JP6257072B2 - 白色干渉計装置による表面形状の測定方法 - Google Patents
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I(z)=a+b×exp{-[(z-z0)/lc]2}×cos[4π(z-z0)/λ0+ψ0]
=a+b×g(z-z0)×cos{4π(z-z0)/λ0+ψ0} ・・・(1)
zm= m×nλ0 m=0, 2, 4, …, 2N
zm=(m−1)×nλ0+λ0/8 m=1, 3, 5, …, 2N+1
Ie(zm)=a+b’×g(zm−z0) ・・・(3)
ここで、b’=b×cos{ψ0−4πz0/λ0} ・・・(4)
Io(zm)=a+b''×g(zm−z0) ・・・(5)
ここで、
b''=b×cos{ψ0−4πz0/λ0+π/2} ・・・(6)
M=NT/T’ ・・・(9)
白色干渉計装置1の白色光源2の中心波長λ0と、白色光源2のコヒーレンス長に基づいて、偶数データセット或いは奇数データセットのサンプリング間隔をnλ0(nは整数)に設定する。
白色干渉計装置1によって被測定物12を、設定されたサンプリング間隔で撮像し、計測データ処理装置11に入力する。そして、計測データ処理装置11では、複数のサンプリング位置において撮像して得た一連の画像データを処理データとする。
0,80*,6320,6400*,12640,12720*,18960,19040*,25280,25360*,………
各素子は測定対象表面の各点に対応している。被測定物12の測定対象表面におけるある一点(測定対象部位)に相当する画素の濃度値はサンプリング位置によって、強め合ったり弱め合ったりする。即ち、測定対象部位に対応するイメージ検出器7(CCDカメラ)におけるある1個の素子に対応する白色干渉信号を取得する。
上記のとおり求めた変調波形を、前記したとおりのフーリエ変換手法を使って、白色干渉信号の変調波形を補間し測定装置の精度を高くする。図3は、補間された白色干渉信号の変調波形を示す。
図3に示す白色干渉信号の変調波形のピーク位置から被測定物12の測定対象表面である特定箇所の高さに係るデータを求めることができる。
以上のステップ1〜5を、被測定物12の測定対象表面の他の複数の特定箇所について、繰り返し行い、それぞれについて高さに係るデータを求める。このようにして得られた被測定物12の測定対象表面の複数の特定箇所のデータから、複数の特定箇所それぞれの間の相対的な高さを得ることができる。
2 白色光源
3 ビームスプリッタ
6 参照鏡
7 イメージ検出器
11 計測データ処理装置
12 被測定物
Claims (4)
- 白色干渉計装置で被測定物を測定するサンプリング間隔を設定し、
被測定物における測定対象表面の特定箇所を、設定したサンプリング間隔で複数回撮像し、該複数回の撮像で得た画像データを、偶数番目の画像データの偶数データセットと奇数番目の画像データの奇数データセットに分け、
偶数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、奇数データセットにおけるサンプリング毎の前記特定箇所の濃度値に基づき変調波形を取得し、偶数データセットと奇数データセットから得た変調波形のうち、コントラストの高い方の変調波形を選択し、
選択した変調波形を、フーリエ変換を行って補間し、補間された変調波形のピーク位置から被測定物の測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを求めることを特徴とする白色干渉計装置による表面形状の測定方法。 - 補間された変調波形をアンチエイリアシングすることを特徴とする請求項1に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。
- アンチエイリアシングは、選択した変調波形のサンプリング間隔を、コサイン関数で示される搬送波の周期の倍数にすることによって、搬送波の周波数を遮断することを特徴とする請求項2に記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。
- 被測定物における測定対象表面の特定箇所の高さに係るデータを、複数の特定箇所について求めることにより被測定物における測定対象表面の表面形状を測定することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の白色干渉計装置による表面形状の測定方法。
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