JP2001320889A - 光機能部品移動装置 - Google Patents

光機能部品移動装置

Info

Publication number
JP2001320889A
JP2001320889A JP2001026369A JP2001026369A JP2001320889A JP 2001320889 A JP2001320889 A JP 2001320889A JP 2001026369 A JP2001026369 A JP 2001026369A JP 2001026369 A JP2001026369 A JP 2001026369A JP 2001320889 A JP2001320889 A JP 2001320889A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
functional component
optical functional
optical
moving device
moving member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001026369A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Suzuki
鈴木  誠
Akihiro Iino
朗弘 飯野
Masao Kasuga
政雄 春日
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2001026369A priority Critical patent/JP2001320889A/ja
Priority to US09/796,152 priority patent/US20020015234A1/en
Publication of JP2001320889A publication Critical patent/JP2001320889A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/005Motorised alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光機能部品を移動するときにのみ電圧を印加
すればよく、また、長期使用時や温度変化時でも十分な
精度で移動する光機能部品移動装置を提供する。 【解決手段】 超音波モータ2によって回転する円板状
の偏心カム3の周面に、案内部材5によって一方向に前
後する移動部材4、および移動部材4に固定された光フ
ィルタ本体41の一端を当接させ、光フィルタ本体41
の他端にコイルバネ6を当接させて移動部材4を偏心カ
ム3側に付勢させる。また、光フィルタ本体41の位置
を検出するための信号を生成する位置信号生成手段と、
この位置信号生成手段および入力手段から入力される信
号に従って超音波モータ2を制御する制御部とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タで所定位置まで移動する光機能部品移動装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】波長多重光通信における可変波長光フィ
ルタ、可変減衰器、光スイッチは、その機能を発揮する
ために、正確に所定の位置まで移動させる必要がある。
【0003】従来、例えば可変波長光フィルタはピエゾ
素子を用いたり、あるいは例えば特許第2874635
号公報に記載されるように、圧電体を用いて移動されて
いる。
【0004】特許第2874635号公報記載の技術
は、以下の通りである。
【0005】すなわち、予備動作として、初期状態に圧
電体を戻した後に、可変波長光フィルタを圧電体で移動
して、所定の透過波長を得るときの駆動電圧を記憶して
おく。そして、初期状態に圧電体を戻した後に、この記
憶している駆動電圧を印加することで可変波長光フィル
タを所定の位置まで移動して所定の透過波長を得る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した特許第287
4635号公報に代表されるように、従来の圧電アクチ
ュエータを利用したものは、圧電体の伸縮をそのまま利
用して可変波長光フィルタを移動するものであった。こ
のため、可変波長光フィルタを初期状態以外の位置に配
置するときは、非駆動時でも常に圧電アクチュエータに
電圧を印加する必要があった。このため、ランニングコ
ストが高かった。
【0007】また、圧電素子は長期使用により劣化し、
同一の電圧を印加しても同じ長さに伸長し、あるいは収
縮するとは限らない。このため、前記公報に開示された
技術では、通信設備等、長期にわたって使用される場合
には所定の性能を発揮し続けることは難しく、十分な信
頼性を得られない可能性もあった。
【0008】さらには、圧電素子は使用環境の温度によ
り特性が変化し、同一の電圧を印加しても同じ長さに伸
長し、あるいは収縮するとは限らないため、前記公報に
開示された技術では、劣化前でも十分な信頼性を得られ
ない可能性もあった。
【0009】本発明の課題は、光機能部品を移動すると
きにのみ電圧を印加すればよい圧電アクチュエータを用
