JP2001512288A - ドア付きウェハーエンクロージャ - Google Patents

ドア付きウェハーエンクロージャ

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Abstract

(57)【要約】 ウェハー用のシール可能なエンクロージャは、最小限の可動部材を利用した容易にアクセスできかつ分解することのできるラッチ機構（６０）を備えたドア（３６）を有している。このドア（３６）はカム部材（８０）を備えたエンクロージャを有しており、カム部材はポスト（１１０）の上で回転可能で、一対のラッチ用アーム（８２）と係合する。ドア（３６）が前部側ドアか底部ドアかによって、ラッチ用アームは、上方及び下方へ、あるいは前方及び後方へ伸びたり後退したり、移動したりする。ラッチ用アーム（８２）の移動は、ラッチ用アーム（８２）のカムフォロワ部分（１３６）をカム部材（８０）に対して軸方向に、また半径方向に移動させるように形成されたカム部材（８０）のカム部分（１００）によって行われる。ラッチ用アーム（８２）はエンクロージャ（５６）の支点（１７０）の上で旋回する。ラッチ機構（６０）はパネルを介してアクセス可能であり、このパネルは、ドアエンクロージャ（５６）の内部端壁（５５）の上に設けられた溝（１９８）と協働するパネル（１８０）に一体化された戻り止めによって取り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明はウェハーキャリヤに関する。さらに詳しくは、この発明はラッチ機
構を備えたドアを有するシール可能なウェハーエンクロージャに関する。
【０００２】
【従来の技術】
貯蔵や搬送のために、容器の中にウェハーを閉じこめるために様々な方法が利
用されており、ある容器は、ウェハーを受け入れるための垂直方向のスロットと
フレキシブルなスナップオン式カバーとを備えた堅固な本体を有している。これ
らの容器は、ウェハーが周囲雰囲気に曝されてはいけないような用途における使
用には不適である。
【０００３】 200mm以下のウェハーに対しては、ウェハーを周囲雰囲気へ曝すことなく処理 装置までウェハーを搬送できるようにする清浄なシールされたミニ環境を提供す
るために、図１に示されているようなＳＭＩＦ（標準機械的インターフェース(s
tandardized mechanical interface)）ポッド２０として知られている容器が利 用されている。こうしたポッドの例が米国特許第4,532,970号や第4,534,389号に
開示されている。こうしたＳＭＩＦポッドは、開口した底部を形成するフランジ
として構成された下側のドアフレーム部分３５を備えた一般的に透明な容器部分
３４と、開口した底部を閉じるためのラッチ可能なドア３６とを有している。ド
アフレーム部分３５は処理装置へクランプされ、処理装置に設けられたドアが下
側のＳＭＩＦポッドドアへ取り付けられる。前述した処理装置の中で、シールさ
れた処理環境の中までシェルから下方へ両方のドアが同時に降ろされる。ＳＭＩ
Ｆポッドドア３６の上面４０の上に設けられていてウェハーが装填された別個の
Ｈバーキャリヤ３８がポッドドアといっしょに降ろされ、ウェハーへアクセスし
て処理が行われる。
【０００４】 半導体処理産業は特に300mm以上の大きなウェハーを利用する方向に移行しつ つある。工業規格の発展によって、そうしたウェハー用の搬送モジュールは、モ
ジュールから下方へ落下する底部ドアではなくて、ウェハーを挿入したり取り出
したりするためにフロント開口式ドアを利用することになろう。図２には、そう
したフロント開口式エンクロージャが示されている。こうしたクロージャは、別
個の取り外し可能なキャリヤを用いずにウェハーを容器部分３４の中に支持でき
るけれども、ＳＭＩＦポッドと類似した部品を有している。
【０００５】 シール可能なエンクロージャに対するドアエンクロージャやラッチ機構につい
ては従来から様々な構造が知られている。これらは一般的には、容易に分解でき
ないとか、多数の可動部材を有しているとか、ファスナなどの金属部材を利用し
ているなどの欠点を有している。金属ファスナやその他の金属部材を使用するこ
とは、半導体ウェハーのキャリヤや容器においては非常に好ましくない。金属部
材は、擦ったり引っ掻いたりするときに非常に有害な粒子を発生する。ファスナ
を用いてモジュールを組み付けると、そうした擦ったり引っ掻いたりする事態が
起きる。従って、金属ファスナや、ウェハーキャリヤにおける他の金属部材の使
