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Technischer Bereich
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Pulsationsdämpfungsvorrichtung für eine Pumpe,
bei der eine durch Schwankungen der Strömungsrate und des Drucks der
zu befördernden
Flüssigkeit,
wie z.B. einer bei der Halbleiterherstellung benutzten chemischen
Bearbeitungsflüssigkeit,
bewirkte Pulsation mittels eines Rohrsystems zur Zufuhr der beförderten Flüssigkeit
durch eine Kolbenpumpe zu jedem Element gedämpft wird.
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DER ERFINDUNG ZUGRUNDELIEGENDER
ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
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Eine
Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe dieses Typs wurde geoffenbart z.B. in offengelegten Japanischen
Patentveröffentlichungen Nr.
6-17752 und 8-159016.
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Die
Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe, gezeigt in der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 6-17752, ist
in 4 dargestellt. Diese Pulsationsdämpfungsvorrichtung
hat ein hermetisch geschlossenes Vorrichtungsgehäuse 60, eine im Vorrichtungsgehäuse 60 angeordnete
Flüssig keitskammer 61a,
die als Flüssigkeitsspeicher
wirkt und die zeitweise die durch die Kolbenpumpe beförderte Flüssigkeit
ansaugt und speichert und wieder abgibt, sowie eine im Gehäuse 60 des
Vorrichtungskörpers
zum Verhindern der Pulsation angeordnete Gaskammer 61b,
die durch eine ausweitbare und zusammendrückbare Scheidewand 62 von
der Flüssigkeitskammer 61a getrennt
ist, um das Gas abzudichten, wobei die Pulsationsunterdrückungsmembran
durch die Pulsation des Pumpenförderdrucks
erweiternd und zusammenziehend verformt wird. Die vorgeschlagene
Vorrichtung hat die obige Konfiguration und ermöglicht somit die Pulsationsdämpfung durch Änderung
der Kapazität
der Flüssigkeitskammer 61a.
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Wenn
der Förderdruck
der Kolbenpumpe schwankt ist es erforderlich, die durch Erweiterung und
Zusammenziehung bewirkte Verformungsgröße der Pulsationsunterdrückungsmembran 62 innerhalb eines
vorbestimmten Bereichs zu halten, so dass der Flüssigkeitsdruck in der Flüssigkeitskammer 61a und der
atmosphärische
Druck innerhalb der Gaskammer 61b sich die Waage halten
können.
Deshalb nimmt die in 4 gezeigte Vorrichtung die folgende
Konfiguration an. Das Vorrichtungsgehäuse 60 ist mit einem
automatischen Gaszufuhrventilmechanismus 63 und einem automatischen
Gasabsaugventilmechanismus 64 versehen. Wenn die Pulsationsunterdrückungsmembran 62 durch
die Flüssigkeitsdruckschwankung
des Flüssigkeitsdrucks
in der Flüssigkeitskammer 61a in
der Richtung zur Erweiterung verformt wird, in der die Kapazität der Flüssigkeitskammer
zunimmt, so dass sie über
einem Standardwert S liegt und damit eine vorgegebene Strecke A überschreitet, öffnet die
Scheidewand 62 zum Verhindern der Pulsation die Gaszufuhröffnung 66 über die
Ventilstoßstange 65 des
automatischen Gaszufuhrventilmechanismus 63 und regelt
den Gasdruck der Gaskammer 61b so, dass er erhöht wird.
Wenn ferner die Scheidewand 62 zum Verhindern der Pulsation
sich zusammenziehend in der Richtung verformt wird, in der sich
die Kapazität
der Flüssigkeitskammer
verringert, so dass sie unter den Standardwert S absinkt und damit
eine vorgegebene Strecke B überschreitet, öffnet der
automatische Gasauslassventilmechanismus 64 die Gasabsaugöffnung 68 mittels
eines Schiebers 67, der gegen einen geschlossenen Endteil 62a der
Scheidewand 62 anstößt, damit die
Pulsation verhindert wird. Dadurch ergibt sich, dass das Gas in
der Gaskammer 61b abgesaugt und diese so eingestellt wird,
dass sich der Gasdruck verringert.
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Andererseits
wird eine Pulsationsverhinderungsvorrichtung für eine in der offengelegten
Japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 8-159016 in 5A geoffenbarten Pumpe in 5A gezeigt.
Ein Umschaltventilmechanismus zum Umschalten zwischen einer Gaszufuhr
und einer Gasabsaugung wird in 5B gezeigt.
Die vorgeschlagene Vorrichtung regelt den Innendruck einer Gaskammer
durch Einstellen des Ventilmechanismus zum Begrenzen der Veränderung
der Kapazität
der Flüssigkeitskammer 61a auf
gleiche Weise, wie bei der Flüssigkeitskammer 61a,
die in der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung Nr. 6-17752 geoffenbart
ist, so dass er im vorgegebenen Bereich der Verschiebung der Kapazität liegt.
Im Mechanismus ist der Schaltventilmechanismus zum Umschalten zwischen Gaszufuhr
und Gasabsaugen, der eine Betriebsstange 69 und ein Absperrschieberelement 71 auf
einer Außenseite
des Vorrichtungsgehäuses 60 vorspringend
aufgesetzt aufweist. Die Betriebsstange 69 wird betrieben
durch Verschieben der geschlossenen Endseite 62a der Scheidewand 62 zum
Verhindern der Pulsation. Das Schiebeventilelement 71 bewirkt, dass
der Gaszufuhr- und Absaugdurchgang 70 zum Benutzten sowohl
der Gaszufuhr als auch des Gasabsaugens abwechselnd mit der Gaszufuhröffnung 66 und
der Gasabsaugöffnung 68 verbunden
wird. Der Gaszufuhr- und Absaugdurchgang 70 wird betrieben
durch die Stoßstange 69,
die mit der Gaskammer 61b verbunden ist. Der Ventilmechanismus
weist die nachstehende Struktur auf. Der Ventilmechanismus bewirkt,
dass sich die Gaszufuhröffnung 66 mit dem
Gaszufuhr- und Absaugdurchgang 70 verbindet, wenn die Kapazität der Flüssigkeitskammer 61a so ansteigt,
dass sie über
den vorgegebenen Bereich hinausgeht. Der Ventilmechanismus bewirkt,
dass sich die Gasabsaugöffnung 68 mit
der Gaszufuhr- und Absaugöffnung 70 verbindet,
wenn sich die Kapazität der
Flüssigkeitskammer 61a so
verkleinert, dass sie unter den vorgegebenen Bereich abfällt. Sie
hat einen zylindrischen Mantel 72, der an der Gaszufuhr- und
Absaugöffnung 70 vorgesehen
ist, die mit der Gaszufuhröffnung 66,
der Gasabsaugöffnung 68 und der
Gaskammer 61b verbunden ist, und das Schiebeventilelement 71,
das koaxial an die Betriebsstange 69 gekoppelt ist, so
dass es gleitend und verschiebbar in die Innenseite des Zylinders 73 eingreift, der
innerhalb des zylindrischen Mantels 72 aufgenommen ist.