いた光機能部品移動装置を提供することである。また、
長期使用時や温度変化時においても十分な精度で移動す
る光機能部品移動装置を提供することでもある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の光機能部品移動装置は、静止位置によって
異なる光機能部品を、圧電振動体に発生する振動を動力
源として移動させる圧電アクチュエータと、この圧電ア
クチュエータを制御して前記光機能部品の位置決めを行
う制御手段とを備えることを特徴とする。
【0011】本発明に係る圧電アクチュエータの具体的
な移動機構としては、偏心カムやシャフトを利用した機
構や、ラックピニオン及び歯車を利用した機構や、摩擦
を利用した機構等がある。また、圧電振動体の振動を増
幅して出力する出力突起をそのまま利用してもよい。
【0012】本発明によれば、光機能部品は圧電振動体
の振動を動力源として移動する。このため、圧電素子に
電圧が印加されなくなって振動が停止し、圧電素子が初
期状態に戻っても、光機能部品の位置はそのままであり
原点に戻ることはない。
【0013】従って、光機能部品を移動させるときにの
み電圧を印加すればよく、ランニングコストを抑えられ
る。
【0014】また、前記光機能部品の位置を検出する位
置検出手段と、この位置検出手段からの信号を用いて圧
電振動体を制御する制御手段とを設けて、各動作毎に光
機能部品の位置を検出しつつ圧電振動体を制御するの
で、圧電振動体中の圧電体に劣化や温度変化による特性
変化が生じても、確実に光機能部品を所定の位置に移動
できる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明につき図面に基づい
て詳細に説明する。
【0016】<第1の実施の形態>本発明の第1の実施
の形態である光機能部品移動装置の一例である光フィル
タ移動装置1について、図1から図4を用いて説明す
る。図1および図2に示すように、この光フィルタ移動
装置1は、超音波モータ2によって回転する円板状の偏
心カム3の周面に、案内部材5によって一方向に前後す
る移動部材4と、移動部材4に固定され同期して動作す
る光フィルタ本体41の一端を当接させ、光フィルタ本
体41の他端にコイルバネ6(付勢手段)を当接させて
光フィルタ本体41を偏心カム3側に付勢させた構成で
ある。すなわち、光フィルタ移動装置1は、図3に示す
ような、光フィルタ本体41の可変波長光フィルタ42
が、光ファイバ7と光ファイバ8の間に位置するよう設
置され、この可変波長光フィルタ42を所望の位置まで
前後させることにより、光ファイバ7から出射した波長
多重光のうち、所望の波長の光のみを透過して光ファイ
バ8に入射させる装置である。
【0017】また、光フィルタ移動装置1は、図4に示
すように、光フィルタ本体41の移動量を検出するため
の信号を生成する位置信号生成手段9と、位置信号生成
手段9および入力手段10から入力される信号に従って
超音波モータ2を制御する制御部11とを備える。
【0018】超音波モータ2は、圧電振動体21と、圧
電振動体21の上面の出力突起21a上に回転可能に設
置されたロータ22と、を備え、その構成は周知の超音
波モータと概略同じである。
【0019】圧電振動体21は、入力された駆動電圧に
従って屈曲振動を生じる圧電体上に、出力突起21aを
上面に備えた振動増幅用の振動体を固定した構成であ
る。
【0020】光フィルタ本体41は、図3に概略を示す
ように直方体状の部材であり、周知の可変波長光フィル
タ42を対向する側面から露出した状態で保持すると共
に、位置信号生成手段9(詳細は後述)の一部であるス
リット91を可変波長光フィルタ42に対して平行に保
持した構成である。
【0021】移動部材4は、略直方体の下面に溝43を
設けた断面略コ字状の形状であり、上面には光フィルタ
本体41を固定した構成からなり、移動部材4を、案内
部材5にスライド可能に受け入れ保持することで、超音
波モータ2の回転中心に向けて摺動する部材である。
【0022】位置信号生成手段9は、図4に示すよう
に、スリット91と、スリット91に向けて発光する発
光部92と、スリット91を透過した発光部92からの
光をパルス信号に変換して制御部11に出力する検出部
93とにより概略構成される。ここで、発光部92およ
び検出部93はその位置が変わらぬよう、例えばケース
15に固定される。
【0023】入力手段10は、例えばキーボードあるい
は他の制御回路等であり、可変波長光フィルタ42が透
過すべき波長を示す信号を制御部11に出力する。
【0024】制御部11は、発光部92からのパルス信
号を積算して移動部材4の移動量及び位置に変換し、可
変波長光フィルタ42が透過する光の波長を認識すると
共に、この波長と、入力手段10から入力される波長と
を比較して超音波モータ2を制御して、光フィルタ本体
41すなわち可変波長光フィルタ42の位置を所定の位
置まで動かす。
【0025】次に、光フィルタ移動装置1の動作につい
て説明する。
【0026】超音波モータ2が図1中反時計回り(ある
いは時計回り)に回転すると、偏心カム3も図1中反時
計回り(あるいは時計回り)に回転する。すると光フィ
