JP2001523836A - ピクセルパネルを用いるコンパクトな投影レンズシステム用の広角視界投影レンズ - Google Patents
ピクセルパネルを用いるコンパクトな投影レンズシステム用の広角視界投影レンズInfo
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Abstract
Description
Dの像を形成するために用い得る投影レンズに関する。
クリーンに物体像を形成するために用いられる。そのようなシステムの基本構造
が図6に示され、ここで10は光源(例えばタングステン−ハロゲンランプ)、
12は光源の像(以降照明系の"出力"と称される)を形成する照明光学部材、1
4は投影されるべき物体(例えばピクセルがオン及びオフ状態のLCDマトリッ
クス)、13は複数のレンズ素子からなる投影レンズであって、投影レンズ13
が物体14の拡大像を投影スクリーン16上に形成する。このシステムは、照明
系の射出ひとみを適切な位置に配するためにフィールドレンズ、例えばフレネル
レンズをピクセルパネルの近くに含んでも差し支えない。
、後方投影システムでは観客はスクリーンの右側にいることになる。単一筐体に
収められる後方投影システムでは光路を折り返し、よってシステム全体の大きさ
を縮小するために反射鏡が用いられることが多い。本発明の投影レンズは後方投
影システムでの使用に特によく適しているが、必要であれば前方投影システムに
も用いることができる。
む、多様な用途で用いられる。そのような投影レンズシステムは、例えば赤、緑
及び青のピクセルを有する単板パネルの像を形成する単投影レンズを用いること
が好ましい。例えば大画面後方投影システムのように、複数のパネルと複数の投
影レンズが用いられ、パネル/投影レンズの組合せのそれぞれが全体像の一部を
つくりだす場合もある。
プに応じて様々な大きさのものが利用される。大型LCDパネル、例えば対角線
が約12.5インチ(約320mm)のパネルは、そのようなパネルではピクセ ル寸法を高信頼度で製造できるだけの十分な大きさに保ちながらピクセル総数を
大きくできるので、高解像度カラー像をつくる際に有効に用いることができる。
この点に関し、単板LCDパネルによる完全カラー像については必要なピクセル
数が単色像に必要なピクセル数の3倍であり、よって大型LCDパネルを使用し
ない限りピクセル寸法が小さくなることに注意しなければならない。
)高レベルの収差補正を維持しながら様々な倍率で動作する能力;(3)レンズ
素子数が比較的に少なく、レンズ胴長が比較的に短く、さらに最大レンズ径が比
較的に小さいことを含む、比較的に小さな寸法;(4)高レベルの色補正;(5
)低歪;及び(6)低感温性;を同時に有する、大面積ピクセルパネルと併せて
使用するための投影レンズが技術上必要とされている。
はスペースが非常に少ない場所への設置に極めて必要なことである。特に、コン
パクトであることにより、大きさ、よって、投影システムを収めるために必要な
荷造箱の製作費用及び完成したシステムを梱包してユーザに輸送するための付帯
設備の費用が最小限に抑えられる。
とせずに投影レンズシステムが様々な大きさのスクリーンで用いられるので望ま
しい。物体共役と像共役を変える必要があるだけであって、これはピクセルパネ
ルに対してレンズを移動させることにより容易に達成できる。難関はもちろん、
動作倍率範囲を通して高レベルの収差補正を与えることにある。
ズ素子の数が多く、またレンズ素子の径が大きいとより多くの原材料を費やし、
より重くなり、また組み立てて取り付けるのにもより費用がかかる。レンズ胴長
が大きいと通常は投影システム全体の大きさが増大し、このことはやはり費用と
重量を増加させる。したがって、互いに比較的に近接して配置される、数が最小
限に抑えられた比較的に小径のレンズ素子をもつ投影レンズが望ましい。
完全な欠落として、ピクセルパネルの像で容易に見て取ることができるので、高
レベルの色補正は重要である。上記の問題は一般にフィールドの縁で最も著しい
。一般的にいって上記問題を避けるためには、ピクセルパネル上で測定したとき
の色補正がほぼ1ピクセルより高くなければならず、好ましくはピクセルのほぼ
二分の一より高くなければならない。
投影システムの色収差の全てが処理されなければならない。縦色収差、すなわち
色による倍率変化は、特にフィールドの縁においてコントラストの低下として表
われるので、特にやっかいである。極端な場合には、全フィールド領域で虹効果
