JP2006207410A - ベローズポンプ - Google Patents

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Abstract

【課題】 ポンプベローズとピストンや連結板とこれらを連結する軸体の同一軸線上からのずれを防止し、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長期間維持し、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】 軸体２２の一端側外面には雄ネジ６９を、他端には係合頭部７３を形成し、底付円筒状のポンプベローズ７には底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線Ｘ上に突出形成する内面に雌ネジ７１を有する底付円筒状の軸体ネジ込み部７０を形成し、軸体２２の一端側をポンプベローズ７の中心部に直接ネジ結合により連結する。ピストン１９や連結板６８には係合頭部７３も含めて軸体２２の他端を嵌め込む中心孔７４を形成し、軸体２２又はピストン１９や連結板６８には中心孔７４との隙間を埋めるＯリング７８を装着し、軸体２２の他端側をピストン１９や連結板６８の中心部に嵌合により連結する。
【選択図】図１

Description

本発明は、軸方向に伸縮するベローズを用いて液体の移送を行うベローズポンプの中で、ベローズの外側に空気室を形成してベローズ内に移送液を吸入する所謂内液型のベローズポンプに関する。
この種ベローズポンプは、従来より半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されており、例えば次の２種類がある。
１つは、例えば特許文献１に開示されているようなベローズポンプである。この従来のベローズポンプは、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの一側に配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備えている。ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンを軸方向に摺動自在に嵌め込む第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する連結軸と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給するエアーによりポンプベローズ、連結軸、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズが伸縮を繰り返し、移送液をポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成される一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のアキュムレータベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して開口側端部でポンプボディとの間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュムレータベローズの外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダとを備え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの伸縮により吸収するように構成されている。
もう１つは、例えば特許文献２に開示されているようなベローズポンプである。この従来のベローズポンプは、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備えている。各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディに向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズに連結する連結軸と、連結軸の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結板同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ室に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、連結軸、連結板が同一方向に一体的に往復動し、ポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成されている。
ところで、上記従来のベローズポンプはいずれもポンプベローズと連結軸の連結に金属のフランジおよび複数のボルトが使用され、連結軸とピストンや連結板の連結にも金属のナットやボルトが使用されている。
また、金属イオンによるコンタミをなくし、ポンプによる移送液の汚染を最小限にするための樹脂化も進められており、接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズをフッ素樹脂等の樹脂製としたものから、さらには非接液部品であるポンプシリンダ、アキュムレータシリンダも樹脂製とし、加えてポンプ空気室の金属部品である連結軸、ポンプベローズと連結軸を連結しているフランジおよび複数のボルトも樹脂でカバーし、ポンプベローズやアキュムレータベローズが破損しても被液による腐食や金属イオンの流出がないようにしたものもある。
特開２００１−３１７４４９号公報 特開２００２−１７４１８０号公報
従来のベローズポンプでは、ポンプベローズと連結軸を連結するためにフランジと複数のボルトを使用しているため、数本のボルトの緩みや各ボルトの締付トルクの不均一等によりポンプベローズと連結軸が同一軸線上からずれ、連結軸の摺動部が偏磨耗し、ポンプ寿命が短くなると共に、摺動抵抗が増加し、ポンプ性能が低下する。またボルトが緩み脱落する虞もあり、この場合はポンプが正常に動作しなくなる。さらに部品点数および組立工数が多くなり、その上に締結部分をトルク管理する必要もあり、ポンプの生産性の向上およびコストダウンを妨げる要因になる。等の問題があった。
また、連結軸とピストンや連結板を連結するためにナットやボルトを使用しているため、寸法公差により生じる連結軸とピストンや連結板との隙間により連結軸とピストンや連結板が同一軸線上からずれた状態で締結されてしまい、ピストンの摺動部が偏磨耗したり、連結板が連結軸に対し斜めに荷重をかけて連結軸の摺動部が偏磨耗し、ポンプ寿命が短くなると共に、摺動抵抗が増加し、ポンプ性能が低下する。またボルトが緩み脱落する虞もあり、この場合はポンプが正常に動作しなくなる。さらに部品点数および組立工数が多くなり、その上に締結部分をトルク管理する必要もあり、ポンプの生産性の向上およびコストダウンを妨げる要因になる。等の問題があった。
本発明は、ポンプベローズとピストンや連結板を連結する軸体を、ポンプベローズにフランジと複数のボルトを使用することなく同一軸線上に連結でき、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長期間維持することができ、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することができるベローズポンプを提供することを第１の目的とする。また、ポンプベローズとピストンや連結板を連結する軸体を、ピストンや連結板にナットやボルトを使用することなく同一軸線上に連結でき、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長期間維持することができ、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することができるベローズポンプを提供することを第２の目的とする。
そこで、本発明は、軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸入し、収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポンプにおいて、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成した。
具体的には、一端側外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状であって、底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジを有する底付円筒状の軸体ネジ込み部を設けた（請求項１）。
ポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌り込む長さを有することが好ましい（請求項２）。
また、ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズの収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に、例えばＯリング等の弾性材料よりなる環状シール部材を装着する（請求項３）。
ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、好ましくは、ピストンの中心孔を係合頭部も含めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にする。（請求項４）。
