JP2001311756A - 界分布測定方法及び装置 - Google Patents
界分布測定方法及び装置Info
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プローブを連続的に走査して電界や磁界の空
間的な分布を測定する界分布測定方法及び装置に関し、
プローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発
生する測定ノイズを除去しうる界分布測定方法及び装置
を提供する。 【解決手段】 プローブを連続的に走査しながら複数の
サンプリング点において測定を行うことにより電界又は
磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法におい
て、プローブの位置と測定のタイミングとのずれによっ
て発生するスプリアススペクトルに基づいてサンプリン
グのずれ量を算出し、このずれ量を考慮して電界又は磁
界の分布を測定する。
間的な分布を測定する界分布測定方法及び装置に関し、
プローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発
生する測定ノイズを除去しうる界分布測定方法及び装置
を提供する。 【解決手段】 プローブを連続的に走査しながら複数の
サンプリング点において測定を行うことにより電界又は
磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法におい
て、プローブの位置と測定のタイミングとのずれによっ
て発生するスプリアススペクトルに基づいてサンプリン
グのずれ量を算出し、このずれ量を考慮して電界又は磁
界の分布を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブを走査し
て電界や磁界の分布を測定する界分布測定方法及び装置
に係り、特に、プローブ走行位置と測定タイミングとの
ずれによって発生する測定ノイズを除去しうる界分布測
定方法及び装置に関する。
て電界や磁界の分布を測定する界分布測定方法及び装置
に係り、特に、プローブ走行位置と測定タイミングとの
ずれによって発生する測定ノイズを除去しうる界分布測
定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】小型アンテナ指向性評価装置や電波監視
可視化装置では、電界や磁界の２次元分布を測定するこ
とが必要である。従来のこれら装置においては、プロー
ブを２次元的に走査することにより電界や磁界の２次元
分布を測定する界分布測定方法が用いられている。
可視化装置では、電界や磁界の２次元分布を測定するこ
とが必要である。従来のこれら装置においては、プロー
ブを２次元的に走査することにより電界や磁界の２次元
分布を測定する界分布測定方法が用いられている。
【０００３】従来の界分布測定方法及び装置について図
６を用いて説明する。
６を用いて説明する。
【０００４】電界や磁界を測定する範囲を画定する界分
布測定面１００には、電界や磁界を検出するためのプロ
ーブ１０２が設けられている。プローブ１０２は、プロ
ーブ走査制御部１０４に接続されており、界分布測定面
１００内においてｘ軸方向及びｙ軸方向に走査できるよ
うになっている。プローブ１０２には、プローブ１０２
からの信号に基づいて電界及び磁界を測定する測定部１
０６が接続されている。プローブ走査制御部１０４は、
プローブ１０２の位置に応じた測定トリガ信号を発生
し、測定部１０６に入力するようになっている。測定部
１０６によって測定された電界や磁界のデータＦは、プ
ローブ走査制御部１０４から送られる位置情報とともに
バッファメモリ１０８に記録できるようになっている。
バッファメモリ１０８には、バッファメモリ１０８に蓄
えられた測定データを２次元平面上に展開して表示する
演算・表示部１１０が接続されている。
布測定面１００には、電界や磁界を検出するためのプロ
ーブ１０２が設けられている。プローブ１０２は、プロ
ーブ走査制御部１０４に接続されており、界分布測定面
１００内においてｘ軸方向及びｙ軸方向に走査できるよ
うになっている。プローブ１０２には、プローブ１０２
からの信号に基づいて電界及び磁界を測定する測定部１
０６が接続されている。プローブ走査制御部１０４は、
プローブ１０２の位置に応じた測定トリガ信号を発生
し、測定部１０６に入力するようになっている。測定部
１０６によって測定された電界や磁界のデータＦは、プ
ローブ走査制御部１０４から送られる位置情報とともに
バッファメモリ１０８に記録できるようになっている。
バッファメモリ１０８には、バッファメモリ１０８に蓄
えられた測定データを２次元平面上に展開して表示する
演算・表示部１１０が接続されている。
【０００５】図６に示す界分布測定装置において、界分
布の測定は、プローブ１０２を走査しながら界分布測定
面１００上において所定間隔毎に電界や磁界を測定し、
測定した電界や磁界をプローブ１０２の位置情報ととも
に処理することにより行う。
布の測定は、プローブ１０２を走査しながら界分布測定
面１００上において所定間隔毎に電界や磁界を測定し、
測定した電界や磁界をプローブ１０２の位置情報ととも
に処理することにより行う。
【０００６】プローブ１０２は、その移動を無駄なく行
い測定スループットを最大にするため、サンプリング点
（測定点）毎に停止せず、界分布測定面上を連続的に走
査する。プローブ１０２は、例えば図６に示すように、
ｘ軸に沿って正方向に移動し、次いでｙ軸に沿って所定
値だけ正方向に移動し、次いでｘ軸に沿って負方向に移
動し、次いでｙ軸に沿って所定値だけ正方向に移動し、
次いでｘ軸に沿って正方向に移動し、次いでこれら一連
の動作を繰り返し行うことにより、界分布測定面上の略
全面を走査するように移動する（以下、このような走査
方法をジグザグ走査と呼ぶ）。
い測定スループットを最大にするため、サンプリング点
（測定点）毎に停止せず、界分布測定面上を連続的に走
査する。プローブ１０２は、例えば図６に示すように、
ｘ軸に沿って正方向に移動し、次いでｙ軸に沿って所定
値だけ正方向に移動し、次いでｘ軸に沿って負方向に移
動し、次いでｙ軸に沿って所定値だけ正方向に移動し、
次いでｘ軸に沿って正方向に移動し、次いでこれら一連
の動作を繰り返し行うことにより、界分布測定面上の略
全面を走査するように移動する（以下、このような走査
方法をジグザグ走査と呼ぶ）。
【０００７】プローブ走査制御部１０４は、プローブ１
０２が界分布測定面１００上を走査する過程においてプ
ローブ１０２の位置に応じて測定トリガ信号を発する。
例えば図７に示すように、ｘ軸に沿って等間隔に並ぶ複
数のｘ座標を予め設定しておき、プローブ１０２が位置
