KR100702963B1 - 유리 성형용 금형 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 관한 유리 성형용 금형은 표면에 금속 중간층이 형성되는 모재와, 금속 중간층 표면에 형성되는 질화물 확산방지막과, 질화물 확산방지막 표면에 형성되는 금속박막을 포함한다. 확산방지막은 고온 환경에서도 화학적으로 안정하며 기계적 성질이 뛰어난 질화물을 포함하므로 산화방지성능과 확산저항성능이 개선되어 유리 성형용 금형의 수명이 향상되는 효과가 있다.

Description

유리 성형용 금형 및 그 제조방법{Die for press forming of glass and method of manufacturing the same}
도 1는 본 발명의 일 실시예에 관한 유리 성형용 금형의 일부 단면을 도시하는 부분단면도이다.
도 2는 본 발명의 실험예에 관한 유리 성형용 금형 표면의 전자현미경 사진이다.
도 3은 비교예에 관한 유리 성형용 금형 표면의 전자현미경 사진이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 모재
2: 금속 충간층
3: 제1 혼합층
4: 질화물 확산방지막
5: 제2 혼합층
6: 금속박막
본 발명은 유리 성형용 금형 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 질화물을 포함하는 확산방지막을 구비하여 이형박막의 수명이 증가된 유리 성형용 금형 및 그 제조방법에 관한 것이다.
유리 렌즈의 제조에는 프레스 성형법이 널리 사용되고 있다. 프레스 성형법은 초정밀 가공된 금속재 금형의 표면에 유리 고상물을 올려 놓고 열과 압력을 가하여 성형하는 방법이다. 전통적 제조법인 연마법은 생산성이 매우 낮지만, 프레스 성형법에 의하면 짧은 시간에 초정밀 렌즈를 성형할 수 있어 렌즈의 대량 생산을 가능하게 한다.
일반적으로 프레스 성형법에 사용되는 금형은 금속 또는 합금 재질의 모재와, 귀금속을 주성분으로 하는 이형박막과, 모재와 이형박막의 밀착력을 향상시키는 금속 중간층으로 이루어진다.
프레스 성형법을 이용해 렌즈를 대량 생산하기 위해서는, 성형된 렌즈에 손상을 가하지 아니하면서도 금형으로부터 렌즈를 신속히 분리하고, 다음 렌즈를 성형하는 일련의 공정이 연속적으로 이루어져야 한다. 이를 위해 금형의 표면에는 유리에 대한 이형성이 우수한 이형박막이 코팅된다. 이형박막으로는 이리듐(Ir), 백금(Pt), 레늄(Re), 오스미윰(Os), 루비듐(Ru) 등의 귀금속을 주성분으로 하는 합금박막 또는 다이아몬드상 카본 박막(DLC; diamond like carbon) 등이 사용된다.
이형박막은 이형성이 우수하기 때문에 모재와의 밀착력도 현저히 낮다. 따라서 밀착력을 향상시키기 위한 목적으로 모재와 이형박막 사이에 중간층이 설치된다. 중간층은 모재와 이형박막 사이에 증착되는 Cr, Ti, W, Zr 등의 금속층으로 이 루어진다.
금형의 전체 수명은 이형박막의 수명에 의해 결정된다. 그런데 유리 렌즈의 성형 시 금형 및 이형박막은 고온에 반복적으로 노출되기 때문에 모재 및 중간층 금속원소가 확산하는 현상이 발생한다. 이형박막 내의 비귀금속 원소의 비율이 증가하는 현상이 표면까지 확산된다면 유리와 금형 표면 사이의 이형 작용을 방해하는 요인이 되어 금형의 수명이 단축된다.
이와 같은 문제를 해결하기 위해서 금형의 모재와 이형박막 사이에 확산방지막을 설치하는 기술이 알려져 있다. 한국 등록특허공보 제428485호와 미국 공개특허공보 제2002-2844호에는 금형 모재의 성분원소가 모재의 밖으로 확산하는 것을 방지하는 확산방지막을 코팅하고, 확산방지막 위에 이형박막을 코팅함으로써 이형박막의 수명을 연장시키는 기술이 개시되어 있다.