さらに、ポンプベローズと連結板を軸体により連結する場合、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、連結板は軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に、例えばＯリング等の弾性材料よりなる環状シール部材を装着する（請求項５）。
本発明はまた、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用することができる以下のようなベローズポンプを構成可能である。
第１に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの一側に配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備え、ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンが軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給するエアーによりポンプベローズ、軸体、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズが伸縮を繰り返し、移送液をポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成する一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のアキュムレータベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して開口側端部でポンプボディとの間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュムレータベローズの外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダとを備え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの伸縮により吸収するように構成し、ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項３又は請求項４記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプである（請求項６）。
上記ベローズポンプは、ポンプ部およびアキュムレータ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズに加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体、アキュムレータシリンダも樹脂材料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項７）。
第２に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンが軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部のピストン同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部の第２シリンダ内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部のポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項３又は請求項４記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプである（請求項８）。
上記ベローズポンプも、各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体も樹脂材料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項９）。
第３に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズに連結する軸体と、軸体の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結板同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ室に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が同一方向に一体的に往復動し、ポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が、請求項５記載のポンプベローズ、軸体、連結板の連結構造により連結されているベローズポンプである（請求項１０）。
上記ベローズポンプもまた、各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、軸体も樹脂材料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項１１）。
本発明によれば、ポンプベローズの中心部に設けた軸体ネジ込み部に軸体を直接ネジ込むことで、フランジと複数のボルトを使用することなく、ポンプベローズと軸体を同一軸線上に連結し配置することができる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるポンプのトラブルを回避することができる。すなわちボルトの緩みによる軸体の摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポンプ寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止することができ、ポンプ性能を長期間維持することができる。ボルトの脱落によるポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。またポンプの軸方向の長さを少なくともフランジの厚さ寸法とボルト頭部の厚さ寸法を合わせた寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化を実現することがでる。さらに、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりポンプの生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。
ポンプベローズの開口側に配置されて吸入口および吐出口が形成されているポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌り込む長さを有することで、ポンプベローズと軸体のネジ結合力を十分に確保しながら、ポンプのコンパクト化を実現することができる。また、ポンプベローズ内の中心部が軸体ネジ込み部によって埋められることで、ポンプベローズの全内容積（ポンプ室全体の容積）に対する蛇腹部分（ポンプ作用を発揮する部分）の容積割合が増加するように、ポンプベローズの全内容積を減少させることができる。このため、ポンプ起動時の立ち上がりが早くなると共に、吐出圧も高くなり、内液構造のポンプ性能を向上することができる。
また、ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着し、軸体をピストンの中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むことで、軸体と中心孔の隙間を環状シール部材で埋めることができ、環状シール部材が軸体の径方向の位置決めを行い、軸体とピストンをボルトやナットで締結する必要がなく、容易に軸体とピストンを同一軸線上に連結し配置できる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるポンプのトラブルを回避することができる。すなわちピストンの摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポンプ寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止することができ、ポンプ性能を長期間維持することができる。ボルトやナットの脱落によるポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。また、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりポンプの生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。
ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、ピストンの中心孔を係合頭部も含めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にすることで、ポンプの軸方向の長さを少なくともボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化も同時に実現することができる。
