JP2002056635A

JP2002056635A - 記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ及びこれを用いた記録／再生ヘッド位置決め装置

Info

Publication number: JP2002056635A
Application number: JP2000242512A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Soroe; 和紀揃
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2000-08-10
Filing date: 2000-08-10
Publication date: 2002-02-22
Anticipated expiration: 2020-08-10
Also published as: JP4071921B2

Abstract

(57)【要約】【課題】大きな変位量が得られ、かつ外部から衝撃が加
わったり、繰り返し変位させても破損することのない記
録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを提供す
る。【解決手段】固定部１２と可動部１３とを有し、固定部
１２と可動部１３との間に、剪断モードで変位する3つ
の変位発生部１４，１５，１６を並設してなり、上記各
変位発生部１４，１５，１６を構成する圧電セラミック
スの分極方向が同じ方向となるように配置して記録／再
生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ１１を構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
外部記憶装置等に使用されている磁気記録装置又は光記
録装置に備える記録／再生ヘッド位置決め装置及びこれ
に用いる記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエー
タに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録装置や光記録装置は、高
速で回転する磁気ディスクや光ディスク（以下、単にデ
ィスクと称す）上に、記録／再生ヘッドを走査させ、記
録／再生ヘッドとディスクとの間で磁気作用又は光作用
によってディスク上に記録された情報を読み出したり、
ディスク上に情報を書き込むようになっており、上記記
録／再生ヘッドを所定位置に走査させる手段として記録
／再生ヘッド位置決め装置が用いられている。

【０００３】図６に一般的な記録／再生ヘッド位置決め
装置の概略を示すように、このヘッド位置決め装置は、
回転軸５に嵌合された軸受部４を有し、該軸受部４に備
える支持アーム３に取着されたヘッドサスペンション２
の先端に記録／再生ヘッド１を備えたもので、不図示の
ボイスコイルモーターにより軸受部４を矢印の方向に駆
動させることで記録／再生ヘッド１をディスク６上の所
定位置まで移動させるようになっていた。

【０００４】ところで、近年、磁気記録装置や光記録装
置の記録密度の向上に伴って、高ＢＰＩ（ＢｉｔＰｅ
ｒＩｎｃｈ）化、高ＴＰＩ（ＴｒａｃｋＰｅｒＩ
ｎｃｈ）化が要求されており、高ＢＰＩ化のためには、
ディスク６の円周方向の記録密度を上げることが必要が
あり、また、高ＴＰＩ化のためには、ディスク６の半径
方向の記録密度を上げることが必要となっている。そし
て、ＴＰＩの記録密度を上げるためには、記録／再生ヘ
ッド１の位置決め精度をトラックピッチの１０％以下に
抑えることが求められている。

【０００５】しかしながら、ディスク６のトラックピッ
チは１μｍ以下であり、さらには０．５μｍ以下にまで
狭まる方向にあり、ボイスコイルモーターによる位置決
めでは、記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラック
ピッチの１０％以下（トラックピッチ１μｍ以下の場
合、０．１μｍ以下）とすることが難しいものであっ
た。

【０００６】そこで、このような課題を解決するため、
記録／再生ヘッド１とヘッドサスペンション２との間に
圧電アクチュエータを配置し、この圧電アクチュエータ
を駆動させることにより記録／再生ヘッド１を微少移動
させ、記録／再生ヘッド１の位置決め精度を高めること
が提案されており、上記圧電アクチュエータとして、図
６に示すように、固定部２２と可動部２３とからなり、
固定部２２と可動部２３との間に縦振動（又は横振動）
する２つの変位発生部２４，２５を並設したものが開示
されている。そして、上記可動部２３に記録／再生ヘッ
ド１を取着するとともに、固定部２２にヘッドサスペン
ション２を取着し、上記圧電アクチュエータ２１の一方
の変位発生部２４を伸長させ、他方の変位発生部２５を
縮長させることで可動部２３を矢印Ｃの方向に変位さ
せ、各変位発生部２４，２５の伸縮を逆にすると、可動
部２３を矢印Ｄの方向に変位させることができるように
なっていた。

