JP2001310471A

JP2001310471A - ノズルプレートの処理方法及びノズルプレートの製造方法並びにノズルプレート

Info

Publication number: JP2001310471A
Application number: JP2000350139A
Authority: JP
Inventors: Shozo Kikukawa; 省三菊川; Takemasa Namiki; 武政双木
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1999-11-17
Filing date: 2000-11-16
Publication date: 2001-11-06

Abstract

(57)【要約】【課題】ノズルプレートのノズル孔に形成される処理液
による被膜の入り込み長さを気体もしくは液体を用いて
制御することで、インク滴の吐出安定性及び画質を向上
することが可能であり、低コストで、大量生産にも適用
可能である。【解決手段】インク噴射のための複数のノズル２を有す
るノズルプレート１に対して、ノズル２の一方側から処
理液３を接触させ、他方側から気体４を接触させ、処理
液３と気体４により界面５を形成した後、処理液３によ
る被膜６をノスルプレート１に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルプレートの
処理方法及びノズルプレートの製造方法並びにノズルプ
レートに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタには、インクジ
ェットヘッドのインク室内にインクを満たしてインク室
に圧力をかけることにより、ノズルからインク滴を吐出
する。吐出後、インクの表面であるインクメニスカスは
ノズル内に引き込まれる。その後、インクタンクからイ
ンク室内にインクが満たされ、次のインク滴吐出に備え
る。

【０００３】しかし、インクを吐出するためにかける圧
力の変化に対して、インクが粘弾性体であるため、イン
クの追随が遅れ、インクを吐出した後もインク中に圧力
が残留して変動するので、インクメニスカスが振動す
る。この残留する圧力変動によりノズル内のインクが吐
出口から外に溢れ出ることがある。ノズルプレートの表
面に溢れ出たインクの大部分は、次に負圧となることで
ノズル内に引き込まれるが、ノズルプレートの表面が、
溢れ出たインクで汚れる。次に吐出するインク滴が、こ
の汚れに接触すると、吐出方向が曲げられたり、吐出不
能となり、ノズルプレートの汚れは、画像を劣化させる
大きな原因となる。

【０００４】ノズルプレートのインクによる汚れを防ぐ
ため、ノズルプレート表面に撥インク処理を施すことが
行われている。ノズルプレート表面が撥インク処理され
ると、インクメニスカスが吐出口から外に出ても、イン
クがノズルプレート表面に溢れ出たり、濡れ拡がったり
することを防ぐことができる。

【０００５】ノズルプレート表面に加え、ノズル孔の内
部も撥インク処理すると、ノズルプレートが更に汚れに
くくなり吐出が安定する。インクメニスカスが、撥イン
ク処理部と未処理部の境界に形成されるので、この境界
がノズル孔内に一定長さ入り込んでいると、吐出が安定
しインク滴の飛行方向が安定する。又サテライトも発生
しにくくなる。また、メニスカスが振動してもインクが
ノズルプレート表面に溢れ出にくくなるので、ノズルプ
レート表面が汚れにくくなる。

【０００６】撥インク処理部の入り込みが長すぎるとイ
ンクの吐出抵抗が大きくなり、吐出量が減少する。又イ
ンク室へ空気泡を吸い込み易くなる。反対に入り込み長
さが短すぎると、ノズルプレートの表面が汚れ易くイン
ク滴の方向が曲がり易く吐出安定化効果がなくなる。１
枚のノズルプレートには、ノズル孔が数十〜数百個ある
ので、各ノズル孔の出口部を一定長さ、均一に撥インク
化処理することが特に重要である。ノズル毎に処理長さ
がバラツクと、吐出されるインク滴の量、飛行方向がバ
ラツキ、画質が大幅に低下する。

【０００７】また、一方で、ノズル孔内のインク流入側
には、インクがスムーズにノズル内へ流入するように親
インク性皮膜を形成している。この親インク性皮膜につ
いても、吐出するインク液滴量、飛行方向について影響
を及ぼすため、各ノズル内へ均一に入り込ませることが
望まれている。

【０００８】特開昭４８−３７０３０号、同５７−１０
７８４８号等には、ノズルプレートにノズル孔を開けた
後、撥インク性素材をスパッタリングによりノズルプレ
ート表面とノズル孔内部のある程度の深さまでコーティ
ングすることが記載されている。しかしながら、スパッ
タリングでノズル孔内部の出口部分を一定長さで撥イン
ク処理することは大変困難である。

【０００９】特開昭６４−８７３５９号には、天然ワッ
クスをノズル孔中に充填し、端面に付着したワックスを
ふき取った後、ノズルプレート表面とノズル孔の吐出口
付近にテトラフルオロエチレンをプラズマ重合法にてコ
ーティングすることで撥インク膜を形成し、その後ワッ
クスを溶解除去することが記載されている。

【００１０】特開平１０−１５７１０６号には、ノズル
プレートのインク吐出側を保護シートで保護して電着塗
装によってインク流入側に親インク性皮膜を設け、次い
で保護シートを取り除いて電着塗装によってインク吐出
側に撥インク性皮膜を設けることが記載されている。

【００１１】特開平７−１２５２２０号には、ステンレ
スのノズルプレートの裏側から樹脂フィルムを押し込
み、ノズルプレートの表面と、ノズル孔の出口部を撥イ
ンク処理し、撥インク処理を表面だけでなく、表面から
ノズル孔内部に一定長さ入り込ませることが記載されて
いる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】いずれの従来例におい
ても撥インク処理は、穴開け後に行っている。その際、
ノズル孔の内部や、裏面まで撥インク処理されると、こ
こに気泡が停滞したり、ノズルプレートと本体の接着が
できなくなる。そのため裏面とノズル孔内部をマスクし
た後、撥インク処理し、マスキング材を取り除くことが
行われる。例えば、代表的なマスキング法としては、特
開昭６４−８７３５９号のようなノズル孔に樹脂を充填
して、ノズルプレートの裏面を樹脂で覆う方法、特開平
１０−１５７１０６号のようなノズルプレート裏面に樹
脂フィルムをラミネートする方法があり、表面に溢れ出
た樹脂を除去して、表面だけに撥インク処理する方法が
多い。

