JP2001342965A - 密閉式ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の密閉式ポンプ装置としてベローズ式ポ
ンプが知られているが、ベローズの疲労による破損を防
ぐために伸縮量を大きくとることができず、体格が大き
くなる不具合があった。 【解決手段】 密閉式ポンプ装置は、シリンダ３の両側
に配置した第１、第２ベローズ９、１０の伸縮による容
積変化によってピストン４を往復駆動し、そのピストン
４の両側に形成される第１、第２ポンプ室１１、１２の
容積変化によって、作動流体の吸引と圧送を行うもので
ある。この構成を採用することにより、ベローズの１回
の伸縮で、作動流体を２回連続吸引するとともに、作動
流体を２回連続吐出する。これによって、従来に比較し
てポンプ能力が高くなり、密閉式ポンプ装置の体格を小
型化できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、外部との遮断性に
優れた密閉式ポンプ装置に関するものであり、可燃性流
体や毒性流体に用いて好適な技術である。

【０００２】

【従来の技術】密閉式ポンプ装置として、特開平１０−
１４８２５８号公報に開示されたベローズ式ポンプが知
られている。この密閉式ポンプ装置は、密閉構造のベロ
ーズの内部をポンプ室として利用するものであり、ベロ
ーズの伸縮による容積変化を利用して作動流体の吸入お
よび吐出を行うものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の密閉式
ポンプ装置（ベローズ式ポンプ）では、伸縮に伴う内部
応力によってベローズに疲労が蓄積して破損する課題が
ある。この課題を解決する手段として、前記応力がベロ
ーズの疲労限界以下となる範囲で伸縮させる必要があ
る。つまり、ベローズの全長に対して伸縮量を大きくと
ることができず、密閉式ポンプ装置の体格が大きくなっ
てしまう。本発明の目的は、ポンプ能力を高めること
で、密閉式ポンプ装置の体格を小型化することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】〔請求項１の手段〕請求
項１の手段を採用することにより、一方のベローズが縮
む際（この時、他方のベローズが伸びる）、ピストンに
よって区画されたシリンダ内における一方側のポンプ室
が作動流体の吸引を行い、他方側のポンプ室が作動流体
の吐出を行う。続いて、一方のベローズが伸びる際（こ
の時、他方のベローズが縮む）、ピストンによって区画
されたシリンダ内における一方側のポンプ室が作動流体
の吐出を行い、他方側のポンプ室が作動流体の吸引を行
う。つまり、ベローズの１回の伸縮で、作動流体を２回
連続吸引するとともに、作動流体を２回連続吐出する。
このため、請求項１にかかる密閉式ポンプ装置は、従来
に比較してポンプ能力が高く、密閉式ポンプ装置の体格
を従来に比較して小型化することができる。

【０００５】〔請求項２の手段〕請求項２の手段を採用
して、ベローズを伸縮させる手段を具備する密閉式ポン
プ装置を用いても良い。

【０００６】〔請求項３の手段〕請求項３の手段を採用
して、カム手段およびこのカム手段を駆動するモータを
包含する変換手段を用いても良い。

【０００７】〔請求項４の手段〕請求項４の手段を採用
しても、上記で示した請求項１の手段と同様の効果を得
ることができる。つまり、請求項４の手段を採用するこ
とにより、ベローズの１回の伸縮で、作動流体を２回連
続吸引するとともに、作動流体を２回連続吐出する。こ
のため、請求項４にかかる密閉式ポンプ装置は、従来に
比較してポンプ能力が高く、密閉式ポンプ装置の体格を
従来に比較して小型化することができる。

【０００８】〔請求項５の手段〕請求項５の手段は、請
求項４の発明を具体的に開示したものである。請求項５
の手段を採用することにより、第１ベローズが縮む際
（この時、第２ベローズが伸びる）、ピストンによって
区画されたシリンダ内における第１ベローズ側のポンプ
室が作動流体の吸引を行い、第２ベローズ側のポンプ室
が作動流体の吐出を行う。続いて、第１ベローズが伸び
る際（この時、第２ベローズが縮む）、ピストンによっ
て区画されたシリンダ内における第１ベローズ側のポン
プ室が作動流体の吐出を行い、第２ベローズ側のポンプ
室が作動流体の吸引を行う。つまり、ベローズの１回の
伸縮で、作動流体を２回連続吸引するとともに、作動流
体を２回連続吐出する。このため、従来に比較してポン
プ能力が高く、密閉式ポンプ装置の体格を従来に比較し
て小型化することができる。

