JP2874635B2 - 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置Info
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- JP2874635B2 JP2874635B2 JP8074935A JP7493596A JP2874635B2 JP 2874635 B2 JP2874635 B2 JP 2874635B2 JP 8074935 A JP8074935 A JP 8074935A JP 7493596 A JP7493596 A JP 7493596A JP 2874635 B2 JP2874635 B2 JP 2874635B2
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長多重光通信に
おける可変波長フィルタを駆動する圧電アクチュエータ
の変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制御方法及び
装置に関する。
おける可変波長フィルタを駆動する圧電アクチュエータ
の変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制御方法及び
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のピエゾ素子などを用いた
圧電アクチュエータの変位制御を行う従来例として、特
開昭６３−２８３１８０号公報の「変位センサを有する
圧電アクチュエータ」、特開平２−１１１２７３号公報
の「ピエゾアクチュエータ駆動装置」、及び特開昭６３
−２８３０８７号公報の「圧電素子の駆動方法」等が知
られている。
圧電アクチュエータの変位制御を行う従来例として、特
開昭６３−２８３１８０号公報の「変位センサを有する
圧電アクチュエータ」、特開平２−１１１２７３号公報
の「ピエゾアクチュエータ駆動装置」、及び特開昭６３
−２８３０８７号公報の「圧電素子の駆動方法」等が知
られている。
【０００３】特開昭６３−２８３１８０号の従来例で
は、圧電アクチュエータに変位センサを取り付け、この
変位センサによってフィードバック制御を行っている。
また、特開平２−１１１２７３号の従来例は、圧電アク
チュエータに印加する電圧を零に設定した後に、圧電ア
クチュエータに駆動電圧を印加している。さらに、特開
昭６３−２８３０８７号の従来例は、圧電アクチュエー
タに定格最高電圧を印加した後に、圧電アクチュエータ
に駆動電圧を印加している。
は、圧電アクチュエータに変位センサを取り付け、この
変位センサによってフィードバック制御を行っている。
また、特開平２−１１１２７３号の従来例は、圧電アク
チュエータに印加する電圧を零に設定した後に、圧電ア
クチュエータに駆動電圧を印加している。さらに、特開
昭６３−２８３０８７号の従来例は、圧電アクチュエー
タに定格最高電圧を印加した後に、圧電アクチュエータ
に駆動電圧を印加している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
６３−２８３１８０号の例では変位センサ、変位検出回
路及びフィードバック回路からなる制御系が必要であ
り、その構成が複雑である。また、特開平２−１１１２
７３号の例及び特開昭６３−２８３０８７号の例では、
残留ヒステリシスの影響があり、制御した変位位置が不
正確になり易いことが考えられ、それぞれ改善の余地が
ある。
６３−２８３１８０号の例では変位センサ、変位検出回
路及びフィードバック回路からなる制御系が必要であ
り、その構成が複雑である。また、特開平２−１１１２
７３号の例及び特開昭６３−２８３０８７号の例では、
残留ヒステリシスの影響があり、制御した変位位置が不
正確になり易いことが考えられ、それぞれ改善の余地が
ある。
【０００５】本発明は、このような従来の技術における
課題を解決するものであり、波長多重光通信における可
変波長フィルタの駆動などを行う圧電アクチュエータを
所定変位に容易かつ確実に制御できる圧電アクチュエー
タ変位制御方法及び装置を提供する。
課題を解決するものであり、波長多重光通信における可
変波長フィルタの駆動などを行う圧電アクチュエータを
所定変位に容易かつ確実に制御できる圧電アクチュエー
タ変位制御方法及び装置を提供する。
【０００６】請求項１記載の発明は、波長多重光通信用
の可変波長フィルタを駆動するために内蔵した圧電アク
チュエータの変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制
御方法において、可変波長フィルタの圧電アクチュエー
タを、初期状態に変位制御した後、可変波長フィルタを
走査し、透過波長を得る波長多重された光信号が検出さ
れるごとに、このときのアクチェータ駆動電圧を記憶
し、この記憶しているアクチェータ駆動電圧を印加して
所定の変位に制御する構成としてある。
の可変波長フィルタを駆動するために内蔵した圧電アク