【００１３】しかしながら樹脂をノズル孔に精度良く詰
めて、撥インク処理の入り込み長さを決める方法は制御
が難しく、コストが嵩み、大量生産も期待できない。ま
た、処理後に、ノズル孔から樹脂を完全に取り除くこと
が難しい。処理が面倒なため、各ノズル間で距離のばら
つきが大きくなり、インク滴の吐出安定性がかえって悪
くなることがある。

【００１４】一般にノズルプレートには孔径２０〜６０
μｍのノズルが、数十〜数百個開けられているので、ノ
ズル孔１個ずつ、μｍオーダーの精度で、均一に感光性
樹脂を充填するのは極めて困難である。もし、各ノズル
間で、撥インク性皮膜の入り込み長さがバラツクと、各
ノズルから吐出されるインク量が変動して、画質を大幅
に低下させる原因となる。また、２０〜６０μｍのノズ
ル孔から、処理後に硬化した樹脂を完全に取り除くこと
もむずかしい。強い条件で硬化した樹脂を除去すると、
撥インク性皮膜が剥がれることがある。これらの問題
は、親インク性皮膜をノズル孔内に一定長さ入り込ませ
ようとする際にも同様である。

【００１５】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、ノズルプレートのノズル孔に形成される処理液によ
る皮膜の入り込み長さを気体もしくは液体を用いて精度
よく制御する方法であり、簡易にインク滴の吐出安定性
及び画質を向上することが可能なノズルプレートの処理
方法及びノズルプレートの製造方法並びにノズルプレー
トを提供することを目的としている。また、入り込み長
さの制御が容易で、低コストで、大量生産にも適用可能
なノズルプレートの処理方法及びノズルプレートの製造
方法並びにノズルプレートを提供することを目的として
いる。

【００１６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、かつ
目的を達成するために、本発明は、以下のように構成し
た。

【００１７】請求項１に記載の発明は、『インク噴射の
ための複数のノズルを有するノズルプレートに対して、
前記ノズルプレートの一方側から処理液を接触させ、他
方側から気体を接触させ、前記処理液と前記気体により
界面を形成することで、前記処理液による皮膜を前記ノ
ズルプレートに形成することを特徴とするノズルプレー
トの処理方法。』である。

【００１８】この請求項１に記載の発明によれば、ノズ
ルの一方側から処理液を接触させ、他方側から気体を接
触させ、処理液と気体により界面を形成した後、処理液
による皮膜をノズルプレートに形成し、皮膜を作成する
ための処理液と気体との界面を利用することにより、ノ
ズルプレートで作成する皮膜のノズル孔への入り込み長
さを自由かつ容易に、さらに精度良く制御することが可
能となり、さらに、気体を用いることでより簡易な構成
で皮膜の作成、制御を行なうことができる。ここで、皮
膜とはノズルプレートの表面に処理液の物質が析出して
形成される膜のことを言う。

【００１９】請求項２に記載の発明は、『前記界面の位
置を制御することにより、前記形成される皮膜のノズル
内への入り込み長さを制御することを特徴とする請求項
１に記載のノズルプレートの処理方法。』である。

【００２０】この請求項２に記載の発明によれば、界面
の位置を制御することにより、形成される皮膜のノズル
内への入り込み長さを、簡易な構成で容易に制御するこ
とができる。

【００２１】請求項３に記載の発明は、『前記気体の圧
力を制御することにより前記界面の位置を制御すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズルプ
レートの処理方法。』である。

【００２２】この請求項３に記載の発明によれば、気体
の圧力を制御することにより界面の位置を制御すること
で、ノズルプレートで作成する皮膜のノズル孔への入り
込み長さをを自由かつ容易に、さらに精度良く制御する
ことが可能となり、さらにより簡易な構成で皮膜の作
成、制御を行うことができる。

【００２３】請求項４に記載の発明は、『前記ノズルプ
レートに対して、前記気体を接触させた後に、前記処理
液を接触させることを特徴とする請求項１乃至請求項３
のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。』
である。

【００２４】この請求項４に記載の発明によれば、ノズ
ルプレートに対して気体を接触させた後に、処理液を接
触させることで、容易に処理液と液体との界面を利用し
て皮膜を作成することができる。

【００２５】請求項５に記載の発明は、『インク噴射の
ための複数のノズルを有するノズルプレートに対して、
前記ノズルプレートの一方側から処理液を接触させ、他
方側から前記処理液とは異なる液体を接触させ、前記処
理液と前記液体により界面を形成することで、前記処理
液による皮膜を前記ノズルプレートに形成することを特
徴とするノズルプレートの処理方法。』である。

【００２６】この請求項５に記載の発明によれば、ノズ
ルプレートの一方側から処理液を接触させ、他方側から
処理液とは異なる液体を接触させ、処理液と液体により
界面を形成した後、処理液による皮膜をノズルプレート
に形成し、皮膜を作成するための処理液と液体との界面
を利用することにより、ノズルプレートで作成する皮膜
のノズル孔への入り込み長さをを自由かつ容易に、さら
に精度良く制御することが可能となる。

【００２７】請求項６に記載の発明は、『前記界面の位
置を制御することにより、前記形成される皮膜のノズル
内への入り込み長さを制御することを特徴とする請求項
５に記載のノズルプレートの処理方法。』である。

【００２８】この請求項６に記載の発明によれば、界面
の位置を制御することにより、形成される皮膜のノズル
内への入り込み長さを、簡易な構成で容易に制御するこ
とができる。

【００２９】請求項７に記載の発明は、『前記液体の圧
力を制御することにより前記界面の位置を制御すること
を特徴とする請求項５または請求項６に記載のノズルプ
レートの処理方法。』である。

【００３０】この請求項７に記載の発明によれば、液体
の圧力を制御することにより界面の位置を制御すること
で、ノズルプレートで作成する皮膜のノズル孔への入り
込み長さを自由かつ容易に、さらに精度良く制御するこ
とが可能となる。

【００３１】請求項８に記載の発明は、『前記ノズルプ
レートに対して、前記液体を接触させた後に、前記処理
液を接触させることを特徴とする請求項５乃至請求項７
のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。』
である。

【００３２】この請求項８に記載の発明によれば、ノズ
ルプレートに対して液体を接触させた後に、処理液を接
触させることで、容易に処理液と液体との界面を利用し
て皮膜を作成することができる。