【０００７】また、上記圧電アクチュエータ２１は、複
数の圧電セラミック板の間に電極層を介在させて積層し
た板状体を用意し、サンドブラスト法によって図６に示
すような貫通孔を形成することにより一体的に形成する
ようになっていた（国際公開番号ＷＯ９８／１９３０
４号公報参照）。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示す圧電アクチュエータ２１は、機械的強度の小さな圧
電セラミックスからなる２本の変位発生部２４，２５で
可動部２３に取着された記録／再生ヘッド１を支持しな
ければならないことから、可動部２３が変位する際に発
生する応力に屈して変位発生部２４，２５が破損した
り、あるいは外部から衝撃が加わると破損するといった
課題があった。

【０００９】そこで、変位発生部２４，２５の数を増や
すことも考えられるが、上記圧電アクチュエータ２１
は、例えば、一方の変位発生部２４を圧電縦効果（又は
圧電横効果）によって伸長させ、他方の変位発生部２５
を圧電縦効果（又は圧電横効果）によって縮長させる構
造であることから、３本目以上の変位発生部の変位量を
制御することが極めて難しく、実際には駆動させること
ができなかった。

【００１０】また、上記圧電アクチュエータ２１は、複
数の圧電セラミック板の間に電極層を介在させて積層し
た板状体にサンドブラスト法によって貫通孔を形成する
ことにより製造するため、ブラスト処理時に、各変位発
生部２４，２５の幅が厚み方向において異なり、変位発
生部２４，２５の変位量にばらつきを生じる恐れもあっ
た。

【００１１】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエ
ータを、固定部及び可動部と、該固定部と可動部との間
に並設され、剪断モードで変位する圧電セラミックスか
らなる少なくとも3つの変位発生部とから構成し、上記
各変位発生部を形成する圧電セラミックスの分極方向が
同じ方向となるように配置したことを特徴とする。

【００１２】特に、上記変位発生部を形成する圧電セラ
ミックスは、その圧電歪定数（ｄ₁₅）が６００ｐｍ／Ｖ
以上であることが好ましく、また、圧電アクチュエータ
を構成する可動部及び／又は固定部は、各変位発生部と
接着剤にて接合したものが良い。

【００１３】また、本発明は、上記記録／再生ヘッド位
置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録
／再生ヘッドを取着するとともに、上記記録／再生ヘッ
ド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、
ヘッドサスペンションを取着して記録／再生ヘッド位置
決め装置を構成するか、あるいは上記記録／再生ヘッド
位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記
録／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを取着す
るとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アク
チュエータを構成する固定部に、支持アームを取着して
記録／再生ヘッド位置決め装置を構成したものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。

【００１５】図１は本発明に係る記録／再生ヘッド位置
決め用圧電アクチュエータの一例を示す斜視図で、この
記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ（以
下、単に圧電アクチュエータと言う）１１は、圧電セラ
ミックスからなる固定部１２と、絶縁セラミックスから
なる可動部１３と、上記固定部１２と可動部１３との間
に所定の間隔を隔てて並設された圧電セラミックスから
なる３つの変位発生部１４，１５，１６とからなり、上
記固定部１２と上記各変位発生部１４，１５，１６とは
一体的に形成するとともに、上記可動部１３と上記各変
位発生部１４，１５，１６とは接着剤にて接合してあ
る。

【００１６】また、各変位発生部１４，１５，１６は角
板状をなし、その側面にはそれぞれ電極１７を備えると
ともに、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電
セラミックスには、矢印の方向に分極処理してある。

