JPS63147135A - レ−ザ−光量安定化装置 - Google Patents
レ−ザ−光量安定化装置Info
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- JPS63147135A JPS63147135A JP29411786A JP29411786A JPS63147135A JP S63147135 A JPS63147135 A JP S63147135A JP 29411786 A JP29411786 A JP 29411786A JP 29411786 A JP29411786 A JP 29411786A JP S63147135 A JPS63147135 A JP S63147135A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 claims description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 4
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザープリンタ等で用いられるレーザー光
の光犠安定化装置に関する。
の光犠安定化装置に関する。
（発明の背旧）
例えば、レーザープリンタ等で用いられるレーザー光の
光量は、一定の値に保つ必要がある。
光量は、一定の値に保つ必要がある。
第１２図は、従来の光量安定化装置の一例を示す構成図
である。図において、１はレーザーであり、その出力光
ｔよ超音波光変調器２に加えられ、その１次回折光がス
リット３を介して取り出される。４はスリット３を通過
した１次回折光を分割するビームスプリッタであり、例
えばハーフミラ−を用いる。該ビームスプリッタ４を透
過した１次回折光は走査光学系に入射され、反則した１
次回折光は光検出器５に入射される。該光検出器５の出
力信号は減算器６の一方の入力端子に加えられる。該減
算器６の他方の入力端子には１次回折光の光量を設定す
るための基ｔ！Ａ電圧がカロえられている。そして減算
器６は、光検出器５の出力信号と基準電圧とが等しくな
るように超音波光変調器２を駆動制御する。
である。図において、１はレーザーであり、その出力光
ｔよ超音波光変調器２に加えられ、その１次回折光がス
リット３を介して取り出される。４はスリット３を通過
した１次回折光を分割するビームスプリッタであり、例
えばハーフミラ−を用いる。該ビームスプリッタ４を透
過した１次回折光は走査光学系に入射され、反則した１
次回折光は光検出器５に入射される。該光検出器５の出
力信号は減算器６の一方の入力端子に加えられる。該減
算器６の他方の入力端子には１次回折光の光量を設定す
るための基ｔ！Ａ電圧がカロえられている。そして減算
器６は、光検出器５の出力信号と基準電圧とが等しくな
るように超音波光変調器２を駆動制御する。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、このような従来の構成によれば、１次回折光を
通すためのスリット３は直径１ｍｍ程度になっているこ
とから、光学系の微調整が不可欠であるっ 又、数次に回折した透過光の中から１次回折光を取り出
すためには、１次回折光の回折角度が小さいことから、
超音波光変調器２とスリット３との距離をある程度長く
しな（）ればならず、小型化が困難である。
通すためのスリット３は直径１ｍｍ程度になっているこ
とから、光学系の微調整が不可欠であるっ 又、数次に回折した透過光の中から１次回折光を取り出
すためには、１次回折光の回折角度が小さいことから、
超音波光変調器２とスリット３との距離をある程度長く
しな（）ればならず、小型化が困難である。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、その
目的は、光学系の微調整が不要で、光学系の光路長を短
くでき、装置の小型化が図れ、部品点数も削減できるレ
ーザー光の光ａ安定化装置を実現することにある。
目的は、光学系の微調整が不要で、光学系の光路長を短
くでき、装置の小型化が図れ、部品点数も削減できるレ
ーザー光の光ａ安定化装置を実現することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、レーザー光を適過
させる干渉フィルタと、該干渉フィルタをレーザー光軸
に対して傾斜させてレーザー光の透過光量を変化させる
傾斜殿構と、前記干渉フィルタを透過したレーザー光の
一部を電気信号に変換する光検出器と、該光検出器の出
力信号とレーザ光の設定光ｍに応じた基準電圧とを比較