【００３３】請求項９に記載の発明は、『前記形成され
る皮膜は、撥インク性皮膜であることを特徴とする請求
項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のノズルプレー
トの処理方法。』である。

【００３４】この請求項９に記載の発明によれば、皮膜
が撥インク性皮膜であり、ノズルプレートが汚れにくく
なりインク滴の吐出が安定する。本発明における撥イン
ク性皮膜とはインクの接触角が９０度以上の皮膜をい
う。この撥インク性皮膜の材料としては、フッ素系樹脂
やシリコン樹脂を含有するものが好ましい。

【００３５】請求項１０に記載の発明は、『前記撥イン
ク性皮膜の形成後に、親インク化処理を行うことを特徴
とする請求項９に記載のノズルプレートの処理方法。』
である。

【００３６】この請求項１０に記載の発明によれば、撥
インク性皮膜の形成後に、親インク化処理を行うこと
で、インクがノズルに入り込み易くなりインク滴の吐出
がより安定する。

【００３７】請求項１１に記載の発明は、『前記撥イン
ク性皮膜の形成前に、親インク化処理を行うことを特徴
とする請求項９に記載のノズルプレートの処理方法。』
である。

【００３８】この請求項１１に記載の発明によれば、撥
インク性皮膜の形成前に、親インク化処理を行うこと
で、撥インク性皮膜形成後に親インク性皮膜を形成しな
いでも良く、簡単な親インク化処理を行うことができ
る。また、インクがノズルに入り込み易くなりインク滴
の吐出がより安定する。

【００３９】請求項１２に記載の発明は、『前記形成さ
れる皮膜は、親インク性皮膜であることを特徴とする請
求項１乃至請求項８に記載のノズルプレートの処理方
法。』である。

【００４０】この請求項１２に記載の発明によれば、形
成される皮膜は、親インク性皮膜であり、インクがノズ
ルに入り込み易くなりインク滴の吐出がより安定する。
本発明における親インク性皮膜とはインクとの接触角が
９０度より小さい皮膜をいう。

【００４１】請求項１３に記載の発明は、『前記親イン
ク性皮膜の形成後に、撥インク性皮膜を形成することを
特徴とする請求項１２に記戴のノズルプレートの処理方
法。』である。

【００４２】この請求項１３に記載の発明によれば、親
インク性皮膜の形成後に、撥インク性皮膜を形成するこ
とで、インクがノズルに入り込み易くなりインク滴の吐
出がより安定する。

【００４３】請求項１４に記載の発明は、『前記ノズル
プレートの一方側を密閉することにより前記界面の位置
を制御することを特徴とする請求項１乃至請求項１３の
いずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。』で
ある。

【００４４】この請求項１４に記載の発明によれば、ノ
ズルプレートの一方側を密閉することにより界面を制御
するので、ノズルの内容積で界面の位置が決まり、ノズ
ルの内容積が一定であれば、圧力が一定になり、どのノ
ズルでも界面の位置を一定とすることができる。

【００４５】請求項１５に記載の発明は、『前記ノズル
プレートの一方側にフィルムを貼り付け密閉することに
より前記界面の位置を制御することを特徴とする請求項
１４に記載のノズルプレートの処理方法。』である。

【００４６】この請求項１５に記載の発明によれば、ノ
ズルプレートの一方側にフィルムを貼り付け密閉するこ
とにより界面の位置を制御することで、ノズルの内容積
で界面が決まり、ノズルの内容積が一定であれば、圧力
が一定になり、どのノズルでも界面の位置を一定とする
ことができる。

【００４７】請求項１６に記載の発明は、『前記密閉を
前記ノズルプレートのインク流入側から行うことを特徴
とする請求項１４または請求項１５に記載のノズルプレ
ートの処理方法。』である。

【００４８】この請求項１６に記載の発明によれば、密
閉をノズルプレートのインク流入側から行うことから、
インク滴の吐出側から皮膜を形成することができる。

【００４９】請求項１７に記載の発明は、『前記皮膜を
電着処理により形成することを特徴とする請求項１乃至
請求項１６のいずれか１項に記戴のノズルプレー卜の処
理方法。』である。

【００５０】この請求項１７に記載の発明によれば、電
着処理によると、導電性を有する下地の上に、１〜数μ
ｍの皮膜を容易、均一、かつ強固に形成できる。

【００５１】請求項１８に記載の発明は、『前記皮膜を
メッキ処理により形成することを特徴とする請求頂１乃
至請求項１７のいずれか１項に記載のノズルプレートの
処理方法。』である。

【００５２】この請求項１８に記載の発明によれば、皮
膜をメッキ処理により容易、均一、かつ強固に形成する
ことができる。

【００５３】請求項１９に記載の発明は、『前記ノズル
プレートは金属であることを特徴とする請求項１乃至請
求項１８のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理
方法。』である。

【００５４】この請求項１９に記載の発明によれば、ノ
ズルプレートが金属であり、簡単かつ容易に成膜したイ
ンクジェットヘッドを作成することができる。

【００５５】請求項２０に記載の発明は、『前記ノズル
プレー卜は樹脂であることを特徴とする請求項１乃至請
求項１９のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理
方法。』である。

【００５６】この請求項２０に記載の発明によれば、ノ
ズルプレー卜が樹脂であり、簡単かつ容易に成膜したイ
ンクジェットヘッドを作成することができる。

【００５７】請求項２１に記載の発明は、『前記ノズル
プレートは、表面に金属膜を有することを特徴とする請
求項２０に記載のノズルフレートの処理方法。』であ
る。

【００５８】この請求項２１に記載の発明によれば、ノ
ズルプレートの表面に金属膜を有することで、電着塗装
や電解メッキを用いて容易に成膜することができる。

【００５９】請求項２２に記載の発明は、『前記撥イン
ク性皮膜のノズル内への入り込み長さが５μｍ以上１０
μｍ以下であることを特徴とする請求項９に記載のノズ
ルプレートの処理方法。』である。

