JP2002057293A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2002057293A JP2000244186A JP2000244186A JP2002057293A JP 2002057293 A JP2002057293 A JP 2002057293A JP 2000244186 A JP2000244186 A JP 2000244186A JP 2000244186 A JP2000244186 A JP 2000244186A JP 2002057293 A JP2002057293 A JP 2002057293A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の半導体装置に設けられたレベルシフタ
回路は電圧レベルの異なる2系統の電源電圧が接近して
供給される異電位接続部であり、両電源電圧間の電位差
変動に弱いため、静電パルスが加わると静電破壊を起こ
しやすい。 【解決手段】 本発明に係る半導体装置1では、2系統
の電源電圧VLV、VHVが接近して供給されるレベルシフ
タ回路10において、両電源電圧VLV、VHV及び基準電
圧GNDのいずれかが静電パルスによって揺れると他の
電源系も同様に揺らすことで、両電源電圧間の電位差変
動を抑制して静電破壊を防止している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は2系統の電源電圧に
よって動作する半導体装置に関するものであり、詳しく
はレベルシフタ回路等の異電位接続部を有する半導体装
置の静電対策に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来における半導体装置の一構成
例を示すブロック図である。本図に示す半導体装置1’
には2系統の電源電圧(第1電源電圧VLV、第2電源電
圧VHV、ただしVLV<VHV)が供給されており、その内
部には両電源電圧間にわたって内部信号のやり取りを行
うレベルシフタ回路10’が設けられている。
【0003】レベルシフタ回路10’には第1電源電圧
LV−基準電圧GND間で動作する内部信号a(例え
ば、Hレベル/Lレベルがそれぞれ3V(VLV)/0V
(GND)であるパルス信号)が入力される。そして、
この内部信号aはレベルシフタ回路10’を構成する第
1増幅器11’及び第2増幅器12’を介することで、
第2電源電圧VHV−基準電圧GND間で動作する内部信
号b(例えば、Hレベル/Lレベルがそれぞれ12V
(VHV)/0V(GND)であるパルス信号)に変換
(レベルシフト)される。
【0004】第1増幅器11’は半導体装置1’の外部
端子である第1給電端子TLV及びグランド端子TGND
直接接続されており、各端子に供給される第1電源電圧
LV−基準電圧GND間で動作する。また、第2増幅器
12’も半導体装置1’の外部端子である第2給電端子
HV及び前記グランド端子TGNDに直接接続されてお
り、各端子に供給される第2電源電圧VHV−基準電圧G
ND間で動作する。なお、第1、第2増幅器11’、1
2’の具体的構成は特開平07−183795号公報等
に示されるような回路を始めとして、種々の回路も同様
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】摩擦等により発生する
静電気によって数十V〜数十kVもの高電圧に帯電した
人間や機械等が上記構成から成る半導体装置1’に触れ
た場合、その静電気による電荷が第1給電端子TLVやグ
ランド端子TGND等の外部端子を介して数μs〜数ms
の短時間で半導体装置1’内部に放電されることがあ
る。このような急激な放電が発生すると、半導体装置
1’の内部素子に静電パルスが加わって静電破壊が生
じ、その機能や特性を損ねる恐れがある。
【0006】特に、前述のレベルシフタ回路10’は第
1電源電圧VLV、第2電源電圧VHVといった電圧レベル
の異なる2系統の電源電圧が接近して供給される異電位
接続部である。そのため、第1給電端子TLVやグランド
端子TGND等の外部端子に静電パルスが加わると、レベ
ルシフタ回路10’における両電源電圧間、基準電圧及
び信号線の電位差に変動が生じて破壊に至る場合が多
い。このように、レベルシフタ回路10’は半導体装置
1’に設けられた内部回路の中でも特に静電破壊に弱い
回路であると言える。
【0007】しかしながら、従来の半導体装置1’では
それぞれの電源系を静電破壊から保護することに重点を