用は避けなければならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
当該分野で周知のラッチ機構は回転式カム部材を通常は使用することになるで
あろう。こうしたカム部材は一般的には平らなプラスチックプレートから形成さ
れており、カム面を形成する細長い溝を有している。これらのカム面は一方向へ
のカムフォロワの動きを提供するだけであり、これは一般にはラッチ部分の伸び
たり引っ込んだりする動きへ変換される半径方向における一回の前後運動である
。ドアを固定してシールするために、ラッチ部分を容器部分へ近づけたり遠ざけ
たりするためには、多くの構成部分を追加した別の手段が必要となろう。そうし
た追加構成部材は、製造コストが増大し、ラッチ機構が複雑になり、組み付けや
分解が困難になり、擦ったり引っ掻いたりする表面の数が増えて粒子発生が多く
なる。
【０００７】 上述したエンクロージャは比較的清浄な環境で使用されるけれども、時間が経
つと、エンクロージャの上や中、そしてドアエンクロージャの内部には汚染物質
が堆積して、最終的にはクリーニングが必要になる。このような汚染物質は、上
述したドアのラッチ機構を操作するときなどに部材を擦ったりすることによって
、またウェハー棚にウェハーを装着したり取り出したりすることによって、そし
てドアを容器部分へ係合させたり外したりすることによって発生する。従来のラ
ッチ機構では多数の部材が使われていること、ドアの分解が困難なこと、そして
金属ファスナを使用していることで、ドアのクリーニングが困難である。分解が
容易なラッチ機構を備えており、可動部材ができるだけ少ないような分解が容易
なドアが必要とされている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以下に開示し、そして請求項に記載されている特徴を有するドアは、上述した
ようなタイプのエンクロージャでの使用に適しており、上述した要求を満足して
いる。
【０００９】 ウェハー用のシール可能なエンクロージャは、最小限の可動部材を利用してい
て容易にアクセスできかつ分解することのできるラッチ機構を備えたドアを有し
ている。このドアはカム部材を備えたエンクロージャを有しており、カム部材は
ポストの上で回転可能であり、一対のラッチ用アームと係合する。ドアが前部側
ドアか底部ドアかによって、ラッチ用アームは、上方及び下方へ、あるいは前方
及び後方へ伸びたり後退したり、移動したりする。ラッチ用アームの移動は、ラ
ッチ用アームのカムフォロワ部分をカム部材に対して軸方向に、また半径方向に
移動させるように形成されたカム部材のカム部分によって行われる。ラッチ用ア
ームはエンクロージャの中の支点の上で旋回する。ラッチ機構はパネルを介して
アクセス可能であり、このパネルは、ドアエンクロージャの内部端壁の上に設け
られた溝と協働するパネルの上に一体化された戻り止めによって取り付けられる
。回転部材はスロットが設けられた中心を有しており、ポストの上へ挿入回転位
置で設置することによってエンクロージャから延びるＴ字形のポストの上に固定
される。組み付けられると、カム部材の回転はエンクロージャに設けられたスト
ップによって動作範囲が制限される。
【００１０】 この発明の特徴及び利点は、洗浄やその他の目的のために、ドアが容易に分解
及び組み付けできることである。
【００１１】 この発明の別の利点及び特徴は、ラッチ機構がすべて射出成形で形成すること
のできる最小限の数の部材を利用していることである。
【００１２】 この発明の別の利点及び特徴は、ドアに金属製の部材やファスナが不要であり
、使用されていないことである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
従来技術の図１及び図２は、この発明が非常に適している底部開口式のＳＭＩ
Ｆポッド２０とフロント開口式の搬送モジュール３０とをそれぞれ示している。
シール可能な各エンクロージャは、容器部分３４と、これと協働するドア３６と
を有している。ＳＭＩＦポッド２０は別個のウェハーキャリヤ３８も有している
。このウェハーキャリヤは当該分野において周知のＨバーキャリヤであり、ドア
３６の上面４０に着座する。
【００１４】 各容器部分３４と、各エンクロージャは、上部側４６と、前部側４８と、底部
側５０とを有している。ＳＭＩＦポッドにおいては、底部側５０は、ウェハーキ
ャリヤ３８とドア３６とを受容するために開口している。搬送モジュール３０に
