JP4324568B2 - ベローズポンプ - Google Patents

Description

本発明は、軸方向に伸縮するベローズを用いて液体の移送を行うベローズポンプの中で
、ベローズの外側に空気室を形成してベローズ内に移送液を吸入する所謂内液型のベロー
ズポンプに関する。

この種ベローズポンプは、従来より半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の
液体移送用ポンプとして使用されており、例えば次の２種類がある。

１つは、例えば特許文献１に開示されているようなベローズポンプである。この従来の
ベローズポンプは、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポン
プボディの一側に配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備え
ている。ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合する
ように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベロー
ズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部
、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けて
ポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベ
ローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を
形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベロー
ズと同一軸線上に突出形成してピストンを軸方向に摺動自在に嵌め込む第２シリンダ部と
からなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポ
ンプベローズとピストンを連結する連結軸と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入
側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給す
るエアーによりポンプベローズ、連結軸、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズ
が伸縮を繰り返し、移送液をポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボデ
ィの吸入口からポンプ室に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口
から吐出するように構成される一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口
側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を
通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可
能な底付円筒状のアキュムレータベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して
開口側端部でポンプボディとの間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュム
レータベローズの外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状の
アキュムレータシリンダとを備え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの
伸縮により吸収するように構成されている。

もう１つは、例えば特許文献２に開示されているようなベローズポンプである。この従
来のベローズポンプは、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、
ポンプボディの両側に配置される一対のポンプ部とを備えている。各ポンプ部は、ポンプ
ボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ
室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方
向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収
容するようにシリンダヘッド部からポンプボディに向けてポンプベローズと同一軸線上に
突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポン
プベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とから
なるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側
をポンプベローズに連結する連結軸と、連結軸の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内
でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結
板同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通
接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ
室に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、連結軸、連結板が同一方
向に一体的に往復動し、ポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ
部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ
室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通して
ポンプボディの吐出口から吐出するように構成されている。

ところで、上記従来のベローズポンプはいずれもポンプベローズと連結軸の連結に金属
のフランジおよび複数のボルトが使用され、連結軸とピストンや連結板の連結にも金属の
ナットやボルトが使用されている。

また、金属イオンによるコンタミをなくし、ポンプによる移送液の汚染を最小限にする
ための樹脂化も進められており、接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側
逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズをフッ素樹脂等の樹脂製としたもの
から、さらには非接液部品であるポンプシリンダ、アキュムレータシリンダも樹脂製とし
、加えてポンプ空気室の金属部品である連結軸、ポンプベローズと連結軸を連結している
フランジおよび複数のボルトも樹脂でカバーし、ポンプベローズやアキュムレータベロー
ズが破損しても被液による腐食や金属イオンの流出がないようにしたものもある。
特開２００１−３１７４４９号公報 特開２００２−１７４１８０号公報

従来のベローズポンプでは、ポンプベローズと連結軸を連結するためにフランジと複数
のボルトを使用しているため、数本のボルトの緩みや各ボルトの締付トルクの不均一等に
よりポンプベローズと連結軸が同一軸線上からずれ、連結軸の摺動部が偏磨耗し、ポンプ
寿命が短くなると共に、摺動抵抗が増加し、ポンプ性能が低下する。またボルトが緩み脱
落する虞もあり、この場合はポンプが正常に動作しなくなる。さらに部品点数および組立
工数が多くなり、その上に締結部分をトルク管理する必要もあり、ポンプの生産性の向上
およびコストダウンを妨げる要因になる。等の問題があった。

また、連結軸とピストンや連結板を連結するためにナットやボルトを使用しているため
、寸法公差により生じる連結軸とピストンや連結板との隙間により連結軸とピストンや連
結板が同一軸線上からずれた状態で締結されてしまい、ピストンの摺動部が偏磨耗したり
、連結板が連結軸に対し斜めに荷重をかけて連結軸の摺動部が偏磨耗し、ポンプ寿命が短
くなると共に、摺動抵抗が増加し、ポンプ性能が低下する。またボルトが緩み脱落する虞
もあり、この場合はポンプが正常に動作しなくなる。さらに部品点数および組立工数が多
くなり、その上に締結部分をトルク管理する必要もあり、ポンプの生産性の向上およびコ
ストダウンを妨げる要因になる。等の問題があった。

本発明は、ポンプベローズとピストンや連結板を連結する軸体を、ポンプベローズにフ
ランジと複数のボルトを使用することなく同一軸線上に連結でき、ポンプ寿命を延ばすと
共に、ポンプ性能を長期間維持することができ、ポンプのコンパクト化およびコストダウ
ンも実現することができるベローズポンプを提供することを第１の目的とする。また、ポ
ンプベローズとピストンや連結板を連結する軸体を、ピストンや連結板にナットやボルト
を使用することなく同一軸線上に連結でき、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長
期間維持することができ、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することがで
きるベローズポンプを提供することを第２の目的とする。

そこで、本発明は、軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズ
の伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸
入し、収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポン
プにおいて、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連結可能に構
成した。

具体的には、一端側外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状で
あって、底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジ
を有する底付円筒状の軸体ネジ込み部を設けた（請求項１）。

また、ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズの収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に、例えばＯリング等の弾性材料よりなる環状シール部材を装着する（請求項１）。

ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、好ましくは、ピストンの中心孔
を係合頭部も含めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にする。（請求項２）。

ポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの
凹部に常時嵌り込む長さを有することが好ましい（請求項３，５）。

さらに、ポンプベローズと連結板を軸体により連結する場合、軸体の他端にその直径よ
りも大きい直径を有する係合頭部を設け、連結板は軸体を中心部に挿通させる中心孔を設
け、軸体を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む
部分又は孔側に、例えばＯリング等の弾性材料よりなる環状シール部材を装着する（請求
項４）。

本発明はまた、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポ
ンプとして使用することができる以下のようなベローズポンプを構成可能である。

第１に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディ
の一側に配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備え、ポンプ
部は、ポンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して
内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベ
ローズの軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベロー
ズを内部に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズ
と同一軸線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側
端部を挟みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シ
リンダ部、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上
に突出形成してピストンが軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部とからなるポ
ンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベロー
ズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁およ
び吐出側逆止弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給するエアーによ
りポンプベローズ、軸体、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズが伸縮を繰り返
し、移送液をポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から
ポンプ室に吸入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するよ
うに構成する一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口側端部が当該ポン
プボディに接合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を通して吐出される
移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状の
アキュムレータベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して開口側端部でポン
プボディとの間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュムレータベローズの
外側にエアーを封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状のアキュムレータシ
リンダとを備え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの伸縮により吸収す
るように構成し、ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項１−３のいずれかに記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプ
である（請求項６）。

上記ベローズポンプは、ポンプ部およびアキュムレータ部の接液部品であるポンプボデ
ィ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズに加え
、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体、アキュムレータシリンダも樹脂材
料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項７）。

第２に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディ
の両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開
口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向
に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボデ
ィと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリン
ダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口
側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側
にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から
第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンが軸方向
に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド
部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、
ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポン
プ部のピストン同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの
吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポン
プ部の第２シリンダ内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体
、ピストンが同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部のポンプベローズが交互に伸縮を
繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通して
ポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの
収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポ
ンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項１−３のいずれかに記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプである（請求項８）
。

上記ベローズポンプも、各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、
吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、
軸体も樹脂材料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項９）。

第３に、移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディ
の両側に配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開
口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向
に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボデ
ィと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリン
ダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口
側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側
にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とからなるポンプシリン
ダと、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズ
に連結する軸体と、軸体の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内でポンプボディに装着
する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結板同士を連結し、各ポ
ンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出
側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ室に交互に供給するエ
アーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が同一方向に一体的に往復動し、
ポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸
長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方
のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口か
ら吐出するように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が、請求項４又は請求項５記載のポンプベローズ、軸体、連結板の連結構造により連結されているベローズポンプである（請求項１０）。

上記ベローズポンプもまた、各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベロー
ズ、吸入側逆止弁および吐出側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、軸体も
樹脂材料よりなる樹脂製とすることで、樹脂化を実現できる（請求項１１）。

