JPH0985956A - インクジェットノズルの形成方法 - Google Patents
インクジェットノズルの形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノズル面内壁の良好な撥水性膜と共にヘッド
本体への接着用の親水面が付与されるインクジェットノ
ズルの形成方法を得る。 【解決手段】 ノズルプレートの裏面側に形成した親水
性膜をマスクとして共析メッキにより表面側に撥水性膜
を形成することによりインクジェットノズルを形成す
る。
本体への接着用の親水面が付与されるインクジェットノ
ズルの形成方法を得る。 【解決手段】 ノズルプレートの裏面側に形成した親水
性膜をマスクとして共析メッキにより表面側に撥水性膜
を形成することによりインクジェットノズルを形成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷用インク滴の生成
に用いられるインクジェットノズルの形成方法に関す
る。
に用いられるインクジェットノズルの形成方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット方式の印刷では、画像形
成媒体としてのインクに熱膨張や容積減少による圧力を
作用させ、被印刷体に向けて微細なインク滴を高速で吐
出させることにより所望の画像を形成している。このよ
うなインクジェット方式によるプリンタは、一般に、イ
ンクに圧力を印加するための発熱素子や圧電素子等から
成る圧力発生手段と、圧力発生手段により加圧されたイ
ンクを吐出口へ送出するためのインク流路と、が設けら
れたヘッド本体により構成されている。
成媒体としてのインクに熱膨張や容積減少による圧力を
作用させ、被印刷体に向けて微細なインク滴を高速で吐
出させることにより所望の画像を形成している。このよ
うなインクジェット方式によるプリンタは、一般に、イ
ンクに圧力を印加するための発熱素子や圧電素子等から
成る圧力発生手段と、圧力発生手段により加圧されたイ
ンクを吐出口へ送出するためのインク流路と、が設けら
れたヘッド本体により構成されている。
【０００３】この種のインクジェットによる印刷では、
ヘッド本体の吐出口に対応して形成されたノズル孔を有
するノズルプレートをこのヘッド本体に装着することに
より、吐出口およびこれに連通したノズル孔を介して吐
出されるインク滴のサイズや粒径の最適化を図ってい
る。このようなヘッド本体に固定されるノズルプレート
１は樹脂から形成される場合もあるのだが、一般的に
は、図３に示すように、一定の径から成る複数のノズル
孔２が一定ピッチで列状に貫通形成された金属板から成
り、各ノズル孔２からのインク滴の吐出の安定を図るべ
くノズルプレート１の表面からノズル孔２内壁にかけて
撥水性処理が施されている。尚、同図中ノズル孔は部分
的に省略して破線で示されている。
ヘッド本体の吐出口に対応して形成されたノズル孔を有
するノズルプレートをこのヘッド本体に装着することに
より、吐出口およびこれに連通したノズル孔を介して吐
出されるインク滴のサイズや粒径の最適化を図ってい
る。このようなヘッド本体に固定されるノズルプレート
１は樹脂から形成される場合もあるのだが、一般的に
は、図３に示すように、一定の径から成る複数のノズル
孔２が一定ピッチで列状に貫通形成された金属板から成
り、各ノズル孔２からのインク滴の吐出の安定を図るべ
くノズルプレート１の表面からノズル孔２内壁にかけて
撥水性処理が施されている。尚、同図中ノズル孔は部分
的に省略して破線で示されている。
【０００４】従来のノズルプレートの撥水性処理は、例
えば、プレート裏面側をシート状のドライレジストから
成るマスクを熱圧着により覆った状態でこれをポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の分子を分散させたＮ
ｉメッキ液中に浸漬して、ノズルプレートの表面側に撥
水性のいわゆる共析メッキを形成することにより行われ
ている。
えば、プレート裏面側をシート状のドライレジストから
成るマスクを熱圧着により覆った状態でこれをポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の分子を分散させたＮ
ｉメッキ液中に浸漬して、ノズルプレートの表面側に撥
水性のいわゆる共析メッキを形成することにより行われ
ている。
【０００５】また、別の撥水性処理の方法として、ノズ
ルプレートに上述のようなマスクを施さずに、ノズルプ
レート全体に同様な共析メッキを施した後、研磨やサン
ドブラスト等の機械的な方法によりノズルプレート裏面
側のメッキ膜を除去する方法も実施されている。
ルプレートに上述のようなマスクを施さずに、ノズルプ
レート全体に同様な共析メッキを施した後、研磨やサン
ドブラスト等の機械的な方法によりノズルプレート裏面