ルタ本体41と移動部材4は偏心カム3の端面に押さ
れ、コイルバネ6の付勢力にうち勝って図1中左側に動
く。
【0027】その後、超音波モータ2が反対方向に回転
すると、偏心カム3も反対方向に回転し、光フィルタ本
体41を押すことをやめる。すると、移動部材4と光フ
ィルタ本体41はコイルバネ6の付勢力により図1中右
側に動く。
【0028】従って、光フィルタ移動装置1によれば、
超音波モータ2を駆動させて偏心カム3を回転させるこ
とで、可変波長光フィルタ42を所定の位置まで動かせ
る。
【0029】また、超音波モータ2は圧電体に生じる屈
曲振動を駆動力源としており、動作停止後にロータ22
が原点に復帰しない。従って、波長可変光フィルタ42
を動かすときにのみ駆動電圧を必要とするため、従来と
比べて消費電力は格段に少なくてすむ。
【0030】また、可変波長光フィルタ42とスリット
91とを光フィルタ本体41に一体的に設け、このスリ
ット91を用いて可変波長光フィルタ42の位置を検出
しつつ超音波モータ2を制御するため、超音波モータ2
の特性が長期使用により劣化したり温度に伴い変化して
も、確実に可変波長光フィルタ42を所定の位置に配置
して適正な波長の光を透過させることができる。
【0031】<第2の実施の形態>次に、本発明の第2
の実施の形態である、光機能部品移動装置の一例である
光フィルタ移動装置100について、図5および図6を
用いて説明する。
【0032】図5および図6に示すように、光フィルタ
移動装置100は、光フィルタ移動装置1と概略同じ構
成であるが、偏心カム3のかわりに回転板101(回転
体)およびシャフト102を設け、光フィルタ本体41
と移動部材4の間に保持板103を組み付けた構成であ
る。
【0033】回転板101は、超音波モータ2のロータ
22上に同心状に固定された円板である。
【0034】シャフト102は、一端を回転板101の
周縁部に回動自在に組み付けられ、他端を保持板103
の端部に回動自在に組み付けられたシャフトである。
【0035】上述した構成の光フィルタ移動装置100
においては、超音波モータ2が図5中時計回り(あるい
は反時計回り)に回転すると、回転板101はシャフト
102および移動部材4を図5中左側に押しつつ回転す
る。
【0036】その後、超音波モータ2が反対方向に回転
すると、回転板101はシャフト102および移動部材
4を図5中右側に引き戻しつつ回転する。
【0037】従って、光フィルタ移動装置100によれ
ば、光フィルタ移動装置1と同様の効果を得ることがで
きる。
【0038】<第3の実施の形態>次に、本発明の第3
の実施の形態である、光機能部品移動装置の一例である
光フィルタ移動装置110について、図7および図8を
用いて説明する。
【0039】図7および図8に示すように、光フィルタ
移動装置110は、光フィルタ移動装置1と概略同じ構
成である。
【0040】しかしながら、光フィルタ移動装置110
は、偏心カム3を設けずに、光フィルタ本体41と移動
部材4との間に、移動板111をその一端側が移動部材
4より飛び出すよう組み付け、移動板111の一端側に
ラックピニオン111aを形成し、ラックピニオン11
1aに、超音波モータ2によって回転する歯車112を
噛み合わせた構成である。
【0041】上述した構成の光フィルタ移動装置110
においては、超音波モータ2が図7中反時計回りに回転
すると、歯車112はラックピニオン111a及び移動
部材4を図7中左側に動かしつつ回転する。
【0042】逆に、超音波モータ2が図7中時計回りに
回転すると、歯車112はラックピニオン111a及び
移動部材4を図7中右側に動かしつつ回転する。
【0043】この際、移動部材4およびラックピニオン
111aは、光フィルタ本体41を介して、コイルバネ
6により図7中右側に付勢されているため、ラックピニ
オン111aと歯車112の間のあそびが移動部材4の
位置精度に影響を与えることはない。
【0044】従って、光フィルタ移動装置110によれ
ば、光フィルタ移動装置1と同様の効果を得ることがで
きる。
【0045】<第4の実施の形態>次に、本発明の第4
の実施の形態である、光機能部品移動装置の一例である
光フィルタ移動装置120について、図9を用いて説明
する。
【0046】図9に示すように、光フィルタ移動装置1
20は、光フィルタ移動装置1と概略同じ構成である。
しかしながら、光フィルタ移動装置120は、偏心カム
3及びコイルバネ6を設けず、光フィルタ本体41と移
動部材4との間に、略角柱状の補助部材121(移動部
材の一部)をその一端側が移動部材4より飛び出すよう
組み付け、補助部材121の一端側の側面121aに、
超音波モータ2によって回転する円板状の回転体122
の側面122aを当接した構成である。
【0047】すなわち、超音波モータ2の回転力は、側
面121aと側面122aとの間の摩擦力により移動部
材4に伝達される。このため、側面121aと側面12
2aは高摩擦係数となるよう加工し、あるいは高摩擦係
数となる材質とする。高摩擦係数となる材料としては、
例えば、シリコンゴムや硬質ゴム等が考えられ、これら
を各側面に設けることで、上記構成とすることができ
る。
【0048】また、各側面の表面に、上記材料に準ずる