本発明によれば、ポンプベローズの中心部に設けた軸体ネジ込み部に軸体を直接ネジ込
むことで、フランジと複数のボルトを使用することなく、ポンプベローズと軸体を同一軸
線上に連結し配置することができる。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の
緩み、脱落によるポンプのトラブルを回避することができる。すなわちボルトの緩みによ
る軸体の摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポンプ寿命を延ばすことができると共に
、摺動抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止することができ、ポンプ性能を長期間維
持することができる。ボルトの脱落によるポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。また
ポンプの軸方向の長さを少なくともフランジの厚さ寸法とボルト頭部の厚さ寸法を合わせ
た寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化を実現することがでる。さらに、部
品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりポンプの生産性の向上およびコスト
ダウンを実現することができる。

ポンプベローズの開口側に配置されて吸入口および吐出口が形成されているポンプボデ
ィの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌
り込む長さを有することで、ポンプベローズと軸体のネジ結合力を十分に確保しながら、
ポンプのコンパクト化を実現することができる。また、ポンプベローズ内の中心部が軸体
ネジ込み部によって埋められることで、ポンプベローズの全内容積（ポンプ室全体の容積
）に対する蛇腹部分（ポンプ作用を発揮する部分）の容積割合が増加するように、ポンプ
ベローズの全内容積を減少させることができる。このため、ポンプ起動時の立ち上がりが
早くなると共に、吐出圧も高くなり、内液構造のポンプ性能を向上することができる。

また、ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、軸体の中心孔に嵌り込む
部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着し、軸体をピストンの中心孔にポ
ンプベローズ収縮方向で嵌め込むことで、軸体と中心孔の隙間を環状シール部材で埋める
ことができ、環状シール部材が軸体の径方向の位置決めを行い、軸体とピストンをボルト
やナットで締結する必要がなく、容易に軸体とピストンを同一軸線上に連結し配置できる
。このように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるポンプのトラブル
を回避することができる。すなわちピストンの摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポ
ンプ寿命を延ばすことができると共に、摺動抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止す
ることができ、ポンプ性能を長期間維持することができる。ボルトやナットの脱落による
ポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。また、部品点数の削減およびそれに伴う組立工
数の削減によりポンプの生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。

ポンプベローズとピストンを軸体により連結する場合、ピストンの中心孔を係合頭部も
含めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にすることで、ポンプの軸方向の長さを少なくと
もボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化も同時に
実現することができる。

さらに、ポンプベローズと連結板を軸体により連結する場合、軸体の中心孔に嵌り込む
部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着し、軸体を連結板の中心孔にポン
プベローズ収縮方向で嵌め込むことで、軸体と中心孔の隙間を環状シール部材で埋めるこ
とができ、環状シール部材が軸体の径方向の位置決めを行い、軸体と連結板をボルトやナ
ットで締結する必要がなく、容易に軸体と連結板を同一軸線上に連結し配置できる。この
ように、締結部品を無くすことで、締結部品の緩み、脱落によるポンプのトラブルを回避
することができる。すなわち連結板が軸体に対し斜めに荷重をかけるのを防止でき、軸体
の摺動部の偏磨耗を防止することができ、ポンプ寿命を延ばすことができると共に、摺動
抵抗の増加によるポンプ性能の低下を防止することができ、ポンプ性能を長期間維持する
ことができる。ボルトやナットの脱落によるポンプの動作不良及び損傷が皆無になる。ま
た、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりポンプの生産性の向上および
コストダウンを実現することができる。なお、この場合も連結板の中心孔を係合頭部も含
めて軸体の他端を嵌め込み可能な段付にすることで、ポンプの軸方向の長さを少なくとも
ボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ポンプのコンパクト化も同時に実
現することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施例に係
るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図２は図１のポンプ部の拡大図である。この
ベローズポンプ１は、例えば半導体製造工場において化学薬液、溶剤、純水等の液体移送
用ポンプとして使用されるもので、移送液の吸入口２および吐出口３が形成されている略
正方形の板状のポンプヘッドであるポンプボディ４と、ポンプボディ４の一側（図１にお
いて右側）に配置されるポンプ部５と、ポンプボディ４の他側（図１において左側）に配
置されるアキュムレータ部６とで構成されている。

ポンプボディ４の一側部（図１において左側部）には、軸方向（図１において左右方向
）に伸縮可能なポンプベローズ７が配置されている。このポンプベローズ７は、開口側端
縁にフランジ部を有する底付円筒状であって、フランジ部が開口側端部に環状の接合部８
を形成してポンプボディ４に接合し、底部が円板状の可動板部９を構成し、これら接合部
８と可動板部９が円筒状で蛇腹構造の伸縮胴部１０を介して一体的に連結されたもので、
このポンプベローズ７とポンプボディ４とで、密閉された可変容量の円筒状のポンプ室（
ポンプ液室）１１を形成している。ポンプベローズ７の接合部８には、ポンプボディ４と
の接合面に円形の凹部１２がポンプベローズ７と同芯状に形成され、ポンプボディ４には
、ポンプベローズ７の接合部８との接合面に凹部１２と嵌合する円形の凸部１３がポンプ
ボディ４と同芯状に形成されている。これら互いに嵌合する凹凸部１２，１３によりポン
プベローズ７とポンプボディ４の接合面間が気密にシールされると共に、ポンプベローズ
７が径方向に位置決めされてポンプボディ４と同一軸線Ｘ上に配置されている。

ポンプボディ４の一側部（図１において右側部）にはまた、ポンプベローズ７と同一軸
線Ｘ上にポンプハウジングであるポンプシリンダ１４が配置されている。このポンプシリ
ンダ１４は、ポンプベローズ７の軸方向外側（図１において右外側）にポンプボディ４と
対向状に配置されるポンプボディ４と略同じ形状のシリンダヘッド部１５と、ポンプベロ
ーズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側（図１におい
て左側）に向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成される円筒状の第１シリン
ダ部１６と、シリンダヘッド部１５から第１シリンダ部１６と反対側（図１において右側
）にポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成される円筒状の第２シリンダ部１７とか
らなるもので、第１シリンダ部１６が、その開口側端部でポンプボディ４との間にポンプ
ベローズ７の開口側端部（接合部８）を挟み、ポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド
部１５とで密閉されたポンプ空気室１８を形成している。また、第２シリンダ部１７には
、軸方向（図１において左右方向）に摺動自在にピストン１９が嵌め込まれ、この第２シ
リンダ部１７の開口側端部は、ボルト締めにより着脱自在に取り付けられるカバー２０に
より閉じらている。さらに、シリンダヘッド部１５には、円形の中心孔２１が形成されて
おり、この中心孔２１には、ポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に配置される断面円形の軸
体であるポンプシャフト２２が軸方向（図１において左右方向）に摺動自在に挿通され、
このポンプシャフト２２によりポンプベローズ７とピストン１９を連結している。

ポンプボディ４には、移送液の吸入口２に連通する吸入ポート２３を開閉する吸入側逆
止弁２４と、移送液の吐出口３に連通する吐出ポート２５を開閉する吐出側逆止弁２６が
ポンプ室１１内で装着されている。また、ポンプシリンダ１４のポンプベローズ７の開口
側端部（接合部８）との接合部、すなわち第１シリンダ部１６の開口側端部には、これら
の間を気密にシールするＯリング２７が装着され、ポンプシリンダ１４のポンプシャフト
２２との摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔２１の周囲には、これらの隙間
をシールするためにスリッパーリング２８を介してＯリング２９が装着され、ポンプシリ
ンダ１４のピストン１９との摺動部、すなわち第２シリンダ部１７の内面にも、これらの
隙間をシールするためにスリッパーリング３０を介してＯリング３１が装着されている。
さらに、ポンプシリンダ１４のシリンダヘッド部１５には、ポンプベローズ７を往復駆動
するために、ポンプ室１８にエアーを供給するベローズ収縮用のエアー供給口３２と、第
２シリンダ１７のＯリング３１の装着位置よりシリンダヘッド１５側の内部にエアーを供
給するベローズ伸長用のエアー供給口３３が形成されている。なお、ポンプシリンダ１４
の第２シリンダ部１７には、ピストン１９の往復動作によりポンプベローズ７の伸縮スト
ローク終端位置を検出する一対の近接センサー３４，３５が取り付けられている。この近
接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しないエアー供給源から各エアー供給口３２
,３３へのエアー供給回路を切り換え、ポンプ室１１と第２シリンダ部１７内へのエアー
の供給を交互に行うようにしている。すなわちベローズポンプ１における移送液の吸入工
程と吐出工程の切り換え制御を行う。以上の各構成要素によりポンプ部５が、ポンプボデ
ィ４の一側部（図１において左側部）に構成されている。