が見られる。
差は、例えば、赤色CRTの表示面につくられる像の大きさを青色CRT上につ
くられる像に比べて小さくすることにより、電子的に補正することができる。し
かしピクセルパネルでは像が離散化され、よって全視界にわたって大きさを滑ら
かに調節することはできないから、上記のような便宜的手段をとることができな
い。したがって投影レンズにはより高レベルの縦色補正が必要である。
が課せられる。これは、データを見る場合にはレンズ視界の最端点においてさえ
高品位の像が要求されるからである。明らかなように、表示された数字または文
字の像に歪がないことが、フィールドの縁においても中央と全く同様に重要であ
る。
ければならない。この結果、室温と投影レンズの動作温度との間にはかなりの温
度差が通常存在する。さらに、投影レンズは様々な環境条件の下での動作が可能
でなければならない。例えば投影レンズシステムは、周囲温度が実質的に40℃
をこえ得る建物の屋根を含む、部屋の天井に設置されることが多い。これらの影
響に対処するためには、比較的感温性の低い光学特性をもつ投影レンズが必要で
ある。
である。プラスチックと比較して、ガラス素子の曲率半径及び屈折率の変化は一
般にプラスチック素子の曲率半径及び屈折率の変化より小さい。しかしガラス素
子は一般にプラスチック素子より高価であり、特に収差補正のために非球面が必
要な場合に高価である。以下で説明するように、プラスチック素子の屈折力及び
位置を適切に選べば、プラスチック素子を用いることができ、しかも低感温性を
得ることができる。
位カラー像を投影スクリーン上に形成できる比較的に低コストの投影レンズシス
テムの製作に用いて好結果を得ることができる。特に、以下に提示する実施例で
示されるように、本発明の投影レンズは、例えば±45°までの視界を有するこ
とができ、f/4で動作が可能であり、さらに5.5倍から9.6倍までの倍率範 囲を有することができる。
国特許第4,189,211号、タナカ(Tanaka)等の米国特許第5,042,92
9号、ヤノ(Yano)等の米国特許第5,179,473号、モスコビッチ(Moskov
ich)の米国特許第5,200,861号、モスコビッチの米国特許第5,218, 480号、イイズカ(Iizuka)等の米国特許第5,278,698号、ベテンスキ
ー(Brtensky)の米国特許第5,313,330号、及びヤノの米国特許第5,3 31,462号を含む、多数の特許に記述されている。
edebuhr)の米国特許第4,826,311号、及び欧州特許庁特許公開第311,
116号に見ることができる。
で論じた6つの望ましい特性のそれぞれを同時に有する改善された投影レンズを
提供することにある。本目的は、焦点距離f0を有し像側から物体側に(すなわ
ち長共役側から短共役側に)順に: (A) 焦点距離f1を有し: (i) 焦点距離fE1を有するレンズ素子(E1);及び (ii) 歪補正のための少なくとも1つの非球面; を含む第1のレンズユニット(U1);並びに (B) 焦点距離f2を有し、像側から順に: (i) 焦点距離f2S1を有する第1のサブレンズユニット(U2s1 );及び (ii) 第1のサブレンズユニットから空隙(ts1s2)をおいて配置
された焦点距離f2s2を有する第2のサブレンズユニット(U2s2)であっ
て、(a)球面収差補正のための少なくとも1つの非球面;及び(b)レンズシ
ステムに軸色補正を与えるための手段を含む第2のサブレンズユニット; からなる第2のレンズユニット(U2); からなり、ここで: |f1|/f0>0.75; fE1<0; f2>0; f2/f0<2.0; f2s1>0; f2s1/f0<1.5;及び |f2s2|/f0>1.5; である投影レンズにより達成される。
負のレンズ素子、正のレンズ素子、及び少なくとも1つの非球面を有するプラス
チックレンズ素子を含む。非球面をもつプラスチックレンズ素子の軸上屈折力は
正または負であってよい。この配置により、レンズシステムの断熱化及び製造が
容易になる。
い。このため、投影レンズシステム全体の大きさをコンパクトにすることができ
る。第1及び第2のレンズユニットの開放開口もシステム全体のコンパクト化に
寄与し、ここで第1のレンズユニットの開放開口は第2のレンズユニットの開放
開口より大きいことが好ましい。第1のレンズユニットの開放開口はピクセルパ
ネルの対角線の0.7倍より小さいことが好ましい。 以下に提示する実施例1〜