する場所のｘ座標がそれら設定点に移動する毎に測定ト
リガ信号を発生するようにする。この測定トリガ信号
は、測定部１０６に送られる。
０２が界分布測定面１００上を走査する過程においてプ
ローブ１０２の位置に応じて測定トリガ信号を発する。
例えば図７に示すように、ｘ軸に沿って等間隔に並ぶ複
数のｘ座標を予め設定しておき、プローブ１０２が位置
する場所のｘ座標がそれら設定点に移動する毎に測定ト
リガ信号を発生するようにする。この測定トリガ信号
は、測定部１０６に送られる。
【０００８】測定部１０６では、測定トリガ信号を受け
取ったときにプローブ１０２によって検出されている信
号がそのサンプリング点における電界や磁界の情報であ
ると判断し、その時点におけるプローブ１０２からの出
力信号に基づいて電界や磁界の測定を行う。
取ったときにプローブ１０２によって検出されている信
号がそのサンプリング点における電界や磁界の情報であ
ると判断し、その時点におけるプローブ１０２からの出
力信号に基づいて電界や磁界の測定を行う。
【０００９】このように測定された電界や磁界のデータ
Ｆは、プローブ走査制御部から出力されるプローブの位
置情報（座標（ｘ，ｙ））とともにバッファメモリ１０
８に蓄えられる。
Ｆは、プローブ走査制御部から出力されるプローブの位
置情報（座標（ｘ，ｙ））とともにバッファメモリ１０
８に蓄えられる。
【００１０】次いで、演算・表示部１１０により、バッ
ファメモリ１０８に蓄えられたデータＦ（ｘ，ｙ）を２
次元平面上に展開することにより、電界や磁界の２次元
界分布を得ることができる。
ファメモリ１０８に蓄えられたデータＦ（ｘ，ｙ）を２
次元平面上に展開することにより、電界や磁界の２次元
界分布を得ることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、測定ト
リガ信号の検出から測定値出力までの間には遅延時間が
存在する。このため、測定スループットを高めるために
サンプリング点毎に停止せずに連続的に走査する上記従
来の界分布測定方法では、測定トリガ信号が出力された
ときのプローブ１０２のｘ座標と、実際に測定されたと
きのプローブ１０２のｘ座標とは異なることになる。
リガ信号の検出から測定値出力までの間には遅延時間が
存在する。このため、測定スループットを高めるために
サンプリング点毎に停止せずに連続的に走査する上記従
来の界分布測定方法では、測定トリガ信号が出力された
ときのプローブ１０２のｘ座標と、実際に測定されたと
きのプローブ１０２のｘ座標とは異なることになる。
【００１２】また、図７に示すように、プローブ１０２
をジグザグ走査すると、ｙ軸の奇数番目の列とｙ軸の偶
数番目の列とでは座標のずれる方向が互いに逆方向にな
る。すなわち、プローブがｘ軸に沿って正方向に移動す
るｙ軸の奇数番目の列においては、サンプリング点も正
方向の位置にシフトする（図中、○印）。逆に、プロー
ブがｘ軸に沿って負方向に移動するｙ軸の偶数番目の列
においては、サンプリング点も負方向の位置にシフトす
る（図中、×印）。このサンプリング点の不一致量は、
プローブ走査速度をｖ［ｍ／ｓ］、遅延時間をｔd［ｓ
ｅｃ］とすると、同一のトリガ点に対してｘ軸位置が２
×ｖ×ｔd［ｍ］だけずれることになる。
をジグザグ走査すると、ｙ軸の奇数番目の列とｙ軸の偶
数番目の列とでは座標のずれる方向が互いに逆方向にな
る。すなわち、プローブがｘ軸に沿って正方向に移動す
るｙ軸の奇数番目の列においては、サンプリング点も正
方向の位置にシフトする（図中、○印）。逆に、プロー
ブがｘ軸に沿って負方向に移動するｙ軸の偶数番目の列
においては、サンプリング点も負方向の位置にシフトす
る（図中、×印）。このサンプリング点の不一致量は、
プローブ走査速度をｖ［ｍ／ｓ］、遅延時間をｔd［ｓ
ｅｃ］とすると、同一のトリガ点に対してｘ軸位置が２
×ｖ×ｔd［ｍ］だけずれることになる。
【００１３】したがって、プローブ走査制御部１０４か
ら出力された位置情報に基づいて界分布を２次元平面上
に展開したのでは、電界や磁界の正確な２次元像を得る
ことはできなかった。
ら出力された位置情報に基づいて界分布を２次元平面上
に展開したのでは、電界や磁界の正確な２次元像を得る
ことはできなかった。
【００１４】本発明の目的は、プローブを連続的に走査
して電界や磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方
法及び装置において、プローブ走行位置と測定タイミン
グとのずれによって発生する測定ノイズを除去しうる界
分布測定方法及び装置を提供することにある。
して電界や磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方
法及び装置において、プローブ走行位置と測定タイミン
グとのずれによって発生する測定ノイズを除去しうる界
分布測定方法及び装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、プローブを
連続的に走査しながら複数のサンプリング点において測
定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測定
する界分布測定方法において、前記プローブの位置と測
定のタイミングとのずれによって発生するスプリアスス
ペクトルに基づいてサンプリング点のずれ量を算出し、
前記ずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するこ
とを特徴とする界分布測定方法によって達成される。
連続的に走査しながら複数のサンプリング点において測
定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測定
する界分布測定方法において、前記プローブの位置と測
定のタイミングとのずれによって発生するスプリアスス
ペクトルに基づいてサンプリング点のずれ量を算出し、
前記ずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するこ
とを特徴とする界分布測定方法によって達成される。
【００１６】また、上記の界分布測定方法において、前
記プローブを第１の方向に走査しながら測定した複数の
測定データを前記プローブの位置情報とともに基準デー
タとして記録し、前記プローブを前記第１の方向とは逆
の第２の方向に走査しながら測定した複数の測定データ
を前記プローブの位置情報とともに調整データとして記
録し、前記調整データに対して補間処理を行い、前記サ
ンプリング点間のデータを補間した補間データを算出
し、前記基準データ及び前記補間データに対する空間周
波数パワースペクトルを算出し、前記空間周波数パワー
スペクトルに基づき、前記サンプリング点のずれ量を算
