JP2001313170A - 有機el素子及びその製造方法 - Google Patents

有機el素子及びその製造方法

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Takayoshi Kuriyama
貴好 栗山
Masahiro Yokoi
正裕 横井
Taku Kobayashi
卓 小林
Hirotaka Ono
裕孝 大野
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/861Repairing

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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 陰極が通常より薄く、短絡等が容易に修復さ
れる有機EL素子及び短絡等を予め十分に修復すること
ができる有機EL素子の製造方法を提供する。 【解決手段】 アルミニウム等の金属からなる陰極を7
00〜1000Å、特に700〜900Åと薄くし、短
絡部位等の陰極の所要表面の酸化を容易にする。また、
陰極を300〜1000Å、特に300〜700Åと
し、1〜5体積%、特に1〜2体積%の酸素ガスを含む
窒素ガス雰囲気において、両電極間に定電流駆動時より
も高い電圧を印加し、短絡部位等を発熱させ、酸化させ
た後、少量の酸素ガスを含む窒素ガス雰囲気下、封止
し、有機EL素子を製造する。尚、この陰極の厚さが8
00Å未満、特に700Å未満である場合は、その表面
に更に陰極を形成し、全厚さを1200〜1800Å、
特に1300〜1700Åとし、所要のシート抵抗を有
する陰極として実用に供することが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、短絡等の修復が容
易である有機EL素子、及び短絡等を予め十分に修復す
ることができる工程を備える有機EL素子の製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】定電流駆動される有機EL素子では、陽
極と陰極との短絡により、特定の画素が発光しなくなっ
たり、電流のほとんどすべてが短絡している部分を流れ
ることによって素子全体が発光しなくなることがある。
これら画素欠陥、或いは短絡している部分を修復するた
めの簡便な装置、操作等が必要とされ、提案されている
(例えば、特開平11−40346号公報等)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の問題点を解決するものであり、短絡等の修復が容
易である有機EL素子を提供することを目的とする。ま
た、短絡している部分等における陰極の表面を酸化さ
せ、予め修復する工程を備える有機EL素子の製造方法
を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】第1発明の有機EL素子
は、基板と、該基板の表面に、陽極、有機EL薄膜及び
陰極が、この順に積層され、形成された有機EL積層体
とを備える有機EL素子において、上記陰極の厚さが7
00〜1000Åであり、該陰極の表面のうちの上記陽
極と接触している部分及び該陽極と近接している部分が
酸化されていることを特徴とする。
【0005】上記「陰極」は、アルミニウム、Mg−A
g合金、Na−K合金等、所要表面に酸化皮膜が形成さ
れ得る材質により形成することができる。上記「酸化」
は、有機EL薄膜及び両電極を封止部材により封止する
ことにより形成される封止空間に、適量の酸素ガスを封
入することにより行うことができる。また、第3発明の
ように、封止前に予め酸化させておくこともできる。更
に、予め酸化させた後、封止し、封止空間に適量の酸素
ガスを封入することもできる。酸素ガスは、高濃度であ
ると長期間の経時とともに、ダークスポットの発生及び
その成長の一因となり得る。しかし、少量であれば短絡
している部分等における陰極の表面を酸化することがで
き、且つ素子の特性を損なうこともない。
【0006】封止空間に封入される酸素ガス量は、封止
空間を100体積%とした場合に、0.1〜5体積%と
することができ、特に0.5〜2体積%とすることが好
ましい。酸素ガス量が0.1体積%未満であると、短絡
している部分等における陰極の表面が十分に酸化され
ず、5体積%を越える場合は、経時とともにダークスポ
ットが発生し、成長することがあるため好ましくない。
【0007】尚、陰極の表面のうちの上記「陽極と接触
している部分」は、陽極の表面に突起等があり、これが