【００６０】この請求項２２に記載の発明によれば、撥
インク性皮膜のノズル内への入り込み長さが５μｍ以上
１０μｍ以下であり、５μｍ以上とすることで、吐出安
定効果がより大きくなり、インク滴の吐出方向のバラツ
キが減少する。また、１０μｍ以下とすることにより、
吐出抵抗が大きくなることを抑制でき、吐出量がより安
定する。また、メニスカスが振動する際、ノズルプレー
ト表面へのインクのあふれ出しやインク室への気泡の吸
い込みをより減少させることができる。

【００６１】請求項２３に記載の発明は、『前記撥イン
ク性皮膜のノズル内への入り込み長さのバラツキが、
１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項９に記載
のノズルプレー卜の処理方法。』である。

【００６２】この請求項２３に記載の発明によれば、撥
インク性皮膜の各ノズル内への入り込み長さのバラツキ
が、１．０μｍ以下であり、吐出量がより安定する。こ
こで、入り込み長さのバラツキとは、ノズルプレートの
全ノズルの入り込み長さの平均値に対する各々のノズル
における入り込み長さの値の差を言う。また、入り込み
長さのバラツキが１．０μｍ以下とは、全ノズル中の少
なくとも９５％のノズルに対する入り込み長さのバラツ
キが１．０μｍ以下となっている状態をいう。

【００６３】請求項２４に記載の発明は、『プレート
に、インクを噴射するための複数のノズルを穿孔し、前
記ノズルを具備するプレートに親インク化処理を行い、
前記プレートのインク流入側から気体を接触させ、且つ
インク吐出側から撥インク性処理液を接触させることに
より界面を形成し、その後に、前記プレー卜に撥インク
性皮膜を形成することを特徴とするノズルプレートの製
造方法。』である。

【００６４】この請求項２４に記載の発明によれば、ノ
ズルを具備するプレートに親インク化処理を行い、イン
ク流入側から気体を接触させ、且つインク吐出側から撥
インク性処理液を接触させることにより界面を形成し、
その後にプレー卜に撥インク性皮膜を形成することでイ
ンク滴の吐出安定性が向上する。

【００６５】請求項２５に記載の発明は、『プレート
に、インク噴射をするための複数のノズルを穿孔し、前
記ノズルを具備するプレートに親インク化処理を行い、
前記プレートのインク流入側から前記処理液とは異なる
液体を接触させ、且つインク吐出側から撥インク性処理
液を接触させることにより界面を形成し、その後に、前
記プレー卜に撥インク性皮膜を形成することを特徴とす
るノズルプレートの製造方法。』である。

【００６６】この請求項２５に記載の発明によれば、ノ
ズルを具備するプレートに親インク化処理を行い、イン
ク流入側から処理液とは異なる液体を接触させ、且つイ
ンク吐出側から撥インク性処理液を接触させることによ
り界面を形成し、その後にプレー卜に撥インク性皮膜を
形成することでインク滴の吐出安定性が向上する。

【００６７】請求項２６に記載の発明は、『前記ノズル
の穿孔は、ポンチを用いて行うことを特徴とする請求項
２４または２５に記載のノズルプレートの製造方法。』
である。

【００６８】この請求項２６に記載の発明によれば、ポ
ンチを用いてノズルの穿孔を簡単且つ高精度に形成する
ことができる。

【００６９】請求項２７に記載の発明は、『インク噴射
のための複数のノズルを有するノズルプレートであっ
て、前記ノズルプレートのインク吐出側、及びノズル内
に撥インク性皮膜を有し、前記撥インク性皮膜の各ノズ
ル内への入り込み長さのバラツキが各ノズル間で１．０
μｍ以下であることを特徴とするノズルプレート。』で
ある。

【００７０】この請求項２７に記載の発明によれば、ノ
ズルの一方側、及びノズル内に撥インク性皮膜を有し、
撥インク性皮膜の各ノズル内への入り込み長さのバラツ
キを各ノズル間で１．０μｍ以下とすることで各ノズル
間のインク吐出量の変動を抑えることができ、インク滴
の吐出安定性が向上する。ここで、入り込み長さのバラ
ツキとは、ノズルプレートの全ノズルの入り込み長さの
平均値に対する各々のノズルにおける入り込み長さの値
の差を言う。また、入り込み長さのバラツキが１．０μ
ｍ以下とは、全ノズル中の少なくとも９５％のノズルに
対する入り込み長さのバラツキが１．０μｍ以下となっ
ている状態をいう。なお、これら各発明のノズルプレー
トは何れも、油性インクを用いるインクジェットヘッド
に対しても、水性インクを用いるインクジェットヘッド
に対しても適用することができる。

【００７１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて詳細に説明するが、本発明はこの実施の形態に限
定されるものではない。

【００７２】図１（ａ）に、本実施の形態のノズルプレ
ートを示す。ノズルプレートの材質としては、金属、ガ
ラス、樹脂等があり、好ましくはチタン、クロム、鉄、
コバルト、ニッケル等の単一材、もしくはニッケル−リ
ン合金、スズ−銅−リン合金（リン青銅）、銅−亜鉛合
金、ステンレス鋼等の合金や、ポリイミドポリカーボ
ネイト、ポリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリ
ル・ブタジエン・スチレン共重合体）、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性樹脂材
等が挙げられる。

【００７３】このノズルプレート１は、インク噴射のた
めの複数のノズル２を有し、ノズル２は例えば精密ポン
チにより穿孔される。他に、レーザーにより穿孔しても
よい。ノズル２は、インク吐出側にストレート部２ａが
形成され、インク流入側に大きく開口した漏斗状のコニ
カル部２ｂが形成されている。１ａはインク吐出側表
面、１ｂはインク流入側表面を示す。

【００７４】ポンチでノズル孔を穿孔する場合、ポンチ
の形状がそのまま転写されてノズル孔が形成されるた
め、各ノズル間でノズル径とノズル内容積を一定に揃え
ることができ、高精度なノズル２を形成することができ
るので好ましい。

【００７５】このノズルプレート１に、図１（ｂ）に示
すように、ノズル２のインク流入側を例えば密閉部材７
により密閉することで封管を形成し、インク吐出側を処
理液３に接触させると、毛管力によりノズル２内に処理
液３が侵入する。処理液３とノズル２内に存在する気体
４の間で界面５が形成され、この界面５は、毛管力と封
管内の圧力のつり合う位置で静止する。本発明におい
て、用いる気体としては、空気、窒素、酸素等の処理液
に対し不活性なものであればよく、特に簡易に扱える点
で空気が好ましい。