し両信号が等しくなるように前記傾斜機構を駆動する制
御回路とで構成したことを特徴とするものである。
させる干渉フィルタと、該干渉フィルタをレーザー光軸
に対して傾斜させてレーザー光の透過光量を変化させる
傾斜殿構と、前記干渉フィルタを透過したレーザー光の
一部を電気信号に変換する光検出器と、該光検出器の出
力信号とレーザ光の設定光ｍに応じた基準電圧とを比較
し両信号が等しくなるように前記傾斜機構を駆動する制
御回路とで構成したことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のレーザー光の光量安定化装置によれば、干渉フ
ィルタのレーザー光軸に対する傾斜角度を変えることに
よって干渉フィルタを透過するレーザー光の光量を調整
することができ、従来のような光学系の微調整は不要に
なり、光学系の光路長を短くでき、装置の小型化が図れ
、部品点数も削減できる。
ィルタのレーザー光軸に対する傾斜角度を変えることに
よって干渉フィルタを透過するレーザー光の光量を調整
することができ、従来のような光学系の微調整は不要に
なり、光学系の光路長を短くでき、装置の小型化が図れ
、部品点数も削減できる。
（実施例）
以下、図面を参照し、本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図であり、第１
２図と同一部分には同一の符号を付けてその再説明は省
略する。図において、７は干渉フィルタ及びその傾斜角
度を変化させる機構を含む干渉フィルタユニットである
。該干渉フィルタユニット・７は、干渉フィルタのレー
ザー光軸に対する傾斜角度が減算器６から加えられる駆
動信号に応じて変化するように構成されていて、第１２
図と同様のサーボループにより、減算器６に加えられる
光検出器５の出力信号と基准電圧とが等しくなるように
その傾斜角度が制御される。
２図と同一部分には同一の符号を付けてその再説明は省
略する。図において、７は干渉フィルタ及びその傾斜角
度を変化させる機構を含む干渉フィルタユニットである
。該干渉フィルタユニット・７は、干渉フィルタのレー
ザー光軸に対する傾斜角度が減算器６から加えられる駆
動信号に応じて変化するように構成されていて、第１２
図と同様のサーボループにより、減算器６に加えられる
光検出器５の出力信号と基准電圧とが等しくなるように
その傾斜角度が制御される。
第２図は、本発明で用いる干渉フィルタの特性例図であ
る。干渉フィルタは、その種類により最大透過率Ｔｍａ
Ｘを示す中心波長λ０が決まっていて、該中心波長λ０
からずれた波長λの透過率下は光軸に対して干渉フィル
タを傾斜させない限り急激に低下づることになる。従っ
て、出力光の波長が単波長でない光源から所望の波長の
光を取り出したい揚台には、中心波長λＱが所望の波長
である干渉フィルタを用いればよく、該干渉フィルタが
波長分離器として作用することになる。
る。干渉フィルタは、その種類により最大透過率Ｔｍａ
Ｘを示す中心波長λ０が決まっていて、該中心波長λ０
からずれた波長λの透過率下は光軸に対して干渉フィル
タを傾斜させない限り急激に低下づることになる。従っ
て、出力光の波長が単波長でない光源から所望の波長の
光を取り出したい揚台には、中心波長λＱが所望の波長
である干渉フィルタを用いればよく、該干渉フィルタが
波長分離器として作用することになる。
ところが、中心波長λ０が決まっていても、他の波長の
光を全く透過させないわけではなく、第３図に示すよう
に、干渉フィルタへの入射角θを大きくしていくと、透
過する波長は短波長側に移動する。又、その状態での中
心波長λ０の光は干渉フィルタの傾斜の変化が小さけれ
ば全く透過しなくなるわけではなく、第４図に示すよう
に最大透過率を示ず波Ｋがλ１からλ３に向かって変化
したとしても、例えば波長λ１の光の透過率はＴａ −
＋Ｔｂ−ＩＴＣと低下することになる。従って、波長λ
１の光のみに着目すると、光軸に対する干渉フィルタの
傾斜角θを大きく（θｌくθ３くθ３）としていくこと
によってその透過率Ｔａ＞Ｔｂ＞ＴＯと低下することに
４する。これらの関係は、第５図のようになる。即ち、
干渉フィルタの光軸に対する傾斜角度θを変えることに
よって、ある一つの波長の光の透過率を制御できること
が明らかである。
光を全く透過させないわけではなく、第３図に示すよう
に、干渉フィルタへの入射角θを大きくしていくと、透
過する波長は短波長側に移動する。又、その状態での中
心波長λ０の光は干渉フィルタの傾斜の変化が小さけれ
ば全く透過しなくなるわけではなく、第４図に示すよう
に最大透過率を示ず波Ｋがλ１からλ３に向かって変化