有機EL薄膜の表面に露出している場合、或いは陽極の
表面に付着していた異物が有機EL薄膜を形成した後、
除去され、陽極表面が露出した場合などに、陰極が陽極
表面に直接形成されている部分である。また、上記「陽
極と近接している部分」は、陽極の表面に突起等があっ
た場合、或いは異物などにより、有機EL薄膜の厚さが
他の部分に比べて極めて薄く、逆バイアスで電圧を印加
した場合に電流が流れ得る部分である。
【0008】陰極の厚さは700〜1000Åであり、
特に700〜900Å、更には700〜800Åである
ことが好ましい。陰極の厚さが700Å未満であると、
発光層からの光が陰極を透過し、十分に反射しないた
め、所要の輝度を有する有機EL素子とすることができ
ない。一方、この厚さが1000Åを越える場合は、陰
極の、陽極と接触している部分及び陽極と近接している
部分に、酸素ガスが速やかに、且つ十分に到達し得なく
なる。そのため、酸化皮膜が形成され難くなり、短絡し
ている部分若しくは電流漏れを生じている部分が十分に
修復されない。
【0009】この素子は、このままで十分に実用に供す
ることができるが、所要のシート抵抗を有する陰極とす
るため、第2発明のように、この陰極の表面に更に陰極
が形成されることが好ましい。更に形成される陰極の材
質は特に限定されず、予め形成されている陰極と同材質
であってもよいし、異なる材質により形成されていても
よい。また、陰極の全厚さも特に限定はされないが、例
えば、陰極全体がアルミニウムからなる場合など、通
常、1200〜1800Å、特に1300〜1700Å
とすることが好ましい。
【0010】第3発明の有機EL素子の製造方法は、基
板の表面に、陽極、有機EL薄膜及び300〜1000
Åの厚さの陰極を、この順に積層した後、1体積%以上
の酸素ガスを含む雰囲気において上記陽極と上記陰極の
間に通電し、該陰極の表面のうちの該陽極と接触してい
る部分及び該陽極と近接している部分を酸化させる工程
を備えることを特徴とする。
【0011】このように、短絡している部分等における
陰極の表面を予め酸化しておくことにより、長期に渡り
安定した性能を有する有機EL素子とすることができ
る。上記「通電」は、「1体積%以上」の酸素ガスを含
む密閉空間において行うことができ、用いる装置等は特
に限定されない。酸素ガス濃度の上限は特定されない
が、あまりに高濃度であると有機EL素子の特性を損な
う恐れがあるため、20体積%以下、特に10体積%以
下であることが好ましい。この酸素ガス濃度は、特に1
〜5体積%、更には1〜2体積%であることが好まし
く、この範囲の酸素ガス濃度であれば、短絡している部
分等を効率よく十分に修復することができる。酸素ガス
濃度が1体積%未満であると、この修復を十分に行うこ
とができず、或いは修復に長時間の通電を要し、実用的
ではない。
【0012】上記「通電」における電圧、電流は、短絡
している部分等を発熱させ、陰極の表面を導通が失われ
る程度に酸化させることができればよく、特に限定され
ない。この電圧、電流は、有機EL素子の通常の駆動時
に比べて高電圧、大電流とすることが好ましい。高電
圧、大電流とし、且つ短時間の通電によって、素子の特
性を何ら損なうことなく、効率的に修復を行うことがで
きる。更に、より高い電圧、電流とすることによって、
電流漏れを生じている部分等、短絡にまでは至っていな
いを部分を短絡させるとともに、発熱させ、酸化させて
修復し、使用時の短絡発生を予め防止することもでき
る。
【0013】第3発明において、陰極の厚さは300〜
1000Åであり、特に300〜700Å、更には30
0〜500Åとすることが好ましい。陰極の厚さが30
0Å未満であると、通電することができず、短絡してい
る部分等を修復することができない。一方、この厚さが
1000Åを越える場合は、陰極の、陽極と接触してい
る部分及び陽極と近接している部分に、酸素ガスが速や
かに、且つ十分に到達し得なくなり、酸化され難くな
る。そのため、短絡している部分若しくは電流漏れを生
じている部分の修復が十分になされないことになる。
【0014】この陰極の厚さが700Å以上、特に80
0Å以上であれば、そのまま有機EL素子として実用に
供することができる。一方、この厚さが300〜800
Å、特に300〜700Åと薄い場合は、発光層からの
光が陰極を透過し、十分に反射しないため、通常、所要
の輝度を有する素子とすることができない。このような
場合は、陰極の表面に更に陰極を形成し、陰極の全厚さ
を700Å以上、特に800Å以上にすることにより、
十分に実用に供し得る有機EL素子とすることができ
る。更に、第1乃至第2発明の場合と同様に、陰極の全
