JP2002035709A - レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法 - Google Patents
レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法Info
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- JP2002035709A JP2002035709A JP2000223226A JP2000223226A JP2002035709A JP 2002035709 A JP2002035709 A JP 2002035709A JP 2000223226 A JP2000223226 A JP 2000223226A JP 2000223226 A JP2000223226 A JP 2000223226A JP 2002035709 A JP2002035709 A JP 2002035709A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、レーザクリーニング処理におい
て、洗浄対象物の表面から脱離したパーティクルが洗浄
対象物に再付着することを防止できるパーティクルの捕
集装置及び捕集方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明によるレーザクリーニング処理に
おけるパーティクルの捕集装置は、チャンバ(10)内に設
置した洗浄対象物(11)にレーザ光(12)を照射し、洗浄対
象物(11)の表面に付着したパーティクル(6)を除去する
レーザクリーニング装置において、パーティクル(6)を
捕集するためにチャンバ(10)内に設けられた複数の捕集
電極(14)と、複数の捕集電極(14)間に電位差を与えるた
めの電源(16)とを備え、レーザ光(12)によって帯電され
た帯電パーティクル(7)を複数の捕集電極(14)間の電位
差を用いて捕集電極(14)で捕集する構成である。
て、洗浄対象物の表面から脱離したパーティクルが洗浄
対象物に再付着することを防止できるパーティクルの捕
集装置及び捕集方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明によるレーザクリーニング処理に
おけるパーティクルの捕集装置は、チャンバ(10)内に設
置した洗浄対象物(11)にレーザ光(12)を照射し、洗浄対
象物(11)の表面に付着したパーティクル(6)を除去する
レーザクリーニング装置において、パーティクル(6)を
捕集するためにチャンバ(10)内に設けられた複数の捕集
電極(14)と、複数の捕集電極(14)間に電位差を与えるた
めの電源(16)とを備え、レーザ光(12)によって帯電され
た帯電パーティクル(7)を複数の捕集電極(14)間の電位
差を用いて捕集電極(14)で捕集する構成である。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザクリーニン
グ処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法に
関し、特に、レーザクリーニング処理時において、一度
洗浄対象物から脱離したパーティクルが洗浄対象物に再
付着することを防止できるようにするための新規な改良
に関する。
グ処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法に
関し、特に、レーザクリーニング処理時において、一度
洗浄対象物から脱離したパーティクルが洗浄対象物に再
付着することを防止できるようにするための新規な改良
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の装置とし
ては図４で示される、例えばパーティクル除去装置の構
成を挙げることができる。すなわち、図４において、符
号１で示されるものは捕集電極であり、この捕集電極１
は通常１枚にて構成され、高電位に保持されている。
ては図４で示される、例えばパーティクル除去装置の構
成を挙げることができる。すなわち、図４において、符
号１で示されるものは捕集電極であり、この捕集電極１
は通常１枚にて構成され、高電位に保持されている。