チュエータの変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制
御方法において、可変波長フィルタの圧電アクチュエー
タを、初期状態に変位制御した後、可変波長フィルタを
走査し、透過波長を得る波長多重された光信号が検出さ
れるごとに、このときのアクチェータ駆動電圧を記憶
し、この記憶しているアクチェータ駆動電圧を印加して
所定の変位に制御する構成としてある。
【０００７】請求項２記載の発明は、波長多重光通信用
の可変波長フィルタを駆動するために内蔵した圧電アク
チュエータの変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制
御装置において、前記可変波長フィルタを走査し、透過
波長を得る波長多重された光信号を検出する光検出手段
と、前記光検出手段が検出データを検出したときのアク
チェータ駆動電圧を記憶する記憶手段と、前記圧電アク
チュエータへ入力制御信号に基づいた駆動電圧を印加し
て変位させる駆動手段と、前記圧電アクチュエータを前
記駆動手段を通じて初期状態に変位制御した後に、する
ための制御信号を出力して、前記圧電アクチュエータを
所定の変位に制御する制御手段と、前記記憶手段に記憶
しているアクチェータ駆動電圧を、前記駆動手段から印
加を備える構成としてある。
の可変波長フィルタを駆動するために内蔵した圧電アク
チュエータの変位制御を行う圧電アクチュエータ変位制
御装置において、前記可変波長フィルタを走査し、透過
波長を得る波長多重された光信号を検出する光検出手段
と、前記光検出手段が検出データを検出したときのアク
チェータ駆動電圧を記憶する記憶手段と、前記圧電アク
チュエータへ入力制御信号に基づいた駆動電圧を印加し
て変位させる駆動手段と、前記圧電アクチュエータを前
記駆動手段を通じて初期状態に変位制御した後に、する
ための制御信号を出力して、前記圧電アクチュエータを
所定の変位に制御する制御手段と、前記記憶手段に記憶
しているアクチェータ駆動電圧を、前記駆動手段から印
加を備える構成としてある。
【０００８】 請求項３記載の圧電アクチュエータ変位制
御装置は、光検出手段が、走査中の光検出信号を、予め
設定したしきい値を超えた際に、波長多重信号として検
出する構成としてある。
御装置は、光検出手段が、走査中の光検出信号を、予め
設定したしきい値を超えた際に、波長多重信号として検
出する構成としてある。
【０００９】 請求項４記載の圧電アクチュエータ変位制
御装置は、可変波長フィルタとして、ファブリペローエ
タロンの共振長を可変するフィルタ、誘電体多層膜を用
いてフィルタを回転するフィルタ又は回析格子を回転す
るフィルタを用い、かつ、光検出手段として、フォトダ
イオード及びアナログ／デジタル変換器を用いる構成と
してある。
御装置は、可変波長フィルタとして、ファブリペローエ
タロンの共振長を可変するフィルタ、誘電体多層膜を用
いてフィルタを回転するフィルタ又は回析格子を回転す
るフィルタを用い、かつ、光検出手段として、フォトダ
イオード及びアナログ／デジタル変換器を用いる構成と
してある。
【００１０】 上記請求項１，２，３，４記載の圧電アク
チュエータ変位制御方法及び装置は、可変波長フィルタ
の圧電アクチュエータを、一度、初期状態に変位制御し
た後に、可変波長フィルタを走査し、透過波長を得る波
長多重された光信号が検出されるごとに、このときのア
クチェータ駆動電圧を記憶する。この記憶しているアク
チェータ駆動電圧を印加して、圧電アクチェータを所定
の変位に制御している。したがって、前記同様に波長多
重光通信における可変波長フィルタの駆動を行うための
圧電アクチュエータが所定の変位に容易かつ確実に制御
される。
チュエータ変位制御方法及び装置は、可変波長フィルタ
の圧電アクチュエータを、一度、初期状態に変位制御し
た後に、可変波長フィルタを走査し、透過波長を得る波
長多重された光信号が検出されるごとに、このときのア
クチェータ駆動電圧を記憶する。この記憶しているアク
チェータ駆動電圧を印加して、圧電アクチェータを所定
の変位に制御している。したがって、前記同様に波長多
重光通信における可変波長フィルタの駆動を行うための
圧電アクチュエータが所定の変位に容易かつ確実に制御
される。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の圧電アクチュエー
タ変位制御方法及び装置の実施形態を図面を参照して詳
細に説明する。図１は本発明の圧電アクチュエータ変位
制御装置の前提となる装置の構成を示すブロック図であ
る。図１の圧電アクチュエータ変位制御装置は、変位制
御対象の圧電アクチュエータ１０１と、この圧電アクチ
ュエータ１０１が所定変位するための駆動電圧を出力す
る、例えば、デジタル／アナログ（Ａ／Ｄ）変換器と高
電圧出力の増幅器で構成される駆動回路１０２とを有し
ている。
タ変位制御方法及び装置の実施形態を図面を参照して詳
細に説明する。図１は本発明の圧電アクチュエータ変位
制御装置の前提となる装置の構成を示すブロック図であ
る。図１の圧電アクチュエータ変位制御装置は、変位制