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Unter
den beiden obengenannten Vorrichtungen auf dem Stand der Technik
weist die in der ersteren, der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 6-17752 genannte Vorrichtung eine Struktur auf, in der der automatische
Gaszufuhrventilmechanismus 63 und der automatische Gasabsaugventilmechanismus 64 mit
dem unteren Seitenglied 60a einstückig als ein Element des Vorrichtungsgehäuses 60 ausgebildet
sind. Wenn also irgendeiner der beiden Ventilmechanismen 63, 64 beschädigt oder
zerstört
wird, muss der Vorrichtungskörper
zerlegt und instandgesetzt oder als ganzes ausgewechselt werden.
Das erfordert viel Arbeit und ist somit nachteilig bei War tung und
Kosten. Ferner ist die Gasabsaugöffnung 68 des
automatischen Gasabsaugventilmechanismus 64 durch das Phänomen strukturell
eingeschränkt,
dass ein Gasabsaugventil 75 infolge seines Gewichts nach
unten fällt.
Somit ist also der Schließvorgang
unstabil und die Vorrichtung muss so eingebaut werden, dass eine
vertikale Anordnungsbeziehung zwischen dem Gasabsaugventilelement 75 und
der Gasabsaugöffnung 68 gewahrt
bleibt. So ist es zum Beispiel unzulässig, dass die Vorrichtung
so eingebaut wird, dass das Gasabsaugventilelement 75 horizontal
angeordnet wird. Daraus folgt, dass bestimmte Arten der Vorrichtung
eingeschränkt
sind.
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Der
Schaltventilmechanismus zum Umschalten zwischen Gaszufuhr und Gasabsaugen,
geoffenbart in der offengelegten Japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 8-159016, d.h. der letztere, weist eine Konfiguration auf, in
der ein Ventil sowohl für
die Gaszufuhr als auch für
die Gasabfuhr benutzt wird. Es ist daher nicht erforderlich, den
Körper
der Vorrichtung zu zerlegen. Es genügt, nur den Schaltventilmechanismus
auszubauen und instandzusetzen bzw. auszuwechseln. Im Falle des
Schließens
der Gaszufuhröffnung 66 und
der Gasabsaugöffnung 68 ist
das strukturell nicht vom Gewicht des Gasabsaugventilelements 75 abhängig, das
sich von dem ersteren unterscheidet, und ermöglicht es damit, das Problem der
ersteren Form zu überwinden.
Andererseits hat es Nachteile, wie nachstehend ausgeführt wird.
Die Struktur des Schaltventils ist sehr kompliziert, die Abdichtung
des Schiebeventilelements 71 ist sehr schwierig, und es
steht über
die Außenseite
des Vorrichtungsgehäuses 60 vor,
wodurch die ganze Vorrichtung sperrig und groß wird.
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Die
vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die obigen Umstände durchgeführt. Eine
besondere Aufgabe der Erfindung ist es, durch Verbessern des Gasablassventilmechanismus
für eine
Pumpe eine Pulsationsdämpfungsvorrichtung
vorzusehen, die in vertikaler oder horizontaler Richtung eingebaut werden
kann. Das kann zu unterschiedlichen Arten der Vorrichtung führen.
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Eine
weitere Aufgabe der vorliegende Erfindung ist das Vorsehen der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe, deren Struktur einfach ist und die wirtschaftlich hergestellt
werden kann, und bei der es leicht ist, die Gaszufuhr- und -ablassventile zu
warten.
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Offenbarung der Erfindung
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Eine
Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe gemäß vorliegender
Erfindung umfasst:
Ein hermetisches Gehäuse für den Vorrichtungkörper, welches
eine Flüssigkeitskammer
umfasst, um eine Flüssigkeit
zur Verfügung
zu stellen, welche durch eine Kolbenpumpe (reziproke Pumpe) von
einer Zufuhrleitung transportiert wird, die transportierte Flüssigkeit
vorübergehend
zu speichern und sie über eine
Abflussleitung zu entleeren und eine Gaskammer, welche mit Gas befüllt wird,
um Pulsationen zu unterdrücken,
eine
Pulsationsunterdrückungsmembran
um Pulsationen zu unterdrücken,
welche das Innere des Gehäuses
für den
Vorrichtungskörper
in die Flüssigkeitskammer
und die Gaskammer unterteilt und welche in Abhängigkeit vom Verhältnis zwischen
der Flussmenge und dem Druck der transportierten Flüssigkeit
sich frei hin- und herbewegen kann und ein abdichtender Gasdruck
innerhalb der Gaskammer,
eine Vorrichtung zum Erzeugen von
Gasdruck, um innerhalb der Gaskammer Gasdruck bereitzustellen,
einem
Gaszufuhranschluss um den Gasdruck von der Vorrichtung zum Erzeugen
des Gasdrucks in die Gaskammer zu leiten, wenn der Gasdruck innerhalb der
Gaskammer erhöht
wird,
einen Gasauslassanschluss um Gas aus der Gaskammer an
die Umgebung abzugeben, wenn der Gasdruck innerhalb der Gaskammer
verringert wird,
einen automatischen Gaszufuhrventilmechanismus um
im Regelfall den Gaszufuhranschluss geschlossen zu halten,
einen
automatischen Gasabfuhrventilmechanismus um im Regelfall den Gasabfuhranschluss
geschlossen zu halten,
eine Ventilbetätigungsstange, welche zwischen
dem automatischen Gaszufuhrventilmechanismus und der Pulsationsunterdrückungsmembran
so angebracht ist, dass sie im Regelfall den Gaszufuhranschluss öffnet, wenn
die Pulsationsunterdrückungsmembran
einen vorbestimmten Hubweg in Richtung der expandierenden Flüssigkeitskammer übersteigt, und
einen
Schieberegler, welcher zwischen dem automatischen Gasablassventilmechanismus
und der Pulsationsunterdrückungsmembran
angebracht ist, um im Regelfall den Gasablasshahn zu öffnen, wenn
die Pulsationsunterdrückungsmembran
einen weiteren, als einen vorbestimmten Hubweg in Richtung der kleiner
werdenden Flüssigkeitskammer
zurücklegt.