性質の材料の膜を形成することも可能である。この場合
には、スプレーや浸漬等で形成してもよい。
【0049】上述した構成の光フィルタ移動装置120
においては、超音波モータ2および回転体122が図9
中反時計回りに回転すると、補助部材121および移動
部材4は図9中左側に動く。また、超音波モータ2およ
び回転体122が図9中時計回りに回転すると、補助部
材121および移動部材4は図9中右側に動く。
【0050】従って、光フィルタ移動装置120によれ
ば、光フィルタ移動装置1と同様の効果を得ることがで
きる。
【0051】<第5の実施の形態>次に、本発明の第5
の実施の形態である、光機能部品移動装置の一例である
光フィルタ移動装置130について、図10を用いて説
明する。
【0052】この光フィルタ移動装置130は、図10
に示すように、光フィルタ移動装置120と概略同じ構
成であるが、超音波モータ2および回転体122の代わ
りにリニア型超音波モータ131を用いた構成である。
【0053】リニア型超音波モータ131は、複数の分
極領域を極性が交互に異なるよう配置した圧電素子の側
面に生ずる屈曲振動を動力源とした超音波モータであ
り、側面に出力突起131aを有する。
【0054】すなわち、光フィルタ移動装置130は、
リニア型超音波モータ131の出力突起131aを補助
部材121の側面121aに当接させた構成である。
【0055】上述した構成の光フィルタ移動装置130
においては、リニア型超音波モータ131は出力突起1
31aを介して駆動力を補助部材121に伝達すること
で、補助部材121および移動部材4を図10中左右に
動かす。
【0056】従って、光フィルタ移動装置130によれ
ば、光フィルタ移動装置1と同様の効果を得ることがで
きる。
【0057】なお、上述した各光フィルタ移動装置にお
いては、波長可変光フィルタ42とスリット91とを光
フィルタ41内で上下に並べて設置したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、例えば図11に示すよう
に、波長可変光フィルタ42とスリット91とを横に並
べて配置してもよい。
【0058】また、図12に示すように、スリット91
を光フィルタ本体41に設けずに、超音波モータ2のロ
ータ22の外周に取り付けることで、制御部11が超音
波モータ2の回転量を算出し、この回転量から移動部材
4の移動量を算出する構成としてもよい。
【0059】また、光フィルタ移動装置100および1
10においては、コイルバネ6は、光フィルタ本体41
を介して移動部材4を押すのに限らず、引く構成にして
もよい。
【0060】その他、具体的な構成についても発明の趣
旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能であることは勿論
である。 <第6の実施の形態>次に、本発明の第6の実施の形態
である、光機能部品移動装置の一例である光スイッチ1
35について、図13を用いて説明する。
【0061】光スイッチ135は、図13に示すよう
に、光フィルタ移動装置1と概略同じ構成であるが、光
ファイバを少なくとも4本以上設け、2本のファイバを
対向するように配置し、光フィルタ本体41の代わりに
ミラー136を設けた構成である。上述した構成の光ス
イッチ135においては、移動部材4が図13中右側に
あるときは、光ファイバA181と光ファイバB18
2、および光ファイバC183と光ファイバD184が
対向し、例えば光ファイバA181と光ファイバD18
4が発光側の場合は、光ファイバB182と光ファイバ
C183が受光側の構成となっている。また、移動部材
4が図13中左側にあるときは、移動部材4に設けたミ
ラー136によって光を反射させ、例えば、発光側を上
記と同様に光ファイバA181と光ファイバD184と
すると、光ファイバA181の光を光ファイバC183
が受光し、光ファイバD184の光を光ファイバB18
2が受光する構成となっている。従って、光スイッチ1
35によれば、光ファイバから発光した光をミラー13
6の有無によって、複数の方向に変えることが可能とな
り、例えば図13の構成によれば、2×2の光スイッチ
が可能となる。 <第7の実施の形態>次に、本発明の第7の実施の形態
である、光機能部品移動装置の一例である可変減衰器1
50について、図14および図15を用いて説明する。
可変減衰器150は、図14および図15に示すよう
に、超音波モータ202によって回転する円板状の偏心
カム503の周面に、一端を当接させた軸505と、軸
505の他端を摺動可能に保持したガイド部材508
と、一端は軸505を固定し他端は移動部材504に固
定したプレート507と、一端を移動部材504に固定
し他端にレンズ510を固定したレンズ固定板506
と、案内部材515の一端近傍に一端を固定し他端にコ
リメータA516を固定した光部品固定部材A518
と、案内部材515の他端近傍に一端を固定し他端にコ
リメータB517を固定した光部品固定部材B519
と、プレート507とガイド部材508の間で軸505
の外周に組み込まれたコイルバネ509(付勢手段)に
よって軸505を偏心カム503側に付勢させた構成で
