JP4566529B2

JP4566529B2 - 微動アクチュエータおよび記録媒体駆動装置

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Publication number: JP4566529B2
Application number: JP2003273363A
Authority: JP
Inventors: 勝春肥田; 剛三田; 和明栗原
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2003-07-11
Filing date: 2003-07-11
Publication date: 2010-10-20
Anticipated expiration: 2023-07-11
Also published as: JP2005028554A

Description

本発明は、任意の表面で支持部材に受け止められる被駆動部材に、その表面を貫通する中心軸回りで回転駆動力を付与する微動アクチュエータに関する。

例えば特開２００３−１２３４１６号公報に開示されるように、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）でヘッドアセンブリに組み込まれる微動アクチュエータは広く知られる。微動アクチュエータは例えばヘッドサスペンションとヘッドスライダとの間に組み込まれる。微動アクチュエータの働きで、ヘッドスライダはヘッドサスペンション上で任意の中心軸回りに回転することができる。こうした回転に基づきヘッドスライダ上の電磁変換素子は高い精度で磁気ディスク上の記録トラックに位置決めされることができる。
特開２００３−１２３４１６号公報特開２００２−７４８７０号公報国際公開第ＷＯ００／３００８１号パンフレット特開２０００−３４８３２１号公報

こういった微動アクチュエータの場合には、ヘッドスライダとの接着面積が著しく制限されてしまう。微動アクチュエータとヘッドスライダとの接着強度は低下する。こういった接着強度が十分に高められなければ、外部からＨＤＤに大きな衝撃が加わった際にヘッドスライダは微動アクチュエータから分離してしまう。

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、被駆動部材に十分に高い強度で固定されることができる微動アクチュエータを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１発明によれば、所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータが提供される。

こういった微動アクチュエータでは、例えば第１圧電素子の収縮に基づき第２固定部材の先端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子の収縮に基づき第３固定部材の先端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。こうして所定の中心軸回りに偶力は生み出される。被駆動部材は中心軸回りで回転する。

この微動アクチュエータでは、被駆動部材と固定部材との間で多数の接着箇所は確保されることができる。したがって、被駆動部材は微動アクチュエータに強固に固定されることができる。被駆動部材の落下や離脱は確実に回避されることができる。第１、第２および第３固定部材は一体に形成されてもよい。

第２発明によれば、所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータが提供される。

こういった微動アクチュエータでは、例えば第１圧電素子で一方の伸縮体が収縮すると、第２固定部材の一端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子で一方の伸縮体が収縮すると、第３固定部材の一端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。こうして所定の中心軸回りに偶力は生み出されることができる。被駆動部材は中心軸回りで回転する。反対に、第１圧電素子で他方の伸縮体が収縮すると、第２固定部材の他端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。第２圧電素子で他方の伸縮体が収縮すると、第３固定部材の他端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。所定の中心軸回りに偶力は生み出されることができる。被駆動部材は中心軸回りで反対向きに回転することができる。

この微動アクチュエータでは、前述と同様に、被駆動部材と固定部材との間で多数の接着箇所は確保されることができる。したがって、被駆動部材は微動アクチュエータに強固に固定されることができる。被駆動部材の落下や離脱は確実に回避されることができる。第１、第２および第３固定部材は一体に形成されてもよい。

ここで、第１圧電素子や第２圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されればよい。こういったセラミック体は例えばグリーンシートから簡単に成形されることができる。ただし、セラミック体の成形にあたっていかなる製法が用いられてもよい。

以上のような微動アクチュエータでは、第１固定部材の長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が第１固定部材に一体に形成されてもよい。こういった取り付け部材によれば、第１固定部材の取り付けにあたって第１固定部材上だけでなく取り付け部材上にも接着層は形成されることができる。接着層の範囲は拡大されることができる。第１固定部材は強固に固定されることができる。