3は、35°より大きい半視界を有し、対角線が12.5インチ(約320mm )のピクセルパネルに対して最大開放開口がピクセルパネルの対角線の0.7倍 より小さい第1のレンズユニットを有する。
及び(b)第1と第2のレンズユニットとの間の距離を変えることにより達成さ
れることが好ましい。特に、焦点合わせのためにはピクセルパネルに対して第1
と第2のレンズユニットがともに同じ方向に移動するが、レンズシステムを別の
倍率で焦点を合わせる際に2つのユニット間の距離が変わるように、それぞれの
ユニットの移動速度が異なる。
以下で十分に論じられるように、断熱化は十分な光学能を有するプラスチックレ
ンズ素子の位置の選択及び屈折力のバランス調整の組合わせによりなされる。
された、本発明に従って構成された投影レンズの側面図である。
が両図面に関して158mmで、像(スクリーン)高が図4については−869
mmであり図5については−1524である単色光学伝達関数(MTF)プロッ
ト、 すなわち図4および図5はスクリーン対パネル倍率がそれぞれ−0.182
および−0.104の場合のMTFプロットである。左側の枠のプロットはスル
ーフォーカスデータを示し、右側の枠のプロットはアットフォーカス対周波数デ
ータを示す。点線は位相(PHASE)データを、破線はサジタル(SAG)デ
ータを、また実線はタンジェンシャル(TAN)データを表わす。図4に関する
焦点距離、fナンバー、焦点位置はそれぞれ、178.81,4.00,及び0. 094である。図5に関する焦点距離、fナンバー、焦点位置はそれぞれ、17
0.48,4.00,及び−0.023である。
像を示す略図である。
形態を示し、本明細書の記述とともに本発明の原理を説明する役に立つ。もちろ
ん、図面及び記述は説明のためだけのものであって、本発明を制限するものでは
ないことは当然である。
ネル、例えば大型LCDパネルの像を投影するために用いられ、そのようなもの
として、広角視界を与える一方で極めて良好な歪補正を維持しなければなければ
ならない。本レンズシステムはまた広い共役範囲にわたって使用されることも意
図されており、よってレンズの動作倍率の変化により収差にいかなる有意な量の
変化(増加)も生じることのないように、収差が補正されなければならない。
本レンズシステムは2つのレンズユニット――レンズシステムの長共役側に屈折
力が比較的弱い第1の(前部)レンズユニット(U1)及びシステムの短共役側
に屈折力が正で強い第2の(後部)レンズユニット(U2)――からなる。さら
に第2のレンズユニットは、システムの長共役側の第1の(前部)レンズユニッ
ト及び短共役側の第2の(後部)レンズユニットの2つのサブレンズユニットか
らなる。
上で論じたように、ピクセルパネルと併せて用いられるシステムでは歪が高度に
補正されなければならない。本発明のレンズシステムの歪補正は像において一般
に約1%より高く、好ましくは約0.5%より高い; (2) 第2のレンズユニットがレンズシステムの屈折力のほとんどを担う。
このことにより、レンズシステムの全長を全体として縮小できる; (3) 第2のユニットの後部サブユニットは球面収差の補正を与える非球面
を含む; (4) 2つのユニットは焦点合せのために同じ方向に移動するが、様々な結
像共役において非常に安定な非点補正を与えるために移動速度が異なる; (5) レンズシステムの全体コストを下げるために、非球面素子は光学プラ
スチック材料でつくられる。
れている様々な軸色補正手段を用いることができる。好ましい手法は高分散材か
らなる負のレンズ素子及び低分散材からなる少なくとも1つの正のレンズ素子を
第2のサブレンズユニットに含むことからなる。高分散材及び低分散材はガラス
またはプラスチックであってよい。
低分散材はクラウンガラスのような分散を有する材料である。さらに詳しくは、
高分散材は1.85から1.5の範囲の屈折率に対してそれぞれ20から50の範
囲のV値を有する材料であり、低分散材は同じ屈折率範囲に対して35から75
の範囲のV値を有する材料である。
材及び低分散材とすることができる。もちろん、望むならば他のプラスチックを
用いることもできる。例えば、スチレンの代わりにポリカーボネート並びにフリ
ントガラスと同様の分散を有するポリスチレン−アクリル共重合体(例えばNA
S)を用いることができる。米国オハイオ州シンシナティ(Cincinnati),ユー
・エス・プレシジョン・レンズ社(U.S. Precision Lens Inc.)の“プラスチッ