【００７６】処理液としては、撥インク性、もしくは親
インク性の物質を含む液であればよい。この物質が析出
することによりノズルプレート上に処理液中の物質が析
出して、皮膜を形成する。

【００７７】撥インク性の物質としては、ＰＴＦＥ（ポ
リテトラフルオロエチレン）、ＦＥＶＥ（テトラフルオ
ロエチレンビニールエーテル共重合体）、ＦＥＰ（テト
ラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン）、Ｅ
ＴＦＥ（テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体：
４フッ化エチレン−エチレン共重合体）などがあり、油
性インクに対しても水性インクに対しても同様の性質を
有する。

【００７８】親インク性の物質としては、ポリアクリル
酸、ポリエチレンイミン、スルホン化ポリスチレン、無
水マレイン酸−スチレン共重合体などの水溶性の高分
子、またメチルメタクリレート−アクリル酸共重合体な
どのエマルジョンを用いることができ、油性インクに対
しても水性インクに対しても同様の性質を有する。

【００７９】上記撥インク性の物質、もしくは親インク
性の物質を溶媒中に分散、もしくは溶解することにより
処理液とすることができる。

【００８０】上記溶媒としては、水、イソプロピリアル
コール、ブチルセロソルブ、水溶性有機溶媒等がある。

【００８１】皮膜形成の方法としては、電着、メッキ、
その他の塗装等種々あり、特に電着塗装、電解メッキ、
無電解メッキが好ましい。

【００８２】電着塗装の際の処理液としては、カルボキ
シル基を持つアクリル樹脂をアミンで中和して、これに
ＰＴＦＥ微粒子を分散させた電着液、無電解メッキの際
の処理液としては、ＰＴＦＥ微粒子を含むニッケルメッ
キ液が好ましい。

【００８３】半径ｒの毛細管に表面張力δ、管壁に対す
る接触角θを持つ液体が侵入するとき、発生する毛細管
圧力はΔｐ＝（２δ／ｒ）ｃｏｓθとなる。液体が侵入
して、封管の圧力がΔｐまで上昇すれば圧力がバランス
して侵入が止まる。従って、ノズル径とノズル内容積を
一定にしておけば、侵入長さを一定に保つことができ
る。ノズル径とノズル内容積を一定とする方法は、ポン
チで穿孔する方法が好ましい。また、処理液３の侵入す
る長さは、処理液３の物性によっても変化する。よっ
て、処理液３の物性が変わっても入り込み長さを一定に
保つために、封管の圧力を調整できる構成とすることが
好ましい。

【００８４】皮膜のノズル内への入り込み長さは、ノズ
ルプレート表面から、皮膜がノズル内へ入り込んだ長さ
であり、例えば図１ではインク吐出側表面１ａ側からの
入り込み量Ｌ１である（図１（ｄ）参照）。また、イン
ク流入側表面１ｂから皮膜を入り込ませる場合は、イン
ク流入側表面１ｂ側からの入り込み量をさす。

【００８５】その後、図１（ｃ）に示すように、処理液
３による皮膜６をノズルプレート１に形成する。この皮
膜６は電着塗装や電解メッキにより容易に形成すること
ができる。例えば電着塗料にノズルプレートを浸漬し、
圧力を調整して界面の位置を決め、ノズルプレート１と
対極との間に直流電流を流すと、ノズルプレート１に電
着塗料の皮膜６が形成される。

【００８６】電着塗装は、例えばカルボキシル基を持つ
アクリル樹脂をアミンで中和して、これにＰＴＦＥ（ポ
リテトラフルオロエチレン）微粒子を分散させた電着液
にノズルプレートを浸して、２０〜３０Ｖの直流を３０
〜６０秒間印加することで行い、その結果数μｍの撥イ
ンク性皮膜が形成される。また、この皮膜はメッキによ
り形成することもできる。メッキ処理としては、無電解
または電解メッキ処理があり、ＰＴＦＥ（ポリテトラフ
ルオロエチレン）微粒子を含むニッケルメッキ液に漬け
ることで行う。

【００８７】このノズルプレート１に形成される皮膜６
は、図１（ｄ）に示すように、インク吐出側表面１ａか
らノズル２内へ入り込む。この入り込む部分６ａの入り
込み長さＬ１の制御は、処理液３と気体４により形成さ
れる界面５の位置を制御することにより行なわれる。

【００８８】このようにノズルプレート１のノズル２内
の気体４の圧力をコントロールして、界面５の位置によ
り皮膜６の入り込み長さを制御することができ、これに
よりインク滴の吐出安定性が向上し、低コストで、大量
生産が可能である。

【００８９】この形成される皮膜６は、撥インク性皮膜
である。ノズルプレート１のインク吐出側表面１ａを撥
インク化処理するだけでなく、ノズル２に入り込む部分
６ａも一定の長さに撥インク処理することで、ノズルプ
レート１が汚れにくくなりインク滴の吐出が安定する。

【００９０】この撥インク性皮膜の形成後に、図１
（ｅ）〜（ｇ）に示すように、処理液９による皮膜１２
をノズルプレート１に形成する。この皮膜１２は、皮膜
６と同様に電着塗装により容易に形成することができ
る。例えば電着塗料にノズルプレート１を浸漬し、ノズ
ルプレート１と対極との間に直流電流を流すと、ノズル
プレート１に電着塗料の皮膜が形成される。この皮膜１
２はまた電解メッキ処理により形成することもできる。

【００９１】このノズルプレート１に形成される皮膜１
２は撥インク性皮膜６で覆われていない部分に析出す
る。図１（ｇ）に示すように、撥インク性皮膜６で覆わ
れた部分は導電性がないので、電着、電解メッキによっ
て膜は析出しない。この実施の形態では、形成される皮
膜１２は、親インク性皮膜である。

【００９２】しかも皮膜１２は、親インク性皮膜であ
り、ノズルプレート１のインク流入側表面１ｂを親イン
ク化するだけでなく、ノズル２の入り込む部分１２ａも
一定長さ親インク化することで、インク流入側からイン
クがノズル２内に入り込み易くなり、インク滴の吐出が
安定する。