【０００９】〔請求項６の手段〕請求項６の手段を採用
することにより、２つのベローズ内における容積変化を
確実にピストンに伝えることができ、ピストンの往復駆
動を効率的に行うことができる。

【００１０】〔請求項７の手段〕請求項７の手段を採用
することにより、軸部材がシリンダ内のポンプ室とは異
なる側に摺動する際に、楔溝内の非圧縮流体がベローズ
内に戻される。このため、ベローズ内に封入された非圧
縮流体がポンプ室内に流入して作動流体に混入する不具
合を抑えることができる。

【００１１】〔請求項８の手段〕請求項８の手段を採用
することにより、軸部材と軸受部材の間から非圧縮流体
がシリンダ内のポンプ室側へ例え漏れたとしても、その
漏れた非圧縮流体は、小径のベローズによって内部に封
入される。このため、ベローズ内に封入された非圧縮流
体がポンプ室内に流入して作動流体に混入する不具合を
確実になくすことができる。

【００１２】〔請求項９の手段〕請求項９の手段を採用
することにより、シリンダの内部でピストンが摺動しな
いため、摺動によって発生する摺動粉が作動流体に混入
する不具合がない。

【００１３】〔請求項１０の手段〕請求項１０の手段を
採用することにより、シリンダ内においてピストンの両
側に形成される２つのポンプ室間の圧力が、ピストンの
外周面に設けた溝によって分断されるため、２つのポン
プ室間の圧力差が確保でき、２つのポンプ室間における
流体の内部漏れを抑えることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、複数の実
施例および変形例を用いて説明する。 〔第１実施例〕図１は密閉式ポンプ装置の断面図であ
る。この密閉式ポンプ装置は、大別して、ポンプユニッ
ト１と駆動機構２から構成される。なお、この実施例に
示すポンプユニット１は、例えば、水素供給用ポンプに
用いられるものであり、水素を透過せず、破毒性および
耐久性に優れた金属材料（例えばＳＵＳ３１６２よりな
るステンレス）によって構成されるものである。

【００１５】ポンプユニット１は、筒状を呈したシリン
ダ３と、このシリンダ３内を往復動するピストン４と、
このピストン４の両側に設けられた第１、第２軸部材
５、６と、シリンダ３の端部に固定された第１、第２軸
受部材７、８と、この第１、第２軸受部材７、８の外面
に固定された第１、第２ベローズ９、１０から構成され
る。

【００１６】シリンダ３は、円筒形状を呈するものであ
り、その内部にはピストン４によって区画される第１、
第２ポンプ室１１、１２が形成されている。また、シリ
ンダ３には、第１、第２ポンプ室１１、１２のそれぞれ
に作動流体を導くための吸入口１３、および第１、第２
ポンプ室１１、１２内で圧縮された作動流体をシリンダ
３の外部へ吐出するための吐出口１４が設けられてい
る。吸入口１３には、吸入口１３に接続された流体流入
手段からシリンダ３内のみに作動流体を流す一方向弁で
ある吸入弁１５（弁手段に相当する）が設けられてい
る。また、吐出口１４にも、シリンダ３内から、吐出口
１４に接続された流体流出手段のみに作動流体を流す一
方向弁である吐出弁１６（弁手段に相当する）が設けら
れている。なお、吸入弁１５および吐出弁１６は、リー
ド弁あるいはチェック弁など、周知の一方向弁を用いた
ものである。

【００１７】ピストン４は、シリンダ３の内部で往復動
して、ピストン４で区画される第１、第２ポンプ室１
１、１２内の容積を変化させるものであり、ピストン４
の外径寸法はシリンダ３の内径寸法よりも僅か（例え
ば、１０μ〜１０００μほど）に小さく設けられてい
る。そして、このピストン４は、両端に設けられた第
１、第２軸部材５、６の摺動によって軸方向へ往復動自
在に支持されるものであり、ピストン４の外周面がシリ
ンダ３の内周面に摺接しないように設けられている。こ
のように設けられることにより、摺動によって発生する
摺動粉が作動流体に混入する不具合がない。