一方、ポンプボディ４の他側部（図１において左側部）には、軸方向（図１において左
右方向）に伸縮可能なアキュムレータベローズ３６が配置されている。このアキュムレー
タベローズ３６は、開口側端縁にフランジ部を有する底付円筒状であって、フランジ部が
開口側端部に環状の接合部３７を形成してポンプボディ４に接合し、底部が円板状の可動
板部３８を構成し、これら接合部３７と可動板部３８が円筒状で蛇腹構造の伸縮胴部３９
を介して一体的に連結されたもので、このアキュムレータベローズ３６とポンプボディ４
とで、密閉された可変容量の円筒状のアキュムレータ室（アキュムレータ液室）４０を形
成している。このアキュムレータ室４０は、ポンプ室１１に吐出側逆止弁２６とポンプボ
ディ４に形成されている連通路４１を介して連通接続され、かつ、ポンプボディ４に形成
されている吐出口３とも連通して、ポンプ室１１から吐出側逆止弁２６を通して吐出され
る移送液を一時的に貯留する。アキュムレータベローズ３６の接合部３７には、ポンプボ
ディ４との接合面に円形の凹部４２がアキュムレータベローズ３６と同芯状に形成され、
ポンプボディ４には、アキュムレータベローズ３６の接合部３７との接合面に凹部４２と
嵌合する円形の凸部４３がポンプボディ４と同芯状に形成されている。これら互いに嵌合
する凹凸部４２，３３によりアキュムレータベローズ３６とポンプボディ４の接合面間が
気密にシールされると共に、アキュムレータベローズ７が径方向に位置決めされてポンプ
ボディ４と同一軸線Ｘ上に配置されて、ポンプベローズ７と同一軸線Ｘに配置されている
。

ポンプボディ４の一側部（図１において左側部）にはまた、アキュムレータベローズ３
６と同一軸線Ｘ上にアキュムレータハウジングであるアキュムレータシリンダ４４が配置
されている。このアキュムレータシリンダ４４は、底付円筒状であって、底部が、アキュ
ムレータベローズ３６の軸方向外側（図１において左外側）にポンプボディ４と対向状に
配置されるポンプボディ４と略同じ形状のシリンダヘッド部４５を構成し、胴部が、アキ
ュムレータベローズ３６を内部に収容するようにシリンダヘッド部４５からポンプボディ
４側（図１において右側）に向けてアキュムレータベローズ３６と同一軸線Ｘ上に突出形
成される円筒状のシリンダ部４６を構成しており、シリンダ部４６が、その開口側端部で
ポンプボディ４との間にアキュムレータベローズ３６の開口側端部（接合部３７）を挟み
、アキュムレータベローズ３６の外側にシリンダヘッド部４５とで、脈動低減用のエアー
が封入される密閉されたアキュムレータ空気室４７を形成している。アキュムレータシリ
ンダ４４のアキュムレータベローズ３６の開口側端部（接合部３７）との接合部、すなわ
ちシリンダ部４６の開口側端部には、これらの間を気密にシールするＯリング５７が装着
されている。なお、アキュムレータシリンダ４４の内面には、アキュムレータベローズ３
６の過剰な伸び変形を規制し、その破損を防止するためのストッパー４８が突出形成され
ている。また、アキュムレータシリンダ４４には、アキュムレータ空気室４７内のエアー
圧をポンプ部５の吐出圧とこの変動に応じてバランスさせるための自動給気弁機構および
自動排気弁機構よりなる圧力自動調整機構４９が取り付けられている。以上の各構成要素
によりアキュムレータ部６が、ポンプボディ４の他側部（図１において左側部）にポンプ
部５と同一軸線Ｘ上で構成されている。

そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５，４５を軸線Ｘと平行な複数本の
金属タイロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、ポンプ部５、アキュム
レータ部６が一体化してなるベローズポンプ１を構成している。この場合、各タイロッド
５０（両端の金属ナット５１等も含む）は、ポンプボディ４、ポンプシリンダ１４、アキ
ュムレータシリンダ４４の外面に形成されて直列に接合されるフランジ部５２,５３，５
４の中で挿通収容され、かつ、その収容部の両端開口も着脱可能なキャップ５５,５６に
より閉じられており、各タイロッド５０およびその両端のナット５１等、金属部品の被液
による腐食を防止している。なお、ポンプボディ４を円形の板状に形成し、その外周面両
側部に雄ネジを形成すると共に、その雄ネジと螺合する雌ネジを内面に有するナット部を
各シリンダ部１６，４６の開口側端部に一体に形成し、ポンプボディ４の両側にポンプシ
リンダ１４およびアキュムレータシリンダ４４をそれぞれ直接ネジ結合により連結し、ポ
ンプボディ４、ポンプ部５、アキュムレータ部６が一体化してなるベローズポンプ１を構
成してもよい。

次に、上記のように構成されたベローズポンプ１の動作を説明する。ポンプボディ４の
吸入口２が、吸入通路２ａおよび吸入側逆止弁２４を通じてポンプ室１１に通じ、ポンプ
室１１が、吐出側逆止弁２６および連通路４１を通じてアキュムレータ室４０に通じ、ア
キュムレータ室４０が、吐出通路３ａを通じてポンプボディ４の吐出口３に通じている。
そして、ポンプ部５は、エアー供給源からエアー供給口３３を通じて第２シリンダ１７内
にエアーが供給されると（このとき、エアー供給口３２は大気に開放される。）、第２シ
リンダ１７内のピストン１９よりシリンダヘッド部１５側の圧力が高まるので、ピストン
１９が図１において右方向に移動し、これと一体的にポンプシャフト２２およびポンプベ
ローズ７の可動板部９も図１において右方向に移動する。すなわちポンプベローズ７が伸
長する。このポンプベローズ７の伸長動作により吸入側逆止弁２４が開、吐出側逆止弁２
６が閉になるので、移送液がポンプボディ４の吸入口２から吸入通路２ａおよび吸入側逆
止弁２４を通じてポンプ室１１に吸入される（吸入工程）。続いて、エアー供給源からエ
アー供給口３２を通じてポンプ室１８にエアーが供給されると（このとき、エアー供給口
３２は大気に開放される。）、このポンプ空気室１８の圧力が高まるので、ポンプベロー
ズ７が収縮する。このポンプベローズ７の収縮動作により吸入側逆止弁２４が閉、吐出側
逆止弁２６が開になるので、ポンプ室１１の移送液が吐出側逆止弁２６を通じて吐出され
る。また、ポンプベローズ７の収縮時には、これと一体的にポンプシャフト２２およびピ
ストン１９が図１において左方向に移動する（吐出工程）。以上の動作を移送液の吸入工
程と吐出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。

一方、アキュムレータ部６では、ポンプ室１１から吐出された移送液を、連通路４１を
通じてアキュムレータ室４０に受け入れ、このアキュムレータ室４０に一時的に貯留した
後、吐出通路３ａを通じてポンプボディ４の吐出口３から吐出する。このとき、アキュム
レータベローズ３６は、ポンプ部５の吐出圧の脈動により、吐出圧曲線の山部にある場合
には、アキュムレータ室４０の容積を増大するように伸長する。この伸長動作によりアキ
ュムレータ室４０から流出する移送液の流量は流入する流量よりも少なくなる。また、吐
出圧曲線の谷部にさしかかると、アキュムレータベローズ３６の伸長に伴って圧縮された
アキュムレータ空気室４７のエアー封入圧よりも吐出圧が低くなるので、アキュムレータ
ベローズ３６は、アキュムレータ室４０の容積を減少するように収縮する。この収縮動作
によりアキュムレータ室４０から流出する移送液の流量は流入する流量よりも多くなくな
る。以上の動作をポンプ部５の移送液の吸入工程と吐出工程に応じて繰り返し、ダンパー
作用を行う。