御対象の圧電アクチュエータ１０１と、この圧電アクチ
ュエータ１０１が所定変位するための駆動電圧を出力す
る、例えば、デジタル／アナログ（Ａ／Ｄ）変換器と高
電圧出力の増幅器で構成される駆動回路１０２とを有し
ている。
【００１２】 また、マイクロコンピュータなどで構成さ
れ、駆動回路１０２に制御信号を出力して圧電アクチュ
エータ１０１を所定変位させる制御を行うための制御回
路１０３と、圧電アクチュエータ１０１の特定の初期変
位状態から所望の変位を得るための変位特性データを予
め記憶し、半導体メモリなどを用いた記憶回路１０４と
を有している。
れ、駆動回路１０２に制御信号を出力して圧電アクチュ
エータ１０１を所定変位させる制御を行うための制御回
路１０３と、圧電アクチュエータ１０１の特定の初期変
位状態から所望の変位を得るための変位特性データを予
め記憶し、半導体メモリなどを用いた記憶回路１０４と
を有している。
【００１３】 次に、この装置の動作について説明する。
図２は、圧電アクチュエータ１０１の変位状態を示すヒ
ステリシス特性図である。図２において、圧電アクチュ
エータ１０１が変位状態Ａのときに、駆動電圧Ｅを印加
した場合、変位状態Ｄに遷移して変位状態Ｇに制御され
る。また、変位状態Ｂのときに駆動電圧Ｅを印加すると
変位状態Ｃに遷移して変位状態Ｆに制御される。このよ
うに圧電アクチュエータ１０１に同一の制御電圧（Ｅ）
を印加しても初期変位状態によって、その変位位置が異
なることになる。
図２は、圧電アクチュエータ１０１の変位状態を示すヒ
ステリシス特性図である。図２において、圧電アクチュ
エータ１０１が変位状態Ａのときに、駆動電圧Ｅを印加
した場合、変位状態Ｄに遷移して変位状態Ｇに制御され
る。また、変位状態Ｂのときに駆動電圧Ｅを印加すると
変位状態Ｃに遷移して変位状態Ｆに制御される。このよ
うに圧電アクチュエータ１０１に同一の制御電圧（Ｅ）
を印加しても初期変位状態によって、その変位位置が異
なることになる。
【００１４】 図１及び図２において、圧電アクチュエー
タ１０１を変位制御する場合、まず、制御回路１０３が
駆動回路１０２に圧電アクチュエータ１０１を初期変位
状態に制御するための制御信号を出力する。駆動回路１
０２が圧電アクチュエータ１０１に駆動電圧を印加し
て、圧電アクチュエータ１０１を初期変位状態に制御す
る。例えば、図２中の変位状態Ａに制御する。この後、
記憶回路１０４に記憶している変位特性データを制御回
路１０３が読み出す。
タ１０１を変位制御する場合、まず、制御回路１０３が
駆動回路１０２に圧電アクチュエータ１０１を初期変位
状態に制御するための制御信号を出力する。駆動回路１
０２が圧電アクチュエータ１０１に駆動電圧を印加し
て、圧電アクチュエータ１０１を初期変位状態に制御す
る。例えば、図２中の変位状態Ａに制御する。この後、
記憶回路１０４に記憶している変位特性データを制御回
路１０３が読み出す。
【００１５】 制御回路１０３は、読み出した変位特性デ
ータに基づいて、図示しない装置などからの変位指示信
号に対応する所望の変位に制御する。例えば、図２中の
変位状態Ｇに圧電アクチュエータ１０１が変位する駆動
電圧Ｅを、駆動回路１０２から圧電アクチュエータ１０
１に印加するための制御信号を制御回路１０３が駆動回
路１０２に出力する。
ータに基づいて、図示しない装置などからの変位指示信
号に対応する所望の変位に制御する。例えば、図２中の
変位状態Ｇに圧電アクチュエータ１０１が変位する駆動
電圧Ｅを、駆動回路１０２から圧電アクチュエータ１０
１に印加するための制御信号を制御回路１０３が駆動回
路１０２に出力する。
【００１６】 この場合、圧電アクチュエータ１０１を初
期変位状態に制御するため、例えば、圧電アクチュエー
タ１０１に、その使用電圧範囲に対して、十分に離れた
駆動電圧を駆動回路１０２が印加するように制御回路１
０３が、その制御を行う。又は、圧電アクチュエータ１
０１に正弦波状の駆動電圧を印加して、その振幅値を順
次小さくするように駆動回路１０２を制御回路１０３が
制御する。このような制御によって、容易かつ確実に圧
電アクチュエータ１０１を所定の変位に制御できるよう
になる。
期変位状態に制御するため、例えば、圧電アクチュエー
タ１０１に、その使用電圧範囲に対して、十分に離れた
駆動電圧を駆動回路１０２が印加するように制御回路１
０３が、その制御を行う。又は、圧電アクチュエータ１
０１に正弦波状の駆動電圧を印加して、その振幅値を順
次小さくするように駆動回路１０２を制御回路１０３が
制御する。このような制御によって、容易かつ確実に圧
電アクチュエータ１０１を所定の変位に制御できるよう
になる。
【００１７】 図３は本発明の実施形態の構成を示すブロ
ック図である。図３の実施形態は、可変波長フィルタ２
０１と、この可変波長フィルタ２０１に内蔵される圧電
アクチュエータ２０１ａを所定変位させるための駆動電
圧を出力する、例えば、デジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）
変換器と高電圧出力の増幅器で構成される駆動回路２０