第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されてもよい。こういった配線パターンは第２固定部材上の配線と第３固定部材上の配線とを相互に接続することができる。その結果、微動アクチュエータに至る配線は簡略化されることができる。その他、第１固定部材は導電性材料から構成されてもよい。

以上のような微動アクチュエータは例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に組み込まれて利用されることができる。このとき、微動アクチュエータは、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダとヘッドサスペンションとの間に挟み込まれればよい。微動アクチュエータの働きでヘッドスライダは微小な角度で回転することができる。例えばヘッドスライダ上の電磁変換素子は高い精度で記録トラックを追従することができる。

このとき、記録媒体駆動装置は、例えば、揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えればよい。その他、記録媒体駆動装置は、揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えてもよい。

こういった記録媒体駆動装置は、例えば、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えてもよい。こうしてヘッドスライダ上のヘッド素子に電流は供給されることができる。その他、記録媒体駆動装置は、電流の供給にあたって、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えてもよい。

以上のように本発明によれば、被駆動部材に十分に高い強度で固定されることができる微動アクチュエータを提供することができる。

以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。

図１は記録媒体駆動装置の一具体例に係るハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は、例えば平たい直方体の収容空間を区画する箱形の筐体本体１２を備える。収容空間には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１３が収容される。磁気ディスク１３はスピンドルモータ１４の回転軸に装着される。スピンドルモータ１４は例えば７２００ｒｐｍや１００００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１３を回転させることができる。筐体本体１２には、筐体本体１２との間で収容空間を密閉する蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。

収容空間にはヘッドアクチュエータ１５がさらに収容される。このヘッドアクチュエータ１５は、垂直方向に延びる支軸１６に回転自在に連結されるアクチュエータブロック１７を備える。アクチュエータブロック１７には、支軸１６から水平方向に延びる複数のアクチュエータアーム１８が区画される。こういったアクチュエータブロック１７は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。

個々のアクチュエータアーム１８の先端にはヘッドサスペンションアセンブリ１９が取り付けられる。このヘッドサスペンションアセンブリ１９では、アクチュエータアーム１８の先端から前方に向かってヘッドサスペンション２１が延びる。ヘッドサスペンション２１には、弾性変形に基づきアクチュエータアーム１８に対して揺動するロードビームが組み込まれる。

ヘッドサスペンション２１の先端には浮上ヘッドスライダ２２が支持される。浮上ヘッドスライダ２２には、ロードビームの働きで磁気ディスク１３の表面に向かって押し付け力が作用する。磁気ディスク１３が回転すると、磁気ディスク１３の表面に沿って生成される気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には浮力が作用する。ロードビームの押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１３の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。

こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にヘッドアクチュエータ１５が支軸１６回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１３の半径線に沿って移動することができる。こうした移動に基づき浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１３上の所望の記録トラックに位置決めされる。ヘッドアクチュエータ１５の回転すなわちアクチュエータアーム１８の揺動は例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）といった動力源２３の働きを通じて実現されればよい。

図２に示されるように、本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ１９では、ロードビームの先端にいわゆるフレキシャ２４が固定される。フレキシャ２４には平板部材２５が打ち抜かれる。この平板部材２５はいわゆるジンバルばね２６の働きで姿勢を変化させることができる。平板部材２５の表面に浮上ヘッドスライダ２２は受け止められる。浮上ヘッドスライダ２２はジンバルばね２６の働きで磁気ディスク１３の表面に対して浮上姿勢を変化させることができる。

浮上ヘッドスライダ２２は、平たい直方体に形成されるＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ（アルチック）製のスライダ本体２７を備える。スライダ本体２７には電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド２８が搭載される。読み出し書き込みヘッド２８は、スライダ本体２７の空気流出端に接合されるＡｌ_２Ｏ_３（アルミナ）製のヘッド素子内蔵膜２９に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド２８は、例えば、磁気ディスク１３から情報を読み出す際に使用される巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった読み取り素子と、磁気ディスク１３に情報を書き込む際に使用される薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子とで構成されればよい。