이들 기술이 소개하는 확산방지막은 융점이 높은 금속원소인 니오븀(Nb) 또는 몰리브덴(Mo) 중 어느 하나의 금속으로 이루어진다. 금속원소의 확산계수는 중간층을 형성하는 금속의 융점(Tm)과 성형온도(T)의 비와 관계가 있기 때문에, 니오븀(융점 2,477℃) 및 몰리브덴(융점 2,623.9℃)과 같이 Tm/T의 비가 3.5 이상인 금속층은 상술한 상호확산 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.
그러나 금속의 확산을 방지하는 기능은 구성 금속원소의 Tm/T 의 비율뿐만 아니라 확산방지막의 치밀한 정도에 의해서도 큰 영향을 받는다. 예를 들어, Tm/T 가 높은 금속박막을 증착한 경우에도 증착된 박막의 기공율이 매우 높은 특성이 있다면, 기공들을 통해 금속원소의 상호 확산이 계속 진행되는 문제가 있다.
종래 기술에 의한 확산방지막은 스퍼터링법 내지는 이온빔 보조 스퍼터링법에 의해 증착된다. 스퍼터링(sputtering)법은 플라즈마 상태에서 이온화된 가스가 타겟(target)에 강하게 충돌하고, 충돌한 에너지에 의해서 타겟(target) 물질이 증착되는 원리를 이용한 물리증착법의 하나이다. 이와 같은 방법에 의해 증착된 확산방지막은 그 구조가 치밀하지 못하기 때문에 경도가 낮고, 산화 저항성과 확산 억제능력이 떨어져 이형박막의 수명이 짧아지는 단점을 가지고 있었다(Surface and Coatings Technology, 116-119, (1999), p.1145).
따라서 확산방지막을 증착함에 있어 치밀한 구성이 되도록 하는 것이 중요한데, 이를 실현하기 위한 기술로서 강력한 이온충돌 기술(J. Vac. Sci. Technol., A:2, (1984), p.500)이나, 높은 증착온도를 이용한 기술(Surface and Coatings Technology, 82, (1996), p.57)이나, Nb:Cr, Nb:Zr 등의 합금원소를 증착하는 기술(Surface and Coatings Technology, 116-119, (1999), p.1145) 등이 알려져 있다.
그러나 이와 같은 종래 기술에 의하여 치밀한 구조의 고융점 금속박막이 증착된 금형도 오랜 시간 동안 고온의 환경에 반복적으로 노출되면 고융점 금속원소의 확산 현상이 발생하며, 이로 인해 모재 및 금속 중간층 원소의 확산 현상도 함께 발생하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 수명이 향상된 유리 성형용 금형 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 치밀하며 경도가 높음과 아울러 산화방지성능과 확산 저항성능이 우수한 확산방지막을 구비하여 이형박막의 수명이 증가된 유리 성형용 금형 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명은 질화물을 포함하는 확산방지막을 구비하는 유리 성형용 금형 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명에 관한 유리 성형용 금형은
표면에 금속 중간층이 형성되는 모재와, 금속 중간층 표면에 형성되는 질화물 확산방지막과, 질화물 확산방지막 표면에 형성되는 금속박막을 포함한다.
질화물 확산방지막은 양측에 혼합층을 개재하여 금속 중간층과 금속박막 사이에 형성될 수 있다.
혼합층은 금속 중간층과 질화물 확산방지막 사이에 형성되며 질화물 확산방지막에 포함된 질화물과 금속 중간층에 포함된 금속성분을 포함하는 제1 혼합층과, 질화물 확산방지막과 금속박막 사이에 형성되며 질화물 확산방지막에 포함된 질화물과 금속박막에 포함된 금속원소를 포함하는 제2 혼합층을 포함할 수 있다.
본 발명에 관한 유리 성형용 금형의 제조방법은
모재에 금속 중간층을 형성하는 단계와, 금속 중간층에 금속 중간층을 이루는 금속성분과 질화물이 혼합되는 제1 혼합층을 형성하는 단계와, 제1 혼합층에 제1 혼합층에 포함된 질화물을 포함하는 질화물 확산방지막을 형성하는 단계와, 질화물 확산방지막에 질화물과 금속원소가 혼합되는 제2 혼합층을 형성하는 단계와, 제2 혼합층에 제2 혼합층에 포함된 금속원소를 포함하는 금속박막을 형성하는 단계를 포함한다.