２とを有している。また、マイクロコンピュータなどで
構成され、駆動回路２０２に制御信号を出力して圧電ア
クチュエータ２０１ａを所定変位させる制御を行う制御
回路２０３と、制御回路２０３からの検出データを記憶
し、半導体メモリなどで構成される記憶回路２０４とを
有している。
ック図である。図３の実施形態は、可変波長フィルタ２
０１と、この可変波長フィルタ２０１に内蔵される圧電
アクチュエータ２０１ａを所定変位させるための駆動電
圧を出力する、例えば、デジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）
変換器と高電圧出力の増幅器で構成される駆動回路２０
２とを有している。また、マイクロコンピュータなどで
構成され、駆動回路２０２に制御信号を出力して圧電ア
クチュエータ２０１ａを所定変位させる制御を行う制御
回路２０３と、制御回路２０３からの検出データを記憶
し、半導体メモリなどで構成される記憶回路２０４とを
有している。
【００１８】 さらに、この実施形態は、可変波長フィル
タ２０１を走査し、透過波長を得るための波長多重され
た光信号を検出する、例えば、フォトダイオードやＡ／
Ｄ変換器で構成される光検出器２０５を有している。可
変波長フィルタ２０１としては、例えば、ファブリペロ
ーエタロンの共振長を可変できるフィルタを用いる。ま
た、誘電体多層膜を用いてフィルタを回転するものや、
回析格子を回転するものを利用できる。
タ２０１を走査し、透過波長を得るための波長多重され
た光信号を検出する、例えば、フォトダイオードやＡ／
Ｄ変換器で構成される光検出器２０５を有している。可
変波長フィルタ２０１としては、例えば、ファブリペロ
ーエタロンの共振長を可変できるフィルタを用いる。ま
た、誘電体多層膜を用いてフィルタを回転するものや、
回析格子を回転するものを利用できる。
【００１９】 次に、この実施形態の動作について説明す
る。圧電アクチュエータ２０１ａを内蔵した可変波長フ
ィルタ２０１を制御する場合、まず、制御回路２０３が
駆動回路２０２に制御信号を出力し、駆動回路２０２が
圧電アクチュエータ２０１ａを駆動するための駆動電圧
を印加して、圧電アクチュエータ２０１ａを初期変位状
態に制御する。例えば、図２中の変位状態Ａに制御す
る。この後、可変波長フィルタ２０１を光検出器２０５
が走査し、この走査による光検出器２０５で波長多重さ
れた光信号が検出される。そして、制御回路２０３を通
じて波長多重信号を検出したときにアクチェータ駆動電
圧を記憶回路２０４に記憶する。
る。圧電アクチュエータ２０１ａを内蔵した可変波長フ
ィルタ２０１を制御する場合、まず、制御回路２０３が
駆動回路２０２に制御信号を出力し、駆動回路２０２が
圧電アクチュエータ２０１ａを駆動するための駆動電圧
を印加して、圧電アクチュエータ２０１ａを初期変位状
態に制御する。例えば、図２中の変位状態Ａに制御す
る。この後、可変波長フィルタ２０１を光検出器２０５
が走査し、この走査による光検出器２０５で波長多重さ
れた光信号が検出される。そして、制御回路２０３を通
じて波長多重信号を検出したときにアクチェータ駆動電
圧を記憶回路２０４に記憶する。
【００２０】 この波長多重された光信号を検出する場
合、制御回路２０３が駆動回路２０２に制御信号を出力
して、図２中の変位状態Ａから変位状態Ｄ、また、変位
状態Ｄから変位状態Ｂの特性のように変位状態を遷移す
る制御を行う。そして、可変波長フィルタ２０１を光検
出器２０５が走査中した際の光検出器２０５からの光検
出信号が制御回路２０３に入力される。制御回路２０３
は、取り込んだ光検出信号が予め設定したしきい値を超
えた際に波長多重信号を検出し、かつこのときのアクチ
ェータ駆動電圧を記憶回路２０４に送出して、その記憶
を行う。
合、制御回路２０３が駆動回路２０２に制御信号を出力
して、図２中の変位状態Ａから変位状態Ｄ、また、変位
状態Ｄから変位状態Ｂの特性のように変位状態を遷移す
る制御を行う。そして、可変波長フィルタ２０１を光検
出器２０５が走査中した際の光検出器２０５からの光検
出信号が制御回路２０３に入力される。制御回路２０３
は、取り込んだ光検出信号が予め設定したしきい値を超
えた際に波長多重信号を検出し、かつこのときのアクチ
ェータ駆動電圧を記憶回路２０４に送出して、その記憶
を行う。
【００２１】 この後、記憶回路２０４に記憶しているア
クチェータ駆動電圧を制御回路２０３が読み出す。制御
回路２０３が、例えば、図２中の変位状態Ｇに圧電アク
チュエータ２０１を変位させる駆動電圧、例えば、図２
中の駆動電圧Ｅを駆動回路２０２が圧電アクチュエータ
２０１に印加するように制御回路２０３が駆動回路２０
２へ制御信号を出力し、その変位制御を行う。
クチェータ駆動電圧を制御回路２０３が読み出す。制御
回路２０３が、例えば、図２中の変位状態Ｇに圧電アク
チュエータ２０１を変位させる駆動電圧、例えば、図２
中の駆動電圧Ｅを駆動回路２０２が圧電アクチュエータ
２０１に印加するように制御回路２０３が駆動回路２０
２へ制御信号を出力し、その変位制御を行う。