浮上ヘッドスライダ２２の空気流出側端面すなわちヘッド素子内蔵膜２９の表面には２対の電極端子３１、３２すなわち端子パッドが配置される。１対の電極端子３１は例えば読み出し書き込みヘッド２８の読み取り素子に電気的に接続される。こうして読み取り素子には１対の電極端子３１からセンス電流が供給される。電極端子３１からセンス電流の電圧変化は取り出される。もう１対の電極端子３２は例えば読み出し書き込みヘッド２８の書き込み素子に電気的に接続される。電極端子３２から書き込み素子に書き込み電流が供給される。書き込み電流の供給に応じて例えば薄膜コイルパターンで磁界は生成される。

スライダ本体２７およびヘッド素子内蔵膜２９には、磁気ディスク１３に対向する媒体対向面すなわち浮上面３３が規定される。浮上面３３には、スライダ本体２７の空気流入端に沿って延びるフロントレール３４と、スライダ本体２７の空気流出端に隣接して広がるリアレール３５とが形成される。フロントレール３４およびリアレール３５の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）３６、３７が規定される。ＡＢＳ３６、３７の空気流入端は段差３８、３９でレール３４、３５の頂上面に接続される。読み出し書き込みヘッド２８はＡＢＳ３７で前端を露出させる。ただし、ＡＢＳ３７の表面には、読み出し書き込みヘッド２８の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。

磁気ディスク１３の回転に基づき生成される気流は浮上面３３に受け止められる。このとき、段差３８、３９の働きでＡＢＳ３６、３７には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール３４の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。

浮上ヘッドスライダ２２とフレキシャ２４の平板部材２５との間にはマイクロアクチュエータ４１が挟み込まれる。マイクロアクチュエータ４１は平板部材２５に浮上ヘッドスライダ２２を連結する。マイクロアクチュエータ４１の働きで、浮上ヘッドスライダ２２は、浮上面３３を貫通する回転中心軸ＣＲ回りで回転することができる。回転中心軸ＣＲは平板部材２５の表面に直交する。マイクロアクチュエータ４１の詳細は後述される。

フレキシャ２４の表面には所定の配線パターン４２が形成される。この配線パターン４２には、前述のセンス電流や書き込み電流の供給に用いられる電極取り出し用導電パターン４３と、マイクロアクチュエータ４１に駆動電圧を供給する際に用いられる導電パターン４４とが含まれる。電極取り出し用導電パターン４３は、電極端子３１、３２の表面を含む１垂直平面に直交する１水平平面に沿って広がる導電性パッドを備える。

電極取り出し用導電パターン４３と電極端子３１、３２とは導電ワイヤ４５で相互に接続される。個々の導電ワイヤ４５は、電極端子３１、３２の表面から直立する第１接点４６と、導電取り出し用導電パターン４３の表面から直立する第２接点４７とを備える。第１および第２接点４６、４７はワイヤ本体４８で相互に接続される。第１および第２接点４６、４７の９０度の角度差はワイヤ本体４８の湾曲で吸収される。こうした導電ワイヤ４５は例えばワイヤボンディング法に基づき形成されればよい。

図３に示されるように、本発明の一具体例に係るマイクロアクチュエータ４１は、浮上ヘッドスライダ２２の横幅方向に延びる長尺の第１固定部材５１を備える。第１固定部材５１は、横幅方向中央の基準位置で浮上ヘッドスライダ２２の上面を受け止める。この基準位置では、浮上ヘッドスライダ２２は第１接着層５２の働きで第１固定部材５１に接着される。第１接着層５２は少なくとも回転中心軸ＣＲから周囲に向かって広がる。ただし、第１接着層５２は、第１固定部材５１に対して浮上ヘッドスライダ２２の回転を妨げない程度に接着力を発揮する。第１固定部材５１は接着層５３の働きで平板部材２５に固着される。第１接着層５２や接着層５３は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。