질화물 확산방지막은 NbN, MoN 및 ZrN으로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나의 질화물을 포함한다.
이하, 첨부 도면의 실시예들을 통하여, 본 발명에 관한 유리 성형용 금형의 구성과 작용을 보다 구체적으로 살펴본다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 관한 유리 성형용 금형의 일부 단면을 도시하는 부분단면도이다.
도 1에 나타난 실시예에 관한 유리 성형용 금형은 모재(1)와, 모재(1)의 일측에 설치되는 금속박막(6)과, 모재(1)와 금속박막(6) 사이에 형성되는 질화물 확산방지막(4)을 포함한다. 모재(1)의 표면에는 금속 중간층(2)이 형성되며, 질화물 확산방지막(4)은 양측에 혼합층(3,5)을 개재하여 금속 충간층(2)과 금속박막(6) 사이에 형성될 수 있다.
금속박막(6)은 금형과 성형되는 유리제품의 이형이 쉽게 이루어지도록 하는 이형박막의 기능을 수행한다. 금속 중간층(2)은 금속박막(6) 등을 포함하는 코팅층(4,6)과 모재(1) 사이의 밀착력을 향상시키기 위한 목적으로 형성되는 부분이다. 질화물 확산방지막(4)은 모재(1)를 구성하는 성분과 금속 중간층(2)의 금속원소가 금속박막(6)을 향해 확산되지 않도록 함으로써 금형에 설치되는 금속박막(6)을 보호하는 기능을 한다.
금형의 본체를 이루는 모재(1)는 텅스텐 카바이드(WC)에 코발트(Co) 또는 타이타늄(Ti)이 결합제로 함유된 텅스텐 카바이드 세멧(cermet)을 사용하여 제작할 수 있다.
금속 중간층(2)은 모재(1)와 코팅층(4,6) 사이의 밀착력을 높이기 위한 것으로, 고온 고압의 환경에서도 금속박막(6)이 박리되지 않도록 하는 기능을 수행한다. 금속 중간층(2)은 Cr, Ti, W, Zr 등의 금속원소를 스퍼터링법 또는 이온빔 보조 스퍼터링법을 사용하여 증착할 수 있다.
이형박막의 기능을 하는 금속박막(6)에는 유리와의 이형성이 좋은 이리듐(Ir), 백금(Pt), 리늄(Re), 오스미윰(Os), 루비듐(Ru) 등의 귀금속을 주성분으로하는 합금박막이나 다이아몬드상 카본 (DLC; diamond like carbon) 박막 등을 스퍼터링법 또는 이온빔 보조 스퍼터링법에 의해 증착할 수 있다.
질화물 확산방지막(4)은 금속 중간층(2)과 금속박막(6) 사이에 설치된다. 확산방지막(4)을 이루는 재질로는 NbN, MoN 및 ZrN로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나의 금속 질화물을 사용한다. 이들 금속 질화물은 고융점을 가지면서도 금속과는 달리 고온에서의 화학적 안정성이 높고, 경도와 같은 기계적 성질 또한 고온 환경에서도 우수한 특성을 공통적으로 갖는다. 예로서, 니오븀 나이트라이드(NbN)의 융점은 2,573℃로 금속 니오븀(Nb)과 유사하지만 고온에서의 화학적 안정성과 기계적 성질이 우수하므로 금속원소가 상호 확산되는 현상을 방지할 수 있다.
금속 질화물이 치밀한 구조를 이루도록 증착되어 형성되는 질화물 확산방지막(4)은 모재(1)의 구성 성분 또는 금속 중간층(2)의 금속원소가 고온에 반복적으로 노출되는 경우에도 외부를 향해 확산되지 않도록 하는 기능을 한다. 따라서 금속박막(6)은 확산방지막에 의해 보호되어 이형박막으로서의 특성을 유지할 수 있 다.