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Ferner,
umfasst in der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe der obigen Struktur der automatische Ablassventilmechanismus:
Eine
Gasablassventilstange (45), welche lose in ein durchgehendes
Loch (46) einer federaufnehmenden Vorrichtung (47),
welche in dem Gehäuse
für den Einrichtungskörper so
befestigt ist, dass sie einen Freiraum bildet, eingeführt ist, ein
Gasauslassventilelement (43), das auf der Spitze der Gasablassventilstange
(45) angebracht ist und welches freibeweglich einen Ventilsitz
des Gasauslasshahnes (32) berühren kann oder davon gelöst wird,
und
bei welchem der Schiebemechanismus (48) am hinteren
Ende der Gasauslassventilstange (45) so angebracht ist,
dass er in axialer Richtung vom Ventil aus verschoben werden kann,
eine
Feder (49) zum Herstellen eines geschlossenen Zustands,
welche zwischen dem Gasauslassventilelement (43) und der
Federaufnahmevorrichtung (47) angebracht ist, und
eine
Feder (50) um einen geöffneten
Zustand herzustellen, welche zwischen dem Gasauslassventilelement
(43) und der Schiebevorrichtung (48) angebracht
ist.
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Wenn
sich gemäß der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
der obigen Struktur die Kapazität der
Flüssigkeitskammer
vergrößert, so
dass ein vorgegebener Bereich durch die Schwankungen des Förderdrucks
in der Kolbenpumpe überschritten
wird, bewirkt der automatische Gaszufuhrventilmechanismus die Gaszufuhr
in das Innere der Gaskammer und erhöht dadurch den Gasdruck. Das
begrenzt die expandierende Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran.
Wenn die Kapazität
der Flüssigkeitskammer
verringert wird, so dass der vorgegebene Bereich überschritten
wird, lässt
das automatische Gasablassventil Gas aus dem Inneren der Gaskammer
ab und vermindert damit den Gasdruck. Das beschränkt die zusammenziehende Verformung
der Pulsationsunterdrückungsmembran.
Trotz der Schwankungen im Förderdruck
der Kolbenpumpe beschränkt
sich der expandierbare und zusammendrückbare Verformungsraum der
Pulsationsunterdrückungsmembran
auf einen Wert innerhalb eines vorgegebenen Bereichs und hält somit
den Pulsationsbereich klein. Ferner bewirkt im automatischen Gasablassventilmechanismus
die Feder für
einen Geschlossenzustand, dass das Gasablassventilelement zwangsweise
die Gasablassöffnung
schließt.
Also kann die Gasablassöffnung
stabil und sicher geschlossen werden. Auch wenn ferner die Vorrichtung entweder
im senkrechten oder im waagrechten Zustand installiert wird, so
dass das Gasablassventilelement vertikal oder horizontal angeordnet
wird, beeinflusst dieser Umstand die Verschließaktion der Gasablassöffnung auf
keinen Fall.
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In
einer Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe gemäß einer
weiteren Ausführungsform der
Erfindung ist das Vorrichtungsgehäuse mit einer Öffnung zur
Verbindung mit der Gaskammer versehen und ein Ventilgehäuse ist
abnehmbar im Eingriff mit dem Inneren der Öffnung vorgesehen. Das Ventilgehäuse ist
mit einem Gaszufuhrhahn, dem Gasauslasshahn, dem automatischen Gaszufuhrventilmechanismus,
der Ventilbetätigungsstange,
der Schiebevorrichtung, dem Gasauslassventilelement des automatischen
Gasauslassventilmechanismus, der Auslassventilstange, der federaufnehmenden Vorrichtung,
der Feder für
die Herstellung eines geschlossenen Zustandes und der Feder für die Herstellung
eines geöffneten
Zustandes ausgerüstet.
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In
der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe der obigen Struktur kann, auch wenn der automatische Gaszufuhrventilmechanismus
oder der automatische Gasablassventilmechanismus beschädigt oder
zerstört
ist, dieser leicht durch Herausziehen nur des Ventilgehäuses aus
der Öffnung
instandgesetzt oder ersetzt werden. Mit anderen Worten, dieses ist
ein Vorteil unter dem Blickwinkel der Wartung. Ferner sind der automatische
Gaszufuhrventilmechanismus und der automatische Gasablassventilmechanismus
unabhängig
innerhalb eines Ventilgehäuses
angeordnet, so dass sie parallel zueinander liegen.
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Somit
ist die Struktur des Ventils einfach und kann wirtschaftlich hergestellt
werden. Das Ventilgehäuse
steht in Eingriff mit der Öffnung,
so dass es kompakt eingesetzt wird, ohne über das Vorrichtungsgehäuse nach
außen
vorzustehen.