【００９３】なお、この実施の形態では、ノズルプレー
ト１のインク流入側表面１ｂに親インク性皮膜がノズル
２の入り込む部分１２ａにも形成されているが、電着や
電解メッキをする際の前処理として一般的な親水化がこ
の実施の形態でも行われており、ノズルプレート全体を
最初に親インク化してあるので、親インク性皮膜を形成
しないでも良い。親インク性皮膜を形成すると、インク
がノズルに入り込み易くなりインク滴の吐出がより安定
する。

【００９４】図１に示すように、単にノズルプレート１
のノズル２をフィルムシート等の密閉部材７で密閉する
場合、ノズル２の内容積で界面の位置が決まる。つま
り、どのノズル２でも界面５の位置を一定とすることが
できる。

【００９５】しかし、個々のノズルを１つづつ密閉する
方法は、密閉が不完全なノズルがあるとそのノズルへの
入り込み長さが長くなる。また、密閉部材を構成するフ
ィルムを剥離する時、一部のノズルにフィルムが残ると
画像が大幅に劣化する。このためノズルプレートの裏面
全体を覆って密閉する方がよい。

【００９６】本実施の形態のように、電着塗装で撥イン
ク性皮膜を形成後、電着塗装で親インク皮膜を形成する
と、親インク性皮膜は撥インク性皮膜上には祈出しない
ので、撥インク性皮膜と親インク性皮膜の領域を正確に
作り分けることができる。

【００９７】また、撥インク性皮膜の形成前に、ノズル
プレート全体を、常法により親水化してもよい。このよ
うにした場合、撥インク性皮膜の付着が良くなり、又ノ
ズルプレートのインク流入側が親インク化され、気泡が
付着せず、インクがノズル孔に入り易くなりインク吐出
がより安定する。

【００９８】親インク化処理としては、ステンレスノズ
ルプレート板全体の親インク化処理では、アルカリ電解
洗浄が好ましい。これは、水酸化ナトリウムと界面活性
剤と珪酸塩を含む洗浄液にノズルプレートを漬けて、２
〜４Ｖ、１５Ａ／ｄｍ２、５分間通電することにより行
う。その後に、水洗、乾燥後、ノズルプレートのインク
流入側を塞ぎ、撥インク電着液につけるといった撥イン
ク処理等を行うことができる。

【００９９】図２は、本発明の別の実施の形態である。
ノズルプレート１をケース１００に保持し、ノズル孔２
を１つずつ塞ぐのではなく、ノズルプレート１の裏面全
体を密閉する方法である。ノズル孔２に樹脂やフィルム
が接触しないので、これらが残留するおそれがない。ま
た、密閉部１０１の気体１０２の圧力を微妙に制御で
き、ノズル２内への処理液の入り込み長さを自由にコン
トロールすることができる。特に、圧力調整弁や真空ポ
ンプ等の圧力制御手段を接続して、気体１０２の圧力を
調整できるよう構成することが好ましい。

【０１００】また、界面５の位置を変更するための実施
の形態例を次ぎに説明する。図３の実施の形態では、ノ
ズル２のストレート部２ａが直径Ｄ１に、コニカル部２
ｂの最大部が直径Ｄ２に設定され、処理液３と気体４に
より形成される界面５がインク吐出側表面１ａからノズ
ル２内へ入り込む長さを小さくしているが、図４に示す
実施の形態では、コニカル部２ｂの最大部が直径Ｄ３で
あり、図３の直径Ｄ２に対して大きく設定することで気
体４の体積を大きくして、界面５がインク吐出側表面１
ａからノズル２内へ入り込む長さを図３の実施の形態よ
りも大きくすることができる。

【０１０１】図５の実施の形態では、図３の実施の形態
に対して、密閉部材７のノズル２に対応する位置に凹部
７ａが形成されており、この凹部７ａによって気体４の
体積を大きくして、界面５が吐出側表面１ａからノズル
２内へ入り込む長さを図３の実施の形態よりも大きくし
ている。

【０１０２】図６の実施の形態では、密閉部材７のノズ
ル２に対応する位置に凹部７ａが形成されており、この
凹部７ａに連通する制御孔７ｂにピストン２０を設け、
このピストン２０によって気体４の体積を変化させてい
る。この気体４の体積を変化によって圧力が変化するこ
とから、界面５の位置がインク吐出側表面１ａからノズ
ル２内へ入り込む長さを変化させることができる。

【０１０３】図７及び図８の実施の形態のノズルプレー
ト１は、図４及び図５に示すものと同様にノズルの体積
を大きくするものであるが、図７の実施の形態では漏斗
状のコニカル部２ｂのインク流入側にザグリ状の段部２
ｃが形成され、図８の実施の形態ではコニカル部２ｂに
対応する位置の密閉部材７に、浅い凹部７ｃが形成さ
れ、ノズル２内へ入り込む長さを容易に変化させること
ができる構造である。

【０１０４】図９及び図１０は本発明に係るインクジェ
ットヘッドのノズルプレートの製造装置であり、図９は
ノズルプレート製造装置の全体構成図、図１０はノズル
プレートのホルダの拡大断面図である。

【０１０５】電着塗装槽５０には、電着液５１を流入さ
せるための流入口６３、この電着液５１を排出させるた
めの排出口６４が設けられている。まず、ノズルプレー
ト１を保持したホルダ５２が電着塗装槽５０内に水平に
配置される。ホルダ５２内には、ファン５３の駆動によ
りフィルタ５４、圧力調整室５５、空気供給配管５６を
介して空気５７が供給される。

【０１０６】ホルダ５２内には圧力計５８が接続され、
ホルダ５２内の圧力を計測し、この圧力情報に基づき制
御手段５９は圧力調整弁６０を制御し、ホルダ５２内の
空気の圧力を調整する。その後、電着液５１を流入口６
３より供給していき、ノズルプレート１、及びホルダ５
２を電着液５１に浸漬させる。その際ホルダ５２内の気
体の圧力調整により図１０に示すように、複数のノズル
２を有するノズルプレート１に対して、ノズル２のイン
ク流入側から空気５７を接触させ、インク吐出側から電
着液５１を接触させ、複数のノズル２内に電着液５１と
空気５７により界面７０が形成される。