おいては、前部側４８が開口していて、ドア３６によって閉じられるようになっ
ている。
【００１５】 ドアは、内向側５２と、外向側５３と、四つの側壁５５から成る周部５４とを
有している。各ドア３６はエンクロージャ５６を有している。エンクロージャ５
６は、ラッチ機構６０を収容する開口した内部５８を有している。ラッチ機構の
一部が図１及び図２に示されている。ラッチ機構はラッチ部分６２を有している
。ラッチ部分６２はスロット６６から外へ伸びて、容器部分３４のドアフレーム
部分７４の中に配置されているラッチ部分レシーバ６８に係合できる。
【００１６】 ここで、この発明を構成する改良点の詳細を説明する。図３Ａ及び図３Ｂを参
照すると、外向パネル７７を切り取って取り除いた状態のドア３６が、ラッチ機
構６０を収容する内部５８を見せている。ラッチ機構６０は回転可能なカム部材
８０と、一対のラッチ用アーム８２とから成っている。カム部材８０の詳細は図
４、図５、図６、図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃにさらに示されている。カム部材８
０は上面９０と、底面９２と、中央のハブ９６と、カム部分１００と、連結開口
部１０２と、構造緩和部分１０４とを有している。
【００１７】 カム部材８０の上面９０は、内向側５２の内側ドアパネル１０５の方を向いて
いる。カム部材８０のハブ９６内にはスロット１０６が設けられている。スロッ
ト１０６は、内側ドアパネル１０５のところでエンクロージャ５６から延びてい
るＴ字形状のポスト１１０の保持部分１０８へ嵌合するような寸法を有している
。図８を参照のこと。
【００１８】 カム部材８０は回転挿入位置においてポスト１１０の保持部分１０８と位置が
揃うようにポスト１１０に組み付けられる。この位置において、カムホイールを
若干回転して、作動回転範囲へ移動させる。この作動回転範囲は、図３Ａ及び図
３Ｂに示されているような限界位置を含めたその間の回転位置によって限定され
る。回転限界は、参照番号１１２で点線によって示されたエンクロージャから延
びるストップによって与えられている。
【００１９】 図４，図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃを参照すると、カム部分１００は細長いスト
リップ１２２の上に一対の第１の係合部分１１８を有している。細長いストリッ
プ１２２の高さと、それに対応した係合部分１１８の高さは、ストリップ上の半
径方向の位置によって変化する。カム部材８０は補足的な第１の係合部分１３０
も有している。係合部分１３０は、ラッチ用アーム８２のカムフォロワ部分１３
６を捕捉してガイドするときに、第１の係合部分１１８と協働する。カム部材は
また、補足的な第２の係合部分１４２と協働して動作する第２の係合部分１４０
も有している。これらの係合部分はラッチ用アーム８２のカムフォロワ部分１３
６へ係合して捕捉する。
【００２０】 ラッチ用アームは図３Ａ、図３Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図９に示され
ている。ラッチ用アームは、第１の端部１５２と、対向する第２の端部１５４と
、第１の端部に設けられたカムフォロワ部分１３６と、対向する第２の端部に設
けられたラッチ部分６２を有している。カムフォロワ部分は図７Ａ、図７Ｂ及び
図７Ｃに示されているようにほぼＳ字形状の断面を有していて、カム部材の中へ
組み付けて、その中に保持して継続的に係合できるようになっている。カムフォ
ロワ部分は、カム部材８０の第１の係合部分１１８と係合する第１の係合面１５
０と、補足的な第１の係合部分１３０と係合する補足的な第１の係合面１５３と
を有している。また、第２の係合面１５８は回転可能なカム部材８０の第２の係
合部分１４０と係合し、補足的な第２の係合面１６０が補足的な第２の係合部分
１４２と接触して係合する。
【００２１】 図３Ａ、図３Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃを参照すると、回転可能なカム部
材８０に対するラッチ用アームの動きが示されている。図３Ａ及び図７Ａはドア
エンクロージャ５６の内側へ完全に引っ込んだ状態のラッチ部分６２を示してい
る。図７Ｂは、伸びた状態にあり、内側ドアパネル１０５に近接した、従って容
器部分の内部に近接した状態にあるラッチ部分６２を示している。図７Ｃ及び図
３Ｂは、伸びた状態にあり、内側ドアパネル１０５から離れた状態、従ってほぼ