出するようにしてもよい。
記プローブを第１の方向に走査しながら測定した複数の
測定データを前記プローブの位置情報とともに基準デー
タとして記録し、前記プローブを前記第１の方向とは逆
の第２の方向に走査しながら測定した複数の測定データ
を前記プローブの位置情報とともに調整データとして記
録し、前記調整データに対して補間処理を行い、前記サ
ンプリング点間のデータを補間した補間データを算出
し、前記基準データ及び前記補間データに対する空間周
波数パワースペクトルを算出し、前記空間周波数パワー
スペクトルに基づき、前記サンプリング点のずれ量を算
出するようにしてもよい。
【００１７】また、上記の界分布測定方法において、前
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数パワース
ペクトルの累積値に基づいて算出するようにしてもよ
い。
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数パワース
ペクトルの累積値に基づいて算出するようにしてもよ
い。
【００１８】また、上記の界分布測定方法において、前
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペクト
ルの累積値が所定値以下となる点に基づいて判断するよ
うにしてもよい。
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペクト
ルの累積値が所定値以下となる点に基づいて判断するよ
うにしてもよい。
【００１９】また、上記の界分布測定方法において、前
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペクト
ルの累積値が最小となる点に基づいて判断するようにし
てもよい。
記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペクト
ルの累積値が最小となる点に基づいて判断するようにし
てもよい。
【００２０】また、上記の界分布測定方法において、前
記プローブの加速・減速を考慮して、前記サンプリング
点のずれ量を算出するようにしてもよい。
記プローブの加速・減速を考慮して、前記サンプリング
点のずれ量を算出するようにしてもよい。
【００２１】また、上記の界分布測定方法において、前
記プローブは、２次元平面上を走査するようにしてもよ
い。
記プローブは、２次元平面上を走査するようにしてもよ
い。
【００２２】また、上記の界分布測定方法において、前
記プローブは、３次元空間内を走査するようにしてもよ
い。
記プローブは、３次元空間内を走査するようにしてもよ
い。
【００２３】また、上記目的は、平面上又は空間内を連
続的に走査しながら複数のサンプリング点において電界
又は磁界を検出するプローブと、前記プローブにより検
出された電界又は磁界を測定する測定器と、前記測定器
により測定された電界又は磁界のデータを、前記プロー
ブの位置データとともに記録する記録装置と、前記記録
装置に記録されたデータに基づき、前記プローブの位置
と測定のタイミングとのずれによって発生するサンプリ
ング点のずれ量を算出するデータ処理装置と、前記デー
タ処理装置により算出された前記サンプリング点のずれ
量を考慮して前記プローブにより検出された電界又は磁
界の空間的な分布を算出する演算装置とを有することを
特徴とする界分布測定装置によっても達成される。
続的に走査しながら複数のサンプリング点において電界
又は磁界を検出するプローブと、前記プローブにより検
出された電界又は磁界を測定する測定器と、前記測定器
により測定された電界又は磁界のデータを、前記プロー
ブの位置データとともに記録する記録装置と、前記記録
装置に記録されたデータに基づき、前記プローブの位置
と測定のタイミングとのずれによって発生するサンプリ
ング点のずれ量を算出するデータ処理装置と、前記デー
タ処理装置により算出された前記サンプリング点のずれ
量を考慮して前記プローブにより検出された電界又は磁
界の空間的な分布を算出する演算装置とを有することを
特徴とする界分布測定装置によっても達成される。
【００２４】また、上記の界分布測定装置において、前
記データ処理装置は、前記プローブの位置と測定のタイ
ミングとのずれによって発生するスプリアススペクトル
に基づいて前記サンプリング点のずれ量を判断するよう
にしてもよい。
記データ処理装置は、前記プローブの位置と測定のタイ
ミングとのずれによって発生するスプリアススペクトル
に基づいて前記サンプリング点のずれ量を判断するよう
にしてもよい。
【００２５】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態による界分布
測定方法及び装置について図１乃至図３を用いて説明す
る。
測定方法及び装置について図１乃至図３を用いて説明す
る。
【００２６】図１は本実施形態による界分布測定方法及
び装置を示す概略図、図２は本実施形態による界分布測
定方法におけるデータ処理方法を示すフロー図、図３は
周波数パワースペクトルの累積値とサンプリングシフト
量との関係を示すグラフである。
び装置を示す概略図、図２は本実施形態による界分布測
定方法におけるデータ処理方法を示すフロー図、図３は
周波数パワースペクトルの累積値とサンプリングシフト
量との関係を示すグラフである。
【００２７】はじめに、本実施形態による界分布測定装
置について図１を用いて説明する。
置について図１を用いて説明する。
【００２８】電界や磁界を測定する範囲を画定する界分
布測定面１０には、電界や磁界を検出するためのプロー
ブ１２が設けられている。プローブ１２は、プローブ走
査制御部２０に接続されており、界分布測定面１０内に
おいてｘ軸方向及びｙ軸方向に走査できるようになって
いる。プローブ１２には、プローブ１２からの信号に基
づいて電界及び磁界を測定する測定部３０が接続されて
いる。プローブ走査制御部２０は、プローブの位置に応
じた測定トリガ信号を発生し、測定部３０に入力するよ
うになっている。測定部３０によって測定された電界や
磁界のデータＦ 0は、プローブ走査制御部２０から送ら
れる位置情報とともにバッファメモリ４０に記録できる
ようになっている。バッファメモリ４０には、バッファ
メモリ４０に蓄えられた測定データのサンプリングノイ
ズを除去するデータ処理部５０が接続されている。デー
タ処理部５０には、データ処理部５０により処理された
サンプリングノイズ除去データを２次元平面上に展開し
て表示する演算・表示部６０が接続されている。
布測定面１０には、電界や磁界を検出するためのプロー
ブ１２が設けられている。プローブ１２は、プローブ走
査制御部２０に接続されており、界分布測定面１０内に