【０００３】このようなパーティクル除去装置は、例え
ば殺菌用の紫外線ランプ２等を光源として用いており、
この紫外線ランプ２から放出される紫外光３を光電子放
出材４に照射して光電子放出材４から電子５を放出さ
せ、さらに、この電子５によりパーティクル６を帯電さ
せて帯電パーティクル７とし、これに電界をかけて捕集
電極１で捕集する。このような光電子放出材４は、例え
ば、金薄膜で構成されている。
ば殺菌用の紫外線ランプ２等を光源として用いており、
この紫外線ランプ２から放出される紫外光３を光電子放
出材４に照射して光電子放出材４から電子５を放出さ
せ、さらに、この電子５によりパーティクル６を帯電さ
せて帯電パーティクル７とし、これに電界をかけて捕集
電極１で捕集する。このような光電子放出材４は、例え
ば、金薄膜で構成されている。
【０００４】なお、図４はパーティクル除去装置の要部
を示した図であるため、洗浄対象物及びチャンバは図示
されていないが、このようなパーティクル除去装置は実
際にはチャンバ内に設置され、このチャンバ内には表面
にパーティクルが付着した例えばシリコンウエハなどの
洗浄対象物が設置されている。
を示した図であるため、洗浄対象物及びチャンバは図示
されていないが、このようなパーティクル除去装置は実
際にはチャンバ内に設置され、このチャンバ内には表面
にパーティクルが付着した例えばシリコンウエハなどの
洗浄対象物が設置されている。
【０００５】紫外線ランプ２のように、波長が短く、光
子１つ当たりのエネルギーが大きな光を光電子放出材４
に照射すると、その光子エネルギーにより光電子放出材
４から電子５が放出される。そして、電子５が除去対象
物であるパーティクル６に付着することにより帯電パー
ティクル７が生成される。この帯電パーティクル７は負
に帯電して負イオンになっている。従って、捕集電極１
を高電位に保持すれば、帯電パーティクル７が捕集電極
１に吸着される。なお、この捕集電極１は、特定方向の
電界を持つものではなく、無限遠の電位を零としたとき
と同様の電界を持つように構成されている。
子１つ当たりのエネルギーが大きな光を光電子放出材４
に照射すると、その光子エネルギーにより光電子放出材
４から電子５が放出される。そして、電子５が除去対象
物であるパーティクル６に付着することにより帯電パー
ティクル７が生成される。この帯電パーティクル７は負
に帯電して負イオンになっている。従って、捕集電極１
を高電位に保持すれば、帯電パーティクル７が捕集電極
１に吸着される。なお、この捕集電極１は、特定方向の
電界を持つものではなく、無限遠の電位を零としたとき
と同様の電界を持つように構成されている。
【０００６】このようにパーティクル６を帯電させて捕
集電極１で捕集して除去するパーティクル除去装置は、
例えば、特開平１１−２２７９４０２号公報、特開平８
−８５１５３号公報、特開平１０−１４４６４０４号公
報及び特開平６−１９８２１５号公報等により周知であ
る。
集電極１で捕集して除去するパーティクル除去装置は、
例えば、特開平１１−２２７９４０２号公報、特開平８
−８５１５３号公報、特開平１０−１４４６４０４号公
報及び特開平６−１９８２１５号公報等により周知であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置は以上のよ
うに構成されていたため、次のような課題が存在してい
た。すなわち、従来の装置では、紫外光３を用いてパー
ティクル６をイオン化させるために、紫外線ランプ２お
よび光電子放出材４を別途用意する必要がある。また、
紫外線ランプ２から放出される紫外光３のエネルギー密
度は低く、光子数が少ない。このため、パーティクル６
の帯電化確率が低いという課題があった。
うに構成されていたため、次のような課題が存在してい
た。すなわち、従来の装置では、紫外光３を用いてパー
ティクル６をイオン化させるために、紫外線ランプ２お
よび光電子放出材４を別途用意する必要がある。また、
紫外線ランプ２から放出される紫外光３のエネルギー密
度は低く、光子数が少ない。このため、パーティクル６
の帯電化確率が低いという課題があった。
【０００８】また、帯電パーティクル７の密度を高める
ために各帯電パーティクル７の帯電時間を長時間化させ
るためには、真空雰囲気下での使用が望ましく、大気中
での使用には不向きであるという課題があった。また、