ある。すなわち、可変減衰器150は、互いに対向して
固定されたコリメータA516とコリメータB517の
間に配置されたレンズ510を、光軸上の左右に移動す
ることによって、光を減衰させる装置である。また、可
変減衰器150は、図12と同様に、レンズ510の移
動量を算出する構成である。従って、可変減衰器150
によれば、超音波モータ2を駆動させて偏心カム503
を回転させることで、レンズ510を所定の位置まで動
かせる。また、超音波モータ2は圧電体に生じる屈曲振
動を駆動力源としており、動作停止後にロータ22が原
点に復帰しない。従って、レンズ510を動かすときに
のみ駆動電圧を必要とするため、従来と比べて消費電力
は格段に少なくてすむ。また、可変減衰器150は、コ
リメータA516およびコリメータB517を用いず、
光部品固定部材B519も設けず、光部品固定部材A5
18とレンズ固定板506に直接光ファイバを固定し、
レンズ固定板506を左右に移動させて光を減衰させる
構成としてもよい。
【0062】
【発明の効果】以上より、本発明によれば、光機能部品
は圧電振動体の屈曲振動を動力源として移動するので、
光機能部品を移動させるときにのみ電圧を印加すればよ
く、ランニングコストを抑えられる。
【0063】また、前記光機能部品の位置を検出する位
置検出手段と、この位置検出手段からの信号を用いて圧
電振動体を制御する制御手段とを設けて、各動作毎に光
機能部品の位置を検出しつつ圧電振動体を制御するの
で、圧電振動体中の圧電体に劣化や温度変化による特性
変化が生じても、確実に光機能部品を所定の位置に移動
させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した、第1の実施の形態の光フィ
ルタ移動装置の平面概略図である。
【図2】図1の光フィルタ移動装置の側面概略図であ
る。
【図3】図1の光フィルタ移動装置の光フィルタ本体の
斜視概略図である。
【図4】図1の光フィルタ移動装置の要部のブロック図
である。
【図5】本発明を適用した、第2の実施の形態の光フィ
ルタ移動装置の平面概略図である。
【図6】図5の光フィルタ移動装置の側面概略図であ
る。
【図7】本発明を適用した、第3の実施の形態の光フィ
ルタ移動装置の平面概略図である。
【図8】図7の光フィルタ移動装置の側面概略図であ
る。
【図9】本発明を適用した、第4の実施の形態の光フィ
ルタ移動装置の平面概略図である。
【図10】本発明を適用した、第5の実施の形態の光フ
ィルタ移動装置の平面概略図である。
【図11】光フィルタ移動装置の光フィルタ本体の変形
例の斜視概略図である。
【図12】光フィルタ移動装置の超音波モータの変形例
を説明する断面図である。
【図13】本発明を適用した、第6の実施の形態の光ス
イッチの平面概略図である。
【図14】本発明を適用した、第7の実施の形態の可変
減衰器の平面概略図である。
【図15】図14の可変減衰器の側面概略図である。
【符号の説明】
1 光フィルタ移動装置 2 超音波モータ 3,503 偏心カム 4,504 移動部材 5,515 案内部材 6 コイルバネ(付勢手段) 7,8,181,182,183,184 光ファ
イバ 9 位置信号生成手段(光フィルタ動作量検出手
段、アクチュエータ動作量検出手段の一部) 11 制御部(制御手段、光フィルタ動作量検出手
段の一部、アクチュエータ動作量検出手段の一部および
演算手段) 15 ケース 21 振動体(圧電振動体) 41 光フィルタ本体 42 可変波長光フィルタ 100 光フィルタ移動装置 101 回転板(回転体) 102 シャフト 110 光フィルタ移動装置 111a ラックピニオン 112 歯車 120 光フィルタ移動装置 121 補助部材(移動部材の一部) 122 回転体 130 光フィルタ移動装置 131a 出力突起 135 光スイッチ 136 ミラー 150 可変減衰器 505 軸 506 レンズ固定板 507 プレート 508 ガイド部材 510 レンズ 516,517 コリメータ 518,519 光部品固定部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 41/08 C (72)発明者 春日 政雄 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光機能部品を、圧電振動体に発生する振
    動を動力源として移動させる圧電アクチュエータと、 この圧電アクチュエータを制御して前記光機能部品の位
    置決めを行う位置決め手段と、 を備えることを特徴とする光機能部品移動装置。
  2. 【請求項2】 前記圧電振動体の振動によって回転する
    偏心カムと、 前記偏心カムに一端が当接した光機能部品を保持した移
    動部材と、 この移動部材を前後にスライド可能に保持する案内部材
    と、 前記光機能部品を前記偏心カムに向けて付勢する付勢手
    段と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の光機能部品移
    動装置。
  3. 【請求項3】 前記光機能部品を保持した移動部材と、 この移動部材を前後にスライド可能に保持する案内部材