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Ferner
ist bei der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
und einer Pumpe gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der Erfindung das Gehäuse
für den Einrichtungskörper integral
mit einer Kolbenpumpe (reziproke Pumpe) vom Typ mit Luftantrieb
versehen, wobei die luftangetriebene Kolbenpumpe umfasst:
eine
Membran (7) für
eine Pumpe, welche in eine Dehn- und in eine Zusammenziehrichtung
der Pulsationsunterdrückungsmembran
gedehnt oder zusammengezogen wird,
einen Luftzylinderabschnitt
(14) um eine Pumpenmembran (7) so anzutreiben,
dass sie gedehnt oder zusammengezogen wird und eine Pumpenarbeitskammer
(9a), welche innerhalb der Pumpenmembran (7) angeordnet
ist, wobei die Pumpenarbeitskammer Ansaug- und Ablassrückschlagventile
(16a, 16b) zum Ansaugen und Ablassen der transportierten Flüssigkeit
aufweist, wobei die Rückschlagventile
in Abstimmung mit dem Ausdehnen oder Zusammenziehen der Pumpenmembran
abwechselnd geöffnet oder
geschlossen werden, und
die transportierte Flüssigkeit,
welche über
das Auslassrückschlagventil
(16b) aus der Pumpenarbeitskammer (9a) ausgelassen
wird, der Flüssigkeitskammer
(20a) zugeführt
wird.
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Wenn
gemäß der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe, die die obige Struktur aufweist, die Membran für die Pumpe
bewegt wird, um dehnbar und zusammenziehbar mittels des Luftzylinderteils
verformt zu werden, werden das Ansaugrückschlagventil 16a und
das Ablassrückschlagventil 16b in
der Pumpenarbeitskammer abwechselnd geöffnet und geschlossen.
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Daraus
ergibt sich, dass sich das Absaugen der beförderten Flüssigkeit aus dem Zuflussdurchgang
in die Pumpenarbeitskammer und der Abfluss aus der Pumpenarbeitskammer
zum Ablassdurchgang wiederholen und dadurch die vorbestimmte Pumpenaktion
durchgeführt
wird. Jetzt wird die beförderte
Flüssigkeit
aus der Pumpenarbeitskammer durch das Ablassrückschlagventil durch die Flüssigkeitskammer
der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
in den Ablassdurchgang gedrückt.
Damit wird im Spitzenwert der Pulsation des Förderdrucks der geförderten
Flüssigkeit
die Pulsationsunterdrückungsmembran
in Richtung zur Erweiterung der Flüssigkeitskammer bewegt, um
den Druck zu absorbieren. Im Talwert der Pulsation wird die Pulsationsunterdrückungsmembran
in Richtung bewegt, in der die Kapazität der Flüssigkeitskammer verkleinert
wird, der Druck der abgegebenen Flüssigkeit erhöht wird,
um die Pulsation aufzunehmen, wodurch die geförderte Flüssigkeit kontinuierlich und
gleichmäßig und
ohne Pulsation abgelassen wird. Die Kolbenpumpe wird einstückig mit
der Pulsationsdämpfungsvorrichtung ausgeführt. Mit
anderen Worten, ein externes Rohr zur Verbindung zwischen ihnen
erübrigt
sich. Zusätzlich
kann diese Maßnahme
Kosten einsparen, die gesamte Vorrichtung kleiner machen und eine
Reduzierung des Einbauraums erwirken. Die externe Rohrverbindung
erübrigt
sich. Dementsprechend braucht kein Bruch der Rohrverbindung befürchtet zu
werden, der zu einem Auslecken führen
würde,
auch wenn die Vorrichtung schon lange Zeit in Betrieb war. Ferner
bleibt der Druckverlust extrem klein. Das ermöglicht es, die Kapazität der Pumpe
klein zu halten und die Pumpe selbst kompakt zu gestalten, was wiederum
zur Folge hat, dass der zur Installierung der Pumpe benötigte Bereich
minimiert wird.
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Ferner
ist an einem Ende an einer Seite der Gaskammer des Ventilgehäuses in
einer Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe gemäß einer weiteren
Ausführungsform
der Erfindung ein Anschlag angeordnet und dieser Anschlag beschränkt eine
weitere Bewegung der Pulsationsunterdrückungsmembran, wenn sich die
Pulsationsunterdrückungsmembran über die
vorgegebene Strecke hinaus in Richtung der Erweiterung der Flüssigkeitskammer
bewegt und die Ventilbetätigungsstange
betätigt
wird.
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Gemäß der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
der obigen Struktur für
eine Pumpe lässt
sich die übermäßig erweiterte
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran
einschränken
und damit eine Beschädigung
der Pulsationsunterdrückungsmembran
vermeiden.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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1 ist
eine Längs-Schnittansicht
von vorne einer ganzen Pulsationsdämpfungsvorrichtung für eine Pumpe
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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2 ist
eine vergrößerte Längs-Schnittansicht
eines automatischen Gaszufuhrventilmechanismus und eines automatischen
Gasablassventilmechanismus der gleichen Pumpe von vorne.
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3 ist
eine Längs-Schnittansicht
einer ganzen Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine Pumpe
von vorne gemäß einer
anderen Ausführungsform.
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4 ist
eine Längs-Schnittansicht
einer ganzen Pulsations dämpfungsvorrichtung
für eine Pumpe
von vorne gemäss
dem Stand der Technik.
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5A ist
eine Längs-Schnittansicht
einer ganzen Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine Pumpe
von vorne gemäß einer
weiteren Ausführungsform
auf dem Stand der Technik.
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5B ist
eine vergrößerte Längs-Schnittansicht
eines Schaltventilmechanismus von vorne zum Umschalten der Pumpe
zwischen Gaszuführen und
Gasablassen in 5A.
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Beste Arten zur Ausführung der
Erfindung
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1 ist
eine Längs-Schnittansicht
von vorne einer ganzen Pulsationsdämpfungsvorrichtung für eine Pumpe
zur Anwendung der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
auf eine Balgpumpe vom Luftantriebstyp für eine Halbleiterproduktionsvorrichtung. 2 ist
eine vergrößerte Längs-Schnittansicht
eines automatischen Gasablassventilmechanismus und eines automatischen
Gaszufuhrventilmechanismus der gleichen Pumpe von vorne. In 1 bezeichnet 1 eine
Trennwand eines Vorrichtungskörpers
mit einem Zuflussdurchgang 2 und einem Abflussdurchgang 3 für eine Flüssigkeit,
die durch eine Pumpe befördert
wird, eine Kolbenpumpe 4 und eine Pulsationsdämpfungsvorrichtung 5,
die einander gegenüber
liegen, sind auf den beiden Seiten der Trennwand 1 angeordnet,
so dass sie mit der Trennwand 1 einstückig ausgeführt sind.
