JP2002021735A - インジェクター - Google Patents
インジェクターInfo
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- JP2002021735A JP2002021735A JP2001074509A JP2001074509A JP2002021735A JP 2002021735 A JP2002021735 A JP 2002021735A JP 2001074509 A JP2001074509 A JP 2001074509A JP 2001074509 A JP2001074509 A JP 2001074509A JP 2002021735 A JP2002021735 A JP 2002021735A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- chamber
- pressurizing
- fluid
- inflow
- Prior art date
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/06—Pumps having fluid drive
- F04B43/073—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
- F04B43/0736—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/043—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms two or more plate-like pumping flexible members in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2210/00—Working fluid
- F05B2210/10—Kind or type
- F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 与圧機構体が往復動する際における各チャン
バ内の圧力変化を緩和し、ダイヤフラム部等の構成部品
の寿命を延ばすことができるインジェクターを提供す
る。 【解決手段】 ボディ体Ｂ内に、被圧送流体Ｆのための
第１外側流入部１３と、第１外側流出部１４と、第１外
側流入部又は第１外側流出部と連通する接続流入部２
１，接続流出部２２と、接続流入部又は接続流出部と連
通する第２外側流入部３１，第２外側流出部３２と、第
１チャンバ４０と、第２チャンバ５０と、吸込用逆止弁
６１，７１と、吐出用逆止弁６６，７６と、与圧機構体
８０と、与圧機構体を往復動させる作動流体Ａを両チャ
ンバの少なくとも一方に流出入する作動流体流出入部９
０と、与圧機構体８０の外側の付勢用ダイヤフラム部１
００，１２０と、該付勢用ダイヤフラム部を内方へ付勢
する付勢手段１１０，１１５，１３０，１３５を備える
インジェクターＩ。
バ内の圧力変化を緩和し、ダイヤフラム部等の構成部品
の寿命を延ばすことができるインジェクターを提供す
る。 【解決手段】 ボディ体Ｂ内に、被圧送流体Ｆのための
第１外側流入部１３と、第１外側流出部１４と、第１外
側流入部又は第１外側流出部と連通する接続流入部２
１，接続流出部２２と、接続流入部又は接続流出部と連
通する第２外側流入部３１，第２外側流出部３２と、第
１チャンバ４０と、第２チャンバ５０と、吸込用逆止弁
６１，７１と、吐出用逆止弁６６，７６と、与圧機構体
８０と、与圧機構体を往復動させる作動流体Ａを両チャ
ンバの少なくとも一方に流出入する作動流体流出入部９
０と、与圧機構体８０の外側の付勢用ダイヤフラム部１
００，１２０と、該付勢用ダイヤフラム部を内方へ付勢
する付勢手段１１０，１１５，１３０，１３５を備える
インジェクターＩ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、インジェクター
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造ライン等における各
種装置には、薬液や超純水等の流体を圧送するためイン
ジェクターが組み込まれることがある。従来のこの種イ
ンジェクターとしては、被圧送流体のための流入口及び
流出口と、二つのチャンバと、前記各チャンバと流入口
とをそれぞれ連通する二つの流入部と、前記各チャンバ
と流出口とをそれぞれ連通する二つの流出部が形成され
たボディ体と、前記各チャンバ内に配されるダイヤフラ
ム部が両端に設けられた与圧機構体を備え、前記チャン
バ内に気体等の作動流体を供給することにより前記与圧
機構体が往復動し、それによってチャンバ内の被圧送流
体を前記流出口から吐出するように構成されたものが知
られている。
種装置には、薬液や超純水等の流体を圧送するためイン
ジェクターが組み込まれることがある。従来のこの種イ
ンジェクターとしては、被圧送流体のための流入口及び
流出口と、二つのチャンバと、前記各チャンバと流入口
とをそれぞれ連通する二つの流入部と、前記各チャンバ
と流出口とをそれぞれ連通する二つの流出部が形成され
たボディ体と、前記各チャンバ内に配されるダイヤフラ
ム部が両端に設けられた与圧機構体を備え、前記チャン
バ内に気体等の作動流体を供給することにより前記与圧
機構体が往復動し、それによってチャンバ内の被圧送流
体を前記流出口から吐出するように構成されたものが知
られている。
【０００３】しかしながら、上記従来構造のインジェク
ターにあっては、前記与圧機構体の往復動の際、特には
前記与圧機構体を往復動させる作動流体の供給の切り替
えを行う際に、各チャンバー内の圧力が急激に変化する
といった問題があり、該急激な圧力変化に起因して、与
圧機構体等の、構成部品の耐用年数が短くなる等の様々
な不具合が生じていた。
ターにあっては、前記与圧機構体の往復動の際、特には
前記与圧機構体を往復動させる作動流体の供給の切り替
えを行う際に、各チャンバー内の圧力が急激に変化する
といった問題があり、該急激な圧力変化に起因して、与
圧機構体等の、構成部品の耐用年数が短くなる等の様々
な不具合が生じていた。
【０００４】また、上記従来構造においては、前記与圧
機構体を往復動させる作動流体の供給の切り替えは、ボ
ディ体に内蔵された終端検出用スイッチ若しくはセンサ
ーにより与圧機構体の終端（ストロークエンド）が検出
された時点で行われるか、或いは前記与圧機構体の終端
に到達したところで作動流体が供給されているチャンバ
の内圧が上昇することを利用して当該切り替えが機械的
に行われるため、与圧機構体が反転する際の流出口にお
ける被圧送流体の吐出圧力は殆ど０に近似してしまい、
吐出圧力が大きく脈動してしまう問題があった。また、
上記のように与圧機構体を往復動させる作動流体の供給
の切り替えがなされるので、当該インジェクターからの
吐出流量は、容易には変更できなかった。なお、前記の
ように脈動が大きいと、例えば、半導体製造ラインにお
いて流体を圧送するのにインジェクターを用いる場合
に、前記流体が飛び散って汚れた流体（この場合には液
体）が半導体ウエハーに再付着したり、エッチングレー
トにムラが出る等、半導体製品の歩留りに影響を及ぼす
おそれがあった。
機構体を往復動させる作動流体の供給の切り替えは、ボ
ディ体に内蔵された終端検出用スイッチ若しくはセンサ
ーにより与圧機構体の終端（ストロークエンド）が検出
された時点で行われるか、或いは前記与圧機構体の終端
に到達したところで作動流体が供給されているチャンバ
の内圧が上昇することを利用して当該切り替えが機械的
に行われるため、与圧機構体が反転する際の流出口にお
ける被圧送流体の吐出圧力は殆ど０に近似してしまい、
吐出圧力が大きく脈動してしまう問題があった。また、
上記のように与圧機構体を往復動させる作動流体の供給
の切り替えがなされるので、当該インジェクターからの
吐出流量は、容易には変更できなかった。なお、前記の
ように脈動が大きいと、例えば、半導体製造ラインにお
いて流体を圧送するのにインジェクターを用いる場合
に、前記流体が飛び散って汚れた流体（この場合には液
体）が半導体ウエハーに再付着したり、エッチングレー
トにムラが出る等、半導体製品の歩留りに影響を及ぼす
おそれがあった。
【０００５】さらに、上記のように与圧機構体を往復動
させる作動流体の供給の切り替えを行う場合には、与圧
機構体の終端に到達した時に、与圧機構体のダイヤフラ
ム部がチャンバ内壁に強く激しく接触し、それは与圧機
構体の耐用年数が短くなる原因になる。
させる作動流体の供給の切り替えを行う場合には、与圧
機構体の終端に到達した時に、与圧機構体のダイヤフラ
ム部がチャンバ内壁に強く激しく接触し、それは与圧機
構体の耐用年数が短くなる原因になる。
【０００６】またさらに、上記従来構造においては、当
該インジェクターの作動停止時、つまり、作動流体の供
給・排出動作の停止時に、与圧機構体が、その中心位置
が該与圧機構体の最長往復動範囲（通常作動時における
往復動範囲）の中間位置からズレて停止した場合には、
当該インジェクターの再作動後において、該与圧機構体
の往復動の中心が何れか一方のチャンバ側へ偏心し、往
復動範囲が通常作動時の往復動範囲に対して変化した状
態で、与圧機構体が往復動することになる。そのため、
当該インジェクターの作動停止前後で吐出流量（吐出圧
力）が変わってしまう。また、一般的には、二つのチャ
ンバからの吐出流量は同じになるように設定されるので
あるが、上記のように再作動後に与圧機構体の往復動の
中心がズレている場合には、二つのチャンバからの吐出
流量（吐出圧力）にバラツキが生じてしまう。
該インジェクターの作動停止時、つまり、作動流体の供
給・排出動作の停止時に、与圧機構体が、その中心位置
が該与圧機構体の最長往復動範囲（通常作動時における
往復動範囲）の中間位置からズレて停止した場合には、
当該インジェクターの再作動後において、該与圧機構体
の往復動の中心が何れか一方のチャンバ側へ偏心し、往
復動範囲が通常作動時の往復動範囲に対して変化した状
態で、与圧機構体が往復動することになる。そのため、
当該インジェクターの作動停止前後で吐出流量（吐出圧
力）が変わってしまう。また、一般的には、二つのチャ
ンバからの吐出流量は同じになるように設定されるので
あるが、上記のように再作動後に与圧機構体の往復動の
中心がズレている場合には、二つのチャンバからの吐出
流量（吐出圧力）にバラツキが生じてしまう。
【０００７】加えて、上記従来構造にあっては、前記ボ
ディ体を多数分割する必要が生じたり、ボディ体の体積
が極めて大きくなり当該インジェクターの大型化を招く
といった問題もあった。
ディ体を多数分割する必要が生じたり、ボディ体の体積
が極めて大きくなり当該インジェクターの大型化を招く
といった問題もあった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記の点
に鑑み提案されたものであって、簡単な構造で、与圧機
構体が往復動する際における各チャンバ内の圧力変化を
緩和し、ダイヤフラム部等の構成部品の寿命を延ばすこ
とが可能となり、しかも脈動の小さな安定した吐出流量
が得られると共に該吐出流量を容易に変更することがで
き、さらには、作動停止前後において同一のバラツキの
無い吐出流量を得ることができ、加えて小型化を実現で
きるインジェクターを提供することを目的とする。
に鑑み提案されたものであって、簡単な構造で、与圧機
構体が往復動する際における各チャンバ内の圧力変化を
緩和し、ダイヤフラム部等の構成部品の寿命を延ばすこ
とが可能となり、しかも脈動の小さな安定した吐出流量
が得られると共に該吐出流量を容易に変更することがで
き、さらには、作動停止前後において同一のバラツキの
無い吐出流量を得ることができ、加えて小型化を実現で
きるインジェクターを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、ボディ体（Ｂ）内に、被圧送流体（Ｆ）の第１外
側流入部（１３）と、被圧送流体の第１外側流出部（１
４）と、前記第１外側流入部と連通する接続流入部（２
１）と、前記第１外側流出部と連通する接続流出部（２
２）と、前記接続流入部と連通する第２外側流入部（３
１）と、前記接続流出部と連通する第２外側流出部（３
２）と、前記第１外側流入部と連通する第１吸込部（４
１）と前記第１外側流出部と連通する第１吐出部（４
２）を有する第１チャンバ（４０）と、前記第２外側流
入部と連通する第２吸込部（５１）と前記第２外側流出
部と連通する第２吐出部（５２）を有する第２チャンバ
（５０）と、前記第１外側流入部と前記第１吸込部の間
に該第１吸込部方向に被圧送流体が流れるように介装さ
れた第１吸込用逆止弁（６１）と、前記第１吐出部と前
記第１外側流出部の間に該第１外側流出部方向に被圧送
流体が流れるように介装された第１吐出用逆止弁（６
６）と、前記第２外側流入部と前記第２吸込部の間に該
第２吸込部方向に被圧送流体が流れるように介装された
第２吸込用逆止弁（７１）と、前記第２吐出部と前記第
２外側流出部の間に該第２外側流出部方向に被圧送流体
が流れるように介装された第２吐出用逆止弁（７６）
と、前記第１チャンバ内壁（４０ａ）に外周部が固定さ
れた第１与圧用ダイヤフラム部（８１）と前記第２チャ
ンバ内壁（５０ａ）に外周部が固定された第２与圧用ダ
イヤフラム部（８２）とが連結部（８３）によって一体
動自在に配置された与圧機構体（８０）と、前記第１チ
ャンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に開口され前
記与圧機構体を往復動させる作動流体（Ａ）を第１チャ
ンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に流出入する作
動流体流出入部（９０）と、前記第１チャンバ内壁の外
側の壁面（４０ｂ）に設けられ前記第１与圧用ダイヤフ
ラム部外面との接触時に該第１与圧用ダイヤフラム部を
第２与圧用ダイヤフラム部方向に押圧する第１付勢用ダ
イヤフラム部（１００）と、該第１付勢用ダイヤフラム
部を常時第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１
付勢手段と、前記第２チャンバ内壁の外側の壁面（５０
ｂ）に設けられ前記第２与圧用ダイヤフラム部外面との
接触時に該第２与圧用ダイヤフラム部を第１与圧用ダイ
ヤフラム部方向に押圧する第２付勢用ダイヤフラム部
（１２０）と、該第２付勢用ダイヤフラム部を常時第１
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２付勢手段とを
備えたことを特徴とするインジェクター（Ｉ）に係る。
明は、ボディ体（Ｂ）内に、被圧送流体（Ｆ）の第１外
側流入部（１３）と、被圧送流体の第１外側流出部（１
４）と、前記第１外側流入部と連通する接続流入部（２
１）と、前記第１外側流出部と連通する接続流出部（２
２）と、前記接続流入部と連通する第２外側流入部（３
１）と、前記接続流出部と連通する第２外側流出部（３
２）と、前記第１外側流入部と連通する第１吸込部（４
１）と前記第１外側流出部と連通する第１吐出部（４
２）を有する第１チャンバ（４０）と、前記第２外側流
入部と連通する第２吸込部（５１）と前記第２外側流出
部と連通する第２吐出部（５２）を有する第２チャンバ
（５０）と、前記第１外側流入部と前記第１吸込部の間
に該第１吸込部方向に被圧送流体が流れるように介装さ
れた第１吸込用逆止弁（６１）と、前記第１吐出部と前
記第１外側流出部の間に該第１外側流出部方向に被圧送
流体が流れるように介装された第１吐出用逆止弁（６
６）と、前記第２外側流入部と前記第２吸込部の間に該
第２吸込部方向に被圧送流体が流れるように介装された
第２吸込用逆止弁（７１）と、前記第２吐出部と前記第
２外側流出部の間に該第２外側流出部方向に被圧送流体
が流れるように介装された第２吐出用逆止弁（７６）
と、前記第１チャンバ内壁（４０ａ）に外周部が固定さ
れた第１与圧用ダイヤフラム部（８１）と前記第２チャ
ンバ内壁（５０ａ）に外周部が固定された第２与圧用ダ
イヤフラム部（８２）とが連結部（８３）によって一体
動自在に配置された与圧機構体（８０）と、前記第１チ
ャンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に開口され前
記与圧機構体を往復動させる作動流体（Ａ）を第１チャ
ンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に流出入する作
動流体流出入部（９０）と、前記第１チャンバ内壁の外
側の壁面（４０ｂ）に設けられ前記第１与圧用ダイヤフ
ラム部外面との接触時に該第１与圧用ダイヤフラム部を
第２与圧用ダイヤフラム部方向に押圧する第１付勢用ダ
イヤフラム部（１００）と、該第１付勢用ダイヤフラム
部を常時第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１
付勢手段と、前記第２チャンバ内壁の外側の壁面（５０
ｂ）に設けられ前記第２与圧用ダイヤフラム部外面との
接触時に該第２与圧用ダイヤフラム部を第１与圧用ダイ
ヤフラム部方向に押圧する第２付勢用ダイヤフラム部
（１２０）と、該第２付勢用ダイヤフラム部を常時第１
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２付勢手段とを
備えたことを特徴とするインジェクター（Ｉ）に係る。
【００１０】請求項２の発明は、請求項１において、第
１付勢手段が、第１付勢用ダイヤフラム部の外側に形成
された第１収容空間（１０５）内に前記第１付勢用ダイ
ヤフラム部に接触しながら往復動するように配設された
第１ピストン部（１１０）と、該第１ピストン部を常時
第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１スプリン
グ（１１５）とで構成されると共に、第２付勢手段が、
第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形成された第２収容
空間（１２５）内に前記第２付勢用ダイヤフラム部に接
触しながら往復動するように配設された第２ピストン部
（１３０）と、該第２ピストン部を常時第１与圧用ダイ
ヤフラム部方向に付勢する第２スプリング（１３５）と
で構成されるインジェクターに係る。
１付勢手段が、第１付勢用ダイヤフラム部の外側に形成
された第１収容空間（１０５）内に前記第１付勢用ダイ
ヤフラム部に接触しながら往復動するように配設された
第１ピストン部（１１０）と、該第１ピストン部を常時
第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１スプリン
グ（１１５）とで構成されると共に、第２付勢手段が、
第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形成された第２収容
空間（１２５）内に前記第２付勢用ダイヤフラム部に接
触しながら往復動するように配設された第２ピストン部
（１３０）と、該第２ピストン部を常時第１与圧用ダイ
ヤフラム部方向に付勢する第２スプリング（１３５）と
で構成されるインジェクターに係る。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１又は２におい
て、与圧機構体を往復動させる作動流体の第１チャンバ
又は第２チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流