以上、ポンプ部５のポンプ作用とアキュムレータ部６のダンパー作用によりベローズポ
ンプ１は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、脈動が吸収減衰されて略平滑
化された吐出圧で吐出口３から略一定流量で連続的に吐出し、液体移送を行う。

以上から明らかなように、第１実施例のベローズポンプ１は、要するに、移送液の吸入
口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の一側に配置さ
れるポンプ部５および他側に配置されるアキュムレータ部６とを備え、ポンプ部５は、ポ
ンプボディの４一側部に開口側端部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内
部にポンプ室１１を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポン
プベローズ７の軸方向外側にポンプボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、
ポンプベローズ７を内部に収容するようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に
向けてポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との
間にポンプベローズ７の開口側端部８を挟みポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド部
１５とでポンプ空気室１８を形成する第１シリンダ部１６、シリンダヘッド部１５から第
１シリンダ部１６と反対側にポンプベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成してピストン１
９が軸方向に摺動自在に嵌め込まれる第２シリンダ部１７とからなるポンプシリンダ１４
と、シリンダヘッド部１５の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズ７とピ
ストン１９を連結するポンプシャフト２２と、ポンプ室１１内でポンプボディ４に装着す
る吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６とを備え、ポンプ空気室１８と第２シリンダ
部１７内に交互に供給するエアーによりポンプベローズ７、ポンプシャフト２２、ピスト
ン１９が一体的に往復動し、ポンプベローズ７が伸縮を繰り返し、移送液をポンプベロー
ズ７の伸長時に吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に
吸入し、収縮時に吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するよう
に構成する一方、アキュムレータ部６は、ポンプボディ４の他側部に開口側端部３７が当
該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１から吐出側逆止弁２６を
通して吐出される移送液を一時的に貯留するアキュムレータ室４０を形成する軸方向に伸
縮可能な底付円筒状のアキュムレータベローズ３６と、アキュムレータベローズ３６の外
側に配置して開口側端部でポンプボディ４との間にアキュムレータベローズ３６の開口側
端部３７を挟みアキュムレータベローズ３６の外側にエアーを封入するアキュムレータ空
気室４０を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダ４４とを備え、ポンプ部５の吐
出圧の脈動をアキュムレータベローズ３６の伸縮により吸収するように構成している。

また、第１実施例のベローズポンプ１の構成要素のうち、ポンプ部５およびアキュムレ
ータ部６の接液部品であるポンプボディ４、ポンプベローズ７、吸入側逆止弁（弁ケース
およびスプリングを含む）２４および吐出側逆止弁（弁ケースおよびスプリングを含む）
２６、アキュムレータベローズ３６に加え、非接液部品であるポンプシリンダ１４、ピス
トン１９、ポンプシャフト２２、アキュムレータシリンダ４４も樹脂材料よりなる樹脂製
とし、ベローズポンプ１は樹脂化されたものになっている。

樹脂化の好ましい材料は次の通りである。ポンプボディ４、ポンプベローズ７、スリッ
パーリング２８，３０、アキュムレータベローズ３６、吸入側逆止弁２４および吐出側逆
止弁２６の弁ケースについては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹
脂が好ましい。吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６の弁本体とスプリングについて
も、ＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体）等のフッ素樹脂が好ましい。ポンプシリンダ１４、カバー２０、アキュムレータシリ
ンダ４４、圧力自動調整機構４９のボディ４９ａについては、ＰＰ（ポリプロピレン）等
の樹脂が好ましい。ポンプシャフト２２、ピストン１９については、ＰＰＳ（ポリフェニ
レンサルファイド）等の樹脂が好ましい。キャップ５５,５６については、ＰＥ（ポリエ
チレン）等の樹脂が好ましい。なお、Ｏリング２７，２９，３１，５７の他、このベロー
ズポンプ１に使用されるＯリングは全てフッ素ゴム製である。

次に、図３，図４を参照して本発明の第２実施例に係るベローズポンプを説明する。図
３は本発明の第２実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図４は図３の一
方のポンプ部の拡大図である。このベローズポンプ５８も、例えば半導体製造工場におい
て化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されるもので、全体的には、第
１実施例のベローズポンプ１におけるポンプ部５をポンプボディ４の両側に配置して構成
したものであり、第１実施例のベローズポンプ１と同一部分には同一符号を付し、その詳
しい説明を省略し、相違する部分について説明する。

すなわち、第２実施例のベローズポンプ５８は、ポンプボディ４と、このポンプボディ
４の両側（図３において左側と右側）に同一軸線Ｘ上で配置される一対のポンプ部５とで
構成されており、各ポンプ部５において、ピストン１９が、ポンプシリンダ１４の第１シ
リンダ部１６の外径より大径に形成され、それに伴い第２シリンダ部１７も、第１シリン
ダ部１６の外径より大径に形成されている。この各ポンプ部５のピストン１９同士が軸線
Ｘと平行な複数本の金属タイロッド５９により第１シリンダ部１６の径方向外側で相互に
連結されている。このタイロッド５９は、両端部に段差部５９ａ，５９ｂが形成され、両
段差部５９ａ，５９ｂによって各ポンプ部５のピストン１９同士を所定距離を保って連結
するもので、中間部が各ポンプ部５のポンプシリンダ１４の外面に形成されて直列に接合
されるフランジ部６０の中に軸方向（図３において左右方向）に摺動自在に挿通収容され
、段差部５９ａ，５９ｂより外側の両端小径部がピストン１９を貫通し、そのピストン１
９のカバー２０側に突出している。このピストン１９のカバー２０側に突出しているタイ
ロッド５９の両端部に金属ナット６１が螺着されている。また、フランジ部６０のタイロ
ッド５９との摺動部、すなわちタイロッド５９を挿通させる孔６２のシリンダヘッド部１
５側開口部の周囲には、これらの隙間をシールするためにスリッパーリング６３を介して
Ｏリング６４が装着され、タイロッド５９とこれを挿通させるピストン１９の孔６５の間
は、Ｏリング６６によって気密にシールされている。

ポンプボディ４の吸入口２は、各ポンプ部５の吸入側逆止弁２４の吸入ポート２３に通
じ、吐出口３は、各ポンプ部５の吐出側逆止弁２６の吐出ポート２５に通じている。また
、各ポンプ部５のポンプシリンダ１４のシリンダヘッド部１５には、第２シリンダ１７の
Ｏリング３１の装着位置よりシリンダヘッド１５側の内部にエアーを供給するベローズ伸
長用のエアー供給口３３のみが形成されており、一対の近接センサー３４，３５が、各ポ
ンプ部５に振り分けて設けられ、それぞれがカバー２０等に取り付けられてピストン１９
のポンプベローズ７伸長方向のストローク終端を検出する位置に配置されている。この近
接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しないエアー供給源から各ポンプ部５のエア
ー供給口３３へのエアー供給回路を切り換え、各ポンプ部５の第２シリンダ部１７内への
エアーの供給を交互に行うようにしている。すなわちベローズポンプ５８における移送液
の吸入工程と吐出工程の切り換え制御を行う。

そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５を軸線Ｘと平行な複数本の金属タ
イロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、一対のポンプ部５が一体化し
てなるベローズポンプ５８を構成している。