【００２２】 このように波長多重光通信における可変波
長フィルタ２０１の駆動を行うための圧電アクチュエー
タ２０１ａが所定の変位に容易かつ確実に制御される。
長フィルタ２０１の駆動を行うための圧電アクチュエー
タ２０１ａが所定の変位に容易かつ確実に制御される。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置によれば、
可変波長フィルタの圧電アクチュエータを、一度、初期
状態に変位制御した後に、可変波長フィルタを走査して
得られた透過波長を得る波長多重された光信号の検出を
行い、かつ、このときのアクチェータ駆動電圧を記憶
し、この記憶しているアクチェータ駆動電圧を印加して
所定の変位に制御している。この結果、波長多重光通信
における可変波長フィルタの駆動を行うための圧電アク
チュエータが所定の変位に容易かつ確実に制御できるよ
うになる。
の圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置によれば、
可変波長フィルタの圧電アクチュエータを、一度、初期
状態に変位制御した後に、可変波長フィルタを走査して
得られた透過波長を得る波長多重された光信号の検出を
行い、かつ、このときのアクチェータ駆動電圧を記憶
し、この記憶しているアクチェータ駆動電圧を印加して
所定の変位に制御している。この結果、波長多重光通信
における可変波長フィルタの駆動を行うための圧電アク
チュエータが所定の変位に容易かつ確実に制御できるよ
うになる。
【図１】本発明の圧電アクチュエータ変位制御装置の前
提となる装置の構成を示すブロック図である。
提となる装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の装置の動作における圧電アクチュエータ
の変位状状態を示すヒステリシス特性図である。
の変位状状態を示すヒステリシス特性図である。
【図３】本発明の実施携帯の構成を示すブロック図であ
る。
る。
１０１，２０１ａ 圧電アクチュエータ １０２，２０２ 駆動回路 １０３，２０３ 制御回路 １０４，２０４ 記憶回路 ２０１ 可変波長フィルタ ２０５ 光検出器
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 41/09 Ｇ０２Ｂ 6/28 Ｃ // Ｈ０４Ｊ 14/00 Ｈ０４Ｂ 9/00 Ｅ 14/02 (56)参考文献 特開 平３−256375（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−117186（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−15817（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−256774（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242422（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−283087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−283180（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−287227（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−281813（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−198936（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−288931（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−288932（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−68660（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−258116（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02N 2/00 H01L 41/08
Claims (4)
- 【請求項１】 波長多重光通信用の可変波長フィルタを
駆動するために内蔵した圧電アクチュエータの変位制御
を行う圧電アクチュエータ変位制御方法において、 可変波長フィルタの圧電アクチュエータを、初期状態に
変位制御した後、可変波長フィルタを走査し、透過波長
を得る波長多重された光信号が検出されるごとに、この
ときのアクチェータ駆動電圧を記憶し、この記憶してい
るアクチェータ駆動電圧を印加して所定の変位に制御す
ることを特徴とする圧電アクチュエータ変位制御方法。 - 【請求項２】 波長多重光通信用の可変波長フィルタを