第１固定部材５１の一端には、相反する２方向に延びる第２固定部材５４が一体に形成される。この第２固定部材５４は、前述の横幅方向に直交する前後方向に延びればよい。第２固定部材５４の前端および後端は浮上ヘッドスライダ２２の側面を受け止める。第２接着層５５の働きで浮上ヘッドスライダ２２は第２固定部材５４の前端および後端に接着される。第２接着層５５同士は所定の間隔で隔てられる。第２接着層５５は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。第２固定部材５４の外向き面には第１圧電素子５６が貼り付けられる。貼り付けにあたって例えば接着剤は用いられる。第１圧電素子５６の詳細は後述される。

同様に、第１固定部材５１の他端には、相反する２方向に延びる第３固定部材５７が一体に形成される。第１〜第３固定部材５１、５４、５７は例えばジルコニアのグリーンシートから焼成に基づき成型されればよい。この第３固定部材５７は、前述の横幅方向に直交する前後方向に延びればよい。第３固定部材５７の前端および後端は浮上ヘッドスライダ２２の側面を受け止める。第３接着層５８の働きで浮上ヘッドスライダ２２は第３固定部材５７の前端および後端に接着される。第３接着層５８同士は所定の間隔で隔てられる。第３接着層５８は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。第３固定部材５７の外向き面には第２圧電素子５９が貼り付けられる。貼り付けにあたって例えば接着剤は用いられる。

図４に示されるように、第１圧電素子５６は前端側の第１伸縮体６２ａと後端側の第２伸縮体６２ｂとを備える。第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは不活性域６３で相互に隔てられる。この不活性域６３に基づき第１圧電素子５６は第２固定部材５４上で位置決めされる。すなわち、第１伸縮体６２ａは第２固定部材５４の前端と第１固定部材５１との間に配置される。第２伸縮体６２ｂは第２固定部材５４の後端と第１固定部材５１との間に配置される。

第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは圧電セラミック薄板の積層体から構成される。圧電セラミック薄板は、平板部材２５の表面に対して直立姿勢で順番に重ね合わせられる。圧電セラミック薄板は例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺといった圧電性材料から構成されればよい。ここでは、第１伸縮体６２ａ、不活性域６３および第２伸縮体６２ｂは、連続する１セラミック体から構成される。

第１伸縮体６２ａでは、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層６４および第２電極層６５が交互に挟み込まれる。第１伸縮体６２ａの外壁には第１取り出し電極層６６が接合される。全ての第１電極層６４は第１取り出し電極層６６に接続される。同様に、第２伸縮体６２ｂでは、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層６４および第２電極層６５が交互に挟み込まれる。第２伸縮体６２ｂの外壁には第１取り出し電極層６６が接合される。全ての第１電極層６４は第１取り出し電極層６６に接続される。

その一方で、不活性域６３の外壁には第２取り出し電極層６７が接合される。全ての第２電極層６５は第２取り出し電極層６７に接続される。ここでは、第１伸縮体６２ａ内の第２電極層６５と第２伸縮体６２ｂ内の第２電極層６５とは不活性域６３を貫通して連続する。第１および第２電極層６４、６５や第１および第２取り出し電極層６６、６７は例えばＰｔといった導電性金属材料から構成されればよい。

例えば前端側の第１取り出し電極層６６に駆動電圧が供給されると、第１伸縮体６２ａ内では第１電極層６４および第２電極層６５の間に電位差が生み出される。個々の圧電セラミック薄板では、第１および第２電極層６４、６５の間に確立される電圧の向きに応じて分極が引き起こされる。同時に、この分極方向に電圧は印加される。その結果、第１伸縮体６２ａは前後方向に収縮する。同様に、後端側の第１取り出し電極層６６に駆動電圧が供給されると、第２伸縮体６２ｂは前後方向に収縮する。なお、第２圧電素子５９は第１圧電素子５６と同様に構成されればよい。ただし、第２圧電素子５９では、第１伸縮体６２ａは第３固定部材５７の後端と第１固定部材５１との間に配置され、第２伸縮体６２ｂは第３固定部材５７の前端と第１固定部材５１との間に配置される。