捕集電極１は通常１枚であるため、捕集できるパーティ
クル６は主に捕集電極１の近辺に浮遊してきたパーティ
クル６であり、捕集電極１から離れて存在するパーティ
クル６を積極的に捕集することはできなかった。さら
に、従来のレーザクリーニング装置は、捕集電極を備え
ないため洗浄対象物の表面から脱離したパーティクルの
再付着が課題となっていた。
ために各帯電パーティクル７の帯電時間を長時間化させ
るためには、真空雰囲気下での使用が望ましく、大気中
での使用には不向きであるという課題があった。また、
捕集電極１は通常１枚であるため、捕集できるパーティ
クル６は主に捕集電極１の近辺に浮遊してきたパーティ
クル６であり、捕集電極１から離れて存在するパーティ
クル６を積極的に捕集することはできなかった。さら
に、従来のレーザクリーニング装置は、捕集電極を備え
ないため洗浄対象物の表面から脱離したパーティクルの
再付着が課題となっていた。
【０００９】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたものであり、特に、レーザクリーニング処
理を行うのと同時に、洗浄対象物の表面から脱離したパ
ーティクルが洗浄対象物に再付着することを防止し、ま
た、レーザクリーニング装置と組み合わせることによ
り、パーティクルをイオン化するための光源を別途用意
する必要のないレーザクリーニング処理におけるパーテ
ィクルの捕集装置及び捕集方法を提供することを目的と
する。
めになされたものであり、特に、レーザクリーニング処
理を行うのと同時に、洗浄対象物の表面から脱離したパ
ーティクルが洗浄対象物に再付着することを防止し、ま
た、レーザクリーニング装置と組み合わせることによ
り、パーティクルをイオン化するための光源を別途用意
する必要のないレーザクリーニング処理におけるパーテ
ィクルの捕集装置及び捕集方法を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザクリーニ
ング処理におけるパーティクルの捕集装置は、チャンバ
内に設置した洗浄対象物にレーザ光を照射し、前記洗浄
対象物の表面に付着したパーティクルを除去するレーザ
クリーニング装置において、前記パーティクルを捕集す
るために前記チャンバ内に設けられた複数の捕集電極
と、前記複数の捕集電極間に電位差を与えるための電源
とを備え、前記レーザ光によって帯電された帯電パーテ
ィクルを前記複数の捕集電極間の電位差を用いて前記捕
集電極で捕集する構成であり、また、前記捕集電極は前
記レーザクリーニング装置に対して浮遊電位に保持され
ている構成であり、また、前記チャンバ内は減圧される
と共に、前記チャンバ内には光電子放出材が設けられて
おり、前記光電子放出材に前記レーザ光を照射すること
により前記光電子放出材から放出された電子を用いて、
前記洗浄対象物からパーティクルを帯電させて取り出す
構成である。また、本発明のレーザクリーニング処理に
おけるパーティクルの捕集方法は、チャンバ内に設置し
た洗浄対象物にレーザ光を照射し、前記洗浄対象物の表
面に付着したパーティクルを除去するレーザクリーニン
グ装置において、前記レーザ光によるクリーニングの際
に洗浄対象物の表面に付着したパーティクルを帯電さ
せ、前記レーザ光により帯電された帯電パーティクルを
捕集するための複数の捕集電極を用いて前記チャンバ内
で電位差を生じさせ、前記電位差により前記帯電パーテ
ィクルを前記捕集電極で捕集する構成であり、また、前
記捕集電極は前記レーザクリーニング装置に対して浮遊
電位に保持されている構成であり、さらに、前記チャン
バ内は減圧されると共に、前記チャンバ内には光電子放
出材が設けられており、前記光電子放出材に前記レーザ
光を照射することにより前記光電子放出材から放出され
た電子を用いて、前記洗浄対象物からパーティクルを帯
電させて取り出す構成である。
ング処理におけるパーティクルの捕集装置は、チャンバ
内に設置した洗浄対象物にレーザ光を照射し、前記洗浄
対象物の表面に付着したパーティクルを除去するレーザ
クリーニング装置において、前記パーティクルを捕集す
るために前記チャンバ内に設けられた複数の捕集電極
と、前記複数の捕集電極間に電位差を与えるための電源
とを備え、前記レーザ光によって帯電された帯電パーテ
ィクルを前記複数の捕集電極間の電位差を用いて前記捕