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Ein
aufgesetztes zylindrisches Pumpengehäuse 6 ist auf einer
Seite der Trennwand 1 verbindend angeordnet. Im Inneren
des Pumpengehäuses 6 ist
eine aufgesetzte zylindrische Membran 7 für eine Pumpe,
die ein Balg oder eine Membran sein kann und die expandierbar und
zusammendrückbar verformt
wird (d.i. in dieser Figur als Balg dargestellt), entlang der axialen
Richtung des zylindrischen Teils angeordnet. Ein peripherer Öffnungsteil 7a der
Membran 7 für
eine Pumpe wird hermetisch ge gen eine Seitenfläche der Trennwand 1 gedrückt und
durch eine ringförmige
Befestigungsplatte 8 daran befestigt. Somit wird ein Innenraum
des Pumpengehäuses 6 hermetisch
unterteilt in eine Pumpenarbeitskammer 9a innerhalb der
Membran 7 für
eine Pumpe und eine Pumpenbetriebskammer 9b außerhalb
der Membran 7 für
eine Pumpe.
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Ein
zylindrischer Körper 12 wird
an einer Außenseite
einer Bodenwand 6a des Pumpengehäuses 6 befestigt.
Der Zylinderkörper 12 nimmt
gleitend einen Kolben 11 auf, der mit Hilfe eines Kupplungselements 10 mit
einem geschlossenen Endglied 7b der Membran 7 für die Pumpe
fest verbunden ist. Ein Luftzylinderteil 14 ist außerhalb
des Pumpengehäuses 6 angeordnet.
Durch Luftlöcher 13a, 13b,
die im Zylinderkörper 12 und
in der Bodenwand 6a des Pumpengehäuses angeordnet sind, wird
Druckluft aus einer Druckluftzufuhrvorrichtung, wie z.B. ein Kompressor
(nicht dargestellt), ins Innere des Zylinderkörpers 12 oder der
Pumpenbetriebskammer 9b geführt. Daraus ergibt sich, dass
der Luftzylinderteil 14 die Membran 7 für die Pumpe
so antreibt, dass sie expandierbar und zusammendrückbar verformt
wird. Der Luftzylinderteil 14 ist mit anliegenden Sensoren 25a, 25b versehen.
Andererseits ist der Kolben 11 versehen mit einer Sensorerkennungsplatte 26.
Die Sensorerkennungsplatte 26 nähert sich abwechselnd 25a und 25b je
nach der Hin- und Herbewegung des Kolbens 11, wobei die
Zufuhr der Druckluft aus der Druckluftzufuhrvorrichtung zur Innenseite
des Zylinderkörpers 12 und
deren Zufuhr von der Druckluftzufuhrvorrichtung zur Pumpenbetriebskammer 9b automatisch
umgeschaltet wird.
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Ferner
stehen eine Ansaugmündung 15a und
eine Ablassmündung 15b,
die so ausgebildet sind, dass sich jede Mündung zur Pum penarbeitskammer 9a entsprechend öffnet, mit
dem Zuflussdurchgang 2 und mit dem Abflussdurchgang 3 in
Verbindung. Die Ansaugmündung 15a und
die Ablassmündung 15b sind
entsprechend mit einem Ansaugrückschlagventil 16a und
einem Ablassrückschlagventil 16b versehen.
Die Rückschlagventile öffnen und
schließen
sich abwechselnd gemäß der expandierbaren
und zusammendrückbaren
Verformung, die durch den Antrieb der Membran 7 für die Pumpe
bewirkt wird. Die Pumpe 4 beinhaltet diese obigen Elemente.
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Andererseits
ist ein aufgesetztes zylindrisches Vorrichtungsgehäuse 17 auf
der anderen Seite der Trennwand 1 angeordnet, so dass es
koaxial zum Pumpengehäuse 6 liegt.
Ebenso ist eine aufgesetzte zylindrische Pulsationsunterdrückungsmembran 18 zum
Verhindern der Pulsation (in der Figur als Balg dargestellt) im
Inneren des Vorrichtungsgehäuses 17 angeordnet,
so dass sie gegenüber
der Membran 7 für
die Pumpe in der Pumpe 4 angeordnet ist. Die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 ist
ein Balg oder eine Membran, die entlang der axialen Richtung des
zylindrischen Teils expandierbar und zusammendrückbar verformbar ist. Eine
periphere Öffnungskante 18a der
Pulsationsunterdrückungsmembran 18 ist hermetisch
und drückend
an der anderen Seitenfläche
der Trennwand 1 durch eine Befestigungsplatte 19 befestigt,
wobei der Innenraum des Vorrichtungsgehäuses 17 in eine Flüssigkeitskammer 20a und eine
Gaskammer 20b unterteilt ist. Die Flüssigkeitskammer 20a ist
zur zeitweiligen Speicherung einer Flüssigkeit vorgesehen, die über das
Ablassrückschlagventil 16b und
einen Verbindungsdurchgang 21 abfließen soll, der durch Durchbohren
der Dicke der Trennwand 1 gebildet wird, und die Gaskammer 20b ist
zum Verringern der Pulsation mit Luft gefüllt.
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Durch
die obengenannten Elemente wird die Pulsationsdämpfungsvorrichtung 5 konfiguriert,
in der die Pulsation, welche durch den Förderdruck einer aus der Pumpenarbeitskammer 9a abfließenden Flüssigkeit
und durch eine Änderung
der Kapazität der
Flüssigkeitskammer 20a gemäß der expandierbaren
und zusammenziehbaren Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 verursacht
wird, aufgenommen und gedämpft
wird.
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Eine Öffnung 27 wird
in der Nähe
des Mittelpunkts der Außenfläche einer
Bodenwand 17a des Vorrichtungsgehäuses 17 gebildet.