置いた静電対策が施されている。そのため、半導体装置
1’の外部入出力部(図示せず)の周辺にはそれぞれの
電源系に対する静電対策が施されているのに対して、異
なる2系統の電源電圧が接近して供給されるレベルシフ
タ回路10’には異なる電源系を保護するための十分な
静電対策が施されていないのが現状である。
【0008】また、従来のレベルシフタ回路10’は抵
抗成分や容量成分をほとんど持たない導線、いわゆる裸
の線を介して直接外部端子から電源供給を受けている。
そのため、第1給電端子TLVやグランド端子TGND等の
外部端子に静電パルスが加わった場合、その静電パルス
は減衰することなくレベルシフタ回路10’に到達して
しまう。従って、レベルシフタ回路10’に供給される
両電源電圧間、基準電圧及び信号線の電位差に変動が生
じやすく静電破壊に至りやすい。
【0009】本発明は上記の問題点に鑑み、レベルシフ
タ回路等の異電位接続部が静電破壊を起こしにくい半導
体装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る半導体装置においては、少なくとも電
圧レベルの異なる第1電源電圧及び第2電源電圧によっ
て動作する半導体装置において、第1電源電圧と第2電
源電圧とが接近して供給される異電位接続部における静
電パルス入力時の両電源電圧間、基準電圧及び信号線の
電位差変動を抑制する手段を設けたことを特徴としてい
る。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る半導体装置の
一構成例を示すブロック図である。本図に示す半導体装
置1には2系統の電源電圧(第1電源電圧VLV、第2電
源電圧VHV、ただしVLV<VHV)が供給されており、そ
の内部には両電源電圧間にわたって内部信号のやり取り
を行うレベルシフタ回路10が設けられている。
【0012】レベルシフタ回路10には第1電源電圧V
LV−基準電圧GND間で動作する内部信号a(例えば、
Hレベル/Lレベルがそれぞれ3V(VLV)/0V(G
ND)であるパルス信号)がロジックアレイ等の内部回
路20から入力される。そして、この内部信号aはレベ
ルシフタ回路10を構成する第1増幅器11及び第2増
幅器12を介することで、第2電源電圧VHV−基準電圧
GND間で動作する内部信号b(例えば、Hレベル/L
レベルがそれぞれ12V(VHV)/0V(GND)であ
るパルス信号)に変換(レベルシフト)され、その後に
アナログブロック30へと送出される。
【0013】ここで、第1増幅器11は内部回路20を
介して半導体装置1の外部端子である第1給電端子TLV
及びグランド端子TGNDに接続されており、各端子に供
給される第1電源電圧VLV−基準電圧GND間で動作す
る。また、第2増幅器12は半導体装置1の外部端子で
ある第2給電端子THV及び前記グランド端子TGNDに直
接接続されており、各端子に供給される第2電源電圧V
HV−基準電圧GND間で動作する。
【0014】なお、上記配線を行う際には、第1、第2
給電端子TLV、TLV及びグランド端子TGNDからレベル
シフタ回路10までの電源供給路(アルミ配線)をでき
る限り長く引き回すことで、前記電源供給路の配線抵抗
や容量が増大するようにするとよい。また、その他の方
法によって前記電源供給路の配線抵抗や容量が増大する
ように構成することもできる。
【0015】上記したように、本実施形態における半導
体装置1では、レベルシフタ回路10を構成する第1増
幅器11に対して、一旦内部回路20を通過した第1電
源電圧VLV及び基準電圧GNDを供給する構成としてい
る。ここで、内部回路20に接続される第1給電端子T
LVやグランド端子TGNDには対静電パルス用の保護素子
(図示せず)が設けられている。また、内部回路20の
内部には抵抗成分や容量成分が含まれている。
【0016】そのため、万一静電パルスが第1給電端子
LVやグランド端子TGNDに加わったとしても、その静
電パルスは前記保護素子によって逃がされたり、内部回
路20を通過する過程で減衰したりするので、レベルシ
フタ回路10への侵入はほとんどないと考えられる。従
って、レベルシフタ回路10に供給される両電源電圧
間、基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制することが
でき、レベルシフタ回路10の静電破壊を防止すること
ができる。
【0017】なお、レベルシフタ回路10の静電破壊防
止をさらに追求するならば、レベルシフタ回路10を構