集電極で捕集する構成であり、また、前記捕集電極は前
記レーザクリーニング装置に対して浮遊電位に保持され
ている構成であり、また、前記チャンバ内は減圧される
と共に、前記チャンバ内には光電子放出材が設けられて
おり、前記光電子放出材に前記レーザ光を照射すること
により前記光電子放出材から放出された電子を用いて、
前記洗浄対象物からパーティクルを帯電させて取り出す
構成である。また、本発明のレーザクリーニング処理に
おけるパーティクルの捕集方法は、チャンバ内に設置し
た洗浄対象物にレーザ光を照射し、前記洗浄対象物の表
面に付着したパーティクルを除去するレーザクリーニン
グ装置において、前記レーザ光によるクリーニングの際
に洗浄対象物の表面に付着したパーティクルを帯電さ
せ、前記レーザ光により帯電された帯電パーティクルを
捕集するための複数の捕集電極を用いて前記チャンバ内
で電位差を生じさせ、前記電位差により前記帯電パーテ
ィクルを前記捕集電極で捕集する構成であり、また、前
記捕集電極は前記レーザクリーニング装置に対して浮遊
電位に保持されている構成であり、さらに、前記チャン
バ内は減圧されると共に、前記チャンバ内には光電子放
出材が設けられており、前記光電子放出材に前記レーザ
光を照射することにより前記光電子放出材から放出され
た電子を用いて、前記洗浄対象物からパーティクルを帯
電させて取り出す構成である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるレ
ーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置
及び捕集方法の好適な実施の形態について詳細に説明す
る。なお、従来装置と同一または同等部分には同一符号
を付し、その説明を省略する。
ーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置
及び捕集方法の好適な実施の形態について詳細に説明す
る。なお、従来装置と同一または同等部分には同一符号
を付し、その説明を省略する。
【００１２】図１において、符号１０で示されるものは
本装置が取り付けられるレーザクリーニング装置のチャ
ンバー（以下、ＬＣチャンバ１０と称す）である。この
ＬＣチャンバ１０は、真空、大気の両方に対応可能なチ
ャンバである。本発明を適用するレーザクリーニング装
置では、ＬＣチャンバ１０の外部から石英窓（レーザ透
過窓）１３を通して紫外線レーザ光１２がＬＣチャンバ
１０内に導入され、ＬＣチャンバ１０内に置かれた洗浄
対象物１１に紫外線レーザ光１２を照射することによ
り、パーティクル６を洗浄対象物１１から離脱させる。
本装置が取り付けられるレーザクリーニング装置のチャ
ンバー（以下、ＬＣチャンバ１０と称す）である。この
ＬＣチャンバ１０は、真空、大気の両方に対応可能なチ
ャンバである。本発明を適用するレーザクリーニング装
置では、ＬＣチャンバ１０の外部から石英窓（レーザ透
過窓）１３を通して紫外線レーザ光１２がＬＣチャンバ
１０内に導入され、ＬＣチャンバ１０内に置かれた洗浄
対象物１１に紫外線レーザ光１２を照射することによ
り、パーティクル６を洗浄対象物１１から離脱させる。
【００１３】この紫外線レーザ光１２は、光子エネルギ
ー自体が大きく、そのエネルギー密度も大きいため、Ｌ
Ｃチャンバ１０内の気体がレーザ光１２によって電離さ
れ、これにより生じたイオンあるいは電子が洗浄対象物
１１の表面から離脱したパーティクル６に付着すること
によって帯電パーティクル７が生じる場合や、洗浄対象
物１１の表面からパーティクル６を離脱させた時点でパ
ーティクル６を帯電させて帯電パーティクル７にする場
合があり、また、洗浄対象物１１からパーティクル６が
離脱した時点では帯電していないが、離脱直後に紫外線
レーザ光１２により帯電されて帯電パーティクル７にな
る場合もある。
ー自体が大きく、そのエネルギー密度も大きいため、Ｌ
Ｃチャンバ１０内の気体がレーザ光１２によって電離さ
れ、これにより生じたイオンあるいは電子が洗浄対象物
１１の表面から離脱したパーティクル６に付着すること
によって帯電パーティクル７が生じる場合や、洗浄対象
物１１の表面からパーティクル６を離脱させた時点でパ
ーティクル６を帯電させて帯電パーティクル７にする場
合があり、また、洗浄対象物１１からパーティクル６が
