):3.1 (供試体D)母材1の上に、タンタル(Ta)をスパッ
タ法により厚さ0.05μmで被覆して、拡散防止膜2
を形成した。その上に、レニウム(Re)とイリジウム
(Ir)の合金(Re:50wt%、Ir:50wt
%)をスパッタ法により厚さ0.3μmで被覆して、離
型膜3を形成した。
【0021】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Taの融点 :3020℃ Re−Irの融点 :2805℃ 成形温度 : 700℃ (Taの融点/成形温度) :4.3 (Re−Irの融点/成形温度):4.0 (供試体E)母材1の表面に、イオン注入法によりレニ
ウム(Re)イオン及びイリジウム(Ir)イオンを注
入した後(40〜10keV、それぞれ5×1017
ons/cm)、その上に、レニウムとイリジウムの
合金(Re:50wt%、Ir:50wt%)をスパッ
タ法により厚さ0.3μmで被覆して、拡散防止膜を兼
ねる離型膜3を形成した。
【0022】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Re−Irの融点 :2805℃ 成形温度 : 700℃ (Re−Irの融点/成形温度):4.0 (供試体F:従来品)比較のため、下記条件で従来の方
式による成形型を製作した。母材1の上に、ニッケル
(Ni)をスパッタ法により厚さ0.05μmで被覆し
て、中間膜(拡散防止膜2)を形成した。その上に、白
金(Pt)とイリジウム(Ir)の合金(Pt:40w
t%、Ir:60wt%)をスパッタ法により厚さ0.
3μmで被覆して、離型膜3を形成した。
【0023】なお、この場合の各種パラメータは以下の
通りである: Niの融点 :1455℃ Pt−Irの融点 :2176℃ 成形温度 : 700℃ (Niの融点/成形温度) :2.1 (Pt−Irの融点/成形温度):3.1 (比較テスト結果)以上の各成形型を用いてガラス製の
光学素子の成形を行い、拡散防止膜2による効果を調べ
た。図2に、このときのガラスの成形サイクルのパター
ンを示す。なお、この場合の成形条件は以下の通りであ
る: ガラスの品名 :BK−7 成形温度(窒素雰囲気):700℃ プレス力(成形時) :500kgf プレス力(冷却時) :100kgf プレス時間 :30秒。
【0024】先ず、金型の酸化を抑えるために、10リ
ットル/min.の窒素ガスを流しながら、成形温度ま
で金型を加熱する(A→B)。更に、ガラスの温度が成
形温度に達するまで金型温度を保持する(B→C)。ガ
ラスが成形温度に達した後、500kgfの荷重でガラ
スをプレスして、金型形状を転写する(C→D)。プレ
ス終了後、窒素ガス流量を260リットル/min.に
増やして、ガラス及び金型を冷却する(D→E)。この
際に、ガラスが高温の時にガラスと金型を離すと、金型
の雛型膜が剥離し易くなるので、金型の温度が300℃
になるまで100kgfの荷重を加えながら冷却する。
最後に、荷重を零にして金型の温度が220℃になった
ときに、成形されたガラスを取り出す(E→F)。
【0025】上記の条件でガラスの成形を繰り返し実施
したところ、供試体A〜Eを使用した場合には、いずれ
も、500ショット後においても型表面に曇りが発生せ
ず、成形型の離型性にも変化が認められなかった。一
方、供試体F(従来品)を使用した場合には、5ショッ
ト後から型表面が曇り始め、53ショット後にガラスの
融着が認められた。
【0026】表1に、供試体A及び供試体Fについての
試験結果を示す。
【0027】
【表1】
【0028】成形後の金型表面をX線光電子分光法で分
析した結果、供試体F(従来品)の表面からは母材成分
のWが酸化物として確認された。これに対して、供試体
Aの表面からはWがほとんど検出されなかった。ここ
で、ある温度T(℃)での拡散防止膜(中間膜)の金属
内におけるWの拡散係数D(cm/sec)はTm/
T(Tmは拡散防止膜(中間膜)の金属の融点(℃))
と相関があり、Tm/Tの値が大きいほどWの拡散は遅
くなる。従って、表1に示すようにTm/Tの小さな供
試体Fは、早い段階でWが拡散したと考えられる。その
結果、型表面でW酸化物が形成されて型表面が白く曇
り、雛型性が低下した。一方、Tm/Tの大きな供試体
Aは、拡散防止膜中におけるWの拡散が遅いため、長時
間離型性を保つことができる。
【0029】
【発明の効果】本発明によれば、離型膜中への型の母材
の主要構成元素の拡散を防止することによって、ガラス
用成形型の寿命を延ばすことができる。その結果、ガラ
ス製光学素子の製造コストを引き下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づくガラス用成形型の型面部分の断
面構造の一例を示す図。
【図2】比較試験の際のガラスの成形サイクルのパター
ンを示す図。
【符号の説明】
1・・・母材、 2・・・拡散防止膜、 3・・・離型膜。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面が離型膜によって被覆されたガラス
    用成形型において、母材と離型膜との間に、離型膜中へ
    の母材の第一成分元素の拡散を防止する拡散防止膜が設
    けられていることを特徴とするガラス用成形型。
  2. 【請求項2】 前記拡散防止膜は、温度を摂氏で表示し
    た場合に、その融点がガラスの成形温度の2.6倍以上
    である高融点金属によって構成されていることを特徴と
    する請求項1に記載のガラス用成形型。
  3. 【請求項3】 前記拡散防止膜は、互いに組成が異なる
    複数の層から形成されていることを特徴とする請求項2
    に記載のガラス用成形型。
  4. 【請求項4】 前記母材は、WCの焼結体によって構成
    され、 前記拡散防止膜は、Ta、Nb、Re、Os、Ru、I
    r、Zr、Mo、Rh及びHfのグループの中から選ば
    れた少なくとも一種の金属から構成されていることを特
    徴とする請求項2に記載のガラス用成形型。
  5. 【請求項5】 表面が離型膜によって被覆されたガラス
    用成形型において、前記離型膜は、温度を摂氏で表示し
    た場合に、その融点がガラスの成形温度の2.6倍以上
    である高融点金属によって構成されていることを特徴と
    するガラス用成形型。
  6. 【請求項6】 前記離型膜は、互いに組成が異なる複数
    の層から形成されていることを特徴とする請求項5に記
    載のガラス用成形型。
  7. 【請求項7】 前記母材は、WCの焼結体によって構成
    され、 前記離型膜は、Ta、Nb、Re、Os、Ru、Ir、
    Zr、Mo、Rh及びHfのグループの中から選ばれた
    少なくとも一種の金属から構成されていることを特徴と
    する請求項5に記載のガラス用成形型。
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