【００１７】その為、圧電アクチュエータ１１の固定部
１２を動かないように固定し、図２（ａ）（ｂ）に示す
ように、各変位発生部１４，１５，１６の右側に位置す
る電極１７に正の電圧を、各変位発生部１４，１５，１
６の左側に位置する電極１７に負の電圧をそれぞれ印加
すると、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電
セラミックスが、電極１７間に印加された電界と、予め
分極処理によって付与された電界によって電極１７間方
向に剪断モード変形を起こすため、可動部１３を矢印Ａ
の方向に変位させることができ、また、各変位発生部１
４，１５，１６の電極１７間に印加する電圧の極性を反
転させると、可動部１３を矢印Ｂの方向に変位させるこ
とができる。

【００１８】そして、本発明の圧電アクチュエータ１１
によれば、各変位発生部１４，１５，１６を剪断モード
変形によって変位させるようにしてあることから、可動
部２３が縦振動（又は横振動）する変位発生部２４，２
５によって変位する従来の圧電アクチュエータ２１と比
較して可動部１３の変位量を大きくすることができる。

【００１９】また、各変位発生部１４，１５，１６は、
剪断モード変形によって同じ方向に変位させることがで
きるため、固定部１２と可動部１３との間に３本以上の
変位発生部１４，１５，１６を設けることができるた
め、図６に示す従来の圧電アクチュエータ２１と比較し
て圧電アクチュエータ１１の機械的強度を向上させるこ
とができる。その為、外部から衝撃が加わったり、可動
部１３を繰り返し変位させても変位発生部１４，１５，
１６の破損がなく、長期間にわたり安定して可動部１３
を変位させることができる。なお、機械的強度を向上さ
せるためには、変位発生部の数を５本以上とすることが
好ましい。

【００２０】ところで、記録／再生ヘッド１の位置決め
精度を高めるためには、大きな変位量が得られる圧電ア
クチュエータ１１を用いる必要があり、可動部１３を大
きく変位させるためには、各変位発生部１４，１５，１
６を形成する圧電セラミックスとして、圧電歪定数ｄ₁₅
ができるだけ高いものを用いれば良く、好ましくは圧電
歪定数ｄ₁₅が６００ｐｍ／Ｖ以上、さらに好ましくは圧
電歪定数ｄ₁₅が８００ｐｍ／Ｖ以上であるものを用いる
ことが良い。

【００２１】また、各変位発生部１４，１５，１６の間
隔が狭い場合、各変位発生部１４，１５，１６が変位す
ることにより固定部１２や可動部１３に歪みが発生し、
可動部１３の変位量がばらつく恐れがあるが、図１の圧
電アクチュエータ１１では、可動部１３と各変位発生部
１４，１５，１６とを接着剤を介して接合してあること
から、各変位発生部１４，１５，１６が変位することに
より作用する力を接着層で吸収し、両隣の変位発生部１
４，１５，１６に伝わることを防止し、可動部１３にお
ける変位量のばらつきを低減することができる。なお、
図１では可動部１３と各変位発生部１４，１５，１６と
を接着にて接合した例を示したが、固定部１２と各変位
発生部１４，１５，１６とを接着にて接合したものでも
良く、さらには固定部１２及び可動部１３をそれぞれ各
変位発生部１４，１５，１６と接着にて接合したもので
も構わない。ただし、接着層の厚みが厚くなり過ぎる
と、各変位発生部１４，１５，１６が変位することによ
り作用する力が吸収され、可動部１３の変位量が小さく
なることから、接着層の厚みは１０μｍ以下とすること
が良く、さらに１０μｍ以下の厚みを有する接着層中に
フィラーを混入させたものを用いれば接着層の剛性を高
めることができて好ましい。

【００２２】また、各変位発生部１４，１５，１６が変
位することにより作用する力によって可動部１３が歪ま
ないようにするためには、剛性の高い絶縁セラミックス
により形成することが好ましく、例えば、アルミナ、ジ
ルコニア、フォルステライト、ステアタイト、チタニア
等を用いることができ、これらの中でもフォルステライ
ト、ステアタイト、チタニアは圧電セラミックスと同程
度の切削性を有することから、加工性の点で好ましい。