さらに、ポンプベローズと連結板を軸体により連結する場合、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着し、軸体を連結板の中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むことで、軸体と中心孔の隙間を環状シール部材で埋めることができ、環状シール部材が軸体の径方向の位置決めを行い、軸体と連結板をボルトやナットで締結する必要がなく、容易に軸体と連結板を同一軸線上に連結し配置できる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるポンプのトラブルを回避することができる。すなわち連結板が軸体に対し斜めに荷重をかけるのを防止でき、軸体の摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポンプ寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止することができ、ポンプ性能を長期間維持することができる。ボルトやナットの脱落によるポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。また、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりポンプの生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。なお、この場合も連結板の中心孔を係合頭部も含めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にすることで、ポンプの軸方向の長さを少なくともボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化も同時に実現することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図２は図１のポンプ部の拡大図である。このベローズポンプ１は、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されるもので、移送液の吸入口２および吐出口３が形成されている略正方形の板状のポンプヘッドであるポンプボディ４と、ポンプボディ４の一側（図１において右側）に配置されるポンプ部５と、ポンプボディ４の他側（図１において左側）に配置されるアキュムレータ部６とで構成されている。
ポンプボディ４の一側部（図１において左側部）には、軸方向（図１において左右方向）に伸縮可能なポンプベローズ７が配置されている。このポンプベローズ７は、開口側端縁にフランジ部を有する底付円筒状であって、フランジ部が開口側端部に環状の接合部８を形成してポンプボディ４に接合し、底部が円板状の可動板部９を構成し、これら接合部８と可動板部９が円筒状で蛇腹構造の伸縮胴部１０を介して一体的に連結されたもので、このポンプベローズ７とポンプボディ４とで、密閉された可変容量の円筒状のポンプ室（ポンプ液室）１１を形成している。ポンプベローズ７の接合部８には、ポンプボディ４との接合面に円形の凹部１２がポンプベローズ７と同芯状に形成され、ポンプボディ４には、ポンプベローズ７の接合部８との接合面に凹部１２と嵌合する円形の凸部１３がポンプボディ４と同芯状に形成されている。これら互いに嵌合する凹凸部１２，１３によりポンプベローズ７とポンプボディ４の接合面間が気密にシールされると共に、ポンプベローズ７が径方向に位置決めされてポンプボディ４と同一軸線Ｘ上に配置されている。
ポンプボディ４の一側部（図１において右側部）にはまた、ポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上にポンプハウジングであるポンプシリンダ１４が配置されている。このポンプシリンダ１４は、ポンプベローズ７の軸方向外側（図１において右外側）にポンプボディ４と対向状に配置されるポンプボディ４と略同じ形状のシリンダヘッド部１５と、ポンプベローズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側（図１において左側）に向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成される円筒状の第１シリンダ部１６と、シリンダヘッド部１５から第１シリンダ部１６と反対側（図１において右側）にポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成される円筒状の第２シリンダ部１７とからなるもので、第１シリンダ部１６が、その開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端部（接合部８）を挟み、ポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド部１５とで密閉されたポンプ空気室１８を形成している。また、第２シリンダ部１７には、軸方向（図１において左右方向）に摺動自在にピストン１９が嵌め込まれ、この第２シリンダ部１７の開口側端部は、ボルト締めにより着脱自在に取り付けられるカバー２０により閉じらている。さらに、シリンダヘッド部１５には、円形の中心孔２１が形成されており、この中心孔２１には、ポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に配置される断面円形の軸体であるポンプシャフト２２が軸方向（図１において左右方向）に摺動自在に挿通され、このポンプシャフト２２によりポンプベローズ７とピストン１９を連結している。
ポンプボディ４には、移送液の吸入口２に連通する吸入ポート２３を開閉する吸入側逆止弁２４と、移送液の吐出口３に連通する吐出ポート２５を開閉する吐出側逆止弁２６がポンプ室１１内で装着されている。また、ポンプシリンダ１４のポンプベローズ７の開口側端部（接合部８）との接合部、すなわち第１シリンダ部１６の開口側端部には、これらの間を気密にシールするＯリング２７が装着され、ポンプシリンダ１４のポンプシャフト２２との摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔２１の周囲には、これらの隙間をシールするためにスリッパーリング２８を介してＯリング２９が装着され、ポンプシリンダ１４のピストン１９との摺動部、すなわち第２シリンダ部１７の内面にも、これらの隙間をシールするためにスリッパーリング３０を介してＯリング３１が装着されている。さらに、ポンプシリンダ１４のシリンダヘッド部１５には、ポンプベローズ７を往復駆動するために、ポンプ室１８にエアーを供給するベローズ収縮用のエアー供給口３２と、第２シリンダ１７のＯリング３１の装着位置よりシリンダヘッド１５側の内部にエアーを供給するベローズ伸長用のエアー供給口３３が形成されている。なお、ポンプシリンダ１４の第２シリンダ部１７には、ピストン１９の往復動作によりポンプベローズ７の伸縮ストローク終端位置を検出する一対の近接センサー３４，３５が取り付けられている。この近接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しないエアー供給源から各エアー供給口３２,３３へのエアー供給回路を切り換え、ポンプ室１１と第２シリンダ部１７内へのエアーの供給を交互に行うようにしている。すなわちベローズポンプ１における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御を行う。以上の各構成要素によりポンプ部５が、ポンプボディ４の一側部（図１において左側部）に構成されている。
一方、ポンプボディ４の他側部（図１において左側部）には、軸方向（図１において左右方向）に伸縮可能なアキュムレータベローズ３６が配置されている。このアキュムレータベローズ３６は、開口側端縁にフランジ部を有する底付円筒状であって、フランジ部が開口側端部に環状の接合部３７を形成してポンプボディ４に接合し、底部が円板状の可動板部３８を構成し、これら接合部３７と可動板部３８が円筒状で蛇腹構造の伸縮胴部３９を介して一体的に連結されたもので、このアキュムレータベローズ３６とポンプボディ４とで、密閉された可変容量の円筒状のアキュムレータ室（アキュムレータ液室）４０を形成している。このアキュムレータ室４０は、ポンプ室１１に吐出側逆止弁２６とポンプボディ４に形成されている連通路４１を介して連通接続され、かつ、ポンプボディ４に形成されている吐出口３とも連通して、ポンプ室１１から吐出側逆止弁２６を通して吐出される移送液を一時的に貯留する。アキュムレータベローズ３６の接合部３７には、ポンプボディ４との接合面に円形の凹部４２がアキュムレータベローズ３６と同芯状に形成され、ポンプボディ４には、アキュムレータベローズ３６の接合部３７との接合面に凹部４２と嵌合する円形の凸部４３がポンプボディ４と同芯状に形成されている。これら互いに嵌合する凹凸部４２，３３によりアキュムレータベローズ３６とポンプボディ４の接合面間が気密にシールされると共に、アキュムレータベローズ７が径方向に位置決めされてポンプボディ４と同一軸線Ｘ上に配置されて、ポンプベローズ７と同一軸線Ｘに配置されている。
ポンプボディ４の一側部（図１において左側部）にはまた、アキュムレータベローズ３６と同一軸線Ｘ上にアキュムレータハウジングであるアキュムレータシリンダ４４が配置されている。このアキュムレータシリンダ４４は、底付円筒状であって、底部が、アキュムレータベローズ３６の軸方向外側（図１において左外側）にポンプボディ４と対向状に配置されるポンプボディ４と略同じ形状のシリンダヘッド部４５を構成し、胴部が、アキュムレータベローズ３６を内部に収容するようにシリンダヘッド部４５からポンプボディ４側（図１において右側）に向けてアキュムレータベローズ３６と同一軸線Ｘ上に突出形成される円筒状のシリンダ部４６を構成しており、シリンダ部４６が、その開口側端部でポンプボディ４との間にアキュムレータベローズ３６の開口側端部（接合部３７）を挟み、アキュムレータベローズ３６の外側にシリンダヘッド部４５とで、脈動低減用のエアーが封入される密閉されたアキュムレータ空気室４７を形成している。アキュムレータシリンダ４４のアキュムレータベローズ３６の開口側端部（接合部３７）との接合部、すなわちシリンダ部４６の開口側端部には、これらの間を気密にシールするＯリング５７が装着されている。なお、アキュムレータシリンダ４４の内面には、アキュムレータベローズ３６の過剰な伸び変形を規制し、その破損を防止するためのストッパー４８が突出形成されている。また、アキュムレータシリンダ４４には、アキュムレータ空気室４７内のエアー圧をポンプ部５の吐出圧とこの変動に応じてバランスさせるための自動給気弁機構および自動排気弁機構よりなる圧力自動調整機構４９が取り付けられている。以上の各構成要素によりアキュムレータ部６が、ポンプボディ４の他側部（図１において左側部）にポンプ部５と同一軸線Ｘ上で構成されている。
そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５，４５を軸線Ｘと平行な複数本の金属タイロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、ポンプ部５、アキュムレータ部６が一体化してなるベローズポンプ１を構成している。この場合、各タイロッド５０（両端の金属ナット５１等も含む）は、ポンプボディ４、ポンプシリンダ１４、アキュムレータシリンダ４４の外面に形成されて直列に接合されるフランジ部５２,５３，５４の中で挿通収容され、かつ、その収容部の両端開口も着脱可能なキャップ５５,５６により閉じられており、各タイロッド５０およびその両端のナット５１等、金属部品の被液による腐食を防止している。なお、ポンプボディ４を円形の板状に形成し、その外周面両側部に雄ネジを形成すると共に、その雄ネジと螺合する雌ネジを内面に有するナット部を各シリンダ部１６，４６の開口側端部に一体に形成し、ポンプボディ４の両側にポンプシリンダ１４およびアキュムレータシリンダ４４をそれぞれ直接ネジ結合により連結し、ポンプボディ４、ポンプ部５、アキュムレータ部６が一体化してなるベローズポンプ１を構成してもよい。
次に、上記のように構成されたベローズポンプ１の動作を説明する。ポンプボディ４の吸入口２が、吸入通路２ａおよび吸入側逆止弁２４を通じてポンプ室１１に通じ、ポンプ室１１が、吐出側逆止弁２６および連通路４１を通じてアキュムレータ室４０に通じ、アキュムレータ室４０が、吐出通路３ａを通じてポンプボディ４の吐出口３に通じている。そして、ポンプ部５は、エアー供給源からエアー供給口３３を通じて第２シリンダ１７内にエアーが供給されると（このとき、エアー供給口３２は大気に開放される。）、第２シリンダ１７内のピストン１９よりシリンダヘッド部１５側の圧力が高まるので、ピストン１９が図１において右方向に移動し、これと一体的にポンプシャフト２２およびポンプベローズ７の可動板部９も図１において右方向に移動する。すなわちポンプベローズ７が伸長する。このポンプベローズ７の伸長動作により吸入側逆止弁２４が開、吐出側逆止弁２６が閉になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から吸入通路２ａおよび吸入側逆止弁２４を通じてポンプ室１１に吸入される（吸入工程）。続いて、エアー供給源からエアー供給口３２を通じてポンプ室１８にエアーが供給されると（このとき、エアー供給口３２は大気に開放される。）、このポンプ空気室１８の圧力が高まるので、ポンプベローズ７が収縮する。このポンプベローズ７の収縮動作により吸入側逆止弁２４が閉、吐出側逆止弁２６が開になるので、ポンプ室１１の移送液が吐出側逆止弁２６を通じて吐出される。また、ポンプベローズ７の収縮時には、これと一体的にポンプシャフト２２およびピストン１９が図１において左方向に移動する（吐出工程）。以上の動作を移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。
一方、アキュムレータ部６では、ポンプ室１１から吐出された移送液を、連通路４１を通じてアキュムレータ室４０に受け入れ、このアキュムレータ室４０に一時的に貯留した後、吐出通路３ａを通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出する。このとき、アキュムレータベローズ３６は、ポンプ部５の吐出圧の脈動により、吐出圧曲線の山部にある場合には、アキュムレータ室４０の容積を増大するように伸長する。この伸長動作によりアキュムレータ室４０から流出する移送液の流量は流入する流量よりも少なくなる。また、吐出圧曲線の谷部にさしかかると、アキュムレータベローズ３６の伸長に伴って圧縮されたアキュムレータ空気室４７のエアー封入圧よりも吐出圧が低くなるので、アキュムレータベローズ３６は、アキュムレータ室４０の容積を減少するように収縮する。この収縮動作によりアキュムレータ室４０から流出する移送液の流量は流入する流量よりも多くなくなる。以上の動作をポンプ部５の移送液の吸入工程と吐出工程に応じて繰り返し、ダンパー作用を行う。
以上、ポンプ部５のポンプ作用とアキュムレータ部６のダンパー作用によりベローズポンプ１は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、脈動が吸収減衰されて略平滑化された吐出圧で吐出口３から略一定流量で連続的に吐出し、液体移送を行う。
以上から明らかなように、第１実施例のベローズポンプ１は、要するに、移送液の吸入口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の一側に配置されるポンプ部５および他側に配置されるアキュムレータ部６とを備え、ポンプ部５は、ポンプボディの４一側部に開口側端部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポンプベローズ７の軸方向外側にポンプボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、ポンプベローズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端部８を挟みポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド部１５とでポンプ空気室１８を形成する第１シリンダ部１６、シリンダヘッド部１５から第１シリンダ部１６と反対側にポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成してピストン１９が軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部１７とからなるポンプシリンダ１４と、シリンダヘッド部１５の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズ７とピストン１９を連結するポンプシャフト２２と、ポンプ室１１内でポンプボディ４に装着する吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６とを備え、ポンプ空気室１８と第２シリンダ部１７内に交互に供給するエアーによりポンプベローズ７、ポンプシャフト２２、ピストン１９が一体的に往復動し、ポンプベローズ７が伸縮を繰り返し、移送液をポンプベローズ７の伸長時に吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するように構成する一方、アキュムレータ部６は、ポンプボディ４の他側部に開口側端部３７が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１から吐出側逆止弁２６を通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室４０を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のアキュムレータベローズ３６と、アキュムレータベローズ３６の外側に配置して開口側端部でポンプボディ４との間にアキュムレータベローズ３６の開口側端部３７を挟みアキュムレータベローズ３６の外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室４０を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダ４４とを備え、ポンプ部５の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズ３６の伸縮により吸収するように構成している。
また、第１実施例のベローズポンプ１の構成要素のうち、ポンプ部５およびアキュムレータ部６の接液部品であるポンプボディ４、ポンプベローズ７、吸入側逆止弁（弁ケースおよびスプリングを含む）２４および吐出側逆止弁（弁ケースおよびスプリングを含む）２６、アキュムレータベローズ３６に加え、非接液部品であるポンプシリンダ１４、ピストン１９、ポンプシャフト２２、アキュムレータシリンダ４４も樹脂材料よりなる樹脂製とし、ベローズポンプ１は樹脂化されたものになっている。
樹脂化の好ましい材料は次の通りである。ポンプボディ４、ポンプベローズ７、スリッパーリング２８，３０、アキュムレータベローズ３６、吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６の弁ケースについては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂が好ましい。吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６の弁本体とスプリングについても、ＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂が好ましい。ポンプシリンダ１４、カバー２０、アキュムレータシリンダ４４、圧力自動調整機構４９のボディ４９ａについては、ＰＰ（ポリプロピレン）等の樹脂が好ましい。ポンプシャフト２２、ピストン１９については、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂が好ましい。キャップ５５,５６については、ＰＥ（ポリエチレン）等の樹脂が好ましい。なお、Ｏリング２７，２９，３１，５７の他、このベローズポンプ１に使用されるＯリングは全てフッ素ゴム製である。