【００１８】第１、第２軸部材５、６は、円柱棒状を呈
するものであり、ピストン４の両側の中心部分におい
て、ピストン４と一体、あるいはピストン４に固定され
たものである。第１、第２軸部材５、６の外周面は、第
１、第２軸受部材７、８によって軸方向へ摺動自在に支
持されるものであり、第１、第２軸部材５、６の端面
は、第１ベローズ９あるいは第２ベローズ１０の伸縮に
よる容積変化に伴う圧力変化を受けるものである。

【００１９】第１ベローズ９は、軸方向へ弾性的に伸縮
する蛇腹状の筒形を呈したものであり、この第１ベロー
ズ９の伸縮による容積変化を利用してピストン４を往復
駆動させるものである。第１ベローズ９は、図示左側端
部が駆動端であり、図示右側端部が固定端である。第１
ベローズ９の駆動端には、円盤状の第１キャップ１７が
ろう付けや溶接等の接合技術によって接合されており、
第１キャップ１７の受ける往復動によって第１ベローズ
９の駆動端が往復駆動される。第１ベローズ９の固定端
は、ろう付けや溶接等の接合技術によって第１軸受部材
７に接合されている。そして、第１ベローズ９、第１キ
ャップ１７、第１軸受部材７および第１軸部材５の端面
に囲まれたスペースによって第１作動室１８が形成さ
れ、その容積変化によって第１軸部材５を介してピスト
ン４を往復駆動するものである。なお、第１作動室１
８、および後述する第２作動室２０の内部には、この実
施例では不活性ガスなどの圧縮性流体が封入されたもの
である。

【００２０】第２ベローズ１０も、第１ベローズ９と同
様、軸方向へ弾性的に伸縮する蛇腹状の筒形を呈したも
のであり、この第２ベローズ１０の伸縮による容積変化
を利用してピストン４を往復駆動させるものである。第
２ベローズ１０は、図示右側端部が駆動端であり、図示
左側端部が固定端である。第２ベローズ１０の駆動端に
は、円盤状の第２キャップ１９がろう付けや溶接等の接
合技術によって接合されており、第２キャップ１９の受
ける往復動によって第２ベローズ１０の駆動端が往復駆
動される。第２ベローズ１０の固定端は、ろう付けや溶
接等の接合技術によって第２軸受部材８に接合されてい
る。そして、第２ベローズ１０、第２キャップ１９、第
２軸受部材８および第２軸部材６の端面に囲まれたスペ
ースによって第２作動室２０が形成され、その容積変化
によって第２軸部材６を介してピストン４を往復駆動す
るものである。

【００２１】ここで、第１キャップ１７を含む第１ベロ
ーズ９、第１軸受部材７および第１軸部材５によって、
第１ベローズ９の伸縮による容積変化をピストン４の駆
動ストロークに変換する第１変換手段が構成されるもの
であり、第２キャップを含む第２ベローズ１０、第２軸
受部材８および第２軸部材６によって、第２ベローズ１
０の伸縮による容積変化をピストン４の駆動ストローク
に変換する第２変換手段が構成されるものである。

【００２２】第１、第２軸受部材７、８は、シリンダ３
の両端に固定されたものであり、上述したように、第１
ベローズ９あるいは第２ベローズ１０の内部と、シリン
ダ３の内部とを区画するとともに、第１、第２軸部材
５、６を軸方向へ摺動自在に支持するものである。ま
た、第１、第２軸受部材７、８は、第１、第２ベローズ
９、１０の内部に生じる死容積を埋め、第１、第２作動
室１８、２０内の圧縮比を向上させる役割を果たすもの
であり、軸受けを兼ねる円柱ボス部が死容積を埋めるよ
うに配置されている。

【００２３】次に、駆動機構２を説明する。なお、ポン
プユニット１は、第１ベローズ９を圧縮することにより
第２ベローズ１０が伸び、逆に第２ベローズ１０を圧縮
することにより第１ベローズ９が伸びる構造であるた
め、この実施例に示す駆動機構２は、第１、第２キャッ
プ１７、１９を交互に押圧する第１、第２カム２１、２
２（カム手段に相当する）を用いたものである。

【００２４】駆動機構２は、第１、第２ベローズ９、１
０を伸縮させる手段であり、駆動力を発生させるための
電動モータ２３（外部動力発生手段）を備える。この電
動モータ２３の出力シャフト２４の先端には、出力シャ
フト２４の回転に応じて第１キャップ１７を押圧する第
１カム２１が取り付けられている。また、出力シャフト
２４の付け根部分には、駆動プーリ２５が取り付けられ
ており、タイミングベルト２６を介して出力シャフト２
４の回転が従動プーリ２７に伝えられる。この従動プー
リ２７と一体に回転する従動シャフト２８の先端には、
従動シャフト２８の回転に応じて第２キャップ１９を押
圧する第２カム２２が取り付けられている。ここで、駆
動プーリ２５と従動プーリ２７の回転比は１：１であ
り、第１カム２１と第２カム２２が交互に第１キャップ
１７と第２キャップ１９を押圧するように設けられてい
る。