側のメッキ膜を除去する方法も実施されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前者の共析メッキ方法
では、図４に示すように、ノズルプレートの非メッキ領
域を被覆するマスク８はノズルプレート１のノズル孔２
の片側の開口を覆うように裏面側全体に一体的に被着す
る方法が採られる。しかし、このようにマスク８をノズ
ル孔２の開口を覆うように設けた場合、ノズルプレート
への共析メッキ膜の形成に際して、ノズル孔２を介して
のメッキ液の循環または流動が阻止されるためノズル孔
内面に均一なメッキ膜を形成することは困難である。ま
た、共析メッキに使用される表面活性剤やメッキ液溶剤
等の酸性度または塩基性度の高いメッキ液溶剤に対して
完全な耐蝕性を有し且つノズルプレート材に対する強力
な密着性が得られるマスキング材が現実にはほとんどな
く、メッキ時のマスクの膨潤等によりマスキング材がノ
ズルプレートから部分的に剥離が生じこのように剥離し
た箇所にメッキ液が回り込み、不要なメッキがなされる
おそれもある。
では、図４に示すように、ノズルプレートの非メッキ領
域を被覆するマスク８はノズルプレート１のノズル孔２
の片側の開口を覆うように裏面側全体に一体的に被着す
る方法が採られる。しかし、このようにマスク８をノズ
ル孔２の開口を覆うように設けた場合、ノズルプレート
への共析メッキ膜の形成に際して、ノズル孔２を介して
のメッキ液の循環または流動が阻止されるためノズル孔
内面に均一なメッキ膜を形成することは困難である。ま
た、共析メッキに使用される表面活性剤やメッキ液溶剤
等の酸性度または塩基性度の高いメッキ液溶剤に対して
完全な耐蝕性を有し且つノズルプレート材に対する強力
な密着性が得られるマスキング材が現実にはほとんどな
く、メッキ時のマスクの膨潤等によりマスキング材がノ
ズルプレートから部分的に剥離が生じこのように剥離し
た箇所にメッキ液が回り込み、不要なメッキがなされる
おそれもある。
【０００７】また、後者のノズルプレート表裏面全体に
共析メッキを施す方法では、ノズル孔内面での比較的良
好なメッキ膜が得られるものの、一旦形成したノズルプ
レート裏面側メッキ膜の除去に際して、研磨やサンドブ
ラスト等のメッキ膜除去作業の停止時間の設定またはそ
の制御が難しく、加えて、メッキ膜が除去されたノズル
プレート裏面は、ノズルプレート材料としてのＮｉは材
質上水に対する接触角が７５゜程度の撥水性を有してい
るため、ヘッド本体への接着に際して接着材の濡れが悪
く確実な接着を得るのが困難である。他方、メッキ膜を
裏面から完全に除去したとしてもその面には研磨材やサ
ンドブラスト粒子または異物等の付着や食い込みが残存
し、良好な接着を一層困難にする。
共析メッキを施す方法では、ノズル孔内面での比較的良
好なメッキ膜が得られるものの、一旦形成したノズルプ
レート裏面側メッキ膜の除去に際して、研磨やサンドブ
ラスト等のメッキ膜除去作業の停止時間の設定またはそ
の制御が難しく、加えて、メッキ膜が除去されたノズル
プレート裏面は、ノズルプレート材料としてのＮｉは材
質上水に対する接触角が７５゜程度の撥水性を有してい
るため、ヘッド本体への接着に際して接着材の濡れが悪
く確実な接着を得るのが困難である。他方、メッキ膜を
裏面から完全に除去したとしてもその面には研磨材やサ
ンドブラスト粒子または異物等の付着や食い込みが残存
し、良好な接着を一層困難にする。
【０００８】従って、本発明は、ノズル孔内壁を含むノ
ズルプレート表面に撥水性膜及び裏面に親水性膜を簡易
に形成できるインクジェットノズルの形成方法を得るこ
とを目的とする。
ズルプレート表面に撥水性膜及び裏面に親水性膜を簡易
に形成できるインクジェットノズルの形成方法を得るこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、請求項１のインクジェットノズルの形成方法は、イ
ンクを吐出するための複数のインク通路が形成されたヘ
ッド本体に固定するノズルプレートに処理を施すことに
よりインクジェットノズルを形成する方法であって、イ
ンク通路に連通可能なノズル孔が穿設されたノズルプレ
ートを形成し、ノズルプレートの裏面側に親水性の材料
から成る親水性膜を形成し、親水性膜をマスクとしてノ
ズルプレートの表面側に撥水性の材料から成る撥水性膜
を形成し、ノズル孔をインク通路にそれぞれ連通するよ
うにノズルプレートを親水性膜を介してヘッド本体上に
固定することから成ることを特徴とする。
め、請求項１のインクジェットノズルの形成方法は、イ
ンクを吐出するための複数のインク通路が形成されたヘ
ッド本体に固定するノズルプレートに処理を施すことに
よりインクジェットノズルを形成する方法であって、イ
ンク通路に連通可能なノズル孔が穿設されたノズルプレ
ートを形成し、ノズルプレートの裏面側に親水性の材料
から成る親水性膜を形成し、親水性膜をマスクとしてノ
ズルプレートの表面側に撥水性の材料から成る撥水性膜
を形成し、ノズル孔をインク通路にそれぞれ連通するよ