離脱した時点では帯電していないが、離脱直後に紫外線
レーザ光１２により帯電されて帯電パーティクル７にな
る場合もある。
【００１４】ここで、捕集電極１４は２枚の対向電極構
造をしており、この２枚の電極間に電流導入端子１５を
介して高圧電源１６から高電圧が印加されている。この
高電圧が作る電極間電界１７により、ある特定方向の電
界が発生する。この電界の向きは、帯電パーティクル７
が正負のどちらに帯電するかによって、高電圧の印加方
向を変化させる必要が有る。帯電パーティクル７は、電
極間電界１７により捕集電極１４に誘導されて捕集さ
れ、この結果、洗浄対象物１１にパーティクル６が再付
着することを防止できる。
造をしており、この２枚の電極間に電流導入端子１５を
介して高圧電源１６から高電圧が印加されている。この
高電圧が作る電極間電界１７により、ある特定方向の電
界が発生する。この電界の向きは、帯電パーティクル７
が正負のどちらに帯電するかによって、高電圧の印加方
向を変化させる必要が有る。帯電パーティクル７は、電
極間電界１７により捕集電極１４に誘導されて捕集さ
れ、この結果、洗浄対象物１１にパーティクル６が再付
着することを防止できる。
【００１５】ここで、図２及び図３は、本発明において
捕集電極１４を１つ用いた場合と、２つ用いた場合にお
ける帯電パーティクルの捕集率の時間変化を示す特性図
である。これらの特性を比較して分かるとおり、捕集電
極１４を２つ用いた場合（図３）の方が帯電パーティク
ルの捕集率が大幅に向上していることが分かる。これ
は、２つの捕集電極１４間で効率よく電界をかけること
により、帯電パーティクルの捕集率が高まるからであ
る。従って、本発明では、捕集電極１４は２つ以上備え
る必要がある。
捕集電極１４を１つ用いた場合と、２つ用いた場合にお
ける帯電パーティクルの捕集率の時間変化を示す特性図
である。これらの特性を比較して分かるとおり、捕集電
極１４を２つ用いた場合（図３）の方が帯電パーティク
ルの捕集率が大幅に向上していることが分かる。これ
は、２つの捕集電極１４間で効率よく電界をかけること
により、帯電パーティクルの捕集率が高まるからであ
る。従って、本発明では、捕集電極１４は２つ以上備え
る必要がある。
【００１６】以上、本発明によれば、レーザクリーニン
グ装置において紫外線レーザ光によるレーザクリーニン
グ処理を行う際に、洗浄対象物１１から除去され発生し
たパーティクル６をクリーニング用の紫外線レーザ光１
２で帯電させ、帯電パーティクル７を捕集電極１４で捕
集することができるので、洗浄対象物１１の表面にパー
ティクル６が再付着することにより洗浄対象物が汚染さ
れることを防止することができる。また、洗浄対象物１
１から除去されたパーティクル６以外のパーティクル６
（例えばＬＣチャンバ１０に始めから存在していたパー
ティクル６等）も同様に捕集できるので、洗浄対象物１
１に付着していたパーティクル６以外のパーティクル６
が再付着することにより洗浄対象物が汚染されることを
防止できる。
グ装置において紫外線レーザ光によるレーザクリーニン
グ処理を行う際に、洗浄対象物１１から除去され発生し
たパーティクル６をクリーニング用の紫外線レーザ光１
２で帯電させ、帯電パーティクル７を捕集電極１４で捕
集することができるので、洗浄対象物１１の表面にパー
ティクル６が再付着することにより洗浄対象物が汚染さ
れることを防止することができる。また、洗浄対象物１
１から除去されたパーティクル６以外のパーティクル６
（例えばＬＣチャンバ１０に始めから存在していたパー
ティクル６等）も同様に捕集できるので、洗浄対象物１
１に付着していたパーティクル６以外のパーティクル６
が再付着することにより洗浄対象物が汚染されることを
防止できる。
【００１７】レーザクリーニング処理に使用する紫外線
レーザ光を直接使用することで、レーザクリーニング装
置本体以外に、パーティクルを帯電させるための紫外線
ランプ等の手段を別途設けることなく、かつレーザ光の
ような単一波長でエネルギー密度の非常に高い光源を用
いることで、特にチャンバ内を真空状態にしなくても、
帯電パーティクルの密度を高く保持することが可能であ
る。
レーザ光を直接使用することで、レーザクリーニング装
置本体以外に、パーティクルを帯電させるための紫外線