ク光学ハンドブック”(1983年),17〜29ページを参照されたい。
加熱される際に、特にシステムの後方焦点距離を含むシステムの光学性能が実質
的に変化しないように断熱化されている。さらに詳しくは、後方焦点距離の変化
量はシステムの変調伝達関数(MTF)に有意な変化を生じさせるには至らない
ことが好ましく、例えば1mm当り3サイクルでのMTFの変化は約10%より
小さくなければならない。以下に提示する特定の実施例に関して、上記のMTF
基準は約±0.4mmより小さい後方焦点距離変化に相当する。所望のレンズフ ォーカスの熱安定性はレンズシステムにおけるプラスチックレンズ素子の選択及
び配置により達成される。
の屈折率が温度によりかなり変化するという欠点がある。もう一つの効果は形状
の変化、すなわち光学プラスチック材料の温度による膨張または収縮である。こ
の後者の効果は通常、屈折率の変化ほど重大ではない。
光学プラスチックにおける熱的変化とプラスチックまたはアルミニウムのシステ
ム機構部品、例えば通常主要な機械的熱起因焦点変化源であるレンズ胴における
熱的変化との間のバランスを達成することが可能である。設計において光学プラ
スチックの使用に制限を設けなければ、すなわち比較的に屈折力が高いプラスチ
ックレンズ素子を少なくとも何枚か使用することができれば、プラスチックレン
ズ素子は容易に成形できるから、ある特定の設計のレンズシステムの能力(性能
)を最大化するために球ではない光学面(非球面)を用いることができるという
利点が得られる。また比較的に屈折力が高いプラスチック素子を使用すれば、全
体コストがさらに低いレンズシステムを得られる。
ければならず、さもなければレンズシステムの温度が室温から動作温度まで変化
するにつれてレンズシステムの焦点が大きく変化することになる。このことは、
相当量の光を投影スクリーンに送らなければならず、よって動作温度が室温より
かなり高い投影機に特にあてはまる。
それぞれのレンズ素子におけるマージナル光高さとともに考慮に入れることによ
り断熱化が達成される。
の屈折率に生じる変化量の点から重要である。一般に、光源または光源の像に近
い素子ほど大きな温度変化を受ける。実際上、投影レンズが設置されるべき領域
における温度分布は光源及び光源に付帯して動作する照明光学部材をもって測定
され、測定された値が投影レンズの設計に用いられる。
れた温度変化に対して、その素子の屈折率変化がレンズシステム全体の熱安定性
に関して有意であるか否かを決定する。マージナル光高さが小さい素子は、マー
ジナル光高さが大きい素子よりシステム全体の熱安定性に与える影響が一般に小
さい。
力の大きさを、特定の素子が受けるはずの温度変化及びその素子におけるマージ
ナル光高さに基づいて調節されるその素子の寄与とバランスさせることにより、
断熱化が達成される。実際上、上記断熱化手法は次のような形でレンズ設計コン
ピュータプログラムに組み込まれている。初めに、第1の温度分布においてレイ
トレーシングが行われて後方焦点距離が計算される。レイトレーシングはマージ
ナル光に対する近軸レイトレーシングとすることができる。次に、第2の温度分
布において同じレイトレーシングが行われて後方焦点距離が再び計算される。第
1の温度分布も第2の温度分布もレンズシステム全体にわたって一定である必要
はなく、一般的なシステムではそうなっているように、レンズ素子毎に変えるこ
とができる。計算された後方焦点距離は次いで、システムの設計がレンズ設計プ
ログラムを用いて最適化されるような一定値に拘束される。
びピクセルパネルが最終レンズ面とパネルの間の距離を実質的に一定に保ってい
ることが仮定されていることに注意しなければならない。そのような仮定が保証
されない場合には、断熱化を施すために他の手段をとることができる。例えば、
機構マウントの相対的運動の測定値を設計プロセスに含めることができるし、あ
るいは別の距離、例えば前部レンズ面とパネルの間の距離が機械的に固定されて
いると仮定することもできる。
応する設計仕様及び光学特性が、それぞれ表1から3に見られる。レンズシステ
ムに用いられたガラスについてはホヤ(HOYA)またはショット(SCHOTT)という
名称を用いている。他の製造業者でつくられた等価なガラスを本発明の実施に用
いることもできる。工業的に受け入れられる材料がプラスチック素子に用いられ
る。
グ、cは光軸におけるレンズの曲率、kは円錐定数であって、kは表1〜3の設