おいてｘ軸方向及びｙ軸方向に走査できるようになって
いる。プローブ１２には、プローブ１２からの信号に基
づいて電界及び磁界を測定する測定部３０が接続されて
いる。プローブ走査制御部２０は、プローブの位置に応
じた測定トリガ信号を発生し、測定部３０に入力するよ
うになっている。測定部３０によって測定された電界や
磁界のデータＦ 0は、プローブ走査制御部２０から送ら
れる位置情報とともにバッファメモリ４０に記録できる
ようになっている。バッファメモリ４０には、バッファ
メモリ４０に蓄えられた測定データのサンプリングノイ
ズを除去するデータ処理部５０が接続されている。デー
タ処理部５０には、データ処理部５０により処理された
サンプリングノイズ除去データを２次元平面上に展開し
て表示する演算・表示部６０が接続されている。
【００２９】データ処理部５０は、バッファメモリ４０
に蓄えられている測定データの補間処理を行う補間処理
部５２と、測定データ及び補間データに対する空間周波
数パワースペクトルに基づきサンプリング点のシフト量
を算出するシフト量算出部５４と、算出したシフト量に
基づいて測定データを補正するデータ補正処理部５６
と、測定データ及び補正データに基づいてサンプリング
ノイズ除去データを算出するサンプリングノイズ除去デ
ータ算出部５８とを有している。
に蓄えられている測定データの補間処理を行う補間処理
部５２と、測定データ及び補間データに対する空間周波
数パワースペクトルに基づきサンプリング点のシフト量
を算出するシフト量算出部５４と、算出したシフト量に
基づいて測定データを補正するデータ補正処理部５６
と、測定データ及び補正データに基づいてサンプリング
ノイズ除去データを算出するサンプリングノイズ除去デ
ータ算出部５８とを有している。
【００３０】このように、本実施形態による界分布測定
装置は、バッファメモリ４０と演算・表示部６０との間
に、測定データのサンプリングノイズを除去するデータ
処理部５０が設けられていることに特徴がある。このよ
うにして界分布測定装置を構成することにより、サンプ
リングノイズを除去して適切な２次元界分布を測定する
ことができる。
装置は、バッファメモリ４０と演算・表示部６０との間
に、測定データのサンプリングノイズを除去するデータ
処理部５０が設けられていることに特徴がある。このよ
うにして界分布測定装置を構成することにより、サンプ
リングノイズを除去して適切な２次元界分布を測定する
ことができる。
【００３１】次に、本実施形態による界分布測定方法に
ついて図１及び図２を用いて説明する。
ついて図１及び図２を用いて説明する。
【００３２】まず、界分布測定面１０を、観測対象に対
向するように配置する。ここで、界分布測定面１０は、
測定対象の界分布の変化周期に対して十分に細かなサン
プリング間隔となるように設定する。例えば、測定対象
の電磁波等の波長をλ、界分布測定面のｘ軸方向の長さ
をＬ1、ｙ軸方向の長さをＬ2、ｘ軸方向のサンプリング
点数をＮ、ｙ軸方向のサンプリング点数をＭとして、 λ≫Ｌ1／Ｎ、λ≫Ｌ2／Ｍ となるように、界分布測定面１０を設定する。
向するように配置する。ここで、界分布測定面１０は、
測定対象の界分布の変化周期に対して十分に細かなサン
プリング間隔となるように設定する。例えば、測定対象
の電磁波等の波長をλ、界分布測定面のｘ軸方向の長さ
をＬ1、ｙ軸方向の長さをＬ2、ｘ軸方向のサンプリング
点数をＮ、ｙ軸方向のサンプリング点数をＭとして、 λ≫Ｌ1／Ｎ、λ≫Ｌ2／Ｍ となるように、界分布測定面１０を設定する。
【００３３】次いで、プローブ制御部２０によりプロー
ブ１２を走査し、界分布測定面１０上のプローブ１２の
位置における電界や磁界を検出する。ここで、プローブ
１２は、その移動を無駄なく行い測定スループットを最
大にするために、サンプリング点（測定点）毎に停止せ
ず、界分布測定面１０上を連続的にジグザグ走査する。
ブ１２を走査し、界分布測定面１０上のプローブ１２の
位置における電界や磁界を検出する。ここで、プローブ
１２は、その移動を無駄なく行い測定スループットを最
大にするために、サンプリング点（測定点）毎に停止せ
ず、界分布測定面１０上を連続的にジグザグ走査する。
【００３４】プローブ走査制御部２０は、プローブ１２
を制御するとともに、プローブ１２の位置に応じて測定
トリガ信号を発する。例えば、ｘ軸に沿って等間隔に並
ぶ複数のｘ座標を予め設定しておき、プローブ１２が位
置する場所のｘ座標がそれら設定点に移動する毎に測定
トリガ信号を発生するようにする。この測定トリガ信号
は、測定部３０に送られる。
を制御するとともに、プローブ１２の位置に応じて測定
トリガ信号を発する。例えば、ｘ軸に沿って等間隔に並
ぶ複数のｘ座標を予め設定しておき、プローブ１２が位
置する場所のｘ座標がそれら設定点に移動する毎に測定
トリガ信号を発生するようにする。この測定トリガ信号
は、測定部３０に送られる。
【００３５】測定部３０では、測定トリガ信号を受け取
ったときにプローブ１２によって検出されている信号が
そのサンプリング点における電界や磁界の情報であると
判断し、その時点におけるプローブ１２からの出力信号
に基づいて電界や磁界の測定を行う。
ったときにプローブ１２によって検出されている信号が
そのサンプリング点における電界や磁界の情報であると
判断し、その時点におけるプローブ１２からの出力信号
に基づいて電界や磁界の測定を行う。
【００３６】このとき、測定トリガ信号の検出から測定
値出力までの間には遅延時間が存在する。また、プロー
ブ１２は、測定スループットを高めるためにサンプリン
グ点毎に停止せずに連続的にジグザグ走査する。したが
って、測定トリガ信号が出力されたときのプローブ１２
のｘ座標と、実際に測定されたときのプローブ１２のｘ
座標とは異なることになる。
値出力までの間には遅延時間が存在する。また、プロー
ブ１２は、測定スループットを高めるためにサンプリン
グ点毎に停止せずに連続的にジグザグ走査する。したが
って、測定トリガ信号が出力されたときのプローブ１２
のｘ座標と、実際に測定されたときのプローブ１２のｘ
座標とは異なることになる。
【００３７】また、図１に示すようにプローブ１２をジ
グザグ走査すると、ｙ軸の奇数番目の列とｙ軸の偶数番
目の列とでは、座標のずれる方向が互いに逆方向にな
る。すなわち、図７に示すように、プローブがｘ軸に沿
って正方向に移動するｙ軸の奇数番目の列においては、
サンプリング点も正方向の位置にシフトする（図中、○
印）。逆に、プローブがｘ軸に沿って負方向に移動する
ｙ軸の偶数番目の列においては、サンプリング点も負方
向の位置にシフトする（図中、×印）。このサンプリン
グ点の不一致量は、プローブ走査速度をｖ［ｍ／ｓ］、
遅延時間をｔd［ｓｅｃ］とすると、同一のトリガ点に