次に、上記のように構成されたベローズポンプ５８の動作を説明する。なお、ここでは
、図３において左側のポンプ部５を「左ポンプ部」と呼び、その左ポンプ部５の各構成要
素もその名称の前に「左」を付けて呼ぶことにする。対して図３において右側のポンプ部
５を「右ポンプ部」と呼び、その右ポンプ５の各構成要素もその名称の前に「右」を付け
て呼ぶことにする。ポンプボディ４の吸入口２が、左右吸入側逆止弁２４を通じて左右ポ
ンプ室１１に通じ、左右ポンプ室１１が、左右吐出側逆止弁２６通じてポンプボディ４の
吐出口３に通じている。エアー供給源から左エアー供給口３３を通じて左第２シリンダ１
７内にエアーが供給されると（このとき、右エアー供給口３３は大気に開放される。）、
左第２シリンダ１７内の左ピストン１９より左シリンダヘッド部１５側の圧力が高まるの
で、左ピストン１９が図３において左方向に移動し、これと一体的に左ポンプシャフト２
２および左ポンプベローズ７の可動板部９も図３において左方向に移動する。すなわち左
ポンプ部５の左ポンプベローズ７が伸長する。この左ポンプベローズ７の伸長動作は、左
ピストン１９からタイロッド５９を介して右ポンプ部５の右ピストン１９に伝達され、こ
の右ピストン１９が図３において左方向に移動し、これと一体的に右ポンプシャフト２２
および右ポンプベローズ７の可動板部９も図３において左方向に移動する。すなわち右ポ
ンプ部５の右ポンプベローズ７が収縮する。この動作で、左吸入側逆止弁２４が開、左吐
出側逆止弁２６が閉、右吸入側逆止弁２４が閉、右吐出側逆止弁２６が開になるので、移
送液がポンプボディ４の吸入口２から左吸入側逆止弁２４を通じて左ポンプ室１１に吸入
され（左ポンプ部５の吸入工程）、右ポンプ室１１の移送液が右吐出側逆止弁２６を通じ
てポンプボディ４の吐出口３から吐出される（右ポンプ部５の吸入工程）。続いて、エア
ー供給源から右エアー供給口３３を通じて右第２シリンダ１７内にエアーが供給されると
（このとき、左エアー供給口３３は大気に開放される。）、右第２シリンダ１７内の右ピ
ストン１９より右シリンダヘッド部１５側の圧力が高まるので、右ピストン１９が図３に
おいて右方向に移動し、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右ポンプベローズ７
の可動板部９も図３において右方向に移動する。すなわち右ポンプ部５の右ポンプベロー
ズ７が伸長する。この右ポンプベローズ７の伸長動作は、右ピストン１９からタイロッド
５９を介して左ポンプ部５の左ピストン１９に伝達され、この左ピストン１９が図３にお
いて右方向に移動し、これと一体的に左ポンプシャフト２２および左ポンプベローズ７の
可動板部９も図３において右方向に移動する。すなわち左ポンプ部５の左ポンプベローズ
７が収縮する。この動作で、右吸入側逆止弁２４が開、右吐出側逆止弁２６が閉、左吸入
側逆止弁２４が閉、左吐出側逆止弁２６が開になるので、移送液がポンプボディ４の吸入
口２から右吸入側逆止弁２４を通じて右ポンプ室１１に吸入され（右ポンプ部５の吸入工
程）、左ポンプ室１１の移送液が左吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３
から吐出される（右ポンプ部５の吸入工程）。以上の動作をベローズポンプ５８における
移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。

以上、一対の左右ポンプ部５の吸入工程と吐出工程を交互に行うポンプ作用によりベロ
ーズポンプ５８は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、吐出口３から吐出し
、液体移送を行う。なお、第１実施例のベローズポンプ１におけるアキュムレータ部６と
同様の構造・機能を備えるアキュムレータ単体を、ベローズポンプ５８の吐出側に付設す
ることで、ベローズポンプ５８の吐出圧の脈動を吸収減衰して略平滑化し、液体移送を略
一定流量で連続的に行える。

以上から明らかなように、第２実施例のベローズポンプ５８は、要するに、移送液の吸
入口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の両側に配置
される一対のポンプ部５とを備え、各ポンプ部５は、ポンプボディ４の一側部に開口側端
部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１を形成する軸方
向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポンプベローズ７の軸方向外側にポン
プボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、ポンプベローズ７を内部に収容す
るようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に向けてポンプベローズ７と同一軸
線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端
部８を挟みポンプベローズ７の外側にシリンダヘッド部１５とでポンプ空気室１８を形成
する第１シリンダ部１６、シリンダヘッド部１５から第１シリンダ部１６と反対側にポン
プベローズ７と同一軸線Ｘ上に突出形成してピストン１９が軸方向に摺動自在に嵌め込ま
れる第２シリンダ部１７とからなるポンプシリンダ１４と、シリンダヘッド部１５の中心
部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズ７とピストン１９を連結するポンプシャ
フト２２と、ポンプ室１１内でポンプボディ４に装着する吸入側逆止弁２４および吐出側
逆止弁２６とを備え、各ポンプ部５のピストン１９同士を連結し、各ポンプ部５の吸入側
逆止弁２４の吸入ポート２３をポンプボディ４の吸入口２に連通接続すると共に、吐出側
逆止弁２６の吐出ポート２５を吐出口３に連通接続し、各ポンプ部５の第２シリンダ１７
内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部５のポンプベローズ７、ポンプシャフト２２
、ピストン１９が同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部５のポンプベローズ７が交互
に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部５がポンプベローズ７の伸長により吸入側逆
止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に吸入するとき、他方のポ
ンプ部５がポンプベローズ７の収縮により吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐
出口３から吐出するように構成している。

また、第２実施例のベローズポンプ５８についても第１実施例のベローズポンプ１と同
様の樹脂化がなされている。

次に、図５，図６を参照して本発明の第３実施例に係るベローズポンプを説明する。図
５は本発明の第３実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図、図６は図５の一
方のポンプ部の拡大図である。このベローズポンプ６７も、例えば半導体製造工場におい
て化学薬液、溶剤、純水等の液体移送用ポンプとして使用されるもので、全体的には、第
１実施例のベローズポンプ１におけるポンプ部５をポンプボディ４の両側に配置して構成
したもの、すなわち第２実施例のベローズポンプ５８と同構造であり、第２実施例のベロ
ーズポンプ５８と同一部分には同一符号を付し、その詳しい説明を省略し、相違する部分
について説明する。

すなわち、第３実施例のベローズポンプ６７は、ポンプボディ４と、このポンプボディ
４の両側（図５において左側と右側）に同一軸線Ｘ上で配置される一対のポンプ部５とで
構成されており、各ポンプ部５において、ポンプシリンダ１４は、第２シリンダ部１７を
持っていない。それに伴いカバー２０が、シリンダヘッド部１５に直接ボルト締めで着脱
自在に取り付けられてピストン部を覆っており、第２実施例のベローズポンプ５８のピス
トン１９は、両側のポンプ部５のポンプシャフト７同士をタイロッド５９を介して連結す
る単なる円板状の連結板６８になっている。また、各ポンプ部５のポンプシリンダ１４の
シリンダヘッド部１５には、ポンプ空気室１８にエアーを供給するベローズ伸長用のエア
ー供給口３２のみが形成されており、近接センサー３４，３５の出力に基づいて図示しな
いエアー供給源から各ポンプ部５のエアー供給口３２へのエアー供給回路を切り換え、各
ポンプ部５のポンプ空気１８へのエアーの供給を交互に行うようにしている。すなわちベ
ローズポンプ６７における移送液の吸入工程と吐出工程の切り換え制御を行う。

そして、ポンプボディ４両側のシリンダヘッド部１５を軸線Ｘと平行な複数本の金属タ
イロッド５０を用いて締め付けることで、ポンプボディ４、一対のポンプ部５が一体化し
てなるベローズポンプ６７を構成している。