うにノズルプレートを親水性膜を介してヘッド本体上に
固定することから成ることを特徴とする。
【００１０】ここで、本明細書における、「親水性」と
は滴下した水による接触角が小さな、例えば接触角で４
０゜以下の、及び、「撥水性」とは水による接触角が大
きい、例えば接触角で１００゜以上の、ノズルプレート
に関してインクジェットの性能及び製造上必要な物質の
性質として定義される。
は滴下した水による接触角が小さな、例えば接触角で４
０゜以下の、及び、「撥水性」とは水による接触角が大
きい、例えば接触角で１００゜以上の、ノズルプレート
に関してインクジェットの性能及び製造上必要な物質の
性質として定義される。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明によるインクジェットノズ
ルの形成方法の実施の形態について、図１及び図２を参
照しながら詳細に説明する。まず、本発明方法により形
成されるインクジェットノズルの構造について説明する
と、インクジェットノズルには、図３に平面を示すよう
に、一律の材料、例えばＮｉ、から形成された平面視矩
形の板状を成すノズルプレート１が使用されている。ノ
ズルプレート１は、複数のノズル孔２が一定のピッチで
列設された矩形の板状を成している。このようなノズル
プレートは、電解液中でマスキング材としてのレジスト
がパターン状に被着されたＳＵＳ等の金属母材上にＮｉ
を析出形成する、いわゆる電鋳ノズルとして形成でき
る。
ルの形成方法の実施の形態について、図１及び図２を参
照しながら詳細に説明する。まず、本発明方法により形
成されるインクジェットノズルの構造について説明する
と、インクジェットノズルには、図３に平面を示すよう
に、一律の材料、例えばＮｉ、から形成された平面視矩
形の板状を成すノズルプレート１が使用されている。ノ
ズルプレート１は、複数のノズル孔２が一定のピッチで
列設された矩形の板状を成している。このようなノズル
プレートは、電解液中でマスキング材としてのレジスト
がパターン状に被着されたＳＵＳ等の金属母材上にＮｉ
を析出形成する、いわゆる電鋳ノズルとして形成でき
る。
【００１２】各インクジェットノズルは、図１に拡大断
面を示すように、ノズルプレート１の裏面側に、即ち裏
面及びそれからノズル孔２の内壁に拡がるように形成さ
れた親水性膜３と、表面側に、即ち表面及びそれからノ
ズル孔２の内壁に拡がるように形成された撥水性膜４
と、ノズルプレート１が親水性膜３を介して固定されノ
ズル孔に連通されるインク通路５が設けられたヘッド本
体６と、から成っている。
面を示すように、ノズルプレート１の裏面側に、即ち裏
面及びそれからノズル孔２の内壁に拡がるように形成さ
れた親水性膜３と、表面側に、即ち表面及びそれからノ
ズル孔２の内壁に拡がるように形成された撥水性膜４
と、ノズルプレート１が親水性膜３を介して固定されノ
ズル孔に連通されるインク通路５が設けられたヘッド本
体６と、から成っている。
【００１３】ノズルプレート１は、裏面側の親水性膜３
にて接着材７を介してヘッド本体６上に接着固定されて
いる。次いで、本発明方法のインクジェットノズルの形
成方法について図２を参照しながら説明する。まず、一
律の材料から成り複数のノズル孔２が一定のピッチで列
設された矩形の板状を成すノズルプレート１を準備す
る。このようなノズルプレート１は、例えば一定のパタ
ーンにマスキング材を塗布した板状のＳＵＳ材を母材と
して電解溶液中でにＮｉを析出させることによりＮｉか
ら成る電鋳ノズルとして約６０μｍの肉厚に形成するこ
とができる。このような工程により、ノズル孔２は、図
２（ａ）に示すように、ノズルプレート１の裏面側から
表面側に向けて一定のプロファイルで減少する断面形状
に形成できる。より具体的には、ノズル孔２はその開口
直径が裏面側のｄ２＝１６０μｍから表面側寸法ｄ１＝
４５μｍに減少されるように形成されている。尚、ノズ
ルプレート１としては、上述のＮｉに代えて、ＳＵＳの
板状材にポンチングを施してノズル孔を設けることによ
り形成してもよい。
にて接着材７を介してヘッド本体６上に接着固定されて
いる。次いで、本発明方法のインクジェットノズルの形
成方法について図２を参照しながら説明する。まず、一
律の材料から成り複数のノズル孔２が一定のピッチで列
設された矩形の板状を成すノズルプレート１を準備す
る。このようなノズルプレート１は、例えば一定のパタ
ーンにマスキング材を塗布した板状のＳＵＳ材を母材と
して電解溶液中でにＮｉを析出させることによりＮｉか
ら成る電鋳ノズルとして約６０μｍの肉厚に形成するこ
とができる。このような工程により、ノズル孔２は、図
２（ａ）に示すように、ノズルプレート１の裏面側から
表面側に向けて一定のプロファイルで減少する断面形状
に形成できる。より具体的には、ノズル孔２はその開口
直径が裏面側のｄ２＝１６０μｍから表面側寸法ｄ１＝