厚さを1200〜1800Å、特に1300〜1700
Åとすれば、所要のシート抵抗を有する陰極とすること
ができる。尚、更に形成される陰極の材質は特に限定さ
れず、予め形成されている陰極と同材質であってもよい
し、異なる材質により形成されていてもよい。
【0015】第1乃至第2発明の有機EL素子及び第3
発明の方法により製造される有機EL素子において、有
機EL薄膜は、少なくとも発光層を備え、ホール輸送層
及び電子輸送層を有していてもよい。また、陽極とホー
ル輸送層との間にホール注入層を、電子輸送層と陰極と
の間に電子注入層を有していてもよい。
【0016】基板としては、ソーダ石灰ガラス等のガラ
ス類の他、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテル
スルホン、ポリカーボネート等の合成樹脂及び石英等の
透明性を有するものを使用することができる。これらの
うちでは特にガラスからなる基板が多用される。
【0017】陽極は、金、ニッケル等の金属単体、及び
ITO、CuI、SnO2、ZnO等の金属化合物によ
り形成することができる。これらのうち、生産性、安定
した導電性等の観点からITOが特に好ましい。
【0018】発光層は、アルミキノリウム錯体及びベン
ゾキノリノールBe錯体等の発光材料により形成するこ
とができる。また、これらの発光材料に、キナクリドン
誘導体、DCM誘導体等のドーピング剤を配合すること
もできる。ホール注入層は、銅フタロシアニン錯体等に
より形成することができ、電子注入層は、LiF等のア
ルカリ金属のフッ化物又は酸化物及びBaF2等のアル
カリ土類金属のフッ化物などにより形成することができ
る。ホール輸送層は、トリフェニルアミン誘導体等によ
り形成することができ、電子輸送層は、アルミキノリウ
ム錯体及びヒドロキシフラボンBe錯体等により形成す
ることができる。これらの有機EL積層体を構成する各
層は、真空蒸着法により形成することができ、スピンコ
ート法、キャスト法、スパッタリング法及びLB法等、
他の各種の方法によっても形成することができる。
【0019】有機EL積層体は、基板の周縁に接合層を
介して封止部材を接合することにより封止することがで
きる。封止部材としては、ステンレス鋼、アルミニウム
又はその合金等の金属、ソーダ石灰ガラス、珪酸塩ガラ
ス等のガラス、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂等の合
成樹脂などからなるものを使用することができる。接合
層は、エポキシ樹脂、アクリレート系樹脂等の熱硬化性
樹脂の他、光硬化性樹脂等の封止樹脂からなる硬化体に
より形成することができる。これらの封止樹脂のうちで
は、輝度の低下等を抑えるため、水分等が透過し難い硬
化体が形成される封止樹脂を使用することが好ましい。
また、素子に加わる熱応力を緩和することができ、且つ
硬化速度の大きい光硬化性樹脂がより好ましい。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、実施例により本発明を更に
詳しく説明する。 実施例1 (1)有機EL積層体の作製 図1に示すように、ガラスからなる透明基板1、この透
明基板1の表面に、ITOからなる透明電極2、少なく
とも発光層を有する有機EL薄膜3及びアルミニウムか
らなる厚さ800Åの陰極4が、この順に積層され、形
成された有機EL積層体を作製した。
【0021】(2)通電、酸化処理 (1)で作製した有機EL積層体を、図2に示すよう
に、2体積%の酸素ガスを含む窒素ガス雰囲気に調整さ
れたグローブボックス6内に静置し、両電極間に定電流
駆動時の電圧、電流を越える高電圧を印加し、大電流を
流した。これにより、短絡している部分は発熱し、酸化
され、この部分における陰極のアルミニウムが酸化アル
ミニウムとなって導通しなくなり、修復された。
【0022】(3)有機EL素子の作製 (2)において通電、酸化処理した後、陰極の表面に更
にアルミニウムを蒸着し、陰極の全厚さを1500Åと
した。その後、ステンレス鋼製の封止部材51を透明基
板1の周縁に接合層52により接合し、ドットマトリク
ス型の有機EL素子を作製した。封止操作は1体積%の
酸素ガスを含む窒素ガス雰囲気において行った。それに
より、封止空間には1体積%の酸素ガスを含む窒素ガス
が封入された。このようにして素子を作製することによ
り、短絡している部分を予め修復することができ、且つ
封止空間53には適量の酸素ガスが封入され、過剰の酸
素ガスの混入は防止されるため、使用時のダークスポッ
トの発生及びその成長は十分に防止される。
【0023】実施例2〜4及び比較例1〜3 アルミニウムからなる陰極等の厚さを変化させ、実施例