질화물 확산방지막(4)은 그 양측에 혼합층(3,5)을 개재하여 금속 중간층(2)과 금속박막(6) 사이에 형성될 수 있다. 확산방지막(4)과 금속 중간층(2) 사이에는 제1 혼합층(3)이 형성된다. 제1 혼합층(3)은 금속 중간층(2)을 이루는 금속성분과 확산방지막(4)을 이루는 질화물이 혼합되어 금속 중간층(2) 표면에 형성된다. 확산방지막(4)과 금속박막(6) 사이에는 제2 혼합층(5)이 형성된다. 제2 혼합층(5)은 확산방지막(4)을 이루는 질화물과 금속박막(6)을 이루는 금속원소가 혼합되어 질화물 확산방지막(4) 표면에 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 관한 유리 성형용 금형의 제조방법은, 금속 중간층(2)을 형성하는 단계와, 제1 혼합층(3)을 형성하는 단계와, 질화물 확산방지막(4)을 형성하는 단계와, 제2 혼합층(5)을 형성하는 단계와, 금속박막(6)을 형성하는 단계를 포함한다.
금속 중간층(2)을 형성하는 단계는 모재(1)의 표면에 금속 재질의 층을 형성하는 단계이다. 금속 중간층(2)은 Cr, Ti, W, Zr 등의 금속원소를 스퍼터링법 또는 이온빔 보조 스퍼터링법을 사용하여 증착할 수 있다.
제1 혼합층(3)을 형성하는 단계는 금속 중간층(2)과 질화물 확산방지막(4)의 혼합층을 형성하는 단계이다. 제1 혼합층(3)은 금속 중간층(2)을 이루는 금속성분으로부터 확산방지막(4)을 이루는 질화물로 경사조성을 이루도록 형성될 수 있다. 경사조성이란 성질이 서로 다른 두 재료를 단순히 접합하는 것이 아니라 두 재료의 조성을 단계적으로 변화시켜 재료의 물성이 연속적으로 변화됨과 동시에 두 재료의 특성이 충분히 발현되도록 한 조성을 말한다.
이 단계에서 금속 중간층(2)을 이루는 금속성분 재질의 타겟 1이 설치된 스퍼터건 1과 확산방지막을 이루는 질화물 재질의 타겟 2가 설치된 스퍼터건 2를 동시에 활성화시킨 후에, 순차적으로 또는 단계적으로 스퍼터건 1의 동력을 감소시킴과 동시에 스퍼터건 2의 동력을 증가시킨다. 이로써 제1 혼합층(3)의 조성이 금속성분으로부터 질화물로 변화하는 경사조성이 되게 할 수 있다.
질화물 확산방지막(4)을 형성하는 단계는 제1 혼합층(3)의 표면에 질화물 재질의 확산방지막(4)을 형성하는 단계이다. 이를 위해 금속 재질의 타겟(target)을 이용하는 방법 또는 질화물 재질의 타겟을 이용하는 방법을 선택하여 사용할 수 있다.
금속 재질의 타겟을 이용하는 방법은 Nb, Mo 및 Zr으로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나의 금속 재질의 타겟을 설치하고 고순도의 질소가스를 도입하는 직류 방전에 의한 스퍼터링법이다. 이를 통해 NbN, MoN, ZrN 등의 질화물층(세라믹층)이 제1 혼합층(3) 표면에 형성된다.
질화물 재질의 타겟을 이용하는 방법은 NbN, MoN 및 ZrN으로 이루어진 군중에서 선택된 어느 하나의 질화물 재질의 타겟을 설치하고 고주파(RF; radio frequency) 스퍼터링법에 의해 질화물층을 형성하는 방법이다.
제2 혼합층(5)을 형성하는 단계는 질화물 확산방지막(4)과 금속박막(6)의 혼합층을 형성하는 단계이다. 제2 혼합층(5)은 확산방지막(4)을 이루는 질화물로부터 금속박막(6)을 이루는 금속원소로 경사조성을 이루도록 형성될 수 있다. 제2 혼합 층(5)에서 경사조성을 이루는 것은 제1 혼합층(3)의 형성에 사용한 공정을 유사하게 적용할 수 있다.