４５μｍに減少されるように形成されている。尚、ノズ
ルプレート１としては、上述のＮｉに代えて、ＳＵＳの
板状材にポンチングを施してノズル孔を設けることによ
り形成してもよい。
【００１４】ノズルプレート１を準備したら、図２
（ｂ）に示すように、ノズルプレート１の裏面側に酸化
珪素（ＳｉＯ2）から成る親水性膜３を裏面にて約１５
００オングストロームの一様な膜厚になるように形成す
る。このような親水性膜３は、ノズルプレート１にその
裏面側からＳｉＯ2をターゲットとしたスパッタを施す
ことにより、ノズル孔２の内壁にも適度に回り込んで、
ノズルプレート１の裏面からノズル孔２の内壁に拡がる
ように形成される。スパッタ処理は、例えば、２００−
３００℃程度の適当な温度で実施するのが望ましく、ま
た、ノズルプレートとスパッタ膜との間の密着性を向上
させるためにいわゆる逆スパッタ技術を使用するのが望
ましい。
（ｂ）に示すように、ノズルプレート１の裏面側に酸化
珪素（ＳｉＯ2）から成る親水性膜３を裏面にて約１５
００オングストロームの一様な膜厚になるように形成す
る。このような親水性膜３は、ノズルプレート１にその
裏面側からＳｉＯ2をターゲットとしたスパッタを施す
ことにより、ノズル孔２の内壁にも適度に回り込んで、
ノズルプレート１の裏面からノズル孔２の内壁に拡がる
ように形成される。スパッタ処理は、例えば、２００−
３００℃程度の適当な温度で実施するのが望ましく、ま
た、ノズルプレートとスパッタ膜との間の密着性を向上
させるためにいわゆる逆スパッタ技術を使用するのが望
ましい。
【００１５】親水性膜３を形成したら、ノズルプレート
１の表面側にＰＴＦＥによる共析メッキ膜４を形成す
る。この共析メッキは、親水性膜３を形成したノズルプ
レート１を、ＮｉイオンとＰＴＦＥの分子が分散された
電解メッキ液中で親水性膜３をマスクとしてメッキを施
すことにより、図２（ｃ）に示すように、例えば、約３
μｍの膜厚の共析メッキ膜から成る撥水性膜４を形成す
る。共析メッキに際しては、メッキ液中のＰＴＦＥの分
子はＮｉのイオンと共にこれに引き込まれるようにノズ
ルプレート１の露出表面に析出される。
１の表面側にＰＴＦＥによる共析メッキ膜４を形成す
る。この共析メッキは、親水性膜３を形成したノズルプ
レート１を、ＮｉイオンとＰＴＦＥの分子が分散された
電解メッキ液中で親水性膜３をマスクとしてメッキを施
すことにより、図２（ｃ）に示すように、例えば、約３
μｍの膜厚の共析メッキ膜から成る撥水性膜４を形成す
る。共析メッキに際しては、メッキ液中のＰＴＦＥの分
子はＮｉのイオンと共にこれに引き込まれるようにノズ
ルプレート１の露出表面に析出される。
【００１６】この場合、共析メッキに際して、ノズル孔
２が開放された状態なので、ノズル孔２を介してメッキ
液が適度に循環または流動しながらメッキ処理がなされ
る。このため、従来のようにノズル孔内壁が不均一な膜
厚もしくはゆがんだ形状にメッキされるおそれがなく、
より良好なメッキ面が得られる。また、メッキ液による
膨潤等によるマスク剥離のような不都合発生のおそれも
ない。
２が開放された状態なので、ノズル孔２を介してメッキ
液が適度に循環または流動しながらメッキ処理がなされ
る。このため、従来のようにノズル孔内壁が不均一な膜
厚もしくはゆがんだ形状にメッキされるおそれがなく、
より良好なメッキ面が得られる。また、メッキ液による
膨潤等によるマスク剥離のような不都合発生のおそれも
ない。
【００１７】このように、親水性膜３及び撥水性膜４を
形成したら、図２（ｄ）に示すように、ノズルプレート
１を、各ノズル孔２がインク通路５に連通するように位
置合わせをした状態で、親水性膜３を接着材７を介して
ヘッド本体６上にエポキシ系接着樹脂を使用して接着固
定することにより、本発明のインクジェットノズルが得
られる。この場合、ヘッド本体のインク通路に臨むノズ
ルプレート裏面が溌水性である場合両者の境界部に気泡
が溜まりやすいのだが、本発明によるノズルプレートの
裏面は親水性に加工されているので上記の境界部に気泡
が溜まるおそれはより少ない。
形成したら、図２（ｄ）に示すように、ノズルプレート
１を、各ノズル孔２がインク通路５に連通するように位
置合わせをした状態で、親水性膜３を接着材７を介して
ヘッド本体６上にエポキシ系接着樹脂を使用して接着固
定することにより、本発明のインクジェットノズルが得
られる。この場合、ヘッド本体のインク通路に臨むノズ
ルプレート裏面が溌水性である場合両者の境界部に気泡
が溜まりやすいのだが、本発明によるノズルプレートの
裏面は親水性に加工されているので上記の境界部に気泡
が溜まるおそれはより少ない。
【００１８】本発明のインクジェットノズルの形成方法
によれば、本発明者による実測により、滴下した水によ
る接触角で約２８゜の親水性膜、及び接触角で約１１５
゜の撥水性膜が得られることが確認された。
によれば、本発明者による実測により、滴下した水によ
る接触角で約２８゜の親水性膜、及び接触角で約１１５