    と、 前記圧電振動体の振動によって回転する回転体と、 一端が前記回転体に回動可能に組み付けられ、他端が前
    記移動部材端部に回動可能に組み付けられたシャフト
    と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の光機能部品移
    動装置。
  4. 【請求項4】 前記光機能部品を保持し、一部にラック
    ピニオンを備えた移動部材と、 この移動部材を前後にスライド可能に保持する案内部材
    と、 前記ラックピニオンに噛み込み、前記圧電振動体の振動
    によって回転する歯車と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の光機能部品移
    動装置。
  5. 【請求項5】 前記移動部材を一方向に付勢する付勢手
    段を備えることを特徴とする請求項3または4記載の光
    機能部品移動装置。
  6. 【請求項6】 前記光機能部品を保持し、表部の少なく
    とも一部を高摩擦係数化した移動部材と、 この移動部材を前後にスライド可能に保持する案内部材
    と、 前記圧電振動体の振動により回転し、前記移動部材の高
    摩擦係数化した部分に当接して摩擦力により回転力を前
    記移動部材に直線運動として伝達する回転体と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の光機能部品移
    動装置。
  7. 【請求項7】 前記光機能部品を保持した移動部材と、 圧電振動体の振動面上に設置され、該圧電振動体の振動
    を増幅して前記移動部材を直接駆動する出力突起と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の光機能部品移
    動装置。
  8. 【請求項8】 前記位置決め手段として、 前記光機能部品の位置を検出する位置検出手段と、 この位置検出手段からの信号を用いて圧電振動体を制御
    する制御手段と、 を備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記
    載の光機能部品移動装置。
  9. 【請求項9】 前記位置検出手段は、前記圧電アクチュ
    エータの動作量を検出するアクチュエータ動作量検出手
    段と、 このアクチュエータ動作量検出手段の検出値から前記光
    機能部品の位置を算出する演算手段と、 を備えることを特徴とする請求項8記載の光機能部品移
    動装置。
  10. 【請求項10】 前記位置検出手段は、前記光機能部品
    の動作量を検出する光機能部品動作量検出手段と、 このアクチュエータ動作量検出手段の検出値から前記光
    機能部品の位置を算出する演算手段と、を備えることを
    特徴とする請求項8記載の光機能部品移動装置。
  11. 【請求項11】 前記光機能部品とは、フィルタ、コリ
    メータ、ファイバー、レンズ、ミラーに適用することを
    特徴とする請求項1〜10記載の光機能部品移動装置。
JP2001026369A 2000-03-03 2001-02-02 光機能部品移動装置 Withdrawn JP2001320889A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001026369A JP2001320889A (ja) 2000-03-03 2001-02-02 光機能部品移動装置
US09/796,152 US20020015234A1 (en) 2000-03-03 2001-02-28 Apparatus for moving optical functioning element

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000058500 2000-03-03
JP2000-58500 2000-03-03
JP2001026369A JP2001320889A (ja) 2000-03-03 2001-02-02 光機能部品移動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001320889A true JP2001320889A (ja) 2001-11-16

Family

ID=26586709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001026369A Withdrawn JP2001320889A (ja) 2000-03-03 2001-02-02 光機能部品移動装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20020015234A1 (ja)
JP (1) JP2001320889A (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7399982B2 (en) * 2003-01-09 2008-07-15 Con-Trol-Cure, Inc UV curing system and process with increased light intensity