【０１０７】電着塗装槽５０の電着液５１内には電極６
１が配置され、この電極６１とノズルプレート１の間に
は電源６２から電圧が印加され、ノズルプレート１の吐
出側表面１ａを撥インク処理するだけでなく、ノズル２
の入り込み部分も一定長さ撥インク処理することができ
る。

【０１０８】また、電着塗装槽５０内には、予め電着液
５１を貯留しておき、この電着液５１にノズルプレート
１を保持したホルダ５２を浸漬してもよい。

【０１０９】図１１は、他の実施の形態であり、電極６
１に対して、電着塗装するノズルプレート１を平行とな
るように配置している。このようにして配置して電着塗
装を行うことにより、ノズルプレート１の全体にわたっ
てより均一な膜厚の電着皮膜が形成されるため好まし
い。

【０１１０】また、この発明では、ノズルプレート１に
インクを噴射するためのノズル２を穿孔し、ノズル２を
具備するノズルプレート１全体を親インク化処理し、ノ
ズルプレート１のインク吐出側から撥インク処理液を接
触させ、且つインク流入側から空気を接触させることに
より界面を形成し、その後に、ノズルプレート１に撥イ
ンク性皮膜を形成することができる。

【０１１１】また、ノズルプレート１に対してノズル２
の一方側から処理液を接触させ、他方側から空気を接触
させ、処理液と空気により形成される界面を用いて、ノ
ズル２内に形成される各々の撥インク皮膜のノズル２内
への入り込み長さのバラツキを１．０μｍ以下とするこ
とができ、インク滴の吐出安定性が向上する。ここで、
入り込み長さのバラツキとは、ノズルプレートの全ノズ
ルの入り込み長さの平均値に対する各々のノズルにおけ
る入り込み長さの値の差を言う。また、入り込み長さの
バラツキが１．０μｍ以下とは、全ノズル中の少なくと
も９５％のノズルのバラツキが１．０μｍ以下となって
いる状態をいう。

【０１１２】以上、処理液３と、空気で形成される界面
を利用する例を示したが、処理液３とこれと異なる液体
で形成される界面を利用する場合も同様である。液体と
しては、処理液３と混合せず界面を形成できる液体であ
ればよく、例えば、水銀等があり、また処理液３が水系
の液である場合、油性の液体を使用することができる。

【０１１３】気体を用いる場合の方が、より簡易な構成
で皮膜の作成、制御が行えるという優れた効果を奏する
点で好ましい。［実施例］本発明の、空気を使用して、処理液との界面
を形成して皮膜を形成する方法と、従来の樹脂を充填し
て形成する方法（以下、樹脂充填法という）とを比較し
た。

【０１１４】厚さ１００μのＳＵＳ３０４板に、精密ポ
ンチで、ノズル孔の出口径４２μ、ストレート部の長さ
２０μ、ノズル入口径９０μの、ノズル孔を１８０ＤＰ
Ｉの間隔で、３００個穿孔した。これら穿孔した各ノズ
ル孔を順にノズルＮｏ．１〜Ｎｏ．３００とする。

【０１１５】このノズル板を、図９に示す本発明に係わ
る装置に取り付けて、圧力を調整して、ホルダ５２内部
の圧力を、大気圧より２．５７×１０³Ｐａ（大気圧の
約２．６％）高く保って、フッソ樹脂の微粒子を分散し
たアクリル樹脂電着液を電着した。

【０１１６】比較例として、上述のノズル孔を穿孔した
ノズル板を使用し、このノズル板のインク供給側に、三
菱レーヨン製、感光性ドライフィルム、ダイヤロンＦＲ
Ａ３０５−３８を、ラミネーターで、４ｋｇｆ／ｃ
ｍ²、６０℃でラミネートした。続いて、紫外線を７５
０ｍＪ／ｃｍ²照射した。

【０１１７】さらに続いて、このノズル板を、フッソ樹
脂の微粒子を分散した、ニッケルメッキ液に漬けて、ノ
ズル板の表面とノズル孔の出口部を撥インクメッキし
た。その後感光性樹脂剥離液に漬けて、ノズル内部の樹
脂を溶解させた。

【０１１８】撥インク入り込み長さは、走査線電子顕微
鏡を使用して、試料を、３０°と４５°傾けて、ノズル
出口の写真を撮り、入り込み部の長さを測定して、次式
で計算した。Ｈ＝（ｐ／ｓｉｎθ）−（ｐ’／ｓｉｎθ）： θ＝
４５°−３０° ｐ＝３０°傾けて撮影した画像の入り込み長さｐ’＝４５°傾けて撮影した画像の入り込み長さ以下、ノズルＮｏ．１、５０、１００、１５０、２０
０、２５０、３００における入り込み長さを例として示
す。

【０１１９】樹脂充填法による全ノズルの入り込み長さ
の平均は、１０．１μｍ、そして９５％のノズル、つま
り２８５個のノズルのバラツキは、最大で６．２μｍで
あった。一方、本発明による空気を使用する方法による
入り込み長さの全ノズルの平均は、７．２μｍ、そして
９５％のノズル、つまり２８５個のノズルのバラツキは
最大でも０．８μｍ以下であり、１．０μｍ以下を満足
するものであった。

【０１２０】以上より、樹脂充填法に比べて、ノズル間
で、入り込み長さのバラツキが少ないことが分かった。
また、９５％のノズルに対して、全ノズルの入り込み長
さの平均値との入り込み長さの差が全て１．０μｍ以下
を満たしたノズルプレートを用いてインクジェットヘッ
ドを構成したところ、インク滴の吐出は非常に安定して
おり、それにより得られた画質は非常に高品位であっ
た。なお、以上の発明の実施の形態で詳述したノズルプ
レートは何れも、油性インクを用いるインクジェットヘ
ッドに対しても、水性インクを用いるインクジェットヘ
ッドに対しても適用することができる。

【０１２１】

【発明の効果】以上のように、簡易にインク滴の吐出安
定性及び画質を向上することが可能となるという優れた
効果を奏する。また、皮膜を作成するための処理液と気
体、もしくは処理液と異なる液体との界面を利用するこ
とにより、処理液の入り込み長さ、つまり、ノズルプレ
ートで作成する皮膜のノズル孔内部への入り込み長さを
自由かつ容易に、さらに精度良く制御することが可能と
なるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドのノズルプレートを撥イ
ンク処理する例を示す図である。