こういった圧電素子５６、５９の製造にあたって例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺのグリーンシートは利用される。個々のグリーンシート上には第１および第２電極層６４、６５が形成される。形成にあたって例えばスクリーン印刷が用いられればよい。第１および第２電極層６４、６５の素材には例えばＰｔといった導電材料が用いられればよい。グリーンシートは順番に積層された後に大気中で焼成される。グリーンシートは例えば１０５０℃程度の高温に曝される。こうして形成されたセラミック体から複数の圧電素子５６、５９は切り出されることができる。切り出された圧電素子５６、５９は第２固定部材５４や第３固定部材５７に接着される。その他、圧電素子５６、５７はＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺペーストやＰｔペーストの印刷法に基づき形成されてもよい。この場合には、圧電セラミック薄板や第１および第２電極６４、６５は第２固定部材５４や第３固定部材５７の表面に直接に形成されていく。

いま、磁気ディスク１３上の記録トラックに対して浮上ヘッドスライダ２２上の読み出し書き込みヘッド２８が位置決めされる場面を想定する。アクチュエータアーム１８の揺動に基づき記録トラックに対して読み出し書き込みヘッド２８は位置決めされる。記録トラックに対する読み出し書き込みヘッド２８の追従が始まると、コントローラチップはいわゆるサーボ制御に基づきマイクロアクチュエータ４１に電気信号を供給する。

図５に示されるように、第１および第２圧電素子５６、５９で第１伸縮体６２ａに駆動電圧が供給されると、第１伸縮体６２ａは収縮する。第１圧電素子５６の前端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子５９の後端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。こうして回転中心軸ＣＲ回りに偶力は生み出される。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に移動する。その一方で、第１および第２圧電素子５６、５９で第２伸縮体６２ｂに駆動電圧が供給されると、図６に示されるように、第２伸縮体６２ｂは収縮する。第１圧電素子５６の後端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子５９の前端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。回転中心軸ＣＲ回りに偶力は生み出される。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに反時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に移動する。こうして読み出し書き込みヘッド２８は高い精度で記録トラックを追従し続けることができる。

図５および図６から明らかなように、第１伸縮体６２ａ、６２ａの第１取り出し電極層６６は平板２５上の第１導電パッド７１に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７２は用いられることができる。第１導電パッド７１には導電パターン４４から駆動電圧が供給される。第１導電パッド７１同士は例えば任意の配線パターン７３で相互に接続されればよい。こうして１対の第１伸縮体６２ａにはコントローラチップから単一の配線パターン４４で駆動電圧は供給されることができる。

同様に、第２伸縮体６２ｂ、６２ｂの第１取り出し電極層６６は平板２５上の第２導電パッド７４に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７５は用いられることができる。第２導電パッド７４には導電パターン４４から駆動電圧が供給される。第２導電パッド７４同士は例えば任意の配線パターン７６で相互に接続されればよい。こうして１対の第２伸縮体６２ｂにはコントローラチップから単一の配線パターン４４で駆動電圧は供給されることができる。

さらにまた、不活性域６３、６３の第２取り出し電極層６７は平板２５上の第３導電パッド７７に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７８は用いられることができる。第１伸縮体６２ａや第２伸縮体６２ｂに供給された駆動電圧は第３導電パッド７７から導電パターン４４に逃される。第３導電パッド７７同士は例えば任意の配線パターン７９で相互に接続されればよい。こうして１対の第２取り出し電極層６７から単一の配線パターン４４で駆動電圧は逃されることができる。配線パターン７９は例えば第１固定部材５１上に形成されてもよい。