次に、上記のように構成されたベローズポンプ６７の動作を説明する。なお、ここでも
、図５において左側のポンプ部５を「左ポンプ部」と呼び、その左ポンプ部５の各構成要
素もその名称の前に「左」を付けて呼ぶことにする。対して図５において右側のポンプ部
５を「右ポンプ部」と呼び、その右ポンプ５の各構成要素もその名称の前に「右」を付け
て呼ぶことにする。ポンプボディ４の吸入口２が、左右吸入側逆止弁２４を通じて左右ポ
ンプ空１１に通じ、左右ポンプ室１１が、左右吐出側逆止弁２６通じてポンプボディ４の
吐出口３に通じている。エアー供給源から右エアー供給口３２を通じて右ポンプ空気室１
８にエアーが供給されると（このとき、左エアー供給口３２は大気に開放される。）、右
ポンプ空気室１８の圧力が高まるので、右ポンプベローズ７が収縮する。この右ポンプベ
ローズ７の収縮動作により右吸入側逆止弁２４が閉、右吐出側逆止弁２６が開になるので
、右ポンプ室１１の移送液が右吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３から
吐出される（右ポンプ部５の吐出工程）。また、右ポンプベローズ７の収縮時には、これ
と一体的に右ポンプシャフト２２および右連結板６８が図５において左方向に移動する。
この右ポンプベローズ７の収縮動作は、右連結板６８からタイロッド５９を介して左ポン
プ部５の左連結板６８に伝達され、この左連結板６８が図５において左方向に移動し、こ
れと一体的に左ポンプシャフト２２および左ポンプベローズ７の可動板部９も図５におい
て左方向に移動する。すなわち左ポンプ部５の左ポンプベローズ７が伸長する。この動作
で、左吸入側逆止弁２４が開、左吐出側逆止弁２６が閉になるので、移送液がポンプボデ
ィ４の吸入口２から左吸入側逆止弁２４を通じて左ポンプ室１１に吸入される（左ポンプ
部５の吸入工程）。続いて、エアー供給源から左エアー供給口３２を通じて左ポンプ空気
室１８にエアーが供給されると（このとき、右エアー供給口３２は大気に開放される。）
、左ポンプ空気室１８の圧力が高まるので、左ポンプベローズ７が収縮する。この左ポン
プベローズ７の収縮動作により左吸入側逆止弁２４が閉、左吐出側逆止弁２６が開になる
ので、左ポンプ室１１の移送液が左吐出側逆止弁２６を通じてポンプボディ４の吐出口３
から吐出される（左ポンプ部５の吐出工程）。また、左ポンプベローズ７の収縮時には、
これと一体的に左ポンプシャフト２２および左連結板６８が図５において右方向に移動す
る。この左ポンプベローズ７の収縮動作は、左連結板６８からタイロッド５９を介して右
ポンプ部５の右連結板６８に伝達され、この右連結板６８が図５において右方向に移動し
、これと一体的に右ポンプシャフト２２および右ポンプベローズ７の可動板部９も図５に
おいて右方向に移動する。すなわち右ポンプ部５の右ポンプベローズ７が伸長する。この
動作で、右吸入側逆止弁２４が開、右吐出側逆止弁２６が閉になるので、移送液がポンプ
ボディ４の吸入口２から右吸入側逆止弁２４を通じて右ポンプ室１１に吸入される（右ポ
ンプ部５の吸入工程）。以上の動作をベローズポンプ６７における移送液の吸入工程と吐
出工程の切り換え制御により繰り返し、ポンプ作用を行う。

以上、一対の左右ポンプ部５の吸入工程と吐出工程を交互に行うポンプ作用によりベロ
ーズポンプ６７は、移送液をポンプボディ４の吸入口２から吸入し、吐出口３から吐出し
、液体移送を行う。なお、第１実施例のベローズポンプ１におけるアキュムレータ部６と
同様の構造・機能を備えるアキュムレータ単体を、ベローズポンプ６７の吐出側に付設す
ることで、ベローズポンプ６７の吐出圧の脈動を吸収減衰して略平滑化し、液体移送を略
一定流量で連続的に行える。

以上から明らかなように、第３実施例のベローズポンプ６７は、要するに、移送液の吸
入口２および吐出口３が形成されているポンプボディ４と、ポンプボディ４の両側に配置
される一対のポンプ部５とを備え、各ポンプ部５は、ポンプボディ４の一側部に開口側端
部８が当該ポンプボディ４に接合するように配置して内部にポンプ室１１を形成する軸方
向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズ７と、ポンプベローズ７の軸方向外側にポン
プボディ４と対向状に配置するシリンダヘッド部１５、ポンプベローズ７を内部に収容す
るようにシリンダヘッド部１５からポンプボディ４側に向けてポンプベローズ７と同一軸
線Ｘ上に突出形成され開口側端部でポンプボディ４との間にポンプベローズ７の開口側端
部８を挟みポンプベローズ８の外側にシリンダヘッド部１５とでポンプ空気室１８を形成
する第１シリンダ部１６とからなるポンプシリンダ１４と、シリンダヘッド部１５の中心
部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズ７に連結するポンプシャフト２
２と、ポンプシャフト２２の他端側に連結する連結板６８と、ポンプ室１１内でポンプボ
ディ４に装着する吸入側逆止弁２４および吐出側逆止弁２６とを備え、各ポンプ部５の連
結板６８同士を連結し、各ポンプ部５の吸入側逆止弁２４の吸入ポート２３をポンプボデ
ィ４の吸入口２に連通接続すると共に、吐出側逆止弁２６の吐出ポート２５を吐出口３に
連通接続し、各ポンプ部５のポンプ室１１に交互に供給するエアーにより各ポンプ部５の
ポンプベローズ７、ポンプシャフト２２、連結板６７が同一方向に一体的に往復動し、ポ
ンプベローズ７が交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部５がポンプベローズ７
の伸長により吸入側逆止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２からポンプ室１１に吸
入するとき、他方のポンプ部５がポンプベローズ７の収縮により吐出側逆止弁２６を通し
てポンプボディ４の吐出口３から吐出するように構成している。

また、第３実施例のベローズポンプ６７についても第２実施例のベローズポンプ５８と
同様の樹脂化がなされている。

以上から明らかなように、第１〜第３実施例のベローズポンプ１，５８，６７は、軸方
向に伸縮するポンプベローズ７を備え、移送液をポンプベローズ７の伸長により吸入側逆
止弁２４を通してポンプボディ４の吸入口２から当該ポンプベローズ７内に吸入し、収縮
により吐出側逆止弁２６を通してポンプボディ４の吐出口３から吐出するものである。ま
た、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプベローズ７とポンプシャフト２２並びにポ
ンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８、すなわち一体的に往復動するポンプベロ
ーズ７、ポンプャフト２２、ピストン１９や連結板６７の三者は、各ベローズポンプ１，
５８，６７の対応図から明らかなように、同じ連結構造（方法）により連結されており、
その連結構造を以下に説明する。

先ず、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連
結構造を説明する。すなわち、図２、図４、図６に拡大して示すように、ポンプシャフト
２２には、その一端側外面（ポンプベローズ７側外面）に雄ネジ６９が形成され、ポンプ
シャフト２２はボルト構造になっている。対して底付円筒状のポンプベローズ７には、そ
の底部中心部から当該ポンプベローズ７内に同一軸線Ｘ上に底付円筒状の軸体ネジ込み部
７０が突出形成され、この軸体ネジ込み部７０の内面には、ポンプシャフト２２の雄ネジ
６９と螺合する雌ネジ７１が形成されており、ポンプベローズ７はその中心部に軸継ぎ手
を一体化したものになっている。これにより、ポンプシャフト２２の一端側をポンプベロ
ーズ７の中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成している。

上記のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連結構造によれば、ポンプベローズ７
の中心部に設けた軸体ネジ込み部７０にポンプシャフト２２を直接ネジ込むことで、フラ
ンジと複数のボルトを使用することなく、ポンプベローズ７とポンプシャフト２２を同一
軸線Ｘ上に連結し配置することができる。このように、締結部品を無くすことで、締結部
品の緩み、脱落によるベローズポンプ１，５８，６７のトラブルを回避することができる
。すなわちポンプシャフト２２の摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔２１の
周囲の偏磨耗を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の寿命を延ばすこと
ができると共に、摺動抵抗の増加によるベローズポンプ１，５８，６７の性能の低下を防
止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の性能を長期間維持することができる
。ボルトの脱落によるベローズポンプ１，５８，６７の動作不良及び損傷が皆無になる。
また、ベローズポンプ１，５８，６７の軸方向の長さを少なくともフランジの厚さ寸法と
ボルト頭部の厚さ寸法を合わせた寸法分縮小することができ、ベローズポンプ１，５８，
６７のコンパクト化を実現することがでる。さらに、部品点数の削減およびそれに伴う組
立工数の削減によりベローズポンプ１，５８，６７の生産性の向上およびコストダウンを
実現することができる。