対してｘ軸位置が２×ｖ×ｔd［ｍ］だけずれることに
なる。
グザグ走査すると、ｙ軸の奇数番目の列とｙ軸の偶数番
目の列とでは、座標のずれる方向が互いに逆方向にな
る。すなわち、図７に示すように、プローブがｘ軸に沿
って正方向に移動するｙ軸の奇数番目の列においては、
サンプリング点も正方向の位置にシフトする（図中、○
印）。逆に、プローブがｘ軸に沿って負方向に移動する
ｙ軸の偶数番目の列においては、サンプリング点も負方
向の位置にシフトする（図中、×印）。このサンプリン
グ点の不一致量は、プローブ走査速度をｖ［ｍ／ｓ］、
遅延時間をｔd［ｓｅｃ］とすると、同一のトリガ点に
対してｘ軸位置が２×ｖ×ｔd［ｍ］だけずれることに
なる。
【００３８】次いで、このように測定された電界や磁界
のデータＦ0を、プローブ走査制御部２０から出力され
るプローブ１２の位置情報（座標（ｘ，ｙ））ととも
に、測定データＦ0（ｘ，ｙ）としてバッファメモリ４
０に記録する。この際、測定データＦ0（ｘ，ｙ）を複
数のグループに分け、一のグループを基準サンプリング
データ、他のグループを調整データとする。例えば、２
次元平面上においてプローブ１２をジグザグ走査する本
実施形態による界分布測定方法では、プローブがｘ軸に
沿って正方向に移動するｙ軸上の奇数番目の列のデータ
（奇数行データＦ 0（ｘ，ｙo））と、プローブがｘ軸に
沿って負方向に移動するｙ軸上の偶数番目の列のデータ
（偶数行データＦ0（ｘ，ｙe））とに分けて、バッファ
メモリ４０にそれぞれ記録する。なお、本実施形態で
は、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）を基準サンプリングデ
ータとし、偶数行データＦ0（ｘ，ｙe）を調整データと
する。
のデータＦ0を、プローブ走査制御部２０から出力され
るプローブ１２の位置情報（座標（ｘ，ｙ））ととも
に、測定データＦ0（ｘ，ｙ）としてバッファメモリ４
０に記録する。この際、測定データＦ0（ｘ，ｙ）を複
数のグループに分け、一のグループを基準サンプリング
データ、他のグループを調整データとする。例えば、２
次元平面上においてプローブ１２をジグザグ走査する本
実施形態による界分布測定方法では、プローブがｘ軸に
沿って正方向に移動するｙ軸上の奇数番目の列のデータ
（奇数行データＦ 0（ｘ，ｙo））と、プローブがｘ軸に
沿って負方向に移動するｙ軸上の偶数番目の列のデータ
（偶数行データＦ0（ｘ，ｙe））とに分けて、バッファ
メモリ４０にそれぞれ記録する。なお、本実施形態で
は、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）を基準サンプリングデ
ータとし、偶数行データＦ0（ｘ，ｙe）を調整データと
する。
【００３９】ここで、ｘ、ｙ、ｙo、ｙeは、それぞれ、 ｘ ＝ １，２，３，…，Ｎ，Ｎ＋１、 ｙ ＝ １，２，３，…，Ｍ−１，Ｍ、 ｙo＝ １，３，５，…，Ｍ−３，Ｍ−１、 ｙe＝ ２，４，６，…，Ｍ−２，Ｍ、 である。ｘをＮ＋１までとするのは、後に行うスプライ
ン補間処理のためである。Ｎ＋１番目のデータがない場
合にはＮ−１番目のデータをＮ＋１番目のデータとして
用いることができる。
ン補間処理のためである。Ｎ＋１番目のデータがない場
合にはＮ−１番目のデータをＮ＋１番目のデータとして
用いることができる。
【００４０】次いで、データ処理部５０により、測定デ
ータＦ0（ｘ，ｙ）に基づいて、サンプリングノイズを
除去したサンプリングノイズ除去データＦ（ｘ，ｙ）を
算出する（図２参照）。
ータＦ0（ｘ，ｙ）に基づいて、サンプリングノイズを
除去したサンプリングノイズ除去データＦ（ｘ，ｙ）を
算出する（図２参照）。
【００４１】まず、補間処理部５２により、バッファメ
モリ４０に蓄えられている調整データに対してスプライ
ン補間処理を行い、補間データを算出する。本実施形態
による界分布測定方法では、調整データである偶数行デ
ータＦ0（ｘ，ｙe）に対してｘ軸方向にスプライン補間
処理を行い、補間データＦ0′（ｘ′，ｙe）を算出する
（ステップＳ１１）。スプライン補間処理では、各サン
プリング点間をｋ分割し、それら各点のデータを補間す
る。ｘ軸方向に補間処理を行うことにより、ｘ軸方向の
データ数はｋ（Ｎ＋１）個となる。すなわち、ｘ′は、 ｘ′＝１，２，３，…，ｋ・Ｎ，ｋ（Ｎ＋１） である。
モリ４０に蓄えられている調整データに対してスプライ
ン補間処理を行い、補間データを算出する。本実施形態
による界分布測定方法では、調整データである偶数行デ
ータＦ0（ｘ，ｙe）に対してｘ軸方向にスプライン補間
処理を行い、補間データＦ0′（ｘ′，ｙe）を算出する
（ステップＳ１１）。スプライン補間処理では、各サン
プリング点間をｋ分割し、それら各点のデータを補間す
る。ｘ軸方向に補間処理を行うことにより、ｘ軸方向の
データ数はｋ（Ｎ＋１）個となる。すなわち、ｘ′は、 ｘ′＝１，２，３，…，ｋ・Ｎ，ｋ（Ｎ＋１） である。
【００４２】なお、データＦ0（ｘ，ｙ）は複素数であ
るため、一旦、実部と虚部とに分離して複素平面上のベ
クトル曲線と見なして多価関数のスプライン補間処理を
行う。スプライン補間処理に関しては、例えば、山口富
士夫訳「コンピュータグラフィックス」（日刊工業新聞
社）に詳述されている。
るため、一旦、実部と虚部とに分離して複素平面上のベ
クトル曲線と見なして多価関数のスプライン補間処理を
行う。スプライン補間処理に関しては、例えば、山口富
士夫訳「コンピュータグラフィックス」（日刊工業新聞
社）に詳述されている。
【００４３】次いで、シフト量算出部５４により、基準
サンプリングデータ及び補間データに対する空間周波数
パワースペクトルに基づき、サンプリング点のシフト量
を算出する。
サンプリングデータ及び補間データに対する空間周波数
パワースペクトルに基づき、サンプリング点のシフト量
を算出する。
【００４４】ここでは、まず、基準サンプリングデータ
及び補間データに対する空間周波数パワースペクトルを
求める。本実施形態による界分布測定方法では、奇数行
データＦ0（ｘ，ｙo）と補間データＦ0′（ｋ・ｘ＋ｄ
ｘ，ｙe）とで与えられるデータに対してｙ軸方向にＭ
／２の空間周波数パワースペクトルを求める。ここで、
ｄｘは、ｘ軸方向に沿ったサンプリング点のシフト量を
表すパラメータであり、 ｄｘ＝−ｋ＋１，−ｋ＋２，… ，ｋ−１，ｋ である。補間データＦ0′（ｘ′，ｙe）におけるｘ′を
ｋ・ｘ＋ｄｘと置き換えているのは、サンプリング点の
シフトを考慮して空間周波数パワースペクトルを求める
ためである。
及び補間データに対する空間周波数パワースペクトルを
求める。本実施形態による界分布測定方法では、奇数行
データＦ0（ｘ，ｙo）と補間データＦ0′（ｋ・ｘ＋ｄ
ｘ，ｙe）とで与えられるデータに対してｙ軸方向にＭ