体の排出が、外部の切り替え手段により所定の切り替え
周期で切り替えられると共に、前記切り替え周期が任意
に変更できるように構成されているインジェクターに係
る。
て、与圧機構体を往復動させる作動流体の第１チャンバ
又は第２チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流
体の排出が、外部の切り替え手段により所定の切り替え
周期で切り替えられると共に、前記切り替え周期が任意
に変更できるように構成されているインジェクターに係
る。
【００１２】請求項４の発明は、請求項１〜３の何れか
一項において、流体の供給・排出動作の停止時に、第１
付勢手段と第２付勢手段の協働により、与圧機構体をそ
の中心位置が該与圧機構体の最長往復動範囲の中間位置
又はその近傍と一致するように位置させるインジェクタ
ーに係る。
一項において、流体の供給・排出動作の停止時に、第１
付勢手段と第２付勢手段の協働により、与圧機構体をそ
の中心位置が該与圧機構体の最長往復動範囲の中間位置
又はその近傍と一致するように位置させるインジェクタ
ーに係る。
【００１３】請求項５の発明は、請求項１〜４の何れか
一項において、第１外側流入部に連通する第１流入口
（１１）と、第１外側流出部に連通する第１流出口（１
２）と、第２外側流入部に連通する第２流入口（３３）
と、第２外側流出部に連通する第２流出口（３４）を備
え、使用時には第１流入口と第２流入口のうちの何れか
一方を閉じると共に、第１流出口と第２流出口のうちの
何れか一方を閉じるようにされたインジェクターに係
る。
一項において、第１外側流入部に連通する第１流入口
（１１）と、第１外側流出部に連通する第１流出口（１
２）と、第２外側流入部に連通する第２流入口（３３）
と、第２外側流出部に連通する第２流出口（３４）を備
え、使用時には第１流入口と第２流入口のうちの何れか
一方を閉じると共に、第１流出口と第２流出口のうちの
何れか一方を閉じるようにされたインジェクターに係
る。
【００１４】請求項６の発明は、請求項１〜５の何れか
一項において、第１外側流入部及び第１吸込用逆止弁を
含む第１吸込用逆止弁ブロック（６０）と、第１外側流
出部及び第１吐出用逆止弁を含む第１吐出用逆止弁ブロ
ック（６５）と、第２外側流入部及び第２吸込用逆止弁
を含む第２吸込用逆止弁ブロック（７０）と、第２外側
流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止弁ブ
ロック（７５）とがボディ体内にそれぞれ組み付けられ
ているインジェクターに係る。
一項において、第１外側流入部及び第１吸込用逆止弁を
含む第１吸込用逆止弁ブロック（６０）と、第１外側流
出部及び第１吐出用逆止弁を含む第１吐出用逆止弁ブロ
ック（６５）と、第２外側流入部及び第２吸込用逆止弁
を含む第２吸込用逆止弁ブロック（７０）と、第２外側
流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止弁ブ
ロック（７５）とがボディ体内にそれぞれ組み付けられ
ているインジェクターに係る。
【００１５】請求項７の発明は、請求項１〜６の何れか
一項において、第１チャンバ又は第２チャンバの一方に
のみ与圧機構体を往復動させる作動流体が流出入され、
かつ作動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャ
ンバ内に配される与圧用ダイヤフラム部内面との間にス
プリング（１４０）が配設されているインジェクターに
係る。
一項において、第１チャンバ又は第２チャンバの一方に
のみ与圧機構体を往復動させる作動流体が流出入され、
かつ作動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャ
ンバ内に配される与圧用ダイヤフラム部内面との間にス
プリング（１４０）が配設されているインジェクターに
係る。
【００１６】請求項８の発明は、請求項１〜７の何れか
一項において、第１付勢手段を収容するために第１付勢
用ダイヤフラム部の外側に形成された第１収容空間を外
側から塞ぐ第１蓋部（１１６）と、第２付勢手段を収容
するために第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形成され
た第２収容空間を外側から塞ぐ第２蓋部（１３６）と
が、透明体或いは半透明体より形成されているインジェ
クターに係る。
一項において、第１付勢手段を収容するために第１付勢
用ダイヤフラム部の外側に形成された第１収容空間を外
側から塞ぐ第１蓋部（１１６）と、第２付勢手段を収容
するために第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形成され
た第２収容空間を外側から塞ぐ第２蓋部（１３６）と
が、透明体或いは半透明体より形成されているインジェ
クターに係る。
【００１７】請求項９の発明は、請求項１〜８の何れか
一項において、第１外側流入部に連通する第１流入口
と、第１外側流出部に連通する第１流出口と、第２外側
流入部に連通する第２流入口と、第２外側流出部に連通
する第２流出口を備え、前記第１流出口又は第２流出口
から流出される流体内の作動流体の混入を検知する作動
流体混入検知手段（２１０）が設けられているインジェ
クターに係る。
一項において、第１外側流入部に連通する第１流入口
と、第１外側流出部に連通する第１流出口と、第２外側
流入部に連通する第２流入口と、第２外側流出部に連通
する第２流出口を備え、前記第１流出口又は第２流出口
から流出される流体内の作動流体の混入を検知する作動
流体混入検知手段（２１０）が設けられているインジェ
クターに係る。
【００１８】請求項１０の発明は、請求項９において、
第１流入口又は第２流入口から流入される流体の特性を
検知する流入流体特性検知手段（２１１）が設けられて
いるインジェクターに係る。
第１流入口又は第２流入口から流入される流体の特性を
検知する流入流体特性検知手段（２１１）が設けられて
いるインジェクターに係る。
【００１９】請求項１１の発明は、請求項２〜１０の何
れか一項において、ボディ体に、第１付勢用ダイヤフラ
ム部と第１ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する
第１通気孔（１０６）と、第２付勢用ダイヤフラム部と
第２ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する第２通
気孔（１２６）が形成されると共に、前記第１通気孔及
び第２通気孔からの被圧送流体の漏出の有無を検知する
漏出検知手段（２３０，２３１）が設けられているイン
ジェクターに係る。
れか一項において、ボディ体に、第１付勢用ダイヤフラ
ム部と第１ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する
第１通気孔（１０６）と、第２付勢用ダイヤフラム部と
第２ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する第２通
気孔（１２６）が形成されると共に、前記第１通気孔及
び第２通気孔からの被圧送流体の漏出の有無を検知する
漏出検知手段（２３０，２３１）が設けられているイン
ジェクターに係る。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係るイ
ンジェクターの第２流入口及び第２流出口を閉じた場合
における第１チャンバからの流体吐出状態を示す縦断面
図、図２は同じくインジェクターの第２チャンバからの
流体吐出状態を示す縦断面図、図３は同じくインジェク
ターの作動停止状態を示す縦断面図、図４は同実施例の
インジェクターに用いられる逆止弁を示す斜視図、図５
は同実施例のインジェクターの第２流入口及び第１流出
口を閉じた場合における第１チャンバからの流体吐出状
態を示す縦断面図、図６は同じくインジェクターの第２
チャンバからの流体吐出状態を示す縦断面図、図７はこ
の発明に係るインジェクターの効果を説明するためのグ
ラフ図、図８はこの発明に係るインジェクターの一使用
例を示す概略図、図９は同じく他の使用例を示す概略
図、図１０は図９の使用例における効果を説明するため
のグラフ図、図１１は同じくさらに他の使用例を示す概
略図、図１２は他の実施例におけるインジェクターの縦
断面図、図１３はさらに他の実施例におけるインジェク
ターの縦断面図、図１４はさらに他の実施例におけるイ
ンジェクターの縦断面図、図１５は図１４の符号１，２
部分を拡大して示す拡大断面図、図１６は図１４のイン
ジェクターの作動流体混入検知手段及び流入流体特性検
知手段付近を示す断面図、図１７は図１４のインジェク
ターに漏出検知手段を設けた場合の概略図である。
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係るイ
ンジェクターの第２流入口及び第２流出口を閉じた場合
における第１チャンバからの流体吐出状態を示す縦断面
図、図２は同じくインジェクターの第２チャンバからの
流体吐出状態を示す縦断面図、図３は同じくインジェク
ターの作動停止状態を示す縦断面図、図４は同実施例の
インジェクターに用いられる逆止弁を示す斜視図、図５
は同実施例のインジェクターの第２流入口及び第１流出
口を閉じた場合における第１チャンバからの流体吐出状
態を示す縦断面図、図６は同じくインジェクターの第２
チャンバからの流体吐出状態を示す縦断面図、図７はこ
の発明に係るインジェクターの効果を説明するためのグ
ラフ図、図８はこの発明に係るインジェクターの一使用
例を示す概略図、図９は同じく他の使用例を示す概略
図、図１０は図９の使用例における効果を説明するため
のグラフ図、図１１は同じくさらに他の使用例を示す概
略図、図１２は他の実施例におけるインジェクターの縦
断面図、図１３はさらに他の実施例におけるインジェク
ターの縦断面図、図１４はさらに他の実施例におけるイ
ンジェクターの縦断面図、図１５は図１４の符号１，２
部分を拡大して示す拡大断面図、図１６は図１４のイン
ジェクターの作動流体混入検知手段及び流入流体特性検
知手段付近を示す断面図、図１７は図１４のインジェク
ターに漏出検知手段を設けた場合の概略図である。
【００２１】図１〜図３に示すインジェクターＩは、こ
の発明の一実施例に係るもので、ボディ体Ｂ内に、第１
外側流入部１３、第１外側流出部１４、接続流入部２
１、接続流出部２２、第２外側流入部３１、第２外側流
出部３２、第１チャンバ４０、第２チャンバ５０、第１
吸込用逆止弁６１、第１吐出用逆止弁６６、第２吸込用
逆止弁７１、第２吐出用逆止弁７６、与圧機構体８０、
作動流体流出入部９０、第１付勢用ダイヤフラム部１０
０、第１付勢手段１１０，１１５、第２付勢用ダイヤフ
ラム部１２０、第２付勢手段１３０，１３５を備えたも
のからなる。なお、実施例のボディ体Ｂは、第１外側ブ
ロック１０と中間ブロック２０と第２外側ブロック３０
が一体に組み付けられたもので構成されている。また、
この実施例のインジェクターＩは、半導体の製造ライン
等における各種装置に、薬液や超純水等の流体を圧送供
給するために組み付けられる。以下、各部についてそれ
ぞれ詳述する。
の発明の一実施例に係るもので、ボディ体Ｂ内に、第１
外側流入部１３、第１外側流出部１４、接続流入部２
１、接続流出部２２、第２外側流入部３１、第２外側流
出部３２、第１チャンバ４０、第２チャンバ５０、第１
吸込用逆止弁６１、第１吐出用逆止弁６６、第２吸込用
逆止弁７１、第２吐出用逆止弁７６、与圧機構体８０、
作動流体流出入部９０、第１付勢用ダイヤフラム部１０
０、第１付勢手段１１０，１１５、第２付勢用ダイヤフ
ラム部１２０、第２付勢手段１３０，１３５を備えたも
のからなる。なお、実施例のボディ体Ｂは、第１外側ブ
ロック１０と中間ブロック２０と第２外側ブロック３０
が一体に組み付けられたもので構成されている。また、
この実施例のインジェクターＩは、半導体の製造ライン
等における各種装置に、薬液や超純水等の流体を圧送供
給するために組み付けられる。以下、各部についてそれ
ぞれ詳述する。
【００２２】第１外側ブロック１０は、その一側に被圧
送流体Ｆをボディ体Ｂ内に流入させるための第１流入口
１１及び該第１流入口１１と連通する第１外側流入部１
３が設けられると共に、他側に被圧送流体Ｆをボディ体
Ｂ外に流出させるための第１流出口１２及び該第１流出
口１２と連通する第１外側流出部１４が設けられてい
る。この実施例では、当該第１外側ブロック１０は、フ
ッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成さ
れている。
送流体Ｆをボディ体Ｂ内に流入させるための第１流入口
１１及び該第１流入口１１と連通する第１外側流入部１
３が設けられると共に、他側に被圧送流体Ｆをボディ体
Ｂ外に流出させるための第１流出口１２及び該第１流出
口１２と連通する第１外側流出部１４が設けられてい
る。この実施例では、当該第１外側ブロック１０は、フ
ッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成さ
れている。
【００２３】中間ブロック２０は、前記第１外側ブロッ
ク１０の内側に配置され、前記第１外側流入部１３と連
通する接続流入部２１及び前記第１外側流出部１４と連
通する接続流出部２２を有している。この実施例では、
当該中間ブロック２０（前記接続流入部２１及び接続流
出部２２を除く。）は、後述する与圧機構体８０の作動
状態が外部から視認できるように、透明塩化ビニル樹脂
等からなる透明体或いは半透明体より形成されている。
さらに、この実施例では、前記接続流入部２１及び接続
流出部２２は、中間ブロック２０内に埋設された管部材
Ｐ１，Ｐ２で構成されている。また、前記管部材Ｐ１，
Ｐ２は、被圧送流体Ｆと接することを考慮して、フッ素
樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成される
のが好ましい。なお、図示の例では、前記管部材Ｐ１，
Ｐ２と前記第１外側ブロック１０間にはＯリング等のシ
ール部材ｏ１が介在されてシール性の向上が図られてい
る。
ク１０の内側に配置され、前記第１外側流入部１３と連
通する接続流入部２１及び前記第１外側流出部１４と連
通する接続流出部２２を有している。この実施例では、
当該中間ブロック２０（前記接続流入部２１及び接続流
出部２２を除く。）は、後述する与圧機構体８０の作動
状態が外部から視認できるように、透明塩化ビニル樹脂
等からなる透明体或いは半透明体より形成されている。
さらに、この実施例では、前記接続流入部２１及び接続
流出部２２は、中間ブロック２０内に埋設された管部材
Ｐ１，Ｐ２で構成されている。また、前記管部材Ｐ１，
Ｐ２は、被圧送流体Ｆと接することを考慮して、フッ素
樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成される
のが好ましい。なお、図示の例では、前記管部材Ｐ１，
Ｐ２と前記第１外側ブロック１０間にはＯリング等のシ
ール部材ｏ１が介在されてシール性の向上が図られてい
る。
【００２４】第２外側ブロック３０は、前記中間ブロッ
ク２０の前記第１外側ブロック１０と反対側の外側に配
置されるもので、一側に前記中間ブロック２０の接続流
入部２１と連通する第２外側流入部３１と、該第２外側
流入部３１に連通し被圧送流体Ｆをボディ体Ｂ内に流入
させるための第２流入口３３が設けられていると共に、
他側に前記中間ブロック２０の接続流出部２２と連通す
る第２外側流出部３２と、該第２外側流出部３２に連通
し被圧送流体Ｆをボディ体Ｂ外に流出させるための第２
流出口３４が設けられている。この実施例では、当該第
２外側ブロック３０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬
品性の高い樹脂から形成されている。さらに、図示の例
では、第２外側ブロック３０と前記管部材Ｐ１，Ｐ２間
にはＯリング等のシール部材ｏ１が介在されてシール性
の向上が図られている。
ク２０の前記第１外側ブロック１０と反対側の外側に配
置されるもので、一側に前記中間ブロック２０の接続流
入部２１と連通する第２外側流入部３１と、該第２外側
流入部３１に連通し被圧送流体Ｆをボディ体Ｂ内に流入
させるための第２流入口３３が設けられていると共に、
他側に前記中間ブロック２０の接続流出部２２と連通す
る第２外側流出部３２と、該第２外側流出部３２に連通
し被圧送流体Ｆをボディ体Ｂ外に流出させるための第２
流出口３４が設けられている。この実施例では、当該第
２外側ブロック３０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬
品性の高い樹脂から形成されている。さらに、図示の例
では、第２外側ブロック３０と前記管部材Ｐ１，Ｐ２間
にはＯリング等のシール部材ｏ１が介在されてシール性
の向上が図られている。
【００２５】また、上記ボディ体Ｂを構成する第１外側
ブロック１０，中間ブロック２０，第２外側ブロック３
０は適宜手段により一体に組み付けられる。なお、この
実施例では、前記第１外側ブロック１０と中間ブロック
２０と第２外側ブロック３０とが一体に組み付けられた
ボディ体Ｂの全体外形状は方形となっており、当該イン
ジェクターＩは極めて配置性が良い。
ブロック１０，中間ブロック２０，第２外側ブロック３
０は適宜手段により一体に組み付けられる。なお、この
実施例では、前記第１外側ブロック１０と中間ブロック
２０と第２外側ブロック３０とが一体に組み付けられた
ボディ体Ｂの全体外形状は方形となっており、当該イン
ジェクターＩは極めて配置性が良い。
【００２６】第１チャンバ４０は、前記第１外側ブロッ
ク１０と中間ブロック２０によって形成されている。こ
の第１チャンバ４０は、前記第１外側流入部１３と連通
する第１吸込部４１と、前記第１外側流出部１４と連通
する第１吐出部４２とを有している。そして、前記第１
外側流入部１３と第１吸込部４１の間には該第１吸込部
４１方向に被圧送流体Ｆが流れるように構成された第１
吸込用逆止弁６１が介装されていると共に、前記第１外
側流出部１４と第１吐出部４２の間には前記第１外側流
出部１４方向に被圧送流体が流れるように構成された第
１吐出用逆止弁６６が介装されている。
ク１０と中間ブロック２０によって形成されている。こ
の第１チャンバ４０は、前記第１外側流入部１３と連通
する第１吸込部４１と、前記第１外側流出部１４と連通
する第１吐出部４２とを有している。そして、前記第１
外側流入部１３と第１吸込部４１の間には該第１吸込部
４１方向に被圧送流体Ｆが流れるように構成された第１
吸込用逆止弁６１が介装されていると共に、前記第１外
側流出部１４と第１吐出部４２の間には前記第１外側流
出部１４方向に被圧送流体が流れるように構成された第
１吐出用逆止弁６６が介装されている。
【００２７】第２チャンバ５０は、前記中間ブロック２
０と第２外側ブロック３０によって形成されている。こ
の第２チャンバ５０は、前記第２外側流入部３１と連通
する第２吸込部５１と、前記第２外側流出部３２と連通
する第２吐出部５２とを有している。そして、前記第２
外側流入部３１と第２吸込部５１の間には該第２吸込部
５１方向に被圧送流体Ｆが流れるように構成された第２
吸込用逆止弁７１が介装されていると共に、前記第２外
側流出部３２と第２吐出部５２の間には前記第２外側流
出部３２方向に被圧送流体が流れるように構成された第
２吐出用逆止弁７６が介装されている。
０と第２外側ブロック３０によって形成されている。こ