また、ポンプボディ４には、その中心部にポンプベローズ７の軸体ネジ込み部７０の外
径より若干大きい直径を有し、かつ、ポンプベローズ７の伸長ストロークより長い深さを
有する円形の凹部７２が同芯状に設けられている。軸体ネジ込み部７０は、その先端側が
ポンプボディ４の凹部７２に常時（ポンプベローズ７が収縮したときは無論、伸長したと
きも）嵌り込む長さに形成され、ポンプベローズ７の軸体ネジ込み部７０は、その先端側
がポンプボディ４の凹部７２に常時嵌め込まれている。

上記のポンプベローズ７とポンプシャフト２２の連結構造によれば、ポンプベローズ７
とポンプシャフト２２のネジ結合力を十分に確保しながら、ベローズポンプ１，５８，６
７のコンパクト化を実現することができる。また、ポンプベローズ７内、すなわちポンプ
室１１の中心部が軸体ネジ込み部７０によって埋められることで、ポンプベローズ７の全
内容積（ポンプ室１１全体の容積）に対する蛇腹部分（伸縮胴部１０：ポンプ作用を発揮
する部分）の容積割合が増加するように、ポンプベローズ７の全内容積（ポンプ室１１全
体の容積）を減少させることができる。このため、ベローズポンプ１，５８，６７の起動
時の立ち上がりが早くなると共に、吐出圧も高くなり、内液構造のベローズポンプ１，５
８，６７の性能を向上することができる。

次に、各ベローズポンプ１，５８，６７のポンプシャフト２２とピストン１９や連結板
６８の連結構造を説明する。すなわち、図２、図４、図６に拡大して示すように、ポンプ
シャフト２２には、その他端（ピストン１９側端や連結板６８側端）にその直径よりも大
きい直径を有する円形の係合頭部７３が一体に形成されている。対してピストン１９や連
結板６８には、ポンプシャフト２２の他端を係合頭部７３も含めて嵌め込み可能な段付の
中心孔７４が形成されている。この中心孔７４は、段差面７５より一側（ピストン１９や
連結板６８のシリンダヘッド部１５側）の孔径を他側（ピストン１９や連結板６８のシリ
ンダヘッド部１５側と反対側）より大とした断面円形の段付孔であって、小径孔部７６の
孔径がポンプシャフト２２の胴部外径と略同じ径に形成され、大径孔部７７の孔径がポン
プシャフト２２の係合頭部７３の外径と略同じ径に形成されている。また、ポンプシャフ
ト２２には、中心孔７４との隙間を埋めるための弾性材料よりなる環状シール部材、例え
ばフッ素樹脂製のＯリング７８が装着されている。このＯリング７８は、ポンプシャフト
２２の小径孔部７６に嵌り込む部分に装着されている。これにより、ポンプシャフト２２
の他端側をピストン１９や連結板６８の中心部に嵌合により連結可能に構成している。な
お、Ｏリング７８は、中心孔７４側、すなわちピストン１９や連結板６８に装着してもよ
い。

上記のポンプシャフト２２とピストン１９や連結板６８の連結構造によれば、ポンプシ
ャフト２２の中心孔７４に嵌り込む部分又は孔７４側にＯリング７８を装着し、ピストン
１９や連結板６８の中心孔７４にポンプベローズ７収縮方向で嵌め込むことで、ポンプシ
ャフト２２と中心孔７４の隙間をＯリング７８で埋めることができ、Ｏリング７８がポン
プシャフト２２の径方向の位置決めを行い、ポンプシャフト２２とピストン１９や連結板
６８をボルトやナットで締結する必要がなく、容易にポンプシャフト２２とピストン１９
や連結板６８を同一軸線Ｘ上に連結し配置できる。このように、締結部品を無くすことで
、締結部品の緩み、脱落によるベローズポンプ１，５８，６７のトラブルを回避すること
ができる。すなわちピストン１９の摺動部、すなわち第２シリンダ部１７の内面の偏磨耗
を防止することができ、また、連結板６８がポンプシャフト２２に対し斜めに荷重をかけ
るのを防止でき、ポンプシャフト２２の摺動部、すなわちシリンダヘッド部１５の中心孔
２１の周囲の偏磨耗を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の寿命を延ば
すことができると共に、摺動抵抗の増加によるベローズポンプ１，５８，６７の性能の低
下を防止することができ、ベローズポンプ１，５８，６７の性能を長期間維持することが
できる。ボルトの脱落によるベローズポンプ１，５８，６７の動作不良及び損傷が皆無に
なる。また、部品点数の削減およびそれに伴う組立工数の削減によりベローズポンプ１，
５８，６７の生産性の向上およびコストダウンを実現することができる。また、ピストン
１９や連結板６８の中心孔７４を係合頭部７３も含めてポンプシャフト２２の他端を嵌め
込み可能な段付にしているので、ベローズポンプ１，５８，６７の軸方向の長さを少なく
ともボルト頭部やナットの厚さ寸法分縮小することができ、ベローズポンプ１，５８，６
７のコンパクト化も同時に実現することができる。

而して、ポンプシャフト２２の中心孔７４に嵌り込む部分又は孔７４側にＯリング７８
を装着した後、このポンプシャフト２２をポンプベローズ７収縮方向でピストン１９や連
結板６８の中心孔７４、シリンダヘッド部１５の中心孔２１に通し、ポンプシャフト２２
の先端側をポンプシリンダ１４内に挿入し、そのポンプシャフト２２の挿入部を、ポンプ
シャフト２２の先端面が軸体ネジ込み部７０の底面に突き当たるまで、ポンプベローズ７
の軸体ネジ込み部７０に直接ネジ込むことで、各図に示すように、ポンプベローズ７、ポ
ンプャフト２２、ピストン１９や連結板６７の三者が、締結部品を用いることなく、同一
軸線Ｘ上に連結し配置できる。

なお、第２および第３実施例のダブルベローズ型のベローズポンプ５８，６７の場合、
ピストン１９や連結板６７の外側面には、ポンプベローズ７を収縮させる際、ポンプシャ
フト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防止するシャフトストッパー８０が着
脱自在に取り付けられている。このシャフトストッパー８０は、ピストン１９や連結板６
７と同様の樹脂材料からなり、底付き円筒状に形成されている。一方、ピストン１９や連
結板６７の外側面には、中心孔７４の周囲にシャフトストッパー８０を嵌合可能な円環状
の溝８１が同芯状に形成されている。また、シャフトストッパー８０の外周面とそれに対
応する溝８０の外周面のは相互に螺合するネジ８２ａ，８２ｂが形成されている。而して
、シャフトストッパー８０は、ピストン１９や連結板６７の外側面から溝８１にねじ込み
結合され、中心孔７４のポンプシャフト挿入側を閉じ、シャフトストッパー８０の内底面
をポンプシャフト２２の係合頭部７３に密着させ、シャフトストッパー８０の内底面と中
心孔７４の段差面７５との間でポンプシャフト２２の係合頭部７３を挟持し、ポンプベロ
ーズ７を収縮させる際、ポンプシャフト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防
止し、一方のポンプベローズ７の伸長動作を他方のポンプベローズ７に伝達して収縮動作
させるように構成している。なお、シャフトストッパーは、ポンプベローズ７を収縮させ
る際、ポンプシャフト２２のピストン１９や連結板６７からの抜けを防止できるものであ
ればよく、上記以外の構造のものでもよい。

本発明の第１実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図１のベローズポンプのポンプ部の拡大断面図である。 本発明の第２実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図３の一方のポンプ部の拡大図である。 本発明の第３実施例に係るベローズポンプの内部構造を示す断面図である。 図５の一方のポンプ部の拡大図である。