／２の空間周波数パワースペクトルを求める。ここで、
ｄｘは、ｘ軸方向に沿ったサンプリング点のシフト量を
表すパラメータであり、 ｄｘ＝−ｋ＋１，−ｋ＋２，… ，ｋ−１，ｋ である。補間データＦ0′（ｘ′，ｙe）におけるｘ′を
ｋ・ｘ＋ｄｘと置き換えているのは、サンプリング点の
シフトを考慮して空間周波数パワースペクトルを求める
ためである。
【００４５】ｙ軸方向の空間周波数パワースペクトルＰ
（ｘ，ｆy）は、
（ｘ，ｆy）は、
【００４６】
【数１】
【００４７】として与えられる。ここで、ｆy＝Ｍ／２
とすると、
とすると、
【００４８】
【数２】
【００４９】と変形することができる。
【００５０】したがって、空間周波数パワースペクトル
の計算は、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行データ
の補間データＦ0′（ｋ・ｘ＋ｄｘ，ｙe）とを符号を変
えて加算処理するだけで求めることができる。
の計算は、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行データ
の補間データＦ0′（ｋ・ｘ＋ｄｘ，ｙe）とを符号を変
えて加算処理するだけで求めることができる。
【００５１】次いで、このように求めた空間周波数パワ
ースペクトルＰ（ｘ，Ｍ／２）を、ｘ軸方向に累積し、
累積値ａdxを求める。すなわち、ａdxは、 ａdx＝ΣＰ（ｘ，Ｍ／２） として表される。
ースペクトルＰ（ｘ，Ｍ／２）を、ｘ軸方向に累積し、
累積値ａdxを求める。すなわち、ａdxは、 ａdx＝ΣＰ（ｘ，Ｍ／２） として表される。
【００５２】累積値ａdxを求めるのは、ｘ軸方向の場所
によってはサンプリング点シフトの影響が小さくリサン
プリングが困難となるからである。累積値ａdxを求める
ことによりサンプリング点シフトの影響が平均化される
ので、累積値ａdxを評価することによってサンプリング
点シフトを的確に評価することができる。なお、サンプ
リング点シフトの影響が大きいことが予測できるような
場合には、必ずしも累積値ａdxを求めなくてもよい。
によってはサンプリング点シフトの影響が小さくリサン
プリングが困難となるからである。累積値ａdxを求める
ことによりサンプリング点シフトの影響が平均化される
ので、累積値ａdxを評価することによってサンプリング
点シフトを的確に評価することができる。なお、サンプ
リング点シフトの影響が大きいことが予測できるような
場合には、必ずしも累積値ａdxを求めなくてもよい。
【００５３】次いで、累積値ａdxに対して最小値を与え
るシフト量ｄｘをサーチし、そのときのシフト量ｄｘ′
の値を求める。
るシフト量ｄｘをサーチし、そのときのシフト量ｄｘ′
の値を求める。
【００５４】このように求められたシフト量ｄｘ′は、
奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行データＦ0（ｘ，
ｙe）とのサンプリング点のｘ軸方向に沿ったシフト量
を表すことになる。すなわち、シフト量ｄｘ′は、 ｄｘ′＝２×ｖ×ｔd である（ステップＳ１２）。
奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行データＦ0（ｘ，
ｙe）とのサンプリング点のｘ軸方向に沿ったシフト量
を表すことになる。すなわち、シフト量ｄｘ′は、 ｄｘ′＝２×ｖ×ｔd である（ステップＳ１２）。
【００５５】図３は累積値ａdxとシフト量ｄｘとの関係
の一例を示すグラフである。なお、図３に示す測定結果
では、補間点数ｋを１０としている。図示するように、
この測定結果では、シフト量ｄｘが約＋７のときに累積
値ａdxが最小となっている。したがって、シフト量ｄ
ｘ′は＋７となる。
の一例を示すグラフである。なお、図３に示す測定結果
では、補間点数ｋを１０としている。図示するように、
この測定結果では、シフト量ｄｘが約＋７のときに累積
値ａdxが最小となっている。したがって、シフト量ｄ
ｘ′は＋７となる。
【００５６】次いで、補正データ処理部５６により、シ
フト量算出部５４により算出したシフト量に基づいて測
定データを補正し、補正データを算出する。本実施形態
による界分布測定方法では、偶数行データＦ0（ｘ，
ｙe）の内容を、上記サーチ処理で求めたｄｘ′と補間
データＦ0′（ｘ′，ｙe）とを用いて書き換え、偶数行
補正データＦ0″（ｘ，ｙe）を算出する。すなわち、 Ｆ0″（ｘ，ｙe） ← Ｆ0′（ｋ・ｘ＋ｄｘ′，ｙe） とする（ステップＳ１３）。
フト量算出部５４により算出したシフト量に基づいて測
定データを補正し、補正データを算出する。本実施形態
による界分布測定方法では、偶数行データＦ0（ｘ，
ｙe）の内容を、上記サーチ処理で求めたｄｘ′と補間
データＦ0′（ｘ′，ｙe）とを用いて書き換え、偶数行
補正データＦ0″（ｘ，ｙe）を算出する。すなわち、 Ｆ0″（ｘ，ｙe） ← Ｆ0′（ｋ・ｘ＋ｄｘ′，ｙe） とする（ステップＳ１３）。
【００５７】次いで、サンプリングノイズ除去データ算
出部５８により、基準サンプリングデータ及び補正デー
タに基づいてリサンプリングを行い、サンプリングノイ
ズ除去データを算出する。本実施形態による界分布測定
方法では、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行補正デ
ータＦ0″（ｘ，ｙe）とを合成代入し、サンプリングノ
イズ除去データＦ（ｘ，ｙ）とする（ステップＳ１
４）。
出部５８により、基準サンプリングデータ及び補正デー
タに基づいてリサンプリングを行い、サンプリングノイ
ズ除去データを算出する。本実施形態による界分布測定
方法では、奇数行データＦ0（ｘ，ｙo）と偶数行補正デ
ータＦ0″（ｘ，ｙe）とを合成代入し、サンプリングノ
イズ除去データＦ（ｘ，ｙ）とする（ステップＳ１
４）。
【００５８】次いで、演算・表示部６０により、サンプ
リングノイズ除去データＦ（ｘ，ｙ）を２次元平面上に
展開することにより、電界や磁界の２次元界分布を得る
ことができる。
リングノイズ除去データＦ（ｘ，ｙ）を２次元平面上に
展開することにより、電界や磁界の２次元界分布を得る
ことができる。
【００５９】図４は、サンプリングノイズを含む２次元
走査測定データ、すなわち、測定データＦ0（ｘ，ｙ）
をそのまま２次元平面上に展開した場合の界分布を示す
図である。このデータは、小型アンテナ指向性評価装置
を用いて測定した１．５ＧＨｚ帯の携帯電話機の電流分
布であり、図４（ａ）が振幅データの面分布を示し、図
４（ｂ）が位相データの面分布を示している。図示する
データは測定データを模写したものであり、振幅或いは
位相が等しい点を連ねた線でそれらの分布を表してい
る。また、各図中央部の長方形は携帯電話機の本体部分