の第２チャンバ５０は、前記第２外側流入部３１と連通
する第２吸込部５１と、前記第２外側流出部３２と連通
する第２吐出部５２とを有している。そして、前記第２
外側流入部３１と第２吸込部５１の間には該第２吸込部
５１方向に被圧送流体Ｆが流れるように構成された第２
吸込用逆止弁７１が介装されていると共に、前記第２外
側流出部３２と第２吐出部５２の間には前記第２外側流
出部３２方向に被圧送流体が流れるように構成された第
２吐出用逆止弁７６が介装されている。
【００２８】ここで、実施例においては、請求項６に規
定した発明のように、前記第１外側流入部１３及び第１
吸込用逆止弁６１を含む第１吸込用逆止弁ブロック６０
と、前記第１外側流出部１４及び第１吐出用逆止弁６６
を含む第１吐出用逆止弁ブロック６５とがボディ体Ｂの
第１外側ブロック１０内にそれぞれ別部材として組み付
けられると共に、前記第２外側流入部３１及び第２吸込
用逆止弁７１を含む第２吸込用逆止弁ブロック７０と、
前記第２外側流出部３２及び第２吐出用逆止弁７６を含
む第２吐出用逆止弁ブロック７５とがボディ体Ｂの第２
外側ブロック３０内にそれぞれ別部材として組み付けら
れている。このようにすれば、インジェクターＩ全体の
体積を小さくすることができ、インジェクターＩ自体の
小型化を実現できる。
定した発明のように、前記第１外側流入部１３及び第１
吸込用逆止弁６１を含む第１吸込用逆止弁ブロック６０
と、前記第１外側流出部１４及び第１吐出用逆止弁６６
を含む第１吐出用逆止弁ブロック６５とがボディ体Ｂの
第１外側ブロック１０内にそれぞれ別部材として組み付
けられると共に、前記第２外側流入部３１及び第２吸込
用逆止弁７１を含む第２吸込用逆止弁ブロック７０と、
前記第２外側流出部３２及び第２吐出用逆止弁７６を含
む第２吐出用逆止弁ブロック７５とがボディ体Ｂの第２
外側ブロック３０内にそれぞれ別部材として組み付けら
れている。このようにすれば、インジェクターＩ全体の
体積を小さくすることができ、インジェクターＩ自体の
小型化を実現できる。
【００２９】また、この実施例では、前記各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５の第１外側流入部１３，第
１外側流出部１４，第２外側流入部３１，第２外側流出
部３２は、略直角に屈曲形成されている。このようにす
れば、図示のように前記各逆止弁６１，６６，７１，７
６の移動軸と前記流入口１１，３３及び流出口１２，３
４の開口軸とが直交し、被圧送流体Ｆの流れ方向を変換
させる必要がある場合等であっても、各逆止弁ブロック
６０，６５，７０，７５内で被圧送流体Ｆの流れ方向を
換えることができ、インジェクターＩ全体の体積をより
一層小さくすることができる。なお、前記各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５は、フッ素樹脂等の耐蝕性
及び耐薬品性の高い樹脂から形成されている。図示の符
号ｏ２は、前記各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７
５と前記第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第
２外側ブロック３０間に介在されるＯリング等のシール
部材である。
ック６０，６５，７０，７５の第１外側流入部１３，第
１外側流出部１４，第２外側流入部３１，第２外側流出
部３２は、略直角に屈曲形成されている。このようにす
れば、図示のように前記各逆止弁６１，６６，７１，７
６の移動軸と前記流入口１１，３３及び流出口１２，３
４の開口軸とが直交し、被圧送流体Ｆの流れ方向を変換
させる必要がある場合等であっても、各逆止弁ブロック
６０，６５，７０，７５内で被圧送流体Ｆの流れ方向を
換えることができ、インジェクターＩ全体の体積をより
一層小さくすることができる。なお、前記各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５は、フッ素樹脂等の耐蝕性
及び耐薬品性の高い樹脂から形成されている。図示の符
号ｏ２は、前記各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７
５と前記第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第
２外側ブロック３０間に介在されるＯリング等のシール
部材である。
【００３０】さらに、この実施例においては、前記各逆
止弁６１，６６，７１，７６は、図４からより容易に理
解されるように、円柱体或いは角柱体（図示では円柱
体）からなり、その一側端面Ｅに複数の流体流通路Ｅ１
が放射状に形成されたものが用いられている。勿論、当
該各逆止弁としては、これに限定されるものではない。
止弁６１，６６，７１，７６は、図４からより容易に理
解されるように、円柱体或いは角柱体（図示では円柱
体）からなり、その一側端面Ｅに複数の流体流通路Ｅ１
が放射状に形成されたものが用いられている。勿論、当
該各逆止弁としては、これに限定されるものではない。
【００３１】与圧機構体８０は、前記第１チャンバ４０
内に配される第１与圧用ダイヤフラム部８１と、前記第
２チャンバ５０内に配される第２与圧用ダイヤフラム部
８２とが、前記中間ブロック２０を貫通する連結部８３
によって一体動自在に連結され、前記ボディ体Ｂ内に配
置されている。実施例における与圧機構体８０は、前記
各部８１，８２，８３がそれぞれ螺着結合されている。
勿論、これに限らず、前記第１与圧用ダイヤフラム部８
１と連結部８３とが一体に形成され、前記連結部８３に
第２与圧用ダイヤフラム部８２が螺着固定されても良い
し、前記第２与圧用ダイヤフラム部８２と連結部８３と
が一体に形成され、前記連結部８３に第１与圧用ダイヤ
フラム部８１が螺着固定されても良い。また、この実施
例の与圧機構体８０は、前記各ブロックと同様に、フッ
素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成され
ている。
内に配される第１与圧用ダイヤフラム部８１と、前記第
２チャンバ５０内に配される第２与圧用ダイヤフラム部
８２とが、前記中間ブロック２０を貫通する連結部８３
によって一体動自在に連結され、前記ボディ体Ｂ内に配
置されている。実施例における与圧機構体８０は、前記
各部８１，８２，８３がそれぞれ螺着結合されている。
勿論、これに限らず、前記第１与圧用ダイヤフラム部８
１と連結部８３とが一体に形成され、前記連結部８３に
第２与圧用ダイヤフラム部８２が螺着固定されても良い
し、前記第２与圧用ダイヤフラム部８２と連結部８３と
が一体に形成され、前記連結部８３に第１与圧用ダイヤ
フラム部８１が螺着固定されても良い。また、この実施
例の与圧機構体８０は、前記各ブロックと同様に、フッ
素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成され
ている。
【００３２】前記第１与圧用ダイヤフラム部８１は、ダ
イヤフラム面である薄肉の可動部８１ａと、その外周側
の外周部８１ｂを有しており、前記外周部８１ｂが前記
第１チャンバ４０の内壁４０ａに固定されている。ま
た、前記第２与圧用ダイヤフラム部８２は、ダイヤフラ
ム面である薄肉の可動部８２ａと、その外周側の外周部
８２ｂを有しており、前記外周部８２ｂが前記第２チャ
ンバ５０の内壁５０ａに固定されている。この実施例で
は、図示のように、前記第１与圧用ダイヤフラム部８１
の外周部８１ｂは、前記第１外側ブロック１０と中間ブ
ロック２０間に挟着されて固定され、一方、前記第２与
圧用ダイヤフラム部８２の外周部８２ｂは、前記中間ブ
ロック２０と第２外側ブロック３０間に挟着されて固定
されている。図示の符号ｏ３は前記各与圧用ダイヤフラ
ム部８１，８２の外周部８１ｂ，８２ｂと中間ブロック
２０間に介在されるＯリング等のシール部材、ｏ４は前
記連結部８３と中間ブロック２０間に介在されるＯリン
グ等のシール部材である。なお、図示では、前記各与圧
用ダイヤフラム部８１，８２の可動部８１ａ，８２ａの
断面形状は略直線状となっているが、これに限らず、該
可動部の断面形状は波形状とされてもよい。
イヤフラム面である薄肉の可動部８１ａと、その外周側
の外周部８１ｂを有しており、前記外周部８１ｂが前記
第１チャンバ４０の内壁４０ａに固定されている。ま
た、前記第２与圧用ダイヤフラム部８２は、ダイヤフラ
ム面である薄肉の可動部８２ａと、その外周側の外周部
８２ｂを有しており、前記外周部８２ｂが前記第２チャ
ンバ５０の内壁５０ａに固定されている。この実施例で
は、図示のように、前記第１与圧用ダイヤフラム部８１
の外周部８１ｂは、前記第１外側ブロック１０と中間ブ
ロック２０間に挟着されて固定され、一方、前記第２与
圧用ダイヤフラム部８２の外周部８２ｂは、前記中間ブ
ロック２０と第２外側ブロック３０間に挟着されて固定
されている。図示の符号ｏ３は前記各与圧用ダイヤフラ
ム部８１，８２の外周部８１ｂ，８２ｂと中間ブロック
２０間に介在されるＯリング等のシール部材、ｏ４は前
記連結部８３と中間ブロック２０間に介在されるＯリン
グ等のシール部材である。なお、図示では、前記各与圧
用ダイヤフラム部８１，８２の可動部８１ａ，８２ａの
断面形状は略直線状となっているが、これに限らず、該
可動部の断面形状は波形状とされてもよい。
【００３３】作動流体流出入部９０は、前記中間ブロッ
ク２０内に形成され、前記第１チャンバ４０又は第２チ
ャンバ５０の少なくとも一方に開口され、前記与圧機構
体８０を往復動させる作動流体、例えば前記各与圧用ダ
イヤフラム部８１，８２を加圧若しくは減圧する調圧気
体Ａ等を、前記二つのチャンバ４０，５０の何れか一方
の内壁４０ａ又は５０ａと当該チャンバ４０，５０内に
配される与圧用ダイヤフラム部８１又は８２の内面８１
ｃ又は８２ｃとの間に流出入させる部分である。前記作
動流体流出入部９０には、ボディ体Ｂ外のコンプレッサ
ー等の作動流体供給装置が接続されることになる。
ク２０内に形成され、前記第１チャンバ４０又は第２チ
ャンバ５０の少なくとも一方に開口され、前記与圧機構
体８０を往復動させる作動流体、例えば前記各与圧用ダ
イヤフラム部８１，８２を加圧若しくは減圧する調圧気
体Ａ等を、前記二つのチャンバ４０，５０の何れか一方
の内壁４０ａ又は５０ａと当該チャンバ４０，５０内に
配される与圧用ダイヤフラム部８１又は８２の内面８１
ｃ又は８２ｃとの間に流出入させる部分である。前記作
動流体流出入部９０には、ボディ体Ｂ外のコンプレッサ
ー等の作動流体供給装置が接続されることになる。
【００３４】実施例では、当該作動流体流出入部９０
は、中間ブロック２０から第１チャンバ４０に開口さ
れ、第１チャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤ
フラム部８１の内面８１ｃ間に前記作動流体Ａを流出入
させる第１作動流体流出入部９１と、中間ブロック２０
から第２チャンバ５０に開口され、第２チャンバ５０の
内壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の内面８２
ｃ間に前記作動流体Ａを流出入させる第２作動流体流出
入部９２とからなり、両チャンバ４０，５０内に前記作
動流体Ａを交互に供給することにより与圧機構体８０が
往復動するようになっている。ここで、一方のチャンバ
に前記第１作動流体流出入部９１又は第２作動流体流出
入部９２を介して作動流体Ａが供給されているときに
は、他方のチャンバから該チャンバ内に充填されていた
作動流体Ａは、前記第１作動流体流出入部９１又は第２
作動流体流出入部９２を介してインジェクターＩ外へ排
出されるようになっている。
は、中間ブロック２０から第１チャンバ４０に開口さ
れ、第１チャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤ
フラム部８１の内面８１ｃ間に前記作動流体Ａを流出入
させる第１作動流体流出入部９１と、中間ブロック２０
から第２チャンバ５０に開口され、第２チャンバ５０の
内壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の内面８２
ｃ間に前記作動流体Ａを流出入させる第２作動流体流出
入部９２とからなり、両チャンバ４０，５０内に前記作
動流体Ａを交互に供給することにより与圧機構体８０が
往復動するようになっている。ここで、一方のチャンバ
に前記第１作動流体流出入部９１又は第２作動流体流出
入部９２を介して作動流体Ａが供給されているときに
は、他方のチャンバから該チャンバ内に充填されていた
作動流体Ａは、前記第１作動流体流出入部９１又は第２
作動流体流出入部９２を介してインジェクターＩ外へ排
出されるようになっている。
【００３５】ところで、この実施例では、前記与圧機構
体８０を往復動させる作動流体Ａの第１チャンバ４０又
は第２チャンバ５０への供給及び該チャンバからの作動
流体Ａの排出の切り替え、つまり作動流体供給側チャン
バの切り替えは、請求項３の発明のように、外部の切り
替え手段（図示せず）により所定の切り替え周期で行わ
れると共に、該切り替え周期が任意に変更できるように
構成されている。前記切り替え手段としては、シーケン
サーやタイマー等からの任意の周期的なＯＮ−ＯＦＦ信
号に基づいて駆動する４又は５方向電磁弁や、互いに逆
の作動をする２つの３方向電磁弁を組み合わせたもの等
の切替え電磁弁が好適である。
体８０を往復動させる作動流体Ａの第１チャンバ４０又
は第２チャンバ５０への供給及び該チャンバからの作動
流体Ａの排出の切り替え、つまり作動流体供給側チャン
バの切り替えは、請求項３の発明のように、外部の切り
替え手段（図示せず）により所定の切り替え周期で行わ
れると共に、該切り替え周期が任意に変更できるように
構成されている。前記切り替え手段としては、シーケン
サーやタイマー等からの任意の周期的なＯＮ−ＯＦＦ信
号に基づいて駆動する４又は５方向電磁弁や、互いに逆
の作動をする２つの３方向電磁弁を組み合わせたもの等
の切替え電磁弁が好適である。
【００３６】上記のように作動流体Ａの供給及び排出の
切り替え周期を変更可能にすれば、与圧機構体８０の往
復動の周期、ひいては与圧機構体８０の往復動範囲を容
易に変更することができる。これによって、前記切り替
え周期を、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８
２が終端（ストロークエンド）に達する時間よりも短く
設定し、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８２
が終端に達する前に与圧機構体８０を反転させることが
可能となり、その場合における被圧送流体Ｆの吐出圧力
と時間との関係を表す図７の（Ａ）及び（Ｂ）のグラフ
から理解されるように、前記与圧機構体８０の反転時
（切り替えタイミング）ｙに生じる流出口１２又は３４
における被圧送流体Ｆの吐出圧力の脈動を小さくするこ
とができ、つまり圧力変動の少ない流体の供給が可能と
なる。なお、作動流体Ａの第１チャンバ４０又は第２チ
ャンバ５０への供給及び該チャンバからの作動流体Ａの
排出の切り替えは、上記例示の方法に限らず、ボディ体
Ｂに内蔵した終端検出用スイッチ若しくはセンサー（図
示せず）により与圧機構体８０の終端（ストロークエン
ド）が検出された時点で行ったり、或いは前記与圧機構
体８０の終端に到達したところで作動流体Ａが供給され
ているチャンバ４０又は５０の内圧が上昇することを利
用して当該切り替えを機械的に行うようにしてもよい。
この場合には、図７の（Ｃ）及び（Ｄ）のグラフから理
解されるように、前記与圧機構体８０の反転時ｙの吐出
圧力が０になる。図７の（Ａ）及び（Ｂ）中の符号ｔは
前記各チャンバに対する作動流体Ａの供給及び排出の切
り替え周期を示している。
切り替え周期を変更可能にすれば、与圧機構体８０の往
復動の周期、ひいては与圧機構体８０の往復動範囲を容
易に変更することができる。これによって、前記切り替
え周期を、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８
２が終端（ストロークエンド）に達する時間よりも短く
設定し、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８２
が終端に達する前に与圧機構体８０を反転させることが
可能となり、その場合における被圧送流体Ｆの吐出圧力
と時間との関係を表す図７の（Ａ）及び（Ｂ）のグラフ
から理解されるように、前記与圧機構体８０の反転時
（切り替えタイミング）ｙに生じる流出口１２又は３４
における被圧送流体Ｆの吐出圧力の脈動を小さくするこ
とができ、つまり圧力変動の少ない流体の供給が可能と
なる。なお、作動流体Ａの第１チャンバ４０又は第２チ
ャンバ５０への供給及び該チャンバからの作動流体Ａの
排出の切り替えは、上記例示の方法に限らず、ボディ体
Ｂに内蔵した終端検出用スイッチ若しくはセンサー（図
示せず）により与圧機構体８０の終端（ストロークエン
ド）が検出された時点で行ったり、或いは前記与圧機構
体８０の終端に到達したところで作動流体Ａが供給され
ているチャンバ４０又は５０の内圧が上昇することを利
用して当該切り替えを機械的に行うようにしてもよい。
この場合には、図７の（Ｃ）及び（Ｄ）のグラフから理
解されるように、前記与圧機構体８０の反転時ｙの吐出
圧力が０になる。図７の（Ａ）及び（Ｂ）中の符号ｔは
前記各チャンバに対する作動流体Ａの供給及び排出の切
り替え周期を示している。
【００３７】第１付勢用ダイヤフラム部１００は、前記
第１チャンバ内壁４０ａの外側の壁面４０ｂに、薄肉の
可動部として設けられている。この第１付勢用ダイヤフ
ラム部１００は、前記与圧機構体８０の往復動と後述の
第１付勢手段の作用により変形（伸縮）し、前記第１与
圧用ダイヤフラム部８１の外面８１ｄと接触した時に該
第１与圧用ダイヤフラム部８１を第２与圧用ダイヤフラ
ム部方向に押圧するようになっている。なお、実施例の
第１付勢用ダイヤフラム部１００は第１外側ブロック１
０に一体的に形成されているが、本発明はこれに限定さ
れず、当該第１付勢用ダイヤフラム部を別部材として第
１チャンバ内壁４０ａ（第１外側ブロック１０）に固定
するようにしてもよい。
第１チャンバ内壁４０ａの外側の壁面４０ｂに、薄肉の
可動部として設けられている。この第１付勢用ダイヤフ
ラム部１００は、前記与圧機構体８０の往復動と後述の
第１付勢手段の作用により変形（伸縮）し、前記第１与
圧用ダイヤフラム部８１の外面８１ｄと接触した時に該
第１与圧用ダイヤフラム部８１を第２与圧用ダイヤフラ
ム部方向に押圧するようになっている。なお、実施例の
第１付勢用ダイヤフラム部１００は第１外側ブロック１
０に一体的に形成されているが、本発明はこれに限定さ
れず、当該第１付勢用ダイヤフラム部を別部材として第
１チャンバ内壁４０ａ（第１外側ブロック１０）に固定
するようにしてもよい。
【００３８】第１付勢手段１１０，１１５は、前記第１
付勢用ダイヤフラム部１００を常時内方、すなわち第２
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢するためのものであ
る。実施例では、当該第１付勢手段１１０，１１５は、
請求項２の発明の如く、第１外側ブロック１０の第１付
勢用ダイヤフラム部１００の外側に形成された第１収容
空間１０５内に前記第１付勢用ダイヤフラム部１００に
接触しながら往復動するように配設された第１ピストン
部１１０と、該第１ピストン部１１０を常時内方、すな