容器部分の内部及び容器部分から離れた状態にあるラッチ部分６２を示している
。内側ドアパネル１０５から離れるこの動きによって、ドア３６全体が容器部分
の内部へ向けて内側へ付勢され、その結果、完全に固定されシールされた関係が
実現される。
【００２２】 図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃに示されているように、ラッチ部分の最初の伸びは
、回転可能なカム部材が図３Ａに示されている位置から約20゜まず回転すること
によって行われる。この位置にあるカム部分は、第２の係合部分１４０によって
半径方向に押される。この点から、カム部分１００の第１の係合部分１１８の高
さは図７Ｃに示されている高さまで徐々に増大する。この点においてカム部分が
図７Ｃに示されているように上方へ隆起し、ラッチ用アームは、内側ドアパネル
１０５と一体化された支点１７０のまわりに回動する。支点１７０のまわりの前
述した回動によって、ラッチ部分６２がカム部分の動きと反対の方向へ移動する
。これによって、ドアが、ドアフレーム、従って容器部分と完全に係合する位置
まで内側に引っ張られる。
【００２３】 図５及び図７Ｃに最もよく示されているように、ラッチ用アームが支点１７０
のまわりに回動するにつれて、第１の係合部分１１８と、補足的な第１の係合部
分１３０は傾斜して、ラッチ用アームの第１の係合面１５０と補足的な第１の係
合面１５２の傾斜に完全に整合する。これによって、ラッチ用アームの荷重を、
カム部材の上へ完全に分配することが可能となり、従って荷重を広い面積にわた
って分配させて、構成部材を擦ることによる粒子の発生を最小限に抑えることが
可能となる。
【００２４】 図３Ａ及び図１０を参照して、外側ドアパネル１８０の構造とラッチ動作を詳
細に説明する。ドアパネル１８０はばね部材１８６に配置された複数の戻り止め
１８４を有している。ばね部材は前述した戻り止め及びドアパネル１８０の残り
の部分と一体化されている。前記戻り止めとばね部材とは、ドアパネルの外側端
部１９０に配置されている。ドアパネルはまた一対のキャッチ１９４も有してい
る。キャッチ１９４は協働するばね部材１８６を有していない。ドアパネルはま
ずドアエンクロージャ５６の側壁５５の上へ組み付けられる。キャッチ１９４は
、上側あるいは下側の周辺部に設けられた協働する溝１９８と係合している。次
にドアパネルを下方へ回転して、キャッチ部材の反対側の戻り止め１８４と、キ
ャッチ部材と隣接するドアパネルの側部に設けられた戻り止め１８４とを、ドア
エンクロージャの周辺部５４に設けられた対応する溝に隣接させる。次に戻り止
めを所定の位置へスナップして、金属ファスナを用いずにドアパネルを周辺部へ
固定する。戻り止めと、ばね部材と、キャッチ部材の寸法は、ドアが所定の位置
へラッチされたとき、ばね部材がドアパネル１８０の面内の方向とドアパネルと
直角な方向の両方に荷重を受けるようなものになっている。この荷重によって、
ドアパネルは周辺部との係合が保持され、また戻り止めを引っ込めると戻り止め
がドアエンクロージャから外側へ外れる。これによって、ドアパネルを周辺部５
４から本質的に自動的かつ簡便に分離することができ、ドアパネルの取り外しが
容易になる。
【００２５】 上述した構成部材は、ガラス及び／もしくはカーボンファイバが充填されたナ
イロンあるいはポリカーボネートなどの射出成形されたプラスチック材料か、フ
ィラーを含み、あるいはＰＴＦＥフィラーを含んだ上述のプラスチックから形成
される。こうした部材は機械加工することもできる。
【００２６】 この発明は、その精神あるいは本質から逸脱することなく、他の形態で実現す
ることが可能である。従って、上述した実施の形態は単に説明のためのものであ
り、発明を限定するものではない。この発明の範囲に関しては、上述した説明よ
りも添付されている特許請求の範囲を参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のＳＭＩＦポッドの斜視図である。
【図２】 従来の搬送モジュールの斜視図である。
【図３Ａ】 カバーの一部を取り除いたドアの斜視図である。
【図３Ｂ】 カバーが取り外されたドアの斜視図である。
【図４】 回転可能なカム部材の斜視図である。
【図５】 図４の回転可能なカム部材の側面図である。
【図６】 回転可能なカム部材の底部側の斜視図である。
【図７Ａ】 図３Ａの７−７線断面図である。
【図７Ｂ】 ラッチ部分が伸びた状態にある図７Ａの断面図である。