Ein Ventilgehäuse 23 mit
einem Flansch 23a greift in die Innenseite der Öffnung 27 ein
und der Flansch 23a wird mittels eines Bolzens 24 oder
dergl. pressend auf der Außenseite
der Bodenwand 17a befestigt, so dass er ausbaubar bleibt.
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Wie
in 2 gezeigt wird, ist das Ventilgehäuse 23 versehen
mit einer Gaszufuhröffnung 31 und
einer Gasauslassöffnung 32,
die parallel zueinander liegen. Die Gaszufuhröffnung 31 hat einen
automatischen Gaszufuhrventilmechanismus 33 zur Erhöhen des
Gasdrucks im Inneren der Gaskammer 20b durch Zufuhr der
Druckluft über
den maximalen Druckwert der beförderten
Flüssigkeit
zur Gaskammer 20b hinaus, wenn die Kapazität der Flüssigkeitskammer 20a einen
vorgegebenen Bereich übersteigt, so
dass sie erhöht
werden muss. Die Gasauslassöffnung 32 ist
versehen mit einem automatischen Gasauslassventilmechanismus 34 zum
Verringern des Gasdrucks in Inneren der Gaskammer 20b,
wenn die Kapazität
der Flüssigkeitskammer 20a den
vorgegebenen Bereich übersteigt,
so dass sie verringert werden muss.
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Der
automatische Gaszufuhrventilmechanismus 33 beinhaltet eine
Gaszufuhrventilkammer 35, die auf dem Ventilgehäuse 23 ausgebildet
ist, so dass sie mit der Gaszufuhröffnung 31 in Verbindung steht,
ein Gaszufuhrventilelement 36 zum Öffnen und Schließen der
Gaszufuhröffnung 31,
das im Inneren der Gaszufuhrventilkammer 35 entlang seiner
Achse verschoben werden kann, eine Feder 37 zum Drücken des
Gaszufuhrventilelements 36 im Normalzustand in seine Geschlossenstellung,
und einen Ventilsitz 38 des Gaszufuhrventilelements 36 im
inneren Teil desselben. Ferner beinhaltet der automatische Gaszufuhrventilmechanismus 33 ein
durchgehendes Loch 39 zum Herstellen der Verbindung zwischen
der Gaszufuhrkammer 35 mit der Gaskammer 20b,
ein Führungsglied 40,
das auf das Ventilgehäuse 23 aufgeschraubt
und befestigt ist, und eine Ventilbetätigungsstange 41,
die gleitend in das durchgehende Loch 39 des Führungsglieds 40 eingeschoben
ist. Unter der Bedingung, dass der Flüssigkeitsdruck im Inneren der
Flüssigkeitskammer 20a auf
einen Durchschnittsdruck gesetzt ist, und die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 in
einer Standardposition S eingerichtet ist, wird das Gaszufuhrventilelement 36 dicht
auf den Ventilsitz 38 des Führungsglieds 40 aufgesetzt,
so dass die Gaszufuhröffnung 31 verschlossen
ist. Ferner ist in diesem Zustand der Endteil 41a der Ventilbetätigungsstange 41,
der der Innenseite der Gaskammer 20b zugewendet ist, von dem
geschlossenen Endteil 18b der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 entfernt
angeordnet, so dass die Länge
der Strecke A beibehalten wird.
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Der
automatische Gasauslassventilmechanismus 34 beinhaltet
eine Gasauslassventilkammer 42, die an dem Ventilgehäuse 23 ausgebildet
ist, so dass sie mit der Gasauslassöffnung 32 in Verbindung steht,
ein Gasauslassventilelement 43 zum Öffnen und Schließen der
Gasauslassöffnung 32,
das entlang der Achse in der Gasauslassventilkammer 42 gleitend
angeordnet ist, ei ne Gasauslassventilstange 45, an deren
vorderem Ende das Gasauslassventilelement 43, und einen
Flanschteil 44 an dessen entsprechendem hinteren Ende ein
Federaufnahmeglied 47 mit einem durchgehenden Loch 46 befestigt ist,
das in die Innenseite der Ventilkammer 42 eingeschraubt
ist und in das die Gasauslassventilstange 45 eingeschoben
ist, einen zylindrischen Schiebemechanismus 48, in den
das hintere Ende der Gasauslassventilstange 45 gleitend
eingeschoben ist und der verhindert, dass die Gasauslassventilstange 45 abrutscht,
eine Feder 49 zum Bewirken des Geschlossenzustands, die
zwischen dem Gasauslassventilelement 43 und dem Federaufnahmeglied 47 angeordnet
ist, und eine Feder 50 zum Herstellen des Offenzustands,
die zwischen dem Federaufnahmeglied 47 und dem Geschlossen-Endteil 48a des Schiebemechanismus 48 angeordnet
ist. Der Innendurchmesser des Durchgangslochs 46 des Federaufnahmeglieds 47 ist
größer als
der axiale Durchmesser der Gasauslassventilstange 45. Durch
einen dazwischen ausgebildeten Raum 51 steht die Gasauslassventilkammer 42 mit
der Gaskammer 20b in Verbindung. In dem Zustand, in dem
die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 in
einer Standardstellung S steht, schließt das Gasauslassventilelement 43 die Gasauslassöffnung 32,
und der Flanschteil 44 des hinteren Endes der Gasauslassventilstange 45 ist entfernt
von der Innenseite des Geschlossen-Endteils 48a des Schiebers 48,
so dass die Länge
der Strecke B gewahrt bleibt.
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Das
Ende auf einer Seite der Membran im Ventilgehäuse 23 erstreckt sich
in Richtung zur Innenseite der Gaskammer 20b, wie in 2 durch strichpunktierte
Linien 52 dargestellt ist. Ein Anschlag 53 kann
an einer Endstellung der Expansion angeordnet sein. Der Anschlag 53 verhindert
eine weitere Bewegung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18,
wenn sich die Membran 18 in Richtung zur Vergrößerung der
Flüssigkeitskammer 20a bewegt,
so dass er über
eine vorbestimmte Strecke A hinausgeht, und betätigt dabei die Ventilbetätigungsstange 41.
In diesem Fall kann eine Anschlagwand 55 (gezeigt in 1),
die von der Innenseite des Vorrichtungsgehäuses 17 aus zur Gaskammer 20b vorstehend
ausgebildet ist und die gleiche Aufgabe wie der Anschlag 53 erfüllt, weggelassen
werden.