わち第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１スプ
リング１１５とで構成されている。また、実施例におけ
る前記第１ピストン部１１０は、先端側（内側）の押圧
側端面１１１にて前記第１付勢用ダイヤフラム部１００
と接触するようになっている。図示の符号１０６は前記
第１付勢用ダイヤフラム部１００と第１ピストン部１１
０間の空気をボディ体Ｂ外へ排出するための第１通気孔
（呼吸孔）、１１２は前記第１ピストン部１１０に形成
されたスプリング取付用開口、１１６は前記第１収容空
間１０５の開口側を塞ぎ前記第１スプリング１１５を受
けるための第１蓋部（第１スプリング用受け部）、１１
７は前記第１蓋部１１６と第１ピストン部１１０間の空
気を外部へ排出するために第１蓋部１１６に形成された
第１排出孔、ｏ５は前記第１ピストン部１１０と前記第
１蓋部１１６間に介在されるＯリング等のシール部材、
ｏ６は前記第１外側ブロック１０と前記第１蓋部１１６
間に介在されるＯリング等のシール部材である。
付勢用ダイヤフラム部１００を常時内方、すなわち第２
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢するためのものであ
る。実施例では、当該第１付勢手段１１０，１１５は、
請求項２の発明の如く、第１外側ブロック１０の第１付
勢用ダイヤフラム部１００の外側に形成された第１収容
空間１０５内に前記第１付勢用ダイヤフラム部１００に
接触しながら往復動するように配設された第１ピストン
部１１０と、該第１ピストン部１１０を常時内方、すな
わち第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第１スプ
リング１１５とで構成されている。また、実施例におけ
る前記第１ピストン部１１０は、先端側（内側）の押圧
側端面１１１にて前記第１付勢用ダイヤフラム部１００
と接触するようになっている。図示の符号１０６は前記
第１付勢用ダイヤフラム部１００と第１ピストン部１１
０間の空気をボディ体Ｂ外へ排出するための第１通気孔
（呼吸孔）、１１２は前記第１ピストン部１１０に形成
されたスプリング取付用開口、１１６は前記第１収容空
間１０５の開口側を塞ぎ前記第１スプリング１１５を受
けるための第１蓋部（第１スプリング用受け部）、１１
７は前記第１蓋部１１６と第１ピストン部１１０間の空
気を外部へ排出するために第１蓋部１１６に形成された
第１排出孔、ｏ５は前記第１ピストン部１１０と前記第
１蓋部１１６間に介在されるＯリング等のシール部材、
ｏ６は前記第１外側ブロック１０と前記第１蓋部１１６
間に介在されるＯリング等のシール部材である。
【００３９】第２付勢用ダイヤフラム部１２０は、前記
第２チャンバ内壁５０ａの外側の壁面５０ｂに、薄肉の
可動部として設けられている。この第２付勢用ダイヤフ
ラム部１２０は、前記与圧機構体８０の往復動と後述の
第２付勢手段の作用により変形（伸縮）し、前記第２与
圧用ダイヤフラム部８２の外面８２ｄと接触した時に該
第２与圧用ダイヤフラム部８２を第１与圧用ダイヤフラ
ム部方向に押圧するようになっている。なお、実施例の
第２付勢用ダイヤフラム部１２０は第２外側ブロック３
０に一体的に形成されているが、本発明はこれに限定さ
れず、当該第２付勢用ダイヤフラム部を別部材として第
２チャンバ内壁５０ａ（第２外側ブロック３０）に固定
するようにしてもよい。
第２チャンバ内壁５０ａの外側の壁面５０ｂに、薄肉の
可動部として設けられている。この第２付勢用ダイヤフ
ラム部１２０は、前記与圧機構体８０の往復動と後述の
第２付勢手段の作用により変形（伸縮）し、前記第２与
圧用ダイヤフラム部８２の外面８２ｄと接触した時に該
第２与圧用ダイヤフラム部８２を第１与圧用ダイヤフラ
ム部方向に押圧するようになっている。なお、実施例の
第２付勢用ダイヤフラム部１２０は第２外側ブロック３
０に一体的に形成されているが、本発明はこれに限定さ
れず、当該第２付勢用ダイヤフラム部を別部材として第
２チャンバ内壁５０ａ（第２外側ブロック３０）に固定
するようにしてもよい。
【００４０】第２付勢手段１３０，１３５は、前記第２
付勢用ダイヤフラム部１２０を常時内方、すなわち第１
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢するためのものであ
る。実施例では、当該第２付勢手段１３０，１３５は、
請求項２の発明の如く、第２外側ブロック３０の第２付
勢用ダイヤフラム部１２０の外側に形成された第２収容
空間１２５内に前記第２付勢用ダイヤフラム部１２０に
接触しながら往復動するように配設された第２ピストン
部１３０と、該第２ピストン部１３０を常時内方、すな
わち第１与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２スプ
リング１３５とで構成されている。また、実施例におけ
る前記第２ピストン部１３０は、前記第１ピストン部１
１０と同様に、先端側（内側）の押圧側端面１３１にて
前記第２付勢用ダイヤフラム部１２０と接触するように
なっている。図示の符号１２６は前記第２付勢用ダイヤ
フラム部１２０と第２ピストン部１３０間の空気をボデ
ィ体Ｂ外へ排出するための第２通気孔（呼吸孔）、１３
２は前記第２ピストン部１３０に形成されたスプリング
取付用開口、１３６は前記第２収容空間１２５の開口側
を塞ぎ前記第２スプリング１３５を受けるための第２蓋
部（第２スプリング用受け部）、１３７は前記第２蓋部
１３６と第２ピストン部１３０間の空気を外部へ排出す
るために第２蓋部１３６に形成された第２排出孔、ｏ７
は前記第２ピストン部１３０と前記第２蓋部１３６間に
介在されるＯリング等のシール部材、ｏ８は前記第２外
側ブロック３０と前記第２蓋部１３６間に介在されるＯ
リング等のシール部材である。
付勢用ダイヤフラム部１２０を常時内方、すなわち第１
与圧用ダイヤフラム部方向に付勢するためのものであ
る。実施例では、当該第２付勢手段１３０，１３５は、
請求項２の発明の如く、第２外側ブロック３０の第２付
勢用ダイヤフラム部１２０の外側に形成された第２収容
空間１２５内に前記第２付勢用ダイヤフラム部１２０に
接触しながら往復動するように配設された第２ピストン
部１３０と、該第２ピストン部１３０を常時内方、すな
わち第１与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２スプ
リング１３５とで構成されている。また、実施例におけ
る前記第２ピストン部１３０は、前記第１ピストン部１
１０と同様に、先端側（内側）の押圧側端面１３１にて
前記第２付勢用ダイヤフラム部１２０と接触するように
なっている。図示の符号１２６は前記第２付勢用ダイヤ
フラム部１２０と第２ピストン部１３０間の空気をボデ
ィ体Ｂ外へ排出するための第２通気孔（呼吸孔）、１３
２は前記第２ピストン部１３０に形成されたスプリング
取付用開口、１３６は前記第２収容空間１２５の開口側
を塞ぎ前記第２スプリング１３５を受けるための第２蓋
部（第２スプリング用受け部）、１３７は前記第２蓋部
１３６と第２ピストン部１３０間の空気を外部へ排出す
るために第２蓋部１３６に形成された第２排出孔、ｏ７
は前記第２ピストン部１３０と前記第２蓋部１３６間に
介在されるＯリング等のシール部材、ｏ８は前記第２外
側ブロック３０と前記第２蓋部１３６間に介在されるＯ
リング等のシール部材である。
【００４１】なお、前記各付勢用ダイヤフラム部１００
又は１２０をそれぞれ内方に付勢する各付勢手段は、上
記例示のものに限定されない。例えば、前記各付勢用ダ
イヤフラム部１００又は１２０の外側に加圧空間（実施
例の収容空間１０５，１２５に相当する。）を設け、こ
の加圧空間にボディ体Ｂ外のコンプレッサー等の加圧気
体供給装置により加圧気体を供給することによって、前
記各付勢用ダイヤフラム部１００又は１２０をそれぞれ
内方に所定圧力で付勢するようにしてもよい。
又は１２０をそれぞれ内方に付勢する各付勢手段は、上
記例示のものに限定されない。例えば、前記各付勢用ダ
イヤフラム部１００又は１２０の外側に加圧空間（実施
例の収容空間１０５，１２５に相当する。）を設け、こ
の加圧空間にボディ体Ｂ外のコンプレッサー等の加圧気
体供給装置により加圧気体を供給することによって、前
記各付勢用ダイヤフラム部１００又は１２０をそれぞれ
内方に所定圧力で付勢するようにしてもよい。
【００４２】ここで、この実施例では、請求項４に規定
し、かつ図３に示したように、当該インジェクターＩの
作動停止時、すなわち前記作動流体Ａの供給・排出動作
の停止時に、前記第１付勢手段と第２付勢手段の協働
（詳しくは後で述べる。）により、前記与圧機構体８０
をその中心位置８０ｃが該与圧機構体の最長往復動範囲
（停止前の往復動範囲）Ｓの中間位置Ｓｃ又はその近傍
（ここでは中間位置Ｓｃ）と一致するように位置させる
ように構成されている。より具体的に説明すると、実施
例のインジェクターＩでは第１チャンバ４０，第１与圧
用ダイヤフラム部８１等の第１外側ブロック１０側の各
部と第２チャンバ５０，第２与圧用ダイヤフラム部８２
等の第２外側ブロック３０側の各部とは互いに対称な形
状及び位置関係となっており、前記作動流体Ａの供給・
排出動作の停止時に、前記第１付勢手段と第２付勢手段
の付勢力によって、与圧機構体８０の中心位置８０ｃが
ボディ体Ｂ（中間ブロック２０）の中心位置、すなわち
与圧機構体８０の最長往復動範囲Ｓの中間位置Ｓｃに一
致するように、与圧機構体８０を移動させている。それ
により、当該インジェクターＩの作動停止時において、
与圧機構体８０の各与圧用ダイヤフラム部８１，８２に
作用するストレスが同等（この例では各ダイヤフラム部
８１，８２ともストレスは０）となる。また、実施例に
おいては、前記各ピストン部１１０，１３０外周に外側
へフランジ状に突出した外側突出部１１３，１３３が設
けられると共に、前記各収容空間１０５，１２５の内壁
に前記外側突出部１１３，１３３と当接し各ピストン部
１１０，１３０のさらなる内方への移動を規制する段差
部１０７，１２７が設けられ、前記作動流体Ａの供給・
排出動作の停止時に両方のピストン部１１０，１３０の
外側突出部１１３，１３３が前記段差部１０７，１２７
に当接して与圧機構体８０が完全停止したときに、該与
圧機構体８０の中心位置８０ｃが最長往復動範囲Ｓの中
間位置（ボディ体Ｂの中心位置）Ｓｃに位置するように
なっている。このようにすれば、前記第１スプリング１
１５の弾性力と第２スプリング１３５の弾性力が多少異
なっても、確実に前記作動流体Ａの供給・排出動作の停
止時に与圧機構体８０を、その中心位置８０ｃが最長往
復動範囲Ｓの中間位置Ｓｃに位置するように停止させる
ことができる。また、実施例では、第１チャンバ４０と
第２チャンバ５０の容積を等しくすることにより、二つ
のチャンバ４０，５０からの吐出流量が同じになるよう
に設定されている。
し、かつ図３に示したように、当該インジェクターＩの
作動停止時、すなわち前記作動流体Ａの供給・排出動作
の停止時に、前記第１付勢手段と第２付勢手段の協働
（詳しくは後で述べる。）により、前記与圧機構体８０
をその中心位置８０ｃが該与圧機構体の最長往復動範囲
（停止前の往復動範囲）Ｓの中間位置Ｓｃ又はその近傍
（ここでは中間位置Ｓｃ）と一致するように位置させる
ように構成されている。より具体的に説明すると、実施
例のインジェクターＩでは第１チャンバ４０，第１与圧
用ダイヤフラム部８１等の第１外側ブロック１０側の各
部と第２チャンバ５０，第２与圧用ダイヤフラム部８２
等の第２外側ブロック３０側の各部とは互いに対称な形
状及び位置関係となっており、前記作動流体Ａの供給・
排出動作の停止時に、前記第１付勢手段と第２付勢手段
の付勢力によって、与圧機構体８０の中心位置８０ｃが
ボディ体Ｂ（中間ブロック２０）の中心位置、すなわち
与圧機構体８０の最長往復動範囲Ｓの中間位置Ｓｃに一
致するように、与圧機構体８０を移動させている。それ
により、当該インジェクターＩの作動停止時において、
与圧機構体８０の各与圧用ダイヤフラム部８１，８２に
作用するストレスが同等（この例では各ダイヤフラム部
８１，８２ともストレスは０）となる。また、実施例に
おいては、前記各ピストン部１１０，１３０外周に外側
へフランジ状に突出した外側突出部１１３，１３３が設
けられると共に、前記各収容空間１０５，１２５の内壁
に前記外側突出部１１３，１３３と当接し各ピストン部
１１０，１３０のさらなる内方への移動を規制する段差
部１０７，１２７が設けられ、前記作動流体Ａの供給・
排出動作の停止時に両方のピストン部１１０，１３０の
外側突出部１１３，１３３が前記段差部１０７，１２７
に当接して与圧機構体８０が完全停止したときに、該与
圧機構体８０の中心位置８０ｃが最長往復動範囲Ｓの中
間位置（ボディ体Ｂの中心位置）Ｓｃに位置するように
なっている。このようにすれば、前記第１スプリング１
１５の弾性力と第２スプリング１３５の弾性力が多少異
なっても、確実に前記作動流体Ａの供給・排出動作の停
止時に与圧機構体８０を、その中心位置８０ｃが最長往
復動範囲Ｓの中間位置Ｓｃに位置するように停止させる
ことができる。また、実施例では、第１チャンバ４０と
第２チャンバ５０の容積を等しくすることにより、二つ
のチャンバ４０，５０からの吐出流量が同じになるよう
に設定されている。
【００４３】このようにしてなるインジェクターＩは以
下のように作動する。なお、以下では、第２外側ブロッ
ク３０の第２流入口３３及び第２流出口３４が閉じられ
た場合の作動について説明する。すなわち、図１に示す
ように、前記第１作動流体流出入部９１を介して第１チ
ャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤフラム部８
１の内面８１ｃとの間に作動流体Ａが供給されると共
に、前記第２作動流体流出入部９２を介して第２チャン
バ５０の内壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の
内面８２ｃとの間に充填されていた作動流体Ａが排出さ
れると、前記与圧機構体８０が第１外側ブロック１０側
に移動する。これによって、第１チャンバ４０の内壁４
０ａと第１与圧用ダイヤフラム部８１の外面８１ｄとの
間に充填されていた被圧送流体Ｆが、前記第１吐出部４
２，第１吐出用逆止弁６６，第１外側流出部１４を介し
て前記第１流出口１２から吐出されると同時に、前記第
１流入口１１から前記第１外側流入部１３，接続流入部
２１，第２外側流入部３１，第２吸込用逆止弁７１，第
２吸込部５１を介して第２チャンバ５０の内壁５０ａと
第２与圧用ダイヤフラム部８２の外面８２ｄとの間に被
圧送流体Ｆが充填され、次の吐出動作に備える。
下のように作動する。なお、以下では、第２外側ブロッ
ク３０の第２流入口３３及び第２流出口３４が閉じられ
た場合の作動について説明する。すなわち、図１に示す
ように、前記第１作動流体流出入部９１を介して第１チ
ャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤフラム部８
１の内面８１ｃとの間に作動流体Ａが供給されると共
に、前記第２作動流体流出入部９２を介して第２チャン
バ５０の内壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の
内面８２ｃとの間に充填されていた作動流体Ａが排出さ
れると、前記与圧機構体８０が第１外側ブロック１０側
に移動する。これによって、第１チャンバ４０の内壁４
０ａと第１与圧用ダイヤフラム部８１の外面８１ｄとの
間に充填されていた被圧送流体Ｆが、前記第１吐出部４
２，第１吐出用逆止弁６６，第１外側流出部１４を介し
て前記第１流出口１２から吐出されると同時に、前記第
１流入口１１から前記第１外側流入部１３，接続流入部
２１，第２外側流入部３１，第２吸込用逆止弁７１，第
２吸込部５１を介して第２チャンバ５０の内壁５０ａと
第２与圧用ダイヤフラム部８２の外面８２ｄとの間に被
圧送流体Ｆが充填され、次の吐出動作に備える。
【００４４】ここで、前記与圧機構体８０の第１外側ブ
ロック１０側への移動初期には、第２スプリング１３５
の力によって、第２与圧用ダイヤフラム部外面８２ｄに
第２付勢用ダイヤフラム部１２０が接触しながら、第２
ピストン部１３０及び第２付勢用ダイヤフラム部１２０
が第１外側ブロック１０側に移動する。それから、与圧
機構体８０の中心位置がボディ体Ｂ（中間ブロック２
０）の中心位置に一致すると、前記第２ピストン部１３
０の外側突出部１３３が前記第２収容空間１２５の第２
段差部１２７に当接して、第２ピストン部１３０及び第
２付勢用ダイヤフラム部１２０の第１外側ブロック１０
側への移動が終わると共に、第１与圧用ダイヤフラム部
外面８１ｄが第１付勢用ダイヤフラム部１００に当接す
る。その後、さらに与圧機構体８０が第１外側ブロック
１０側へ移動すると、第２与圧用ダイヤフラム部外面８
２ｄが第２付勢用ダイヤフラム部１２０から離れると共
に、第１与圧用ダイヤフラム部８１により第１付勢用ダ
イヤフラム部１００及び第１ピストン部１１０が第１収
容空間１０５側へ押されて移動する。
ロック１０側への移動初期には、第２スプリング１３５
の力によって、第２与圧用ダイヤフラム部外面８２ｄに
第２付勢用ダイヤフラム部１２０が接触しながら、第２
ピストン部１３０及び第２付勢用ダイヤフラム部１２０
が第１外側ブロック１０側に移動する。それから、与圧
機構体８０の中心位置がボディ体Ｂ（中間ブロック２
０）の中心位置に一致すると、前記第２ピストン部１３
０の外側突出部１３３が前記第２収容空間１２５の第２
段差部１２７に当接して、第２ピストン部１３０及び第
２付勢用ダイヤフラム部１２０の第１外側ブロック１０
側への移動が終わると共に、第１与圧用ダイヤフラム部
外面８１ｄが第１付勢用ダイヤフラム部１００に当接す
る。その後、さらに与圧機構体８０が第１外側ブロック
１０側へ移動すると、第２与圧用ダイヤフラム部外面８
２ｄが第２付勢用ダイヤフラム部１２０から離れると共
に、第１与圧用ダイヤフラム部８１により第１付勢用ダ
イヤフラム部１００及び第１ピストン部１１０が第１収
容空間１０５側へ押されて移動する。
【００４５】これに対して、図２に示すように、前記第
２作動流体流出入部９２を介して第２チャンバ５０の内
壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の内面８２ｃ
との間に作動流体Ａが供給されると共に、前記第１作動
流体流出入部９１を介して第１チャンバ４０の内壁４０
ａと第１与圧用ダイヤフラム部８１の内面８１ｃとの間
に充填されていた作動流体Ａが排出されると、前記与圧
機構体８０が第２外側ブロック３０側に移動する。これ
によって、第２チャンバ５０の内壁５０ａと第２与圧用
ダイヤフラム部８２の外面８２ｄとの間に充填されてい
た被圧送流体Ｆが、前記第２吐出部５２，第２吐出用逆
止弁７６，第２外側流出部３２，接続流出部２２，第１
外側流出部１４を介して前記流出口１２から吐出される
と同時に、前記流入口１１から前記第１外側流入部１
３，第１吸込用逆止弁６１，第１吸込部４１を介して第
１チャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤフラム
部８１の外面８１ｄとの間に被圧送流体Ｆが充填され、
次の吐出動作に備える。
２作動流体流出入部９２を介して第２チャンバ５０の内
壁５０ａと第２与圧用ダイヤフラム部８２の内面８２ｃ
との間に作動流体Ａが供給されると共に、前記第１作動
流体流出入部９１を介して第１チャンバ４０の内壁４０
ａと第１与圧用ダイヤフラム部８１の内面８１ｃとの間