成する第2増幅器12に対しても、一旦内部回路20を
通過した第2電源電圧VHV及び基準電圧GNDを供給す
る方がよい。しかし、内部回路20を通過した第2電源
電圧VHV及び基準電圧GNDには内部回路20の動作ノ
イズが重畳する可能性があるため、ノイズに弱いアナロ
グブロック30の通常動作に支障をきたす恐れがある。
従って、本実施形態の半導体装置1では、第1増幅器1
1に対する電源供給路に関してのみ内部回路20を経由
する構成としている。
【0018】そのため、万一静電パルスが第2給電端子
HVやグランド端子TGNDに加わった場合、低インピー
ダンスかつ低容量負荷のアルミ配線によって第2給電端
子T HVやグランド端子TGNDに直結されている第2増幅
器12には、静電パルスがほとんど減衰せずに侵入して
しまう恐れがある。そこで、本実施形態の半導体装置1
に設けられたレベルシフタ回路10には、上記構成に加
えてさらなる静電対策が施されている。
【0019】図2はレベルシフタ回路10及びその保護
回路の一構成例を示す回路図である。本図に示すよう
に、第1増幅器11はPチャネル型MOSトランジスタ
11a(以下、P−MOSトランジスタ11aと呼ぶ)
と、Nチャネル型MOSトランジスタ11b(以下、N
−MOSトランジスタ11bと呼ぶ)とから構成されて
いる。同様に、第2増幅器12はPチャネル型MOSト
ランジスタ12a(以下、P−MOSトランジスタ12
aと呼ぶ)と、Nチャネル型MOSトランジスタ12b
(以下、N−MOSトランジスタ12bと呼ぶ)とから
構成されている。
【0020】第1増幅器11を構成するP−MOSトラ
ンジスタ11a及びN−MOSトランジスタ11bの各
ゲートはともに内部信号aが加わるラインL1に接続さ
れており、各ドレインはともにラインL2に接続されて
いる。また、第2増幅器12を構成するP−MOSトラ
ンジスタ12a及びN−MOSトランジスタ12bの各
ゲートはともに前記ラインL2に接続されており、各ド
レインはともに内部信号bを送出するラインL3に接続
されている。
【0021】一方、第1増幅器11の正電源端子である
P−MOSトランジスタ11aのソースは第1電源電圧
LVが加わるラインLLVに接続されており、負電源端子
であるN−MOSトランジスタ11bのソースは基準電
圧GNDが加わるラインLGN D1に接続されている。な
お、ラインLLV、LGND1はそれぞれ内部回路20を介し
て第1給電端子TLV及びグランド端子TGNDに接続され
ている。
【0022】また、第2増幅器12の正電源端子である
P−MOSトランジスタ12aのソースは第2電源電圧
HVが加わるラインLHVに接続されており、負電源端子
であるN−MOSトランジスタ12bのソースは基準電
圧GNDが加わるラインLGN D2に接続されている。な
お、ラインLHV、LGND2はそれぞれ第2給電端子THV
びグランド端子TGNDに直接接続されている。
【0023】ここで、レベルシフタ回路10を構成する
第2増幅器12に対して静電パルスが侵入した場合に静
電破壊が生じると考えられる部位についての説明を行
う。まず、ラインLHVに対して静電パルスが印加された
場合には、第2増幅器12を構成するP−MOSトラン
ジスタ12aのソース・ゲート間に大きな電位差がつ
き、そこで静電破壊を生じる恐れがある。さらに、ライ
ンLHVに対して印加された静電パルスがP−MOSトラ
ンジスタ12aのゲート側へ伝播した場合、前記静電パ
ルスはラインL2を介して第1増幅器11を構成するP
−MOSトランジスタ11aまたはN−MOSトランジ
スタ11bに到達する。従って、P−MOSトランジス
タ11aまたはN−MOSトランジスタ11bのドレイ
ン・ゲート間にて静電破壊を生じる可能性もある。
【0024】一方、ラインLGND2に対して静電パルスが
印加された場合には、第2増幅器12を構成するN−M
OSトランジスタ12bのソース・ゲート間に大きな電
位差がつき、そこで静電破壊を生じる恐れがある。さら
に、ラインLGND2に対して印加された静電パルスがN−
MOSトランジスタ12bのゲート側へ伝播した場合、
前記静電パルスはラインL2を介して第1増幅器11を
構成するP−MOSトランジスタ11aまたはN−MO
Sトランジスタ11bに到達する。従って、P−MOS
トランジスタ11aまたはN−MOSトランジスタ11
bのドレイン・ゲート間にて静電破壊を生じる可能性も
ある。
【0025】同様に、第1増幅器11に対して静電パル
スが侵入した場合にも上記と同様のことが言えるので、