以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ１９では、読み出し書き込みヘッド２８の微小移動にあたって浮上ヘッドスライダ２２の回転が利用される。回転時に浮上ヘッドスライダ２２で生成される慣性モーメントは低く抑え込まれる。したがって、マイクロアクチュエータ４１には比較的に小さなモーメントのみが作用する。その結果、浮上ヘッドスライダ２２とマイクロアクチュエータ４１とで構成される振動系の固有振動数は高められることができる。広い周波数帯域でサーボ信号の周波数は確保されることができる。

しかも、第１圧電素子５６や第２圧電素子５９が直接にフレキシャ２４の平板部材２５に接着される場合に比べて、浮上ヘッドスライダ２２およびマイクロアクチュエータ４１の間には多数の接着箇所が確保されることができる。したがって、浮上ヘッドスライダ２２はマイクロアクチュエータ４１に強固に固定されることができる。例えばＨＤＤ１１の外部から大きな衝撃が加わっても、浮上ヘッドスライダ２２の落下や離脱は確実に回避されることができる。

以上のようなマイクロアクチュエータ４１では、例えば図７に示されるように、第１固定部材５１の長手方向に直交する横幅方向すなわち浮上ヘッドスライダ２２の前後方向に広がる取り付け部材８１が一体に形成されてもよい。こういった取り付け部材８１は、前述の第１固定部材５１単体に比べて接着層５３の範囲を拡大させることができる。したがって、第１固定部材５１はさらに強固に平板部材２５に固定されることができる。第１固定部材５１すなわち浮上ヘッドスライダ２２の落下はさらに確実に防止されることができる。

その他、例えば図８に示されるように、第１固定部材５１は第２および第３固定部材５４、５７とは別部材で構成されてもよい。こういった場合には、第１固定部材５１は例えば導電性の金属材料から構成されてもよい。第１固定部材５１に導電性が付与されれば、第１固定部材５１は、前述のように第３導電パッド７７同士を接続する配線パターン７９として機能することができる。この場合でも、例えば図９に示されるように、第１固定部材５１にはその横幅方向に広がる取り付け部材８２が一体に形成されてもよい。取り付け部材８２は接着層５３の範囲の拡大に大いに寄与する。ここで、第２固定部材５４や第３固定部材５７上では、例えば図８や図９に示されるように、第２取り出し電極層６７と第３導電パッド７７との接続にあたって第２取り出し電極６７には張り出し部７７ａが形成されてもよい。

なお、第２固定部材５４や第３固定部材５７は、第１固定部材５１から少なくともいずれか一方にのみ延びればよい。例えば、第２固定部材５４が第１固定部材５１から前方に延びる場合には、第３固定部材５７は第１固定部材５１から後方に延びればよい。反対に、第２固定部材５４が第１固定部材５１から後方に延びる場合には、第３固定部材５７は第１固定部材５１から前方に延びればよい。こういった場合には、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂのいずれか一方のみが圧電素子５６、５９内に確立されればよい。その他、前述の不活性域６３には、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂを相互に隔てる空間が配置されてもよい。すなわち、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは別体に構成されてもよい。

以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ１９では、例えば図１０に示されるように、センス電流の供給や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント配線基板８３が用いられてもよい。フレキシブルプリント配線基板８３は例えばロードビームから前方に向かって浮上ヘッドスライダ２２まで延びればよい。フレキシブルプリント配線基板８３は浮遊領域でヘッドサスペンション２１すなわちフレキシャ２４から離隔する。言い換えれば、フレキシブルプリント配線基板８３はフレキシャ２４の平板部材２５には接触しない。

フレキシブルプリント配線基板８３の表面には導電性パッド８４が形成される。個々の導電性パッド８４は対応する電極端子３１、３２にそれぞれ位置合わせられる。電極端子３１、３２は対応する導電性パッド８４に個別に接続される。こういった接続にあたって例えば金ボールといったボンディング部材が用いられればよい。前述と同様に、個々の導電性パッド８４は対応する電極取り出し用導電パターン４３に接続される。電極取り出し用導電パターン４３は同様にフレキシブルプリント配線基板８２の表面に形成されればよい。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ１９と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。

