JPH06281813A - 透過波長可変装置 - Google Patents
透過波長可変装置Info
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- JPH06281813A JPH06281813A JP5266714A JP26671493A JPH06281813A JP H06281813 A JPH06281813 A JP H06281813A JP 5266714 A JP5266714 A JP 5266714A JP 26671493 A JP26671493 A JP 26671493A JP H06281813 A JPH06281813 A JP H06281813A
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- piezoelectric actuator
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/007—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements the movable or deformable optical element controlling the colour, i.e. a spectral characteristic, of the light
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
- H02N2/046—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification for conversion into rotary motion
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヒステリシスが小さく高速応答性と連続性に
優れた透過波長可変装置を提供する。 【構成】 平行光路内にバンドパスフィルタ4を回動自
在に配置し、圧電アクチュエータ7の印加電圧に比例し
てバンドパスフィルタの角度を変化させる。圧電アクチ
ュエータの動きを、リニアウェイや板バネを介してバン
ドパスフィルタの支軸9に伝達する。板バネと圧電アク
チュエータ間に変位拡大手段としてテコヨークを配置す
る。 【効果】 テコヨークと板バネによる伝達系の負荷が小
さいため、圧電アクチュエータを含めた駆動系のヒステ
リシスが極めて小さくなり、透過波長を印加電圧により
高速かつ連続に変化させることができる。
優れた透過波長可変装置を提供する。 【構成】 平行光路内にバンドパスフィルタ4を回動自
在に配置し、圧電アクチュエータ7の印加電圧に比例し
てバンドパスフィルタの角度を変化させる。圧電アクチ
ュエータの動きを、リニアウェイや板バネを介してバン
ドパスフィルタの支軸9に伝達する。板バネと圧電アク
チュエータ間に変位拡大手段としてテコヨークを配置す
る。 【効果】 テコヨークと板バネによる伝達系の負荷が小
さいため、圧電アクチュエータを含めた駆動系のヒステ
リシスが極めて小さくなり、透過波長を印加電圧により
高速かつ連続に変化させることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信や光計測などに
使用され、所定の波長の光を透過させる透過波長可変装
置に関する。
使用され、所定の波長の光を透過させる透過波長可変装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】種々の光源から単色光を採り出す方法に
は、従来、プリズムやグレーティングが採用されてきた
が、光学系が分散系なので精密な光軸調整を要するにも
拘らず、光軸調整が難しく急峻な単色光が得られない。
また、小型化が難しい、低効率であるという欠点も存在
する。
は、従来、プリズムやグレーティングが採用されてきた
が、光学系が分散系なので精密な光軸調整を要するにも
拘らず、光軸調整が難しく急峻な単色光が得られない。
また、小型化が難しい、低効率であるという欠点も存在
する。
【0003】そこで、これらの問題を解決する手段とし
て、干渉フィルタを用いた透過波長可変装置が特開昭6
2−22034号公報により提案された。これは、誘電
体薄膜を積層して形成した干渉膜光フィルタを用いたも