第1増幅器11を構成するP−MOSトランジスタ11
aまたはN−MOSトランジスタ11bの各ソース・ゲ
ート間にて静電破壊を生じる恐れもある。
【0026】そこで、本実施形態のレベルシフタ回路1
0においては、第1増幅器11の近傍にPチャネル型M
OSトランジスタPLV(以下、P−MOSトランジスタ
LVと呼ぶ)、及びNチャネル型MOSトランジスタN
LV(以下、N−MOSトランジスタNLVと呼ぶ)を設け
ている。P−MOSトランジスタPLVのゲート及びソー
スはともにラインLLVに接続されており、ドレインはラ
インLGND1に接続されている。また、N−MOSトラン
ジスタNLVのゲート及びソースはラインLGND1に接続さ
れており、ドレインはラインL1に接続されている。
【0027】同様に、本実施形態のレベルシフタ回路1
0においては、第2増幅器12の近傍にもPチャネル型
MOSトランジスタPHV(以下、P−MOSトランジス
タP HVと呼ぶ)、及びNチャネル型MOSトランジスタ
HV(以下、N−MOSトランジスタNHVと呼ぶ)を設
けている。P−MOSトランジスタPHVのゲート及びソ
ースはともにラインLHVに接続されており、ドレインは
ラインLGND2に接続されている。また、N−MOSトラ
ンジスタNHVのゲート及びソースはラインLGN D2に接続
されており、ドレインはラインL2に接続されている。
【0028】まず、P−MOSトランジスタP
LV(PHV)の動作について説明する。第1電源電圧VLV
(第2電源電圧VHV)が加えられるラインLLV(LHV
に対して過大な静電パルス(+)が印加された場合、も
しくは基準電圧GNDが加えられるラインLGND1(L
GND2)に対して過大な静電パルス(−)が印加された場
合には、P−MOSトランジスタPLV(PHV)がブレー
クダウンするため、前記静電パルスはラインL
LV(LHV)からラインLGND1(LGND2)に流される。
【0029】逆に、ラインLLV(LHV)に対して過大な
静電パルス(−)が印加された場合、もしくはラインL
GND1(LGND2)に対して過大な静電パルス(+)が印加
された場合には、P−MOSトランジスタPLV(PHV
がダイオードと同様になるため、前記静電パルスはライ
ンLGND1(LGND2)からラインLLV(LHV)に流され
る。
【0030】続いて、N−MOSトランジスタNLV(N
HV)の動作について説明する。ロジックアレイ20から
の信号線であるラインL1(L2)に対して過大な静電
パルス(+)が印加された場合、もしくは基準電圧GN
Dが加えられるラインLGND1(LGND2)に対して過大な
静電パルス(−)が印加された場合には、N−MOSト
ランジスタNLV(NHV)がブレークダウンするため、前
記静電パルスはラインL1(L2)からラインL
GND1(LGND2)に流される。
【0031】逆に、ラインL1(L2)に対して過大な
静電パルス(−)が印加された場合、もしくはラインL
GND1(LGND2)に対して過大な静電パルス(+)が印加
された場合には、N−MOSトランジスタNLV(NHV
がダイオードと同様になるため、前記静電パルスはライ
ンLGND1(LGND2)からラインL1(L2)に流され
る。
【0032】以上の動作により、本実施形態の半導体装
置1においては、レベルシフタ回路10に侵入した静電
パルスが効率よく逃がされるので、第1、第2増幅器1
1、12を構成する各トランジスタのソース・ゲート間
またはドレイン・ゲート間に大きな電位差が付きにく
く、レベルシフタ回路10の静電破壊が生じにくい。
【0033】また、本実施形態の半導体装置1では、上
記したP−MOSトランジスタPLV(PHV)及びN−M
OSトランジスタNLV(NHV)をレベルシフタ回路10
の第1、第2増幅器11、12近傍に配設している。こ
のような構成とすることにより、P−MOSトランジス
タPLV(PHV)及びN−MOSトランジスタN
LV(N HV)には、レベルシフタ回路10に侵入した静電
パルスを効率よく逃がす機能だけでなく、ある電源系の
電位が静電パルスによって揺らされた場合に他の電源系
の電位も同様に揺らしてやる機能が付加されている。
【0034】図3はP−MOSトランジスタP
LV(PHV)及びN−MOSトランジスタNLV(NHV)の
構造図である。なお、本図中の(a)はP−MOSトラ
ンジスタPLV(PHV)の縦構造を示しており、(b)は
N−MOSトランジスタNLV(NHV)の縦構造を示して
いる。
【0035】本図に示すように、P−MOSトランジス