금속박막(6)을 형성하는 단계는 이형박막의 기능을 하는 층을 형성하는 단계이다. 금속박막(6)으로는 유리와의 이형성이 좋은 이리듐(Ir), 백금(Pt), 레늄(Re), 오스미윰(Os), 루비듐(Ru) 등의 귀금속을 주성분으로 하는 합금박막 또는 다이아몬드상 카본(DLC; diamond like carbon) 박막을 스퍼터링, 이온빔 보조 스퍼터링 또는 이온빔 증착법을 사용하여 형성할 수 있다.
[실험예]
이하에서는 상술한 본 발명의 일 실시예에 관한 유리 성형용 금형의 제조방법의 실험예를 상세히 설명한다.
1. 금속 중간층을 형성하는 단계
직경 2.54 mm, 두께 10 mm 의 디스크 형상으로 가공된 초경 시편을 사포와 다이아몬드 페이스트를 사용하여 경면 연마하고, 알칼리 탈지제 용액으로 세정한 후, 진공챔버의 음극부에 두어 10Pa의 압력과 600V의 전압 하에서 10분간 아르곤(Ar) 이온으로 이루어진 플라즈마로 세정하였다. 그리고 99.99％ 순도의 크롬 타겟을 장착한 스퍼터건과 엔드홀 타입의 이온건을 사용하여 금속 중간층을 증착하였다. 증착은 1.5 mTorr의 작업 압력 하에서 아르곤 이온빔 1.2A, 스퍼터건 동력 250W, 기판 바이어스 -100V의 조건으로 실시하여, 약 50 nm 두께의 금속 중간층을 형성하였다.
2. 제1 혼합층을 형성하는 단계
표 1은 제1 혼합층을 형성하는 단계의 공정조건을 나타낸다.
금속 중간층인 크롬박막과 확산방지막인 NbN 박막의 밀착력을 높이기 위하여 표 1에 나타난 공정조건으로 제1 혼합층을 형성하였다.
Figure 112006021232505-pat00001
3. 질화물 확산방지막을 형성하는 단계
직류방전 스퍼터링법에 의해 NbN 확산방지막을 형성하였다. NbN은 세라믹 재료이므로 직류방전에 의한 스퍼터링을 할 수 없다. 따라서 99.99％ 순도의 Nb 타겟을 장착한 스퍼터 건을 이용하여 Nb를 스퍼터링하고, 이와 함께 99.999％ 순도의 질소 가스를 플라즈마 영역에 공급함으로써 시편 표면에 질화물이 증착되도록 하였다.
증착은 1.5 mTorr 의 작업 압력하에서, 아르곤 이온빔 1.2A, 스퍼터건 동력 250W, 기판 바이어스 -100V의 조건으로 실시하였으며, 아르곤과 질소의 비율은 5:1이 되도록 하였다. 형성된 확산방지막의 두께가 10nm가 되도록 증착 시간을 조절하였다.
4. 제2 혼합층을 형성하는 단계
표 2는 제2 혼합층을 형성하는 단계의 공정조건을 나타낸다.
확산방지막인 NbN 박막과 금속박막 사이의 밀착력을 높이기 위하여 표 2의 공정조건 하에 제2 혼합층을 형성하였다.
Figure 112006021232505-pat00002
5. 금속박막을 형성하는 단계
이형박막으로 기능하는 금속박막은 Ir/Re의 비율이 70:30인 합금타겟을 장착한 스퍼터건을 사용하여 증착하였다. 증착은 1.5 mTorr의 작업 압력 하에서, 아르곤 이온빔 1.2A, 스퍼터건 동력 250W, 기판 바이어스 -100V의 조건 하에 실시하였으며, 금속박막의 두께가 30nm가 되도록 증착 시간을 조절하였다.
[본 발명의 실험예와 비교예의 경도 비교]
확산방지막을 형성한 이형박막(본 발명의 실험예)과 확산방지막이 없는 이형박막(비교예)의 경도를 비교하였다.
상술한 바와 같이 스퍼터링법에 의해 Nb 박막을 형성하면 치밀하지 못한 박막구조를 이루며 이로 인해 낮은 경도값을 갖지만, NbN 박막은 그 자체가 세라믹 재료이므로 종래의 Nb 박막에 비하여 높은 경도를 갖는다. 이를 확인하기 위하여 실험예와 비교예의 비커스 경도(Vickers hardness)를 측정하였으며, 표 3에 측정결과를 나타내었다.