に充填されていた作動流体Ａが排出されると、前記与圧
機構体８０が第２外側ブロック３０側に移動する。これ
によって、第２チャンバ５０の内壁５０ａと第２与圧用
ダイヤフラム部８２の外面８２ｄとの間に充填されてい
た被圧送流体Ｆが、前記第２吐出部５２，第２吐出用逆
止弁７６，第２外側流出部３２，接続流出部２２，第１
外側流出部１４を介して前記流出口１２から吐出される
と同時に、前記流入口１１から前記第１外側流入部１
３，第１吸込用逆止弁６１，第１吸込部４１を介して第
１チャンバ４０の内壁４０ａと第１与圧用ダイヤフラム
部８１の外面８１ｄとの間に被圧送流体Ｆが充填され、
次の吐出動作に備える。
【００４６】前記与圧機構体８０が第２外側ブロック３
０側へ移動する際、その初期においては、第１スプリン
グ１１５の力によって、第１与圧用ダイヤフラム部外面
８１ｄに第１付勢用ダイヤフラム部１００が接触しなが
ら、第１ピストン部１１０及び第１付勢用ダイヤフラム
部１００が第２外側ブロック３０側に移動する。それか
ら、与圧機構体８０の中心位置がボディ体Ｂの中心位置
に一致すると、前記第１ピストン部１１０の外側突出部
１１３が前記第１収容空間１０５の第１段差部１０７に
当接して、第１ピストン部１１０及び第１付勢用ダイヤ
フラム部１００の第２外側ブロック３０側への移動が終
わると共に、第２与圧用ダイヤフラム部外面８２ｄが第
２付勢用ダイヤフラム部１２０に当接する。その後、さ
らなる与圧機構体８０の第２外側ブロック３０側への移
動によって、第１与圧用ダイヤフラム部外面８１ｄが第
１付勢用ダイヤフラム部１００から離れると共に、第２
与圧用ダイヤフラム部８２により第２付勢用ダイヤフラ
ム部１２０及び第２ピストン部１３０が第２収容空間１
２５側へ押されて移動する。
０側へ移動する際、その初期においては、第１スプリン
グ１１５の力によって、第１与圧用ダイヤフラム部外面
８１ｄに第１付勢用ダイヤフラム部１００が接触しなが
ら、第１ピストン部１１０及び第１付勢用ダイヤフラム
部１００が第２外側ブロック３０側に移動する。それか
ら、与圧機構体８０の中心位置がボディ体Ｂの中心位置
に一致すると、前記第１ピストン部１１０の外側突出部
１１３が前記第１収容空間１０５の第１段差部１０７に
当接して、第１ピストン部１１０及び第１付勢用ダイヤ
フラム部１００の第２外側ブロック３０側への移動が終
わると共に、第２与圧用ダイヤフラム部外面８２ｄが第
２付勢用ダイヤフラム部１２０に当接する。その後、さ
らなる与圧機構体８０の第２外側ブロック３０側への移
動によって、第１与圧用ダイヤフラム部外面８１ｄが第
１付勢用ダイヤフラム部１００から離れると共に、第２
与圧用ダイヤフラム部８２により第２付勢用ダイヤフラ
ム部１２０及び第２ピストン部１３０が第２収容空間１
２５側へ押されて移動する。
【００４７】なお、図１及び図２に示した作動例では、
第２外側ブロック３０の第２流入口３３及び第２流出口
３４を閉じ、インジェクターＩ外部からの被圧送流体Ｆ
の流入口として第１外側ブロック１０の第１流入口１１
を、インジェクターＩ外部への被圧送流体Ｆの流出口と
して第１外側ブロック１０の第１流出口１２をそれぞれ
利用しているが、これに限らず、例えば、図５及び図６
の如く第１流出口１２と第２流入口３３を閉じてインジ
ェクターＩを使用してもよいし、或いは第１流入口１１
と第１流出口１２を閉じてインジェクターＩを使用して
もよいし、さらには第１流入口１１と第２流出口３４を
閉じてもよい。すなわち、インジェクターＩの使用時に
は、第１流入口１１と第２流入口３３のうちの何れか一
方を閉じると共に、第１流出口１２と第２流出口３４の
うちの何れか一方を閉じるようにすればよい。
第２外側ブロック３０の第２流入口３３及び第２流出口
３４を閉じ、インジェクターＩ外部からの被圧送流体Ｆ
の流入口として第１外側ブロック１０の第１流入口１１
を、インジェクターＩ外部への被圧送流体Ｆの流出口と
して第１外側ブロック１０の第１流出口１２をそれぞれ
利用しているが、これに限らず、例えば、図５及び図６
の如く第１流出口１２と第２流入口３３を閉じてインジ
ェクターＩを使用してもよいし、或いは第１流入口１１
と第１流出口１２を閉じてインジェクターＩを使用して
もよいし、さらには第１流入口１１と第２流出口３４を
閉じてもよい。すなわち、インジェクターＩの使用時に
は、第１流入口１１と第２流入口３３のうちの何れか一
方を閉じると共に、第１流出口１２と第２流出口３４の
うちの何れか一方を閉じるようにすればよい。
【００４８】上述したように当該インジェクターＩにお
いては、与圧機構体８０が往復動する際に、該与圧機構
体８０の各与圧用ダイヤフラム部８１，８２が各付勢手
段１１０，１１５，１３０，１３５により内方へ付勢さ
れている各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０に徐々
に接触及び離間するため、与圧機構体８０と各チャンバ
内壁４０ａ，５０ａ間の緩衝効果が得られ、従来に比
し、与圧機構体８０や各ブロック１０，２０，３０等の
構成部材の耐用年数が長くなる。また、当該インジェク
ターＩにあっては、上記のように各付勢用ダイヤフラム
部１００，１２０及び各付勢手段で構成される与圧機構
体８０のための付勢機構を有しており、与圧機構体８０
の反転時、つまり作動流体の供給・排出の切り替え時に
は、次に被圧送流体Ｆが供給されるチャンバ側の与圧用
ダイヤフラム部８１又は８２が付勢用ダイヤフラム部１
００又は１２０と接触しながらゆっくり内方へ移動する
と共に、次に被圧送流体Ｆを排出するチャンバ側の付勢
用ダイヤフラム部１００又は１２０が被圧送流体Ｆの圧
力で外方へ若干移動する。したがって、前記付勢機構が
ある場合における吐出圧力−時間のグラフを示す図７の
（Ａ）及び（Ｂ）と前記付勢機構が無い場合における吐
出圧力−時間のグラフを示す同図の（Ｃ）及び（Ｄ）と
を比較参照することにより理解できるように、前記付勢
機構がある場合には、付勢機構が無い場合に比べて各チ
ャンバ内の圧力、ひいては流出口からの吐出圧力が急激
に変化するのを防ぐことができ、それに伴って、与圧機
構体８０を含む各構成部材の寿命が飛躍的に延びること
になる。
いては、与圧機構体８０が往復動する際に、該与圧機構
体８０の各与圧用ダイヤフラム部８１，８２が各付勢手
段１１０，１１５，１３０，１３５により内方へ付勢さ
れている各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０に徐々
に接触及び離間するため、与圧機構体８０と各チャンバ
内壁４０ａ，５０ａ間の緩衝効果が得られ、従来に比
し、与圧機構体８０や各ブロック１０，２０，３０等の
構成部材の耐用年数が長くなる。また、当該インジェク
ターＩにあっては、上記のように各付勢用ダイヤフラム
部１００，１２０及び各付勢手段で構成される与圧機構
体８０のための付勢機構を有しており、与圧機構体８０
の反転時、つまり作動流体の供給・排出の切り替え時に
は、次に被圧送流体Ｆが供給されるチャンバ側の与圧用
ダイヤフラム部８１又は８２が付勢用ダイヤフラム部１
００又は１２０と接触しながらゆっくり内方へ移動する
と共に、次に被圧送流体Ｆを排出するチャンバ側の付勢
用ダイヤフラム部１００又は１２０が被圧送流体Ｆの圧
力で外方へ若干移動する。したがって、前記付勢機構が
ある場合における吐出圧力−時間のグラフを示す図７の
（Ａ）及び（Ｂ）と前記付勢機構が無い場合における吐
出圧力−時間のグラフを示す同図の（Ｃ）及び（Ｄ）と
を比較参照することにより理解できるように、前記付勢
機構がある場合には、付勢機構が無い場合に比べて各チ
ャンバ内の圧力、ひいては流出口からの吐出圧力が急激
に変化するのを防ぐことができ、それに伴って、与圧機
構体８０を含む各構成部材の寿命が飛躍的に延びること
になる。
【００４９】さらに、上述の如く、インジェクターＩの
作動停止時、つまり作動流体の供給・排出動作の停止時
に、第１付勢手段１１０，１１５と第２付勢手段１３
０，１３５の協働により、前記与圧機構体８０をその中
心位置８０ｃが該与圧機構体８０の最長往復動範囲Ｓの
中間位置（ボディ体Ｂの中心位置）Ｓｃと一致するよう
に位置させるようにすれば、当該インジェクターの停止
前後で与圧機構体８０の往復動の中心及び往復動範囲が
一定であるので、図７の（Ａ）及び（Ｂ）のグラフから
理解されるように、当該インジェクターの再作動後にも
停止前（通常作動時）と同じようなバラツキのない安定
した吐出圧力、ひいては吐出流量が得られる。なお、従
来構造のように付勢機構が無く、インジェクターの作動
停止時に、与圧機構体の中心位置が該与圧機構体の最長
往復動範囲の中間位置からズレて、与圧機構体が停止し
た場合には、当該インジェクターの再作動後において、
該与圧機構体は、往復動の中心がズレたまま往復動し、
その往復動範囲（正確には一方のチャンバ方向への移動
距離）が短くなってしまうので、図７の（Ｃ）及び
（Ｄ）の鎖線で示すように、当該インジェクターＩの停
止前後（通常作動時と再作動時）で吐出圧力、ひいては
吐出流量が変わってしまうと共に、再作動後において各
チャンバ４０，５０からの吐出流量にバラツキが生じて
しまう。
作動停止時、つまり作動流体の供給・排出動作の停止時
に、第１付勢手段１１０，１１５と第２付勢手段１３
０，１３５の協働により、前記与圧機構体８０をその中
心位置８０ｃが該与圧機構体８０の最長往復動範囲Ｓの
中間位置（ボディ体Ｂの中心位置）Ｓｃと一致するよう
に位置させるようにすれば、当該インジェクターの停止
前後で与圧機構体８０の往復動の中心及び往復動範囲が
一定であるので、図７の（Ａ）及び（Ｂ）のグラフから
理解されるように、当該インジェクターの再作動後にも
停止前（通常作動時）と同じようなバラツキのない安定
した吐出圧力、ひいては吐出流量が得られる。なお、従
来構造のように付勢機構が無く、インジェクターの作動
停止時に、与圧機構体の中心位置が該与圧機構体の最長
往復動範囲の中間位置からズレて、与圧機構体が停止し
た場合には、当該インジェクターの再作動後において、
該与圧機構体は、往復動の中心がズレたまま往復動し、
その往復動範囲（正確には一方のチャンバ方向への移動
距離）が短くなってしまうので、図７の（Ｃ）及び
（Ｄ）の鎖線で示すように、当該インジェクターＩの停
止前後（通常作動時と再作動時）で吐出圧力、ひいては
吐出流量が変わってしまうと共に、再作動後において各
チャンバ４０，５０からの吐出流量にバラツキが生じて
しまう。
【００５０】なお、この実施例のインジェクターＩは、
上述したように前記中間ブロック２０が透明体（若しく
は半透明体）で形成されているので、与圧機構体８０の
作動状態が外部から視認できるようになっている。その
ため、与圧機構体８０、特には各与圧用ダイヤフラム部
８１，８２が破損する等の異常発生を早期に発見するこ
とができるばかりか、前記与圧機構体８０の反転位置の
決定による与圧機構体８０の往復動範囲の設定、つまり
吐出流量の設定が簡単に行える利点がある。また、前記
透明体若しくは半透明体からなる中間ブロック２０に目
盛りを刻設する等して、与圧機構体８０の往復動におけ
る反転位置を分かり易くすれば、前記吐出流量の設定が
より容易になる。また、上記のように中間ブロック２０
が透明体或いは半透明体で形成されない場合には、前記
チャンバ４０，５０の内壁４０ａ，５０ａにＣＣＤやフ
ォトセンサー等の検知手段を設けて、与圧機構体８０の
作動状態が外部から視認できるようにしてもよい。
上述したように前記中間ブロック２０が透明体（若しく
は半透明体）で形成されているので、与圧機構体８０の
作動状態が外部から視認できるようになっている。その
ため、与圧機構体８０、特には各与圧用ダイヤフラム部
８１，８２が破損する等の異常発生を早期に発見するこ
とができるばかりか、前記与圧機構体８０の反転位置の
決定による与圧機構体８０の往復動範囲の設定、つまり
吐出流量の設定が簡単に行える利点がある。また、前記
透明体若しくは半透明体からなる中間ブロック２０に目
盛りを刻設する等して、与圧機構体８０の往復動におけ
る反転位置を分かり易くすれば、前記吐出流量の設定が
より容易になる。また、上記のように中間ブロック２０
が透明体或いは半透明体で形成されない場合には、前記
チャンバ４０，５０の内壁４０ａ，５０ａにＣＣＤやフ
ォトセンサー等の検知手段を設けて、与圧機構体８０の
作動状態が外部から視認できるようにしてもよい。
【００５１】図８には上記構造からなるインジェクター
Ｉの一使用例が示されている。この例においては、当該
インジェクターＩは、タンクＴ１内の被圧送流体Ｆをポ
ンプＶ１によりユースポイントＵ１に供給する回路内の
圧力を増圧するための増圧器として用いられている。な
お、図示の例では、インジェクターＩの第２流入口３３
及び第２流出口３４が閉じられ、第１流入口１１にポン
プＶ１を介してタンクＴ１が接続されていると共に、第
１流出口１２にユースポイントＵ２が接続されている。
Ｉの一使用例が示されている。この例においては、当該
インジェクターＩは、タンクＴ１内の被圧送流体Ｆをポ
ンプＶ１によりユースポイントＵ１に供給する回路内の
圧力を増圧するための増圧器として用いられている。な
お、図示の例では、インジェクターＩの第２流入口３３
及び第２流出口３４が閉じられ、第１流入口１１にポン
プＶ１を介してタンクＴ１が接続されていると共に、第
１流出口１２にユースポイントＵ２が接続されている。
【００５２】また、図９には上記構造からなるインジェ
クターＩの他の使用例が示されている。この例において
は、当該インジェクターＩは、タンクＴ２内の被圧送流
体ＦをユースポイントＵ２に圧送供給するための所謂ダ
イヤフラムポンプとして用いられている。図示の例で
は、前記インジェクターＩとユースポイントＵ２の間に
調整弁Ｈ（特許第２６７１１８３号等参照）が配備され
ている。このようにすれば、実施例のインジェクターＩ
（作動流体の供給・排出の切り替えを外部の切り替え手
段により行う。）における被圧送流体の吐出圧力と時間
との関係を表す図１０の（Ａ）のグラフから理解される
ように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミングｙ
における吐出圧力よりも前記調整弁Ｈの設定圧力ｚを低
く設定して被圧送流体Ｆの圧力調整を行うことにより、
ユースポイントＵ２に被圧送流体Ｆを安定して定圧供給
できる。すなわち、吐出圧力の脈動を除去することがで
きるようになる。また、図９の例では、インジェクター
Ｉの第２流入口３３及び第２流出口３４が閉じられ、第
１流入口１１にタンクＴ２が接続されていると共に、第
１流出口１２に調整弁Ｈを介してユースポイントＵ２が
接続されている。
クターＩの他の使用例が示されている。この例において
は、当該インジェクターＩは、タンクＴ２内の被圧送流
体ＦをユースポイントＵ２に圧送供給するための所謂ダ
イヤフラムポンプとして用いられている。図示の例で
は、前記インジェクターＩとユースポイントＵ２の間に
調整弁Ｈ（特許第２６７１１８３号等参照）が配備され
ている。このようにすれば、実施例のインジェクターＩ
（作動流体の供給・排出の切り替えを外部の切り替え手
段により行う。）における被圧送流体の吐出圧力と時間
との関係を表す図１０の（Ａ）のグラフから理解される
ように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミングｙ
における吐出圧力よりも前記調整弁Ｈの設定圧力ｚを低
く設定して被圧送流体Ｆの圧力調整を行うことにより、
ユースポイントＵ２に被圧送流体Ｆを安定して定圧供給
できる。すなわち、吐出圧力の脈動を除去することがで
きるようになる。また、図９の例では、インジェクター
Ｉの第２流入口３３及び第２流出口３４が閉じられ、第
１流入口１１にタンクＴ２が接続されていると共に、第
１流出口１２に調整弁Ｈを介してユースポイントＵ２が
接続されている。
【００５３】なお、図１０においては、参考比較例とし
て、（Ｂ）には前記調整弁Ｈが実施例のインジェクター
ＩとユースポイントＵ２の間に配備されない場合におけ
る被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｃ）には前記インジェクターＩの代わりに従来構造の
インジェクターを用い前記調整弁ＨがインジェクターＩ
とユースポイントＵ２の間に配備されない場合における
被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｄ）には前記従来構造のインジェクターを用い前記調
整弁ＨがインジェクターＩとユースポイントＵ２の間に
配備される場合における被圧送流体の吐出圧力と時間と
の関係のグラフがそれぞれ表されている。（Ｄ）から分
かるように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミン
グｙにおける吐出圧力が０に近似する従来構造のインジ
ェクターを用いる場合、インジェクターからの吐出圧力
が調整弁Ｈによる設定圧力以下になった時には、ユース
ポイントＵ２への被圧送流体Ｆの定圧供給が不可能とな
り、依然吐出圧力の脈動は残ってしまう。図１０中の符
号ｔは前記各チャンバに対する作動流体Ａの供給及び排
出の切り替え周期を示している。
て、（Ｂ）には前記調整弁Ｈが実施例のインジェクター
ＩとユースポイントＵ２の間に配備されない場合におけ
る被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｃ）には前記インジェクターＩの代わりに従来構造の
インジェクターを用い前記調整弁ＨがインジェクターＩ
とユースポイントＵ２の間に配備されない場合における
被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｄ）には前記従来構造のインジェクターを用い前記調
整弁ＨがインジェクターＩとユースポイントＵ２の間に
配備される場合における被圧送流体の吐出圧力と時間と
の関係のグラフがそれぞれ表されている。（Ｄ）から分
かるように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミン
グｙにおける吐出圧力が０に近似する従来構造のインジ
ェクターを用いる場合、インジェクターからの吐出圧力
が調整弁Ｈによる設定圧力以下になった時には、ユース
ポイントＵ２への被圧送流体Ｆの定圧供給が不可能とな
り、依然吐出圧力の脈動は残ってしまう。図１０中の符
号ｔは前記各チャンバに対する作動流体Ａの供給及び排
出の切り替え周期を示している。
【００５４】また、図１１には上記構造からなるインジ
ェクターＩのさらに他の使用例が示されている。この例
においては、当該インジェクターＩは、二つのタンクＴ
３（工場内循環回路中に配備されたタンク），Ｔ４内の
被圧送流体Ｆａ，Ｆｂの何れか一方をユースポイントＵ
３に圧送供給するための所謂ダイヤフラムポンプとして
用いられている。図示の例では、インジェクターＩの第
１流出口１２が閉じられ、第１流入口１１に第１ＯＮ・
ＯＦＦ弁（切り替え弁）Ｖ３及びポンプＶ２を介してタ
ンクＴ３が接続されていると共に、第２流入口３３に第
２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を介してタンクＴ４が接続され、
さらに第２流出口３４にユースポイントＵ３が接続され
ている。このようにすれば、第１ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ３を
開け第２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を閉じることにより、タン