ランプ等の手段を別途設けることなく、かつレーザ光の
ような単一波長でエネルギー密度の非常に高い光源を用
いることで、特にチャンバ内を真空状態にしなくても、
帯電パーティクルの密度を高く保持することが可能であ
る。
【００１８】また、ＬＣチャンバ１０内を真空状態にす
る場合には、ＬＣチャンバ１０内において帯電パーティ
クル７を生成する基となるイオンあるいは電子の密度が
低下するため、これを補って帯電パーティクルの密度を
高く保つために従来と同様に光電子放出材４を使用する
ことが望ましいが、このように光電子放出材４を使用す
る場合であっても、使用する紫外線レーザ光１２の光子
エネルギーが高いことから、帯電パーティクル７の密度
を高く保持するために必要なレーザエネルギー密度は小
さくてすむため、レーザクリーング処理に使用する紫外
線レーザ光を適当な光学系を用いて分岐してパーティク
ル６を帯電させるために使用しても、レーザクリーニン
グ処理に必要なレーザ光エネルギー密度が損なわれるこ
とはなく、レーザクリーニング装置の紫外線レーザ光を
用いてレーザクリーニング処理とパーティクル６を帯電
させる処理とを両立させることが可能となる。なお、光
電子放出材４を用いる場合には、例えば洗浄対象物１１
と石英窓１３との間に光電子放出材４を配設すればよ
い。
る場合には、ＬＣチャンバ１０内において帯電パーティ
クル７を生成する基となるイオンあるいは電子の密度が
低下するため、これを補って帯電パーティクルの密度を
高く保つために従来と同様に光電子放出材４を使用する
ことが望ましいが、このように光電子放出材４を使用す
る場合であっても、使用する紫外線レーザ光１２の光子
エネルギーが高いことから、帯電パーティクル７の密度
を高く保持するために必要なレーザエネルギー密度は小
さくてすむため、レーザクリーング処理に使用する紫外
線レーザ光を適当な光学系を用いて分岐してパーティク
ル６を帯電させるために使用しても、レーザクリーニン
グ処理に必要なレーザ光エネルギー密度が損なわれるこ
とはなく、レーザクリーニング装置の紫外線レーザ光を
用いてレーザクリーニング処理とパーティクル６を帯電
させる処理とを両立させることが可能となる。なお、光
電子放出材４を用いる場合には、例えば洗浄対象物１１
と石英窓１３との間に光電子放出材４を配設すればよ
い。
【００１９】また、図１では、捕集電極１４を２つ用い
る場合について説明したが、捕集電極は３つ以上あって
もよく、特定方向に電界を発生させて帯電パーティクル
７を積極的に捕集することも可能である。また、図１で
は、中央に孔部を有する円環状の捕集電極１４を洗浄対
象物１１と平行に設置したが、捕集電極１４の設置の仕
方はこのような形態に限らず、例えば、図１中におい
て、ＬＣチャンバ１０の情報及び下方に１つずつ配設し
てもよい。
る場合について説明したが、捕集電極は３つ以上あって
もよく、特定方向に電界を発生させて帯電パーティクル
７を積極的に捕集することも可能である。また、図１で
は、中央に孔部を有する円環状の捕集電極１４を洗浄対
象物１１と平行に設置したが、捕集電極１４の設置の仕
方はこのような形態に限らず、例えば、図１中におい
て、ＬＣチャンバ１０の情報及び下方に１つずつ配設し
てもよい。
【００２０】また、本発明によれば、洗浄対象物１１か
ら除去されたパーティクル６を帯電させるための紫外線
ランプ等を別途設けることなく、レーザクリーニング装
置の紫外線レーザ光１２を用いてパーティクル６を帯電
させることにより、パーティクル６の洗浄対象物１１へ
の再付着を防止することができ、装置の簡略化及びコス
トダウンを図ることができる。また、特にＬＣチャンバ
１０内を大気状態にしてパーティクル６の捕集を行う場
合には、光電子放出材４を設ける必要がないので、更に
コスト的に有利である。
ら除去されたパーティクル６を帯電させるための紫外線
ランプ等を別途設けることなく、レーザクリーニング装
置の紫外線レーザ光１２を用いてパーティクル６を帯電
させることにより、パーティクル６の洗浄対象物１１へ
の再付着を防止することができ、装置の簡略化及びコス
トダウンを図ることができる。また、特にＬＣチャンバ
１０内を大気状態にしてパーティクル６の捕集を行う場
合には、光電子放出材４を設ける必要がないので、更に
コスト的に有利である。