【００２５】〔第１実施例の作動〕電動モータ２３が作
動すると、出力シャフト２４および従動シャフト２８の
回転に伴って第１、第２カム２１、２２が交互に第１キ
ャップ１７と第２キャップ１９を押圧する。第１カム２
１が第１キャップ１７を押圧して第１ベローズ９が縮む
と、第１作動室１８内が圧縮され、ピストン４が図示右
側へ駆動される。すると、第１ポンプ室１１の容積が拡
大し、第１ポンプ室１１が作動流体の吸引を行うととも
に、第２ポンプ室１２の容積が減少し、第２ポンプ室１
２が作動流体の吐出を行う。この時（ピストン４が図示
右側へ駆動された時）、第２軸部材６が第２作動室２０
内を圧縮するため、第２ベローズ１０が伸びる。

【００２６】続いて、第２カム２２が第２キャップ１９
を押圧して第２ベローズ１０が縮むと、第２作動室２０
内が圧縮され、ピストン４が図示左側へ駆動される。す
ると、第１ポンプ室１１の容積が減少し、第１ポンプ室
１１が作動流体の吐出を行うとともに、第２ポンプ室１
２の容積が拡大し、第２ポンプ室１２が作動流体の吸引
を行う。この時（ピストン４が図示左側へ駆動された
時）、第１軸部材５が第１作動室１８内を圧縮するた
め、第１ベローズ９が伸びる。つまり、第１キャップ１
７と第２キャップ１９を交互に連続して押圧駆動するこ
とで、第１ベローズ９と第２ベローズ１０が交互に連続
作動し、２つの吸入口１３から交互に作動流体を吸引す
るとともに、２つの吐出口１４から交互に作動流体を吐
出する。

【００２７】〔第１実施例の効果〕上記の実施例で示し
たように、密閉式ポンプ装置は、ベローズの１回の伸縮
で、作動流体を２回連続吸引するとともに、作動流体を
２回連続吐出する。これによって、従来のベローズ式ポ
ンプに比較してポンプ能力が高くなり、密閉式ポンプ装
置の体格を従来に比較して小型化することができる。ま
た、密閉式ポンプ装置は、ベローズの１回の伸縮で、１
８０度位相のずれた作動流体の吸引を行うとともに、１
８０度位相のずれた作動流体の吐出を行うものであり、
作動流体の吸引および吐出の脈動が従来よりも平均化さ
れる。さらに、密閉式ポンプ装置は、シリンダ３とピス
トン４との間に微細なクリアランスが保たれるため、第
１、第２ポンプ室１１、１２内に摺動部がなく、摺動に
伴う摺動粉が第１、第２ポンプ室１１、１２内で発生し
ない。このため、摺動粉が作動流体に混入して作動流体
を汚染する不具合がない。

【００２８】〔第２実施例〕第２実施例に示すポンプユ
ニット１は、図２に示すように、第１、第２ベローズ
９、１０の内部の第１、第２作動室１８、２０にオイル
等の非圧縮流体を充填して封入したものである。このよ
うに設けることにより、第１、第２ベローズ９、１０内
の容積変化を確実にピストン４に伝えることができ、ピ
ストン４の往復駆動を効率的に行うことができる。

【００２９】〔第３実施例〕第３実施例に示すポンプユ
ニット１は、図３に示すように、第１、第２軸受部材
７、８の摺動面に、第１、第２ポンプ室１１、１２とは
異なる側に広がる楔形状を呈した楔溝３１を複数設けた
ものである。このように設けることにより、第１軸部材
５が第１ポンプ室１１とは異なる側へ摺動する際、楔溝
３１内に浸入した非圧縮流体が第１作動室１８内に戻さ
れるため、オイル等の非圧縮流体が第１ポンプ室１１内
に流入する不具合が抑制される。同様に、第２軸部材６
が第２ポンプ室１２とは異なる側へ摺動する際、楔溝３
１内に浸入した非圧縮流体が第２作動室２０内に戻され
るため、オイル等の非圧縮流体が第２ポンプ室１２内に
流入する不具合が抑制される。このように、第１、第２
軸受部材７、８の摺動面に楔溝３１を設けたことによ
り、オイル等の非圧縮流体が第１、第２ポンプ室１１、
１２内に流入する不具合が抑制されるため、非圧縮流体
が作動流体に混入して作動流体を汚染する不具合が抑制
される。