クＴ３内の被圧送流体ＦａをユースポイントＵ３に圧送
供給でき、一方、第２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を開け第１Ｏ
Ｎ・ＯＦＦ弁Ｖ３を閉じることにより、タンクＴ４内の
被圧送流体ＦｂをユースポイントＵ３に圧送供給でき
る。すなわち、一つのインジェクターＩで２種類の流体
を圧送供給することができる。さらに、図示しないが、
前記第１流出口１２にＯＮ・ＯＦＦ弁を介して一のユー
スポイントと接続すると共に、第２流入口３３にＯＮ・
ＯＦＦ弁を介して他のユースポイントと接続するように
すれば、前記各ＯＮ・ＯＦＦ弁の開閉により一つのイン
ジェクターＩで二箇所のユースポイントに流体を圧送供
給することも可能となる。
ェクターＩのさらに他の使用例が示されている。この例
においては、当該インジェクターＩは、二つのタンクＴ
３（工場内循環回路中に配備されたタンク），Ｔ４内の
被圧送流体Ｆａ，Ｆｂの何れか一方をユースポイントＵ
３に圧送供給するための所謂ダイヤフラムポンプとして
用いられている。図示の例では、インジェクターＩの第
１流出口１２が閉じられ、第１流入口１１に第１ＯＮ・
ＯＦＦ弁（切り替え弁）Ｖ３及びポンプＶ２を介してタ
ンクＴ３が接続されていると共に、第２流入口３３に第
２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を介してタンクＴ４が接続され、
さらに第２流出口３４にユースポイントＵ３が接続され
ている。このようにすれば、第１ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ３を
開け第２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を閉じることにより、タン
クＴ３内の被圧送流体ＦａをユースポイントＵ３に圧送
供給でき、一方、第２ＯＮ・ＯＦＦ弁Ｖ４を開け第１Ｏ
Ｎ・ＯＦＦ弁Ｖ３を閉じることにより、タンクＴ４内の
被圧送流体ＦｂをユースポイントＵ３に圧送供給でき
る。すなわち、一つのインジェクターＩで２種類の流体
を圧送供給することができる。さらに、図示しないが、
前記第１流出口１２にＯＮ・ＯＦＦ弁を介して一のユー
スポイントと接続すると共に、第２流入口３３にＯＮ・
ＯＦＦ弁を介して他のユースポイントと接続するように
すれば、前記各ＯＮ・ＯＦＦ弁の開閉により一つのイン
ジェクターＩで二箇所のユースポイントに流体を圧送供
給することも可能となる。
【００５５】図１２にはこの発明の他の実施例に係るイ
ンジェクターＩｘが示されている。なお、以下の説明及
び図１２において先に説明した実施例のインジェクター
Ｉの構成部材と同一部材については同一符号を付して、
説明を省略する。この実施例のインジェクターＩｘは、
請求項７に規定した発明のように、第１チャンバ４０又
は第２チャンバ５０の一方にのみ、図示の例では第２チ
ャンバ５０にのみ、与圧機構体８０を往復動させる作動
流体Ａが流出入され、かつ前記作動流体Ａが流出入され
ないチャンバ、図示の例では第１チャンバ４０の内壁４
０ａと当該チャンバ内に配される第１与圧用ダイヤフラ
ム部８１の内面８１ｃとの間にスプリングＳが配設され
ている。なお、この場合、前記作動流体Ａが流出入され
ない第１チャンバ４０側の前記第１作動流体流出入部９
１は呼吸路となる。
ンジェクターＩｘが示されている。なお、以下の説明及
び図１２において先に説明した実施例のインジェクター
Ｉの構成部材と同一部材については同一符号を付して、
説明を省略する。この実施例のインジェクターＩｘは、
請求項７に規定した発明のように、第１チャンバ４０又
は第２チャンバ５０の一方にのみ、図示の例では第２チ
ャンバ５０にのみ、与圧機構体８０を往復動させる作動
流体Ａが流出入され、かつ前記作動流体Ａが流出入され
ないチャンバ、図示の例では第１チャンバ４０の内壁４
０ａと当該チャンバ内に配される第１与圧用ダイヤフラ
ム部８１の内面８１ｃとの間にスプリングＳが配設され
ている。なお、この場合、前記作動流体Ａが流出入され
ない第１チャンバ４０側の前記第１作動流体流出入部９
１は呼吸路となる。
【００５６】このように構成すれば、前記スプリングＳ
によって与圧機構体８０は常時一方の外側ブロック方向
へ付勢されるため、一方のチャンバ４０又は５０に対し
てのみ作動流体Ａの供給及び排出を行うだけで与圧機構
体８０を往復動させることができ、与圧機構体８０の駆
動制御が極めて簡単になる。なお、このように一方のチ
ャンバのみに作動流体Ａの供給及び排出を行う場合に
は、該作動流体Ａの供給及び排出の切り替えを行う切り
替え手段としては、シーケンサーやタイマー等からの任
意の周期的なＯＮ−ＯＦＦ信号に基づいて駆動する３方
向電磁弁が好適である。また、図示しないが、両チャン
バに与圧機構体を往復動させる作動流体が両作動流体流
出入部を介して流出入され、かつ両チャンバの内壁と与
圧用ダイヤフラム部の内面との間にスプリングがそれぞ
れ配設されるようにしてもよい。
によって与圧機構体８０は常時一方の外側ブロック方向
へ付勢されるため、一方のチャンバ４０又は５０に対し
てのみ作動流体Ａの供給及び排出を行うだけで与圧機構
体８０を往復動させることができ、与圧機構体８０の駆
動制御が極めて簡単になる。なお、このように一方のチ
ャンバのみに作動流体Ａの供給及び排出を行う場合に
は、該作動流体Ａの供給及び排出の切り替えを行う切り
替え手段としては、シーケンサーやタイマー等からの任
意の周期的なＯＮ−ＯＦＦ信号に基づいて駆動する３方
向電磁弁が好適である。また、図示しないが、両チャン
バに与圧機構体を往復動させる作動流体が両作動流体流
出入部を介して流出入され、かつ両チャンバの内壁と与
圧用ダイヤフラム部の内面との間にスプリングがそれぞ
れ配設されるようにしてもよい。
【００５７】また、上記実施例では、第１外側ブロック
１０に第１流入口１１及び第１流出口１２が設けられ、
他方、第２外側ブロック３０に第２流入口３３及び第２
流出口３４が設けられ、インジェクター全体として流入
口及び流出口がそれぞれ２個づつ設けられているが、本
発明はこれに限定されることなく、インジェクター全体
として流入口及び流出口をそれぞれ１個づつ設けるよう
にしてもよい。その場合、流入口及び流出口を、共に第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０に形成し
たり、或いは流入口を第１外側ブロック１０に形成して
流出口を第２外側ブロック３０に形成したり、或いは流
入口を第２外側ブロック３０に形成して流出口を第１外
側ブロック１０に形成したりする等、当該流入口及び流
入口を、第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第
２外側ブロック３０の何れか適宜のブロックに形成する
ことができる。
１０に第１流入口１１及び第１流出口１２が設けられ、
他方、第２外側ブロック３０に第２流入口３３及び第２
流出口３４が設けられ、インジェクター全体として流入
口及び流出口がそれぞれ２個づつ設けられているが、本
発明はこれに限定されることなく、インジェクター全体
として流入口及び流出口をそれぞれ１個づつ設けるよう
にしてもよい。その場合、流入口及び流出口を、共に第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０に形成し
たり、或いは流入口を第１外側ブロック１０に形成して
流出口を第２外側ブロック３０に形成したり、或いは流
入口を第２外側ブロック３０に形成して流出口を第１外
側ブロック１０に形成したりする等、当該流入口及び流
入口を、第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第
２外側ブロック３０の何れか適宜のブロックに形成する
ことができる。
【００５８】さらに、上記各実施例では、ボディ体Ｂは
第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第２外側ブ
ロック３０の３つのブロックからなっているが、これに
限定されず、図１３に示すインジェクターＩｙのよう
に、ボディ体をさらに分割したものでも良い。図示のイ
ンジェクターＩｙにおいては、ボディ体Ｂｙは９つのブ
ロックＢ１〜Ｂ９で構成されている。なお、図１３にお
いて先に説明した実施例のインジェクターＩの構成部材
と同一部材については同一符号を付してある。図中の符
号Ｎは各ブロックを固定するための固定用ボルトであ
る。
第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第２外側ブ
ロック３０の３つのブロックからなっているが、これに
限定されず、図１３に示すインジェクターＩｙのよう
に、ボディ体をさらに分割したものでも良い。図示のイ
ンジェクターＩｙにおいては、ボディ体Ｂｙは９つのブ
ロックＢ１〜Ｂ９で構成されている。なお、図１３にお
いて先に説明した実施例のインジェクターＩの構成部材
と同一部材については同一符号を付してある。図中の符
号Ｎは各ブロックを固定するための固定用ボルトであ
る。
【００５９】図１４〜１７には、さらに他の実施例に係
るインジェクターＩｚ及びその一部分が示されている。
なお、以下の説明及び図１４〜１７において先に説明し
た実施例のインジェクターＩの構成部材と同一部材につ
いては同一符号を付して、説明を省略する。この実施例
のインジェクターＩｚにおいては、ボディ体Ｂの中間ブ
ロック２０内に埋設されて接続流入部２１及び接続流出
部２２を構成する管部材Ｐ１，Ｐ２と、第１外側ブロッ
ク１０又は第２外側ブロック３０とが、Ｏリング等のシ
ール部材を介さずに接続されている。
るインジェクターＩｚ及びその一部分が示されている。
なお、以下の説明及び図１４〜１７において先に説明し
た実施例のインジェクターＩの構成部材と同一部材につ
いては同一符号を付して、説明を省略する。この実施例
のインジェクターＩｚにおいては、ボディ体Ｂの中間ブ
ロック２０内に埋設されて接続流入部２１及び接続流出
部２２を構成する管部材Ｐ１，Ｐ２と、第１外側ブロッ
ク１０又は第２外側ブロック３０とが、Ｏリング等のシ
ール部材を介さずに接続されている。
【００６０】前記接続構造についてより詳しく説明する
と、図１４の符号１部分を拡大して示す図１５の（１）
から理解されるように、管部材Ｐ１，Ｐ２の両端面が内
側テーパ部Ｐｂを有する凹面Ｐａで形成されると共に、
第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０の中間
ブロック側面における管部材Ｐ１，Ｐ２と接触する位置
に、前記管部材Ｐ１，Ｐ２の内側テーパ部Ｐｂに対応す
る外側テーパ部Ｑｂを有する凸部Ｑａが形成され、前記
管部材Ｐ１，Ｐ２の内側テーパ部Ｐｂと第１外側ブロッ
ク１０又は第２外側ブロック３０の外側テーパ部Ｑｂと
の圧接により、管部材Ｐ１，Ｐ２と第１外側ブロック１
０又は第２外側ブロック３０が連結されている。このよ
うにすれば、管部材Ｐ１，Ｐ２と第１外側ブロック１０
又は第２外側ブロック３０間のシール性が十分となる。
しかも、Ｏリング等のシール部材が不要になるため、部
品点数を低減できると共に、当該管部材Ｐ１，Ｐ２と第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０の接続部
位をフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂とす
ることができる。なお、この実施例では、管部材Ｐ１，
Ｐ２の両端面を凹面Ｐａで形成したが、これに限らず、
管部材Ｐ１，Ｐ２の両端面を外側テーパ部を有する凸面
で形成し、第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック
３０に内側テーパ部を有する凹部を形成するようにして
も良い。
と、図１４の符号１部分を拡大して示す図１５の（１）
から理解されるように、管部材Ｐ１，Ｐ２の両端面が内
側テーパ部Ｐｂを有する凹面Ｐａで形成されると共に、
第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０の中間
ブロック側面における管部材Ｐ１，Ｐ２と接触する位置
に、前記管部材Ｐ１，Ｐ２の内側テーパ部Ｐｂに対応す
る外側テーパ部Ｑｂを有する凸部Ｑａが形成され、前記
管部材Ｐ１，Ｐ２の内側テーパ部Ｐｂと第１外側ブロッ
ク１０又は第２外側ブロック３０の外側テーパ部Ｑｂと
の圧接により、管部材Ｐ１，Ｐ２と第１外側ブロック１
０又は第２外側ブロック３０が連結されている。このよ
うにすれば、管部材Ｐ１，Ｐ２と第１外側ブロック１０
又は第２外側ブロック３０間のシール性が十分となる。
しかも、Ｏリング等のシール部材が不要になるため、部
品点数を低減できると共に、当該管部材Ｐ１，Ｐ２と第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０の接続部
位をフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂とす
ることができる。なお、この実施例では、管部材Ｐ１，
Ｐ２の両端面を凹面Ｐａで形成したが、これに限らず、
管部材Ｐ１，Ｐ２の両端面を外側テーパ部を有する凸面
で形成し、第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック
３０に内側テーパ部を有する凹部を形成するようにして
も良い。
【００６１】また、この実施例では、第１吸込用逆止弁
ブロック６０，第１吐出用逆止弁ブロック６５，第２吸
込用逆止弁ブロック７０，第２吐出用逆止弁ブロック７
５は、Ｏリング等のシール部材を介さずに、ボディ体Ｂ
の第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０に組
み付けられている。より詳しく説明すると、図１４の符
号２部分を拡大して示す図１５の（２）から理解される
ように、前記各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７５
の外壁面の所定位置（但し、外側流入部１３，３１又は
外側流出部１４，３２より外側（図１４では上側又は下
側）の位置）に突起部Ｍが突設され、当該各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５の組み付け時に、前記突起
部Ｍが第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０
の逆止弁ブロック用収容部の内壁に圧接されるようにな
っている。これによって、Ｏリング等のシール部材が無
くても、各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７５と第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０間のシー
ル性が十分となる。しかも、前記シール部材が不要にな
るため、部品点数を低減できると共に、当該各逆止弁ブ
ロック６０，６５，７０，７５の組み付け部位をフッ素
樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂のみで構成でき
る利点がある。なお、この実施例では、各逆止弁ブロッ
ク６０，６５，７０，７５に突起部Ｍが設けられている
が、この場合とは逆に、第１外側ブロック１０又は第２
外側ブロック３０の逆止弁ブロック用収容部の内壁に突
起部を設けるようにしても良い。
ブロック６０，第１吐出用逆止弁ブロック６５，第２吸
込用逆止弁ブロック７０，第２吐出用逆止弁ブロック７
５は、Ｏリング等のシール部材を介さずに、ボディ体Ｂ
の第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０に組
み付けられている。より詳しく説明すると、図１４の符
号２部分を拡大して示す図１５の（２）から理解される
ように、前記各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７５
の外壁面の所定位置（但し、外側流入部１３，３１又は
外側流出部１４，３２より外側（図１４では上側又は下
側）の位置）に突起部Ｍが突設され、当該各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５の組み付け時に、前記突起
部Ｍが第１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０
の逆止弁ブロック用収容部の内壁に圧接されるようにな
っている。これによって、Ｏリング等のシール部材が無
くても、各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７５と第
１外側ブロック１０又は第２外側ブロック３０間のシー
ル性が十分となる。しかも、前記シール部材が不要にな
るため、部品点数を低減できると共に、当該各逆止弁ブ
ロック６０，６５，７０，７５の組み付け部位をフッ素
樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂のみで構成でき
る利点がある。なお、この実施例では、各逆止弁ブロッ
ク６０，６５，７０，７５に突起部Ｍが設けられている
が、この場合とは逆に、第１外側ブロック１０又は第２
外側ブロック３０の逆止弁ブロック用収容部の内壁に突
起部を設けるようにしても良い。
【００６２】さらに、このインジェクターＩｚでは、前
記中間ブロック２０は、第１外側ブロック１０及び第２
外側ブロック３０と同様に、フッ素樹脂等の耐蝕性及び
耐薬品性の高い樹脂から形成されていると共に、請求項
８に規定したように、第１付勢手段の第１ピストン部１
１０を収容するために第１付勢用ダイヤフラム部１００
の外側に形成された第１収容空間１０５を外側から塞ぐ
第１蓋部１１６と、第２付勢手段の第２ピストン部１３
０を収容するために第２付勢用ダイヤフラム部１２０の
外側に形成された第２収容空間１２５を外側から塞ぐ第
２蓋部１３６とが、透明塩化ビニル樹脂等からなる透明
体或いは半透明体より形成されている。このようにすれ
ば、中間ブロック２０が透明体或いは半透明体でない場
合であっても、図１４の矢印Ｒ１，Ｒ２方向から前記第
１蓋部１１６又は第２蓋部１３６を見て、第１蓋部１１
６又は第２蓋部１３６の色の濃淡を確認することによ
り、前記第１ピストン部１１０又は第２ピストン１３０
の動作を外部から視認できるようになり、ひいては与圧
機構体８０の作動状態を把握できる。その結果、与圧機
構体８０が破損する等の異常発生を早期に発見できる等
の利点がある。また、前記中間ブロック２０を耐蝕性及
び耐薬品性の高い樹脂から形成する場合には、管部材Ｐ
１，Ｐ２を用いることなく、中間ブロック２０に直接、
接続流入部２１及び接続流出部２２を形成することも可
能で、その場合には、部品点数を減らすことができる。
記中間ブロック２０は、第１外側ブロック１０及び第２
外側ブロック３０と同様に、フッ素樹脂等の耐蝕性及び
耐薬品性の高い樹脂から形成されていると共に、請求項
８に規定したように、第１付勢手段の第１ピストン部１
１０を収容するために第１付勢用ダイヤフラム部１００
の外側に形成された第１収容空間１０５を外側から塞ぐ
第１蓋部１１６と、第２付勢手段の第２ピストン部１３
０を収容するために第２付勢用ダイヤフラム部１２０の
外側に形成された第２収容空間１２５を外側から塞ぐ第
２蓋部１３６とが、透明塩化ビニル樹脂等からなる透明
体或いは半透明体より形成されている。このようにすれ