計仕様に表示されている場合を除いてゼロである。
部として含めて計算した。表で表面のいくつかに付されている表示“a”は非球
面、すなわち上式のD,E,F,G,H,またはIの内少なくとも1つがゼロで
はない表面を表わし;表示“c”は上式の“k”がゼロではない表面を示し;表
示“f”はフレネルレンズを示す。表に与えられる寸法単位は全てmmである。
リーンが左に、またピクセルパネルが右にあって、光は右から左に進む。表1〜
3でピクセルパネルは表示“PP”により示され、ピクセルパネルに付帯するフ
レネルレンズは表示“FL”で示される。フレネルレンズは光源を投影レンズの
入射ひとみ(表では射出ひとみ)と整合する役に立つ。
ネルに対して移動させるとともに第1及び第2のレンズユニットの間の距離を変
えることにより広い共役範囲にわたって焦点を合わせることができる。表1〜3
に示されるように、第2のレンズユニットに対する第1のレンズユニットの移動
は、ピクセルパネルに対するレンズシステム全体の移動に比べて一般に小さい。
及びFLとの対応が表4に挙げられている。
わかるように、実施例のレンズシステムは様々なレンズユニット、サブユニット
、及び素子の焦点距離に関する上述の制限を、第2のレンズユニットのサブユニ
ット間隔(ts1s2)についての制限とともに満たしている。
のレンズユニットの後部主点の位置を列挙してある。これらの値を表1〜3の設
計仕様と比較すると、第2のユニットの後部主点が第2のサブユニットより十分
先にあることがわかる。このことが、本発明のレンズシステムの第2のレンズユ
ニットと、後部主点がユニットの中間にある古典的なトリプレットとを峻別して
いる。
対ピクセルパネル倍率で動作している図1のレンズシステムについて、スルーフ
ォーカスMTFを左に、また最良軸上フォーカスにおけるMTFを右に示す。デ
ータは5つのフィールド点、すなわち軸上及び最大フィールド高の35,70,
85及び100%について示されている。右側のプロットについては投影スクリ
ーン上の実フィールド高が示されている。これらのフィールド高は右側及び左側
のプロットのいずれにも適用され、単位はmmである。
間周波数におけるものである。スルーフォーカス及び最良フォーカスデータはと
もにタンジェンシャルMTF及びサジタルMTF(破線)を示す。比率目盛が各
ブロックの左側につけられ、範囲は0から1までである。MTFの位相は点線の
最良フォーカスプロットで示される。位相の目盛は最良フォーカスブロックのそ
れぞれの右側に表示され、単位はラジアンである。MTFデータは全て波長54
6.1nmについてのものである。 最良フォーカスプロットの上部に表示された
軸上焦点シフトはスルーフォーカスプロットのゼロ位置に対するものである。最
良フォーカス面は軸上スルーフォーカスプロットのピークにある。
MTFプロットをもつ。これらの図は、本発明のレンズシステムがピクセルパネ
ルと併せて用いられる投影レンズシステムに必要なだけの高レベルの収差補正を
広い倍率範囲にわたって達成していることを示す。
は200μmであり、 これは1,000TV本をこえる水平解像度に相当する。
本発明のレンズシステムでつくられるパネルの像は一般に、約36インチ(約9
00mm)から約60インチ(約1,500mm)の範囲にある。重要なことに は、本レンズシステムはピクセルの4分の1(50μm)以下の程度の極めて良
好な色補正を達成する。これは高品位のデータまたはビデオの投影に極めて重要
な特徴である。
脱することのない様々な改変が上述の開示から当該分野の通常の技術者には明ら
かなことは当然である。
明に従って構成された第1の投影レンズの側面図である
の側面図である
な側面図である
像(スクリーン)高が−869mmの場合についての単色光学伝達関数(MTF
)プロット、 すなわちスクリーン対パネル倍率が−0.182の場合のMTFプ
ロットである
像(スクリーン)高が−1524mmの場合についてのMTFプロット、すなわ
ちスクリーン対パネル倍率が−0.104の場合のMTFプロットである
略図である
Claims (16)
- 【請求項1】 物体の像を形成するための投影レンズにおいて: 前記投影レンズが焦点距離f0を有し、その像側から順に; (A) 焦点距離f1を有し; (i) 焦点距離fE1を有するレンズ素子;及び (ii) 歪補正のための少なくとも1つの非球面; を含む第1のレンズユニット;並びに (B) 焦点距離f2を有し、その像側から順に: (i) 焦点距離f2S1を有する第1のサブレンズユニット;及び (ii) 前記第1のサブレンズユニットから空隙をおいて配置された焦点