のであるが、この干渉膜フィルタは優れた分光特性を持
ち、光の入射角を変えることにより透過波長を変化させ
ることができる。この透過波長可変装置は、光学系が平
行系なので光軸調整が容易,安価,小型化に適する,高
効率であるといった特徴を備えている。
て、干渉フィルタを用いた透過波長可変装置が特開昭6
2−22034号公報により提案された。これは、誘電
体薄膜を積層して形成した干渉膜光フィルタを用いたも
のであるが、この干渉膜フィルタは優れた分光特性を持
ち、光の入射角を変えることにより透過波長を変化させ
ることができる。この透過波長可変装置は、光学系が平
行系なので光軸調整が容易,安価,小型化に適する,高
効率であるといった特徴を備えている。
【0004】透過波長可変装置は、光通信の分野にも用
いられる。例えば、波長多重された複数の信号光から1
波を抜き出して受信する場合や、光アンプを用いた伝送
系で自然放出光雑音を除去したりする場合には光フィル
タを用いるが、この光フィルタとして前記干渉フィルタ
透過波長可変装置を用いることができる。
いられる。例えば、波長多重された複数の信号光から1
波を抜き出して受信する場合や、光アンプを用いた伝送
系で自然放出光雑音を除去したりする場合には光フィル
タを用いるが、この光フィルタとして前記干渉フィルタ
透過波長可変装置を用いることができる。
【0005】このような応用では、透過波長を電気的に
変化させる要請が強い。例えば波長多重光通信の場合、
受信する波長チャネルを切り替えるためには透過波長を
変化させ、所望の波長チャネルにロックする必要があ
る。また、信号光の波長が光フィルタの透過帯域幅と比
べて大きく変動するときは、受信感度が劣化しないよう
に光フィルタにフィードバックをかけて透過波長を制御
する必要がある。そのような要請に応えるものとして、
パルスモータにより干渉膜フィルタの角度を変えられる
ようにした透過波長可変装置がある。
変化させる要請が強い。例えば波長多重光通信の場合、
受信する波長チャネルを切り替えるためには透過波長を
変化させ、所望の波長チャネルにロックする必要があ
る。また、信号光の波長が光フィルタの透過帯域幅と比
べて大きく変動するときは、受信感度が劣化しないよう
に光フィルタにフィードバックをかけて透過波長を制御
する必要がある。そのような要請に応えるものとして、
パルスモータにより干渉膜フィルタの角度を変えられる
ようにした透過波長可変装置がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のパルス
モータを用いる角度調整方法では、 (1)装置の小型化が難しい。 (2)パルスモータの動作が不連続なので連続した角度
調整は不可能であり、透過波長の微調整ができない。 (3)複雑な制御機構と相俟ってサーボ系への応用に適
さない。 といった問題があった。
モータを用いる角度調整方法では、 (1)装置の小型化が難しい。 (2)パルスモータの動作が不連続なので連続した角度
調整は不可能であり、透過波長の微調整ができない。 (3)複雑な制御機構と相俟ってサーボ系への応用に適
さない。 といった問題があった。
【0007】本発明の目的は、上記問題を解決し、連続
した角度微調整が可能な透過波長可変装置を提供するこ
とにある。
した角度微調整が可能な透過波長可変装置を提供するこ
とにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の透過波長可変装
置は、平行光路内に回動自在に配置され、この平行光の
入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタと、
印加電圧や印加電流に比例して伸縮するアクチュエータ
と、アクチュエータの伸縮変位量を拡大する拡大手段
と、拡大された変位をバンドパスフィルタ支軸の回転変
位に変換する伝達手段とを備えている。
置は、平行光路内に回動自在に配置され、この平行光の
入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタと、
印加電圧や印加電流に比例して伸縮するアクチュエータ
と、アクチュエータの伸縮変位量を拡大する拡大手段
と、拡大された変位をバンドパスフィルタ支軸の回転変
位に変換する伝達手段とを備えている。
【0009】伸縮変位量拡大手段と回転伝達手段として
は、対称配置した両テコヨークの内側変位点にアクチュ