ば、中間ブロック２０が透明体或いは半透明体でない場
合であっても、図１４の矢印Ｒ１，Ｒ２方向から前記第
１蓋部１１６又は第２蓋部１３６を見て、第１蓋部１１
６又は第２蓋部１３６の色の濃淡を確認することによ
り、前記第１ピストン部１１０又は第２ピストン１３０
の動作を外部から視認できるようになり、ひいては与圧
機構体８０の作動状態を把握できる。その結果、与圧機
構体８０が破損する等の異常発生を早期に発見できる等
の利点がある。また、前記中間ブロック２０を耐蝕性及
び耐薬品性の高い樹脂から形成する場合には、管部材Ｐ
１，Ｐ２を用いることなく、中間ブロック２０に直接、
接続流入部２１及び接続流出部２２を形成することも可
能で、その場合には、部品点数を減らすことができる。
【００６３】なお、このインジェクターＩｚでは、ピス
トン部１１０，１３０とスプリング１１５，１３５によ
り構成された各付勢手段により各付勢用ダイヤフラム部
１００，１２０を付勢しているが、上述したように各付
勢用ダイヤフラム部１００，１２０を加圧気体によって
付勢する場合においても、前記第１蓋部１１６及び第２
蓋部１３６を透明体或いは半透明体で構成すれば、前記
各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の動作を外部か
ら視認できるので、与圧機構体８０の作動状態を把握す
ることができる。
トン部１１０，１３０とスプリング１１５，１３５によ
り構成された各付勢手段により各付勢用ダイヤフラム部
１００，１２０を付勢しているが、上述したように各付
勢用ダイヤフラム部１００，１２０を加圧気体によって
付勢する場合においても、前記第１蓋部１１６及び第２
蓋部１３６を透明体或いは半透明体で構成すれば、前記
各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の動作を外部か
ら視認できるので、与圧機構体８０の作動状態を把握す
ることができる。
【００６４】また、このインジェクターＩｚにおいて
は、請求項９或いは請求項１０に規定し、かつ図１６に
示したように、第１流出口１２又は第２流出口３４から
流出される被圧送流体内の、前記与圧機構体８０を往復
動させるための作動流体の混入の有無を検知する作動流
体混入検知手段（２１０）が設けられていると共に、第
１流入口１１又は第２流入口３３から流入される被圧送
流体の特性を検知する流入流体特性検知手段２１１が設
けられている。また、この実施例では、前記第１流入口
１１に継ぎ手部材Ｊ１を介して取り付けられたチューブ
等の流入用配管部材２００に、前記流入流体特性検知手
段２１１が配設され、前記第１流出口１２に継ぎ手部材
Ｊ２を介して取り付けられたチューブ等の流出用配管部
材２０５に、前記作動流体混入検知手段２１０が配設さ
れ、これに対して、第２流入口３３及び第２流出口３４
は封止部材Ｊ３，Ｊ４（図１４参照）により封止されて
いる。図１６中の符号２０１は流入用配管部材２００の
端部を円周方向外方へ折り返して形成された鍔返し部、
２０２は前記流入用配管部材２００の鍔返し部２０１と
継ぎ手部材Ｊ１間に介在された押圧リング、２０６は流
出用配管部材２０５の端部を円周方向外方へ折り返して
形成された鍔返し部、２０７は前記流出用配管部材２０
０の鍔返し部２０６と継ぎ手部材Ｊ２間に介在された押
圧リングである。なお、実施例の各配管部材２００，２
０５は、光透過性を有する透明又は半透明のチューブか
らなっている。以下、前記作動流体混入検知手段２１０
及び流入流体特性検知手段２１１について具体的に説明
する。
は、請求項９或いは請求項１０に規定し、かつ図１６に
示したように、第１流出口１２又は第２流出口３４から
流出される被圧送流体内の、前記与圧機構体８０を往復
動させるための作動流体の混入の有無を検知する作動流
体混入検知手段（２１０）が設けられていると共に、第
１流入口１１又は第２流入口３３から流入される被圧送
流体の特性を検知する流入流体特性検知手段２１１が設
けられている。また、この実施例では、前記第１流入口
１１に継ぎ手部材Ｊ１を介して取り付けられたチューブ
等の流入用配管部材２００に、前記流入流体特性検知手
段２１１が配設され、前記第１流出口１２に継ぎ手部材
Ｊ２を介して取り付けられたチューブ等の流出用配管部
材２０５に、前記作動流体混入検知手段２１０が配設さ
れ、これに対して、第２流入口３３及び第２流出口３４
は封止部材Ｊ３，Ｊ４（図１４参照）により封止されて
いる。図１６中の符号２０１は流入用配管部材２００の
端部を円周方向外方へ折り返して形成された鍔返し部、
２０２は前記流入用配管部材２００の鍔返し部２０１と
継ぎ手部材Ｊ１間に介在された押圧リング、２０６は流
出用配管部材２０５の端部を円周方向外方へ折り返して
形成された鍔返し部、２０７は前記流出用配管部材２０
０の鍔返し部２０６と継ぎ手部材Ｊ２間に介在された押
圧リングである。なお、実施例の各配管部材２００，２
０５は、光透過性を有する透明又は半透明のチューブか
らなっている。以下、前記作動流体混入検知手段２１０
及び流入流体特性検知手段２１１について具体的に説明
する。
【００６５】前記各検知手段２１０，２１１としては、
例えば、前記各配管部材２００，２０５内を流通する被
圧送流体の色，透明度等の性状や状態、すなわち特性を
外部から検知できるものが挙げられ、実施例の各検知手
段２１０，２１１は共に、互いに独立した発光部材２２
０と受光部材２２１を備える透過型の光電子センサ−
（ビームセンサー）が用いられている。
例えば、前記各配管部材２００，２０５内を流通する被
圧送流体の色，透明度等の性状や状態、すなわち特性を
外部から検知できるものが挙げられ、実施例の各検知手
段２１０，２１１は共に、互いに独立した発光部材２２
０と受光部材２２１を備える透過型の光電子センサ−
（ビームセンサー）が用いられている。
【００６６】また、図示の各検知手段２１０，２１１の
発光部材２２０及び受光部材２２１は保護チューブ２２
２，２２３により保護されていると共に、当該各検知手
段２１０，２１１は、前記各配管部材２００，２０５に
装着される断面視略十字状の検知手段取付部材２２５
と、該検知手段取付部材２２５と螺合して前記各配管部
材２００，２０５を圧締する配管部材用ナット部材２２
６，２２７と、前記検知手段取付部材２２５と螺合して
前記保護チューブ２２２，２２３を圧締する検知手段用
ナット部材２２８，２２９等によって、各配管部材２０
０，２０５に保持固定されている。勿論、各検知手段２
１０，２１１の保持固定方法は、上の例示に限定され
ず、適宜の方法を採用できる。
発光部材２２０及び受光部材２２１は保護チューブ２２
２，２２３により保護されていると共に、当該各検知手
段２１０，２１１は、前記各配管部材２００，２０５に
装着される断面視略十字状の検知手段取付部材２２５
と、該検知手段取付部材２２５と螺合して前記各配管部
材２００，２０５を圧締する配管部材用ナット部材２２
６，２２７と、前記検知手段取付部材２２５と螺合して
前記保護チューブ２２２，２２３を圧締する検知手段用
ナット部材２２８，２２９等によって、各配管部材２０
０，２０５に保持固定されている。勿論、各検知手段２
１０，２１１の保持固定方法は、上の例示に限定され
ず、適宜の方法を採用できる。
【００６７】上述したように作動流体混入検知手段２１
０を設ければ、与圧用ダイヤフラム部８１，８２が破損
したり、劣化したりして、与圧機構体８０を往復動させ
るための作動流体Ａが各チャンバ４０，５０の各与圧用
ダイヤフラム部外側領域へ漏出した場合に、その漏出し
た作動流体Ａの被圧送流体への混入を当該作動流体混入
検知手段２１０により感知するので、前記与圧機構体８
０、ひいてはインジェクターＩｚの異常発生を簡単かつ
早期に発見でき、その対応を迅速に行えるようになる。
また、前記作動流体混入検知手段２１０に加えて、流入
流体特性検知手段２１１を設けるようにすれば、流入流
体の特性を参酌して、流出流体の異常、つまり前記作動
流体Ａの混入を相対的に判断でき、誤りのない正確な、
被圧送流体への作動流体Ａの混入検知が可能となる。し
たがって、スラリーを含む薬液等の、経時変化の激しい
流体や前記各配管部材２００，２０５を変色させるおそ
れのある流体を被圧送流体とする場合に、特に好適であ
る。なお、上の例では、透過型の光電子センサーを各検
知手段２１０，２１１として用いた場合について説明し
たが、これに限らず、反射型の光電子センサー等、適宜
のものを各検知手段２１０，２１１として用いることが
できる。
０を設ければ、与圧用ダイヤフラム部８１，８２が破損
したり、劣化したりして、与圧機構体８０を往復動させ
るための作動流体Ａが各チャンバ４０，５０の各与圧用
ダイヤフラム部外側領域へ漏出した場合に、その漏出し
た作動流体Ａの被圧送流体への混入を当該作動流体混入
検知手段２１０により感知するので、前記与圧機構体８
０、ひいてはインジェクターＩｚの異常発生を簡単かつ
早期に発見でき、その対応を迅速に行えるようになる。
また、前記作動流体混入検知手段２１０に加えて、流入
流体特性検知手段２１１を設けるようにすれば、流入流
体の特性を参酌して、流出流体の異常、つまり前記作動
流体Ａの混入を相対的に判断でき、誤りのない正確な、
被圧送流体への作動流体Ａの混入検知が可能となる。し
たがって、スラリーを含む薬液等の、経時変化の激しい
流体や前記各配管部材２００，２０５を変色させるおそ
れのある流体を被圧送流体とする場合に、特に好適であ
る。なお、上の例では、透過型の光電子センサーを各検
知手段２１０，２１１として用いた場合について説明し
たが、これに限らず、反射型の光電子センサー等、適宜
のものを各検知手段２１０，２１１として用いることが
できる。
【００６８】加えて、このインジェクターＩｚにおいて
は、請求項１１に規定し、かつ図１７に示したように、
前記第１付勢用ダイヤフラム部１００と第１付勢手段の
第１ピストン部１１０間の空気をボディ体Ｂ外へ排出す
るためにボディ体Ｂの第１外側ブロック１０に形成され
た第１通気孔１０６、及び前記第２付勢用ダイヤフラム
部１２０と第２付勢手段の第２ピストン部１３０間の空
気をボディ体Ｂ外へ排出するためにボディ体Ｂの第２外
側ブロック３０に形成された第２通気孔１２６から、前
記各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の破損や劣化
等に起因して被圧送流体が漏出しているか否かを検知す
る漏出検知手段２３０，２３１が設けられている。図示
の例では、前記第１通気孔１０６及び第２通気孔１２６
に、継ぎ手部材Ｊ５，Ｊ６等を介してチューブ等の漏出
検知用配管部材２４０，２４１を接続し、前記各通気孔
１０６，１２６及び各漏出検知用配管部材２４０，２４
１を通って漏れ出た流体を漏出検知手段２３０，２３１
により検知するようになっている。なお、以下、被圧送
流体が液体とされる場合における前記漏出検知手段２３
０，２３１の一例について説明する。
は、請求項１１に規定し、かつ図１７に示したように、
前記第１付勢用ダイヤフラム部１００と第１付勢手段の
第１ピストン部１１０間の空気をボディ体Ｂ外へ排出す
るためにボディ体Ｂの第１外側ブロック１０に形成され
た第１通気孔１０６、及び前記第２付勢用ダイヤフラム
部１２０と第２付勢手段の第２ピストン部１３０間の空
気をボディ体Ｂ外へ排出するためにボディ体Ｂの第２外
側ブロック３０に形成された第２通気孔１２６から、前
記各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の破損や劣化
等に起因して被圧送流体が漏出しているか否かを検知す
る漏出検知手段２３０，２３１が設けられている。図示
の例では、前記第１通気孔１０６及び第２通気孔１２６
に、継ぎ手部材Ｊ５，Ｊ６等を介してチューブ等の漏出
検知用配管部材２４０，２４１を接続し、前記各通気孔
１０６，１２６及び各漏出検知用配管部材２４０，２４
１を通って漏れ出た流体を漏出検知手段２３０，２３１
により検知するようになっている。なお、以下、被圧送
流体が液体とされる場合における前記漏出検知手段２３
０，２３１の一例について説明する。
【００６９】この例における漏出検知手段２３０，２３
１は共に、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
らの流体を受ける従来公知の漏液検知帯（漏液センサ
ー）２５０と、該漏液検知帯２５０の出力から漏液を検
出する漏液検出器（回路）２５５とで構成されている。
前記漏液検知帯２５０は、絶縁被覆内に２本の導体が一
定の間隔を保って収容されると共に、その絶縁被覆が前
記両導体の両側縁で部分的に欠如されることで両導体を
部分的に外部に露出させ、それぞれの露出部分を漏液検
知電極として構成されたものからなる。また、前記漏液
検出器２５５は、図示の例では、交流検出方式を採用し
たものからなって、所定周期毎に所定電圧の信号を発生
させる発振回路２５６と、前記信号を受ける検出回路２
５７を有している。上記構成の漏出検知手段２３０，２
３１では、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
ら流体が漏れ出て、その流体が漏液検知帯２５０に触れ
た状態では、漏液検知帯２５０の漏液検知電極が電気的
に短絡しこれに対応した検出信号を出力させ、一方、前
記漏液検知帯２５０に流体が触れていない状態では、前
記漏液検知電極が電気的に開放しこれに対応した検出信
号を出力させることによって、流体漏出の有無を検出で
きるようになっている。
１は共に、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
らの流体を受ける従来公知の漏液検知帯（漏液センサ
ー）２５０と、該漏液検知帯２５０の出力から漏液を検
出する漏液検出器（回路）２５５とで構成されている。
前記漏液検知帯２５０は、絶縁被覆内に２本の導体が一
定の間隔を保って収容されると共に、その絶縁被覆が前
記両導体の両側縁で部分的に欠如されることで両導体を
部分的に外部に露出させ、それぞれの露出部分を漏液検
知電極として構成されたものからなる。また、前記漏液
検出器２５５は、図示の例では、交流検出方式を採用し
たものからなって、所定周期毎に所定電圧の信号を発生
させる発振回路２５６と、前記信号を受ける検出回路２
５７を有している。上記構成の漏出検知手段２３０，２
３１では、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
ら流体が漏れ出て、その流体が漏液検知帯２５０に触れ
た状態では、漏液検知帯２５０の漏液検知電極が電気的
に短絡しこれに対応した検出信号を出力させ、一方、前
記漏液検知帯２５０に流体が触れていない状態では、前
記漏液検知電極が電気的に開放しこれに対応した検出信
号を出力させることによって、流体漏出の有無を検出で
きるようになっている。
【００７０】このように漏出検知手段２３０，２３１に
よって、第１通気孔１０６及び第２通気孔１２６からの
被圧送流体の漏出の有無を検知するように構成すれば、
前記各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の破損や劣
化等の異常発生を簡単かつ早期に発見でき、その対応措
置を迅速に行えるようになる。なお、漏出検知手段とし
ては、上記例示のものに限定されることはない。他の漏
出検知手段としては、黒色の印等を付したプラスチック
等からなる板の表面上に紙を載置し、該紙に流体が触れ
た場合に前記板の印が透けて見えるようにし、その変化
を公知の光電スイッチ等を用いて検知するように構成し
たものや、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
らの流体を受ける容器を用意し、その容器内の流体の有
無あるいは変動を光の屈折特性を利用したセンサー等で
検知するように構成したもの等を挙げることができる。
また、上記例のように、第１通気孔１０６及び第２通気
孔１２６に各漏出検知用配管部材２４０，２４１を接続
して配管するようにすれば、流体の漏出位置を思い通り
の位置にすることができるが、前記漏出位置に拘らない
場合等では、各漏出検知用配管部材２４０，２４１で配
管しない形で前述の漏出検知手段を配設することも可能
である。
よって、第１通気孔１０６及び第２通気孔１２６からの
被圧送流体の漏出の有無を検知するように構成すれば、
前記各付勢用ダイヤフラム部１００，１２０の破損や劣
化等の異常発生を簡単かつ早期に発見でき、その対応措
置を迅速に行えるようになる。なお、漏出検知手段とし
ては、上記例示のものに限定されることはない。他の漏
出検知手段としては、黒色の印等を付したプラスチック
等からなる板の表面上に紙を載置し、該紙に流体が触れ
た場合に前記板の印が透けて見えるようにし、その変化
を公知の光電スイッチ等を用いて検知するように構成し
たものや、前記各漏出検知用配管部材２４０，２４１か
らの流体を受ける容器を用意し、その容器内の流体の有
無あるいは変動を光の屈折特性を利用したセンサー等で
検知するように構成したもの等を挙げることができる。
また、上記例のように、第１通気孔１０６及び第２通気
孔１２６に各漏出検知用配管部材２４０，２４１を接続
して配管するようにすれば、流体の漏出位置を思い通り
の位置にすることができるが、前記漏出位置に拘らない
場合等では、各漏出検知用配管部材２４０，２４１で配
管しない形で前述の漏出検知手段を配設することも可能
である。
【００７１】なお、本発明に係るインジェクターは、発
明の趣旨を逸脱しない範囲において上記各実施例の構成
の一部を適宜に変更して実施することができる。
明の趣旨を逸脱しない範囲において上記各実施例の構成
の一部を適宜に変更して実施することができる。
【００７２】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明に
係るインジェクターにあっては、与圧機構体が往復動す
る際に、該与圧機構体の外側に設けられた各付勢用ダイ
ヤフラム部及び各付勢手段の緩衝作用により各チャンバ
ー内の圧力が急激に変化するのを防ぐことができると共
に、従来に比し、与圧機構体等の構成部品の耐用年数が
長くなる。特に、請求項２の発明のように、各付勢手段
を構成すれば、該各付勢手段の構造を極めて簡単にする
ことができる。
係るインジェクターにあっては、与圧機構体が往復動す
る際に、該与圧機構体の外側に設けられた各付勢用ダイ
ヤフラム部及び各付勢手段の緩衝作用により各チャンバ
ー内の圧力が急激に変化するのを防ぐことができると共
に、従来に比し、与圧機構体等の構成部品の耐用年数が
長くなる。特に、請求項２の発明のように、各付勢手段
を構成すれば、該各付勢手段の構造を極めて簡単にする
ことができる。
【００７３】また、請求項３の発明のように、前記与圧
機構体を往復動させる作動流体の第１チャンバ又は第２
チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流体の排出
を、外部の切り替え手段により所定の切り替え周期で切
り替え、該切り替え周期を任意に変更できるようにすれ
ば、与圧機構体の往復動範囲を容易に変更することがで
きる。その結果、前記切り替え周期を、与圧機構体の各
ダイヤフラム部が終端に達する時間よりも短く設定する
ことにより、与圧機構体の各ダイヤフラム部が終端に達
する前に当該与圧機構体を反転させることができ、それ
によって、前記与圧機構体の反転時に生じる吐出圧力の
脈動を小さくすることができる。加えて、前記切り替え
周期の変更により、吐出流量を容易に変更することがで
きる。