【００３０】〔第４実施例〕第４実施例に示すポンプユ
ニット１は、図４に示すように、第１軸部材５における
ピストン４と第１軸受部材７の間が樹脂製の第１小径ベ
ローズ３２に覆われて、第１軸部材５が第１ポンプ室１
１内と隔離して設けられたものであり、また、第２軸部
材６におけるピストン４と第２軸受部材８の間も樹脂製
の第２小径ベローズ３３に覆われて、第２軸部材６が第
２ポンプ室１２内と隔離して設けられたものである。

【００３１】このように設けることにより、第１軸部材
５と第１軸受部材７の間から非圧縮流体がシリンダ３側
へ例え漏れたとしても、その漏れた非圧縮流体は、第１
小径ベローズ３２によって内部に封入される。同様に、
第２軸部材６と第２軸受部材８の間から非圧縮流体がシ
リンダ３側へ例え漏れたとしても、その漏れた非圧縮流
体は、第２小径ベローズ３３によって内部に封入され
る。このように、第１、第２軸部材５、６の周囲に第
１、第２小径ベローズ３２、３３を設けたことにより、
オイル等の非圧縮流体が第１、第２ポンプ室１１、１２
内に流入する不具合がなく、非圧縮流体が作動流体に混
入して作動流体を汚染する不具合を確実になくすことが
できる。

【００３２】〔第５実施例〕第５実施例に示すポンプユ
ニット１は、図５に示すように、ピストン４の外周面に
は、周方向に沿う溝３４が複数設けられたものである。
このように設けることにより、第１ポンプ室１１の圧力
と、第２ポンプ室１２の圧力差が、複数の溝３４によっ
て分断されるため、第１、第２ポンプ室１１、１２間の
圧力差が確保でき、第１、第２ポンプ室１１、１２間に
おける流体の内部漏れを抑えることができる。このよう
に、第１、第２ポンプ室１１、１２間における流体の内
部漏れが抑えられるため、ポンプ効率を向上できる。

【００３３】〔変形例〕上記の実施例では、本発明を水
素供給用ポンプに適用した例を示したが、例えば水素以
外の可燃性ガス、毒性ガス等の気体圧送用ポンプや、可
燃性液体、毒性液体等の液体圧送用ポンプに適用しても
良い。上記の実施例では、カムによって第１、第２ベロ
ーズ９、１０を駆動する例を示したが、クランク等を用
いて回転運動を往復運動に変換して第１、第２ベローズ
９、１０を駆動するように設けても良い。上記の実施例
では、ポンプユニット１の材質として、金属を用いた例
を示したが、ポンプユニット１の構成部材の一部、ある
いは全部を樹脂やゴムを用いて構成しても良い。つま
り、例えば、適用される作動流体に応じて、第１、第２
ベローズ９、１０を樹脂やゴムを用いて構成しても良
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】密閉式ポンプ装置の断面図である（第１実施
例）。

【図２】ポンプユニットの断面図である（第２実施
例）。

【図３】ポンプユニットの断面図である（第３実施
例）。

【図４】ポンプユニットの断面図である（第４実施
例）。

【図５】ポンプユニットの断面図である（第５実施
例）。

【符号の説明】

１ ポンプユニット ２ 駆動機構（ベローズを伸縮させる手段） ３ シリンダ ４ ピストン ５ 第１軸部材 ６ 第２軸部材 ７ 第１軸受部材 ８ 第２軸受部材 ９ 第１ベローズ １０ 第２ベローズ １１ 第１ポンプ室 １２ 第２ポンプ室 １５ 吸入弁（弁手段） １６ 吐出弁（弁手段） ２１ 第１カム（カム手段） ２２ 第２カム（カム手段） ２３ 電動モータ ３１ 楔溝 ３２ 第１小径ベローズ ３３ 第２小径ベローズ ３４ 周方向に沿う溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 真船 利宏 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 Ｆターム(参考） 3H075 BB03 BB04 BB14 BB17 CC34 DA03 DA04 DA05 DB03 DB23 3H077 AA01 AA20 BB03 CC03 CC07 CC17 DD02 DD09 DD12 EE31 FF03 FF14 FF22 FF33