【００２３】また、可動部１３における変位量のばらつ
きを抑えるためには、可動部１３だけでなく、固定部１
２も接着にて変位発生部１４，１５，１６と接合するよ
うにし、かつ固定部１２を上述したアルミナ、ジルコニ
ア、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、フォルス
テライト、ステアタイト、チタニア、サファイア、Ｔｉ
Ｃ系サーメット、ＴｉＮ系サーメット、ＴｉＣ−ＴｉＮ
系サーメット等の絶縁セラミックスにより形成すること
が好ましい。

【００２４】次に、図１に示す圧電アクチュエータ１１
の製造方法について説明する。

【００２５】まず、予め板厚方向に分極処理した圧電セ
ラミック板を用意する。圧電セラミックスとしては、チ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系）、ランタンチタン酸鉛
（ＰＬＺＴ系）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ
系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）又はこれらの複
合材を主体とする圧電セラミックスを用いることができ
る。

【００２６】次に、ダイヤモンド砥粒を固着した回転刃
を板厚方向に押し当て、所定の間隔を隔てて２列の溝を
形成した後、上記回転刃を溝と直角な方向に押し当てて
圧電セラミック板を分断することにより、溝を仕切る圧
電セラミック部を変位発生部１４，１５，１６、各変位
発生部１４，１５，１６を連結する圧電セラミック部を
固定部１２とする部材を製作する。

【００２７】このように、研削加工にて溝を形成するこ
とにより各変位発生部１４，１５，１６を形成すれば、
各変位発生部１４，１５，１６の幅を厚み方向にわたっ
て一定の幅とすることができるため、各変位発生部１
４，１５，１６の変位ばらつきを抑えることができる。

【００２８】次いで、各変位発生部１４，１５，１６を
形成する圧電セラミックスの側面に、印刷法、メッキ
法、真空蒸着法、スパッタリング法、ＰＶＤ法、ＣＶＤ
法等によって金属膜を被着して電極１７を形成する。電
極１７を形成する金属膜の材質としては、白金、金、パ
ラジウム、ロジウム、ニッケル、クロム、アルミニウム
等の金属、あるいは、白金−金、パラジウム−銀、白金
−パラジウム等を主体とする合金を用いることができ、
さらに上記金属膜を複数層積層したものでも構わない。

【００２９】しかる後、各変位発生部１４，１５，１６
の端部に、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、窒化アル
ミニウム、炭化珪素、フォルステライト、ステアタイ
ト、チタニア、サファイア、ＴｉＣ系サーメット、Ｔｉ
Ｎ系サーメット、ＴｉＣ−ＴｉＮ系サーメット等の絶縁
セラミックスからなる可動部１３を接着剤にて接合する
ことにより得ることができる。

【００３０】なお、各変位発生部１４，１５，１６と可
動部１３とを接合する接着剤としては、エポキシ系、ポ
リイミド系、フェノール系の熱硬化性接着剤を用いるこ
とができ、中でも接着強度と耐熱性の点でエポキシ系の
熱硬化性接着剤を用いることが好ましい。

【００３１】次に、図１に示す圧電アクチュエータ１１
を用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の一例を図２を
用いて説明する。

【００３２】この記録／再生ヘッド位置決め装置は、回
転軸５に嵌合された軸受部４に備える支持アーム３に取
着されたヘッドサスペンション２の先端に、上記圧電ア
クチュエータ１１を介して記録／再生ヘッド１を取着し
たもので、圧電アクチュエータ１１の固定部１２をヘッ
ドサスペンション２の先端と取着するとともに、圧電ア
クチュエータ１１の可動部１３を記録／再生ヘッド１と
取着してある。

【００３３】そして、この記録／再生ヘッド位置決め装
置を用いて記録／再生ヘッド１をディスク６上の所定位
置に位置決めするには、不図示のボイスコイルモーター
により軸受部４を回転させて記録／再生ヘッド１をディ
スク６上の所定位置近傍まで移動させた後、圧電アクチ
ュエータ１１を変位させて記録／再生ヘッド１を微少移
動させることによりディスク６の所定位置に移動させる
ことができ、上記圧電アクチュエータ１１は大きな変位
量を得られることから、トラックピッチが１μｍ以下で
あるディスク６に対しても記録／再生ヘッド１の位置決
め精度をトラックピッチの１０％以下とすることができ
る。