Figure 112006021232505-pat00003
[본 발명의 실험예와 비교예의 열적 안정성 시험]
본 발명의 실험예와 비교예의 고온에서의 열적 안정성을 비교하기 위하여 600℃ 산소 분위기의 열처리 로에서 2시간 동안 유지한 후 각각의 표면을 전자현미경을 이용하여 관찰하였다.
도 2는 본 발명의 실험예에 관한 유리 성형용 금형 표면의 전자현미경 사진이고, 도 3은 비교예에 관한 유리 성형용 금형 표면의 전자현미경 사진이다.
도 3에 도시된 비교예의 표면에는 불규칙한 형상의 입자들이 다수 형성되어 있으며 에너지 분산형 X선 측정기(EDS; Energy dispersive X-ray spectroscopy) 분석 결과 텅스텐과 크롬의 산화물임을 알 수 있었다. 이는 모재 구성 성분인 텅스텐과 금속 중간층의 원소인 크롬이 이형박막 표면으로 확산하여 분위기 산소와 반응함으로써 형성된 산화물이다.
그러나 도 2에 도시된 본 발명의 실험예에서는 비교예에서와 같은 산화물 입자들은 전혀 형성되지 않았으며, 표면이 다소 거칠어진 모습만을 보이고 있다.
본 실험예에서는 확산방지막으로 NbN의 질화물을 사용한 결과만을 보여주었으나, MoN, ZrN 등의 금속 질화물에 대한 실험에서도 유사한 결과를 확인할 수 있었다. 또한 확산방지막을 1 nm 내지 50 nm 의 두께로 증착하였을 때 금형의 모재 및 금속 중간층의 원소가 이형박막으로 확산하는 현상이 효과적으로 억제됨을 알 수 있었다. 이를 통해 본 발명에 관한 유리 성형용 금형의 이형박막의 성능이 장시간 유지되어 금형의 수명이 연장되는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
상술한 바와 같은 본 발명의 유리 성형용 금형은 고온 환경에서도 화학적으로 안정하며 기계적 성질이 뛰어난 질화물을 포함하는 확산방지막을 구비하므로 산화방지성능과 확산저항성능이 개선되어 수명이 향상되는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 표면에 금속 중간층이 형성되는 모재;
    상기 금속 중간층 표면에 형성되는 질화물 확산방지막; 및
    상기 질화물 확산방지막 표면에 형성되는 금속박막을 포함하는 유리 성형용 금형.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 질화물 확산방지막은 양측에 혼합층을 개재하여 상기 금속 중간층과 상기 금속박막 사이에 형성되는 유리 성형용 금형.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 혼합층은
    상기 금속 중간층과 상기 질화물 확산방지막 사이에 형성되며, 상기 질화물 확산방지막에 포함된 질화물과 상기 금속 중간층에 포함된 금속성분을 포함하는 제1 혼합층; 및
    상기 질화물 확산방지막과 상기 금속박막 사이에 형성되며, 상기 질화물 확산방지막에 포함된 상기 질화물과 상기 금속박막에 포함된 금속원소를 포함하는 제2 혼합층을 포함하는 유리 성형용 금형.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 질화물 확산방지막은 NbN, MoN 및 ZrN으로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나의 질화물을 포함하는 유리 성형용 금형.
  5. 모재에 금속 중간층을 형성하는 단계;
    상기 금속 중간층에, 상기 금속 중간층을 이루는 금속성분과 질화물이 혼합되는 제1 혼합층을 형성하는 단계;
    상기 제1 혼합층에, 상기 제1 혼합층에 포함된 상기 질화물을 포함하는 질화물 확산방지막을 형성하는 단계;
    상기 질화물 확산방지막에, 상기 질화물과 금속원소가 혼합되는 제2 혼합층을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 혼합층에, 상기 제2 혼합층에 포함된 상기 금속원소를 포함하는 금속박막을 형성하는 단계를 포함하는 유리 성형용 금형의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 질화물 확산방지막은 NbN, MoN 및 ZrN으로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나의 질화물을 포함하는 유리 성형용 금형의 제조방법.
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