距離f2s2を有する第2のサブレンズユニットであって、(a)球面収差補正
のための少なくとも1つの非球面;及び(b)前記投影レンズに軸色補正を与え
るための手段を含む第2のサブレンズユニット; からなる第2のレンズユニット; からなり、ここで: |f1|/f0>0.75; fE1<0; f2>0; f2/f0<2.0; f2s1>0; f2s1/f0<1.5;及び |f2s2|/f0>1.5; であることを特徴とする投影レンズ。 - 【請求項2】 物体の像を形成するための投影レンズにおいて: 前記投影レンズが焦点距離f0を有し、その像側から順に; (A) 焦点距離f1を有し: (i) 焦点距離fE1を有するレンズ素子;及び (ii) 歪補正のための少なくとも1つの非球面; を含む第1のレンズユニット;並びに (B) 焦点距離f2を有し、その像側から順に: (i) 焦点距離f2S1を有する第1のサブレンズユニット;及び (ii) 前記第1のサブレンズユニットから空隙をおいて配置された焦点
距離f2s2を有する第2のサブレンズユニットであって、その像側から順に:
(a)負のレンズ素子;(b)正のレンジ素子;及び(c)少なくとも1つの非
球面を有するプラスチックレンズ素子からなる第2のサブレンズユニット; からなる第2のレンズユニット; からなり、ここで: |f1|/f0>0.75; fE1<0; f2>0; f2/f0<2.0; f2s1>0; f2s1/f0<1.5;及び |f2s2|/f0>1.5; であることを特徴とする投影レンズ。 - 【請求項3】 前記第2のサブレンズユニットの前記プラスチックレンズ素
子が正の軸上屈折力を有することを特徴とする請求項2記載の投影レンズ。 - 【請求項4】 前記第2のサブレンズユニットの前記プラスチックレンズ素
子が負の軸上屈折力を有することを特徴とする請求項2記載の投影レンズ。 - 【請求項5】 前記第2のサブレンズユニットの前記負のレンズ素子が前記
第2のレンズサブユニットの前記正のレンズ素子より高い分散を有することを特
徴とする請求項2記載の投影レンズ。 - 【請求項6】 |fE1|/f0>1.5; であることを特徴とする請求項1または2記載の投影レンズ。
- 【請求項7】 前記第1のサブレンズユニットと前記第2のサブレンズユニ
ットとの間の空隙の長さをts1s2として: ts1s2/f0>0.1; であることを特徴とする請求項1または2記載の投影レンズ。 - 【請求項8】 前記投影レンズの像方向の半視界が少なくとも35°である
ことを特徴とする請求項1または2記載の投影レンズ。 - 【請求項9】 前記第1のレンズユニットの最大開放開口が前記第2のレン
ズユニットの最大開放開口より大きいことを特徴とする請求項1または2記載の
投影レンズ。 - 【請求項10】 前記第2のレンズユニットが前記第2のサブレンズユニッ
トの像側端より先にある後方主点を有することを特徴とする請求項1または2記
載の投影レンズ。 - 【請求項11】 前記投影レンズが前記像において有する歪は1%より小さ
いことを特徴とする請求項1または2記載の投影レンズ。 - 【請求項12】 前記物体がピクセルパネルであることを特徴とする請求項
1または2記載の投影レンズ。 - 【請求項13】 前記投影レンズの縦色収差が前記物体において1ピクセル
より小さいことを特徴とする請求項12記載の投影レンズ。 - 【請求項14】 前記第1のレンズユニットの最大開放開口が前記ピクセル
パネルの対角線の0.7倍より小さいことを特徴とする請求項12記載の投影レ ンズ。 - 【請求項15】 物体の像を形成するための投影レンズシステムにおいて、
前記システムが: (a) 光源及び前記光源の像を形成する照明光学系であって、前記光源の前
記像は前記照明光学系の出力である光学系; (b) 前記物体を含むピクセルパネル;及び (c) 請求項1または2記載の前記投影レンズ; を含むことを特徴とする投影レンズシステム。 - 【請求項16】 (i)前記投影レンズと前記ピクセルパネルとの間の距離
及び(ii)前記第1のレンズユニットと前記第2のレンズユニットとの間の距
離を変えることにより、前記投影レンズシステムの倍率が変えられることを特徴
とする請求項15記載の投影レンズシステム。
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