エータの変位先端を取り付け、両テコヨークの外側変位
点から伸びる薄板先端をバンドパスフィルタの支軸に連
結する。
は、対称配置した両テコヨークの内側変位点にアクチュ
エータの変位先端を取り付け、両テコヨークの外側変位
点から伸びる薄板先端をバンドパスフィルタの支軸に連
結する。
【0010】
【作用】本発明の透過波長可変装置は、アクチュエータ
に加える電圧や電流を変化させることによりアクチュエ
ータが伸縮し、これにより発生した直線方向の駆動力が
回転力に変換されて光フィルタへの光の入射角が変化す
るので、光フィルタの透過波長を連続的に変化させるこ
とができる。したがって、透過波長の微調整が可能でサ
ーボ系への応用に適している。また、アクチュエータ自
体が非常に小型なので、パルスモータを用いる場合と比
べて装置を大幅に小型化することができる。
に加える電圧や電流を変化させることによりアクチュエ
ータが伸縮し、これにより発生した直線方向の駆動力が
回転力に変換されて光フィルタへの光の入射角が変化す
るので、光フィルタの透過波長を連続的に変化させるこ
とができる。したがって、透過波長の微調整が可能でサ
ーボ系への応用に適している。また、アクチュエータ自
体が非常に小型なので、パルスモータを用いる場合と比
べて装置を大幅に小型化することができる。
【0011】
【実施例】図1は、本発明の透過波長可変装置を波長多
重光通信に適用した場合の実施例である。
重光通信に適用した場合の実施例である。
【0012】光ファイバ1a,1bとフェルール2a,
2bとコリメータ3a,3bとからそれぞれなる光学系
を対向配置し、その中間の平行光路内にバンドパスフィ
ルタ4を回動自在に配置する。誘電体多層膜を積層した
バンドパスフィルタは、平行光路の光軸に対して傾けて
も急峻な透過スペクトル特性(半値幅は1nm)は劣化
しない。
2bとコリメータ3a,3bとからそれぞれなる光学系
を対向配置し、その中間の平行光路内にバンドパスフィ
ルタ4を回動自在に配置する。誘電体多層膜を積層した
バンドパスフィルタは、平行光路の光軸に対して傾けて
も急峻な透過スペクトル特性(半値幅は1nm)は劣化
しない。
【0013】受信器5に接続される制御器6は、圧電ア
クチュエータ7を駆動する。ピエゾ素子を多数積層した
圧電アクチュエータ7の伸縮量は、印加電圧値に比例す
る。受信器5の信号強度が最大になるように、圧電アク
チュエータ7への電圧を制御器6によって制御する。圧
電アクチュエータ7は直接にあるいは変位拡大手段を介
してリニアウェイ8に接続される。バンドパスフィルタ
4の支軸9と一体のロール10をこのリニアウェイ8に
当接する。
クチュエータ7を駆動する。ピエゾ素子を多数積層した
圧電アクチュエータ7の伸縮量は、印加電圧値に比例す
る。受信器5の信号強度が最大になるように、圧電アク
チュエータ7への電圧を制御器6によって制御する。圧
電アクチュエータ7は直接にあるいは変位拡大手段を介
してリニアウェイ8に接続される。バンドパスフィルタ
4の支軸9と一体のロール10をこのリニアウェイ8に
当接する。
【0014】本実施例の透過波長可変装置によれば、制
御器6からの電圧値に比例して圧電アクチュエータ7は
伸縮する。この伸縮変位量はリニアウェイ8に伝達さ
れ、ロール10を介してバンドパスフィルタ4を回動す
る。ある波長を中心とした一定の帯域幅の光を選択的に
透過するバンドパスフィルタ4は、平行光の光軸に対す
る角度に応じて、この透過波長を連続的に変化させる。
御器6からの電圧値に比例して圧電アクチュエータ7は
伸縮する。この伸縮変位量はリニアウェイ8に伝達さ
れ、ロール10を介してバンドパスフィルタ4を回動す
る。ある波長を中心とした一定の帯域幅の光を選択的に
透過するバンドパスフィルタ4は、平行光の光軸に対す
る角度に応じて、この透過波長を連続的に変化させる。
【0015】さらに具体的に説明すると、例えば、光フ
ァイバ1中を伝送されてくる信号光15は、波長が1.
540μm,1.545μm,1.550μm,1.5
55μmの4つの光を多重したものであり(以後、これ
らの4つの波長を波長チャネルλ1 〜λ4 という)、そ
れぞれの光はビットレート1.2Gb/sで強度変調さ
れている。この信号光15は、コリメータ3aにより平
行光に変換され、バンドパスフィルタ4に入射される。
ァイバ1中を伝送されてくる信号光15は、波長が1.