【００２１】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、チャンバ
内が大気状態であるか真空状態であるかに拘わらず、洗
浄対象物の表面にパーティクルが再付着することにより
洗浄対象物が汚染されることを防止することができるレ
ーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置
を提供することができる。請求項２記載の発明によれ
ば、より効率よく帯電パーティクルを捕集できるレーザ
クリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置を提
供することができる。請求項３記載の発明によれば、チ
ャンバ内が真空状態である場合において帯電パーティク
ルの捕集効率を向上させたレーザクリーニング処理にお
けるパーティクルの捕集装置を提供することができる。
請求項４記載の発明によれば、チャンバ内が大気状態で
あるか真空状態であるかに拘わらず、洗浄対象物の表面
にパーティクルが再付着することにより洗浄対象物が汚
染されることを防止することができるレーザクリーニン
グ処理におけるパーティクルの捕集方法を提供すること
ができる。請求項５記載の発明によれば、より効率よく
帯電パーティクルを捕集できるレーザクリーニング処理
におけるパーティクルの捕集方法を提供することができ
る。請求項６記載の発明によれば、チャンバ内が真空状
態である場合において帯電パーティクルの捕集効率を向
上させたレーザクリーニング処理におけるパーティクル
の捕集方法を提供することができる。
内が大気状態であるか真空状態であるかに拘わらず、洗
浄対象物の表面にパーティクルが再付着することにより
洗浄対象物が汚染されることを防止することができるレ
ーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置
を提供することができる。請求項２記載の発明によれ
ば、より効率よく帯電パーティクルを捕集できるレーザ
クリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置を提
供することができる。請求項３記載の発明によれば、チ
ャンバ内が真空状態である場合において帯電パーティク
ルの捕集効率を向上させたレーザクリーニング処理にお
けるパーティクルの捕集装置を提供することができる。
請求項４記載の発明によれば、チャンバ内が大気状態で
あるか真空状態であるかに拘わらず、洗浄対象物の表面
にパーティクルが再付着することにより洗浄対象物が汚
染されることを防止することができるレーザクリーニン
グ処理におけるパーティクルの捕集方法を提供すること
ができる。請求項５記載の発明によれば、より効率よく
帯電パーティクルを捕集できるレーザクリーニング処理
におけるパーティクルの捕集方法を提供することができ
る。請求項６記載の発明によれば、チャンバ内が真空状
態である場合において帯電パーティクルの捕集効率を向
上させたレーザクリーニング処理におけるパーティクル
の捕集方法を提供することができる。
【図１】本発明によるレーザクリーニング処理における
パーティクルの捕集装置を概略的に示す構成図である。
パーティクルの捕集装置を概略的に示す構成図である。
【図２】本発明によるレーザクリーニング処理における
パーティクルの捕集装置及び捕集方法において捕集電極
を１つ用いた場合の帯電パーティクルの捕集率の時間変
化を示す特性図である。
パーティクルの捕集装置及び捕集方法において捕集電極
を１つ用いた場合の帯電パーティクルの捕集率の時間変
化を示す特性図である。
【図３】本発明によるレーザクリーニング処理における
パーティクルの捕集装置及び捕集方法において捕集電極
を２つ用いた場合の帯電パーティクルの捕集率の時間変
化を示す特性図である。
パーティクルの捕集装置及び捕集方法において捕集電極
を２つ用いた場合の帯電パーティクルの捕集率の時間変
化を示す特性図である。
【図４】従来のパーティクル除去装置を示す構成図であ
る。
る。
４ 光電子放出材 ５ 電子 ６ パーティクル ７ 帯電パーティクル １０ ＬＣチャンバ １１ 洗浄対象物 １２ 紫外線レーザ光 １３ 石英窓 １４ 捕集電極 １６ 高圧電源 １７ 電極間電界