ヘッドサスペンションアセンブリ１９では、浮上ヘッドスライダ２２の回転に伴い電極端子３１、３２はフレキシャ２４に対して相対的に移動する。このとき、電極端子３１、３２の移動はフレキシブルプリント配線基板８２の変形を引き起こす。したがって、浮上ヘッドスライダ２２の回転は妨げられない。電極端子３１、３２と導電性パッド８４との間で確実に電気的接合は維持されることができる。

なお、前述のようなマイクロアクチュエータ４１では圧電素子の構造や配置は適宜に設定されればよい。

（付記１）所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記２）付記１に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１、第２および第３固定部材は一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記３）付記１または２に記載の微動アクチュエータにおいて、前記被駆動部材は、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダであることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記４）付記１〜３のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材には、前記長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記５）付記１〜４のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記６）付記１に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材は導電性材料から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記７）所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記８）付記７に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記９）付記７または８に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第２圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１０）付記７〜９のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記被駆動部材は、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダであることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１１）付記７〜１０のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１、第２および第３固定部材は一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１２）付記７〜１１のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材には、前記長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１３）付記７〜１２のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１４）付記７に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材は導電性材料から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。

（付記１５）揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記１６）付記１５に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記１７）付記１５に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記１８）揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記１９）付記１８に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記２０）付記１８に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

記録媒体駆動装置の一具体例に係るハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の構造を概略的に示す平面図である。本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの主要部の構造を概略的に示す拡大斜視図である。浮上ヘッドスライダおよびマイクロアクチュエータの分解斜視図である。第１圧電素子の構造を概略的に示す拡大斜視図である。マイクロアクチュエータの動作を説明するヘッドサスペンションアセンブリの拡大部分平面図である。マイクロアクチュエータの動作を説明するヘッドサスペンションアセンブリの拡大部分平面図である。別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。さらに別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。さらに別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。図２に対応し、他の具体例に係るヘッドサスペンションアセンブリの主要部の構造を概略的に示す拡大斜視図である。

１１記録媒体駆動装置としてのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）、１３記録媒体としての磁気ディスク、１８揺動アーム（アクチュエータアーム）、１９ヘッドサスペンションアセンブリ、２１ヘッドサスペンション、２２被駆動部材としてのヘッドスライダ、２５支持部材（平板部材）、２６ジンバルばね、３１、３２端子パッド（電極端子）、４１微動アクチュエータ（マイクロアクチュエータ）、４５ワイヤボンディング部材（導電ワイヤ）、５１第１固定部材、５４第２固定部材、５６第１圧電素子、５７第３固定部材、５９第２圧電素子、６２ａ第１伸縮体、６２ｂ第２伸縮体、６３不活性域、７９配線パターン、８１取り付け部材、８２取り付け部材、８３フレキシブルプリント配線基板、８４導電性パッド。

Claims

所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止め、前記被駆動部材の回転中心軸上で前記被駆動部材に接着される第１固定部材と、前記第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、前記第１方向の先端で前記被駆動部材に接着される第２固定部材と、前記第１固定部材の他端から前記第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、第２方向の先端で前記被駆動部材に接着される第３固定部材と、前記第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、前記第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止め、前記被駆動部材の回転中心軸上で前記被駆動部材に接着される第１固定部材と、前記第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、前記２方向の先端で前記被駆動部材に接着される第２固定部材と、前記第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、前記２方向の先端で前記被駆動部材に接着される第３固定部材と、前記第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で前記第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、前記第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で前記第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止め、前記ヘッドスライダの回転中心軸上で前記ヘッドスライダに接着される第１固定部材と、前記第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、前記第１方向の先端で前記ヘッドスライダに接着される第２固定部材と、前記第１固定部材の他端から前記第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、前記第２方向の先端で前記ヘッドスライダに接着される第３固定部材と、前記第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、前記第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。