１，５８，６７ ベローズポンプ
２ 吸入口
３ 吐出口
４ ポンプボディ
５ ポンプ部
６ アキュムレータ部
７ ポンプベローズ
８ 接合部
１１ ポンプ室
１４ ポンプシリンダ
１５ シリンダヘッド部
１６ 第１シリンダ部
１７ 第２シリンダ部
１８ ポンプ空気室
１９ ピストン
２１ 中心孔
２２ ポンプシャフト（軸体）
２４ 吸入側逆止弁
２６ 吐出側逆止弁
３６ アキュムレータベローズ
３７ 接合部
４０ アキュムレータ室
４４ アキュムレータシリンダ
４５ シリンダヘッド部
４６ シリンダ部
４７ アキュムレータ空気室
６８ 連結板
６９ 雄ネジ
７０ 軸体ネジ込み部
７１ 雌ネジ
７２ 凹部
７３ 係合頭部
７４ 中心孔
７８ Ｏリング（環状シール部材）
Ｘ 軸線

Claims (11)

1. 軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸入し、収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポンプにおいて、一端側外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状であって、底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジを有する底付円筒状の軸体ネジ込み部を設け、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成し、
   前記軸体によりポンプベローズと連結するピストンを備え、前記軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズの収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着することを特徴とするベローズポンプ。
2. 軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸入し、収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポンプにおいて、一端側外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状であって、底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジを有する底付円筒状の軸体ネジ込み部を設け、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連結可能に構成し、
   前記軸体によりポンプベローズと連結するピストンを備え、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、ピストンは軸体の他端を係合頭部も含めて嵌め込み可
   能な段付の中心孔を設け、軸体を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着することを特徴とするベローズポンプ。
   
3. 前記ポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌り込む長さを有する請求項１または請求項２に記載のベローズポンプ。
4. 軸方向に伸縮するポンプベローズを備え、移送液をポンプベローズの伸長により吸入側
   逆止弁を通してポンプボディの吸入口から当該ポンプベローズ内に吸入し、収縮により吐
   出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するベローズポンプにおいて、一端側
   外面に雄ネジを有する軸体を備え、ポンプベローズは底付円筒状であって、底部中心部か
   ら当該ポンプベローズ内に同一軸線上に突出形成する内面に雌ネジを有する底付円筒状の
   軸体ネジ込み部を設け、軸体の一端側をポンプベローズの中心部に直接ネジ結合により連
   結可能に構成し、
   前記軸体によりポンプベローズと連結する連結板を備え、軸体の他端にその直径よりも大きい直径を有する係合頭部を設け、連結板は軸体を中心部に挿通させる中心孔を設け、軸体
   を中心孔にポンプベローズ収縮方向で嵌め込むと共に、軸体の中心孔に嵌り込む部分又は
   孔側に弾性材料よりなる環状シール部材を装着することを特徴とするベローズポンプ。
5. 前記ポンプボディの中心部に凹部を設け、軸体ネジ込み部は、その先端側がポンプボディの凹部に常時嵌り込む長さを有する請求項４に記載のベローズポンプ。
6. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの一側に
   配置されるポンプ部および他側に配置されるアキュムレータ部とを備え、ポンプ部は、ポ
   ンプボディの一側部に開口側端部が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポ
   ンプ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの
   軸方向外側にポンプボディと対向状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部
   に収容するようにシリンダヘッド部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸
   線上に突出形成され開口側端部でポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟
   みポンプベローズの外側にシリンダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部
   、シリンダヘッド部から第１シリンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形
   成してピストンを軸方向に摺動自在に嵌め込む第２シリンダ部とからなるポンプシリンダ
   と、シリンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストン
   を連結する軸体と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止
   弁とを備え、ポンプ空気室と第２シリンダ部内に交互に供給するエアーによりポンプベロ
   ーズ、軸体、ピストンが一体的に往復動し、ポンプベローズが伸縮を繰り返し、移送液を
   ポンプベローズの伸長時に吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸
   入し、収縮時に吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成する
   一方、アキュムレータ部は、ポンプボディの他側部に開口側端部が当該ポンプボディに接
   合するように配置して内部にポンプ室から吐出側逆止弁を通して吐出される移送液を一時
   的に貯留するアキュムレータ室を形成する軸方向に伸縮可能な底付円筒状のアキュムレー
   タベローズと、アキュムレータベローズの外側に配置して開口側端部でポンプボディとの
   間にアキュムレータベローズの開口側端部を挟みアキュムレータベローズの外側にエアー
   を封入するアキュムレータ空気室を形成する底付円筒状のアキュムレータシリンダとを備
   え、ポンプ部の吐出圧の脈動をアキュムレータベローズの伸縮により吸収するように構成
   し、ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが、請求項１−３のいずれかに記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプ。
7. ポンプ部およびアキュムレータ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸
   入側逆止弁および吐出側逆止弁、アキュムレータベローズに加え、非接液部品であるポン
   プシリンダ、ピストン、軸体、アキュムレータシリンダが樹脂材料よりなる請求項６記載
   のベローズポンプ。
8. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に
   配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部
   が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可
   能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向
   状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド
   部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部で
   ポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリン
   ダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部、シリンダヘッド部から第１シリ
   ンダ部と反対側にポンプベローズと同一軸線上に突出形成してピストンを軸方向に摺動自
   在に嵌め込む第２シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シリンダヘッド部の中心部を
   軸方向に摺動自在に貫通してポンプベローズとピストンを連結する軸体と、ポンプ室内で
   ポンプボディに装着する吸入側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部のピスト
   ン同士を連結し、各ポンプ部の吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通
   接続すると共に、吐出側逆止弁の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部の第２シ
   リンダ内に交互に供給するエアーにより各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、ピストンが
   同一方向に一体的に往復動し、各ポンプ部のポンプベローズが交互に伸縮を繰り返し、移
   送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により吸入側逆止弁を通してポンプボディ
   の吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ部がポンプベローズの収縮により吐
   出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出するように構成し、各ポンプ部のポン
   プベローズ、軸体、ピストンが、請求項１−３のいずれかに記載のポンプベローズ、軸体、ピストンの連結構造により連結されているベローズポンプ。
9. 各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出
   側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、ピストン、軸体も樹脂材料よりなる
   請求項８記載のベローズポンプ。
10. 移送液の吸入口および吐出口が形成されているポンプボディと、ポンプボディの両側に
    配置される一対のポンプ部とを備え、各ポンプ部は、ポンプボディの一側部に開口側端部
    が当該ポンプボディに接合するように配置して内部にポンプ室を形成する軸方向に伸縮可
    能な底付円筒状のポンプベローズと、ポンプベローズの軸方向外側にポンプボディと対向
    状に配置するシリンダヘッド部、ポンプベローズを内部に収容するようにシリンダヘッド
    部からポンプボディ側に向けてポンプベローズと同一軸線上に突出形成され開口側端部で
    ポンプボディとの間にポンプベローズの開口側端部を挟みポンプベローズの外側にシリン
    ダヘッド部とでポンプ空気室を形成する第１シリンダ部とからなるポンプシリンダと、シ
    リンダヘッド部の中心部を軸方向に摺動自在に貫通して一端側をポンプベローズに連結す
    る軸体と、軸体の他端側に連結する連結板と、ポンプ室内でポンプボディに装着する吸入
    側逆止弁および吐出側逆止弁とを備え、各ポンプ部の連結板同士を連結し、各ポンプ部の
    吸入側逆止弁の吸入ポートをポンプボディの吸入口に連通接続すると共に、吐出側逆止弁
    の吐出ポートを吐出口に連通接続し、各ポンプ部のポンプ室に交互に供給するエアーによ
    り各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が同一方向に一体的に往復動し、ポンプベ
    ローズが交互に伸縮を繰り返し、移送液を一方のポンプ部がポンプベローズの伸長により
    吸入側逆止弁を通してポンプボディの吸入口からポンプ室に吸入するとき、他方のポンプ
    部がポンプベローズの収縮により吐出側逆止弁を通してポンプボディの吐出口から吐出す
    るように構成し、各ポンプ部のポンプベローズ、軸体、連結板が、請求項４又は請求項５記載のポンプベローズ、軸体、連結板の連結構造により連結されているベローズポンプ。
11. 各ポンプ部の接液部品であるポンプボディ、ポンプベローズ、吸入側逆止弁および吐出
    側逆止弁に加え、非接液部品であるポンプシリンダ、軸体も樹脂材料よりなる請求項１０
    記載のベローズポンプ。

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