次に、図３，図４を参照して本発明の第２実施例に係るベローズポンプを説明する。図３は本発明の第２実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図４は図３の一方のポンプ部の拡大図である。このベローズポンプ５８も、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されるもので、全体的には、第１実施例のベローズポンプ１におけるポンプ部５をポンプボディ４の両側に配置して構成したものであり、第１実施例のベローズポンプ１と同一部分には同一符号を付し、その詳しい説明を省略し、相違する部分について説明する。
すなわち、第２実施例のベローズポンプ５８は、ポンプボディ４と、このポンプボディ４の両側（図３において左側と右側）に同一軸線Ｘ上で配置される一対のポンプ部５とで構成されており、各ポンプ部５において、ピストン１９が、ポンプシリンダ１４の第１シリンダ部１６の外径より大径に形成され、それに伴い第２シリンダ部１７も、第１シリンダ部１６の外径より大径に形成されている。この各ポンプ部５のピストン１９同士が軸線Ｘと平行な複数本の金属タイロッド５９により第１シリンダ部１６の径方向外側で相互に連結されている。このタイロッド５９は、両端部に段差部５９ａ，５９ｂが形成され、両段差部５９ａ，５９ｂによって各ポンプ部５のピストン１９同士を所定距離を保って連結するもので、中間部が各ポンプ部５のポンプシリンダ１４の外面に形成されて直列に接合されるフランジ部６０の中に軸方向（図３において左右方向）に摺動自在に挿通収容され、段差部５９ａ，５９ｂより外側の両端小径部がピストン１９を貫通し、そのピストン１９のカバー２０側に突出している。このピストン１９のカバー２０側に突出しているタイロッド５９の両端部に金属ナット６１が螺着されている。また、フランジ部６０のタイロッド５９との摺動部、すなわちタイロッド５９を挿通させる孔６２のシリンダヘッド部１５側開口部の周囲には、これらの隙間をシールするためにスリッパーリング６３を介してＯリング６４が装着され、タイロッド５９とこれを挿通させるピストン１９の孔６５の間は、Ｏリング６６によって気密にシールされている。
ポンプボディ４の吸入口２は、各ポンプ部５の吸入側逆止弁２４の吸入ポート２３に通じ、吐出口３は、各ポンプ部５の吐出側逆止弁２６の吐出ポート２５に通じている。また、各ポンプ部５のポンプシリンダ１４のシリンダヘッド部１５には、第２シリンダ１７のＯリング３１の装着位置よりシリンダヘッド１５側の内部にエアーを供給するベローズ伸長用のエアー供給口３３のみが形成されており、一対の近接センサー３４，３５が、各ポンプ部５に振り分けて設けられ、それぞれがカバー２０等に取り付けられてピストン１９のポンプベローズ７伸長方向のストローク終端を検出する位置に配置されている。この近接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しないエアー供給源から各ポンプ部５のエアー供給口３３へのエアー供給回路を切り換え、各ポンプ部５の第２シリンダ部１７内へのエアーの供給を交互に行うようにしている。すなわちベローズポンプ５８における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御を行う。
そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５を軸線Ｘと平行な複数本の金属タイロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、一対のポンプ部５が一体化してなるベローズポンプ５８を構成している。
次に、上記のように構成されたベローズポンプ５８の動作を説明する。なお、ここでは、図３において左側のポンプ部５を「左ポンプ部」と呼び、その左ポンプ部５の各構成要素もその名称の前に「左」を付けて呼ぶことにする。対して図３において右側のポンプ部５を「右ポンプ部」と呼び、その右ポンプ５の各構成要素もその名称の前に「右」を付けて呼ぶことにする。ポンプボディ４の吸入口２が、左右吸入側逆止弁２４を通じて左右ポンプ室１１に通じ、左右ポンプ室１１が、左右吐出側逆止弁２６通じてポンプボディ４の吐出口３に通じている。エアー供給源から左エアー供給口３３を通じて左第２シリンダ１７内にエアーが供給されると（このとき、右エアー供給口３３は大気に開放される。）、左第２シリンダ１７内の左ピストン１９より左シリンダヘッド部１５側の圧力が高まるので、左ピストン１９が図３において左方向に移動し、これと一体的に左ポンプシャフト２２および左ポンプベローズ７の可動板部９も図３において左方向に移動する。すなわち左ポンプ部５の左ポンプベローズ７が伸長する。この左ポンプベローズ７の伸長動作は、左ピストン１９からタイロッド５９を介して右ポンプ部５の右ピストン１９に伝達され、この右ピストン１９が図３において左方向に移動し、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右ポンプベローズ７の可動板部９も図３において左方向に移動する。すなわち右ポンプ部５の右ポンプベローズ７が収縮する。この動作で、左吸入側逆止弁２４が開、左吐出側逆止弁２６が閉、右吸入側逆止弁２４が閉、右吐出側逆止弁２６が開になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から左吸入側逆止弁２４を通じて左ポンプ室１１に吸入され（左ポンプ部５の吸入工程）、右ポンプ室１１の移送液が右吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出される（右ポンプ部５の吸入工程）。続いて、エアー供給源から右エアー供給口３３を通じて右第２シリンダ１７内にエアーが供給されると（このとき、左エアー供給口３３は大気に開放される。）、右第２シリンダ１７内の右ピストン１９より右シリンダヘッド部１５側の圧力が高まるので、右ピストン１９が図３において右方向に移動し、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右ポンプベローズ７の可動板部９も図３において右方向に移動する。すなわち右ポンプ部５の右ポンプベローズ７が伸長する。この右ポンプベローズ７の伸長動作は、右ピストン１９からタイロッド５９を介して左ポンプ部５の左ピストン１９に伝達され、この左ピストン１９が図３において右方向に移動し、これと一体的に左ポンプシャフト２２および左ポンプベローズ７の可動板部９も図３において右方向に移動する。すなわち左ポンプ部５の左ポンプベローズ７が収縮する。この動作で、右吸入側逆止弁２４が開、右吐出側逆止弁２６が閉、左吸入側逆止弁２４が閉、左吐出側逆止弁２６が開になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から右吸入側逆止弁２４を通じて右ポンプ室１１に吸入され（右ポンプ部５の吸入工程）、左ポンプ室１１の移送液が左吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出される（右ポンプ部５の吸入工程）。以上の動作をベローズポンプ５８における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。
以上、一対の左右ポンプ部５の吸入工程と吐出工程を交互に行うポンプ作用によりベローズポンプ５８は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、吐出口３から吐出し、液体移送を行う。なお、第１実施例のベローズポンプ１におけるアキュムレータ部６と同様の構造・機能を備えるアキュムレータ単体を、ベローズポンプ５８の吐出側に付設することで、ベローズポンプ５８の吐出圧の脈動を吸収減衰して略平滑化し、液体移送を略一定流量で連続的に行える。
以上から明らかなように、第２実施例のベローズポンプ５８は、要するに、移送液の吸入口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の両側に配置される一対のポンプ部５とを備え、各ポンプ部５は、ポンプボディ４の一側部に開口側端部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポンプベローズ７の軸方向外側にポンプボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、ポンプベローズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端部８を挟みポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド部１５とでポンプ空気室１８を形成する第１シリンダ部１６、シリンダヘッド部１５から第１シリンダ部１６と反対側にポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成してピストン１９が軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部１７とからなるポンプシリンダ１４と、シリンダヘッド部１５の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズ７とピストン１９を連結するポンプシャフト２２と、ポンプ室１１内でポンプボディ４に装着する吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６とを備え、各ポンプ部５のピストン１９同士を連結し、各ポンプ部５の吸入側逆止弁２４の吸入ポート２３をポンプボディ４の吸入口２に連通接続すると共に、吐出側逆止弁２６の吐出ポート２５を吐出口３に連通接続し、各ポンプ部５の第２シリンダ１７内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部５のポンプベローズ７、ポンプシャフト２２、ピストン１９が同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部５のポンプベローズ７が交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部５がポンプベローズ７の伸長により吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に吸入するとき、他方のポンプ部５がポンプベローズ７の収縮により吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するように構成している。