したとしても、例えば波長λ１の光の透過率はＴａ −
＋Ｔｂ−ＩＴＣと低下することになる。従って、波長λ
１の光のみに着目すると、光軸に対する干渉フィルタの
傾斜角θを大きく（θｌくθ３くθ３）としていくこと
によってその透過率Ｔａ＞Ｔｂ＞ＴＯと低下することに
４する。これらの関係は、第５図のようになる。即ち、
干渉フィルタの光軸に対する傾斜角度θを変えることに
よって、ある一つの波長の光の透過率を制御できること
が明らかである。
本発明は、このような干渉フィルタの特性を利用したも
のであり、特に複数の波長を持つ光源に対して１枚の干
渉フィルタで波長分離及び透過光量の安定化を図ること
ができる。
のであり、特に複数の波長を持つ光源に対して１枚の干
渉フィルタで波長分離及び透過光量の安定化を図ること
ができる。
第６図は、干渉フィルタユニット７の具体例を示す構成
図である。図において、８は干渉フィルタであり、該干
渉フィルタ８には軸９が固着されていて、該軸９は軸受
１０，１１で回転自在に支持されている。又、軸９には
アーム１２が固着され、更に該アーム１２の端部に積層
形の圧電アクチュエータ１３が係止されている。又、該
アクチュエータ１３の本体側は支持台１４に連結されて
いる。このような積層型のアクチュエータ１３には、駆
動電圧のオン／オフに対して５０μｓ〜１０μｓのスピ
ードで応答すると共に、比較的大きな力（例えば７０Ｋ
Ｏ程度）を発生し、又、０゜１μｍ以下の高い分解能を
持つという特徴を有する。又、積層型でなくバイモルフ
型の圧電・アクチュエータを用いることも可能であり、
この場合、発生力は小さいものの大ぎな変位量を得るこ
とができるという特徴がある。
図である。図において、８は干渉フィルタであり、該干
渉フィルタ８には軸９が固着されていて、該軸９は軸受
１０，１１で回転自在に支持されている。又、軸９には
アーム１２が固着され、更に該アーム１２の端部に積層
形の圧電アクチュエータ１３が係止されている。又、該
アクチュエータ１３の本体側は支持台１４に連結されて
いる。このような積層型のアクチュエータ１３には、駆
動電圧のオン／オフに対して５０μｓ〜１０μｓのスピ
ードで応答すると共に、比較的大きな力（例えば７０Ｋ
Ｏ程度）を発生し、又、０゜１μｍ以下の高い分解能を
持つという特徴を有する。又、積層型でなくバイモルフ
型の圧電・アクチュエータを用いることも可能であり、
この場合、発生力は小さいものの大ぎな変位量を得るこ
とができるという特徴がある。
第７図は、干渉フィルタユニット７の他の具体例を示づ
構成図であり、第６図と同一部分には同一符号を付けて
いる。図において、軸９には同軸になるように歯車やロ
ーラ等の円盤体１５が固着されていて、該円盤体１５の
外周にはモータ１６の回転軸に取付けた歯車やローラ等
が当接されている。これにより、モータ１６の回転に応
じて干渉フィルタ８の光軸に対する傾斜角度が変化する
ことになる。
構成図であり、第６図と同一部分には同一符号を付けて
いる。図において、軸９には同軸になるように歯車やロ
ーラ等の円盤体１５が固着されていて、該円盤体１５の
外周にはモータ１６の回転軸に取付けた歯車やローラ等
が当接されている。これにより、モータ１６の回転に応
じて干渉フィルタ８の光軸に対する傾斜角度が変化する
ことになる。
第８図も、干渉フィルタユニット７の他の具体例を示す
構成図である。第８図では、軸９と同軸にプーリー１７
を固着し、該プーリー１７とモータ１６の出力軸に取付
けたプーリーとの間に糸１８を張架している。
構成図である。第８図では、軸９と同軸にプーリー１７
を固着し、該プーリー１７とモータ１６の出力軸に取付
けたプーリーとの間に糸１８を張架している。
第９図も、干渉フィルタユニット７の他の具体例を示す
構成図である。第９図では、軸９と同軸にねじ歯車１９
を固着し、該ねじ歯車１９にモータ１６の出力軸に取付
けたねじ２０を噛み合わせている。
構成図である。第９図では、軸９と同軸にねじ歯車１９
を固着し、該ねじ歯車１９にモータ１６の出力軸に取付
けたねじ２０を噛み合わせている。
第１０図も、干渉フィルタユニット７の他の具体例を示
す構成図である。第１０図では、軸９にアーム１２をも
うけ、該アーム１２をテンションスプリング２１で一方
向に引っ張ると共に、モータ１６の出力軸に取付けられ
たプーリーに一端が係止された糸２２で逆方向に引くよ
うに構成している。
す構成図である。第１０図では、軸９にアーム１２をも
うけ、該アーム１２をテンションスプリング２１で一方
向に引っ張ると共に、モータ１６の出力軸に取付けられ
たプーリーに一端が係止された糸２２で逆方向に引くよ
うに構成している。