【図７Ｃ】 ラッチ部分が伸びて傾斜した状態にある図７Ａ及び図７Ｂの断面図である。
【図８】 ドアの内側パネルの斜視図であり、Ｔ字形状のポストを示している。
【図９】 ラッチ用アームの斜視図である。
【図１０】 フロントパネルカバーの斜視図である。
【手続補正書】
【提出日】平成１２年２月２日（２０００．２．２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アダムス，マイケル，エス アメリカ合衆国 56011 ミネソタ，ベ ル・プレイン，ウェスト・メイン・ストリ ート 706 (72)発明者 ボアーズ，グレッグ アメリカ合衆国 55372 ミネソタ，プラ イアー・レイク，ライアンズ・アベニュ ー・サウスイースト 16611 (72)発明者 ワイズマン，ブライアン，エス アメリカ合衆国 55336 ミネソタ，グレ ンコー，エイティーシックスス・コート 4545 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB04 CA02 DA05 DA17 DA30 GA07 5F031 CA02 DA08 DA09 EA02 EA11 EA12 EA14 PA26 【要約の続き】 付けられる。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 容器部分を有し、該容器部分が、開口した内部と、開口側を限
    定するほぼ四角形のドアフレーム部分とを有し、該ドアフレーム部分が、前記開
    口側に関して互いに反対側に配置された少なくとも二つのラッチレシーバを有し
    、協働するドアが、ドアフレーム部分へ挿入できるような寸法の外側周辺部を有
    するドアエンクロージャを有し、前記ドア周辺部が、前記ドアフレーム部分の前
    記ラッチレシーバに対応した少なくとも二つの開口部を有する、半導体ウェハー
    のためのシール可能なエンクロージャ用のドアのための改良されたラッチ機構で
    あって、当該ラッチ機構は、 ａ）一体化されたラッチ用アームを有し、該ラッチ用アームが、一端に”Ｓ”
    字形状のカムフォロワ部分を、また他端にラッチ部分を有しており、前記カムフ
    ォロワ部分が、ほぼ半径方向内向きの第１のカム係合面と、該第１のカム係合面
    と対向するほぼ半径方向外向きの第１の補足的なカム係合面と、ほぼ軸方向上方
    を向いた第２のカム係合面と、ほぼ軸方向下方を向いた第２の補足的なカム係合
    面とを有し、これらの面がすべて前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分の上に配置さ
    れており、 ｂ）回転可能なカム部材を有し、該カム部材が、前記ドアエンクロージャの内
    部において該ドアエンクロージャへ回転可能な状態で取り付けられていて、前記
    ドアの外側から回転することができ、また前記カム部材が、前記Ｓ字形状のカム
    フォロワの前記第２のカム係合面と前記第２の補足的なカム係合面の両方へ摺動
    的に係合してこれらと協働するほぼ軸方向を向いた一対のカム面を有しており、
    前記カム部材がさらに、前記Ｓ字形状のカムフォロワの前記第１のカム係合面と
    前記第１の補足的なカム係合面へ摺動的に係合してこれらと協働する一対のほぼ
    半径方向を向いたカム面と反対方向を向いたカム面とを有し、これら一対のほぼ
    半径方向を向いた面と、前記一対のほぼ軸方向を向いた面との組合せにより、前
    記Ｓ字形状のカムフォロワ部分を係合し捕捉するラッチ機構。
  2. 【請求項２】 前記回転可能なカム部材が前記ドアエンクロージャの中央に配
    置されており、前記エンクロージャが、一体化された前記ラッチ用アームの二つ
    を有していて、これらのアームが反対方向に延びている請求項１記載のシール可
    能なエンクロージャ。
  3. 【請求項３】 前記ラッチ用アームの各々がＹ字形状を有している請求項２記
    載のシール可能なエンクロージャ。
  4. 【請求項４】 前記ドアが、前記ラッチ機構を収容するエンクロージャとして
    形成されており、このエンクロージャが、複数の溝を有するドアエンクロージャ
    周辺部と、前記複数の溝と協働するように配置された複数の戻り止めを有するド
    アパネルとを有していて、金属ファスナを使用することなく、前記ドアパネルが