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに伸縮可能であって、互いに対向配置
   された２つのベローズと、 該２つのベローズの対向する間に配置されたシリンダ
   と、 該シリンダ内に配置され、該シリンダ内を往復動するこ
   とにより該シリンダ内の容積を変化させるピストンと、 前記ベローズの伸縮によるベローズ内部の容積変化を前
   記ピストンを往復動させる駆動ストロークに変換する変
   換手段と、 前記シリンダ内の容積変化により作動流体を該シリンダ
   内に吸引し、該シリンダ外へ送出する弁手段と、を具備
   したことを特徴とする密閉式ポンプ装置。
2. 【請求項２】請求項１の密閉式ポンプ装置は、 前記２つのベローズを伸縮させる手段を具備することを
   特徴とする密閉式ポンプ装置。
3. 【請求項３】請求項１または請求項２の密閉式ポンプ装
   置において、 前記変換手段は、モータと、該モータの回転力を、前記
   ２つのベローズのそれぞれを伸縮させるように該ベロー
   ズを往復動させる動きに変換するカム手段と、を包含す
   ることを特徴とする密閉式ポンプ装置。
4. 【請求項４】互いに対向配置された２つのベローズの伸
   縮による該ベローズ内部の容積変化を、シリンダ内に配
   置されたピストンの駆動ストロークとすることで該ピス
   トンを両側から往復駆動し、そのピストンの往復駆動に
   伴う前記シリンダ内の容積変化によって、作動流体の吸
   引と圧送を行う密閉式ポンプ装置。
5. 【請求項５】請求項４の密閉式ポンプ装置は、 (a) 筒状を呈した前記シリンダと、 (b) このシリンダの内部で往復動自在に配置された前記
   ピストンと、 (c) 前記シリンダの一端側に配置され、軸方向に弾性的
   に伸縮する蛇腹状の筒形を呈した第１ベローズと、 (d) 前記シリンダの他端側に配置され、軸方向に弾性的
   に伸縮する蛇腹状の筒形を呈した第２ベローズと、 (e) 前記ピストンの両側に設けられ、前記第１ベローズ
   あるいは前記第２ベローズの伸縮による容積変化を受け
   るとともに、前記ピストンを前記シリンダ内で往復動可
   能に支持するための軸部材と、 (f) 前記シリンダの両端に設けられ、前記第１ベローズ
   あるいは前記第２ベローズの内部と前記シリンダの内部
   とを区画するとともに、前記軸部材を軸方向へ摺動自在
   に支持する軸受部材と、 (g) 前記シリンダの両側に設けられ、そのシリンダ内の
   容積変化により作動流体をこのシリンダ内のみに導く一
   方向弁である吸入弁と、 (h) 前記シリンダの両側に設けられ、そのシリンダ内の
   容積変化により作動流体をシリンダの外部のみに吐出さ
   せる一方向弁である吐出弁と、を具備したことを特徴と
   する密閉式ポンプ装置。
6. 【請求項６】請求項５の密閉式ポンプ装置において、 前記第１ベローズおよび前記第２ベローズの内部には、
   非圧縮流体が封入されたことを特徴とする密閉式ポンプ
   装置。
7. 【請求項７】請求項６の密閉式ポンプ装置において、 前記軸部材が軸方向へ摺動する前記軸受部材の摺動面に
   は、前記シリンダ内のポンプ室とは異なる側に広がる楔
   形状を呈した楔溝が設けられたことを特徴とする密閉式
   ポンプ装置。
8. 【請求項８】請求項６の密閉式ポンプ装置において、 前記軸部材は、前記ピストンと前記軸受部材の間が小径
   のベローズに覆われて前記シリンダ内のポンプ室と隔離
   して設けられたことを特徴とする密閉式ポンプ装置。
9. 【請求項９】請求項１ないし請求項８のいずれかの密閉
   式ポンプ装置において、 前記ピストンと前記シリンダとの間には、微細なクリア
   ランスが形成されていることを特徴とする密閉式ポンプ
   装置。
10. 【請求項１０】請求項１ないし請求項９のいずれかの密
    閉式ポンプ装置において、 前記ピストンの外周面には、周方向に沿う溝が設けられ
    たことを特徴とする密閉式ポンプ装置。