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Als
nächstes
wird die Wirkung der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe mit der obigen Konfiguration beschrieben.
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Die
aus der Druckluftversorgungsvorrichtung, wie z.B. einem Kompressor
(nicht dargestellt), zugeführte
Druckluft wird in den zylindrischen Körper 12 des Luftzylinderteils 14 durch
das Luftloch 13b eingespeist. Der Kolben 11 und
das Kupplungselement 10 sind in x-Richtung der 1 verschoben. Daraus
ergibt sich, dass sich die Membran 7 für die Pumpe in x-Richtung in 1 erweitert,
wodurch die beförderte
Flüssigkeit
im Zuflussdurchgang 2 durch das Ansaugrückschlagventil 16a in
die Pumpenarbeitskammer 9a eingesaugt wird. Wenn die Druckluft in
die Betriebskammer 9b des Luftzylinderteils 14 durch
das Luftloch 13b eingelassen wird und aus dem Luftloch 13b ausgelassen
wird, um die Membran 7 für die Pumpe in y-Richtung in 1 zusammenzuziehen,
wird die beförderte
Flüssigkeit,
die in die Pumpenarbeitskammer 9a eingesaugt wurde, durch
das Auslassrückschlagventil 16b abgelassen. Damit
wird die Membran 7 für
die Pumpe durch den Luftzylinderteil 14 in der Kolbenpumpe 4 angetrieben,
so dass er durch Expansion und Zusammenziehen verformt wird und
dadurch das Ansaugrückschlagventil 16a und
das Auslassrückschlagventil 16b abwechselnd öffnet und
schließt.
Dadurch wiederholt sich das Ansaugen der beförderten Flüssigkeit aus dem Zuflussdurchgang 2 zur
Pumpenarbeitskammer 9a und das Ausstoßen derselben von innerhalb
der Pumpenarbeitskammer 9a zum Ausgangsdurchfluss 3,
wodurch die vorgegebene Pumpenaktion durchgeführt wird. Wenn die beförderte Flüssigkeit
durch die obengenannte Aktion der Kolbenpumpe 4 in den
vorbestimmten Teil eingespeist wird, bewirkt der Pumpenförderdruck
eine Pulsation aufgrund der Wiederholungen eines Spitzenwerts und
eines Talwerts.
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Die
aus dem Inneren der Pumpenarbeitskammer 9a in der Pumpe 4 durch
das Ablassrückschlagventil 16b beförderte Flüssigkeit
wird durch den Verbindungsdurchgang 21 in die Flüssigkeitskammer 20a der
Pulsationsdämpfungsvorrichtung 5 eingegeben.
Nachdem die beförderte
Flüssigkeit zeitweilig
in der Flüssigkeitskammer 20a gespeichert war,
fließt
sie in den Ablassdurchgang 3. Wenn dann der Förderdruck
der beförderten
Flüssigkeit
die Spitze der Förderdruckkurve
zeigt, wird die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 durch
die beförderte
Flüssigkeit
expandierbar und zusammendrückbar
verformt, so dass sich die Kapazität der Flüssigkeitskammer 20a erhöht und damit
den Druck absorbiert. Jetzt ist die Schwankungsgröße der beförderten Flüssigkeit,
die aus der Flüssigkeitskammer 20a fließt, geringer
als die der beförderten
Flüssigkeit,
die von der Kolbenpumpe 4 eingespeist wird.
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Wenn
dann der Förderdruck
der beförderten Flüssigkeit
in den Talteil der Förderdruckkurve kommt,
wird der Druck der beförderten
Flüssigkeit kleiner
als der Gasdruck im Inneren der Gaskammer 20b, der gemäß der expandierbaren
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 komprimiert wird.
Daher wird die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 zusammendrückend verformt.
Jetzt wird die Flussmenge der beförderten Flüssigkeit, die aus der Flüssigkeitskammer 20a fließt, größer als
die Menge der beförderten
Flüssigkeit,
die aus der Kolbenpumpe 4 in das Innere der Flüssigkeitskammer 20a fließt. Die
sich wiederholende Aktion, d.h. die durch die Veränderung
der Kapazität
der Flüssigkeitskammer 20a bewirkte
Pulsation, wird absorbiert und gedämpft.
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Wenn übrigens
in der obigen Aktion der Förderdruck
zum Fördern
der Flüssigkeit
aus der Kolbenpumpe 4 ansteigt, wird die Kapazität der Flüssigkeitskammer 20a durch
die beförderte
Flüssigkeit
gesteigert, so dass die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 sich
merklich ausweitend verformt. Wenn eine Größe der expandierenden Verformung
der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 eine
vorgegebene Strecke A übersteigt,
drückt
der geschlossene Endteil 18b der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 die
Ventilbetätigungsstange 41 in
Richtung zur Innenseite der Ventilkammer. Daraus ergibt sich, dass sich
das Gaszufuhrventilelement 36 im automatischen Gaszufuhrventilmechanismus 33 in
die Feder 37 öffnet
und der hohe Luftdruck durch die Gaszufuhröffnung 31 in die Gaskammer 20b eingeführt und damit
der Gasdruck innerhalb der Gaskammer 20b erhöht wird.
Das beschränkt
die Größe der expandierenden
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18,
so dass sie nicht über
die Strecke A hinausgehen kann, und vermeidet dadurch einen übermäßigen Anstieg
der Kapazität
der Flüssigkeitskammer 20a.
Wenn jetzt der Anschlag 53 am Ende einer Seite der Membran
angeordnet ist, stößt im Ventilgehäuse 23 der
Geschlossen-Endteil 18b der
Pulsationsunterdrückungsmembran 18 gegen
den Anschlag 53 und sichert damit die Verhinderung einer
sich übermäßig expandierenden
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18.