540μm,1.545μm,1.550μm,1.5
55μmの4つの光を多重したものであり(以後、これ
らの4つの波長を波長チャネルλ1 〜λ4 という)、そ
れぞれの光はビットレート1.2Gb/sで強度変調さ
れている。この信号光15は、コリメータ3aにより平
行光に変換され、バンドパスフィルタ4に入射される。
【0016】バンドパスフィルタ4は、波長1.55μ
m帯に透過帯域幅1nmのバンドパス特性を持つ干渉膜
フィルタで、光の入射角を変えることにより透過波長を
変化させることができる。入射角は、前述したように、
圧電アクチュエータ7に加える電圧により決定される。
m帯に透過帯域幅1nmのバンドパス特性を持つ干渉膜
フィルタで、光の入射角を変えることにより透過波長を
変化させることができる。入射角は、前述したように、
圧電アクチュエータ7に加える電圧により決定される。
【0017】圧電アクチュエータ7が、変位の拡大機構
を備えた大変位型圧電アクチュエータの場合には、加え
る電圧を0から150Vに変化させたときに長手方向に
500μm伸長する。この動きがリニアウェイ8に伝わ
り、リニアウェイ8とロール10の間の摩擦を介してバ
ンドパスフィルタ4の入射角を変化させる。ロール10
の直径は2mmなので、入射角は最大約30度変化す
る。これによりバンドパスフィルタ4の透過波長は1.
530μmから1.560μmまでの30nmの範囲で
変化し、信号光の全波長チャネルをカバーすることがで
きた。バンドパスフィルタを透過した光は、コリメータ
3bによりフェルール2bを介して光ファイバ1bに結
合され、この光が受信器5により直接検波されて受信信
号として取り出される。試作した装置では図1の点線で
囲んだ部分が、65(mm)×40(mm)×40(m
m)というコンパクトなサイズに収まった。
を備えた大変位型圧電アクチュエータの場合には、加え
る電圧を0から150Vに変化させたときに長手方向に
500μm伸長する。この動きがリニアウェイ8に伝わ
り、リニアウェイ8とロール10の間の摩擦を介してバ
ンドパスフィルタ4の入射角を変化させる。ロール10
の直径は2mmなので、入射角は最大約30度変化す
る。これによりバンドパスフィルタ4の透過波長は1.
530μmから1.560μmまでの30nmの範囲で
変化し、信号光の全波長チャネルをカバーすることがで
きた。バンドパスフィルタを透過した光は、コリメータ
3bによりフェルール2bを介して光ファイバ1bに結
合され、この光が受信器5により直接検波されて受信信
号として取り出される。試作した装置では図1の点線で
囲んだ部分が、65(mm)×40(mm)×40(m
m)というコンパクトなサイズに収まった。
【0018】本実施例によれば、コントローラ6を用い
て圧電アクチュエータ7に加える電圧を制御することに
より、波長チャネルλ1 〜λ4 のうち任意のチャネルを
選択して受信することができた。また、図1に示すよう
に受信信号強度を受信器5からコントローラ6にフィー
ドバックして、信号強度が常に最大になるように圧電ア
クチュエータ7に加える電圧を制御することにより、波
長のトラッキングも行った。そうすることにより送信波
長が多少変動してもバンドパスフィルタ4の透過波長が
追随し、しかもこの透過波長の変化はステップ的ではな
く連続的に行われるので受信状態を常に良好に保つこと
ができた。
て圧電アクチュエータ7に加える電圧を制御することに
より、波長チャネルλ1 〜λ4 のうち任意のチャネルを
選択して受信することができた。また、図1に示すよう
に受信信号強度を受信器5からコントローラ6にフィー
ドバックして、信号強度が常に最大になるように圧電ア
クチュエータ7に加える電圧を制御することにより、波
長のトラッキングも行った。そうすることにより送信波
長が多少変動してもバンドパスフィルタ4の透過波長が
追随し、しかもこの透過波長の変化はステップ的ではな
く連続的に行われるので受信状態を常に良好に保つこと
ができた。
【0019】本実施例では圧電アクチュエータの直線運
動を回転運動に変換するためにリニアウェイとロールを
用いたが、伝達系負荷が大きいと圧電アクチュエータの
ヒステリシス現象が顕著になる。リニアウェイの代わり
に極めて負荷の小さい拡大・伝達系を図2に示す。支点
11a,11bを圧電アクチュエータ7の近傍に有する
テコヨーク12a,12bは、左右に対称配置され、テ
コヨークの基部を圧電アクチュエータ7の先端に取り付
け、開放端に板バネ14a,14bを取り付ける。一体
形成される両テコヨーク12a,12bの延長固定片1
3に圧電アクチュエータ7の基部を取り付ける。圧電ア
クチュエータの変位量はテコヨーク12a,12bにて