【００３４】また、記録／再生ヘッド１を支持する圧電
アクチュエータ１１は、固定部１２と可動部１３の間に
３本の変位発生部１４，１５，１６を有し、高強度であ
ることから、外部から衝撃が加わったり、記録／再生ヘ
ッド１を支持した状態で可動部１３を繰り返し変位させ
たとしても各変位発生部１４，１５，１６を破損するこ
とがなく、長期間にわたって用いることができる。

【００３５】さらに、図１に示す圧電アクチュエータ１
１を用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の他の例を図
３を用いて説明する。

【００３６】この記録／再生ヘッド位置決め装置は、回
転軸５に嵌合された軸受部４に備える支持アーム３の先
端に、上記圧電アクチュエータ１１を介して記録／再生
ヘッド１を備えたヘッドサスペンション２を接合したも
ので、圧電アクチュエータ１１の固定部１２を支持アー
ム３の先端に取着するとともに、圧電アクチュエータ１
１の可動部１３をヘッドサスペンション２の後端に取着
してある。

【００３７】そして、この記録／再生ヘッド位置決め装
置を用いて記録／再生ヘッド１をディスク５上の所定位
置に位置決めするには、不図示のボイスコイルモーター
にて軸受部４を回転させて記録／再生ヘッド１をディス
ク６上の所定位置近傍まで移動させた後、圧電アクチュ
エータ１１を変位させて記録／再生ヘッド１を備えたヘ
ッドサスペンション２を微少移動させることによりディ
スク６の所定位置に移動させることができ、上記圧電ア
クチュエータ１１は大きな変位量を得られることから、
トラックピッチが１μｍ以下であるディスク６に対して
も記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラックピッチ
の１０％以下とすることができる。

【００３８】また、記録／再生ヘッド１を備えたヘッド
サスペンション２を支持する圧電アクチュエータ１１
は、固定部１２と可動部１３の間に３本の変位発生部１
４，１５，１６を有し、高強度であることから、外部か
ら衝撃が加わったり、記録／再生ヘッド１を備えたヘッ
ドサスペンションを支持した状態で可動部１３を繰り返
し変位させたとしても各変位発生部１４，１５，１６を
破損することがなく、長期間にわたって用いることがで
きる。

【００３９】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明はこれらの実施形態だけに限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良で変更で
きることは言う迄もない。

【００４０】

【実施例】（実施例１）板厚が１．２５ｍｍ、圧電歪定
数ｄ₁₅が５００ｐｍ／Ｖ、６００ｐｍ／Ｖ、８００ｐｍ
／Ｖである、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電
セラミック板を用意し、予め板厚方向に分極処理を施し
た後、ダイヤモンド砥粒を固着した回転刃を板厚方向に
押し当て、複数の溝を並設し、次いで上記回転刃を溝と
直角な方向に押し当てて圧電セラミック板を切断するこ
とにより、各溝を仕切る圧電セラミック部を変位発生
部、各変位発生部を連結する圧電セラミック部を固定部
としてなる部材を製作した。この時、各変位発生部の
幅、長さ、厚みは表１に示す寸法とした。

【００４１】その後、各変位発生部を形成する圧電セラ
ミックスの側面に、スパッタリング法によって金からな
る金属膜を被着して電極を形成し、しかる後、各変位発
生部とチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミ
ックスからなる可動部をエポキシ系接着剤を介して接合
することにより圧電アクチュエータを製作した。

【００４２】そして、圧電アクチュエータの固定部を固
定し、各変位発生部の電極間に±２０Ｖの電圧を印加し
て変位させ、可動部の変位量を上方よりレーザー変位計
を用いて測定した。