Unter dem Gesichtspunkt der Verhinderung von Beschädigungen ist
das vorteilhaft. Die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 wird
in Richtung der Standardposition S zusammengezogen gemäß dem Anstieg
des Gasdrucks in der Gaskammer 20b. Daher liegt die Ventilbetätigungsstange 41 von
Geschlossen-Endteil 18b der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 entfernt, wobei
das Gaszufuhrventilelement 36 zu einer Geschlossenstellung
zurückkehrt,
um den Gasdruck in der Gaskammer 20b in einem Ausgleichszustand
zu halten.
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Wenn
andererseits der Förderdruck
von der Kolbenpumpe 4 her verringert wird, nimmt die Kapazität der Flüssigkeitskammer 20a ab,
wodurch sich die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 extrem zusammenziehend
verformt. Wenn die Größe der zusammengezogenen
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 eine
vorgegebene Größe B überschreitet,
bewegt sich der Schieber 48 des automatischen Gasauslassventilmechanismus 34 in
Zusammenziehungsrichtung b der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 gemäß der Bewegung
des Geschlossen-Endteils 18b der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 in
Zusammenziehungsrichtung b aufgrund der Druckwirkung der Feder 50 in
Richtung auf einen Öffnungszustand
zu, wobei die Innenseite des Geschlossen-Endteils 48a des
Schiebers 48 in den Flanschteil 44 der Gasauslassvertilstange 45 eingreift.
Damit bewegt sich die Gasauslassventilstange 45 in Richtung
b und das Gasauslassventilelement 43 öffnet die Gasauslassöffnung 32,
so dass die in der Gaskammer 20b abgedichtete Luft an der Gasauslassöffnung 32 in
die Atmosphäre
abgelassen wird und sich damit der Gasdruck in der Gaskammer 20b verringert.
Damit wird die Größe der zusammendrückenden
Verformung der Pulsationsunterdrückungsmembran 18 so
eingeschränkt,
dass sie die Strecke B nicht übertrifft.
Das verhindert, dass die Kapazität
der Flüssigkeitskammer 20a übermäßig vermindert
wird. Gemäß der Verringerung
des Gasdrucks in der Gaskammer 20b wird die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 auf
die Standardposition S erweitert, während der Schieber 48 von
dem Geschlossen-Endteil 18b der
Pulsationsunterdrückungsmembran 18 gedrückt wird.
Daraus ergibt sich, wenn der Schieber 48 in Richtung a
bewegt wird, wird die Feder 50 für einen Offenzustand zusammengedrückt, und
das Gasauslassventilelement 43 schließt die Gasauslassöffnung 32 wieder
infolge der Drückfunktion
der Feder 49 in Richtung zum Geschlossenzustand. Das hält den Gasdruck
in der Gaskammer 20b im Einstellzustand. Das Ergebnis ist,
dass anstatt der Schwankung des Förderdrucks von der Pumpenarbeitskammer 9a der
Kolbenpumpe 4 die Pulsation effektiv absorbiert wird, um
die Größe der Pulsation
klein zu halten.
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3 ist
eine ganze Längsansicht
der Pulsationsdämpfungsvorrichtung
für eine
Pumpe von vorne, die eine weitere Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung illustriert. In der Ausführungsform ist die Pulsationsdämpfungsvorrichtung 5 als
Speicher unabhängig
von der Pumpe getrennt und individuell konfiguriert. Auf einer Seite
des unteren Teils des hermetischen Vorrichtungsgehäuses 17 ist
die Flüssigkeitskammer 20a angeordnet,
so dass die von der in einer anderen Position installierten Pumpe
(nicht dargestellt) geförderte
Flüssigkeit
aus dem Zuflussdurchgang 2 in die Flüssigkeitskammer 20a eingesaugt
und dort zeitweilig gespeichert wird, bis sie aus dem Ausflussdurchgang 3 abfließt. Seitlich
am oberen Teil der Innenseite des Vorrichtungsgehäuses 17 ist
die Gaskammer 20b angeordnet. Die Flüssigkeitskammer 20a ist
von der Gaskammer 20b durch die Pulsationsunterdrückungsmembran 18 getrennt.
Das Ventilgehäuse 23 ist
an der Öffnung 27 der
oberen Wand 17b des Vorrichtungsgehäuses 17 durch die Bolzen 24 oder dergl.
so befestigt, dass es ausbaubar ist. Das Ventilgehäuse 23 weist
den gleichen automatischen Gaszufuhrventilmechanismus 33 und den
gleichen Ablassventilmechanismus 34 auf, wie sie in der
vorstehenden Ausführungsform
beschrieben sind. Die Pulsationsdämpfungsvorrichtung 5,
der automatische Gaszufuhrventilmechanismus 33 sowie der
automatische Gasauslassventilmechanismus 34 haben die gleiche
Konfiguration und Arbeitsweise wie in der vorangehenden Ausführungsform.
Deshalb wird von deren Beschreibung abgesehen.
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Gewerbliche Anwendbarkeit
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Die
Erfindung gemäß Anspruch
1 ermöglicht die
Aufnahme und Dämpfung
der Pulsation der Kolbenpumpe und das Beibehalten der Zunahme bzw. der
Abnahme der Kapazität
der Flüssigkeitskammer innerhalb
eines vorgegebenen Bereichs mittels eines Druckausgleichs zwischen
dem Flüssigkeitsdruck und
dem Gasdruck, sowie das effektive Absorbieren der Pulsation, und
dadurch das Kleinhalten der Pulsation. Ferner kann die vorliegende
Vorrichtung in jeder Stellung eingebaut werden, d.h. entweder waagrecht
oder senkrecht.
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Die
Ausführungsform
gemäß Anspruch
2 erleichtert die Durchführung
der Wartung sowohl des Gaszufuhrventils als auch des Gasabsaugventils, und
deren Struktur ist so einfach, dass sie wirtschaftlich hergestellt
werden können.
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Gemäß Ausführungsform
in Anspruch 3 ist die Kolbenpumpe in die Pulsationsdämpfungsvorrichtung
integriert und somit wird die gesamte Vorrichtung klein gehalten
und damit der Einbauraum erheblich reduziert.
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Gemäß Ausführungsform
in Anspruch 4 wird die übermäßige Ausdehnungsverformung
verhindert und damit eine Beschädigung
der Pulsationsunterdrückungsmembran
verhindert.