US20060204670A1 (en) * 2003-01-09 2006-09-14 Con-Trol-Cure, Inc. UV curing method and apparatus
US7671346B2 (en) * 2003-01-09 2010-03-02 Con-Trol-Cure, Inc. Light emitting apparatus and method for curing inks, coatings and adhesives
US7465909B2 (en) * 2003-01-09 2008-12-16 Con-Trol-Cure, Inc. UV LED control loop and controller for causing emitting UV light at a much greater intensity for UV curing
US7175712B2 (en) * 2003-01-09 2007-02-13 Con-Trol-Cure, Inc. Light emitting apparatus and method for curing inks, coatings and adhesives
US7137696B2 (en) * 2003-01-09 2006-11-21 Con-Trol-Cure, Inc. Ink jet UV curing
US7498065B2 (en) * 2003-01-09 2009-03-03 Con-Trol-Cure, Inc. UV printing and curing of CDs, DVDs, Golf Balls And Other Products
JP2004266943A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Seiko Epson Corp 超音波モータ、稼働装置、光学系切換機構および電気機器
JP2005229790A (ja) * 2004-01-13 2005-08-25 Seiko Epson Corp 駆動装置、レンズユニット、およびカメラ
US8314408B2 (en) 2008-12-31 2012-11-20 Draka Comteq, B.V. UVLED apparatus for curing glass-fiber coatings
DK2388239T3 (da) 2010-05-20 2017-04-24 Draka Comteq Bv Hærdningsapparat, der anvender vinklede UV-LED'er
US8871311B2 (en) 2010-06-03 2014-10-28 Draka Comteq, B.V. Curing method employing UV sources that emit differing ranges of UV radiation
DK2418183T3 (en) 2010-08-10 2018-11-12 Draka Comteq Bv Method of curing coated glass fibers which provides increased UVLED intensity

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63114786A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 日立マクセル株式会社 電子ノブ
JPH02142693A (ja) * 1988-11-21 1990-05-31 Mitsubishi Electric Corp ビームスキャニング装置
JPH08111990A (ja) * 1994-10-11 1996-04-30 Canon Inc 超音波モータの出力伝達機構および光学機器
JPH0935433A (ja) * 1995-07-11 1997-02-07 Sharp Corp ピックアップ送り装置
JP2874635B2 (ja) * 1996-03-28 1999-03-24 日本電気株式会社 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置
JPH11271480A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Seiko Instruments Inc 超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置
JPH11295777A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Konica Corp 絞り装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63114786A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 日立マクセル株式会社 電子ノブ