を示しており、その長方形から伸びる直線はアンテナを
示している。図示するように、この２次元像ではｘ軸方
向に沿って分布が乱れており、サンプリング点シフトが
生じていることが明らかである。
走査測定データ、すなわち、測定データＦ0（ｘ，ｙ）
をそのまま２次元平面上に展開した場合の界分布を示す
図である。このデータは、小型アンテナ指向性評価装置
を用いて測定した１．５ＧＨｚ帯の携帯電話機の電流分
布であり、図４（ａ）が振幅データの面分布を示し、図
４（ｂ）が位相データの面分布を示している。図示する
データは測定データを模写したものであり、振幅或いは
位相が等しい点を連ねた線でそれらの分布を表してい
る。また、各図中央部の長方形は携帯電話機の本体部分
を示しており、その長方形から伸びる直線はアンテナを
示している。図示するように、この２次元像ではｘ軸方
向に沿って分布が乱れており、サンプリング点シフトが
生じていることが明らかである。
【００６０】図５は、本実施形態によるアルゴリズムに
よってサンプリングノイズを除去した２次元走査測定デ
ータ、すなわち、サンプリングノイズ除去データＦ
（ｘ，ｙ）を２次元平面上に展開した場合の界分布を示
す図である。図５（ａ）が振幅データの面分布を示し、
図５（ｂ）が位相データの面分布を示している。図示す
るように、この２次元像では界分布が滑らかになってお
り、測定データＦ0（ｘ，ｙ）が適切に補正されている
ことが判る。
よってサンプリングノイズを除去した２次元走査測定デ
ータ、すなわち、サンプリングノイズ除去データＦ
（ｘ，ｙ）を２次元平面上に展開した場合の界分布を示
す図である。図５（ａ）が振幅データの面分布を示し、
図５（ｂ）が位相データの面分布を示している。図示す
るように、この２次元像では界分布が滑らかになってお
り、測定データＦ0（ｘ，ｙ）が適切に補正されている
ことが判る。
【００６１】このように、本実施形態によれば、プロー
ブを連続的に走査しながら複数のサンプリング点におい
て測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を
測定する界分布測定方法において、プローブの位置と測
定のタイミングとのずれによって発生するスプリアスス
ペクトルに基づいてサンプリング点のずれ量を判断し、
ずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するので、
プローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発
生する測定ノイズを適切に除去することができる。
ブを連続的に走査しながら複数のサンプリング点におい
て測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を
測定する界分布測定方法において、プローブの位置と測
定のタイミングとのずれによって発生するスプリアスス
ペクトルに基づいてサンプリング点のずれ量を判断し、
ずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するので、
プローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発
生する測定ノイズを適切に除去することができる。
【００６２】本発明は上記実施形態に限らず種々の変形
が可能である。
が可能である。
【００６３】例えば上記実施形態では、界分布測定面１
０を２次元としたが、測定界分布は３次元以上であって
もよい。この場合、調整データのグループが２以上で調
整パラメータも２以上であり、評価する空間周波数パワ
ースペクトルの次元も２以上となる。
０を２次元としたが、測定界分布は３次元以上であって
もよい。この場合、調整データのグループが２以上で調
整パラメータも２以上であり、評価する空間周波数パワ
ースペクトルの次元も２以上となる。
【００６４】また、上記実施形態では、サンプリング点
のずれ量ｄｘが一定である場合を示したが、プローブ走
査の加減速を考慮してずれ量を変数として取り扱うこと
もできる。この場合、ｄｘをｘの関数、ｄｘ（ｘ）とす
ればよい。
のずれ量ｄｘが一定である場合を示したが、プローブ走
査の加減速を考慮してずれ量を変数として取り扱うこと
もできる。この場合、ｄｘをｘの関数、ｄｘ（ｘ）とす
ればよい。
【００６５】また、上記実施形態では、空間周波数パワ
ースペクトルの評価にフーリエ変換を用いたが、フーリ
エ変換のみでなく、ウォルシュ変換やウェーブレット変
換などを用いてもよい。また、窓関数を作用した後にこ
れらスペクトル評価を行ってもよい。
ースペクトルの評価にフーリエ変換を用いたが、フーリ
エ変換のみでなく、ウォルシュ変換やウェーブレット変
換などを用いてもよい。また、窓関数を作用した後にこ
れらスペクトル評価を行ってもよい。
【００６６】また、上記実施形態では、空間周波数パワ
ースペクトルの累積値が最小となるときのシフト量を利
用して測定ノイズを除去したが、必ずしも空間周波数パ
ワースペクトルの累積値が最小となるシフト量を利用し
なくてもよい。本実施形態では、最も望ましい状態とし
て空間周波数パワースペクトルの累積値が最小となるシ
フト量を利用しているが、本発明の効果は、空間周波数
パワースペクトルの累積値の値が測定ノイズを除去しな
い状態よりも低くなるようにシフト量ｄｘの値を設定す
ることにより達成される。したがって、空間周波数パワ
ースペクトルの累積値が所定値以下、例えば、測定ノイ
ズを除去しない状態の空間周波数パワースペクトルの累
積値の１／１０以下になるシフト量を利用して測定ノイ
ズを除去するようにしてもよい。
ースペクトルの累積値が最小となるときのシフト量を利
用して測定ノイズを除去したが、必ずしも空間周波数パ
ワースペクトルの累積値が最小となるシフト量を利用し
なくてもよい。本実施形態では、最も望ましい状態とし
て空間周波数パワースペクトルの累積値が最小となるシ
フト量を利用しているが、本発明の効果は、空間周波数
パワースペクトルの累積値の値が測定ノイズを除去しな
い状態よりも低くなるようにシフト量ｄｘの値を設定す
ることにより達成される。したがって、空間周波数パワ
ースペクトルの累積値が所定値以下、例えば、測定ノイ
ズを除去しない状態の空間周波数パワースペクトルの累
積値の１／１０以下になるシフト量を利用して測定ノイ
ズを除去するようにしてもよい。
【００６７】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、プローブ
を連続的に走査しながら複数のサンプリング点において
測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測
定する界分布測定方法において、プローブの位置と測定