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川原 和之 神奈川県横浜市金沢区福浦２丁目２番１号 株式会社日本製鋼所内 Ｆターム(参考） 3B116 AA46 AB01 BC01
Claims (6)
- 【請求項１】 チャンバ(10)内に設置した洗浄対象物(1
1)にレーザ光(12)を照射し、前記洗浄対象物(11)の表面
に付着したパーティクル(6)を除去するレーザクリーニ
ング装置において、 前記パーティクル(6)を捕集するために前記チャンバ(1
0)内に設けられた複数の捕集電極(14)と、 前記複数の捕集電極(14)間に電位差を与えるための電源
(16)とを備え、前記レーザ光(12)によって帯電された帯
電パーティクル(7)を前記複数の捕集電極(14)間の電位
差を用いて前記捕集電極(14)で捕集するように構成した
ことを特徴とするレーザクリーニング処理におけるパー
ティクルの捕集装置。 - 【請求項２】 前記捕集電極(14)は前記レーザクリーニ
ング装置に対して浮遊電位に保持されていることを特徴
とする請求項１記載のレーザクリーニング処理における
パーティクルの捕集装置。 - 【請求項３】 前記チャンバ(10)内は減圧されると共
に、前記チャンバ(10)内には光電子放出材(4)が設けら
れており、前記光電子放出材(4)に前記レーザ光(12)を
照射することにより前記光電子放出材(4)から放出され
た電子(5)を用いて、前記洗浄対象物(11)からパーティ
クル(6)を帯電させて取り出すことを特徴とする請求項
１または２記載のレーザクリーニング処理におけるパー
ティクルの捕集装置。 - 【請求項４】 チャンバ(10)内に設置した洗浄対象物(1
1)にレーザ光(12)を照射し、前記洗浄対象物(11)の表面
に付着したパーティクル(6)を除去するレーザクリーニ
ング装置において、 前記レーザ光(12)によるクリーニングの際に洗浄対象物
(11)の表面に付着したパーティクル(6)を帯電させ、 前記レーザ光(12)により帯電された帯電パーティクル
(7)を捕集するための複数の捕集電極(14)を用いて前記
チャンバ(10)内で電位差を生じさせ、前記電位差により
前記帯電パーティクル(7)を前記捕集電極(14)で捕集す
ることを特徴とするレーザクリーニング処理におけるパ
ーティクルの捕集方法。 - 【請求項５】 前記捕集電極(14)は前記レーザクリーニ
ング装置に対して浮遊電位に保持されていることを特徴
とする請求項４記載のレーザクリーニング処理における
パーティクルの捕集方法。 - 【請求項６】 前記チャンバ(10)内は減圧されると共
に、前記チャンバ(10)内には光電子放出材(4)が設けら
れており、前記光電子放出材(4)に前記レーザ光(12)を
照射することにより前記光電子放出材(4)から放出され
た電子(5)を用いて、前記洗浄対象物(11)からパーティ
クル(6)を帯電させて取り出すことを特徴とする請求項
４または５記載のレーザクリーニング処理におけるパー
ティクルの捕集方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000223226A JP2002035709A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000223226A JP2002035709A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002035709A true JP2002035709A (ja) | 2002-02-05 |
Family
ID=18717352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000223226A Withdrawn JP2002035709A (ja) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002035709A (ja) |
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- 2000-07-25 JP JP2000223226A patent/JP2002035709A/ja not_active Withdrawn
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