拡大され、板バネ14a,14bに伝達されることにな
る。両板バネ14a,14bの先端は、図3に示す軸受
け15にて支承される支軸9に溶着される。圧電アクチ
ュエータ7の先端部の微量変位は拡大され、板バネ14
a,14bに伝達される。増幅された両板バネ14a,
14bの動きは可撓性により偶力となって支軸9を回動
する。これにより、バンドパスフィルタ4は連続的に回
転することができた。
動を回転運動に変換するためにリニアウェイとロールを
用いたが、伝達系負荷が大きいと圧電アクチュエータの
ヒステリシス現象が顕著になる。リニアウェイの代わり
に極めて負荷の小さい拡大・伝達系を図2に示す。支点
11a,11bを圧電アクチュエータ7の近傍に有する
テコヨーク12a,12bは、左右に対称配置され、テ
コヨークの基部を圧電アクチュエータ7の先端に取り付
け、開放端に板バネ14a,14bを取り付ける。一体
形成される両テコヨーク12a,12bの延長固定片1
3に圧電アクチュエータ7の基部を取り付ける。圧電ア
クチュエータの変位量はテコヨーク12a,12bにて
拡大され、板バネ14a,14bに伝達されることにな
る。両板バネ14a,14bの先端は、図3に示す軸受
け15にて支承される支軸9に溶着される。圧電アクチ
ュエータ7の先端部の微量変位は拡大され、板バネ14
a,14bに伝達される。増幅された両板バネ14a,
14bの動きは可撓性により偶力となって支軸9を回動
する。これにより、バンドパスフィルタ4は連続的に回
転することができた。
【0020】図4は、このテコヨークと板バネの拡大・
伝達系を用いた透過波長可変装置において、圧電アクチ
ュエータ7への印加電圧値に対するバンドパスフィルタ
4の透過波長をプロットしたもので、印加電圧を増加し
ていく時は上側曲線21で、減少時は下側曲線22の軌
跡を辿る。両曲線の乖離は少なく連続性を有する。この
ような優れたヒステリシス特性は、圧電アクチュエータ
に対する駆動系負荷が小さいことに起因する。
伝達系を用いた透過波長可変装置において、圧電アクチ
ュエータ7への印加電圧値に対するバンドパスフィルタ
4の透過波長をプロットしたもので、印加電圧を増加し
ていく時は上側曲線21で、減少時は下側曲線22の軌
跡を辿る。両曲線の乖離は少なく連続性を有する。この
ような優れたヒステリシス特性は、圧電アクチュエータ
に対する駆動系負荷が小さいことに起因する。
【0021】以上のように、このテコヨークと板バネの
拡大・伝達系はリニアウェイに較べて負荷やヒステリシ
スが極めて少なく、高速応答性と連続性に優れているこ
とが立証された。
拡大・伝達系はリニアウェイに較べて負荷やヒステリシ
スが極めて少なく、高速応答性と連続性に優れているこ
とが立証された。
【0022】拡大・伝達系の他の例として、図2の両テ
コヨーク12a,12bの開放端間に一本の板バネをた
わませて掛け渡し、この板バネ中央にリニアウェイを取
り付ける。両テコヨークの開放端間の拡大揺動変位は、
リニアウェイへの直線変位に変換される。この駆動系は
ヒステリシスが大きい。
コヨーク12a,12bの開放端間に一本の板バネをた
わませて掛け渡し、この板バネ中央にリニアウェイを取
り付ける。両テコヨークの開放端間の拡大揺動変位は、
リニアウェイへの直線変位に変換される。この駆動系は
ヒステリシスが大きい。
【0023】さらに拡大・伝達系としては、ラック・ア
ンド・ピニオンやクランクを用いることもできる。
ンド・ピニオンやクランクを用いることもできる。
【0024】変位量が大きい圧電アクチュエータがコス
ト的に可能であれば、上記拡大・伝達手段は不要とな
る。この場合、圧電アクチュエータの先端をバンドパス
フィルタのシャフトに取り付けることも可能となる。
ト的に可能であれば、上記拡大・伝達手段は不要とな
る。この場合、圧電アクチュエータの先端をバンドパス
フィルタのシャフトに取り付けることも可能となる。
【0025】また、上記実施例ではバンドパスフィルタ
として波長1.55μm帯に透過帯域幅1nmのバンド
パス特性を持つ干渉膜フィルタを用いたが、干渉膜の組
成や膜厚を変えることにより、透過波長帯を1.3μm
帯や0.8μm帯など別の波長帯にすることもできる
し、透過帯域幅を0.5nmや3nmなどに変えること
もできる。
として波長1.55μm帯に透過帯域幅1nmのバンド
パス特性を持つ干渉膜フィルタを用いたが、干渉膜の組
成や膜厚を変えることにより、透過波長帯を1.3μm
帯や0.8μm帯など別の波長帯にすることもできる
し、透過帯域幅を0.5nmや3nmなどに変えること
もできる。
【0026】また、ショートパス特性やロングパス特性
の光フィルタを用いれば、複数の波長チャネルを同時に
取り出すことができる。さらに、光フィルタとして干渉