また、第２実施例のベローズポンプ５８についても第１実施例のベローズポンプ１と同様の樹脂化がなされている。
次に、図５，図６を参照して本発明の第３実施例に係るベローズポンプを説明する。図５は本発明の第３実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図６は図５の一方のポンプ部の拡大図である。このベローズポンプ６７も、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されるもので、全体的には、第１実施例のベローズポンプ１におけるポンプ部５をポンプボディ４の両側に配置して構成したもの、すなわち第２実施例のベローズポンプ５８と同構造であり、第２実施例のベローズポンプ５８と同一部分には同一符号を付し、その詳しい説明を省略し、相違する部分について説明する。
すなわち、第３実施例のベローズポンプ６７は、ポンプボディ４と、このポンプボディ４の両側（図５において左側と右側）に同一軸線Ｘ上で配置される一対のポンプ部５とで構成されており、各ポンプ部５において、ポンプシリンダ１４は、第２シリンダ部１７を持っていない。それに伴いカバー２０が、シリンダヘッド部１５に直接ボルト締めで着脱自在に取り付けられてピストン部を覆っており、第２実施例のベローズポンプ５８のピストン１９は、両側のポンプ部５のポンプシャフト７同士をタイロッド５９を介して連結する単なる円板状の連結板６８になっている。また、各ポンプ部５のポンプシリンダ１４のシリンダヘッド部１５には、ポンプ空気室１８にエアーを供給するベローズ伸長用のエアー供給口３２のみが形成されており、近接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しないエアー供給源から各ポンプ部５のエアー供給口３２へのエアー供給回路を切り換え、各ポンプ部５のポンプ空気１８へのエアーの供給を交互に行うようにしている。すなわちベローズポンプ６７における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御を行う。
そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５を軸線Ｘと平行な複数本の金属タイロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、一対のポンプ部５が一体化してなるベローズポンプ６７を構成している。
次に、上記のように構成されたベローズポンプ６７の動作を説明する。なお、ここでも、図５において左側のポンプ部５を「左ポンプ部」と呼び、その左ポンプ部５の各構成要素もその名称の前に「左」を付けて呼ぶことにする。対して図５において右側のポンプ部５を「右ポンプ部」と呼び、その右ポンプ５の各構成要素もその名称の前に「右」を付けて呼ぶことにする。ポンプボディ４の吸入口２が、左右吸入側逆止弁２４を通じて左右ポンプ空１１に通じ、左右ポンプ室１１が、左右吐出側逆止弁２６通じてポンプボディ４の吐出口３に通じている。エアー供給源から右エアー供給口３２を通じて右ポンプ空気室１８にエアーが供給されると（このとき、左エアー供給口３２は大気に開放される。）、右ポンプ空気室１８の圧力が高まるので、右ポンプベローズ７が収縮する。この右ポンプベローズ７の収縮動作により右吸入側逆止弁２４が閉、右吐出側逆止弁２６が開になるので、右ポンプ室１１の移送液が右吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出される（右ポンプ部５の吐出工程）。また、右ポンプベローズ７の収縮時には、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右連結板６８が図５において左方向に移動する。この右ポンプベローズ７の収縮動作は、右連結板６８からタイロッド５９を介して左ポンプ部５の左連結板６８に伝達され、この左連結板６８が図５において左方向に移動し、これと一体的に左ポンプシャフト２２および左ポンプベローズ７の可動板部９も図５において左方向に移動する。すなわち左ポンプ部５の左ポンプベローズ７が伸長する。この動作で、左吸入側逆止弁２４が開、左吐出側逆止弁２６が閉になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から左吸入側逆止弁２４を通じて左ポンプ室１１に吸入される（左ポンプ部５の吸入工程）。続いて、エアー供給源から左エアー供給口３２を通じて左ポンプ空気室１８にエアーが供給されると（このとき、右エアー供給口３２は大気に開放される。）、左ポンプ空気室１８の圧力が高まるので、左ポンプベローズ７が収縮する。この左ポンプベローズ７の収縮動作により左吸入側逆止弁２４が閉、左吐出側逆止弁２６が開になるので、左ポンプ室１１の移送液が左吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出される（左ポンプ部５の吐出工程）。また、左ポンプベローズ７の収縮時には、これと一体的に左ポンプシャフト２２および左連結板６８が図５において右方向に移動する。この左ポンプベローズ７の収縮動作は、左連結板６８からタイロッド５９を介して右ポンプ部５の右連結板６８に伝達され、この右連結板６８が図５において右方向に移動し、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右ポンプベローズ７の可動板部９も図５において右方向に移動する。すなわち右ポンプ部５の右ポンプベローズ７が伸長する。この動作で、右吸入側逆止弁２４が開、右吐出側逆止弁２６が閉になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から右吸入側逆止弁２４を通じて右ポンプ室１１に吸入される（右ポンプ部５の吸入工程）。以上の動作をベローズポンプ６７における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。
以上、一対の左右ポンプ部５の吸入工程と吐出工程を交互に行うポンプ作用によりベローズポンプ６７は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、吐出口３から吐出し、液体移送を行う。なお、第１実施例のベローズポンプ１におけるアキュムレータ部６と同様の構造・機能を備えるアキュムレータ単体を、ベローズポンプ６７の吐出側に付設することで、ベローズポンプ６７の吐出圧の脈動を吸収減衰して略平滑化し、液体移送を略一定流量で連続的に行える。
以上から明らかなように、第３実施例のベローズポンプ６７は、要するに、移送液の吸入口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の両側に配置される一対のポンプ部５とを備え、各ポンプ部５は、ポンプボディ４の一側部に開口側端部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポンプベローズ７の軸方向外側にポンプボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、ポンプベローズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端部８を挟みポンプベローズ８の外側にシリンダヘッド部１５とでポンプ空気室１８を形成する第１シリンダ部１６とからなるポンプシリンダ１４と、シリンダヘッド部１５の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズ７に連結するポンプシャフト２２と、ポンプシャフト２２の他端側に連結する連結板６８と、ポンプ室１１内でポンプボディ４に装着する吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６とを備え、各ポンプ部５の連結板６８同士を連結し、各ポンプ部５の吸入側逆止弁２４の吸入ポート２３をポンプボディ４の吸入口２に連通接続すると共に、吐出側逆止弁２６の吐出ポート２５を吐出口３に連通接続し、各ポンプ部５のポンプ室１１に交互に供給するエアーにより各ポンプ部５のポンプベローズ７、ポンプシャフト２２、連結板６７が同一方向に一体的に往復動し、ポンプベローズ７が交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部５がポンプベローズ７の伸長により吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に吸入するとき、他方のポンプ部５がポンプベローズ７の収縮により吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するように構成している。