駆動するために内蔵した圧電アクチュエータの変位制御
を行う圧電アクチュエータ変位制御装置において、 前記可変波長フィルタを走査し、透過波長を得る波長多
重された光信号を検出する光検出手段と、 前記光検出手段が検出データを検出したときのアクチェ
ータ駆動電圧を記憶する記憶手段と、 前記圧電アクチュエータへ入力制御信号に基づいた駆動
電圧を印加して変位させる駆動手段と、 前記圧電アクチュエータを前記駆動手段を通じて初期状
態に変位制御した後に、前記記憶手段に記憶しているア
クチェータ駆動電圧を、前記駆動手段から印加するため
の制御信号を出力して、前記圧電アクチュエータを所定
の変位に制御する制御手段と、 を備えることを特徴とする圧電アクチュエータ変位制御
装置。 - 【請求項３】 前記請求項２記載の圧電アクチュエータ
変位制御装置の光検出手段は、走査中の光検出信号が、
予め設定したしきい値を超えた際に、波長多重信号とし
て検出することを特徴とする圧電アクチュエータ変位制
御装置。 - 【請求項４】 前記請求項２記載の圧電アクチュエータ
変位制御装置の可変波長フィルタとして、ファブリペロ
ーエタロンの共振長を可変するフィルタ、誘電体多層膜
を用いてフィルタを回転するフィルタ又は回析格子を回
転するフィルタを用い、かつ、光検出手段として、フォ
トダイオード及びアナログ／デジタル変換器を用いるこ
とを特徴とする圧電アクチュエータ変位制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074935A JP2874635B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置 |
| US08/827,303 US6046525A (en) | 1996-03-28 | 1997-03-28 | Piezo-electric actuator control method and device and variable wavelength filter using the piezo-electric actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074935A JP2874635B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09266685A JPH09266685A (ja) | 1997-10-07 |
| JP2874635B2 true JP2874635B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=13561717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8074935A Expired - Fee Related JP2874635B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 圧電アクチュエータ変位制御方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6046525A (ja) |
| JP (1) | JP2874635B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001320889A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-11-16 | Seiko Instruments Inc | 光機能部品移動装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US20030168939A1 (en) * | 2001-12-10 | 2003-09-11 | Samad Talebpour | Device and method of driving piezoelectric actuators for fast switching of wavelengths in a fiber-bragg grating |
| US7141911B2 (en) * | 2002-11-15 | 2006-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Driving method of piezoelectric actuator, piezoelectric actuator, and disk recording and reproducing apparatus using the same |
| JP4211918B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2009-01-21 | 富士通株式会社 | 光通信システム |
| TW200523653A (en) * | 2004-01-06 | 2005-07-16 | Starshine Technology Corp | Focusing control module for image photographing |