JPH02142693A (ja) * 1988-11-21 1990-05-31 Mitsubishi Electric Corp ビームスキャニング装置
JPH08111990A (ja) * 1994-10-11 1996-04-30 Canon Inc 超音波モータの出力伝達機構および光学機器
JPH0935433A (ja) * 1995-07-11 1997-02-07 Sharp Corp ピックアップ送り装置
JP2874635B2 (ja) * 1996-03-28 1999-03-24 日本電気株式会社 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置
JPH11271480A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Seiko Instruments Inc 超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置
JPH11295777A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Konica Corp 絞り装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20020015234A1 (en) 2002-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001320889A (ja) 光機能部品移動装置
JP4377956B2 (ja) 光学対物レンズ・モジュール
US5890391A (en) Linear drive mechanism using electromechanical conversion element
JPH10341057A (ja) 外部共振器型波長可変半導体レーザー光源およびその波長可変方法
JP4335800B2 (ja) 圧電アクチュエーターを備えたデジタルカメラシステム
JP2007004881A (ja) ミラー角度制御システム
US20040114942A1 (en) Optical receiver and optical transmitter using variable optical attenuator, and method for producing variable optical attenuator
US7366221B2 (en) Laser apparatus and method of driving diffraction grating
JP2001305439A (ja) 光通信機器
US20060280421A1 (en) Variable light attenuator
JP3033417B2 (ja) 波長可変光フイルタ
US20110317170A1 (en) Wedge pair for phase shifting
JP2002156248A (ja) 位置検出装置付き電子機器
US7741606B2 (en) Motor driven variable optical attenuator with IR sensor closed-loop control
JPH0713061A (ja) 光学要素駆動装置
JP4657429B2 (ja) 超音波モータを用いた直動機構、揺動機構およびそれらを用いた電子機器
EP0527128A1 (en) Two axis plane mirror interferometer
JP4731691B2 (ja) 外部キャビティレーザー内で光の波長を同調させる装置と方法
JP2003185945A (ja) 可変光減衰器
JP2015007682A (ja) 光学部材駆動装置及びそれを有するレンズ装置
JP4497594B2 (ja) 超音波モータを用いた直動機構およびそれを用いた電子機器
JPH04211210A (ja) 振動モータを用いたレンズ鏡筒
JP4034179B2 (ja) ステージおよびそれを用いた電子顕微鏡装置
JP2001069772A (ja) 弾性表面波モータ
JP2021128826A (ja) 回転操作装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040303

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070906

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091104

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091113

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091117

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100406

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100420

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20100526