【００４３】次に、表１に示す試料Ｎｏ１〜２１の圧電
アクチュエータ１１を、図３に示す記録／再生ヘッド位
置決め装置の支持アーム３とヘッドサスペンション２と
の間に配置し、圧電アクチュエータの電極に±２０Ｖの
電圧を印加して可動部を１億回変位させた時の変位発生
部の破断の有無を双眼顕微鏡及びＳＥＭ写真で観察し、
圧電アクチュエータ１１の耐久性について調べる実験を
行った。

【００４４】それぞれ結果は表１に示す通りである。

【００４５】

【表１】

【００４６】この結果、変位発生部の数を３つ以上とす
ることで、圧電アクチュエータの破損を防止できた。

【００４７】また、好ましくは、変位発生部を形成する
圧電セラミックスの圧電歪定数（ｄ ₁₅）を６００ｐｍ／
Ｖ以上とすることで可動部の変位量を０．１μｍ以上と
大きな変位量が得られることが判る。（実施例２）次に、実施例１の表１に示した試料Ｎｏ１
〜２１の圧電アクチュエ―タを、図３に示す記録／再生
ヘッド位置決め装置のヘッドサスペンション２と記録／
再生ヘッド１との間に配置し、圧電アクチュエータの電
極に±２０Ｖの電圧を印加して可動部を１億回変位させ
た時の変位発生部の破断の有無を双眼顕微鏡及びＳＥＭ
写真で観察し、圧電アクチュエータの耐久性について調
べる実験を行った。

【００４８】結果は表２に示す通りである。

【００４９】

【表２】

【００５０】この結果、実施例１と同様に、変位発生部
の数を３つ以上とすることで、変位発生部の破損を防止
できた。

【００５１】また、好ましくは、変位発生部を形成する
圧電セラミックスの圧電歪定数（ｄ ₁₅）を６００ｐｍ／
Ｖ以上とすることで可動部の変位量を０．１μｍ以上と
大きな変位量が得られることが判る。（実施例３）次に、表１の試料Ｎｏ４における圧電アク
チュエータのうち、可動部と固定部をそれぞれ変位発生
部に接着にて接合するとともに、可動部を形成するチタ
ン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスに換
え、アルミナ、ジルコニア、フォルステライト、ステア
タイト、チタニア、ガラス、エポキシ樹脂を用いた時の
可動部（試料Ｎｏ．４３〜４８，５０，５１）の変位量
とそのばらつき具合を測定するとともに、表１の試料Ｎ
ｏ４における圧電アクチュエータのうち、固定部も別体
とし、該固定部をアルミナで形成するとともに、エポキ
シ系接着剤で変位発生部に接合した時の可動部（試料Ｎ
ｏ．４９）の変位量とそのばらつき具合について調べる
実験を行った。結果は表３に示す通りである。

【００５２】

【表３】

【００５３】この結果、固定部又は可動部の少なくとも
一方にＰＺＴ（圧電セラミックス）、アルミナ、ジルコ
ニア、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、ガ
ラスを用いれば、剛性が高く、軽量であることから、可
動部の変位量が大きく、また変位のばらつきも小さく優
れていた。

【００５４】また、これらの圧電アクチュエータを製作
する際の回転刃による加工性を評価したところ、試料Ｎ
ｏ．４，４５〜５０は回転刃の速度を換えることなく快
適に加工できるが、試料Ｎｏ．４３，４４は回転刃の速
度を若干遅くする必要があり、試料Ｎｏ．５１は回転刃
の砥粒の目詰まりが多く、加工性はそれほど良くなかっ
た。

【００５５】この結果、可動部を変位発生部と異なる材
質で形成する場合、フォルステライト、ステアタイト、
チタニア、ガラスを用いれば良いことが判る。

【００５６】

【発明の効果】以上のように、本発明の記録／再生ヘッ
ド位置決め用圧電アクチュエータによれば、固定部及び
可動部と、該固定部と可動部との間に並設され、剪断モ
ードで変位する圧電セラミックスからなる少なくとも3
つの変位発生部とからなり、上記各変位発生部を構成す
る圧電セラミックスの分極方向が同じ方向となるように
配置して構成したことから、可動部を大きく変位させる
ことができるとともに、繰り返し可動部を変位させても
十分な強度を有することから変位発生部の破損がなく、
長期間にわたり使用することができる。