また、第３実施例のベローズポンプ６７についても第２実施例のベローズポンプ５８と同様の樹脂化がなされている。
以上から明らかなように、第１〜第３実施例のベローズポンプ１，５８，６７は、軸方向に伸縮するポンプベローズ７を備え、移送液をポンプベローズ７の伸長により吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２から当該ポンプベローズ７内に吸入し、収縮により吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するものである。また、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプベローズ７とポンプシャフト２２並びにポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８、すなわち一体的に往復動するポンプベローズ７、ポンプャフト２２、ピストン１９や連結板６７の三者は、各ベローズポンプ１，５８，６７の対応図から明らかなように、同じ連結構造（方法）により連結されており、その連結構造を以下に説明する。
先ず、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連結構造を説明する。すなわち、図２、図４、図６に拡大して示すように、ポンプシャフト２２には、その一端側外面（ポンプベローズ７側外面）に雄ネジ６９が形成され、ポンプシャフト２２はボルト構造になっている。対して底付円筒状のポンプベローズ７には、その底部中心部から当該ポンプベローズ７内に同一軸線Ｘ上に底付円筒状の軸体ネジ込み部７０が突出形成され、この軸体ネジ込み部７０の内面には、ポンプシャフト２２の雄ネジ６９と螺合する雌ネジ７１が形成されており、ポンプベローズ７はその中心部に軸継ぎ手を一体化したものになっている。これにより、ポンプシャフト２２の一端側をポンプベローズ７の中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成している。
上記のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連結構造によれば、ポンプベローズ７の中心部に設けた軸体ネジ込み部７０にポンプシャフト２２を直接ネジ込むことで、フランジと複数のボルトを使用することなく、ポンプベローズ７とポンプシャフト２２を同一軸線Ｘ上に連結し配置することができる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるベローズポンプ１，５８，６７のトラブルを回避することができる。すなわちポンプシャフト２２の摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔２１の周囲の偏磨耗を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるベローズポンプ１，５８，６７の性能の低下を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の性能を長期間維持することができる。ボルトの脱落によるベローズポンプ１，５８，６７の動作不良及び損傷が皆無になる。また、ベローズポンプ１，５８，６７の軸方向の長さを少なくともフランジの厚さ寸法とボルト頭部の厚さ寸法を合わせた寸法分縮小することができ、ベローズポンプ１，５８，６７のコンパクト化を実現することがでる。さらに、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりベローズポンプ１，５８，６７の生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。
また、ポンプボディ４には、その中心部にポンプベローズ７の軸体ネジ込み部７０の外径より若干大きい直径を有し、かつ、ポンプベローズ７の伸長ストロークより長い深さを有する円形の凹部７２が同芯状に設けられている。軸体ネジ込み部７０は、その先端側がポンプボディ４の凹部７２に常時（ポンプベローズ７が収縮したときは無論、伸長したときも）嵌り込む長さに形成され、ポンプベローズ７の軸体ネジ込み部７０は、その先端側がポンプボディ４の凹部７２に常時嵌め込まれている。
上記のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連結構造によれば、ポンプベローズ７とポンプシャフト２２のネジ結合力を十分に確保しながら、ベローズポンプ１，５８，６７のコンパクト化を実現することができる。また、ポンプベローズ７内、すなわちポンプ室１１の中心部が軸体ネジ込み部７０によって埋められることで、ポンプベローズ７の全内容積（ポンプ室１１全体の容積）に対する蛇腹部分（伸縮胴部１０：ポンプ作用を発揮する部分）の容積割合が増加するように、ポンプベローズ７の全内容積（ポンプ室１１全体の容積）を減少させることができる。このため、ベローズポンプ１，５８，６７の起動時の立ち上がりが早くなると共に、吐出圧も高くなり、内液構造のベローズポンプ１，５８，６７の性能を向上することができる。
次に、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８の連結構造を説明する。すなわち、図２、図４、図６に拡大して示すように、ポンプシャフト２２には、その他端（ピストン１９側端や連結板６８側端）にその直径よりも大きい直径を有する円形の係合頭部７３が一体に形成されている。対してピストン１９や連結板６８には、ポンプシャフト２２の他端を係合頭部７３も含めて嵌め込み可能な段付の中心孔７４が形成されている。この中心孔７４は、段差面７５より一側（ピストン１９や連結板６８のシリンダヘッド部１５側）の孔径を他側（ピストン１９や連結板６８のシリンダヘッド部１５側と反対側）より大とした断面円形の段付孔であって、小径孔部７６の孔径がポンプシャフト２２の胴部外径と略同じ径に形成され、大径孔部７７の孔径がポンプシャフト２２の係合頭部７３の外径と略同じ径に形成されている。また、ポンプシャフト２２には、中心孔７４との隙間を埋めるための弾性材料よりなる環状シール部材、例えばフッ素樹脂製のＯリング７８が装着されている。このＯリング７８は、ポンプシャフト２２の小径孔部７６に嵌り込む部分に装着されている。これにより、ポンプシャフト２２の他端側をピストン１９や連結板６８の中心部に嵌合により連結可能に構成している。なお、Ｏリング７８は、中心孔７４側、すなわちピストン１９や連結板６８に装着してもよい。
上記のポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８の連結構造によれば、ポンプシャフト２２の中心孔７４に嵌り込む部分又は孔７４側にＯリング７８を装着し、ピストン１９や連結板６８の中心孔７４にポンプベローズ７収縮方向で嵌め込むことで、ポンプシャフト２２と中心孔７４の隙間をＯリング７８で埋めることができ、Ｏリング７８がポンプシャフト２２の径方向の位置決めを行い、ポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８をボルトやナットで締結する必要がなく、容易にポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８を同一軸線Ｘ上に連結し配置できる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるベローズポンプ１，５８，６７のトラブルを回避することができる。すなわちピストン１９の摺動部、すなわち第２シリンダ部１７の内面の偏磨耗を防止することができ、また、連結板６８がポンプシャフト２２に対し斜めに荷重をかけるのを防止でき、ポンプシャフト２２の摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔２１の周囲の偏磨耗を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるベローズポンプ１，５８，６７の性能の低下を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の性能を長期間維持することができる。ボルトの脱落によるベローズポンプ１，５８，６７の動作不良及び損傷が皆無になる。また、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりベローズポンプ１，５８，６７の生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。また、ピストン１９や連結板６８の中心孔７４を係合頭部７３も含めてポンプシャフト２２の他端を嵌め込み可能な段付にしているので、ベローズポンプ１，５８，６７の軸方向の長さを少なくともボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ベローズポンプ１，５８，６７のコンパクト化も同時に実現することができる。
而して、ポンプシャフト２２の中心孔７４に嵌り込む部分又は孔７４側にＯリング７８を装着した後、このポンプシャフト２２をポンプベローズ７収縮方向でピストン１９や連結板６８の中心孔７４、シリンダヘッド部１５の中心孔２１に通し、ポンプシャフト２２の先端側をポンプシリンダ１４内に挿入し、そのポンプシャフト２２の挿入部を、ポンプシャフト２２の先端面が軸体ネジ込み部７０の底面に突き当たるまで、ポンプベローズ７の軸体ネジ込み部７０に直接ネジ込むことで、各図に示すように、ポンプベローズ７、ポンプャフト２２、ピストン１９や連結板６７の三者が、締結部品を用いることなく、同一軸線Ｘ上に連結し配置できる。