第１１図も、干渉フィルタユニット７の他の具体例を示
す構成図であり、可動コイル形の駆動機構の例を示して
いる。図において、軸９にはコイル２３が軸方向に沿っ
て巻回されていて、該コイル２３にはコイルスプリング
２４．２５を介して矢印Ａ、Ａ’ の方向に制ｔａｉ流
が加えられる。２６．２７は永久磁石であり、コイル２
３を挟むようにして対向配置されていて、磁力線は矢印
Ｂの方向に発生する。これにより、コイル２３は矢印ｃ
、ｃ’で示すようにコイルスプリング２４．２５の付勢
力と反対の時計方向に回転することになり、干渉フィル
タ８も時計方向に回転することになる。
す構成図であり、可動コイル形の駆動機構の例を示して
いる。図において、軸９にはコイル２３が軸方向に沿っ
て巻回されていて、該コイル２３にはコイルスプリング
２４．２５を介して矢印Ａ、Ａ’ の方向に制ｔａｉ流
が加えられる。２６．２７は永久磁石であり、コイル２
３を挟むようにして対向配置されていて、磁力線は矢印
Ｂの方向に発生する。これにより、コイル２３は矢印ｃ
、ｃ’で示すようにコイルスプリング２４．２５の付勢
力と反対の時計方向に回転することになり、干渉フィル
タ８も時計方向に回転することになる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、従来のよ
うな光学系の微調整は不要になって光学系の光路長を短
くでき、装置の小型化が図れ、部品点数も削減できるレ
ーザ光量安定化装置が実現できる。
うな光学系の微調整は不要になって光学系の光路長を短
くでき、装置の小型化が図れ、部品点数も削減できるレ
ーザ光量安定化装置が実現できる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図乃至第
５図は本発明で用いる干渉フィルタの特性説明図、第６
図乃至第１１図は本発明で用いる干渉フィルタユニット
の具体例を示す構成図、第１２図は従来の装置の一例を
示す構成図である。 １・・・レーず−４・・・ビームスプリッタ５・・・光
検出器 ６・・・減算器７・・・干渉フィルタユ
ニット ８・・・干渉フィルタ 特許出願人 小西六写真工業株式会社代 理 人
弁理士 井 島 藤 冶外１名 筒１図 ４Ｉビームスプリツタ ７１モ膚フイルタユニツト 筒２図 角■３ 図 第４［Ｚ フィルターの傾き ｅ３＞９２＞ｅ１阿５ 図 第６ 図 第７図 第８ 図 負４９図 第１０図 光軸） ７Ｉ干渉フイルタユニツト ８Ｉ干汐フイルタ ７、干渉フィルタユニット ８Ｉ干渉フイルタ 負等１１図 第１２図
５図は本発明で用いる干渉フィルタの特性説明図、第６
図乃至第１１図は本発明で用いる干渉フィルタユニット
の具体例を示す構成図、第１２図は従来の装置の一例を
示す構成図である。 １・・・レーず−４・・・ビームスプリッタ５・・・光
検出器 ６・・・減算器７・・・干渉フィルタユ
ニット ８・・・干渉フィルタ 特許出願人 小西六写真工業株式会社代 理 人
弁理士 井 島 藤 冶外１名 筒１図 ４Ｉビームスプリツタ ７１モ膚フイルタユニツト 筒２図 角■３ 図 第４［Ｚ フィルターの傾き ｅ３＞９２＞ｅ１阿５ 図 第６ 図 第７図 第８ 図 負４９図 第１０図 光軸） ７Ｉ干渉フイルタユニツト ８Ｉ干汐フイルタ ７、干渉フィルタユニット ８Ｉ干渉フイルタ 負等１１図 第１２図
Claims (1)
- レーザー光を透過させる干渉フィルタと、該干渉フィル
タをレーザー光軸に対して傾斜させてレーザー光の透過
光量を変化させる傾斜機構と、前記干渉フィルタを透過
したレーザー光の一部を電気信号に変換する光検出器と
、該光検出器の出力信号とレーザ光の設定光量に応じた
基準電圧とを比較し両信号が等しくなるように前記傾斜
機構を駆動する制御回路とで構成したことを特徴とする
レーザー光量安定化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29411786A JPS63147135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | レ−ザ−光量安定化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29411786A JPS63147135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | レ−ザ−光量安定化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63147135A true JPS63147135A (ja) | 1988-06-20 |