【００５７】特に、上記変位発生部を構成する圧電セラ
ミックスとして、その圧電歪定数（ｄ₁₅）が６００ｐｍ
／Ｖ以上であるものを用いることで、より一層大きな変
位量が得られ好適である。

【００５８】また、圧電アクチュエータを構成する可動
部及び／又は固定部を変位発生部と接着剤にて接合して
構成することにより、変位発生部が変位する際に可動部
や固定部が変形することを防止し、可動部の変位量が低
下したり、変位量がばらつくことを防止することができ
る。

【００５９】また、本発明に係る記録／再生ヘッド位置
決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／
再生ヘッドを接合するとともに、上記記録／再生ヘッド
位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、ヘ
ッドサスペンションを接合して記録／再生ヘッド位置決
め装置を構成するか、あるいは上記記録／再生ヘッド位
置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録
／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを接合する
とともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチ
ュエータを構成する固定部に、支持アームを接合して記
録／再生ヘッド位置決め装置を構成することにより、ボ
イスコイルモーターでは得られない記録／再生ヘッドの
微少移動が可能であることから、トラックピッチが１μ
ｍ以下であるディスクに対しても記録／再生ヘッドの位
置決め精度をトラックピッチの１０％以下とすることが
でき、ディスクへの確実な書き込みやディスクからの確
実な読み出しを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る記録／再生ヘッド位置決め用圧電
アクチュエータの一例を示す斜視図である。

【図２】（ａ）（ｂ）は本発明に係る記録／再生ヘッド
位置決め用圧電アクチュエータの駆動原理を説明するた
めの平面図である。

【図３】本発明の圧電アクチュエータを用いた記録／再
生ヘッド位置決め装置の一例を示す斜視図である。

【図４】本発明の圧電アクチュエータを用いた記録／再
生ヘッド位置決め装置の他の例を示す斜視図である。

【図５】一般的な記録／再生ヘッド位置決め装置の一例
を示す斜視図である。

【図６】従来の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチ
ュエータを備えた記録／再生ヘッド位置決め装置の主要
部を示す斜視図である。

【符号の説明】１：記録／再生ヘッド２：ヘッドサスペンション３：支持アーム４：ボイスコイルモーター５：ディスク１１：記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ１２：固定部１３：可動部１４，１５，１６：変位発生部１７：電極２１：記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ２２：固定部２３：可動部２４，２５：変位発生部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定部と可動部を有し、該固定部と可動部
との間に、剪断モードで変位する圧電セラミックスから
なる少なくとも3つの変位発生部を並設してなり、上記
各変位発生部を構成する圧電セラミックスの分極方向が
同じ方向となるように配置してあることを特徴とする記
録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ。
【請求項２】上記変位発生部を構成する圧電セラミック
スの圧電歪定数（ｄ₁₅）が６００ｐｍ／Ｖ以上であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の記録／再生ヘッド位置
決め用圧電アクチュエータ。
【請求項３】上記可動部及び／又は固定部が、上記各変
位発生部と接着にて接合してあることを特徴とする請求
項１又は請求項２に記載の記録／再生ヘッド位置決め用
圧電アクチュエータ。
【請求項４】請求項１乃至請求項３に記載の記録／再生
ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部
に、記録／再生ヘッドを取着するとともに、上記記録／
再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固
定部に、ヘッドサスペンションを取着したことを特徴と
する記録／再生ヘッド位置決め装置。
【請求項５】請求項１乃至請求項３に記載の記録／再生
ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部
に、記録／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを
取着するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧
電アクチュエータを構成する固定部に、支持アームを取
着したことを特徴とする記録／再生ヘッド位置決め装
置。