゜の撥水性膜が得られることが確認された。
【００１９】
【発明の効果】インクジェットノズルを本発明の方法に
より形成することにより、ノズル表面には適正なインク
滴の形成に寄与する撥水性膜が各ノズル孔の内壁上端部
に広がるように形成されると共に裏面には全面にヘッド
本体に対する接着性を向上させると共にインク中に気泡
がより溜まりにくい親水性膜が設けられる。
より形成することにより、ノズル表面には適正なインク
滴の形成に寄与する撥水性膜が各ノズル孔の内壁上端部
に広がるように形成されると共に裏面には全面にヘッド
本体に対する接着性を向上させると共にインク中に気泡
がより溜まりにくい親水性膜が設けられる。
【００２０】また、親水性膜は撥水性膜の共析メッキ時
のマスクとして利用できるので、膨潤等によるマスク剥
離のおそれがなく、しかも、簡素な工程で良好なインク
ジェットノズルを形成できる。共析メッキに際して、ノ
ズル孔２が開放された状態なので、ノズル孔２を介して
メッキ液が適度に循環または流動しながらメッキ処理が
なされる。このため、従来のようにノズル孔内壁が不均
一な膜厚もしくはゆがんだ形状にメッキされるおそれが
なく、より良好なメッキ面が得られる。
のマスクとして利用できるので、膨潤等によるマスク剥
離のおそれがなく、しかも、簡素な工程で良好なインク
ジェットノズルを形成できる。共析メッキに際して、ノ
ズル孔２が開放された状態なので、ノズル孔２を介して
メッキ液が適度に循環または流動しながらメッキ処理が
なされる。このため、従来のようにノズル孔内壁が不均
一な膜厚もしくはゆがんだ形状にメッキされるおそれが
なく、より良好なメッキ面が得られる。
【図１】本発明の方法により形成されたインクジェット
ノズルの断面図である。
ノズルの断面図である。
【図２】本発明によるインクジェットノズル形成の工程
を示す図である。
を示す図である。
【図３】ノズルプレートの平面図である。
【図４】従来のインクジェットノズルの形成方法を示す
図である。
図である。
１ ノズルプレート ２ ノズル孔 ３ 親水性膜 ４ 撥水性膜 ５ インク通路 ６ ヘッド本体 ７ 接着材
Claims (3)
- 【請求項１】インクを吐出するための複数のインク通路
が形成されたヘッド本体に固定するノズルプレートに処
理を施すことによりインクジェットノズルを形成する方
法であって、前記インク通路に連通可能なノズル孔が穿
設されたノズルプレートを形成し、前記ノズルプレート
の裏面側に親水性の材料から成る親水性膜を形成し、前
記親水性膜をマスクとして前記ノズルプレートの表面側
に撥水性の材料から成る撥水性膜を形成し、前記ノズル
孔を前記インク通路にそれぞれ連通するように前記ノズ
ルプレートを前記親水性膜を介して前記ヘッド本体上に
固定することから成ることを特徴とするインクジェット
ノズルの形成方法。 - 【請求項２】前記親水性膜を前記ノズルプレートの裏面
から各ノズル孔の内壁まで拡がるように形成する請求項
１に記載のインクジェットノズルの形成方法。 - 【請求項３】前記撥水性膜を前記ノズル孔を開放した状
態でメッキ液に浸漬して形成する請求項１に記載のイン
クジェットノズルの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24279695A JPH0985956A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | インクジェットノズルの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24279695A JPH0985956A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | インクジェットノズルの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0985956A true JPH0985956A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17094424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24279695A Pending JPH0985956A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | インクジェットノズルの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0985956A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310471A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-11-06 | Konica Corp | ノズルプレートの処理方法及びノズルプレートの製造方法並びにノズルプレート |