    前記ドアエンクロージャ内へスナップ嵌めされる請求項１記載のシール可能なエ
    ンクロージャ。
  5. 【請求項５】 前記回転可能なカム部材が前記ドアエンクロージャの中央に配
    置されており、前記エンクロージャが、一体化された前記ラッチ用アームの二つ
    を有していて、これらのアームが反対方向に延びており、前記ドアが５個を越え
    ない数の別個の部品から形成されている請求項４記載のシール可能なエンクロー
    ジャ。
  6. 【請求項６】 前記回転式のカム部材が前記ドアエンクロージャの中央に配置
    されており、前記エンクロージャが、一体化された前記ラッチ用アームの二つを
    有していて、前記ラッチ機構が３個を越えない数の可動部材を有している請求項
    ４記載のシール可能なエンクロージャ。
  7. 【請求項７】 前記容器部分が、水平な棚を形成する複数のウェハーサポート
    を有しており、前記開口側が前記容器部分の前部に設けられている請求項１記載
    のシール可能なエンクロージャ。
  8. 【請求項８】
  9. 【請求項９】
  10. 【請求項１０】
  11. 【請求項１１】 ウェハーを収容するためのシール可能なエンクロージャであ
    って、開口した底部側を備えた容器部分と、前記開口した底部側を閉じるための
    協働するドアとを有し、前記ドアが、周辺部と、平面状の内向水平面とを有する
    とともに、ラッチ機構を有しており、該ラッチ機構がカム部材とラッチ用アーム
    とを有し、該ラッチ用アームがその一端にＳ字形状のカムフォロワ部分を、また
    他端にラッチ部分を有しており、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分がカム部材に
    よって係合されて捕捉され、前記カム部材が、該カム部材が回転するにつれて半
    径方向外側と軸方向とへ前記ラッチ用アームを移動させるカム部分を有しており
    、前記ドアが前記開口側に位置しているときに前記ラッチ部分がまず前記ドアか
    ら外側へ伸び、前記ラッチ部分が次に前記エンクロージャの前記内部から離れる
    方向へ伸びて、前記カム部材が回転するにつれて前記ドアを引っ張って前記容器
    部分としっかりと係合させるシール可能なエンクロージャ。
  12. 【請求項１２】 ウェハーを収容するためのシール可能なエンクロージャであ
    って、開口した前部側を備えた容器部分と、前記開口した前部側を閉じるための
    協働するドアとを有し、前記ドアが、周辺部と、平面状の内向垂直面を有すると
    ともに、ラッチ機構を有しており、該ラッチ機構がカム部材とラッチ用アームを
    有し、該ラッチ用アームがその一端にＳ字形状のカムフォロワ部分を、また他端
    にラッチ部分を有しており、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分が前記カム部材に
    よって係合されて捕捉され、前記カム部材が、該カム部材が回転するにつれて外
    方と軸方向とへラッチ用アームを移動させるカム部分を有しており、前記ドアが
    前記開口側に位置しているときに前記ラッチ部分が前記ドアの周辺部から外側へ
    伸び、前記ラッチ部分が次に前記エンクロージャの前記内部から離れる方向へ伸
    びて、前記カム部材が回転するにつれて前記ドアを引っ張って前記容器部分とし
    っかりと係合させるシール可能なエンクロージャ。
  13. 【請求項１３】
  14. 【請求項１４】 シール可能なウェハーエンクロージャのためのドアであって
    、 フロントパネルと、リヤーパネルと、周辺部を形成していて前記フロントパネ
    ルと前記リヤーパネルとの間を延びる四つの側壁とを備えたエンクロージャを有
    し、前記側壁が複数の溝を有し、前記ラッチ機構が、前記側壁から伸張可能な複
    数のラッチ部分へ連結された回転部材を有しており、前記フロントパネルと前記
    リヤーパネルの一方が取り外し可能であるとともに、ドアパネルと一体化された
    ばね部材に一体化された複数の戻り止めを備えた外側端部を有しており、前記戻
    り止めが、前記周辺部へ向けて外側へ延びていて前記側壁に設けられた前記複数
    の溝と係合して捕捉して、金属ファスナを用いずに前記パネルを前記側壁へ固定
    するドア。
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