1と同様にして、実施例2〜4及び比較例1〜3のドッ
トマトリクス型の有機EL素子を作製した。これらの各
々の素子の全スキャンラインを短絡させ、全データライ
ンも短絡させて、このスキャンラインとデータラインと
の間に逆バイアスで15Vの電圧を印加し、電流量を測
定した。素子の封止空間には1体積%の酸素ガスが封入
されているため、経時とともに、短絡していた部分等が
修復され、或いは電流漏れが生じていた部分が短絡し、
これが再び修復される等で、暫くは電流量が変化する。
この電流量が安定した時点で読み取り、実施例2の電流
量を1とした場合の電流比を算出した。結果を表1に示
す。
【0024】
【表1】
【0025】逆バイアスで流れる電流は短絡等によるも
のであるが、陰極の厚さが800Åである実施例3及び
4では、いずれも電流比は5.7である。一方、陰極の
厚さが1500Åである場合の電流比は、比較例1では
18.6、比較例2及び3では28.6となっており、
実施例に比べて電流量が相当に多くなっていることが分
かる。これは陰極が薄い場合は他の層の厚さによらず短
絡等の修復が効率よくなされることを意味しており、こ
れらの結果は第1発明の作用、効果を裏付けるものであ
る。
【0026】尚、本発明においては、上記の実施例に限
られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更
した実施例とすることができる。即ち、実施例2〜4で
は、印加する電圧を高くする、試験雰囲気の温度を高く
する等によって、速やかに電流量を安定させることがで
きる。即ち、短絡している部分等における陰極の表面を
より短時間で酸化させることができる。
【0027】
【発明の効果】第1発明によれば、より短時間で効率よ
く短絡等が修復され、そのまま実用に供することができ
る有機EL素子とすることができる。また、第2発明に
よれば、十分なシート抵抗を有する陰極とすることがで
き、素子の特性を更に向上させることができる。更に、
第3発明によれば、より効率よく短絡等を修復すること
ができ、優れた特性を有する有機EL素子を容易に製造
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】厚さ800Åの陰極が形成された有機EL積層
体の断面を模式的に示す断面図である。
【図2】酸素ガスを含む雰囲気において通電し、処理し
ている様子を模式的に示す断面図である。
【図3】更に陰極を形成し、封止部材を装着した有機E
L素子の断面を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
1;透明基板、2;陽極、3;有機EL薄膜、4;陰
極、51;封止部材、52;接合層、53;封止空間、
6;グローブボックス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 卓 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 大野 裕孝 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 Fターム(参考) 3K007 AB08 AB18 BB04 CA01 CB01 CC00 DA01 DB03 EB00 FA01 FA02 FA03 FA04 4K029 AA09 BA03 BA62 BB02 BD00 CA01

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、該基板の表面に、陽極、有機E
    L薄膜及び陰極が、この順に積層され、形成された有機
    EL積層体とを備える有機EL素子において、上記陰極
    の厚さが700〜1000Åであり、該陰極の表面のう
    ちの上記陽極と接触している部分及び該陽極と近接して
    いる部分が酸化されていることを特徴とする有機EL素
    子。
  2. 【請求項2】 上記陰極の表面に更に陰極が形成された
    請求項1記載の有機EL素子。
  3. 【請求項3】 基板の表面に、陽極、有機EL薄膜及び
    300〜1000Åの厚さの陰極を、この順に積層した
    後、1体積%以上の酸素ガスを含む雰囲気において上記
    陽極と上記陰極の間に通電し、該陰極の表面のうちの該
    陽極と接触している部分及び該陽極と近接している部分
    を酸化させる工程を備えることを特徴とする有機EL素
    子の製造方法。
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