膜フィルタ以外のものを用いることもできる。例えばソ
リッドエタロンを用いれば、干渉膜フィルタを用いた場
合と比べて透過波長帯域幅を小さく(例えば0.01n
mや0.1nmなど)することが可能で、高密度の波長
多重等に適用することができる。
の光フィルタを用いれば、複数の波長チャネルを同時に
取り出すことができる。さらに、光フィルタとして干渉
膜フィルタ以外のものを用いることもできる。例えばソ
リッドエタロンを用いれば、干渉膜フィルタを用いた場
合と比べて透過波長帯域幅を小さく(例えば0.01n
mや0.1nmなど)することが可能で、高密度の波長
多重等に適用することができる。
【0027】また、圧電アクチュエータ以外のアクチュ
エータとして、電気・機械変換素子を使用しても良い。
エータとして、電気・機械変換素子を使用しても良い。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、電気的にバンドパスフ
ィルタの角度を制御することにより、透過波長を連続的
に変化させることができる。したがって透過波長の微調
整が可能で、サーボ系への応用に適している。
ィルタの角度を制御することにより、透過波長を連続的
に変化させることができる。したがって透過波長の微調
整が可能で、サーボ系への応用に適している。
【0029】また、アクチュエータ自体が非常に小型な
ので、従来のステップモータを用いたものに比べて装置
全体を大幅に小型化することができる。
ので、従来のステップモータを用いたものに比べて装置
全体を大幅に小型化することができる。
【0030】また、対称配置した両テコヨークの内側変
位点にアクチュエータの先端を取り付け、両テコヨーク
の開放端から伸びる部材先端を光フィルタの支軸に連結
した駆動系は、ヒステリシスが極めて小さく、スムーズ
で連続的な透過波長選択(ピーク波長分解能は0.01
nm以下)が可能となり、負荷の大幅低下により高速応
答性(500Hz)を実現する。
位点にアクチュエータの先端を取り付け、両テコヨーク
の開放端から伸びる部材先端を光フィルタの支軸に連結
した駆動系は、ヒステリシスが極めて小さく、スムーズ
で連続的な透過波長選択(ピーク波長分解能は0.01
nm以下)が可能となり、負荷の大幅低下により高速応
答性(500Hz)を実現する。
【図1】本発明の一実施例を説明するためのブロック図
である。
である。
【図2】圧電アクチュエータに拡大手段と伝達手段を一
体化した時の平面図である。
体化した時の平面図である。
【図3】バンドパスフィルタの支軸に板バネを取り付け
た時の拡大説明図である。
た時の拡大説明図である。
【図4】圧電アクチュエータの印加電圧に対するバンド
パスフィルタの透過波長値をプロットしたグラフ図であ
る。
パスフィルタの透過波長値をプロットしたグラフ図であ
る。
4 バンドパスフィルタ 5 受信器 6 制御器 7 圧電アクチュエータ 8 リニアウェイ 9 支軸 10 ロール 12a,12b テコヨーク 14a,14b 板バネ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田島 章雄 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 高橋 晴夫 神奈川県秦野市三迴部39番地5 有限会社 光伸光学内 (72)発明者 森村 宏行 神奈川県秦野市三迴部39番地5 有限会社 光伸光学内
Claims (7)
- 【請求項1】平行光路内に回動自在に配置されこの平行
光の入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタ
と、印加電圧に比例して伸縮する圧電アクチュエータ
と、この伸縮変位量を拡大する拡大手段と、拡大された
変位を光フィルタ支軸の回転変位に変換する伝達手段と
を備えたことを特徴とする透過波長可変装置。 - 【請求項2】対称配置した両テコヨークの内側変位点に
圧電アクチュエータの変位先端を取り付け、両テコヨー
クの外側変位点から伸びる部材先端を光フィルタの支軸
に連結してなることを特徴とする請求項1記載の透過波
長可変装置。 - 【請求項3】平行光路内に回動自在に配置されこの平行
光の入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタ
と、印加電圧に比例して伸縮する圧電アクチュエータ
と、この変位量を光フィルタ支軸の回転量に変換する変
換手段とを備えることを特徴とする透過波長可変装置。 - 【請求項4】平行光路内に回動自在に配置されこの平行
光の入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタ
と、印加される電圧や電流の値に比例して伸縮するアク
チュエータと、この伸縮変位量を拡大する拡大手段と、
拡大された変位を光フィルタ支軸の回転量に変換する変
換手段とを備えることを特徴とする透過波長可変装置。 - 【請求項5】対称配置した両テコヨークの内側変位点に
アクチュエータの変位先端を取り付け、両テコヨークの
外側変位点から伸びる部材先端を光フィルタの支軸に連
結してなることを特徴とする請求項4記載の透過波長可
変装置。 - 【請求項6】平行光路内に回動自在に配置されこの平行
光の入射角度に応じて透過波長を変化させる光フィルタ
と、印加される電圧や電流の値に比例して伸縮するアク
チュエータと、この伸縮量を光フィルタ支軸の回転量に
変換する変換手段とを備えることを特徴とする透過波長
可変装置。 - 【請求項7】前記光フィルタは、誘電体多層膜が積層さ
れてなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記
載の透過波長可変装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5266714A JPH06281813A (ja) | 1993-01-29 | 1993-10-26 | 透過波長可変装置 |
US08/188,027 US5506920A (en) | 1993-01-29 | 1994-01-28 | Optical wavelength tunable filter |
EP94101305A EP0608900A1 (en) | 1993-01-29 | 1994-01-28 | Optical wavelength tunable filter |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5-12981 | 1993-01-29 | ||
JP1298193 | 1993-01-29 | ||
JP5266714A JPH06281813A (ja) | 1993-01-29 | 1993-10-26 | 透過波長可変装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06281813A true JPH06281813A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=26348690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5266714A Pending JPH06281813A (ja) | 1993-01-29 | 1993-10-26 | 透過波長可変装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5506920A (ja) |
EP (1) | EP0608900A1 (ja) |
JP (1) | JPH06281813A (ja) |
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US9488827B2 (en) | 2010-01-21 | 2016-11-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectral device |
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EP4175159A1 (de) * | 2021-10-29 | 2023-05-03 | Curaden AG | Piezoelektrischer antrieb |
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-
1993
- 1993-10-26 JP JP5266714A patent/JPH06281813A/ja active Pending
-
1994
- 1994-01-28 EP EP94101305A patent/EP0608900A1/en not_active Withdrawn
- 1994-01-28 US US08/188,027 patent/US5506920A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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EP0608900A1 (en) | 1994-08-03 |
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