なお、第２および第３実施例のダブルベローズ型のベローズポンプ５８，６７の場合、ピストン１９や連結板６７の外側面には、ポンプベローズ７を収縮させる際、ポンプシャフト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防止するシャフトストッパー８０が着脱自在に取り付けられている。このシャフトストッパー８０は、ピストン１９や連結板６７と同様の樹脂材料からなり、底付き円筒状に形成されている。一方、ピストン１９や連結板６７の外側面には、中心孔７４の周囲にシャフトストッパー８０を嵌合可能な円環状の溝８１が同芯状に形成されている。また、シャフトストッパー８０の外周面とそれに対応する溝８０の外周面のは相互に螺合するネジ８２ａ，８２ｂが形成されている。而して、シャフトストッパー８０は、ピストン１９や連結板６７の外側面から溝８１にねじ込み結合され、中心孔７４のポンプシャフト挿入側を閉じ、シャフトストッパー８０の内底面をポンプシャフト２２の係合頭部７３に密着させ、シャフトストッパー８０の内底面と中心孔７４の段差面７５との間でポンプシャフト２２の係合頭部７３を挟持し、ポンプベローズ７を収縮させる際、ポンプシャフト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防止し、一方のポンプベローズ７の伸長動作を他方のポンプベローズ７に伝達して収縮動作させるように構成している。なお、シャフトストッパーは、ポンプベローズ７を収縮させる際、ポンプシャフト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防止できるものであればよく、上記以外の構造のものでもよい。
本発明の第１実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図１のベローズポンプのポンプ部の拡大断面図である。 本発明の第２実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図３の一方のポンプ部の拡大図である。 本発明の第３実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図５の一方のポンプ部の拡大図である。
符号の説明
１，５８，６７ ベローズポンプ
２ 吸入口
３ 吐出口
４ ポンプボディ
５ ポンプ部
６ アキュムレータ部
７ ポンプベローズ
８ 接合部
１１ ポンプ室
１４ ポンプシリンダ
１５ シリンダヘッド部
１６ 第１シリンダ部
１７ 第２シリンダ部
１８ ポンプ空気室
１９ ピストン
２１ 中心孔
２２ ポンプシャフト（軸体）
２４ 吸入側逆止弁
２６ 吐出側逆止弁
３６ アキュムレータベローズ
３７ 接合部
４０ アキュムレータ室
４４ アキュムレータシリンダ
４５ シリンダヘッド部
４６ シリンダ部
４７ アキュムレータ空気室
６８ 連結板
６９ 雄ネジ
７０ 軸体ネジ込み部
７１ 雌ネジ
７２ 凹部
７３ 係合頭部
７４ 中心孔
７８ Ｏリング（環状シール部材）
Ｘ 軸線

Claims (11)

  1. 軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸入し、収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポンプにおいて、一端側外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状であって、底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジを有する底付円筒状の軸体ネジ込み部を設け、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成したことを特徴とするベローズポンプ。
  2. ポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌り込む長さを有する請求項１記載のベローズポンプ。
  3. 軸体によりポンプベローズと連結するピストンを備え、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズの収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着する請求項１又は２記載のベローズポンプ。
  4. 軸体によりポンプベローズと連結するピストンを備え、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体の他端を係合頭部も含めて嵌め込み可能な段付の中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着する請求項１又は２記載のベローズポンプ。
  5. 軸体によりポンプベローズと連結する連結板を備え、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、連結板は軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着する請求項１又は２記載のベローズポンプ。
  6. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの一側に配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備え、ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンを軸方向に摺動自在に嵌め込む第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給するエアーによりポンプベローズ、軸体、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズが伸縮を繰り返し、移送液をポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成する一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のアキュムレータベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して開口側端部でポンプボディとの間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュムレータベローズの外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダとを備え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの伸縮により吸収するように構成し、ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項３又は請求項４記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプ。
  7. ポンプ部およびアキュムレータ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズに加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体、アキュムレータシリンダが樹脂材料よりなる請求項６記載のベローズポンプ。
  8. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンを軸方向に摺動自在に嵌め込む第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部のピストン同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部の第２シリンダ内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部のポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項３又は請求項４記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプ。
  9. 各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体も樹脂材料よりなる請求項８記載のベローズポンプ。
  10. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズに連結する軸体と、軸体の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結板同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ室に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が同一方向に一体的に往復動し、ポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が、請求項５記載のポンプベローズ、軸体、連結板の連結構造により連結されているベローズポンプ。
  11. 各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、軸体も樹脂材料よりなる請求項１０記載のベローズポンプ。
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