| US20050212953A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Alex Kuo | Piezoelectric focusing apparatus and method for the same |
| US11160709B2 (en) | 2016-06-14 | 2021-11-02 | Warsaw Orthopedic, Inc. | Surgical table with movement capabilities of lower body support structures |
| EP3792988A1 (en) * | 2019-09-10 | 2021-03-17 | poLight ASA | Feedforward determination of a driving signal for a piezo actuator |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60242422A (ja) * | 1984-05-16 | 1985-12-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長可変光フイルタ |
| JPS61256774A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Hitachi Ltd | ヒステリシス除去方法 |
| JPS63283087A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-11-18 | Nec Kansai Ltd | 圧電素子の駆動方法 |
| JPS63283180A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-21 | Yokogawa Electric Corp | 変位センサを有する圧電アクチュエ−タ |
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| JPH02111273A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ピエゾアクチュエータ駆動装置 |
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| JPH04117186A (ja) * | 1990-09-06 | 1992-04-17 | Brother Ind Ltd | 高精度移動ステージ装置 |
| JPH06281813A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Nec Corp | 透過波長可変装置 |
| JP3033417B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2000-04-17 | 日本電気株式会社 | 波長可変光フイルタ |
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| JPH09191303A (ja) * | 1996-01-09 | 1997-07-22 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光伝送路 |
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| IL121267A0 (en) * | 1997-07-09 | 1998-01-04 | Yeda Res & Dev | Method and device for determining the profile of an object |
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1996
- 1996-03-28 JP JP8074935A patent/JP2874635B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-28 US US08/827,303 patent/US6046525A/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2001320889A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-11-16 | Seiko Instruments Inc | 光機能部品移動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6046525A (en) | 2000-04-04 |
| JPH09266685A (ja) | 1997-10-07 |
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