Family
ID=17803509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29411786A Pending JPS63147135A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | レ−ザ−光量安定化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63147135A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04113235A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-14 | Minolta Camera Co Ltd | 光センサー |
| JPH04249413A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子同調式チューナ |
| JPH04107221U (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-16 | 株式会社リコー | 光学フイルタ装置 |
| JPH056865U (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-29 | 日新電機株式会社 | エキシマレーザ装置 |
| FR2699688A1 (fr) * | 1992-12-21 | 1994-06-24 | Thomson Csf | Dispositif de filtrage optique et application à un projecteur à cristal liquide. |
| WO1995035486A1 (fr) * | 1992-12-21 | 1995-12-28 | Thomson-Csf | Dispositif de filtrage optique et application a un projecteur a cristal liquide |
| US5966987A (en) * | 1997-05-28 | 1999-10-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Controlling device of tunable filter |
-
1986
- 1986-12-10 JP JP29411786A patent/JPS63147135A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04113235A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-14 | Minolta Camera Co Ltd | 光センサー |
| JPH04249413A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子同調式チューナ |
| JPH04107221U (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-16 | 株式会社リコー | 光学フイルタ装置 |
| JPH056865U (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-29 | 日新電機株式会社 | エキシマレーザ装置 |
| FR2699688A1 (fr) * | 1992-12-21 | 1994-06-24 | Thomson Csf | Dispositif de filtrage optique et application à un projecteur à cristal liquide. |
| WO1995035486A1 (fr) * | 1992-12-21 | 1995-12-28 | Thomson-Csf | Dispositif de filtrage optique et application a un projecteur a cristal liquide |
| US5966987A (en) * | 1997-05-28 | 1999-10-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Controlling device of tunable filter |
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