【図２】インクジェットヘッドのノズルプレートを撥イ
ンク処理する別の例を示す図である。

【図３】ノズルに形成される撥インク皮膜の入り込み長
さを説明する図である。

【図４】ノズルに形成される撥インク皮膜の入り込み長
さを大きくする方法を説明する図である。

【図５】ノズルに形成される皮膜の入り込み長さを大き
くする他の実施の形態の図である。

【図６】ノズルに形成される皮膜の入り込み長さを変え
ることが可能な図である。

【図７】ノズルのコニカル部に段部を形成した実施の形
態を示す図である。

【図８】密閉部材に凹部を形成した実施の形態を示す図
である。

【図９】ノズルプレート製造装置の全体構成図である。

【図１０】ノズルプレートの製造装置のホルダの拡大断
面図である。

【図１１】ノズルプレート製造装置の他の実施の形態の
全体構成図である。

【符号の説明】

１ノズルプレート２ノズル３処理液４気体５，１１界面６，１２皮膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク噴射のための複数のノズルを有する
ノズルプレートに対して、前記ノズルプレートの一方側
から処理液を接触させ、他方側から気体を接触させ、前記処理液と前記気体により界面を形成することで、前記処理液による皮膜を前記ノズルプレートに形成する
ことを特徴とするノズルプレートの処理方法。
【請求項２】前記界面の位置を制御することにより、前
記形成される皮膜のノズル内への入り込み長さを制御す
ることを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの
処理方法。
【請求項３】前記気体の圧力を制御することにより前記
界面の位置を制御することを特徴とする請求項１または
請求項２に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項４】前記ノズルプレートに対して、前記気体を
接触させた後に、前記処理液を接触させることを特徴と
する請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のノズ
ルプレートの処理方法。
【請求項５】インク噴射のための複数のノズルを有する
ノズルプレートに対して、前記ノズルプレートの一方側
から処理液を接触させ、他方側から前記処理液とは異な
る液体を接触させ、前記処理液と前記液体により界面を形成することで、前記処理液による皮膜を前記ノズルプレートに形成する
ことを特徴とするノズルプレートの処理方法。
【請求項６】前記界面の位置を制御することにより、前
記形成される皮膜のノズル内への入り込み長さを制御す
ることを特徴とする請求項５に記載のノズルプレートの
処理方法。
【請求項７】前記液体の圧力を制御することにより前記
界面の位置を制御することを特徴とする請求項５または
請求項６に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項８】前記ノズルプレートに対して、前記液体を
接触させた後に、前記処理液を接触させることを特徴と
する請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載のノズ
ルプレートの処理方法。
【請求項９】前記形成される皮膜は、撥インク性皮膜で
あることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか
１項に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項１０】前記撥インク性皮膜の形成後に、親イン
ク化処理を行うことを特徴とする請求項９に記載のノズ
ルプレートの処理方法。
【請求項１１】前記撥インク性皮膜の形成前に、親イン
ク化処理を行うことを特徴とする請求項９に記載のノズ
ルプレートの処理方法。
【請求項１２】前記形成される皮膜は、親インク性皮膜
であることを特徴とする請求項１乃至請求項８に記載の
ノズルプレートの処理方法。
【請求項１３】前記親インク性皮膜の形成後に、撥イン
ク性皮膜を形成することを特徴とする請求項１２に記戴
のノズルプレートの処理方法。
【請求項１４】前記ノズルプレートの一方側を密閉する
ことにより前記界面の位置を制御することを特徴とする
請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のノズル
プレートの処理方法。
【請求項１５】前記ノズルプレートの一方側にフィルム
を貼り付け密閉することにより前記界面の位置を制御す
ることを特徴とする請求項１４に記載のノズルプレート
の処理方法。
【請求項１６】前記密閉を前記ノズルプレートのインク
流入側から行うことを特徴とする請求項１４または請求
項１５に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項１７】前記皮膜を電着処理により形成すること
を特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれか１項に
記戴のノズルプレー卜の処理方法。
【請求項１８】前記皮膜をメッキ処理により形成するこ
とを特徴とする請求頂１乃至請求項１７のいずれか１項
に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項１９】前記ノズルプレートは金属であることを
特徴とする請求項１乃至請求項１８のいずれか１項に記
載のノズルプレートの処理方法。
【請求項２０】前記ノズルプレー卜は樹脂であることを
特徴とする請求項１乃至請求項１９のいずれか１項に記
載のノズルプレートの処理方法。
【請求項２１】前記ノズルプレートは、表面に金属膜を
有することを特徴とする請求項２０に記載のノズルプレ
ートの処理方法。
【請求項２２】前記撥インク性皮膜のノズル内への入り
込み長さが５μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴と
する請求項９に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項２３】前記撥インク性皮膜のノズル内への入り
込み長さのバラツキが、１．０μｍ以下であることを特
徴とする請求項９に記載のノズルプレー卜の処理方法。
【請求項２４】プレートに、インクを噴射するための複
数のノズルを穿孔し、前記ノズルを具備するプレートに親インク化処理を行
い、前記プレートのインク流入側から気体を接触させ、且つ
インク吐出側から撥インク性処理液を接触させることに
より界面を形成し、その後に、前記プレー卜に撥インク性皮膜を形成するこ
とを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２５】プレートに、インク噴射をするための複
数のノズルを穿孔し、前記ノズルを具備するプレートに親インク化処理を行
い、前記プレートのインク流入側から前記処理液とは異なる
液体を接触させ、且つインク吐出側から撥インク性処理
液を接触させることにより界面を形成し、その後に、前記プレー卜に撥インク性皮膜を形成するこ
とを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２６】前記ノズルの穿孔は、ポンチを用いて行
うことを特徴とする請求項２４または２５に記載のノズ
ルプレートの製造方法。
【請求項２７】インク噴射のための複数のノズルを有す
るノズルプレートであって、前記ノズルプレートのインク吐出側、及びノズル内に撥
インク性皮膜を有し、前記撥インク性皮膜の各ノズル内への入り込み長さのバ
ラツキが各ノズル間で１．０μｍ以下であることを特徴
とするノズルプレート。