タPLV(PHV)及びN−MOSトランジスタN
LV(NHV)はいずれも基準電圧GNDが与えられるPサ
ブ上に形成されている。ここで、本実施形態の半導体装
置1では、グランド端子TGNDから基準電圧GNDが与
えられているラインLGND1(LGND2)と前記Pサブとを
接続するためのサブコンタクト(P+領域)を積極的に
とる構成としている。すなわち、本実施形態においてレ
ベルシフタ回路10周辺に形成されているP−MOSト
ランジスタPLV(PHV)及びN−MOSトランジスタN
LV(NHV)は、前記Pサブを共通グランドパスとして互
いに接続されていると言える。
【0036】このような構成とすることにより、レベル
シフタ回路10に対して静電パルスが侵入してきた場合
には、レベルシフタ回路10周辺の電位がPサブごと一
緒に揺らされることになる。従って、ある電源系の電位
が静電パルスによって揺らされた場合には他の電源系の
電位も同様に揺らされるので、相対的には両電源電圧
間、基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制することが
でき、レベルシフタ回路10の静電破壊を防止すること
ができる。
【0037】なお、本実施形態では低電圧から高電圧へ
のレベルシフタ回路のみを例示して説明を行ったが、高
電圧から低電圧へのレベルシフタ回路であっても同様の
構成を取り得ることは言うまでもない。また、電源電圧
の系統数が2レベルの場合だけでなく3値以上の多レベ
ルの場合であっても、同様の構成によりレベルシフタ回
路を保護することが可能である。
【0038】
【発明の効果】上記したように、本発明に係る半導体装
置においては、少なくとも電圧レベルの異なる第1電源
電圧及び第2電源電圧によって動作する半導体装置にお
いて、第1電源電圧と第2電源電圧とが接近して供給さ
れる異電位接続部における静電パルス入力時の両電源電
圧間、基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制する手段
を設けたことを特徴としている。
【0039】具体的には、前記異電位接続部に対して、
抵抗成分や容量成分を含む内部回路を通過した電源電圧
を供給する構成としている。このような構成とすること
により、万一静電パルスが前記半導体装置に加わったと
しても、その静電パルスは前記内部回路を通過する過程
で減衰する。従って、前記異電位接続部に供給される両
電源電圧間、基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制す
ることができ、前記異電位接続部の静電破壊を防止する
ことができる。
【0040】また、本発明に係る半導体装置において
は、前記異電位接続部に対して供給される第1、第2電
源電圧、及び基準電圧のいずれかが静電パルスによって
揺らされた場合には、他の電源系も同様に揺らされる構
成としている。このような構成とすることにより、前記
静電パルスが前記異電位接続部に到達した場合であって
も、相対的には前記異電位接続部に供給される両電源電
圧間、基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制すること
ができ、前記異電位接続部の静電破壊を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る半導体装置の一構成例を示すブ
ロック図である。
【図2】 レベルシフタ回路10及びその保護回路の一
構成例を示す回路図である。
【図3】 P−MOSトランジスタPLV(PHV)及びN
−MOSトランジスタNLV(NHV)の構造図である。
【図4】 従来における半導体装置の一構成例を示すブ
ロック図である。
【符号の説明】
1 半導体装置 10 レベルシフタ回路 11 第1増幅器 12 第2増幅器 20 内部回路(ロジックアレイ) 30 アナログブロック

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも電圧レベルの異なる第1電源電
    圧及び第2電源電圧によって動作する半導体装置におい
    て、 第1電源電圧と第2電源電圧とが接近して供給される異
    電位接続部における静電パルス入力時の両電源電圧間、
    基準電圧及び信号線の電位差変動を抑制する手段を設け
    たことを特徴とする半導体装置。
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