のタイミングとのずれによって発生するスプリアススペ
クトルに基づいてサンプリング点のずれ量を判断し、ず
れ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するので、プ
ローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発生
する測定ノイズを適切に除去することができる。
を連続的に走査しながら複数のサンプリング点において
測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測
定する界分布測定方法において、プローブの位置と測定
のタイミングとのずれによって発生するスプリアススペ
クトルに基づいてサンプリング点のずれ量を判断し、ず
れ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定するので、プ
ローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発生
する測定ノイズを適切に除去することができる。
【図１】本発明の一実施形態による界分布測定方法及び
装置を示す概略図である。
装置を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施形態による界分布測定方法にお
けるデータ処理方法を示すフロー図である。
けるデータ処理方法を示すフロー図である。
【図３】周波数パワースペクトルの累積値とサンプリン
グシフト量との関係を示すグラフである。
グシフト量との関係を示すグラフである。
【図４】従来の界分布測定方法により測定した界分布を
示す図である。
示す図である。
【図５】本発明の一実施形態による界分布測定方法によ
り測定した界分布を示す図である。
り測定した界分布を示す図である。
【図６】従来の界分布測定方法及び装置を説明する図で
ある。
ある。
【図７】従来の界分布測定方法及び装置の課題を説明す
る図である。
る図である。
１０…界分布測定面 １２…プローブ ２０…プローブ走査制御部 ３０…測定部 ４０…バッファメモリ ５０…データ処理部 ５２…補間処理部 ５４…シフト量算出部 ５６…データ補正処理部 ５８…サンプリングノイズ除去データ算出部 ６０…演算・表示部 １００…界分布測定面 １０２…プローブ １０４…プローブ走査制御部 １０６…測定部 １０８…バッファメモリ １１０…演算・表示部
Claims (10)
- 【請求項１】 プローブを連続的に走査しながら複数の
サンプリング点において測定を行うことにより電界又は
磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法におい
て、 前記プローブの位置と測定のタイミングとのずれによっ
て発生するスプリアススペクトルに基づいてサンプリン
グ点のずれ量を算出し、前記ずれ量を考慮して電界又は
磁界の分布を測定することを特徴とする界分布測定方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載の界分布測定方法におい
て、 前記プローブを第１の方向に走査しながら測定した複数
の測定データを前記プローブの位置情報とともに基準デ
ータとして記録し、 前記プローブを前記第１の方向とは逆の第２の方向に走
査しながら測定した複数の測定データを前記プローブの
位置情報とともに調整データとして記録し、 前記調整データに対して補間処理を行い、前記サンプリ
ング点間のデータを補間した補間データを算出し、 前記基準データ及び前記補間データに対する空間周波数
パワースペクトルを算出し、 前記空間周波数パワースペクトルに基づき、前記サンプ
リング点のずれ量を算出することを特徴とする界分布測
定方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の界分布測定方法におい
て、 前記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数パワー
スペクトルの累積値に基づいて算出することを特徴とす
る界分布測定方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の界分布測定方法におい
て、 前記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペク
トルの累積値が所定値以下となる点に基づいて判断する
ことを特徴とする界分布測定方法。 - 【請求項５】 請求項３又は４記載の界分布測定方法に
おいて、 前記サンプリング点のずれ量は、前記空間周波数スペク
トルの累積値が最小となる点に基づいて判断することを
特徴とする界分布測定方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
界分布測定方法において、 前記プローブの加速・減速を考慮して、前記サンプリン
グ点のずれ量を算出することを特徴とする界分布測定方
法。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
界分布測定方法において、 前記プローブは、２次元平面上を走査することを特徴と
する界分布測定方法。 - 【請求項８】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
界分布測定方法において、 前記プローブは、３次元空間内を走査することを特徴と
する界分布測定方法。 - 【請求項９】 平面上又は空間内を連続的に走査しなが
ら複数のサンプリング点において電界又は磁界を検出す
るプローブと、 前記プローブにより検出された電界又は磁界を測定する
測定器と、 前記測定器により測定された電界又は磁界のデータを、
前記プローブの位置データとともに記録する記録装置
と、 前記記録装置に記録されたデータに基づき、前記プロー
ブの位置と測定のタイミングとのずれによって発生する
サンプリング点のずれ量を算出するデータ処理装置と、 前記データ処理装置により算出された前記サンプリング
点のずれ量を考慮して前記プローブにより検出された電
界又は磁界の空間的な分布を算出する演算装置とを有す
ることを特徴とする界分布測定装置。 - 【請求項１０】 請求項９記載の界分布測定装置におい
て、 前記データ処理装置は、前記プローブの位置と測定のタ
イミングとのずれによって発生するスプリアススペクト
ルに基づいて前記サンプリング点のずれ量を判断するこ
とを特徴とする界分布測定装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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