機構体を往復動させる作動流体の第１チャンバ又は第２
チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流体の排出
を、外部の切り替え手段により所定の切り替え周期で切
り替え、該切り替え周期を任意に変更できるようにすれ
ば、与圧機構体の往復動範囲を容易に変更することがで
きる。その結果、前記切り替え周期を、与圧機構体の各
ダイヤフラム部が終端に達する時間よりも短く設定する
ことにより、与圧機構体の各ダイヤフラム部が終端に達
する前に当該与圧機構体を反転させることができ、それ
によって、前記与圧機構体の反転時に生じる吐出圧力の
脈動を小さくすることができる。加えて、前記切り替え
周期の変更により、吐出流量を容易に変更することがで
きる。
【００７４】さらに、請求項４の発明の如く、作動流体
の供給・排出動作の停止時に、第１付勢手段と第２付勢
手段の協働により、前記与圧機構体をその中心位置が与
圧機構体の最長往復動範囲の中間位置又はその近傍と一
致するように位置させるように構成すれば、インジェク
ターの作動停止前後において、同一の、かつバラツキの
無い吐出流量（吐出圧力）を得ることができる。
の供給・排出動作の停止時に、第１付勢手段と第２付勢
手段の協働により、前記与圧機構体をその中心位置が与
圧機構体の最長往復動範囲の中間位置又はその近傍と一
致するように位置させるように構成すれば、インジェク
ターの作動停止前後において、同一の、かつバラツキの
無い吐出流量（吐出圧力）を得ることができる。
【００７５】またさらに、請求項５の発明に係るインジ
ェクターのように、流入口及び流出口をそれぞれ２個づ
つ備え、２個の流入口のうちの何れか一方を閉じると共
に、２個の流出口のうちの何れか一方を閉じて使用する
ようにすれば、当該インジェクターの配置（配管）の自
由度が増す利点がある。
ェクターのように、流入口及び流出口をそれぞれ２個づ
つ備え、２個の流入口のうちの何れか一方を閉じると共
に、２個の流出口のうちの何れか一方を閉じて使用する
ようにすれば、当該インジェクターの配置（配管）の自
由度が増す利点がある。
【００７６】また、請求項６の発明のように、第１外側
流入部及び第１吸込用逆止弁を含む第１吸込用逆止弁ブ
ロックと、第１外側流出部及び第１吐出用逆止弁を含む
第１吐出用逆止弁ブロックと、第２外側流入部及び第２
吸込用逆止弁を含む第２吸込用逆止弁ブロックと、第２
外側流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止
弁ブロックとがボディ体内にそれぞれ組み付けられれ
ば、ボディ体内に逆止弁，与圧機構体，各流入部，各流
出部等の構成部材が全て組み込むことができ、従来に比
しボディ体の構造が簡単になると共に、ボディ体を多数
に分割する必要がなくなり、しかもインジェクターその
ものが大変コンパクトになる。
流入部及び第１吸込用逆止弁を含む第１吸込用逆止弁ブ
ロックと、第１外側流出部及び第１吐出用逆止弁を含む
第１吐出用逆止弁ブロックと、第２外側流入部及び第２
吸込用逆止弁を含む第２吸込用逆止弁ブロックと、第２
外側流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止
弁ブロックとがボディ体内にそれぞれ組み付けられれ
ば、ボディ体内に逆止弁，与圧機構体，各流入部，各流
出部等の構成部材が全て組み込むことができ、従来に比
しボディ体の構造が簡単になると共に、ボディ体を多数
に分割する必要がなくなり、しかもインジェクターその
ものが大変コンパクトになる。
【００７７】また、請求項７の発明のように、前記ボデ
ィ体内の第１チャンバ又は第２チャンバの一方にのみ与
圧機構体を往復動させる作動流体が流出入され、かつ作
動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャンバ内
に配される与圧用ダイヤフラム部内面との間にスプリン
グを配設すれば、前記スプリングによって与圧機構体は
常時一方の外側ブロック方向へ付勢されるため、一方の
チャンバに対してのみ前記作動流体の供給及び排出を行
うだけで与圧機構体を往復動させることができ、与圧機
構体の駆動制御が極めて簡単になる。
ィ体内の第１チャンバ又は第２チャンバの一方にのみ与
圧機構体を往復動させる作動流体が流出入され、かつ作
動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャンバ内
に配される与圧用ダイヤフラム部内面との間にスプリン
グを配設すれば、前記スプリングによって与圧機構体は
常時一方の外側ブロック方向へ付勢されるため、一方の
チャンバに対してのみ前記作動流体の供給及び排出を行
うだけで与圧機構体を往復動させることができ、与圧機
構体の駆動制御が極めて簡単になる。
【００７８】また、請求項８の発明の如く、前記各付勢
手段を収容する各収容空間を外側から塞ぐ各蓋部を透明
体或いは半透明体より形成すれば、与圧機構体の作動状
態を外部から視認できるようになる。
手段を収容する各収容空間を外側から塞ぐ各蓋部を透明
体或いは半透明体より形成すれば、与圧機構体の作動状
態を外部から視認できるようになる。
【００７９】また、請求項９の発明のように、開いて使
用されている流出口から流出される被圧送流体内の、与
圧機構体を往復動させる作動流体の混入を検知する作動
流体混入検知手段を設ければ、その検知手段によって、
与圧用ダイヤフラム部の破損等に起因する、与圧機構体
を往復動させる作動流体の漏れを検知できるようになる
ので、前記与圧機構体ひいてはインジェクターの異常発
生を簡単かつ早期に発見でき、その対応を迅速に行える
ようになる。さらに、請求項１０の発明のように、前記
作動流体混入検知手段に加えて、開いて使用されている
流入口から流入される被圧送流体の特性を検知する流入
流体特性検知手段を設けるようにすれば、流入口から流
入される被圧送流体の特性を参酌して、被圧送流体内へ
の作動流体の混入を相対的に判断でき、より作動流体混
入検知の精度が上がる。
用されている流出口から流出される被圧送流体内の、与
圧機構体を往復動させる作動流体の混入を検知する作動
流体混入検知手段を設ければ、その検知手段によって、
与圧用ダイヤフラム部の破損等に起因する、与圧機構体
を往復動させる作動流体の漏れを検知できるようになる
ので、前記与圧機構体ひいてはインジェクターの異常発
生を簡単かつ早期に発見でき、その対応を迅速に行える
ようになる。さらに、請求項１０の発明のように、前記
作動流体混入検知手段に加えて、開いて使用されている
流入口から流入される被圧送流体の特性を検知する流入
流体特性検知手段を設けるようにすれば、流入口から流
入される被圧送流体の特性を参酌して、被圧送流体内へ
の作動流体の混入を相対的に判断でき、より作動流体混
入検知の精度が上がる。
【００８０】加えて、請求項１１の発明の如く、前記各
付勢用ダイヤフラム部と各付勢手段のピストン部間の空
気をボディ体外へ排出するための各通気孔から被圧送流
体が漏出しているか否かを検知する漏出検知手段を設け
るようにすれば、前記各付勢用ダイヤフラム部の破損等
のインジェクターの異常発生を簡単かつ早期に発見で
き、その異常に迅速に対応することができる。
付勢用ダイヤフラム部と各付勢手段のピストン部間の空
気をボディ体外へ排出するための各通気孔から被圧送流
体が漏出しているか否かを検知する漏出検知手段を設け
るようにすれば、前記各付勢用ダイヤフラム部の破損等
のインジェクターの異常発生を簡単かつ早期に発見で
き、その異常に迅速に対応することができる。
【図１】この発明の一実施例に係るインジェクターの第
２流入口及び第２流出口を閉じた場合における第１チャ
ンバからの流体吐出状態を示す縦断面図である。
２流入口及び第２流出口を閉じた場合における第１チャ
ンバからの流体吐出状態を示す縦断面図である。
【図２】同じくインジェクターの第２チャンバからの流
体吐出状態を示す縦断面図である。
体吐出状態を示す縦断面図である。
【図３】同じくインジェクターの作動停止状態を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】同実施例のインジェクターに用いられる逆止弁
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】同実施例のインジェクターの第２流入口及び第
１流出口を閉じた場合における第１チャンバからの流体
吐出状態を示す縦断面図である。
１流出口を閉じた場合における第１チャンバからの流体
吐出状態を示す縦断面図である。
【図６】同じくインジェクターの第２チャンバからの流
体吐出状態を示す縦断面図である。
体吐出状態を示す縦断面図である。
【図７】この発明に係るインジェクターの効果を説明す
るためのグラフ図である。
るためのグラフ図である。
【図８】この発明に係るインジェクターの一使用例を示
す概略図である。
す概略図である。
【図９】同じく他の使用例を示す概略図である。
【図１０】図９の使用例における効果を説明するための
グラフ図である。
グラフ図である。
【図１１】同じくさらに他の使用例を示す概略図であ
る。
る。
【図１２】他の実施例におけるインジェクターの縦断面
図である。
図である。
【図１３】さらに他の実施例におけるインジェクターの
縦断面図である。
縦断面図である。
【図１４】さらに他の実施例におけるインジェクターの
縦断面図である。
縦断面図である。
【図１５】図１４の符号１，２部分を拡大して示す拡大
断面図である。
断面図である。
【図１６】図１４のインジェクターの作動流体混入検知
手段及び流入流体特性検知手段付近を示す断面図であ
る。
手段及び流入流体特性検知手段付近を示す断面図であ
る。
【図１７】図１４のインジェクターに漏出検知手段を設
けた場合の概略図である。
けた場合の概略図である。
１１ 第１流入口 １２ 第１流出口 １３ 第１外側流入部 １４ 第１外側流出部 ２１ 接続流入部 ２２ 接続流出部 ３１ 第２外側流入部 ３２ 第２外側流出部 ３３ 第２流入口 ３４ 第２流出口 ４０ 第１チャンバ ４０ａ 第１チャンバの内壁 ４０ｂ 第１チャンバの内壁の外側壁面 ４１ 第１吸込部 ４２ 第１吐出部 ５０ 第２チャンバ ５０ａ 第２チャンバの内壁 ５０ｂ 第２チャンバの内壁の外側壁面 ５１ 第２吸込部 ５２ 第２吐出部 ６０ 第１吸込用逆止弁ブロック ６１ 第１吸込用逆止弁 ６５ 第１吐出用逆止弁ブロック ６６ 第１吐出用逆止弁 ７０ 第２吸込用逆止弁ブロック ７１ 第２吸込用逆止弁 ７５ 第２吐出用逆止弁ブロック ７６ 第２吐出用逆止弁 ８０ 与圧機構体 ８１ 第１与圧用ダイヤフラム部 ８２ 第２与圧用ダイヤフラム部 ８３ 連結部 ９０ 作動流体流出入部 ９１ 第１作動流体流出入部 ９２ 第２作動流体流出入部 １００ 第１付勢用ダイヤフラム部 １０５ 第１収容空間 １０６ 第１通気孔 １１０ 第１ピストン部（第１付勢手段） １１５ 第１スプリング（第１付勢手段） １１６ 第１蓋部 １２０ 第２付勢用ダイヤフラム部 １２５ 第２収容空間 １２６ 第２通気孔 １３０ 第２ピストン部（第２付勢手段） １３５ 第２スプリング（第３付勢手段） １３６ 第２蓋部 ２１０ 作動流体混入検知手段 ２１１ 流入流体特性検知手段 ２３０，２３１ 漏出検知手段 Ａ 作動流体 Ｂ ボディ体 Ｆ 被圧送流体 Ｉ，Ｉｘ，Ｉｙ，Ｉｚ インジェクター
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｂ 9/109 Ｆ０４Ｂ 9/10 Ｊ 9/117 21/02 Ｇ 53/10 43/06 Ｂ 43/06 (72)発明者 柴田 知子 愛知県名古屋市千種区上野３丁目11番８号 アドバンス電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3H071 AA01 BB01 CC25 CC28 CC34 CC44 DD04 DD12 DD13 DD51 DD71 3H075 AA01 BB04 BB14 BB16 BB30 CC03 CC05 CC08 CC11 CC16 CC24 CC35 DA02 DA04 DA09 DB10 DB42 3H077 AA01 BB03 CC02 CC07 CC17 DD09 DD15 EE01 EE04 EE12 EE16 EE25 EE26 EE31 EE37 FF04 FF12 FF13 FF22
Claims (11)
- 【請求項１】 ボディ体（Ｂ）内に、被圧送流体（Ｆ）
の第１外側流入部（１３）と、被圧送流体の第１外側流
出部（１４）と、前記第１外側流入部と連通する接続流
入部（２１）と、前記第１外側流出部と連通する接続流
出部（２２）と、前記接続流入部と連通する第２外側流
入部（３１）と、前記接続流出部と連通する第２外側流
出部（３２）と、前記第１外側流入部と連通する第１吸
込部（４１）と前記第１外側流出部と連通する第１吐出
部（４２）を有する第１チャンバ（４０）と、前記第２
外側流入部と連通する第２吸込部（５１）と前記第２外
側流出部と連通する第２吐出部（５２）を有する第２チ
ャンバ（５０）と、前記第１外側流入部と前記第１吸込
部の間に該第１吸込部方向に被圧送流体が流れるように
介装された第１吸込用逆止弁（６１）と、前記第１吐出
部と前記第１外側流出部の間に該第１外側流出部方向に
被圧送流体が流れるように介装された第１吐出用逆止弁
（６６）と、前記第２外側流入部と前記第２吸込部の間
に該第２吸込部方向に被圧送流体が流れるように介装さ
れた第２吸込用逆止弁（７１）と、前記第２吐出部と前
記第２外側流出部の間に該第２外側流出部方向に被圧送
流体が流れるように介装された第２吐出用逆止弁（７
６）と、前記第１チャンバ内壁（４０ａ）に外周部が固
定された第１与圧用ダイヤフラム部（８１）と前記第２
チャンバ内壁（５０ａ）に外周部が固定された第２与圧
用ダイヤフラム部（８２）とが連結部（８３）によって
一体動自在に配置された与圧機構体（８０）と、前記第
１チャンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に開口さ
れ前記与圧機構体を往復動させる作動流体（Ａ）を第１
チャンバ又は第２チャンバの少なくとも一方に流出入す
る作動流体流出入部（９０）と、前記第１チャンバ内壁
の外側の壁面（４０ｂ）に設けられ前記第１与圧用ダイ
ヤフラム部外面との接触時に該第１与圧用ダイヤフラム
部を第２与圧用ダイヤフラム部方向に押圧する第１付勢
用ダイヤフラム部（１００）と、該第１付勢用ダイヤフ
ラム部を常時第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する
第１付勢手段と、前記第２チャンバ内壁の外側の壁面
（５０ｂ）に設けられ前記第２与圧用ダイヤフラム部外
面との接触時に該第２与圧用ダイヤフラム部を第１与圧
用ダイヤフラム部方向に押圧する第２付勢用ダイヤフラ
ム部（１２０）と、該第２付勢用ダイヤフラム部を常時
第１与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２付勢手段
とを備えたことを特徴とするインジェクター（Ｉ）。 - 【請求項２】 第１付勢手段が、第１付勢用ダイヤフラ
ム部の外側に形成された第１収容空間（１０５）内に前
記第１付勢用ダイヤフラム部に接触しながら往復動する
ように配設された第１ピストン部（１１０）と、該第１
ピストン部を常時第２与圧用ダイヤフラム部方向に付勢
する第１スプリング（１１５）とで構成されると共に、
第２付勢手段が、第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形
成された第２収容空間（１２５）内に前記第２付勢用ダ
イヤフラム部に接触しながら往復動するように配設され
た第２ピストン部（１３０）と、該第２ピストン部を常
時第１与圧用ダイヤフラム部方向に付勢する第２スプリ
ング（１３５）とで構成される請求項１に記載のインジ
ェクター。 - 【請求項３】 与圧機構体を往復動させる作動流体の第
１チャンバ又は第２チャンバへの供給及び該チャンバか
らの作動流体の排出が、外部の切り替え手段により所定
の切り替え周期で切り替えられると共に、前記切り替え
周期が任意に変更できるように構成されている請求項１
又は２に記載のインジェクター。 - 【請求項４】 作動流体の供給・排出動作の停止時に、
第１付勢手段と第２付勢手段の協働により、与圧機構体
をその中心位置が該与圧機構体の最長往復動範囲の中間
位置又はその近傍と一致するように位置させる請求項１
〜３の何れか一項に記載のインジェクター。 - 【請求項５】 第１外側流入部に連通する第１流入口
（１１）と、第１外側流出部に連通する第１流出口（１
２）と、第２外側流入部に連通する第２流入口（３３）
と、第２外側流出部に連通する第２流出口（３４）を備
え、使用時には第１流入口と第２流入口のうちの何れか
一方を閉じると共に、第１流出口と第２流出口のうちの
何れか一方を閉じるようにされた請求項１〜４の何れか
一項に記載のインジェクター。 - 【請求項６】 第１外側流入部及び第１吸込用逆止弁を
含む第１吸込用逆止弁ブロック（６０）と、第１外側流
出部及び第１吐出用逆止弁を含む第１吐出用逆止弁ブロ
ック（６５）と、第２外側流入部及び第２吸込用逆止弁
を含む第２吸込用逆止弁ブロック（７０）と、第２外側
流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止弁ブ
ロック（７５）とがボディ体内にそれぞれ組み付けられ
ている請求項１〜５の何れか一項に記載のインジェクタ
ー。 - 【請求項７】 第１チャンバ又は第２チャンバの一方に
のみ与圧機構体を往復動させる作動流体が流出入され、
かつ作動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャ
ンバ内に配される与圧用ダイヤフラム部内面との間にス
プリング（１４０）が配設されている請求項１〜６の何
れか一項に記載のインジェクター。 - 【請求項８】 第１付勢手段を収容するために第１付勢
用ダイヤフラム部の外側に形成された第１収容空間を外
側から塞ぐ第１蓋部（１１６）と、第２付勢手段を収容
するために第２付勢用ダイヤフラム部の外側に形成され
た第２収容空間を外側から塞ぐ第２蓋部（１３６）と
が、透明体或いは半透明体より形成されている請求項１
〜７の何れか一項に記載のインジェクター。 - 【請求項９】 第１外側流入部に連通する第１流入口
と、第１外側流出部に連通する第１流出口と、第２外側
流入部に連通する第２流入口と、第２外側流出部に連通
する第２流出口を備え、前記第１流出口又は第２流出口
から流出される流体内の作動流体の混入を検知する作動
流体混入検知手段（２１０）が設けられている請求項１
〜８の何れか一項に記載のインジェクター。 - 【請求項１０】 第１流入口又は第２流入口から流入さ
れる流体の特性を検知する流入流体特性検知手段（２１
１）が設けられている請求項９に記載のインジェクタ
ー。 - 【請求項１１】 ボディ体に、第１付勢用ダイヤフラム
部と第１ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する第
１通気孔（１０６）と、第２付勢用ダイヤフラム部と第
２ピストン部間の空気をボディ体外へ排出する第２通気
孔（１２６）が形成されると共に、前記第１通気孔及び
第２通気孔からの被圧送流体の漏出の有無を検知する漏
出検知手段（２３０，２３１）が設けられている請求項
２〜１０の何れか一項に記載のインジェクター。
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