| EP1375154A2 (en) * | 2002-06-26 | 2004-01-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Process of manufacturing nozzle plate for ink-jet print head |
| EP2089232A2 (en) * | 2006-12-01 | 2009-08-19 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US8226208B2 (en) | 2005-07-01 | 2012-07-24 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US8262200B2 (en) | 2009-09-15 | 2012-09-11 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US8733897B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-05-27 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| JP2020049709A (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP24279695A patent/JPH0985956A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310471A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-11-06 | Konica Corp | ノズルプレートの処理方法及びノズルプレートの製造方法並びにノズルプレート |
| EP1375154A2 (en) * | 2002-06-26 | 2004-01-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Process of manufacturing nozzle plate for ink-jet print head |
| EP1375154A3 (en) * | 2002-06-26 | 2004-04-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Process of manufacturing nozzle plate for ink-jet print head |
| US7086154B2 (en) | 2002-06-26 | 2006-08-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Process of manufacturing nozzle plate for ink-jet print head |
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| EP2089232A4 (en) * | 2006-12-01 | 2011-01-26 | Fujifilm Dimatix Inc | NON-PAINTING COATING OF A LIQUID INJECTOR |
| US8128201B2 (en) | 2006-12-01 | 2012-03-06 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Non-wetting coating on a fluid ejector |
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| US8733897B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-05-27 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US9056472B2 (en) | 2008-10-30 | 2015-06-16 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| US8262200B2 (en) | 2009-09-15 | 2012-09-11 | Fujifilm Corporation | Non-wetting coating on a fluid ejector |
| JP2020049709A (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
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